JP3333421B2 - Flat magnetron - Google Patents
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Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、電子レンジ等の高
周波加熱機器に用いられる平板型マグネトロンに関し、
特に、所望の出力及び周波数を持つマイクロ波を効率良
く取り出すことができる汎用的な平板型マグネトロンに
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a flat-type magnetron used for a high-frequency heating device such as a microwave oven.
In particular, the present invention relates to a general-purpose flat-plate type magnetron capable of efficiently extracting a microwave having a desired output and frequency.
【0002】[0002]
【従来の技術】マグネトロンは、電子管の中で作用空間
に互いに直角な直流磁界と直流電界が存在するクロスト
・フィールド・デバイスの一つであり、この発振モード
には、A型発振及びB型発振がある。2. Description of the Related Art A magnetron is one of crossed field devices in which a DC magnetic field and a DC electric field are perpendicular to each other in a working space in an electron tube. The oscillation mode includes an A-type oscillation and a B-type oscillation. There is.
【0003】A型発振とは、磁界強度のみに依存し、磁
界による電子の周期的な回転運動により生ずる。また、
その発振波長は、後述するB型発振モードと異なり、外
部回路である空胴共振器にはあまり影響されないため、
発振波長は磁界のみで決まり、次式の関係が成立する。 λ=α/H なお、λは発振波長、Hは磁界強度、αは2πmc/e
となる。ここで、mは電子の質量を示し、またeは電子
の電荷を示すため、かかる定数αは理論的には1065
0となるが、実験的には、10000〜13000の値
となる。また、このA型発振には、交流電界からエネル
ギーを奪う電子の軌道と、交流電界にエネルギーを与え
る電子の軌道が存在し、前者を軌道上から除くことが必
要となる。[0003] The A-type oscillation depends only on the magnetic field strength and is caused by the periodic rotational movement of electrons by the magnetic field. Also,
Unlike the B-type oscillation mode described later, the oscillation wavelength is not so affected by the cavity resonator which is an external circuit.
The oscillation wavelength is determined only by the magnetic field, and the following relationship is established. λ = α / H where λ is the oscillation wavelength, H is the magnetic field strength, and α is 2πmc / e
Becomes Here, since m indicates the mass of the electron and e indicates the charge of the electron, the constant α is theoretically 1065
Although it is 0, it is experimentally a value of 10000 to 13000. In the A-type oscillation, there are a trajectory of electrons that take away energy from the AC electric field and a trajectory of electrons that give energy to the AC electric field, and it is necessary to remove the former from the orbit.
【0004】次に、B型発振について図2を用いて説明
する。図2は、従来の円筒型マグネトロンの構成を示す
図である。同図に示すように、円筒状の陽極21には複
数のベイン22が放射状に中心に向かって形成されてお
り、これが空胴共振器を構成する。陰極23は、円筒状
陽極の中心軸状に配置され、この陰極23とベイン22
の間が作用空間となる。Next, B-type oscillation will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a diagram showing a configuration of a conventional cylindrical magnetron. As shown in the figure, a plurality of vanes 22 are radially formed on the cylindrical anode 21 toward the center, and this constitutes a cavity resonator. The cathode 23 is arranged on the central axis of the cylindrical anode, and the cathode 23 and the vane 22 are arranged.
Is the working space.
【0005】陽極21の上下両端には、かかる作用空間
に均一磁界を形成するためのポールピース24がヨーク
25を有するマグネット26に密着して取り付けられ、
また陽極21とヨーク25との間には陽極損により発生
する熱を逃がすための放熱版27が配置されている。な
お、この陽極損は、陰極23から放出され陽極電圧で加
速された電子が陽極21に衝突する際に発生する。At both upper and lower ends of the anode 21, pole pieces 24 for forming a uniform magnetic field in the working space are attached in close contact with a magnet 26 having a yoke 25,
A radiating plate 27 for dissipating heat generated due to anode loss is disposed between the anode 21 and the yoke 25. The anode loss occurs when electrons emitted from the cathode 23 and accelerated by the anode voltage collide with the anode 21.
