KR101286455B1 - 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치 - Google Patents

이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치에 관한 것으로, 펨토초 레이저 광원, 상기 펨토초 레이저 광원에서 출력되는 광을 확장시키기 위한 광선확장기를 포함하고, 확장된 광을 전달하는 광전달부, 2차원 패턴 또는 3차원 구조물이 형성될 광섬유를 지지하는 광섬유마운트, 상기 광전달부에서 전달된 광 초점으로부터 이광자 광중합을 일으키기 위해 커버 글라스를 통해 상기 광섬유와 접하도록 구비되는 이광자 광중합 레진, 상기 광섬유 마운트를 이송시키는 스테이지, 2차원 패턴 또는 3차원 구조물이 형성되는 광섬유를 촬영하는 카메라 및 상기 광전달부, 스테이지, 카메라를 제어하는 단말기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치{Fabrication apparatus of nano/micro structure on cross-section of optical fiber using two-photon photopolymerization}
본 발명은 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 광섬유 단면상에 2차원 패턴 및 3차원 나노 및 마이크로 구조물 제작이 가능한 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치에 관한 것이다.
도 1은 종래기술에 따른 이광자 흡수를 이용한 패턴 제작 시스템의 개략적인 구성도이다. 종래기술의 구성을 살펴보면, 3차원의 미세패턴을 형성하기 위한 장치에 있어서, 이광자 흡수를 일으킬 수 있는 펨토초 레이저를 발생하는 광원(31), 상기 펨토초레이저를 제어하는 레이저광선제어모듈(32), 상기 레이저광선제어모듈에 의해 출력된 레이저광을 확장하기 위한 레이저광선확장기(33), 상기 레이저광선확장기를 통해 확장된 레이저광에 홀로그램위상을 적용해 광변조하여 투과하는 공간광변조기(35), 투과된 변조광을 반사하여 출력하는 반사거울(36), 상기 반사거울로부터 반사된 반사광의 초점을 형성하기 위한 고개구현미경렌즈(37), 상기 초점에 의해 재생이미지가 맺히는 유리기판(39), 상기 재생이미지로부터 이광자흡수폴리머화를 일으켜 상기 유리기판에 미세패턴을 형성하기 위한 이광자흡수폴리머화 레진(40), 상기 유리기판을 Z축 이동시키는 이동스테이지 및 상기 레이저광선제어모듈의 레이저광출력 및 노출시간을 제어하고 상기 공간광변조기가 홀로그램 위상이 적용되어 광변조 되도록 제어하기 위한 제어컴퓨터(34)를 포함하고, 상기 제어컴퓨터는 퓨리에 변환을 반복적으로 수행하여 홀로그램 위상을 산출하여 상기 펨토초레이저가 홀로그램 위상만큼 광변조 되도록 상기 공간광변조기를 제어하는 것을 특징으로 한다.
이와 같이 구성되는 종래의 이광자 흡수를 이용한 3차원 패턴 형성 장치의 경우 유리기판과 같은 얇은 기판 위에서만 제작이 가능한 문제점이 있다.
