KR101288990B1 - Apparatus for protecting dispenser condensation and method for operating the same - Google Patents
Apparatus for protecting dispenser condensation and method for operating the same Download PDFInfo
- Publication number
- KR101288990B1 KR101288990B1 KR1020110063866A KR20110063866A KR101288990B1 KR 101288990 B1 KR101288990 B1 KR 101288990B1 KR 1020110063866 A KR1020110063866 A KR 1020110063866A KR 20110063866 A KR20110063866 A KR 20110063866A KR 101288990 B1 KR101288990 B1 KR 101288990B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- pressure
- syringe
- pressure head
- raw material
- head
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
- B05C5/0225—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work characterised by flow controlling means, e.g. valves, located proximate the outlet
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
Abstract
본 발명은 디스펜서의 액맺힘을 방지하는 장치 및 액맺힘 방지 방법에 관한 것으로서, 유리기판에 액정이나 페이스트 등의 원료물질을 도포할 때 노즐 끝단에 액맺힘이 발생되지 않도록 하는 장치 및 동작 방법에 관한 것이다. 본 발명의 실시 형태는 실린지 내부로의 공급압을 조절하는 압력조절밸브와, 실린지 내부의 원료물질의 압력 수두를 감지하는 압력수두 감지센와, 상기 감지된 압력 수두에 따라서 상기 압력조절밸브를 제어하는 압력제어장치를 포함한다. 본 발명의 실시 형태는 실린지 내부의 원료물질의 압력 수두를 감지하는 과정과, 상기 압력 수두에 대응하는 잔량 압력을 산출하는 과정과, 상기 잔량 압력을 음압력 형태로 상기 실린지 내부에 공급하는 과정을 포함한다.The present invention relates to an apparatus for preventing liquid condensation of a dispenser and a method for preventing liquid condensation. The present invention relates to an apparatus and an operation method for preventing liquid condensation from occurring at a nozzle end when a raw material such as liquid crystal or paste is applied to a glass substrate. will be. An embodiment of the present invention is a pressure control valve for adjusting the supply pressure to the inside of the syringe, a pressure head sensor to detect the pressure head of the raw material in the syringe, and the pressure control valve in accordance with the detected pressure head It includes a pressure control device for controlling. An embodiment of the present invention is to detect the pressure head of the raw material in the syringe, the process of calculating the residual pressure corresponding to the pressure head, and supplying the residual pressure to the inside of the syringe in the form of negative pressure Process.
Description
본 발명은 디스펜서의 액맺힘을 방지하는 장치 및 액맺힘 방지 방법에 관한 것으로서, 유리기판에 액정이나 페이스트 등의 원료물질을 도포할 때 노즐 끝단에 액맺힘이 발생되지 않도록 하는 장치 및 동작 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an apparatus for preventing liquid condensation of a dispenser and a method for preventing liquid condensation. The present invention relates to an apparatus and an operation method for preventing liquid condensation from occurring at a nozzle end when a raw material such as liquid crystal or paste is applied to a glass substrate. will be.
액정표시장치(LCD)는 하나의 유리기판에 복수개의 픽셀 패턴을 형성하고 대향된 다른 하나의 유리기판에 칼라필터층을 형성한 다음, 이들 두 유리기판을 합착하고, 합착된 상기 두 유리기판과 내부 밀봉제에 의해 형성된 공간에 소정의 방법으로 액정이 주입되는 방식으로 제조된다.A liquid crystal display (LCD) forms a plurality of pixel patterns on one glass substrate, forms a color filter layer on the other opposite glass substrate, and then bonds the two glass substrates together, and joins the two glass substrates together. It is produced in such a way that the liquid crystal is injected into the space formed by the sealant by a predetermined method.
상술한 액정표시장치의 제조과정에서 유리기판에 소정의 패턴으로 페이스트를 도포하는 작업은 페이스트 도포장치에 의해 이루어진다.In the manufacturing process of the above-described liquid crystal display device, the paste is applied to the glass substrate in a predetermined pattern by the paste coating device.
평판형 유리기판에 페이스트를 도포하는 도포장치는, 상부기판 및 하부기판이 각각 안치되는 스테이지, 원료물질(페이스트)이 채워진 실린지(syringe) 및 스테이지 상의 유리기판에 페이스트를 토출하는 노즐을 포함한 디스펜서, 유리기판과 노즐 사이의 갭(gap)을 측정하는 센서, 디스펜서를 승하강시키는 구동부, 디스펜서를 수평 이동시키는 이송부 및 디스펜서의 동작을 제어하는 제어부를 포함한다.A coating apparatus for applying a paste onto a flat glass substrate includes a dispenser including a stage on which an upper substrate and a lower substrate are placed, a syringe filled with a raw material (paste), and a nozzle for discharging the paste onto a glass substrate on the stage. It includes a sensor for measuring the gap (gap) between the glass substrate and the nozzle, a drive unit for lifting and lowering the dispenser, a transfer unit for moving the dispenser horizontally and a control unit for controlling the operation of the dispenser.
도포장치를 이용하여 유리기판 상에 패턴을 형성하기 위해서는 먼저, 센서를 이용하여 유리기판과 노즐 간의 갭(gap)을 측정한다. 그리고 디스펜서를 상승 또는 하강시켜, 상기 유리기판과 노즐 간의 갭(gap)을 조절한다. 이후, 노즐로부터 원료물질을 토출하면서 디스펜서를 이동시켜 원하는 형태의 페이스트 패턴을 형성한다.In order to form a pattern on the glass substrate using the coating apparatus, first, a gap between the glass substrate and the nozzle is measured using a sensor. The dispenser is raised or lowered to adjust the gap between the glass substrate and the nozzle. Thereafter, the dispenser is moved while discharging the raw material from the nozzle to form a paste pattern having a desired shape.