【0006】また、この作用空間をはさんで磁界方向に
垂直に電極(エンドハット)30が存在し、このエンド
ハット30に負の電位を印加することにより、該作用空
間に電子を閉じこめている。An electrode (end hat) 30 exists perpendicular to the direction of the magnetic field across the working space, and electrons are confined in the working space by applying a negative potential to the end hat 30. .
【0007】かかる構成において、陽極21内を真空に
し、マグネット26によって作用空間に磁界を印加する
とともに、電源入力部28を用いて陰極23−ベイン2
2間に高電圧を印加すると、陰極23からベイン22に
向かって電子が飛び出す。そして、飛び出した電子はマ
グネット26から受ける磁界により作用空間上を螺旋を
描きながらベイン22に向かって進むサイクロイド運動
を行う。その結果、かかるこの電子が空胴共振器に対し
てエネルギーを付与することとなり、高周波電界が発生
し、これをマイクロ波としてマイクロ波出力部29から
取り出す。In this configuration, the inside of the anode 21 is evacuated, a magnetic field is applied to the working space by the magnet 26, and the cathode 23-
When a high voltage is applied between the two, electrons jump from the cathode 23 toward the vane 22. Then, the jumped-out electrons perform a cycloidal motion that proceeds toward the vane 22 while drawing a spiral in the action space by the magnetic field received from the magnet 26. As a result, these electrons impart energy to the cavity resonator, generating a high-frequency electric field, which is extracted from the microwave output unit 29 as a microwave.
【0008】現在、電子レンジ等の高周波加熱機器に用
いられているマグネトロンは、円筒型が主流であるが、
その他に平板型マグネトロンがある。図3、図4は、そ
れぞれ平板型マグネトロンの断面図及び斜視図である。
図3に示す平板型の陽極41には、複数のベイン42
が、陰極43及びソール部51に垂直に形成されてお
り、これが空胴共振器を構成する。また、陰極43は、
該陽極41の左端下部に配置され、ソール51−ベイン
42間が作用空間となる。陽極41の両側面には、作用
空間に均一磁界を形成するためのポールピースがヨーク
のマグネットに密着して取り付けられており、また、こ
のヨークには、陽極損により発生する熱を逃がすための
放熱板47が配置されている。At present, cylindrical magnetrons are mainly used for high-frequency heating devices such as microwave ovens.
There is also a flat magnetron. 3 and 4 are a cross-sectional view and a perspective view, respectively, of the flat-type magnetron.
The flat anode 41 shown in FIG.
Are formed perpendicularly to the cathode 43 and the sole portion 51, and this constitutes a cavity resonator. The cathode 43 is
It is arranged at the lower left end of the anode 41, and the space between the sole 51 and the vane 42 is the working space. On both sides of the anode 41, pole pieces for forming a uniform magnetic field in the working space are attached in close contact with the magnet of the yoke, and the yoke is provided for releasing heat generated by anode loss. A radiator plate 47 is provided.
【0009】かかる構成において、陽極41内を真空に
し、マグネット46によって作用空間に磁界を印加し、
陽極41、ソール51−ベイン42間に電源入力部より
電圧を印加すると、陰極43からベイン42に向かって
電子が飛び出す。In this configuration, the inside of the anode 41 is evacuated, and a magnetic field is applied to the working space by the magnet 46.
When a voltage is applied between the anode 41, the sole 51, and the vane 42 from a power input portion, electrons jump from the cathode 43 toward the vane 42.
【0010】そして、飛び出した電子は、マグネット4
6から受ける磁界により円筒型マグネトロンと同様に作
用空間をサイクロイド運動をしながら図3の右方向に進
み、かかる電子から、空胴共振器にエネルギーが付与さ
れ、高周波電界が発生し、マイクロ波としてマイクロ波
出力部49から取り出される。[0010] Then, the electrons that have jumped out of the magnet 4
3 moves to the right in FIG. 3 while performing cycloidal motion in the working space similarly to the cylindrical magnetron by the magnetic field received from the electron, and energy is applied to the cavity from these electrons, and a high-frequency electric field is generated. It is extracted from the microwave output unit 49.