[참고자료]
[문헌1] S. Kawata, H. B. Sun, T. Tanaka, K. Takada. Finer features for functional microdevices. Nature, 2001, Vol. 412, p. 697??698
[문헌2] JP 2003-001599 2003.01.08
[문헌3] K-S. Lee, P. Prabhakaran, J. Park, R. H. Kim, N. Cho. Recent Advances in Two-Photon Lithography. CIF'8 Proceeding, 2008
[문헌4] D-Y. yang, S. H. Park, T. W. Lim, H. J. Kong, S. W. Yi, H. K. Yang, K-S. Lee. Ultraprecise microreproduction of a three-dimensional artistic sculpture by multipath scanning method in two-photon photopolymerization. Applied physics letters, 2007, Vol. 90, 013113
[문헌5] KR 10-2006-0573927 2006.04.19
[문헌6] KR 10-1020149 2011.02.28
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 유리기판과 같은 얇은 투명 기판 위에서만 제작이 가능한 기존의 이광자 광중합 미세구조물 제작 장치과 달리 광섬유 단면상에 나노 및 마이크로 크기의 구조물을 원하는 형태로 자유롭게 제작하여 광섬유 성능 증대 및 광섬유 특성을 활용한 소자를 제작 할 수 있는 시스템을 제공하고자 하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 펨토초 레이저 광원, 상기 펨토초 레이저 광원에서 출력되는 광을 확장시키기 위한 광선확장기를 포함하고, 확장된 광을 전달하는 광전달부, 2차원 패턴 또는 3차원 구조물이 형성될 광섬유를 지지하는 광섬유마운트, 상기 광전달부에서 전달된 광 초점으로부터 이광자 광중합을 일으키기 위해 커버 글라스를 통해 상기 광섬유와 접하도록 구비되는 이광자 광중합 레진, 상기 광섬유 마운트를 이송시키는 스테이지, 2차원 패턴 또는 3차원 구조물이 형성되는 광섬유를 촬영하는 카메라 및 상기 광전달부, 스테이지, 카메라를 제어하는 단말기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 광전달부는, 상기 펨토초 레이저 광원에서 출력된 레이저광을 반사하여 출력하는 제 1미러, 상기 제 1미러로부터 반사된 반사광의 출력을 제어하기 위한 제 1반파장판, 상기 제 1반파장판에 의해 출력이 제어된 레이저광이 상기 광원으로 반사되는 것을 차단하는 아이솔레이터, 상기 아이솔레이터를 통과한 광의 출력을 제어하는 제 2반파장판, 상기 제 2반파장판을 통과한 레이저광의 P 편광은 투과시키고 S 편광은 반사시키는 편광빔스플리터, 상기 편광빔스플리터에서 투과된 레이저광의 경로를 변경시켜주는 하는 갈바노 셔터, 상기 광선확장기에서 확장된 레이저광의 X축 및 Y축 위치를 이동시켜주는 X, Y축 갈바노미러 스캐너, 상기 광선확장기에서 확장된 레이저광만을 반사하여 출력하는 제 2미러 및 상기 제 2미러로부터 반사된 반사광의 초점을 형성하여 상기 광섬유에 조사하는 대물렌즈를 포함하여 구성된다.
또한, 상기 광선확장기는, 상기 갈바노 셔터에서 반사되는 광을 확장시키는 제 1광선확장기와 상기 X, Y축 갈바노미러 스캐너에서 반사되는 광을 확장시키는 확장시켜 상기 제 2미러로 제공하는 제 2광선확장기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 광섬유 마운트는, X, Y, Z축 상의 이동과 2축 기울기 조절이 가능하고, 상기 광섬유를 파지하는 척을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 스테이지는, 상기 광섬유 마운트를 Z축 이동시키기 위한 PZT스테이지인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제 1광선확장기는, 상기 갈바노 셔터가 경로를 바꾸었을 때 반사광을 차단시켜 주는 핀홀을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 가공되는 상기 광섬유 단면상을 관찰하기 위한 조명광을 제공하는 조명부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 카메라를 통해 광섬유 단면을 촬영하기 위하여 상기 제 2미러를 투과하는 광을 반사시키는 제 3미러를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같이 구성되고 작용되는 본 발명은 이광자 광중합을 이용하여 광섬유 단면상에 나노 및 마이크로 크기의 구조물을 원하는 형태로 자유롭게 제작하여 광섬유 성능 증대 및 광섬유 특성을 활용한 소자를 제작 할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 종래기술에 따른 이광자 흡수를 이용한 3차원 패턴 제작 시스템의 개략적인 구성도,
