KR101294784B1 - 연속 섬유 및 ｆａｂｒｉｃ용 상온·상압 연속 플라즈마 처리 장치 및 이를 이용한 플라즈마 처리 방법 - Google Patents

연속 섬유 및 ｆａｂｒｉｃ용 상온·상압 연속 플라즈마 처리 장치 및 이를 이용한 플라즈마 처리 방법 Download PDF

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Abstract

연속 섬유 및 fabric 용 상온·상압 연속 플라즈마 처리 장치 및 이를 이용한 플라즈마 처리 방법을 개시한다. 상기 연속 섬유 및 fabric 용 상온·상압 연속 플라즈마 처리 장치는 외부의 캐리어 가스가 버블러(bubbler) 내의 단위체(monomer) 액체와 혼합하여 단위체(monomer)의 혼합가스를 생성하는 혼합 챔버 및 상기 혼합 챔버로부터 생성된 단위체의 혼합가스가 내부로 유입되며, 전원 공급으로 2개의 전극 플레이트 간에 발생되는 플라즈마에 의해 연속적으로 상기 단위체 혼합가스를 연속 섬유 표면에 처리하는 플라즈마 처리 챔버를 포함하며, 상기 플라즈마 처리 챔버는 상기 연속 섬유의 움직임을 조절하는 적어도 2개 이상의 드럼 롤러를 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