예를 들어, 단일 패널용 유리기판 가장자리에 페이스트 패턴을 형성하는 경우, 페이스트 패턴(20)은 도 1에 도시된 바와 같은 형상을 갖는다. 도 1에 도시된 바에 의하면, 페이스트 패턴(20)은 유리기판(10) 위 가장자리에서 유리기판(10)의 중앙을 둘러싸는 형상을 갖는다. 여기서, 페이스트 패턴(20)은 유리기판(10)의 각 코너를 제외한 가장자리 쪽에 위치하는 부위가 균일한 폭과 높이를 갖는 직선부(23)로 이루어져 있다. 그리고, 페이스트 패턴(20)은 전체에 걸쳐 균일한 폭과 높이를 갖도록 유리기판(10)의 각 코너 쪽에 위치하는 부위가 곡선부(22)로 이루어져 있다.For example, when the paste pattern is formed at the edge of the glass substrate for a single panel, the
따라서 시작점(21)을 기점으로 도포가 시작되어 직선부(23) 및 곡선부(22)를 돌아서 다시 시작점(21) 직전에 있는 종료점(24)에 도달함으로써 페이스트 패턴(20)이 이루어진다. Therefore, the
그런데, 페이스트 패턴 도포가 완료 후 다음 번째의 페이스트 패턴을 형성하기 위하여 대기 시간을 갖게 되는데, 이때, 노즐의 끝단에 액맺힘(액방울)이 발생한다. 이는 실린지의 잔량 높이에 의한 압력에 의해 노즐 하단의 원료물질이 뭉쳐 발생하는 것으로서, 원료물질의 점도에 상관없이 시간이 지나면 발생하는 현상이다.By the way, after the paste pattern application is completed, there is a waiting time to form the next paste pattern, at which time liquid droplets (drops) occur at the end of the nozzle. This is caused by the raw material at the bottom of the nozzle agglomerates by the pressure of the remaining amount of the syringe, a phenomenon that occurs over time regardless of the viscosity of the raw material.
이러한 액맺힘 현상으로 인해, 다음 번째의 페이스트 패턴의 시작점에서는 의도하지 않게 많은 원료물질이 도포되어, 결과적으로 페이스트 패턴의 높이가 전체적으로 불균일하게 되는 문제가 발생된다.Due to this liquid condensation, many raw materials are unintentionally applied at the beginning of the next paste pattern, resulting in a problem that the height of the paste pattern as a whole becomes uneven.
이러한 액맺힘을 방지하기 위하여, 잔량 압력을 고정된 값으로 유지하며 사용하거나, 노즐에서 액이 나오지 않게 유리기판의 다른면에 노즐 끝단을 닿게 하는 방식을 사용한다. 그러나, 잔량 압력을 고정된 값으로 유지할 경우에는 액사용량에 따라 액맺힘이 여전히 맺히거나 반대로 노즐 내부로 액이 빨려들어가는 문제가 있으며, 노즐 끝단을 유리기판의 면에 닿게 하는 방식은 노즐 주변을 오염시키고 나아가 노즐을 손상시키는 문제가 있다.In order to prevent such liquid condensation, the remaining pressure is maintained at a fixed value, or a method of touching the nozzle end on the other side of the glass substrate to prevent the liquid from coming out of the nozzle is used. However, when the residual pressure is kept at a fixed value, liquid condensation still forms depending on the amount of liquid used, or conversely, liquid is sucked into the nozzle, and the method of bringing the nozzle end to the surface of the glass substrate contaminates the nozzle area. And further damage the nozzle.
본 발명의 기술적 과제는 디스펜서의 노즐의 끝단에 액맺힘이 발생하지 않도록 하는데 있다. 또한 본 발명의 기술적 과제는 원료물질을 도포한 후 다음번째의 원료물질을 도포하기 이전에 디스펜서의 실린지 내부의 압력을 제어하는데 있다. 또한 본 발명의 기술적 과제는 실리지 내부의 원료물질 잔량을 고려하여 실린지 내부의 압력을 제어하는데 있다.The technical problem of the present invention is to prevent condensation from occurring at the end of the nozzle of the dispenser. In addition, the technical problem of the present invention is to control the pressure inside the syringe of the dispenser after applying the raw material and before applying the next raw material. In addition, the technical problem of the present invention is to control the pressure in the syringe in consideration of the remaining amount of raw material in the syringe.
본 발명의 실시 형태는 실린지 내부로의 공급압을 조절하는 압력조절밸브와, 실린지 내부의 원료물질의 압력 수두를 감지하는 압력수두 감지센와, 상기 감지된 압력 수두에 따라서 상기 압력조절밸브를 제어하는 압력제어장치를 포함한다.An embodiment of the present invention is a pressure control valve for adjusting the supply pressure to the inside of the syringe, a pressure head sensor to detect the pressure head of the raw material in the syringe, and the pressure control valve in accordance with the detected pressure head It includes a pressure control device for controlling.
본 발명의 실시 형태는 실린지 내부의 원료물질의 압력 수두를 감지하는 과정과, 상기 압력 수두에 대응하는 잔량 압력을 산출하는 과정과, 상기 잔량 압력을 음압력 형태로 상기 실린지 내부에 공급하는 과정을 포함한다.An embodiment of the present invention is to detect the pressure head of the raw material in the syringe, the process of calculating the residual pressure corresponding to the pressure head, and supplying the residual pressure to the inside of the syringe in the form of negative pressure Process.
상기 잔량 압력을 산출하는 과정은, 보정 상수값은 물의 비중을 '1'이라 할 때 이와 대비되는 원료물질의 비중을 나타낸 상수값이며, 물 1mm에 해당하는 압력값은 0.0001[kgf/cm2]이며, 단위 환산 상수값은 압력값인 kgf/cm2 단위를 kPa 단위로 바꾸는 환산값으로서 98.0665이며, H는 실린지내 원료물질의 압력 수두라 할 때, 잔량 압력[kPa] = 보정 상수값 × 물 1mm에 해당하는 압력값[kgf/cm2] × 단위환산 상수값 × H[mm] 에 의해 산출한다.The process of calculating the residual pressure, the correction constant value is a constant value showing the specific gravity of the raw material material in contrast to the specific gravity of water '1', the pressure value corresponding to 1mm of water is 0.0001 [kgf / cm 2 ] The unit conversion constant value is 98.0665 which converts the pressure value kgf / cm 2 unit into kPa unit, and H is the residual pressure [kPa] = correction constant value × water when the pressure head of the raw material in the syringe is used. It calculates by the pressure value [kgf / cm < 2 > x unit conversion constant value x H [mm] corresponding to 1 mm.