도 2는 본 발명에 따른 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치의 개략적인 구성도,
도 3은 본 발명에 적용된 5축 광섬유 마운트를 도시한 개략도,
도 4는 본 발명에 적용된 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 과정을 나타낸 확대도,
도 5는 본 발명에 의해 실제 제작된 광섬유 단면상 원뿔형 탐침의 전자 현미경 사진.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치의 바람직한 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따른 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치은, 펨토초 레이저 광원(100), 상기 펨토초 레이저 광원에서 출력되는 광을 확장시키기 위한 광선확장기(300, 302)를 포함하고, 확장된 광을 전달하는 광전달부(200), 2차원 패턴 또는 3차원 구조물이 형성될 광섬유를 지지하는 광섬유마운트(400), 상기 광전달부에서 전달된 광 초점으로부터 이광자 광중합을 일으키기 위해 커버 글라스(403)를 통해 상기 광섬유와 접하도록 구비되는 이광자 광중합 레진(402), 상기 광섬유 마운트를 이송시키는 스테이지(401), 2차원 패턴 또는 3차원 구조물이 형성되는 광섬유를 촬영하는 카메라(500) 및 상기 광전달부, 스테이지, 카메라를 제어하는 단말기(600)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 미세구조물 제작 장치은, 광섬유 단면상에 나노 및 마이크로 크기의 구조물을 원하는 형태로 자유롭게 제작하여 광섬유 성능 증대 및 광섬유 특성을 활용한 소자를 제작하고자 하는 것을 주요 기술적 요지로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치의 개략적인 구성도이다. 본 발명은 크게 펨토초 레이저를 출력하는 펨토초 레이저 광원(100), 상기 광원에서 출력되는 광을 전달하는 광전달부(200), 출력되는 광을 확장시키기 위한 광선확장기(300, 302), 광섬유를 고정하는 광섬유 마운트(400), 이광자 광중합 현상을 유발시키기 위한 광중합 레진(402) 및 구조물 제작을 위해 각 구성을 제어하는 단말기(컴퓨터 ; 600)를 포함하여 구성된다.
펨토초 레이저 광원(100)은 이광자 흡수를 일으킬 수 있는 짧은 펄스폭을 가지는 가우시안 모드(TEMoo)의 펨토초 레이저 광선을 출사한다. 광매질의 예로는 Ti:S로 구성되어 펨토초 레이저를 출력한다.
광전달부(200)는 상기 펨토초 레이저 광원에서 출사되는 광을 적절하게 변환, 제어하여 전달하기 위한 것으로, 도 2를 참조하면 상세히 알 수 있다. 상기 광전달부는 상기 광원에 의해 출력된 레이저광을 반사하여 출력하는 제 1미러(201)와, 상기 제 1미러로부터 반사된 반사광의 출력을 제어하기 위한 제 1반파장판(202)과, 상기 제 1반파장판에 의해 출력이 제어된 레이저광이 광원으로 돌아가는 것을 막기 위한 아이솔레이터(203)와, 상기 아이솔레이터를 통과한 광의 출력을 제어하는 제 2반파장판(204)과, 상기 제 2반파장판을 통과한 레이저광의 P 편광은 투과시키고 S 편광은 반사시키는 편광빔스플리터(205 ; PBS)와, 상기 편광빔스플리터에서 투과된 레이저광의 경로를 변경시켜주어 스위치 역할을 하는 갈바노 셔터(206)와, 레이저광의 X축 및 Y축 위치를 이동시켜주는 X, Y축 갈바노미러 스캐너(207)와, 스캐너에서 출력되는 광을 반사시키는 제 2미러(208) 및 상기 제 2미러로부터 반사된 반사광의 초점을 형성하기 위한 고개구수 대물렌즈(210)를 포함한다.
또한, 상기 광전달부에는 광선을 확장시키기 위한 광선확장기가 다수 구비되는데, 상기 갈바노 셔터로부터 반사된 반사광을 확장하기 위한 제 1레이저광선확장기(300)와, 상기 X, Y축 갈바노미러 스캐너로부터 반사된 반사광을 확장하기 위한 제 2레이저광선확장기(302)를 포함하여 구성되며, 상기 제 1레이저광선확장기 사이에는 상기 갈바노 셔터가 경로를 바꾸었을 때 반사광을 차단시켜 주는 핀홀(301)을 포함하여 구성된다. 상기 제 2광선확장기(302)에서 확장된 광만을 제 2미러가 반사하여 대물렌즈로 제공한다.