【0011】また、分割陽極を用いたマグネトロンの場
合には、その分割数によって様々なモードでの発振が起
こすことができるが、B型発振において主に用いられる
モードは、隣接共振器間の位相推移がπラジアンに等し
く最も相互作用が強いπモードと呼ばれるものである。In the case of a magnetron using a divided anode, oscillations in various modes can occur depending on the number of divisions. The mode mainly used in the B-type oscillation is the phase between adjacent resonators. The transition is equal to π radian and is called the π mode which has the strongest interaction.
【0012】しかし、マグネトロンの発振では、このπ
モードと他のモードとの発振周波数が近接していると、
動作条件のわずかな変化に応答してπモードから他のモ
ードへの飛躍(mode−jumping)が起こる。
その結果、発振周波数や出力が急変するため、共振器間
の結合を密にして各モードの共振周波数を可能な限り離
す必要がある。However, in the oscillation of the magnetron, this π
If the oscillation frequency of one mode is close to the oscillation frequency of another mode,
A mode-jumping from π mode to another mode occurs in response to slight changes in operating conditions.
As a result, the oscillation frequency and the output change abruptly, so that it is necessary to make the coupling between the resonators denser and separate the resonance frequencies of the respective modes as much as possible.
【0013】従来のマグネトロンでは、陽極及びベイン
を一つおきに導体で接続した均圧環を用いてかかるモー
ドの分離を行っている。すなわち、この均圧環によっ
て、一つおきの陽極の電位は同じ位相で振動するように
強制されるため、振動可能なモードをπモード及び0モ
ード(全ての陽極及びベインが同一位相で振動する)に
限定することができる。In a conventional magnetron, such modes are separated by using an equalizing ring in which every other anode and vane are connected by a conductor. In other words, the potential equalizing ring forces the potential of every other anode to oscillate in the same phase, so that the oscillating modes are π mode and 0 mode (all anodes and vanes oscillate in the same phase). Can be limited to
【0014】[0014]
【発明が解決しようとする課題】このように、従来のマ
グネトロンは、ヨークに接合したマグネットにより作用
空間に対して一定の磁界を印加することにより、一定の
周波数及び一定の出力を有するマイクロ波を取得するも
のであった。従って、マグネトロンから取得すべき出力
及び周波数は、使用目的に応じて変えることができなか
った。As described above, in the conventional magnetron, a constant magnetic field is applied to the working space by the magnet bonded to the yoke, so that a microwave having a constant frequency and a constant output is generated. Was to get. Therefore, the output and frequency to be obtained from the magnetron cannot be changed according to the purpose of use.
【0015】特に、このマグネトロンには、発振効率が
極めて高く、安価に大出力を取得できるという極めて有
用な特性があるため、電子レンジだけでなく広範な技術
分野への応用が望まれている。したがって、通信、レー
ダー及び電子機器等の各種分野へ広範に適用できる汎用
性のあるマグネトロンをいかに実現するかが重要な課題
となっていた。In particular, this magnetron has extremely useful characteristics that it has a very high oscillation efficiency and can obtain a large output at a low cost. Therefore, application to not only a microwave oven but also a wide range of technical fields is desired. Therefore, it has been an important issue how to realize a versatile magnetron that can be widely applied to various fields such as communication, radar, and electronic equipment.
【0016】そこで、本発明は、上記課題を解決して、
所望の出力及び周波数を持つマイクロ波を効率良く取り
出すことができる汎用性の高い平板型マグネトロンを提
供することを目的とする。Therefore, the present invention solves the above problems,
It is an object of the present invention to provide a highly versatile plate magnetron capable of efficiently extracting microwaves having a desired output and frequency.