연속 섬유 및 ｆａｂｒｉｃ용 상온·상압 연속 플라즈마 처리 장치 및 이를 이용한 플라즈마 처리 방법{Continuous Plasma polymerizing apparatus at Room Temperature and Atmospheric pressure and Method therefor for continuous fiber and fabric}
본 발명은 플라즈마 처리 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 연속 섬유 및 fabric 용 상온·상압 연속 플라즈마 처리 장치 및 이를 이용한 플라즈마 처리 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 섬유에 대한 플라즈마 처리는 챔버(chamber) 안에서 고온, 고압, 진공 하에서 이루어져 왔기 때문에 생산성 등의 심각한 문제로 별로 사용되지 않았다. 코로나(corona) 플라즈마라는 저렴하지만 저급인 플라즈마 장치가 존재하지만 그 효율성이 낮아 응용이 안 되고 있는 실정이다.
이러한 문제를 해결하기 위해 상온·상압에서 진공 없이 연속으로 플라즈마 처리를 할 수 있는 장치가 본 발명품이다. 상온에서 플라즈마를 발생시킬 수 있는 전극플레이트 사이에 섬유가 통과하면서 플라즈마 처리가 되는데 여기에 모노머(monomer) 기체를 같이 통과시키면 그 모노머(monomer)가 섬유 표면에 증착 된다.
버블러(bubbler)에 있는 모노머(monomer)에 헬륨을 통과시켜 형성된 헬륨과 모노머(monomer)가 혼합된 기체를 이용하여 연속 섬유 표면을 플라즈마 처리하도록 하는 것이다.
또한 전극플레이트 사이에 발생하는 플라즈마 밀도(density)는 코로나 플라즈마에 비해 월등히 높기 때문에 훨씬 효율적이다.
모노머(Monomer)의 종류는 복합재료의 수지 메트릭스 종류에 따라 선택을 하는데 polypropylene인 경우에는 hexamethyldisloxane이 가장 적합하며 수지가 polylactic Acid인 경우에는 arcrylic acid가 가장 적합하다.
대기압 글로우 방전(Atmospheric glow discharge: AGD)은 KHz 주파수 범위에서 고전압 RF 주파수 사용에 의해 산업 플라즈마 소스로 개발되었다.
이는 다양한 가스들과 함께 대기압에서 안정적 상태의 글로우 방전 발생을 가능하게 한다.
RF 주파수는 대기압 글로우 방전이 발생할 수 있도록 제한된 범위 내에 세팅되어야만 한다.
만약, 상기 RF 주파수의 범위가 너무 낮다면, 상기 방전은 개시되지 않을 것이며, 상기 플라즈마는 상기 전극 플레이트들 사이에서 필라멘트 방전형태가 되거나 또는 아크 방전 형태로 변형될 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 상기한 바와 같이 본 발명에 따른 연속 섬유 및 fabric 용 상온·상압 연속 플라즈마 처리 장치 및 이를 이용한 플라즈마 처리 방법에 의하면, 상온, 상압에서 섬유 표면을 플라즈마 처리함으로서 섬유강화복합재료 성형시 섬유와 수지와의 접착력을 크게 향상시킬 수 있고, 흡습을 하는 종류의 섬유인 경우에는 커플링제(coupling agent)를 사용한 경우보다 흡습을 크게 억제시킬 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 연속 섬유 및 fabric 용 상온·상압 연속 플라즈마 처리 장치는 외부로부터 캐리어 가스를 주입받아, 내부에 수용된 단위체(monomer)와 반응하여 생성된 단위체(monomer)의 혼합가스를 제공하는 혼합 챔버; 및 상기 혼합 챔버로부터 제공된 단위체의 혼합가스를 내부로 공급받아, 전원 공급에 따라 내부에 구비된 2개의 전극 플레이트 간에 발생되는 플라즈마에 의해 연속적으로 상기 단위체 혼합가스를 내부에 제공된 연속 섬유 표면에 처리하는 플라즈마 처리 챔버를 포함하며, 상기 플라즈마 처리 챔버는 상기 연속 섬유의 움직임을 조절하는 적어도 2개 이상의 드럼 롤러를 구비하며, 상기 혼합 챔버는, 외부로부터 제공되는 캐리어 가스를 내부에 수용된 상기 단위체(monomer) 내로 주입하도록 길게 형성된 캐리어 가스 유입구; 내부에서 생성된 상기 혼합가스를 상기 플라즈마 처리 챔버 내로 유입되도록 형성된 혼합 가스 배출구를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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본 발명의 연속 섬유 및 fabric 용 상온·상압 연속 플라즈마 처리 장치 및 이를 이용해서 섬유 표면을 플라즈마 처리함으로서 섬유강화복합재료 성형시 섬유와 수지와의 접착력을 크게 향상시킬 수 있고, 흡습을 하는 종류의 섬유인 경우에는 커플링제(coupling agent)를 사용한 경우보다 흡습을 크게 억제시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 상온·상압 연속 플라즈마 처리 장치의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 상온·상압 연속 플라즈마 처리 방법을 나타낸 플로우 챠트이다.