상기 대물렌즈에서 초점이 형성된 광은 이광자 광중합 레진과 광중합 현상에 의해 광섬유 마운트(400)에 고정된 광섬유 단면을 가공하게 된다. 레이저광의 초점을 형성하기 위한 고개구수 대물렌즈(210)와 초점을 맺히게 하는 커버 글라스(403)와 이광자흡수폴리머화를 일으키는 이광자 광중합 레진(402)을 포함한다.
도 3은 본 발명에 적용된 5축 광섬유 마운트를 도시한 개략도이다. 본 발명에 적용되는 광섬유 마운트(400)는 광섬유(405)를 잡아 줄 수 있는 광섬유 척(406)과 광섬유를 수직 방향으로 크게 움직일 수 있는 Z축 레일이 있다. 또한 광섬유 단면상의 원하는 위치에 정밀하게 구조물을 제작하기 위한 X, Y, Z축의 이동나사와 2축의 기울기 조절나사가 있다. 따라서, 실제 이광자 광중합에 의한 제작이 시작되기에 앞서 광섬유와 집속된 레이저 빔의 정확한 정렬이 가능하다. 또한, 상기 광섬유 마운트의 Z축 방향을 자동 제어하기 위한 PZT 구동 스테이지(401)를 통해 제어된다.
도 4는 본 발명에 적용된 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 과정을 나타낸 확대도이다. 이광자 광중합 레진(402)은 커버 글라스와 광섬유 단면 사이에 위치하게 된다. 이때 커버 글라스는 구조물이 실제 제작되는 기판으로서의 역할이 아니라 레진을 받쳐 주고 레진에 의해 고개구수 대물렌즈가 오염되는 것을 방지하는 역할을 한다. 실제 구조물이 제작되는 곳은 도 4에서와 같이 광섬유의 단면이며, 고개구수대물렌즈에 의해 집속된 레이저 빔의 이동에 따라 구조물이 제작된다.
한편, 도 1을 다시 참조하면, 본 발명에 따른 미세구조물 제작 장치은, 광섬유 단면에 제작되는 마이크로 구조물을 관찰하기 위하여 CCD 카메라(500)를 더 구비한다. 상기 카메라를 통해 커버 글라스를 투과하는 광섬유 단면을 관찰할 수 있다. 이때, 제 2미러에서 투과되는 광섬유 단면을 반사 받아 카메라로 입사시키기 위하여 별도의 제 3미러(209)가 구성되어 있다. 또한, 광섬유 단면을 관찰하기 위하여 LED로 구성되는 조명부(404)가 구성된다.
또한, 단말기(600)는 일반적인 퍼스널 컴퓨터로써, 광섬유 단면으로 미세 구조물 제작을 위하여 광전달부의 갈바노 셔터(206), 갈바노미러 스캐너(207), 스테이지(401) 및 카메라(500)를 제어하여 원하는 형상을 제작한다. 집속된 레이저 빔의 이동은 상기 단말기에 입력된 구조물의 디자인 데이터에 의해 결정되고, 집속된 레이저 빔이 광섬유 단면부터 시작하여 아래쪽 방향으로 이동하며 구조물을 한 층씩 제작한다. 이러한 층들이 단말기에 입력된 디자인 데이터에 따라 모두 제작되면 원하는 구조물의 형태로 완성된다.