본 발명의 실시 형태는 실린지 내부의 원료물질의 압력 수두를 파악하는 과정과, 상기 압력 수두에 대응하는 잔량 압력을 산출하는 과정과, 상기 잔량 압력을 음압력 형태로 상기 실린지 내부에 공급하는 과정을 포함한다.An embodiment of the present invention provides a process for determining a pressure head of a raw material in a syringe, calculating a residual pressure corresponding to the pressure head, and supplying the residual pressure to the inside of the syringe in the form of a negative pressure. Process.
본 발명의 실시 형태에 따르면 디스펜서의 노즐의 끝단에 액맺힘의 발생을 방지할 수 있다. 또한 액맺힘을 방지함으로써, 단위 공정 종료시마다 노즐의 클리닝 작업을 필요로 하지 않아 작업 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 액맺힘으로 인한 원료물질 도포의 불균일을 개선시킬 수 있다. 또한, 원료물질의 도포의 균일성 향상으로 인한 품질 향상을 이룰 수 있다.According to embodiment of this invention, generation | occurrence | production of liquid condensation can be prevented at the tip of the nozzle of a dispenser. In addition, by preventing the liquid condensation, it is not necessary to clean the nozzle at the end of each unit process, thereby improving work efficiency. In addition, it is possible to improve the nonuniformity of the application of the raw material due to the liquid condensation. In addition, it is possible to achieve quality improvement due to improved uniformity of the application of the raw material.
도 1은 단일 패널용 유리기판 가장자리에 페이스트 패턴을 형성하는 모습을 도시한 그림이다.
도 2는 페이스트 도포장치의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따라 실린지 노즐의 액맺힘을 방지하는 장치를 간략하게 도시한 그림이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따라 원료물질의 압력 수두에 따른 압력값을 산출한 후 이에 따라 실린지 내 압력을 조절하는 과정을 도시한 플로차트이다.
도 5는 원료물질의 응력에 의해 실린저 내부벽을 따라 원료물질이 응집되어 있는 모습을 도시한 그림이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따라 압력 수두별 잔량 압력을 테이블에서 추출한 후 실린지 내 압력을 조절하는 과정을 도시한 플로차트이다.FIG. 1 is a view illustrating a paste pattern formed on an edge of a glass panel for a single panel.
2 is a perspective view of a paste coating device.
Figure 3 is a simplified view of the device for preventing the liquid condensation of the syringe nozzle according to an embodiment of the present invention.
4 is a flowchart illustrating a process of calculating a pressure value according to a pressure head of a raw material according to an embodiment of the present invention and adjusting the pressure in the syringe accordingly.
FIG. 5 is a view showing a state in which raw materials are aggregated along the inner wall of the cylinder due to the stress of the raw materials.
6 is a flowchart illustrating a process of adjusting the pressure in the syringe after extracting the residual pressure for each pressure head from the table according to an embodiment of the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 더욱 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. It will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, It is provided to let you know. Wherein like reference numerals refer to like elements throughout.
도 2는 페이스트 도포장치의 사시도이다.2 is a perspective view of a paste coating device.
이하, 설명에서는 디스펜서의 예로서 페이스트 도포장치를 예로 들어 설명하겠으나, 페이스트 도포장치 뿐만 아니라 액정 도포장치와 같이 다양한 원료물질 도포장치에도 적용될 수 있음은 자명할 것이다.In the following description, a paste coating device will be described as an example of a dispenser, but it will be apparent that the present invention can be applied to various raw material coating devices such as a liquid crystal coating device as well as a paste coating device.
본 발명의 실시예에 따른 도포장치는 유리기판이 안치되는 스테이지(30;stage), 스테이지(30)상의 유리기판(10;substrate)에 원료물질을 토출하여 페이스트 패턴(20)을 형성하는 노즐(130)을 가진 디스펜서(100)를 포함한다.According to an embodiment of the present invention, a coating apparatus may include: a
기판(S)은 액정 표시 패널에 사용되는 상부기판 및 하부기판 중 어느 하나일 수 있다. 이때, 상부기판에는 도시되지는 않았지만 예를 들어, 컬러 필터와 공통 전극이 형성되어 있고, 하부기판에는 예를 들어 복수의 박막 트런지스터와 화소 전극이 형성되어 있다. 그리고 상부기판과 하부기판을 접합시켜 액정 표시 패널을 제작할 때, 상기 상부기판과 하부기판 간의 통전을 위하여 상부기판 및 하부기판 중 어느 하나에 금속 페이스트로 이루어진 복수의 패턴(P;Pattern)을 형성하는 것이 바람직하다. 실시예에서는 디스펜서의 실린지(실린지) 내에 저장되어 유리기판(S) 상에 도포되는 원료물질로 은(Ag) 페이스트를 사용한다.The substrate S may be any one of an upper substrate and a lower substrate used in the liquid crystal display panel. At this time, although not shown in the upper substrate, for example, a color filter and a common electrode are formed, and in the lower substrate, for example, a plurality of thin film transistors and a pixel electrode are formed. When the upper substrate and the lower substrate are bonded to each other to form a liquid crystal display panel, a plurality of patterns (P; patterns) made of a metal paste are formed on any one of the upper substrate and the lower substrate for energizing the upper substrate and the lower substrate. It is preferable. In the embodiment, silver (Ag) paste is used as a raw material stored in a syringe (syringe) of the dispenser and applied onto the glass substrate (S).