【0017】[0017]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、第1の発明は、電子を発生する陰極と、複数のベイ
ンを同一ピッチで設けた陽極と、前記陰極と前記陽極に
挟まれた作用空間に均一磁界を形成する磁石部と、前記
作用空間の両側に相対向して前記均一磁界の方向に垂直
に配置された電極とを有する平板型マグネトロンにおい
て、前記磁石部は前記作用空間に形成する磁界強度を可
変することを特徴とする。According to a first aspect of the present invention, a cathode for generating electrons, an anode having a plurality of vanes provided at the same pitch, and a cathode sandwiched between the cathode and the anode are provided. In a flat-type magnetron having a magnet portion that forms a uniform magnetic field in the working space, and electrodes disposed on opposite sides of the working space and perpendicular to the direction of the uniform magnetic field, the magnet portion is located in the working space. The strength of the magnetic field to be formed is varied.
【0018】また、第2の発明は、前記磁石部が、前記
作用空間の両側に相対向して配置されたポールピース
と、該ポールピースとヨークに密着され磁気的に結合し
ている磁石とを備え、前記磁石は、移動できることを特
徴とする。According to a second aspect of the present invention, there is provided a pole piece in which the magnet portion is disposed on both sides of the working space so as to face each other, and a magnet which is in close contact with the pole piece and the yoke and is magnetically coupled. Wherein the magnet is movable.
【0019】また、第3の発明は、前記ポールピース
が、その長さを変えることができることを特徴とする。The third invention is characterized in that the length of the pole piece can be changed.
【0020】また、第4の発明は、前記ヨークが、その
長さを変えることができることを特徴とする。A fourth aspect of the present invention is characterized in that the length of the yoke can be changed.
【0021】また、第5の発明は、前記電極には、正及
び負の電位を選択的に印加できることを特徴とする平板
型マグネトロン。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a flat-type magnetron wherein a positive and a negative potential can be selectively applied to the electrode.
【0022】このため、電極の電位の変化に応じて出力
を可変にし、また磁石間距離の変化に応じて周波数を可
変にすることができ、さらに電極に正の電位を印加する
ことで発振の妨げとなる電子を作用空間から除外するこ
とができる。For this reason, the output can be made variable in accordance with the change in the potential of the electrode, the frequency can be made variable in accordance with the change in the distance between the magnets, and oscillation of the oscillation can be achieved by applying a positive potential to the electrode. Interfering electrons can be excluded from the working space.
【0023】[0023]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図1は、本発明に係わる平
板型マグネトロンの断面図である。図1に示すように、
この平板型マグネトロンは、陽極11、ベイン12、陰
極13、ポールピース14、ヨーク15、磁石16及び
エンドハット20からなる。垂直方向に配置された該陽
極11及び陰極13で挟まれる空間が作用空間18とな
る。作用空間18の水平方向の両側端には、正、負の電
位を与える電極すなわちエンドハット20を相対向して
配置し、両エンドハット20のさらに側方に、作用空間
18に必要な磁界を発生させるポールピース14を相対
向して配置する。このホールピース14のさらに側方に
磁石16を配置する。磁石16はヨーク15を備え、ヨ
ーク15は陽極11と接している。作用空間18に磁界
を形成するのは、磁石16、ポールピース14及びヨー
ク15であり、これらは磁気的に結合しており、これら
をまとめて磁石部とする。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view of a flat-type magnetron according to the present invention. As shown in FIG.
The flat magnetron includes an anode 11, a vane 12, a cathode 13, a pole piece 14, a yoke 15, a magnet 16, and an end hat 20. The space between the anode 11 and the cathode 13 arranged in the vertical direction is the working space 18. Electrodes for giving positive and negative potentials, that is, end hats 20 are disposed opposite to each other at both ends in the horizontal direction of the working space 18, and a magnetic field required for the working space 18 is provided on the side of both end hats 20. The pole pieces 14 to be generated are arranged to face each other. The magnet 16 is arranged further to the side of the hole piece 14 . The magnet 16 has a yoke 15, which is in contact with the anode 11. What forms the magnetic field in the working space 18 is the magnet 16, the pole piece 14, and the yoke 15, which are magnetically coupled, and collectively form a magnet portion.