도 3은 도 2에 도시된 제1단계를 보다 구체적으로 나타낸 플로우 챠트이다.
도 4는 도 2에 도시된 제2단계를 보다 구체적으로 나타낸 플로우 챠트이다.
도 5는 본 발명에서 발생되는 AGD(atmospheric glow discharge) 플라즈마를 보여주는 예시도이다.
도 6은 종래의 코로나 discharge 플라즈마를 보여주는 예시도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명센서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명센서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명센서에 기재된 "~부","~기" 등의 용어는 적어도 하나의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이는 하드웨어나 소프트웨어 또는 하드웨어 및 소프트웨어의 결합으로 구현될 수 있다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 도면에 기재된 내용을 참조하여야 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 분말용 상온·상압 연속 플라즈마 처리 장치의 구성도이다.
도 1에 도시된 바와같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 상온·상압 연속 플라즈마 처리 장치는 혼합 챔버(20), 플라즈마 처리 챔버(10)를 포함한다.
상기 혼합 챔버(20)는 외부로부터 캐리어 가스(carrier gas)를 공급받아 버블러(bubbler) 내의 단위체(monomer: 30) 액체와 혼합하여 단위체(monomer: 30)의 혼합가스를 생성한다.
상기 플라즈마 처리 챔버(10)는 상기 혼합 챔버(20)로부터 생성된 단위체의 혼합가스가 내부로 유입되며, 전원 공급으로 2개의 전극 플레이트인 제1 전극 플레이트(70) 및 제2 전극 플레이트(80) 간에 발생되는 플라즈마에 의해 연속적으로 상기 단위체 혼합가스를 연속 섬유 표면에 처리한다.
또한, 상기 단위체 혼합가스를 연속 섬유 표면에 처리하기 전에 외부로부터 헬륨가스를 공급받아 연속 섬유 표면을 라이트 에칭 처리할 수 있다.
상기 플라즈마 처리 챔버(10)는 상기 연속 섬유의 움직임을 조절하는 적어도 2개 이상의 드럼 롤러(90)를 구비하도록 구성될 수 있다.
보다 구체적으로, 상기 혼합 챔버(20)는 캐리어 가스 유입구(40) 및 혼합 가스 배출구를 포함한다.
상기 혼합 챔버(20) 내에는 단위체(monomer;30)를 수용하는 수용부를 구비할 수 있다.
상기 캐리어 가스 유입구(40)는 외부로부터 제공되는 캐리어 가스를 단위체(monomer;30)가 수용된 수용부 내로 주입하도록 길게 형성된다.
상기 혼합 가스 배출구는 상기 캐리어 가스 유입구(40)와 이격된 위치에 형성되어 상기 혼합가스를 상기 플라즈마 처리 챔버 내로 진입하도록 형성된다.
상기 플라즈마 처리 챔버(10)는 적어도 2개 이상의 드럼롤러(90), 제1 평판 플레이트(50), 제2 평판 플레이트(60), 제1 전극 플레이트(70) 및 제2 전극 플레이트(80)를 포함한다.
상기 적어도 2개 이상의 드럼롤러(90)중 어느 하나는 연속 섬유를 공급하는 역할을 하며, 다른 하나는 수용하는 역할을 한다. 상기 적어도 2개 이상의 드럼롤러(90)는 동일한 방향 및 동일한 속도로 회전하도록 외부에서 제어하는 제어부와 전기적으로 접속할 수 있다.
또한, 상기 플라즈마 처리 챔버(10)는 상기 혼합 챔버(20)에 연결되어 상기 혼합가스를 내부로 유입시켜, 상온, 상압 및 무진공 상태에서 전원 공급으로 전극 플레이트 간에 발생되는 플라즈마에 의해 연속적으로 상기 연속 섬유를 처리할 수 있다.
상기 제1 및 제2 평판 플레이트(50,60)는 상기 연속 섬유 표면의 상·하부를 지지하도록 형성된다.
상기 제1 전극 플레이트(70)는 일 측에 외부로부터 AC 전원을 공급받아 구동되며, 상기 제1 평판 플레이트(50) 상부에 이격되어 위치한다.
상기 제2 전극 플레이트(80)는 일 측에 외부로부터 AC 전원을 공급받아 구동되며, 상기 제2 평판 플레이트(60) 하부에 이격되어 위치한다.
상기 제1 평판 플레이트(50)와 제2 평판 플레이트(60)는 서로 맞대면하며 결합되며, 상기 플라즈마 처리 챔버(10)는 전원 공급으로 상기 제1 전극 플레이트(70)와 제2 전극 플레이트(80) 간에 발생되는 플라즈마에 의해 연속적으로 상기 연속 섬유 표면을 플라즈마 코팅 처리한다.
상기 제1평판 플레이트(50)와 제2평판 플레이트(60)는 상기 연속 섬유가 삽입되도록 이격되도록 배치되며, 상기 제1 및 제2 평판 플레이트(50,60) 주위에 결합공(미도시)이 형성되어, 상기 결합공에 삽입된 결합부재에 의해 서로 결합될 수도 있다.