디스펜서(100)는 이송부에 의해 X축 및 Y축 방향으로 이동하여 유리기판(S) 상에 패턴(P)을 형성한다. 이때, 모터와 레일 등의 구동수단(구동모션)을 이용하여 스테이지(stage) 및 디스펜서(100)를 이동시킨다. 물론 이외의 다양한 수단을 이용할 수 있다. 다수개의 디스펜서는 하나의 구동수단(구동모션)을 통해 이동이 이루어지며, 이러한 구동수단은 하나의 이송부의 제어를 통해 동시에 모든 디스펜서에 대한 구동이 이루어진다.The
상기에서는 디스펜서(100)가 X축 및 Y축 방향으로 수평이동하는 것으로 설명하였다. 하지만 이에 한정되지 않고, 스테이지가 X축 및 Y축 방향으로 이동하여 유리기판(10)에 원료물질을 도포할 수도 있다. 또한, 스테이지(stage)와 디스펜서(100) 모두가 X축 및 Y축 방향으로 이동하여 원료물질을 도포할 수도 있으며, 스테이지(stage)가 일축 방향으로 이동하고 디스펜서(100)는 타축 방향으로 이동하여 도포 물질을 도포할 수도 있다.In the above, the
이밖에 미도시하였지만 디스펜서는 거리센서(미도시)를 구비한다. 거리센서는 노즐(130)과 이격 설치되어 디스펜서(100)의 노즐(130)과 유리기판(10)간의 갭(gap)을 측정한다. 상기 거리센서는 거리 측정용 광을 유리기판(10)을 향하여 출력하는 발광부(미도시) 및 상기 발광부(미도시)에서 출사된 광이 수신되는 수광부(미도시)로 구성된다. 이때, 발광부(미도시)의 수광부(미도시)는 한 몸체로 이루어지는데, 소정거리 이격되어 배치되는 것이 바람직하다. 그리고 거리센서로부터 측정된 측정값을 이용하여 디스펜서(100)를 승하강시켜 유리기판(10)과 노즐(130) 간의 갭이 예를 들어, 40㎛가 되도록 조절한다.In addition, although not shown, the dispenser includes a distance sensor (not shown). The distance sensor is spaced apart from the
그런데, 페이스트 패턴 도포가 완료 후 다음 번째의 페이스트 패턴을 형성하기 위하여 대기 시간을 갖게 되는데, 이때, 노즐(130)의 끝단에 액맺힘(액방울)이 발생한다. 실린지의 잔량 높이에 의한 압력에 의해 노즐 하단의 원료물질이 뭉쳐 발생하는 것이다.By the way, after the paste pattern application is completed, there is a waiting time for forming the next paste pattern, at which time liquid droplets (drops) occur at the end of the
이러한 노즐 끝단의 액맺힘이 발생하지 않도록 하기 위하여, 본 발명의 실시예는 페이스트 도포 후에 남은 실린지 내의 원료물질 잔량을 체크하여, 잔량에 따라 액맺힘이 발생하지 않도록 하는 실린지의 내부압을 유지하는 제어를 수행한다. 도 3과 함께 설명한다.
In order to prevent the liquid condensation at the nozzle end, an embodiment of the present invention checks the remaining amount of raw material in the syringe remaining after applying the paste, and maintains the internal pressure of the syringe to prevent liquid condensation according to the remaining amount. Perform control. It demonstrates with FIG.
도 3은 본 발명의 실시예에 따라 실린지 노즐의 액맺힘을 방지하는 장치를 간략하게 도시한 그림이다.Figure 3 is a simplified view of the device for preventing the liquid condensation of the syringe nozzle according to an embodiment of the present invention.
디스펜서(100)를 구성하는 헤드 유니트(120)에 원료물질이 채워진 실린지(120)가 장착되고, 실린지의 아래에 노즐(130)이 장착된다. 실린지(120)에 채워진 원료물질은 노즐(130)을 통하여 외부로 토출되고, 이로 인하여 스테이지 위에 놓인 유리기판(10)에 페이스트 패턴이 형성된다.The
실린지 내의 압력을 제공하는 압력공급탱크(200)가 구비되며, 상기 압력공급탱크(200)와 실린지(110)를 연결하는 압력공급관(450)이 구비된다. 압력공급관(450)에는 압력공급탱크(200)로부터 실린지(110)로 공급되는 기체의 압력을 조절하는 압력 조절밸브(400)가 마련된다.A
상기 압력공급탱크(200)는, 진공압을 공급하는 VACUMM모듈(210), 대기압을 공급하는 ATM모듈(220), 압축공기를 공급하는 CDA모듈(230)이 단위모듈로서 구비되어 있다. 각 단위 모듈은 병렬형태로 각 밸브를 통해 기체공급관에 연결되어 있어, 실린지 상태를 대기압 상태, 진공상태, 특정 압력 상태로 유지하도록 할 수 있다. 참고로, 상기 CDA(Clean Dryer Air) 모듈은 압축 공기 중에포함되는 먼지, 유분, 수분 등의 오염물질(contamination)을 기준값내로 제거한 최적의 압축공기를 공급하는 모듈로서, 반도체 장비에서 N2가스압 제어와 함께 가장 많이 사용되는 압력 공급 장치이다.The
실린지(110)에는 압력수두 감지센서(111)가 구비된다. 상기 압력수두 감지센서(111)는 원료물질 도포 후에 실린지에 남아 있는 원료물질의 압력 수두를 감지한다. 압력수두 감지센서는 실린지의 내부 또는 외부에 구비될 수 있다.The
원료 물질의 압력수두를 감지하는 방식으로 압력수두 감지센서(111)를 이용하였지만, 이에 한정되지 않고 다양한 방식이 적용될 수 있는데, 예를들어, 실린지의 노즐을 통해 토출되는 원료물질의 용량에 토출시간을 곱함으로써 산출된 전체 토출된 용량을 기준으로 압력 수두를 산출할 수 있다.Although the
상기 압력 수두(pressure head , 壓力水頭)란, 유수(流水)가 갖는 압력의 크기를 높이로 나타내는 단위로서, 압력 크기를 물의 높이로서 표시한다. 즉, 압력을 ρkg/m2 물의 단위 체적 중량을 γkg/m3라고 하면, 압력 수두 h=p/γ 의 관계가 있으며, 압력 수두는 이러한 길이의 단위로 표시된다. 예컨대, 압력 수두 10m는 약 1kg/cm에 해당한다.The said pressure head is a unit which shows the magnitude | size of the pressure which flow water has as a height, and displays a magnitude of pressure as a height of water. That is, if the pressure is the unit volume weight of ρkg / m 2 water is γkg / m 3 , there is a relationship of the pressure head h = p / γ, and the pressure head is expressed in units of this length. For example, a pressure head of 10 m corresponds to about 1 kg / cm.