【0024】ここで、磁石16はハウジングの側面に張
り付けられ、フェライト磁石からなる。ヨーク14は、
陽極損により発生する熱を逃がす放熱板の役割を兼ねて
いるため、亜鉛メッキを行った鉄を材料とする。また、
この平板型マグネトロンは、作用空間18の磁界強度に
影響を与える磁石部の隙間(磁石部間距離)を可動とす
べく、ポールピースト14及びヨーク15を蛇腹状にし
て、磁石部間距離を20mmの範囲で可変する。磁石1
6もそれに合わせて可動できるようにしている。なお、
陽極11は、特願平7−181367号に示す平板型マ
グネトロン用陽極の製造方法を用いて作成したものであ
る。Here, the magnet 16 is attached to the side surface of the housing and is made of a ferrite magnet. The yoke 14
Since it also serves as a radiator plate for dissipating heat generated by anode loss, it is made of zinc-plated iron. Also,
In order to make the gap (distance between the magnet parts) of the magnet part which influences the magnetic field strength of the working space 18 movable, the flat magnetron has the pole piece 14 and the yoke 15 formed in a bellows shape to reduce the distance between the magnet parts. It is variable within a range of 20 mm. Magnet 1
6 can be moved accordingly. In addition,
The anode 11 was prepared by using the method for manufacturing a flat magnetron anode disclosed in Japanese Patent Application No. 7-181367.
【0025】次に、この平板型マグネトロンの動作概要
について説明する。まず最初に、ポールピース14及び
ヨーク15の蛇腹を操作して所望の磁石部間距離に設定
すると、作用空間18上に所望の磁界が形成される。こ
こで、エンドハット20に電圧を印加すると、陰極13
から電子が飛び出す。Next, an outline of the operation of the flat type magnetron will be described. First, when the bellows of the pole piece 14 and the yoke 15 are operated to set a desired distance between the magnet parts, a desired magnetic field is formed on the working space 18. Here, when a voltage is applied to the end hat 20, the cathode 13
Electrons jump out of the device.
【0026】そして、飛び出した電子は、この磁界の影
響を受けて作用空間18をサイクロイド運動をしながら
進み、かかる電子から、空胴共振器にエネルギーが付与
され、高周波電界が発生する。このため、磁石間距離す
なわちポールピース14及びヨーク15の操作量に対応
する周波数及び出力を持つマイクロ波が取り出されるこ
とになる。The ejected electrons travel under the influence of the magnetic field in the action space 18 while performing cycloidal motion, and energy is applied to the cavity from the electrons to generate a high-frequency electric field. Therefore, a microwave having a frequency and an output corresponding to the distance between the magnets, that is, the operation amounts of the pole piece 14 and the yoke 15 is extracted.
【0027】図1に示す平板型マグネトロンは、エンド
ハット20に正及び負の電位を選択的に印加できるよう
にし、また、磁石16を可動にするとともに、ヨーク長
及びポールピース長を可変にして、所望の出力及び周波
数を得ることができるよう構成している。すなわち、こ
の平板型マグネトロンは、エンドハット20に正の電位
を印加して発振の妨げとなる電子を作用空間から除去す
るとともに、かかる電位を変化させることによって出力
を操作している。The flat-type magnetron shown in FIG. 1 allows the positive and negative potentials to be selectively applied to the end hat 20, makes the magnet 16 movable, and makes the yoke length and the pole piece length variable. , And a desired output and frequency can be obtained. That is, in the flat-type magnetron, a positive potential is applied to the end hat 20 to remove electrons that hinder oscillation from the working space, and the output is manipulated by changing the potential.
【0028】また、磁石16を可動にするとともに、蛇
腹状のポールピース14及びヨーク15を用いてヨーク
長及びポールピース長を可変にすることにより、磁石部
間距離を変化させ、もって周波数を操作する。The magnet 16 is made movable and the yoke length and the pole piece length are made variable using the bellows-like pole piece 14 and yoke 15, thereby changing the distance between the magnet parts and controlling the frequency. I do.