따라서, 본 발명은 이광자 광중합 레진에서 일어나는 이광자 흡수 현상의 특성에 의해 100 nm 이하의 정밀도를 가진다. 일반적으로 이광자 광중합 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치은 기본적으로 고개구수대물렌즈를 사용하므로 대물렌즈에 의한 레이저 빔의 초점거리가 매우 짧다. 따라서 기존에는 대물렌즈 바로 위에 얇은 기판을 놓아 제작하는 것만이 가능하였다. 또한, 조명광이 사용하는 기판을 투과하여 CCD 카메라로 들어가고 이것에 의해 기판 위의 영상을 모니터링 하여야 제작이 수월하므로 기존의 이광자 광중합 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치은 현미경 커버 글라스와 같이 두께가 얇고 광의 투과성이 좋은 기판 위에서 미세구조물 제작을 하였다. 본 발명에서는 이러한 얇은 기판에서의 제작이 아닌 광섬유 단면상에 원하는 나노 및 마이크로 구조물을 제작하기 위하여 광섬유 마운트를 Z축 PZT 스테이지 위에 결합하였다.
도 5는 본 발명에 의해 실제 제작된 광섬유 단면상 원뿔형 탐침의 전자 현미경 사진이다. 광섬유는 기본적으로 빛의 전반사를 이용하여 광도파로의 역할을 수행한다. 이러한 광섬유의 단면에 미세구조물을 제작하면 광도파로로서의 성능을 증대 시키거나 광섬유 특성을 활용한 소자를 제작할 수 있다.
이와 같이 구성되는 본 발명은 광섬유 마운트에 Z축 스테이지를 병합시킴에 따라 광섬유 단면상에 나노 및 마이크로 구조물을 제작하여 광섬유 성능 증대와 특성의 활용성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
이상, 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 설명하고 도시하였지만, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다. 오히려, 첨부된 청구범위의 사상 및 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다. 따라서 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.
100 : 펨토초 레이저 광원
200 : 광전달부
201 : 제 1미러
202 : 제 1반파장판
203 : 아이솔레이터
204 : 제 2반파장판
205 : 편광빔스플리터(PBS)
206 : 갈바노 셔터
207 : 갈바노미러 스캐너
208 : 제 2미러
209 : 제 3미러
210 : 대물렌즈
300 : 제 1광선확장기
301 : 핀홀
302 : 제 2광선확장기
400 : 광섬유 마운트
401 : 스테이지
402 : 이광자 광중합 레진
403 : 커버 글라스
404 : 조명부
405 : 광섬유
406 : 광섬유 척
500 : 카메라
600 : 단말기

Claims (12)

  1. 펨토초 레이저 광원;
    상기 펨토초 레이저 광원에서 출력되는 광을 확장시키기 위한 광선확장기를 포함하고, 확장된 광을 전달하는 광전달부;
    2차원 패턴 또는 3차원 구조물이 형성될 광섬유를 지지하는 광섬유마운트;
    상기 광전달부에서 전달된 광 초점으로부터 이광자 광중합을 일으키기 위해 커버 글라스를 통해 상기 광섬유와 접하도록 구비되는 이광자 광중합 레진;
    상기 광섬유 마운트를 이송시키는 스테이지;
    2차원 패턴 또는 3차원 구조물이 형성되는 광섬유를 촬영하는 카메라; 및
    상기 광전달부, 스테이지, 카메라를 제어하는 단말기;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 광전달부는,
    상기 펨토초 레이저 광원에서 출력된 레이저광을 반사하여 출력하는 제 1미러;
    상기 제 1미러로부터 반사된 반사광의 출력을 제어하기 위한 제 1반파장판;
    상기 제 1반파장판에 의해 출력이 제어된 레이저광이 상기 광원으로 반사되는 것을 차단하는 아이솔레이터;
    상기 아이솔레이터를 통과한 광의 출력을 제어하는 제 2반파장판;
    상기 제 2반파장판을 통과한 레이저광의 P 편광은 투과시키고 S 편광은 반사시키는 편광빔스플리터;
    상기 편광빔스플리터에서 투과된 레이저광의 경로를 변경시켜주는 하는 갈바노 셔터;
    상기 광선확장기에서 확장된 레이저광의 X축 및 Y축 위치를 이동시켜주는 X, Y축 갈바노미러 스캐너;
    상기 광선확장기에서 확장된 레이저광만을 반사하여 출력하는 제 2미러; 및
    상기 제 2미러로부터 반사된 반사광의 초점을 형성하여 상기 광섬유에 조사하는 대물렌즈;를 포함하여 구성되는 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 광선확장기는,
    상기 갈바노 셔터에서 반사되는 광을 확장시키는 제 1광선확장기;와,
    상기 X, Y축 갈바노미러 스캐너에서 반사되는 광을 확장시키는 확장시켜 상기 제 2미러로 제공하는 제 2광선확장기;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 광섬유 마운트는,
    X, Y, Z축 상의 이동과 2축 기울기 조절이 가능하고,
    상기 광섬유를 파지하는 척을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치.
  5. 제 1항 또는 제 4항에 있어서, 상기 스테이지는,
    상기 광섬유 마운트를 Z축 이동시키기 위한 PZT스테이지인 것을 특징으로 하는 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치.
  6. 제 3항에 있어서, 상기 제 1광선확장기는,
    상기 갈바노 셔터가 경로를 바꾸었을 때 반사광을 차단시켜 주는 핀홀을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치.
  7. 청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 1항에 있어서,
    가공되는 상기 광섬유 단면상을 관찰하기 위한 조명광을 제공하는 조명부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치.
  8. 제 2항에 있어서,
    상기 카메라를 통해 광섬유 단면을 촬영하기 위하여 상기 제 2미러를 투과하는 광을 반사시키는 제 3미러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치.
  9. 펨토초 레이저 광원;
    상기 펨토초 레이저 광원에서 출력되는 광을 확장시키기 위한 광선확장기를 포함하고, 확장된 광을 전달하는 광전달부;
    2차원 패턴 또는 3차원 구조물이 형성될 광섬유를 지지하는 광섬유마운트;
    상기 광전달부에서 전달된 광 초점으로부터 이광자 광중합을 일으키기 위해 커버 글라스를 통해 상기 광섬유와 접하도록 구비되는 이광자 광중합 레진;
    상기 광섬유 마운트를 이송시키는 스테이지; 및
    상기 광전달부, 스테이지를 제어하는 단말기;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치.
  10. 제 9항에 있어서, 상기 광전달부는,
    상기 펨토초 레이저 광원에서 출력된 레이저광을 반사하여 출력하는 제 1미러;
    상기 제 1미러로부터 반사된 반사광의 출력을 제어하기 위한 제 1반파장판;
    상기 제 1반파장판에 의해 출력이 제어된 레이저광이 상기 광원으로 반사되는 것을 차단하는 아이솔레이터;
    상기 아이솔레이터를 통과한 광의 출력을 제어하는 제 2반파장판;
    상기 제 2반파장판을 통과한 레이저광의 P 편광은 투과시키고 S 편광은 반사시키는 편광빔스플리터;
    상기 편광빔스플리터에서 투과된 레이저광의 경로를 변경시켜주는 하는 갈바노 셔터;
    상기 광선확장기에서 확장된 레이저광의 X축 및 Y축 위치를 이동시켜주는 X, Y축 갈바노미러 스캐너;
    상기 광선확장기에서 확장된 레이저광만을 반사하여 출력하는 제 2미러; 및
    상기 제 2미러로부터 반사된 반사광의 초점을 형성하여 상기 광섬유에 조사하는 대물렌즈;를 포함하여 구성되는 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치.
  11. 청구항 11은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.
    제 9항에 있어서,
    가공되는 상기 광섬유 단면상을 관찰하기 위한 조명광을 제공하는 조명부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치.
  12. 제 9항에 있어서,
    카메라를 통해 광섬유 단면을 촬영하기 위하여 상기 제 2미러를 투과하는 광을 반사시키는 제 3미러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이광자 광중합을 이용한 광섬유 단면상 나노 및 마이크로 구조물 제작 장치.
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