압력제어장치(300)는 실린지(111)를 통해 감지된 원료물질의 압력 수두를 고려하여 실린지 내의 압력을 음압력으로 제어 조절한다. 페이스트 패턴 도포는, 초기에 실린지내 원료물질이 꽉찬 상태에서, 페이스트 패턴 작업 후에는 실린지 내의 원료물질이 토출되어 실린지 내의 원료물질 압력이 초기와 다른 상태를 갖게 된다. 즉, 페이스트 도포 전의 상태와 페이스트 도포 후에는, 실린지 내에 압력 수두 차이가 발생하게 된다.The
따라서 페이스트 도포 전에는 원료물질이 실린지 내에 전체 채워져 있는 초기 상태의 압력 수두를 갖는데 반해, 페이스트 도포 후에는 초기 상태의 압력 수두가 아닌 다른 압력 수두를 갖게 된다. 따라서 초기 상태의 압력 수두를 참고하여, 음압력을 유지한다면 노즐 끝단의 액맺힘이 발생하게 된다.Therefore, before the paste is applied, the raw material is filled with the initial pressure in the syringe, while after the paste is applied, it is different from the initial pressure. Therefore, if the negative pressure is maintained with reference to the pressure head in the initial state, liquid condensation occurs at the nozzle end.
따라서 본 발명의 실시예는 페이스트 도포로 인해 실린지 내의 원료물질이 토출되어 실린지 내의 압력 수두 차이가 발생하는 것을 고려하여, 이러한 압력 수두 차이를 고려하여 실린지 내의 압력을 음압력으로 되도록 압력조절 밸브를 제어하여 노즐 끝단의 액맺힘을 방지한다. 이하, 음압력이라 함은 실린지 내부의 압력을 진공 상태에서 마이너스('-') 방향으로 된 압력 상태로 하는것을 말하며, 노즐 바깥이 아닌 실린지 내부 안쪽으로 당기는 압력 힘을 말한다.Therefore, in the embodiment of the present invention, the pressure in the syringe is adjusted to a negative pressure in consideration of such a pressure head difference in consideration of the fact that the raw material in the syringe is discharged due to the paste coating to generate a pressure head difference in the syringe. The valve is controlled to prevent condensation at the tip of the nozzle. Hereinafter, the negative pressure means that the pressure inside the syringe is a pressure state in a negative ('-') direction from a vacuum state, and refers to a pressure force pulling into the inside of the syringe and not outside the nozzle.
참고로, 일반적인 vacuum모듈, CDA모듈, 압력 게이지(pressure gauge)모듈 등의 단일 압력조절 모듈을 통하여 음압력을 구현하기는 어렵다. 기존의 압력 조절 모듈은 단일 모듈로서 미세 음압으로서 제어하기는 어렵기 때문이다. 따라서, 본 발명의 실시예는 다수개의 압력 조절 모듈을 조합하여 음압력을 제공하도록 구성한다. 예를 들어, 압력제어장치는, 단일 Vacuum모듈을 통하여 Vacuum 압력을 일정하게 공급(고정)함과 동시에 단일 CDA모듈의 CDA양을 조절하여 제공함으로써, 원하는 음압력을 실린지 내부에 제공하도록 구현할 수 있다.
For reference, it is difficult to implement negative pressure through a single pressure control module such as a general vacuum module, a CDA module, and a pressure gauge module. This is because the conventional pressure regulation module is difficult to control as a single sound pressure as a single module. Accordingly, embodiments of the present invention are configured to provide a negative pressure by combining a plurality of pressure regulation modules. For example, the pressure control device can be implemented to provide a desired negative pressure inside the syringe by supplying (fixing) the vacuum pressure through a single vacuum module and adjusting and providing the CDA amount of a single CDA module. have.
도 4는 본 발명의 실시예에 따라 원료물질의 압력 수두에 따른 압력값을 산출한 후 이에 따라 실린지 내 압력을 조절하는 과정을 도시한 플로차트이다.4 is a flowchart illustrating a process of calculating a pressure value according to a pressure head of a raw material according to an embodiment of the present invention and adjusting the pressure in the syringe accordingly.
우선, 원료물질 도포가 이루어지고 난 후 대기 모드에 진입하게 되면, 실린저 내에 채워진 원료물질의 압력 수두(잔량 높이)를 감지하는 과정을 가진다(S41). 원료물질의 실린지 내의 압력 수두를 감지하는 방식으로는 공지된 다양한 방식이 적용될 수 있는데, 예컨대, 압력 수두를 측정하는 센서를 이용할 수 있다. 또는, 실린지의 노즐을 통해 토출되는 원료물질의 시간당 배출용량에 토출시간을 곱함으로써 산출된 전체 토출된 사용량을 파악한 후, 실린지의 전체 용량에서 사용량을 차감하여 압력 수두를 파악할 수 있다.First, when the raw material is applied and then enters the standby mode, it has a process of detecting the pressure head (residual height) of the raw material filled in the cylinder (S41). As a method for detecting the pressure head in the syringe of the raw material, various known methods may be applied. For example, a sensor for measuring the pressure head may be used. Alternatively, after determining the total discharged amount calculated by multiplying the discharge time by the discharge time per hour of the raw material discharged through the nozzle of the syringe, it is possible to determine the pressure head by subtracting the consumption from the total capacity of the syringe.
압력 수두를 감지(S41)한 후에는, 파악된 길이 단위의 압력 수두를 압력값 단위인 잔량 압력으로 변환 산출한다(S42). 산출 변환식은 다음과 같다.After detecting the pressure head (S41), the pressure head in the determined length unit is converted into the residual pressure in the pressure value unit (S42). The calculation formula is as follows.
[식 1][Formula 1]
잔량 압력[kPa] = 보정 상수값 × 물 1mm에 해당하는 압력값[kgf/cm2] × 단위환산 상수값 × H[mm] Residual pressure [kPa] = Correction constant value × Pressure value corresponding to 1 mm of water [kgf / cm 2 ] × Unit conversion constant value × H [mm]
상기에서 보정 상수값은 물의 비중을 '1'이라 할 때 이와 대비되는 원료물질의 비중을 나타낸 상수값이며, 물 1mm에 해당하는 압력값은 0.0001[kgf/cm2]이며, 단위 환산 상수값은 압력값인 kgf/cm2 단위를 kPa 단위로 바꾸는 환산값으로서 98.0665이며, H는 실린지내의 원료물질 압력 수두 단위이다. 따라서 잔량 압력은 보정상수값 × 0.0001 × 98.0665 × H에 의해 산출될 수 있다. 상기에서 잔량 압력이라 함은, 실린더에서 토출되고 남은 잔량 원료물질이, 실린더 내에서 아래로 미치는 압력을 말한다.In the above description, the correction constant value is a constant value indicating the specific gravity of the raw material material when the specific gravity of water is '1', and the pressure value corresponding to 1 mm of water is 0.0001 [kgf / cm 2 ], and the unit conversion constant value is It is 98.0665 which converts the pressure value kgf / cm <2> into kPa unit, and H is the head of the raw material pressure head in a syringe. Therefore, the residual pressure can be calculated by the correction constant value × 0.0001 × 98.0665 × H. In the above, the residual pressure refers to the pressure that the residual raw material material discharged from the cylinder exerts downward in the cylinder.