【0029】具体的には、陽極電圧を100V、陽極−
ソール間の距離を0.5mm、磁界強度を1360Ga
uss(磁石間距離30mm)、エンドハット電位を−
10V、エミッション電流を2.1Aとした場合には、
発振出力160W(2.5GHz)を得ることができ
る。Specifically, the anode voltage is set to 100 V,
The distance between the soles is 0.5 mm and the magnetic field strength is 1360 Ga
uss (distance between magnets 30 mm), end-hat potential-
When 10V and emission current are 2.1A,
An oscillation output of 160 W (2.5 GHz) can be obtained.
【0030】そして、この磁界強度を1090Gaus
sに変化させると、3.1GHz〜5.1GHzの周波
数で3W〜7Wの発振出力が得られる。また、エンドハ
ット部20に+10Vの電位をかけると、3.1GHz
〜5.1GHzの周波数で10W〜20Wと前者に比較
して3倍の発振出力が得られる。Then, the magnetic field strength is set to 1090 Gauss.
When it is changed to s, an oscillation output of 3 W to 7 W is obtained at a frequency of 3.1 GHz to 5.1 GHz. When a potential of +10 V is applied to the end hat section 20 , 3.1 GHz
At a frequency of up to 5.1 GHz, an oscillation output of 10 W to 20 W is obtained, which is three times that of the former.
【0031】[0031]
【発明の効果】以上詳細に説明したように、第1〜4の
発明は、前記磁石部は前記作用空間に形成する磁界強度
を可変することができるように構成するので、磁界強度
の可変によって発振周波数を可変できる。特に、磁石、
ポールピース長あるいはヨーク長を可変して、磁石部間
の距離の変化に応じて磁界強度を可変し、周波数を可変
にすることができる。As described above in detail, according to the first to fourth aspects of the present invention, the magnet portion is configured to be capable of changing the magnetic field intensity formed in the working space. The oscillation frequency can be varied. In particular, magnets,
By varying the pole piece length or the yoke length, the magnetic field strength can be varied according to the change in the distance between the magnet parts, and the frequency can be varied.
【0032】また、第5の発明は、電極に正及び負の電
位を印加するよう構成したので、該電極に正の電位を印
加することで発振の妨げとなる電子を作用空間から除外
することが可能となる。According to the fifth aspect of the present invention, since the positive and negative potentials are applied to the electrodes, by applying a positive potential to the electrodes, the electrons which hinder the oscillation can be excluded from the working space. Becomes possible.
【図1】本発明に係わる平板型マグネトロンの断面図で
ある。FIG. 1 is a cross-sectional view of a flat-type magnetron according to the present invention.
【図2】従来の円筒型マグネトロンの構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram of a conventional cylindrical magnetron.
【図3】従来の平板型マグネトロンの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a conventional flat-type magnetron.
【図4】従来の平板型マグネトロンの斜視図である。FIG. 4 is a perspective view of a conventional flat-type magnetron.
11 陽極 12 ベイン 13 陰極 14 ポールピース 15 ヨーク 16 磁石 20 エンドハット DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Anode 12 Bain 13 Cathode 14 Pole piece 15 Yoke 16 Magnet 20 End hat
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平8−162030(JP,A) 特開 平8−78153(JP,A) 実開 昭54−129961(JP,U) 実開 昭52−32263(JP,U) 実開 昭51−162030(JP,U) 特許122945(JP,C2) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01J 23/10 H01J 23/05 Continuation of the front page (56) References JP-A-8-162030 (JP, A) JP-A-8-78153 (JP, A) JP-A 54-129961 (JP, U) JP-A 52-32263 (JP U.S. Pat. No. 5,162,030 (JP, U) Patent 122945 (JP, C2) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H01J 23/10 H01J 23/05
Claims (4)
同一ピッチで設けた陽極と、前記陰極と前記陽極に挟ま
れた作用空間に均一磁界を形成する磁石部と、前記作用
空間の両側に相対向して前記均一磁界の方向に垂直に配
置された電極とを有する平板型マグネトロンにおいて、前記磁石部は、前記作用空間の両側に相対向して配置さ
れたポールピースと、該ポールピースとヨークに密着さ
れ磁気的に結合している磁石とを備え、前記磁石を移動
可能として、 前記作用空間に形成する磁界強度を可変す
ることを特徴とする平板型マグネトロン。1. A cathode for generating electrons, an anode having a plurality of vanes provided at the same pitch, a magnet unit for forming a uniform magnetic field in a working space between the cathode and the anode, and both sides of the working space. In the flat-type magnetron having electrodes disposed so as to be opposed to each other and perpendicular to the direction of the uniform magnetic field, the magnet units are disposed to be opposed to both sides of the working space.
Pole piece and the pole piece and yoke
Moving the magnet
A flat-type magnetron , wherein the intensity of a magnetic field formed in the working space is varied.
同一ピッチで設けた陽極と、前記陰極と前記陽極に挟ま
れた作用空間に均一磁界を形成する磁石部と、前記作用
空間の両側に相対向して前記均一磁界の方向に垂直に配
置された電極とを有する平板型マグネトロンにおいて、 前記磁石部は、前記作用空間の両側に相対向して配置さ
れたポールピースと、該ポールピースとヨークに密着さ
れ磁気的に結合している磁石とを備え、前記ポールピー
スの長さを可変として、前記作用空間に形成する磁界強
度を可変することを特徴とする 平板型マグネトロン。2. A cathode for generating electrons and a plurality of vanes.
An anode provided at the same pitch, and sandwiched between the cathode and the anode
A magnet part for forming a uniform magnetic field in a separated working space;
Perpendicular to the direction of the uniform magnetic field on opposite sides of the space
In the flat-type magnetron having the electrodes disposed, the magnet units are disposed on both sides of the working space so as to face each other.
Pole piece and the pole piece and yoke
And a magnetically coupled magnet.
The magnetic field strength formed in the working space is
Flat type magnetron characterized by variable degree .
同一ピッチで設けた陽極と、前記陰極と前記陽極に挟ま
れた作用空間に均一磁界を形成する磁石部と、前記作用
空間の両側に相対向して前記均一磁界の方向に垂直に配
置された電極とを有する平板型マグネトロンにおいて、 前記磁石部は、前記作用空間の両側に相対向して配置さ
れたポールピースと、該ポールピースとヨークに密着さ
れ磁気的に結合している磁石とを備え、前記ヨークの長
さを可変として、前記作用空間に形成する磁界強度を可
変することを特徴とする 平板型マグネトロン。3. A cathode for generating electrons and a plurality of vanes.
An anode provided at the same pitch, and sandwiched between the cathode and the anode
A magnet part for forming a uniform magnetic field in a separated working space;
Perpendicular to the direction of the uniform magnetic field on opposite sides of the space
In the flat-type magnetron having the electrodes disposed, the magnet units are disposed on both sides of the working space so as to face each other.
Pole piece and the pole piece and yoke
And a magnet that is magnetically coupled to the yoke.
The strength of the magnetic field formed in the working space
A flat plate type magnetron characterized by changing.
同一ピッチで設けた陽極と、前記陰極と前記陽極に挟ま
れた作用空間に均一磁界を形成する磁石部と、前記作用
空間の両側に相対向して前記均一磁界の方向に垂直に配
置された電極とを有する平板型マグネトロンにおいて、 前記電極には、正及び負の電位を選択的に印加できるこ
とを特徴とする 平板型マグネトロン。4. A cathode for generating electrons and a plurality of vanes.
An anode provided at the same pitch, and sandwiched between the cathode and the anode
A magnet part for forming a uniform magnetic field in a separated working space;
Perpendicular to the direction of the uniform magnetic field on opposite sides of the space
And a plate-type magnetron having an electrode disposed thereon, and a positive and a negative potential can be selectively applied to the electrode.
A flat-type magnetron characterized by the following .
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