또한, 상기 혼합 챔버(20) 내에 수용부에 수용된 단위체는 액체 또는 분말 형태로 제공된다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 상온·상압 연속 플라즈마 처리 방법을 나타낸 플로우 챠트이며, 도 3은 도 2에 도시된 제1단계를 보다 구체적으로 나타낸 플로우 챠트이며, 도 4는 도 2에 도시된 제2단계를 보다 구체적으로 나타낸 플로우 챠트이다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와같이, 상기 상온·상압 연속 플라즈마 처리 방법은 제1단계와 제2단계를 포함한다.
상기 제1단계(S10)는 상기 혼합챔버 내에 제공된 단위체(monomer)와 외부로부터 제공되는 캐리어 가스를 결합시켜 생성된 혼합가스를 플라즈마 챔버 내로 유입시키는 단계일 수 있다.
상기 제2단계(S20)는 유입된 상기 혼합가스를 공급받은 후, 상기 플라즈마 챔버 내의 중앙에 위치하는 제1 및 제2 전극 플레이트 사이로 이동시킨 후, 플라즈마가 발생되는 상기 제1 및 제2 전극 플레이트 사이에 구비된 드럼롤러로부터 연속적으로 제공되는 연속 섬유를 제공하는 단계일 수 있다.
보다 구체적으로, 상기 제1단계(S10)는 상기 캐리어 가스를 혼합 챔버 내부로 유입시키는 단계(S11); 및 상기 캐리어 가스와 상기 혼합 챔버 내부에 제공된 단위체(monomer)와의 결합으로 생성된 상기 혼합 가스를 상기 혼합 챔버 외부로 배출시키는 혼합 가스 배출단계(S12)를 포함한다.
상기 제2단계(S20)는 상기 혼합가스를 플라즈마 처리 챔버 내부로 유입시키는 혼합가스 유입 단계(S21), 상기 플라즈마 챔버에 내에 구비되며, 플라즈마가 발생된 상기 제1 및 제2 전극 플레이트 사이에, 상기 드럼롤러로부터 제공되는 연속 섬유 표면을 제공하여 플라즈마 처리하는 플라즈마 처리 단계(S22) 및 상기 플라즈마 처리 단계 후, 상기 플라즈마 챔버 내에 잔존하는 가스를 상기 플라즈마 처리 챔버 외부로 배출시키는 가스 배출단계(S23)을 포함한다.
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상기 제2단계(S20)는 상기 혼합가스 유입 단계 후, 외부로부터 캐리어 가스인 헬륨가스를 주입하여 상기 연속 섬유의 표면을 플라즈마 코팅하는 단계를 더 포함할 수 있다.
참고로, 상기 단위체(monomer,30)는 복합재료 성형시 섬유와 접착되는 수지의 메트릭스 종류에 따라 결정될 수 있다.
구체적으로, 상기 수지는 폴리프로필렌(polypropylene,PP)으로 이루어질 수 있고, 이때, 상기 단위체(monomer,30)는 헥사메틸디실옥산(hexamethyldisiloxane)으로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 수지는 폴리락트산(polylactic Acid)으로 이루어질 수 있으며, 이때, 상기 단위체(monomer,30)는 아크릴산(arcrylic acid)으로 이루어질 수 있다.
상기 혼합가스 배출구는 상기 혼합 챔버(20)의 상부에 형성되되, 상기 캐리어 가스 유입구와 이격된 위치에 형성되며 상기 혼합가스의 혼합물이 배출되는 출구이다.
한편, 본 발명의 실시 예에 따른 상온·상압 연속 플라즈마 처리 장치(10)는 상기 적어도 2개 이상의 드럼롤러(90)와 연결되는 속도제어부(미도시)를 더 포함할 수 있다.
상기 속도제어부(미도시)는 전원 공급부(미도시)의 내부에 설치되거나 개별적으로 설치될 수 있으며, 상기 적어도 2개 이상의 드럼롤러(90)의 회전속도를 조절할 수 있다.
도 5는 본 발명에서 발생되는 AGD(atmospheric glow discharge) 플라즈마를 보여주는 예시도이고, 도 6은 종래의 코로나 discharge 플라즈마를 보여주는 예시도이다.
상기 본 발명의 상온·상압 플라즈마 처리 단계에서 발생되는 플라즈마는 도 5에 도시된 바와 같으며, 플라즈마 밀도(plasma density)는 도 6에 도시된 종래의 코로나 discharge 플라즈마보다 훨씬 높으므로 섬유의 처리 접착력을 크게 향상시킬 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 따른 상온·상압 연속 플라즈마 처리 장치 및 이를 이용한 플라즈마 처리 방법을 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시 예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 당업자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 물론이다.
10: 플라즈마 처리 챔버 20: 혼합 챔버
30: 단위체(monomer) 40: 캐리어 가스 유입구
50: 제1평판 플레이트 60: 제2평판 플레이트
70: 제1전극 플레이트 80: 제2전극 플레이트
90: 드럼롤러

Claims (10)

  1. 외부로부터 캐리어 가스를 주입받아, 내부에 수용된 단위체(monomer)와 반응하여 생성된 단위체(monomer)의 혼합가스를 제공하는 혼합 챔버; 및
    상기 혼합 챔버로부터 제공된 단위체의 혼합가스를 내부로 공급받아, 전원 공급에 따라 내부에 구비된 2개의 전극 플레이트 간에 발생되는 플라즈마에 의해 연속적으로 상기 단위체 혼합가스를 내부에 제공된 연속 섬유 표면에 처리하는 플라즈마 처리 챔버를 포함하며,
    상기 플라즈마 처리 챔버는 상기 연속 섬유의 움직임을 조절하는 적어도 2개 이상의 드럼 롤러를 구비하며,
    상기 혼합 챔버는,
    외부로부터 제공되는 캐리어 가스를 내부에 수용된 상기 단위체(monomer) 내로 주입하도록 길게 형성된 캐리어 가스 유입구;
    내부에서 생성된 상기 혼합가스를 상기 플라즈마 처리 챔버 내로 유입되도록 형성된 혼합 가스 배출구를 포함하는 것을 특징으로 하는 연속 섬유 및 fabric 용 상온·상압 연속 플라즈마 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 내부에 수용된 단위체는,
    액체 또는 분말 형태인 것을 특징으로 하는 연속 섬유 및 fabric 용 상온·상압 연속 플라즈마 처리 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 플라즈마 처리 챔버는,
    적어도 2개 이상의 드럼 롤러로부터 제공되는 상기 연속 섬유 표면의 상하부를 지지하도록 상기 챔버 중앙에 형성된 제1 및 제2 평판 플레이트;
    상기 제1 평판 플레이트 상부에 이격되어 위치하며, 일 측에 전원이 공급되고 제1전극이 형성된 제1전극 플레이트; 및
    상기 제2 평판 플레이트 하부에 이격되어 위치하며, 일 측에 전원이 공급되고 제2전극이 형성된 제2전극 플레이트를 포함하되,
    상기 제1 평판 플레이트와 제2 평판 플레이트는 서로 맞대면하며 결합되며,
    상기 플라즈마 처리 챔버는 전원 공급으로 상기 제1전극 플레이트와 제2전극 플레이트 간에 발생되는 플라즈마에 의해 연속적으로 상기 연속 섬유 표면을 처리는 것을 특징으로 하는 연속 섬유 및 fabric 용 상온·상압 연속 플라즈마 처리 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 플라즈마 처리 챔버는,
    상기 연속 섬유의 표면을 플라즈마 코팅하도록 외부로부터 헬륨 가스를 공급받는 것을 특징으로 하는 연속 섬유 및 fabric 용 상온·상압 연속 플라즈마 처리 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 제1평판 플레이트와 제2평판 플레이트는,
    상기 연속 섬유가 삽입되도록 이격되도록 배치되며, 상기 제1 및 제2 평판 플레이트 주위에 결합공이 형성되어, 상기 결합공에 삽입된 결합부재에 의해 서로 결합되는 것을 특징으로 하는 연속 섬유 및 fabric 용 상온·상압 연속 플라즈마 처리 장치.
  6. 삭제
  7. 혼합 챔버 내에 제공된 단위체(monomer)와 외부로부터 제공되는 캐리어 가스를 결합시켜 생성된 혼합가스를 플라즈마 처리 챔버 내로 유입시키는 제1단계; 및
    유입된 상기 혼합가스를 공급받은 후, 상기 플라즈마 챔버 내의 중앙에 위치하는 제1 및 제2 전극 플레이트 사이로 이동시킨 후, 플라즈마가 발생되는 상기 제1 및 제2 전극 플레이트 사이에 구비된 드럼롤러로부터 연속적으로 제공되는 연속 섬유를 제공하는 제2단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 연속 섬유 및 fabric 용 상온·상압 연속 플라즈마 처리 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1단계는,
    상기 캐리어 가스를 혼합 챔버 내부로 유입시키는 단계; 및
    상기 캐리어 가스와 상기 혼합 챔버 내부에 제공된 단위체(monomer)와의 결합으로 생성된 상기 혼합 가스를 상기 혼합 챔버 외부로 배출시키는 혼합 가스 배출단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 연속 섬유 및 fabric 용 상온·상압 연속 플라즈마 처리 방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 제2단계는,
    상기 혼합가스를 플라즈마 처리 챔버 내부로 유입시키는 혼합가스 유입 단계;
    상기 플라즈마 챔버에 내에 구비되며, 플라즈마가 발생된 상기 제1 및 제2 전극 플레이트 사이에, 상기 드럼롤러로부터 제공되는 연속 섬유 표면을 제공하여 플라즈마 처리하는 플라즈마 처리 단계; 및
    상기 플라즈마 처리 단계 후, 상기 플라즈마 챔버 내에 잔존하는 가스를 상기 플라즈마 처리 챔버 외부로 배출시키는 가스 배출단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 연속 섬유 및 fabric 용 상온·상압 연속 플라즈마 처리 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제2단계는,
    상기 혼합가스 유입 단계 후, 외부로부터 캐리어 가스인 헬륨가스를 주입하여 상기 연속 섬유의 표면을 플라즈마 코팅하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 연속 섬유 및 fabric 용 상온·상압 연속 플라즈마 처리 방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200098069A (ko) * 2019-02-11 2020-08-20 한국기초과학지원연구원 질화붕소분말의 발수처리 방법 및 발수코팅된 질화붕소

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ITBO20120612A1 (it) * 2012-11-07 2014-05-08 Veneto Nanotech S C P A Procedimento per il trattamento di un substrato in fibre e macchina per attuare tale procedimento.
CN104358011B (zh) * 2014-10-21 2017-04-19 苏州大学 导电纤维的制备方法及其制备装置
KR101599494B1 (ko) * 2014-12-04 2016-03-03 한국과학기술연구원 플라즈마 방전을 이용한 탄소나노튜브섬유 제조장치, 제조방법 및 그로부터 제조된 탄소나노튜브섬유

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR910010000A (ko) * 1989-11-15 1991-06-28 김원목 플라즈마에 의한 직물표면 연속처리방법 및 장치
WO2003086031A1 (en) * 2002-04-10 2003-10-16 Dow Corning Ireland Limited An atmospheric pressure plasma assembly
WO2005089961A1 (en) * 2004-03-18 2005-09-29 The Secretary Of State Of Defence Coating of a polymer layer using low power pulsed plasma in a plasma chamber of a large volume
US20080107822A1 (en) 2006-11-02 2008-05-08 Apjet, Inc. Treatment of fibrous materials using atmospheric pressure plasma polymerization

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR910010000A (ko) * 1989-11-15 1991-06-28 김원목 플라즈마에 의한 직물표면 연속처리방법 및 장치
WO2003086031A1 (en) * 2002-04-10 2003-10-16 Dow Corning Ireland Limited An atmospheric pressure plasma assembly
WO2005089961A1 (en) * 2004-03-18 2005-09-29 The Secretary Of State Of Defence Coating of a polymer layer using low power pulsed plasma in a plasma chamber of a large volume
US20080107822A1 (en) 2006-11-02 2008-05-08 Apjet, Inc. Treatment of fibrous materials using atmospheric pressure plasma polymerization

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200098069A (ko) * 2019-02-11 2020-08-20 한국기초과학지원연구원 질화붕소분말의 발수처리 방법 및 발수코팅된 질화붕소
WO2020166921A1 (ko) * 2019-02-11 2020-08-20 한국기초과학지원연구원 질화붕소분말의 발수처리 방법 및 발수코팅된 질화붕소
KR102208451B1 (ko) * 2019-02-11 2021-01-27 한국핵융합에너지연구원 질화붕소분말의 발수처리 방법 및 발수코팅된 질화붕소

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