상기와 같이 압력 수두를 잔량 압력으로 변환 산출하면, 산출한 잔량 압력을 음압력(negative pressure) 형태로 하여 실린지 조절 압력으로서 실린지 내부에 공급한다(S43). 예를 들어, 실린지내 잔량 압력이 0.5[kPa]로 산출된 경우, 실린지 내부를 -0.5[kPa]의 실린지 조절 압력으로서 공급한다. 잔량 압력에 반대되는 마이너스 형태의 음압력으로 실린지 내부에 제공되기 때문에, 원료물질이 노즐에서 토출되지 않게 되어 노즐 끝단에 액맺힘이 발생되지 않는다. When the pressure head is converted and calculated as the residual pressure as described above, the calculated residual pressure is supplied to the inside of the syringe as the syringe adjustment pressure in the form of negative pressure (S43). For example, when the residual pressure in the syringe is calculated to be 0.5 [kPa], the inside of the syringe is supplied as a syringe adjustment pressure of -0.5 [kPa]. Since the inside of the syringe is provided with a negative pressure in the form of negative pressure as opposed to the residual pressure, the raw material is not discharged from the nozzle, and no liquid condensation occurs at the nozzle end.
대기 모드 동안 음압력을 제공하고 있다가 페이스트 패턴 도포가 다시 시작되면 음압력을 해제하여, 적절한 양압력 제어를 통해 원료물질이 노즐을 통해 토출되도록 한다.The negative pressure is released during the standby mode and the negative pressure is released when the paste pattern is applied again, so that the raw material is discharged through the nozzle through proper positive pressure control.
참고로, 계산되는 실린지 내의 잔량 압력은 플러스 형태를 가져서, 이와 반대압인 실린지 조절 압력은 0 ~ -2[kPa] 음압력(negative pressure) 형태를 가지기 때문에, 일반적인 vacuum모듈, CDA모듈, 압력 게이지(pressure gauge)모듈 등의 단일 압력조절 모듈을 통하여 음압력을 구현하기는 어렵다. 기존의 압력 조절 모듈은 단일 모듈로서 미세 음압으로서 제어하기는 어렵기 때문이다. 따라서, 본 발명의 실시예는 다수개의 압력 조절 모듈을 조합하여 음압력을 제공하도록 구성한다. 예를 들어, 압력제어장치는, 단일 Vacuum모듈을 통하여 Vacuum 압력을 일정하게 공급(고정)함과 동시에 단일 CDA모듈의 CDA양을 조절하여 제공함으로써, 원하는 음압력을 제공하도록 구현할 수 있다.
For reference, since the residual pressure in the syringe is calculated to have a positive shape and the opposite pressure of the syringe control pressure has a type of 0 to -2 [kPa] negative pressure, the general vacuum module, CDA module, and pressure It is difficult to achieve negative pressure through a single pressure control module, such as a gauge gauge module. This is because the conventional pressure regulation module is difficult to control as a single sound pressure as a single module. Accordingly, embodiments of the present invention are configured to provide a negative pressure by combining a plurality of pressure regulation modules. For example, the pressure control device may be implemented to provide a desired negative pressure by constantly supplying (fixing) the vacuum pressure through a single vacuum module and adjusting and providing the CDA amount of a single CDA module.
한편, 상기 도 4에 도시한 바와 같이 원료물질에 잔량에 따라 변화하는 실린지 내의 잔량 압력을 산출한 후, 잔량 압력의 반대값인 음압력 형태로 실린지 조절 압력으로 제공하는 것은, 점도가 낮은 원료물질에는 정확하게 적용되어 액맺힘을 방지할 수 있다.On the other hand, after calculating the residual pressure in the syringe that changes according to the residual amount in the raw material, as shown in FIG. 4, providing the syringe adjustment pressure in the form of negative pressure, which is the opposite of the residual pressure, has a low viscosity It can be applied accurately to raw materials to prevent liquid buildup.
그러나 점도가 높은 원료물질의 경우, 도 5에 도시한 바와 같이 원료물질의 응력에 의해 실린저(110) 내부의 벽을 따라 원료물질이 응집되어 있을 수 있다. 이럴 경우, 감지되는 원료물질의 실린저 내의 압력 수두(잔량 높이)가 실제의 정확한 압력 수두가 아니게 된다.However, in the case of a raw material having a high viscosity, as shown in FIG. 5, raw material may be aggregated along the inner wall of the
이러한 점을 고려하여, 압력 수두별 잔량 압력값을 도 4와 같이 산출하지 않고, 사전 설정된 잔량높이별 잔량 압력값을 음압력 형태로 실린저 내부로 공급한다. 이하, 도 6과 함께 설명한다.In consideration of this point, the residual pressure value for each residual head height is supplied to the inside of the cylinder in the form of negative pressure without calculating the residual pressure value for each pressure head as shown in FIG. 4. A description with FIG. 6 is as follows.
도 6은 본 발명의 실시예에 따라 압력 수두별 잔량 압력을 테이블에서 추출한 후 실린지 내 압력을 조절하는 과정을 도시한 플로차트이다.6 is a flowchart illustrating a process of adjusting the pressure in the syringe after extracting the residual pressure for each pressure head from the table according to an embodiment of the present invention.
우선, 실린저 내에 채워진 원료물질의 잔량에 의해 발생되는 압력 수두(잔량 높이)를 감지하는 과정을 가진다(S61).First, there is a process of detecting the pressure head (residual height) generated by the remaining amount of the raw material filled in the cylinder (S61).
압력 수두를 감지한 후에는, 감지된 압력 수두에 따라 실린지 내부의 압력으로 작용시킬 음압력을 추출한다(S63).After detecting the pressure head, the negative pressure to be applied to the pressure inside the syringe according to the detected pressure head is extracted (S63).
상기 음압력은 실린지 내의 원료물질의 압력 수두에 따라 음압력이 할당된 압력수두별 음압력 테이블에서 추출한다(S63). 상기 압력수두별 음압력 테이블은, 노즐 끝단에 액맺힘이 발생하지 않을 때의 음압력이 각 압력 수두별로 일일이 실험되어 저장되어 있는 데이터베이스 테이블이다. 이하, [표 1]에 압력수두별 음압력 테이블의 예시를 기재하였다.The negative pressure is extracted from the negative pressure table for each pressure head to which the negative pressure is assigned according to the pressure head of the raw material in the syringe (S63). The negative pressure table for each pressure head is a database table in which the negative pressure when no condensation occurs at the nozzle end is experimentally stored for each pressure head. Hereinafter, an example of the negative pressure table for each pressure head is described in [Table 1].
...
......
...
...
...
......
...
...
상기 [표 1]에 기재한 바와 같이 실린지 내의 원료물질의 잔량에 따른 압력 수두가 10[mm]인 경우, -8[kPa]의 음압력으로서 실린지 내부를 유지할 경우 상맺힘이 발생하지 않음을 알 수 있다. 이는 다수의 실험에 의하여 결정된 값으로서, 테이블화되어 관리된다.As shown in [Table 1], when the pressure head according to the remaining amount of the raw material in the syringe is 10 [mm], no crushing occurs when the inside of the syringe is maintained at a negative pressure of -8 [kPa]. It can be seen. This is a value determined by a number of experiments, which is tabulated and managed.
따라서, 파악된 압력 수두가 10[mm]인 경우, 상기 압력수두별 음압력 테이블에서 이에 할당된 -8[kPa]의 음압력을 추출하여, 추출된 음압력값으로 실린지 내부에 공급하여(S63) 노즐 끝단의 액맺힘을 방지할 수 있다.Therefore, when the determined pressure head is 10 [mm], the negative pressure of -8 [kPa] assigned thereto is extracted from the negative pressure table for each pressure head, and is supplied to the inside of the syringe with the extracted negative pressure value ( S63) Condensation at the tip of the nozzle can be prevented.
한편, 파악된 압력 수두가 압력수두별 음압력 테이블에 존재하지 않은 값일 경우, 압력 수두 차이를 고려하여 음압력을 산출하여 이용한다. 즉, 상기 감지된 압력 수두의 값이 압력수두별 음압력 테이블에 존재하지 않는 경우에는, 감지된 압력 수두에 앞뒤로 인접한 압력 수두에 할당된 두 개의 음압력을 추출하여, 두 개의 음압력의 중간값으로 상기 실린지 내부에 공급되도록 한다.On the other hand, if the identified pressure head is a value that does not exist in the negative pressure table for each pressure head, the negative pressure is calculated and used in consideration of the pressure head difference. That is, when the detected pressure head value does not exist in the negative pressure table for each pressure head, the two negative pressures assigned to the pressure heads adjacent to the detected pressure heads are extracted, and the median value of the two negative pressures is extracted. To be supplied into the syringe.
예를 들어, 파악된 압력 수두가 9[mm]인 경우, 앞에 인접한 압력 수두 10[mm]에 할당된 음압력인 -8[kPa]와, 뒤에 인접한 압력 수두 8[mm]에 할당된 음압력인 -6[kPa]의 중간값인 -7[kPa]의 음압력값으로서 실린지 내부 압력을 유지하는 제어를 수행한다.For example, if the identified pressure head is 9 [mm], the negative pressure assigned to the adjacent pressure head 10 [mm] is -8 [kPa] and the negative pressure assigned to the adjacent pressure head 8 [mm]. Control is performed to maintain the internal pressure of the syringe as a negative pressure value of -7 [kPa] which is a median value of -6 [kPa].
본 발명을 첨부 도면과 전술된 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 그에 한정되지 않으며, 후술되는 특허청구범위에 의해 한정된다. 따라서, 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 후술되는 특허청구범위의 기술적 사상에서 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 변형 및 수정할 수 있다.Although the present invention has been described with reference to the accompanying drawings and the preferred embodiments described above, the present invention is not limited thereto but is limited by the following claims. Accordingly, those skilled in the art will appreciate that various modifications and changes may be made thereto without departing from the spirit of the following claims.
100: 디스펜서 110: 실린지
120: 헤드 유니트 130: 노즐
200: 압력공급탱크 300: 압력제어장치
400: 압력조절밸브100: dispenser 110: syringe
120: head unit 130: nozzle
200: pressure supply tank 300: pressure control device
400: pressure regulating valve
Claims (10)
실린지 원료물질의 압력 수두를 감지하는 압력수두 감지센서;
상기 감지된 압력 수두에 대응하는 잔량 압력을 산출하여, 상기 잔량 압력의 음압력이 상기 실린지 내부에 공급되도록 상기 압력조절밸브를 제어하는 압력제어장치;
를 포함하는 디스펜서의 액맺힘 방지 장치.A pressure regulating valve for adjusting a supply pressure into the syringe;
A pressure head sensor for detecting a pressure head of a syringe raw material;
A pressure control device that calculates a residual pressure corresponding to the detected pressure head, and controls the pressure regulating valve such that a negative pressure of the residual pressure is supplied into the syringe;
Liquid accumulation prevention device of the dispenser comprising a.
상기 압력 수두에 대응하는 잔량 압력을 산출하는 과정;
상기 잔량 압력을 음압력 형태로 상기 실린지 내부에 공급하는 과정;
을 포함하는 디스펜서의 액맺힘 방지 방법.Detecting the pressure head of the raw material in the syringe;
Calculating a residual pressure corresponding to the pressure head;
Supplying the residual pressure into the syringe in the form of a negative pressure;
Method of preventing liquid condensation comprising a.
보정 상수값은 물의 비중을 '1'이라 할 때 이와 대비되는 원료물질의 비중을 나타낸 상수값이며, 물 1mm에 해당하는 압력값은 0.0001[kgf/cm2]이며, 단위 환산 상수값은 압력값인 kgf/cm2 단위를 kPa 단위로 바꾸는 환산값으로서 98.0665이며, H는 실린지내 원료물질의 압력 수두라 할 때,
잔량 압력[kPa] = 보정 상수값 × 물 1mm에 해당하는 압력값[kgf/cm2] × 단위환산 상수값 × H[mm] 에 의해 산출하는 디스펜서의 액맺힘 방지 방법.The method of claim 4, wherein the calculating of the residual pressure
The correction constant value is a constant value indicating the specific gravity of the raw material when the specific gravity of water is '1'. The pressure value corresponding to 1 mm of water is 0.0001 [kgf / cm 2 ], and the unit conversion constant value is the pressure value. It is 98.0665 which converts the unit of kgf / cm <2> into kPa unit, and H is the pressure head of the raw material in a syringe,
Residual pressure [kPa] = Correction constant value × Pressure value [kgf / cm 2 ] corresponding to 1 mm of water × Unit conversion constant value × H [mm] The liquid prevention method of the condensation computed.
상기 압력 수두에 할당된 음압력을 추출하는 과정;
상기 추출된 음압력을 상기 실린지 내부에 공급하는 과정;
을 포함하며, 상기 압력 수두에 할당된 음압력을 추출하는 것은, 압력수두별로 액맺힘이 발생하지 않는 음압력의 값이 설정된 압력수두별 음압력 테이블에서 상기 압력 수두에 할당된 음압력을 추출하는 디스펜서의 액맺힘 방지 방법.Detecting the pressure head of the raw material in the syringe;
Extracting a negative pressure assigned to the pressure head;
Supplying the extracted negative pressure into the syringe;
And extracting the negative pressure assigned to the pressure head, extracting the negative pressure assigned to the pressure head from the negative pressure table for each pressure head, in which a value of the negative pressure where liquid does not occur for each pressure head is set. How to prevent dripping of the dispenser.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110063866A KR101288990B1 (en) | 2011-06-29 | 2011-06-29 | Apparatus for protecting dispenser condensation and method for operating the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110063866A KR101288990B1 (en) | 2011-06-29 | 2011-06-29 | Apparatus for protecting dispenser condensation and method for operating the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20130007134A KR20130007134A (en) | 2013-01-18 |
KR101288990B1 true KR101288990B1 (en) | 2013-07-23 |
Family
ID=47837765
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020110063866A KR101288990B1 (en) | 2011-06-29 | 2011-06-29 | Apparatus for protecting dispenser condensation and method for operating the same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101288990B1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20170089156A (en) * | 2016-01-26 | 2017-08-03 | 한화테크윈 주식회사 | Apparatus for controlling fluid |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101597236B1 (en) | 2014-03-12 | 2016-02-25 | 에이피시스템 주식회사 | Apparatus for protecting dispenser condensation and method for operating the same |
KR101588383B1 (en) | 2014-05-20 | 2016-01-26 | 에이피시스템 주식회사 | Apparatus for dispensing |
EP3539674B1 (en) * | 2018-03-15 | 2020-10-14 | OMRON Corporation | Robot system and control method of robot |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR920010764B1 (en) * | 1985-12-05 | 1992-12-17 | 유우겐가이샤 아르.아이덴시 고오교오 | Liquid-sag preventive nozzle for dispenser |
JPH10128208A (en) * | 1996-11-05 | 1998-05-19 | Juki Corp | Quantitative liquid coater |
-
2011
- 2011-06-29 KR KR1020110063866A patent/KR101288990B1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR920010764B1 (en) * | 1985-12-05 | 1992-12-17 | 유우겐가이샤 아르.아이덴시 고오교오 | Liquid-sag preventive nozzle for dispenser |
JPH10128208A (en) * | 1996-11-05 | 1998-05-19 | Juki Corp | Quantitative liquid coater |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20170089156A (en) * | 2016-01-26 | 2017-08-03 | 한화테크윈 주식회사 | Apparatus for controlling fluid |
KR102484208B1 (en) | 2016-01-26 | 2023-01-04 | 한화정밀기계 주식회사 | Apparatus for controlling fluid |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20130007134A (en) | 2013-01-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8888548B2 (en) | Apparatus of dispensing liquid crystal using the ultrasonic wave | |
JP4330785B2 (en) | Liquid crystal display device manufacturing method and liquid crystal display device manufacturing apparatus | |
KR101288990B1 (en) | Apparatus for protecting dispenser condensation and method for operating the same | |
KR100505180B1 (en) | A liquid crystal dispensing apparatus with a nozzle cleaning device and a method of dispensing liquid crystal using thereof | |
JP2004199076A (en) | Dispenser for liquid crystal display panel, and method of controlling gap between nozzle and substrate by using the same | |
JP4578856B2 (en) | Liquid crystal dropping device and liquid crystal dropping method | |
JP2010279944A (en) | Paste application method and substrate having paste pattern formed by the method | |
KR102158033B1 (en) | Coating layer forming method using slit nozzle and coating apparatus | |
KR100807824B1 (en) | Paste dispenser | |
JP4921700B2 (en) | Droplet ejector and display device manufacturing method | |
KR20070074269A (en) | Dispensing head for paste dispenser | |
US20140212574A1 (en) | Liquid crystal coating apparatus and liquid crystal coating method | |
JP2008075537A (en) | Pulsation absorption device, application method and application device using same, and method for manufacturing liquid crystal display member | |
TWI660792B (en) | Method and apparatus for preventing liquid condensation in dispenser | |
JP2004167294A (en) | Functional liquid feed method and apparatus to functional liquid drop discharge head, liquid drop discharge device, electrooptical device and its production and electronic device | |
JP3965312B2 (en) | Single substrate manufacturing equipment | |
CN100456113C (en) | Bonding apparatus and system for liquid crystal display device | |
KR101011777B1 (en) | Nozzle module and Apparatus of vomiting liquid having the same | |
KR101339002B1 (en) | Apparatus and method of etching substrate | |
US8919901B2 (en) | Substrate printing device and substrate printing method | |
KR101089748B1 (en) | Method for controlling despenser appratus | |
JP4409969B2 (en) | Coating equipment | |
TWI430019B (en) | Method of manufacturing a mask blank and method of manufacturing a photomask | |
KR102084713B1 (en) | Device for printing to substrate and method for printing to substrate | |
TW201120540A (en) | Method for spraying liquid crystal and LC dispenser employing the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160608 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170621 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |