KR101284665B1 - Carrying apparatus for substrate - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판의 스크래치를 최소화 하면서 작은 힘으로 정열된 상태로 정확한 위치로 이송함으로써 불량을 최소화하고, 이송 속도가 향상되어 이송 효율이 향상되는 기판 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, a substrate transfer apparatus which minimizes defects by transferring to an accurate position in an aligned state with a small force while minimizing scratches of the substrate, and improves a transfer speed to improve transfer efficiency. It is about.
일반적으로, 기판(substrate, 基板)은 전기 회로가 편성되어 있는 판으로, 절연기판 표면에 도체 패턴을 형성할 수 있는 절연재료를 말하며, 프린터, 배선판 및 절연기판의 총칭이다. 표면에 구리의 박(箔)으로 배선이 되어 집적회로나 저항 등의 전기 부품을 장치해 사용하는 합성수지판을 프린트 기판이라고 한다. 또 집적회로나 고밀도 집적회로 등의 회로가 복사되어 있는 실리콘의 단결정판(單結晶板)도 기판이라고 한다. 이것은 기판의 위, 또는 내부에 임의의 회로 소자를 구성하거나 구성할 수 있는 물체이다. 임의의 회로소란 능동소자인 경우도 있고, 수동소자인 경우도 있는데, 반도체 집적회로의 실리콘 박편 등이 기판의 예이다. 또한, 액정기판이나 휴대폰 또는 노트북 등의 접을 수 있는 전자제품에 주로 적용되도록 플랙시블한 소재인 폴리에스테르나 폴리아미드로 이루어진 필름 형태에 회로를 형성한 기판이 사용되고 있다.In general, a substrate is a plate on which an electric circuit is formed, and refers to an insulating material capable of forming a conductor pattern on an insulating substrate surface, and is a general term for a printer, a wiring board, and an insulating substrate. Synthetic resin plates, which are wired with copper foil on the surface and use electrical components such as integrated circuits and resistors, are called printed boards. In addition, a single crystal plate of silicon to which circuits such as integrated circuits and high density integrated circuits are copied is also referred to as a substrate. It is an object that can construct or constitute any circuit element on or within a substrate. An arbitrary circuit element may be an active element or a passive element, and silicon flakes of a semiconductor integrated circuit are examples of substrates. In addition, a substrate in which a circuit is formed in a film form made of polyester or polyamide, which is a flexible material, is mainly applied to a collapsible electronic product such as a liquid crystal substrate, a mobile phone or a notebook.
상술된 기판의 제조 시에 기판을 제조하는 공정 사이에 설치되어 있는 기판 이송 장치로 이송되면서 제조 공정을 실시하였다.At the time of manufacture of the substrate described above, the manufacturing process was carried out while being transferred to the substrate transfer device provided between the processes for manufacturing the substrate.
종래 기술의 기판 이송 장치는 이송되는 기판의 폭 방향으로 가로 지른 길이의 회전축으로 한쪽 공정에서 다른 쪽 공정 방향으로 복수로 배열하도록 구비되고, 회전축에는 회전축과 함께 회전되면서 회전축보다 직경이 큰 롤러가 복수 위치에서 기판과 접촉되도록 설치되며, 복수의 회전축은 하나의 구동 장치로 연결되어 동일한 회전수로 회전되도록 구비된다. 이런, 종래 기술의 기판 이송 장치에 기판이 올려지면 롤러에 접촉된 상태에서 구동 장치를 작동시켜 회전축이 회전되면 롤러가 함께 회전되면서 접촉되어 있는 기판이 이송되도록 작동된다.The substrate transport apparatus of the prior art is provided with a plurality of rollers having a diameter larger than the rotation axis while being rotated together with the rotation axis in a rotation axis of a length transverse to the width direction of the substrate to be conveyed from one process to the other process direction. It is installed to be in contact with the substrate in position, the plurality of rotation shafts are provided to be connected to one driving device to rotate at the same rotational speed. When the substrate is placed on the substrate transfer apparatus of the prior art, the driving apparatus is operated in a state of being in contact with the roller, and when the rotating shaft is rotated, the roller is rotated together so that the substrate being in contact is transferred.
그러나, 종래 기술의 기판 이송 장치는 기판이 복수에 롤러에 각각 접촉된 상태에서 회전에 의해 이송됨으로써, 기판의 하부면에 롤러가 접촉하면서 이송되는 방향으로 지속적으로 밀어내는 것으로, 롤러가 접촉되는 위치에 스크래치가 발생되는 문제점이 있었다.However, the substrate transfer apparatus of the prior art is continuously moved in the conveying direction while the roller is in contact with the lower surface of the substrate by being transported by rotation in the state in which the substrate is in contact with the roller, respectively, the position where the roller is in contact There was a problem that the scratch occurs.
또한, 종래 기술의 기판 이송 장치는 복수의 롤러에 올려진 상태에서 회전되면서 이송되는 방향에 다른 복수에 롤러로 다시 접촉되면서 이송되는 작업을 반복함으로써, 이송 시에 복수의 롤러에 지속적으로 접촉됨에 따라 접촉 면적이 확대되어 접촉에 의한 스크래치가 발생되는 문제점이 있었다.In addition, the substrate transfer apparatus of the prior art is rotated in a state of being mounted on a plurality of rollers, and repeats the transfer operation while contacting again with the rollers in the other plurality in the feeding direction, thereby continuously contacting the plurality of rollers during the transfer. There was a problem that the contact area is enlarged to cause scratches due to contact.
그리고, 종래 기술의 기판 이송 장치는 복수로 배열된 회전축에 각각 복수로 배치되어 있는 롤러가 동일한 높낮이로 설치되어 있지 않으면, 이송 시에 높 낮이 차이로 인해 회전되는 롤러와 부딪혀 손상이 발생되는 문제점이 있었다. 특히, 플랙시블한 기판을 사용하는 경우에는 중량이 가벼워 높이 차에 따라 부딪히면서 상부 방향으로 휘거나 심한 경우에는 접히면서 불량이 발생되는 문제점이 있었다.And, in the substrate transfer apparatus of the prior art, if a plurality of rollers arranged in a plurality of rotational shafts are not installed at the same height, a problem arises when the rollers are rotated due to the height difference during transportation. There was this. In particular, in the case of using a flexible substrate, the weight is light, and there is a problem in that a defect occurs while bending in an upward direction while being collided according to a height difference or in a severe case.
또한, 종래 기술의 기판 이송 장치에서 플랙시블한 기판을 이송할 경우에 플랙시블 소재로 외력에 의해 휘어지거나 접촉되는 롤러의 높이 차에 따라 처짐이 발생되면 롤러와 접촉되면서 이송되는 방향이 틀어지거나, 회전되는 롤러에 걸리면서 말려 들어가는 작동 오류가 발생되어 작동을 멈춘 상태에서 제거하여야 하는 문제점이 있었다.In addition, when transferring the flexible substrate in the substrate transfer apparatus of the prior art, if the deflection occurs according to the height difference of the roller that is bent or contacted by the external force to the flexible material, the direction in which the conveyed contact with the roller is distorted, There was a problem in that an operation error occurred while being caught by the roller to be rotated to be removed in a stopped state.
아울러, 종래 기술의 기판 이송 장치는 기판을 제조하는 공정 사이에 설치되어 있음에 따라 제조 공정이 완료되지 않은 기판이 롤러와 접촉되면서 기판에 손상이나 오염이 발생되는 문제점이 있었다.In addition, the substrate transfer apparatus of the prior art has a problem that damage or contamination occurs in the substrate as the substrate is in contact with the roller as the substrate is not completed the manufacturing process is installed between the process of manufacturing the substrate.
본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위해 발명된 것으로, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 기판의 이송 시 접촉에 의해 이송되는 면적을 최소화하고, 장력이 유지되도록 하부를 떠받친 상태에서 접촉 이송함에 따라 작은 힘으로 쉽게 이송이 가능함으로써, 이송 효율이 향상되는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.The present invention has been invented to improve the above problems, the problem to be solved by the present invention is to minimize the area transferred by the contact during the transfer of the substrate, the contact transfer in the state holding the lower portion to maintain the tension Therefore, it is possible to easily transfer with a small force, to provide a substrate transfer apparatus that the transfer efficiency is improved.
본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 것들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problem of the present invention is not limited to those mentioned above, and another technical problem which is not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
상기 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치는 기판을 사이에 두고 서로 마주 보는 위치에 각각 배치되어 있으며, 상기 기판의 폭 방향으로 양측 끝단의 하부면에 각각 구름 접촉하여 상기 기판을 이송시키는 기판 이송부, 상기 기판 이송부의 상부에 각각 배치되어 있으며, 상기 기판의 폭 방향으로 양 측면과 양측 끝단의 상부면에 각각 구름 접촉하여 상기 기판 이송부에 의해 이송되는 상기 기판을 지지하는 이송 지지부, 및 상기 기판 이송부의 사이에 배치되어 있으며, 상기 기판 이송부에 의해 이송된 상기 기판의 하부를 지지하도록 상기 기판의 하부면으로 공기를 분사하는 복수의 분사공이 구비된 기판 지지부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention is disposed at positions facing each other with the substrate therebetween, respectively, in contact with the lower surface of the both ends in the width direction of the substrate A substrate transfer unit for transferring the substrate and an upper portion of the substrate transfer unit, respectively, in contact with upper surfaces of both side surfaces and both ends in the width direction of the substrate to support the substrate transferred by the substrate transfer unit; And a substrate support disposed between the transfer support and the substrate transfer unit, the substrate support including a plurality of injection holes for injecting air to the lower surface of the substrate to support the lower portion of the substrate transferred by the substrate transfer unit. It features.
또한, 상기 기판 이송부는, 상기 기판을 사이에 두고 서로 마주보는 위치에 각각 배치되어 있으며, 상기 기판의 폭 방향으로 양쪽에 각각 위치한 이송 프레임, 상기 이송 프레임의 서로 마주보는 면에 이송 되는 방향인 일측에 복수 위치로 회전 가능하게 배치되어 있으며, 상기 기판의 폭 방향으로 양측 끝단의 하부면에 구름 접촉되어 회전에 의해 상기 기판을 이송하는 복수의 이송 롤러체, 상기 이송 프레임 각각의 바깥 면으로 복수 위치에 회전 가능하게 배치되어 있으며, 복수의 상기 이송 롤러체에 각각 연결되어 함께 회전되는 복수의 회전 롤러체, 복수의 상기 회전 롤러체를 각각 연결하고 있으며, 구동에 의해 복수의 상기 회전 롤러체를 동시에 회전시키는 동력전달부재 및 상기 이송 프레임의 일측에 배치되어 있으며, 상기 동력전달부재를 구동시켜 복수의 회전 롤러체가 회전되는 동력을 제공하는 이송 회전 모터를 포함할 수 있는 것을 특징으로 한다.The substrate transfer unit may be disposed at positions facing each other with the substrate interposed therebetween, and each of the transfer frames positioned on both sides in the width direction of the substrate and one side of the transfer frame disposed on opposite surfaces of the transfer frame. A plurality of conveying roller bodies disposed rotatably in a plurality of positions, the rollers contacting lower surfaces of both ends in the width direction of the substrate, and conveying the substrate by rotation; It is rotatably arranged in the circumference | surroundings, Comprising: It connects the some rotation roller body which respectively connects to the said several conveyance roller bodies, and rotates together, The said several rotation roller bodies, respectively, drives several said rotation roller bodies simultaneously by a drive. It is disposed on one side of the power transmission member and the transfer frame for rotating, the power transmission member To characterized in that, which may include a rotary feed motor to provide power to rotate the rotation body is a plurality of rollers.
그리고, 상기 이송 프레임 중 서로 마주보는 방향에서 한쪽 면 위치에 배치되어 있으며, 상기 기판의 폭 방향의 양측 중 한쪽 측면 위치에서 이송되는 상기 기판의 한쪽 측면을 밀어서 이송되는 상기 기판을 정열하는 정열 몸체, 및 상기 정열 몸체의 한쪽 측면에 배치되어 있으며, 구동에 의해 상기 기판을 밀어서 정열하는 상기 정열 몸체를 한쪽 측면 방향으로 구동시키는 정열 구동 장치를 더 포함할 수 있는 것을 특징으로 한다. And an alignment body arranged at one surface position in a direction facing each other of the transport frames, and arranged to align the substrate to be transported by pushing one side of the substrate to be transported at one side position of both sides in the width direction of the substrate. And an alignment driving device arranged on one side of the alignment body, and configured to drive the alignment body in one side direction by pushing the substrate by driving.
아울러, 상기 이송 지지부는, 상기 기판 이송부의 상부에 서로 마주보는 방향으로 복수 위치에 배치되어 있으며, 이송되는 상기 기판의 양측면 방향에 상기 기판 이송부의 복수 위치에서 상부로 돌출된 지지 브라켓, 상기 지지 브라켓의 상부에 배치되어 있으며, 상기 기판 이송부의 바깥 방향에서 상기 기판이 이송되는 서로 마주보는 방향으로 각각 구동되는 측면 구동 장치, 상기 측면 구동 장치의 서로 마주보는 방향에 각각 배치되어 있으며, 상기 측면 구동 장치의 작동으로 상기 기판 이송부의 바깥 방향에서 서로 마주보는 방향으로 구동되는 측면 브라켓, 상기 측면 브라켓의 서로 마주보는 방향에 각각 배치되어 있으며, 회전 가능한 롤러 형태로 상기 측면 브라켓의 구동으로 상기 기판의 폭 방향인 양쪽 측면이 구름 접촉되어 이송되는 상기 기판의 양측면을 지지하는 측면 롤러체, 상기 측면 구동 장치의 상부에 배치되어 있으며, 상기 기판 이송부의 상부 위치에서 상기 측면 구동 장치의 작동으로 상기 기판 이송부의 바깥에서 서로 마주보는 방향으로 함께 구동되고, 상기 측면 구동 장치의 상부에서 상하로 구동되는 상하 구동 장치, 상기 상하 구동 장치의 상부에 배치되어 있으며, 상기 상하 구동 장치의 작동으로 상하로 구동되는 상부 브라켓, 및 상기 상부 브라켓의 하부에 배치되어 있으며, 상기 상부 브라켓에 회전 가능한 롤러 형태로 상기 측면 구동 장치의 작동에 의해 상기 기판의 폭 방향 양측 상부에 각각 위치한 상태에서 상기 상하 구동 장치의 작동으로 하강되면 상기 기판의 폭 방향 양측 상부면을 구름 접촉하면서 지지되는 상부 롤러체를 포함할 수 있는 것을 특징으로 한다.In addition, the transfer support part is disposed at a plurality of positions in a direction facing each other on the upper portion of the substrate transfer portion, a support bracket protruding upward from a plurality of positions of the substrate transfer portion in both side directions of the substrate to be transferred, the support bracket It is disposed on the upper side of the side driving device which is respectively driven in a direction facing each other in the direction in which the substrate is transferred in the outer direction of the substrate transfer portion, the side driving device is disposed in the direction facing each other, respectively, Side brackets which are driven in a direction facing each other in the outer direction of the substrate transfer unit by the operation of, are disposed in the direction facing each other of the side brackets, the width direction of the substrate by the drive of the side bracket in the form of a rotatable roller The side being transported in rolling contact with both sides Side roller body for supporting both sides of the, is disposed on the upper side of the side driving device, and driven together in a direction facing each other outside the substrate transfer unit by the operation of the side drive device in the upper position of the substrate transfer unit, It is disposed above and below the upper and lower driving device, which is driven up and down from the top of the side drive device, the upper bracket is driven up and down by the operation of the vertical drive device, and is disposed below the upper bracket, When descending by the operation of the vertical drive device in the state of being positioned on the upper side of the both sides of the substrate by the operation of the side drive device in the form of a roller rotatable to the upper bracket while rolling contact the upper surface of both sides of the substrate in the width direction Characterized in that it may include a support upper roller body.
더불어, 상기 기판 지지부는, 상기 기판 이송부 사이에 배치되어 있으며, 이송되는 상기 기판의 하부에 위치하여 상기 기판의 하부면 방향으로 복수 위치에서 공기가 분사되는 분사공을 가지는 분사 플레이트, 상기 분사 플레이트의 하부에 배치되어 있으며, 상기 분사 플레이트의 하부를 폐쇄하도록 구비되고, 외부에서 공기가 공급되도록 관통된 공급공을 가지는 공급 플레이트, 상기 분사 플레이트와 상기 공급 플레이트 사이에 배치되어 있으며, 안쪽으로 복수 위치에서 상기 분사 플레이트와 상기 공급 플레이트 사이의 간격을 유지하도록 구비된 스페이서, 상기 분사 플레이트와 상기 공급 플레이트 사이에 배치되어 있으며, 상기 분사 플레이트와 상기 공급 플레이트의 바깥 면에서 안쪽 방향으로 가장 자리를 둘러쌓아 공기가 외부로 누출되는 것이 방지되도록 구비된 실리콘 지지체, 상기 공급 플레이트의 하부에 배치되어 있으며, 상기 공급공과 연결되는 하부 방향에 축 형태로 구비되어 공기가 상기 공급공으로 공급되면서 상하로 이동시키는 공급축, 및 상기 공급 플레이트 하부 중앙에 배치되어 있으며, 하부 방향에 축 형태로 삽입 지지되어 상하로 이동되는 것이 지지되는 지지축을 포함할 수 있는 것을 특징으로 한다.In addition, the substrate support portion is disposed between the substrate transfer portion, the injection plate which is located in the lower portion of the substrate to be transported and has a spray hole in which air is injected in a plurality of locations toward the lower surface of the substrate, the injection plate It is disposed in the lower portion, provided to close the lower portion of the injection plate, having a feed hole penetrated so that the air is supplied from the outside, disposed between the injection plate and the supply plate, inward in a plurality of positions A spacer arranged to maintain a gap between the injection plate and the supply plate, and disposed between the injection plate and the supply plate, and surrounded by an edge inward from the outer surface of the injection plate and the supply plate. Leaking outside The silicon support is provided to be prevented, disposed in the lower portion of the supply plate, provided in the lower direction connected to the supply hole in the form of a shaft to move up and down while supplying air to the supply hole, and the lower center of the supply plate It is disposed in, characterized in that it can include a support shaft that is supported to be inserted into the shaft in the downward direction to move up and down.
또한, 상기 분사 플레이트의 상기 기판이 이송되는 일측 방향 끝에 상부로 돌출 배치되어 있으며, 상기 기판이 이송에 의해 상부 위치에 도달하면 흡착 압력을 공급하여 상기 기판이 상부 방향으로 들뜨는 것이 방지되도록 흡착하는 흡착 지지체, 및 상기 분사 플레이트의 상기 기판이 이송되는 일측 방향 끝에 상부로 돌출 배치되어 있으며, 상기 기판이 상기 분사 플레이트 상부에 도착하여 상기 상하 구동부의 작동에 의해 상승하면서 돌출되어 상기 기판의 일측 끝을 지지하고, 상기 분사 플레이트가 하강되면 함게 하강되면서 지지를 해제하는 위치 지지체를 더 포함할 수 있는 것을 특징으로 한다.In addition, it is arranged to protrude upward at one end of the injection plate is transferred to the substrate, the adsorption that is adsorbed so as to prevent the substrate is lifted up by supplying the adsorption pressure when the substrate reaches the upper position by the transfer A support and a protruding portion are disposed upwardly at one end of the spray plate to which the substrate is transferred. The substrate reaches the upper portion of the spray plate and protrudes while being raised by the operation of the vertical drive unit to support one end of the substrate. And, when the injection plate is lowered, it is characterized in that it can further include a position support to release the support while descending together.
그리고, 상기 상하 구동부는, 상기 기판 지지부의 하부에 연결되어 있으며, 상기 기판 지지부를 상하로 구동시키는 제1 상하 구동부, 및 상기 제1 상하 구동부의 타측에 구비되어 있으며, 상기 기판 지지부를 상하로 이동시키도록 지지된 상기 제1 상하 구동부를 상하로 구동시키는 제2 상하 구동부를 포함할 수 있는 것을 특징으로 한다.The vertical driving part is connected to a lower portion of the substrate support part, and is provided on the other side of the first vertical driving part for driving the substrate support part up and down, and the other side of the first vertical driving part, and moves the substrate support part up and down. And a second vertical drive unit configured to drive the first vertical drive unit vertically supported so as to be vertically supported.
아울러, 상기 제1 상하 구동부는, 상기 기판 지지부의 하부에 배치되어 있으며, 상기 기판 지지부를 지지한 상태로 상기 제2 상하 구동부의 작동에 의해 상하로 구동되는 구동 플레이트, 상기 구동 플레이트의 일측 상부에 배치되어 있으며, 상하로 이동되는 상기 기판 지지부를 지지하도록 삽입되는 통공 형태의 지지 축공을 가지는 축 지지체, 상기 구동 플레이트의 일측면으로 서로 떨어진 양측에 상하로 가로 질러 각각 배치되어 있으며, 상하로 구동되는 것을 가이드하도록 레일 형태로 구비한 구동 레일, 상기 구동 플레이트의 일측 하부에 배치되어 있으며, 상기 기판 지지부의 하부를 삽입 지지하도록 축 삽입체가 구비되고, 상기 기판 지지부의 하부를 지지한 상태에서 상하로 구동시키도록 구비된 상하 구동체, 상기 상하 구동체와 상기 구동 레일 사이에 배치되어 있으며, 상기 상하 구동체의 일측에 상기 구동 레일과 구름 접촉하여 상기 상하 구동체의 상하 구동 시 상기 구동 레일 상에서 가이드되는 구동 구름체, 상기 축 지지체의 하부에 배치되어 있으며, 상기 축 지지체의 하부에 회전 가능하게 지지되어 상기 상하 구동체와 나사 결합하도록 구비되어 회전에 의해 상기 상하 구동체를 상하로 구동시키는 회전 구동축, 및 상기 회전 구동축의 하부에 배치되어 있으며, 상기 회전 구동축을 회전시키는 동력을 제공하는 회전 모터를 포함할 수 있는 것을 특징으로 한다.In addition, the first vertical drive unit is disposed below the substrate support, the driving plate is driven up and down by the operation of the second vertical drive unit in a state supporting the substrate support, one side of the driving plate Arranged, the shaft support having a support shaft hole in the form of a hole inserted to support the substrate support that is moved up and down, respectively disposed across both sides apart from each other to one side of the drive plate, vertically driven A drive rail provided in the form of a rail to guide the guide plate, and is disposed below one side of the drive plate. A shaft insert is provided to insert and support a lower portion of the substrate support, and is driven up and down while supporting a lower portion of the substrate support. Up and down drive body, the up and down drive body and the drive rail provided to It is disposed between, the drive rolling body which is guided on the drive rail during the vertical drive of the vertical drive by rolling contact with the drive rail on one side of the up and down drive body, is disposed below the shaft support, the shaft It is rotatably supported on the lower portion of the support is provided to be screwed with the vertical drive body and the rotary drive shaft for driving the vertical drive body up and down by rotation, and is disposed below the rotary drive shaft, the rotation drive shaft is rotated Characterized in that it may include a rotary motor for providing power to.
더불어, 상기 제2 상하 구동부는, 상기 제1 상하 구동부의 일측에 배치되어 있으며, 상기 기판 지지부와 상기 제1 상하 구동부를 상하로 구동시키는 동력을 제공하는 구동 실린더, 상기 구동 실린더의 상부에 배치되어 있으며, 상기 제1 상하 구동부와 연결되어 상기 구동 실린더의 작동으로 상기 기판 지지부와 상기 제1 상하 구동부를 상부로 이동시키도록 연결된 연결 브라켓, 상기 연결 브라켓의 양측에 서로 떨어져 배치되어 있으며, 상기 제1 상하 구동부가 상하로 구동되는 것을 가이드하도록 상하로 가로지른 위치에 서로 떨어져 각각 구비된 구동 가이드체, 상기 구동 가이드체의 상기 제1 상하 구동부 방향인 타측에 배치되어 있으며, 상기 구동 가이드체의 타측면으로 상기 제1 상하 구동부가 상하로 구동되는 것을 가이드하는 레일 형태로 구비된 구동 가이드 레일, 및 상기 제1 상하 구동부의 일측에 서로 떨어져 각각 배치되어 있으며, 각각의 상기 구동 가이드 레일에 미끄럼 접촉되도록 구비하여 상기 제1 상하 구동부의 상하 이동 시 미끄럼 지지된 상태에서 상기 구동 가이드 레일 상에서 상하로 구동되는 것이 가이드되는 구동 가이드 구름체를 포함할 수 있는 것을 특징으로 한다.In addition, the second vertical drive unit is disposed on one side of the first vertical drive unit, a driving cylinder that provides power for driving the substrate support unit and the first vertical drive unit up and down, and is disposed above the driving cylinder. And a connection bracket connected to the first vertical driving part and connected to move the substrate support part and the first vertical driving part upward by an operation of the driving cylinder, and spaced apart from each other on both sides of the connection bracket. A driving guide body provided at a position intersecting each other in an up and down position to guide the up and down driving unit to be driven up and down, and disposed on the other side in the direction of the first up and down driving unit of the driving guide body, and on the other side of the driving guide body The first vertical drive unit is provided in the form of a rail to guide the vertical drive The guide rail and the one side of the first up and down driving unit are disposed apart from each other, and are provided so as to be in sliding contact with each of the driving guide rail, the driving guide rail in a state of sliding support during the vertical movement of the first up and down driving unit It is characterized in that it can include a driving guide cloud that is guided to be driven up and down on.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the drawings.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치에 따르면, 기판의 이송 시 접촉에 의해 이송되는 면적을 최소화하고, 하부를 떠받치면서 장력을 유지하면서 작은 힘으로 쉽게 이송이 가능함으로써, 이송 속도가 향상되고, 기판이 평탄화된 상태로 신속하게 이송되어 불량율이 저하되면서 이송 효율이 향상될 수 있다.According to the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, the transfer speed is improved by minimizing the area transferred by the contact during the transfer of the substrate, and easily transfer with a small force while maintaining the tension while supporting the lower portion As the substrate is quickly transferred to a flattened state, the defective rate may be lowered, and thus the transfer efficiency may be improved.
또한, 기판의 폭 방향의 양측 끝단의 상하부를 롤러 형태로 접촉 지지한 상태에서 하부 롤러의 회전에 의해 이동함에 따라 기판의 접촉되는 면적을 최소화하면서 상하가 지지된 상태에서 접촉 이송됨으로써, 이동 정확성과 속도를 향상시킬 수 있다.In addition, as the upper and lower portions of both ends in the width direction of the substrate are moved in contact with each other by the rotation of the lower roller, the substrate is contacted and transported in a state where the upper and lower sides are supported while minimizing the contact area of the substrate. Can improve speed.
그리고, 기판이 이송되는 하부에 상부 방향으로 기판의 하부면에 균등하게 공기를 분사하는 공기 기판 지지부를 구비하여 지속적으로 공기를 분사하면서 기판의 하부면을 받쳐줘 중량을 줄임과 동시에 기판과 휨과 처짐이 방지되도록 장력을 유지함에 따라 작은 힘으로 신속하게 이송이 가능하고, 이동 시에도 기판의 평탄화 상태가 유지되어 불량을 최소화할 수 있다.In addition, there is an air substrate support portion for injecting air evenly to the lower surface of the substrate in the upper direction at the lower portion where the substrate is transported to support the lower surface of the substrate while continuously injecting air, thereby reducing the weight and bending and deflection of the substrate. By maintaining the tension to prevent this can be quickly transferred with a small force, even during the movement of the substrate is maintained in a flat state can minimize the defects.
아울러, 기판의 하부면을 공기로 분사하면서 폭방향 양끝에 상하로 지지한 상태로 이송 시에 지지되는 양끝에서 이송되는 기판의 정위치가 되도록 위치를 정열하면서 이송이 가능하고, 상하 지지 시에 지지되는 간격의 조절이 가능하여 다양한 두께의 기판을 지지한 상태로 이송함에 따라 정위치에서 다양한 두께의 기판을 적용할 수 있어 이송 효율성을 향상시킬 수 있다.In addition, it is possible to transfer while arranging the positions so that the substrate is transported at both ends supported at the time of transport in the state in which the lower surface of the substrate is supported up and down at both ends in the width direction while being sprayed with air, and is supported at the time of vertical support. It is possible to adjust the interval between the various thickness of the substrate to support the substrate in a variety of positions can be applied in place to improve the transfer efficiency.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 사시도.
도 2는 도 1의 기판 이송 장치를 나타내는 평면도.
도 3은 도 1의 기판 이송 장치를 나타내는 정면도.
도 4는 도 1의 기판 이송 장치를 나타내는 측면도.
도 5는 도 1의 기판 이송 장치의 주요 부분을 나타내는 분해 사시도.
도 6은 도 1의 기판 이송 장치의 주요 부분인 기판 이송부와 이송 지지부를 나타내는 사시도.
도 7은 도 1의 기판 이송 장치의 주요 부분인 기판 이송부와 이송 지지부를 나타내는 배면 사시도.
도 8은 도 1의 기판 이송 장치의 주요 부분인 이송 지지부를 나타내는 사시도.
도 9는 도 1의 기판 이송 장치의 주요 부분인 기판 지지부를 나타내는 분해 사시도.
도 10은 도 1의 기판 이송 장치의 주요 부분인 제1 상하 구동부와 제2 상하 구동부를 나타내는 측면도.
도 11은 도 1의 기판 이송 장치의 제1 상하 구동부가 작동되는 상태를 나타내는 사용 상태도.
도 12는 도 1의 기판 이송 장치의 제2 상하 구동부가 작동되는 상태를 나타내는 사용 상태도.1 is a perspective view showing a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view illustrating the substrate transfer device of FIG. 1. FIG.
3 is a front view illustrating the substrate transfer device of FIG. 1.
4 is a side view illustrating the substrate transfer device of FIG. 1.
5 is an exploded perspective view showing a main part of the substrate transfer apparatus of FIG. 1;
6 is a perspective view illustrating a substrate transfer part and a transfer support part, which are main parts of the substrate transfer device of FIG. 1;
7 is a rear perspective view illustrating a substrate transfer part and a transfer support part, which are main parts of the substrate transfer device of FIG. 1;
FIG. 8 is a perspective view showing a transfer support which is a main part of the substrate transfer apparatus of FIG. 1. FIG.
9 is an exploded perspective view showing a substrate support that is a main part of the substrate transfer apparatus of FIG. 1;
10 is a side view illustrating a first vertical drive unit and a second vertical drive unit, which are main parts of the substrate transfer device of FIG. 1.
11 is a use state diagram illustrating a state in which the first vertical drive unit of the substrate transfer device of FIG. 1 is operated;
12 is a use state diagram illustrating a state in which the second vertical drive unit of the substrate transfer device of FIG. 1 is operated.
이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, so that those skilled in the art can easily carry out the present invention.
실시예를 설명함에 있어서 본 발명이 속하는 기술 분야에 익히 알려져 있고 본 발명과 직접적으로 관련이 없는 기술 내용에 대해서는 설명을 생략한다. 이는 불필요한 설명을 생략함으로써 본 발명의 요지를 흐리지 않고 더욱 명확히 전달하기 위함이다.In describing the embodiments, descriptions of technical contents which are well known in the technical field to which the present invention belongs and are not directly related to the present invention will be omitted. This is for the sake of clarity of the present invention without omitting the unnecessary explanation.
마찬가지 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 개략적으로 도시되었다. 또한, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다. 각 도면에서 동일한 또는 대응하는 구성요소에는 동일한 참조 번호를 부여하였다.For the same reason, some of the components in the drawings are exaggerated, omitted, or schematically illustrated. Also, the size of each component does not entirely reflect the actual size. In the drawings, the same or corresponding components are denoted by the same reference numerals.
이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 기판 이송 장치를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings for describing a substrate transfer apparatus according to embodiments of the present invention.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 기판 이송 장치를 나타내는 평면도이며, 도 3은 도 1의 기판 이송 장치를 나타내는 정면도이고, 도 4는 도 1의 기판 이송 장치를 나타내는 측면도이며, 도 5는 도 1의 기판 이송 장치의 주요 부분을 나타내는 분해 사시도이고, 도 6은 도 1의 기판 이송 장치의 주요 부분인 기판 이송부와 이송 지지부를 나타내는 사시도이며, 도 7은 도 1의 기판 이송 장치의 주요 부분인 기판 이송부와 이송 지지부를 나타내는 배면 사시도이고, 도 8은 도 1의 기판 이송 장치의 주요 부분인 이송 지지부를 나타내는 사시도이며, 도 9는 도 1의 기판 이송 장치의 주요 부분인 기판 지지부를 나타내는 분해 사시도이고, 도 10은 도 1의 기판 이송 장치의 주요 부분인 제1 상하 구동부와 제2 상하 구동부를 나타내는 측면도이며, 도 11은 도 1의 기판 이송 장치의 제1 상하 구동부가 작동되는 상태를 나타내는 사용 상태도이고, 도 12는 도 1의 기판 이송 장치의 제2 상하 구동부가 작동되는 상태를 나타내는 사용 상태도이다.1 is a perspective view illustrating a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view illustrating the substrate transfer apparatus of FIG. 1, FIG. 3 is a front view illustrating the substrate transfer apparatus of FIG. 1, and FIG. 4 is 1 is a side view illustrating the substrate transfer apparatus of FIG. 1, and FIG. 5 is an exploded perspective view illustrating a main portion of the substrate transfer apparatus of FIG. 1, and FIG. 6 is a perspective view illustrating a substrate transfer unit and a transfer support unit, which are main portions of the substrate transfer apparatus of FIG. 1. 7 is a rear perspective view illustrating a substrate transfer part and a transfer support part, which are main parts of the substrate transfer device of FIG. 1, FIG. 8 is a perspective view illustrating a transfer support part, which is a main part of the substrate transfer device of FIG. 1, and FIG. It is an exploded perspective view which shows the board | substrate support part which is a main part of the board | substrate transport apparatus of FIG. 1, and FIG. 10 is a 1st up-and-down drive part and a 2nd up-and-down which are main parts of the board | substrate transport apparatus of FIG. It is a side view which shows a drive part, FIG. 11 is a use state diagram which shows the state in which the 1st up-and-down drive part of the board | substrate conveyance apparatus of FIG. 1 is operated, and FIG. 12 shows the state in which the 2nd vertical drive part of the substrate transfer apparatus of FIG. 1 is operated. It is a state of use.
도 1 내지 도 12를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치(100)는 기판(10) 제조 시에 각 공정 사이에 기판(10)을 이송시키는 장치이다. 기판 이송 장치(100)는 기판(10)이 접촉되면서 이송 방향인 일측으로 이송시키는 기판 이송부(110), 이송 지지부(120), 기판 지지부(130), 제1 상하 구동부(140), 및 제2 상하 구동부(150)를 포함한다.1 to 12, the
기판 이송부(110)는 이송되는 기판(10)의 폭 방향의 양쪽 측면에 각각 설치된 이송 프레임(111), 이송 롤러체(112), 회전 롤러체(113), 동력전달부재(114), 지지 롤러체(115), 이송 회전 모터(116), 정열 몸체(117), 및 정열 구동 장치(118)를 포함한다. 이송 프레임(111)은 기판(10)을 사이에 두고 서로 마주보는 위치에 각각 배치되어 있으며, 기판(10)의 폭 방향 양쪽으로 각각 위치하도록 설치된다.The
이송 롤러체(112)는 이송 프레임(111)의 서로 마주보는 면에 이송 되는 방향인 일측에 복수 위치로 회전 가능하게 배치되어 있으며, 기판(10)의 폭 방향으로 양측 끝단의 하부면에 구름 접촉되어 회전에 의해 기판(10)을 이송하도록 설치된다. 이송 롤러체(112)는 롤러 형태로 기판(10)의 폭 방향 양쪽 하부면이 접촉되도록 회전 가능하게 구비되고, 기판(10)을 이송되는 일측 방향으로 이동되도록 복수 위치에 배열되도록 설치된다.The conveying
회전 롤러체(113)는 이송 프레임(111)의 각각의 바깥 면으로 복수 위치에 회전 가능하게 배치되어 있으며, 복수의 이송 롤러체(112)에 각각 연결되어 함께 회전되도록 설치된다. 회전 롤러체(113)는 이송 롤러체(112)가 설치되는 이송 프레임(111)의 서로 마주보는 면과 반대되는 각각의 바깥 면에 이송 롤러체(112)와 함께 회전되도록 상호 연결되어 복수로 배열되도록 회전 가능하게 설치된다. 즉, 회전 롤러체(113)가 회전되면 연결된 이송 롤러체(112)가 함께 회전되도록 설치된다.The
동력전달부재(114)는 복수의 회전 롤러체(113)를 각각 연결하고 있으며, 구동에 의해 복수의 회전 롤러체(113)를 동시에 회전시키도록 설치된다. 동력전달부재(114)는 벨트 형태로 구비되어 구동에 의해 복수의 회전 롤러체(113)가 동시에 회전되도록 연결시킨다. 본 발명에서는 설명의 편의상 동력전달부재(114)의 일 예로 회전 벨트를 예로 들어 설명하고 있으나, 복수의 회전 롤러체(113)를 회전시킬 수 있는 모든 동력 전달 수단이 포함될 수 있다. 즉, 동력전달부재(114)로 회전 벨트 이외에 기어, 스프로켓 등의 동력 전달 수단을 사용할 수도 있다. 한편, 지지 롤러체(115)는 이송 프레임(111)의 각각의 바깥 면으로 복수 위치에 회전 가능하게 배치되어 있으며, 복수의 회전 롤러체(113) 사이에 위치하여 회전 벨트인 동력전달부재(114)의 장력이 유지되도록 연결된다. 지지 롤러체(115)는 롤러 형태로 복수의 회전 롤러체(113)를 상호 연결시킨 회전 벨트인 동력전달부재(114)의 처짐을 방지하도록 연결 설치된다.The
이송 회전 모터(116)는 이송 프레임(111)의 일측에 배치되어 있으며, 동력전달부재(114)를 구동시켜 복수의 회전 롤러체(113)가 회전되는 동력이 제공하도록 설치된다. 이송 회전 모터(116)는 작동에 의해 동력전달부재(114)를 구동시키면 회전 롤러체(113)가 회전되고, 회전 롤러체(113)의 회전에 의해 기판(10)의 하부에 접촉되는 이송 롤러체(112)가 회전되어 기판(10)을 일측으로 이송된다.The
정열 몸체(117)는 이송 프레임(111) 중에 서로 마주보는 방향에서 한쪽 면 위치에 배치되어 있으며, 기판(10)의 폭 방향의 양측 중 한쪽 측면 위치에서 이송되는 기판(10)의 한쪽 측면을 밀어서 이송되는 기판(10)을 정열하도록 설치된다.The
정열 구동 장치(118)는 정열 몸체(117)의 한쪽 측면에 배치되어 있으며, 구동에 의해 기판(10)을 밀어서 정열하는 정열 몸체(117)를 한쪽 측면 방향으로 구동시키도록 설치된다. 정열 구동 장치(118)가 구동되면 정열 몸체(117)가 기판(10)의 폭 방향의 양측 중에 한쪽 측면을 밀어서 기판(10)을 정위치로 정열하도록 작동된다.The
이송 지지부(120)는 이송 프레임(111)의 상부에 서로 마주 보는 방향으로 설치된 지지 브라켓(121), 측면 구동 장치(122), 측면 브라켓(123), 측면 롤러체(124), 상하 구동 장치(125), 상부 브라켓(126), 및 상부 롤러체(127)를 포함한다. 지지 브라켓(121)은 이송 프레임(111)의 상부에 서로 마주보는 방향으로 복수 위치에 배치되어 있으며, 이송되는 기판(10)의 양측 방향에 이송 프레임(111)의 복수 위치에서 상부로 돌출되도록 설치된다. 지지 브라켓(121)은 이송 프레임(111)의 상부에서 일측 방향으로 서로 마주보는 위치에 복수로 구비되어 기판(10)의 상부와 양측면을 각각 지지하는 위치에 설치된다.The conveying
측면 구동 장치(122)는 지지 브라켓(121)의 상부에 배치되어 있으며, 이송 프레임(111)의 바깥 방향에서 기판(10)이 이송되는 서로 마주보는 방향으로 각각 구동되도록 설치된다. 측면 구동 장치(122)는 서로 마주보는 각각의 지지 브라켓(121) 상부에서 이송되는 기판(10)의 폭 방향의 양측면 방향으로 구동되는 동력이 제공되도록 설치된다.The
측면 브라켓(123)은 측면 구동 장치(122)의 서로 마주보는 방향에 각각 배치되어 있으며, 측면 구동 장치(122)의 작동으로 이송 프레임(111)의 바깥 방향에서 서로 마주보는 방향으로 구동되도록 설치된다. 측면 브라켓(123)은 측면 구동 장치(122)의 서로 마주보는 방향으로 각각 배치되어 측면 구동 장치(122) 작동 시에 기판(10)의 폭 방향 양쪽 측면을 향해서 구동되도록 설치된다.The
측면 롤러체(124)는 측면 브라켓(123)의 서로 마주보는 방향에 각각 배치되어 있으며, 회전 가능한 롤러 형태로 측면 브라켓(123)의 구동으로 기판의 폭 방향인 양쪽 측면이 구름 접촉되어 이송되는 기판(10)의 양측면을 지지하도록 설치된다.The
상하 구동 장치(125)는 측면 구동 장치(122)의 상부에 배치되어 있으며, 이송 프레임(111)의 상부 위치에서 측면 구동 장치(122)의 작동으로 이송 프레임(111)의 바깥에서 서로 마주보는 방향으로 함께 구동되고, 측면 구동 장치(122)의 상부에서 상하로 구동되도록 설치된다.The
상부 브라켓(126)은 상하 구동 장치(125)의 상부에 배치되어 있으며, 상하 구동 장치(125)의 작동으로 상하로 구동되도록 설치된다.The
상부 롤러체(127)는 상부 브라켓(126)의 하부에 배치되어 있으며, 상부 브라켓(126)에 회전 가능한 롤러 형태로 측면 구동 장치(122)의 작동에 의해 기판(10)의 폭 방향 양측 상부에 각각 위치한 상태에서 상하 구동 장치(125)의 작동으로 하강되면 기판(10)의 폭 방향 양측 상부면이 구름 접촉에 의해 지지되도록 설치된다. The
즉, 측면 구동 장치(122)가 작동시켜 기판 방향으로 측면 롤러체(124)가 이동되면 기판(10)의 양측면에 측면 롤러체(124)가 구름 접촉되도록 지지한 상태에서 상부 롤러체(127)가 기판(10)의 폭 방향의 양쪽 상부 위치에 상부 롤러체(127)가 위치하고, 상하 구동 장치(125)의 작동으로 상부 롤러체(127)를 하강시켜 기판(10)의 폭 방향의 양쪽 상부면으로 구름 접촉에 의해 지지한다. 따라서, 다양한 폭과 두께를 가지는 기판(10)이 이송되도록 공급되어도 구름 접촉에 지지하는 측면 롤러체(124)와 상부 롤러체(127)의 이동 범위를 측면 구동 장치(122)와 상하 구동 장치(125)의 작동에 의해 조절하여 지지한 상태로 이송이 가능함으로써, 이송 효율이 향상될 수 있다.That is, when the
기판 지지부(130)는 이송되는 기판(10)의 하부에서 공기가 분사되는 분사 플레이트(131), 공급 플레이트(132), 스페이서(133), 실리콘 지지체(134), 공급축(135), 지지축(136), 흡착 지지체(137), 및 위치 지지체(138)를 포함한다. 분사 플레이트(131)는 서로 마주보는 위치에 구비된 이송 프레임(111) 사이에 배치되어 있으며, 이송되는 기판(10)의 하부에 위치하여 기판(10)의 하부면 방향으로 복수 위치에서 공기가 분사되는 분사공(131a)을 가진다. 분사 플레이트(131)는 이송되는 기판(10)의 하부 위치에서 기판(10) 하부면에 공기가 분사되도록 설치되어 기판(10)의 하부면에 복수 위치에서 분사된 공기로 떠받치면서 중량을 줄이고, 기판(10)의 장력을 유지하여 작은 힘으로 이송시키면서 펼쳐진 상태를 유지하도록 구비된다.The
공급 플레이트(132)는 분사 플레이트(131)의 하부에 배치되어 있으며, 분사 플레이트(131)의 하부를 폐쇄하도록 구비되고, 외부에서 공기가 공급되도록 관통된 공급공(132a)을 가진다.The
스페이서(133)는 분사 플레이트(131)와 공급 플레이트(132) 사이에 배치되어 있으며, 안쪽으로 복수 위치에서 분사 플레이트(131)와 공급 플레이트(132) 사이의 간격을 유지하도록 구비된다. 스페이서(133)는 공급공(132a)을 통해서 공급되는 공기가 복수의 분사공(131a)으로 분사되도록 분사 플레이트(131)와 공급 플레이트(132)의 간격이 유지되도록 안쪽으로 복수 위치에 설치된다.The
실리콘 지지체(134)는 분사 플레이트(131)와 공급 플레이트(132) 사이에 배치되어 있으며, 분사 플레이트(131)와 공급 플레이트(132)의 바깥 면에서 안쪽 방향으로 가장 자리를 둘러쌓아 공기가 외부로 누출되는 것이 방지되도록 구비된다. 실리콘 지지체(134)는 분사 플레이트(131)와 공급 플레이트(132)의 가장자리 위치에 구비되어 공급공(132a)에서 공급된 공기가 외부로 누출되는 것이 방지되는 실리콘 소재로 구비되어 밀폐력을 향상시킨다.The
공급축(135)은 공급 플레이트(132)의 하부에 배치되어 있으며, 공급공(132a)과 연결되는 하부 방향에 축 형태로 구비되어 공기가 공급공(132a)으로 공급되면서 상하로 이동시키는 제1 상하 구동부(140)에 삽입 지지되도록 설치된다. 공급축(135)은 축 형태로 외부에서 공기가 공급되는 공급원에 연결되어 공급공(132a)을 통해서 공기를 공급하도록 구비되고, 상하로 이동 시에 제1 상하 구동부(140)에 지지되어 구동력을 전달하면서 지지 상태가 유지되도록 설치된다.The
지지축(136)은 공급 플레이트(132) 하부 중앙에 배치되어 있으며, 하부 방향에 축 형태로 제1 상하 구동부(140)에 삽입 지지되어 상하로 이동되는 것이 지지되도록 설치된다. 지지축(136)은 축 형태로 공급 플레이트(132)의 중앙 하부에 구비되어 상하로 이동 시에 제1 상하 구동부(140)에 지지되어 구동력을 전달하면서 지지 상태가 유지되도록 설치된다.The
흡착 지지체(137)는 분사 플레이트(131)의 기판(10)이 이송되는 일측 방향 끝에 상부로 돌출 배치되어 있으며, 기판(10)이 이송에 의해 상부 위치에 도달하면 흡착 압력을 공급하여 기판(10)이 상부 방향으로 들뜨는 것이 방지되도록 흡착한다. 흡착 지지체(137)는 분사 플레이트(131)의 일측 끝에 적어도 하나 이상으로 배치되어 기판이 분사 플레이트(131)가 제1 상하 구동부(140)의 작동으로 상부로 이동한 후에 기판(10)의 이송으로 상부에 위치하면 흡착 압력이 공급되어 기판(10)을 흡착 지지함으로써, 분사공(131a)에서 분사되는 공기의 분사 압력으로 인해 이송되는 기판(10)이 들뜨는 것이 방지되도록 구비된다.The
위치 지지체(138)는 분사 플레이트(131)의 기판이 이송되는 일측 방향 끝에 상부로 돌출 배치되어 있으며, 기판(10)이 분사 플레이트(131) 상부에 도착하여 제1 상하 구동부(140)의 작동에 의해 상승하면서 돌출되어 기판(10)의 일측 끝을 지지하고, 분사 플레이트(131)와 함께 하강되면서 지지를 해제한다. 위치 지지체(138)는 분사 플레이트(131)가 상부로 이동 시에 함께 이동하면서 일측 끝에 돌출되어 이송되는 기판(10)의 일측을 지지함으로써, 분사 플레이트(131)의 분사공(131a)을 통해서 분사되는 공기력으로 밀려서 이송되는 것이 방지되도록 설치된다.The
제1 상하 구동부(140)는 공급 플레이트(132)의 하부에서 기판 지지부가 상하로 이동되도록 지지된 구동 플레이트(141), 축 지지체(142), 구동 레일(144), 상하 구동체(145), 구동 구름체(147), 회전 구동축(148), 및 회전 모터(149)를 포함한다. 구동 플레이트(141)는 공급 플레이트(132)의 하부에 배치되어 있으며, 공급축(135)과 지지축(136)를 지지한 상태로 제2 상하 구동부(150)의 작동에 의해 상하로 구동되도록 설치된다.The first
축 지지체(142)는 구동 플레이트(141)의 일측 상부에 배치되어 있으며, 상하로 이동되는 공급축(135)과 지지축(136)이 삽입된 상태로 지지하도록 설치된다. 축 지지체(142)에는 공급축(135)과 지지축(136)이 각각 삽입되는 지지 축공(143)이 형성된다.The
구동 레일(144)은 구동 플레이트(141)의 일측면으로 서로 떨어진 양측에 상하로 가로 질러 각각 배치되어 있으며, 상하로 구동되는 상하 구동체(145)를 가이드하도록 레일 형태로 설치된다.The driving rails 144 are disposed on both sides of the driving
상하 구동체(145)는 구동 플레이트(141)의 일측 하부에 배치되어 있으며, 회전 모터(149)의 작동에 의해 상하로 구동되도록 설치된다. 상하 구동체(145)의 타측 상부에는 공급축(135)과 지지축(136)이 삽입되는 축 삽입체(146)가 구비된다. 상하 구동체(145)는 회전 모터(149)의 작동으로 상하로 구동되면 축 삽입체(146)에 삽입되어 있는 공급축(135)과 지지축(136)이 상하로 구동되면서 분사 플레이트(131)가 상하로 구동되도록 작동된다.The
구동 구름체(147)는 상하 구동체(145)와 구동 레일(144) 사이에 배치되어 있으며, 상하 구동체(145)의 일측에 구동 레일(144)과 구름 접촉하여 상하 구동체(145)의 상하 구동 시 구동 레일(144) 상에서 가이드된다.The
회전 구동축(148)은 축 지지체(142)의 하부에 배치되어 있으며, 축 지지체(142)의 하부에 회전 가능하게 지지되어 상하 구동체(145)와 나사 결합되도록 구비되어 회전에 의해 상하 구동체(145)를 상하로 구동시킨다. 회전 구동축(148)은 볼트 형태로 구비되어 축 지지체(142)의 하부에 회전 가능하게 지지되고, 상하 구동체(145)와는 나사 결합되어 회전에 의해 상하 구동체(145)를 상하로 구동시키도록 설치된다.The
회전 모터(149)는 회전 구동축(148)의 하부에 배치되어 있으며, 회전 구동축(148)을 회전시키는 동력을 제공한다. 회전 모터(149)는 회전 구동축(148)을 회전 시켜 회전 방향에 따라 상하 구동체(145)가 상부 또는 하부로 이동시키도록 구비된다.The
제2 상하 구동부(150)는 제1 상하 구동부(140)를 상하로 이동되는 동력을 제공하는 구동 실린더(151), 연결 브라켓(152), 구동 가이드체(153), 구동 가이드 레일(154), 및 구동 가이드 구름체(155)를 포함한다. 구동 실린더(151)는 구동 플레이트(141)의 일측에 배치되어 있으며, 기판 지지부(130)가 지지된 구동 플레이트(141)를 상하로 구동시키는 동력을 제공한다.The second vertical driving
연결 브라켓(152)은 구동 실린더(151)의 상부에 배치되어 있으며, 구동 플레이트(141)와 연결되어 구동 실린더(151)의 작동으로 기판 지지부(130)가 지지된 구동 플레이트(141)를 상부로 구동시키도록 연결 구비된다.The
구동 가이드체(153)는 연결 브라켓(152)의 양측에 서로 떨어져 배치되어 있으며, 구동 플레이트(141)가 상하로 이동되는 것을 가이드되도록 상하를 가로지른 위치에 서로 떨어져 각각 설치된다.The driving
구동 가이드 레일(154)은 구동 가이드체(153)의 구동 플레이트(141) 방향인 타측에 배치되어 있으며, 구동 가이드체(153)의 타측면으로 구동 플레이트(141)가 상하로 구동되는 것을 가이드하는 레일 형태로 구비된다. The driving
구동 가이드 구름체(155)는 구동 플레이트(141)의 일측에 서로 떨어져 각각 배치되어 있으며, 각각의 구동 가이드 레일(154)의 미끄럼 접촉되도록 구비하여 구동 플레이트(141)의 상하 이동 시 미끄럼 지지된 상태에서 구동 가이드 레일(154) 상에서 상하로 구동되는 것이 가이드된다.The driving
한편, 본 명세서와 도면에는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 개시하였으며, 비록 특정 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명의 기술 내용을 쉽게 설명하고 발명의 이해를 돕기 위한 일반적인 의미에서 사용된 것이지, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것은 아니다. 여기에 개시된 실시예 외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변형예들이 실시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, And is not intended to limit the scope of the invention. It is to be understood by those skilled in the art that other modifications based on the technical idea of the present invention are possible in addition to the embodiments disclosed herein.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 기판 100 : 기판 이송 장치
110 : 기판 이송부 111 : 이송 프레임
112 : 이송 롤러체 113 : 회전 롤러체
114 : 동력전달부재 115 : 지지 롤러체
116 : 이송 회전 모터 117 : 정열 몸체
118 : 정열 구동 장치 120 : 이송 지지부
121 : 지지 브라켓 122 : 측면 구동 장치
123 : 측면 브라켓 124 : 측면 롤러체
125 : 상하 구동 장치 126 : 상부 브라켓
127 : 상부 롤러체 130 : 기판 지지부
131 : 분사 플레이트 131a : 분사공
132 : 공급 플레이트 132a : 공급공
133 : 스페이서 134 : 실리콘 지지체
135 : 공급축 136 : 지지축
137 : 흡착 지지체 138 : 위치 지지체
140 : 제 1 상하 구동부 141 : 구동 플레이트
142 : 축 지지체 143 : 지지 축공
144 : 구동 레일 145 : 상하 구동체
146 : 축 삽입체 147 : 구동 구름체
148 : 회전 구동축 149 : 회전 모터
150 : 제2 상하 구동부 151 : 구동 실린더
152 : 연결 브라켓 153 : 구동 가이드체
154 : 구동 가이드 레일 155 : 구동 가이드 구름체Description of the Related Art
10: substrate 100: substrate transfer device
110: substrate transfer portion 111: transfer frame
112: feed roller body 113: rotating roller body
114: power transmission member 115: support roller body
116: feed rotation motor 117: alignment body
118: alignment drive device 120: transfer support
121: support bracket 122: side drive device
123: side bracket 124: side roller body
125: up and down drive device 126: upper bracket
127: upper roller body 130: substrate support
131:
132: supply plate 132a: supply hole
133
135
137: adsorption support 138: position support
140: first up and down drive unit 141: drive plate
142: shaft support 143: support shaft hole
144: drive rail 145: vertical drive
146: shaft insert 147: driving rolling body
148: rotation drive shaft 149: rotation motor
150: second vertical drive unit 151: driving cylinder
152: connecting bracket 153: driving guide body
154: driving guide rail 155: driving guide rolling body
Claims (9)
상기 기판 이송부의 상부에 각각 배치되어 있으며, 상기 기판의 폭 방향으로 양 측면과 양측 끝단의 상부면에 각각 구름 접촉하여 상기 기판 이송부에 의해 이송되는 상기 기판을 지지하는 이송 지지부, 및
상기 기판 이송부의 사이에 배치되어 있으며, 상기 기판 이송부에 의해 이송된 상기 기판의 하부를 지지하도록 상기 기판의 하부면으로 공기를 분사하는 복수의 분사공이 구비된 기판 지지부를 포함하되,
상기 기판 이송부는,
상기 기판을 사이에 두고 서로 마주보는 위치에 각각 배치되어 있으며, 상기 기판의 폭 방향으로 양쪽에 각각 위치한 이송 프레임,
상기 이송 프레임의 서로 마주보는 면에 이송 되는 방향인 일측에 복수 위치로 회전 가능하게 배치되어 있으며, 상기 기판의 폭 방향으로 양측 끝단의 하부면에 구름 접촉되어 회전에 의해 상기 기판을 이송하는 복수의 이송 롤러체,
상기 이송 프레임 각각의 바깥 면으로 복수 위치에 회전 가능하게 배치되어 있으며, 복수의 상기 이송 롤러체에 각각 연결되어 함께 회전되는 복수의 회전 롤러체,
복수의 상기 회전 롤러체를 각각 연결하고 있으며, 구동에 의해 복수의 상기 회전 롤러체를 동시에 회전시키는 동력전달부재, 및
상기 이송 프레임의 일측에 배치되어 있으며, 상기 동력전달부재를 구동시켜 복수의 회전 롤러체가 회전되는 동력을 제공하는 이송 회전 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.A substrate transfer unit disposed at positions facing each other with the substrate interposed therebetween, the substrate transfer unit transferring the substrate by rolling contact with lower surfaces of both ends in the width direction of the substrate, respectively;
A transfer support part disposed at an upper portion of the substrate transfer part and supporting the substrate transferred by the substrate transfer part by rolling contact with both side surfaces and upper surfaces of both end portions in a width direction of the substrate;
Is disposed between the substrate transfer portion, and includes a substrate support having a plurality of injection holes for injecting air to the lower surface of the substrate to support the lower portion of the substrate conveyed by the substrate transfer portion,
Wherein,
A transfer frame disposed at positions facing each other with the substrate interposed therebetween, the transfer frames respectively positioned at both sides in a width direction of the substrate;
It is disposed rotatably in a plurality of positions on one side which is a direction to be transferred to the mutually opposite surfaces of the transfer frame, a plurality of conveying the substrate by rotation in contact with the lower surface of both ends in the width direction of the substrate Conveying roller body,
A plurality of rotating roller bodies rotatably disposed at a plurality of positions on an outer surface of each of the conveying frames, respectively connected to the plurality of conveying roller bodies and rotated together;
A power transmission member connecting a plurality of said rotating roller bodies, respectively, to rotate the plurality of said rotating roller bodies simultaneously by driving; and
It is disposed on one side of the transfer frame, substrate transfer apparatus characterized in that it comprises a transfer rotary motor for driving the power transmission member to provide power to rotate the plurality of rotating roller body.
상기 이송 프레임 중 서로 마주보는 방향에서 한쪽 면 위치에 배치되어 있으며, 상기 기판의 폭 방향의 양측 중 한쪽 측면 위치에서 이송되는 상기 기판의 한쪽 측면을 밀어서 이송되는 상기 기판을 정열하는 정열 몸체, 및
상기 정열 몸체의 한쪽 측면에 배치되어 있으며, 구동에 의해 상기 기판을 밀어서 정열하는 상기 정열 몸체를 한쪽 측면 방향으로 구동시키는 정열 구동 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 1,
An alignment body arranged at one surface position in a direction facing each other of the transfer frames, and arranged to align the substrate to be transported by pushing one side of the substrate to be transported at one side position of both sides in the width direction of the substrate;
And an alignment driving device disposed on one side of the alignment body, and configured to drive the alignment body in one side direction by pushing the substrate by driving.
상기 이송 지지부는,
상기 기판 이송부의 상부에 서로 마주보는 방향으로 복수 위치에 배치되어 있으며, 이송되는 상기 기판의 양측면 방향에 상기 기판 이송부의 복수 위치에서 상부로 돌출된 지지 브라켓,
상기 지지 브라켓의 상부에 배치되어 있으며, 상기 기판 이송부의 바깥 방향에서 상기 기판이 이송되는 서로 마주보는 방향으로 각각 구동되는 측면 구동 장치,
상기 측면 구동 장치의 서로 마주보는 방향에 각각 배치되어 있으며, 상기 측면 구동 장치의 작동으로 상기 기판 이송부의 바깥 방향에서 서로 마주보는 방향으로 구동되는 측면 브라켓,
상기 측면 브라켓의 서로 마주보는 방향에 각각 배치되어 있으며, 회전 가능한 롤러 형태로 상기 측면 브라켓의 구동으로 상기 기판의 폭 방향인 양쪽 측면이 구름 접촉되어 이송되는 상기 기판의 양측면을 지지하는 측면 롤러체,
상기 측면 구동 장치의 상부에 배치되어 있으며, 상기 기판 이송부의 상부 위치에서 상기 측면 구동 장치의 작동으로 상기 기판 이송부의 바깥에서 서로 마주보는 방향으로 함께 구동되고, 상기 측면 구동 장치의 상부에서 상하로 구동되는 상하 구동 장치,
상기 상하 구동 장치의 상부에 배치되어 있으며, 상기 상하 구동 장치의 작동으로 상하로 구동되는 상부 브라켓, 및
상기 상부 브라켓의 하부에 배치되어 있으며, 상기 상부 브라켓에 회전 가능한 롤러 형태로 상기 측면 구동 장치의 작동에 의해 상기 기판의 폭 방향 양측 상부에 각각 위치한 상태에서 상기 상하 구동 장치의 작동으로 하강되면 상기 기판의 폭 방향 양측 상부면을 구름 접촉하면서 지지되는 상부 롤러체를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 1,
The transfer support,
A support bracket which is disposed at a plurality of positions in a direction facing each other on an upper portion of the substrate transfer portion and protrudes upward at a plurality of positions of the substrate transfer portion in both side surfaces of the substrate to be transferred;
A side driving device disposed on an upper portion of the support bracket and driven in a direction facing each other in which the substrate is transferred in an outer direction of the substrate transfer part;
The side brackets are disposed in the direction facing each other of the side drive device, the side bracket is driven in a direction facing each other in the outward direction of the substrate transfer unit by the operation of the side drive device,
Side rollers are disposed in opposite directions of the side brackets, respectively, and support both sides of the substrate in which both sides in the width direction of the substrate are transferred in rolling contact with each other by the driving of the side bracket in the form of a rotatable roller;
It is disposed above the side driving device, and driven together in the direction facing each other from the outside of the substrate transfer unit by the operation of the side drive device in the upper position of the substrate transfer unit, and driven up and down in the upper portion of the side drive unit Up and down drive device,
An upper bracket disposed on an upper portion of the vertical driving device and driven up and down by an operation of the vertical driving device;
The substrate is disposed below the upper bracket and is lowered by the operation of the vertical driving device in a state in which the side bracket is rotatable to the upper bracket and positioned on both sides in the width direction of the substrate by the operation of the side driving device. And an upper roller body which is supported while rolling in contact with both upper surfaces in the width direction of the substrate.
상기 기판 지지부는,
상기 기판 이송부 사이에 배치되어 있으며, 이송되는 상기 기판의 하부에 위치하여 상기 기판의 하부면 방향으로 복수 위치에서 공기가 분사되는 분사공을 가지는 분사 플레이트,
상기 분사 플레이트의 하부에 배치되어 있으며, 상기 분사 플레이트의 하부를 폐쇄하도록 구비되고, 외부에서 공기가 공급되도록 관통된 공급공을 가지는 공급 플레이트,
상기 분사 플레이트와 상기 공급 플레이트 사이에 배치되어 있으며, 안쪽으로 복수 위치에서 상기 분사 플레이트와 상기 공급 플레이트 사이의 간격을 유지하도록 구비된 스페이서,
상기 분사 플레이트와 상기 공급 플레이트 사이에 배치되어 있으며, 상기 분사 플레이트와 상기 공급 플레이트의 바깥 면에서 안쪽 방향으로 가장 자리를 둘러쌓아 공기가 외부로 누출되는 것이 방지되도록 구비된 실리콘 지지체,
상기 공급 플레이트의 하부에 배치되어 있으며, 상기 공급공과 연결되는 하부 방향에 축 형태로 구비되어 공기가 상기 공급공으로 공급되면서 상하로 이동시키는 공급축, 및
상기 공급 플레이트 하부 중앙에 배치되어 있으며, 하부 방향에 축 형태로 삽입 지지되어 상하로 이동되는 것이 지지되는 지지축을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 1,
The substrate-
An injection plate disposed between the substrate transfer parts and having a spray hole in which air is injected at a plurality of positions in a lower direction of the substrate to be disposed below the substrate to be transferred;
A supply plate disposed below the injection plate, provided to close the lower part of the injection plate, and having a supply hole penetrated to supply air from the outside;
A spacer disposed between the injection plate and the supply plate, the spacer being provided to maintain a distance between the injection plate and the supply plate at a plurality of positions inwardly;
A silicon support disposed between the injection plate and the supply plate and provided to surround an edge inward from an outer surface of the injection plate and the supply plate to prevent air from leaking to the outside;
It is disposed in the lower portion of the supply plate, provided in the form of a shaft in the lower direction connected to the supply hole is a supply shaft for moving up and down while supplying air to the supply hole, and
And a support shaft disposed at the lower center of the supply plate, the support shaft being inserted into the shaft in a lower direction and supported to move up and down.
상기 분사 플레이트의 상기 기판이 이송되는 일측 방향 끝에 상부로 돌출 배치되어 있으며, 상기 기판이 이송에 의해 상부 위치에 도달하면 흡착 압력을 공급하여 상기 기판이 상부 방향으로 들뜨는 것이 방지되도록 흡착하는 흡착 지지체, 및
상기 분사 플레이트의 상기 기판이 이송되는 일측 방향 끝에 상부로 돌출 배치되어 있으며, 상기 기판이 상기 분사 플레이트 상부에 도착하여 상기 상하 구동부의 작동에 의해 상승하면서 돌출되어 상기 기판의 일측 끝을 지지하고, 상기 분사 플레이트가 하강되면 함게 하강되면서 지지를 해제하는 위치 지지체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 5, wherein
An adsorption support protruding upwardly at one end of the spray plate to which the substrate is transported, and supplying adsorption pressure when the substrate reaches an upper position by transport, thereby adsorbing the substrate to prevent the substrate from being lifted upward; And
Protruded upwardly at one end of the jet plate in which the substrate is transported, and the substrate reaches the jet plate and rises by an operation of the vertical drive unit to support one end of the substrate, and Substrate transfer apparatus further comprises a position support for releasing the support while descending together when the injection plate is lowered.
상기 기판 지지부의 하부에 연결되어 있으며, 상기 기판 지지부를 상하로 구동시키는 제1 상하 구동부, 및
상기 제1 상하 구동부의 타측에 구비되어 있으며, 상기 기판 지지부를 상하로 이동시키도록 지지된 상기 제1 상하 구동부를 상하로 구동시키는 제2 상하 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 1,
A first vertical driving part connected to a lower part of the substrate support part to drive the substrate support part up and down, and
And a second vertical drive part provided on the other side of the first vertical drive part and configured to drive the first vertical drive part vertically supported to move the substrate support part up and down.
상기 제1 상하 구동부는,
상기 기판 지지부의 하부에 배치되어 있으며, 상기 기판 지지부를 지지한 상태로 상기 제2 상하 구동부의 작동에 의해 상하로 구동되는 구동 플레이트,
상기 구동 플레이트의 일측 상부에 배치되어 있으며, 상하로 이동되는 상기 기판 지지부를 지지하도록 삽입되는 통공 형태의 지지 축공을 가지는 축 지지체,
상기 구동 플레이트의 일측면으로 서로 떨어진 양측에 상하로 가로 질러 각각 배치되어 있으며, 상하로 구동되는 것을 가이드하도록 레일 형태로 구비한 구동 레일,
상기 구동 플레이트의 일측 하부에 배치되어 있으며, 상기 기판 지지부의 하부를 삽입 지지하도록 축 삽입체가 구비되고, 상기 기판 지지부의 하부를 지지한 상태에서 상하로 구동시키도록 구비된 상하 구동체,
상기 상하 구동체와 상기 구동 레일 사이에 배치되어 있으며, 상기 상하 구동체의 일측에 상기 구동 레일과 구름 접촉하여 상기 상하 구동체의 상하 구동 시 상기 구동 레일 상에서 가이드되는 구동 구름체,
상기 축 지지체의 하부에 배치되어 있으며, 상기 축 지지체의 하부에 회전 가능하게 지지되어 상기 상하 구동체와 나사 결합하도록 구비되어 회전에 의해 상기 상하 구동체를 상하로 구동시키는 회전 구동축, 및
상기 회전 구동축의 하부에 배치되어 있으며, 상기 회전 구동축을 회전시키는 동력을 제공하는 회전 모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 7, wherein
The first vertical drive unit,
A driving plate disposed below the substrate support part and driven up and down by operation of the second vertical drive part while supporting the substrate support part;
Is disposed on the upper side of the drive plate, the shaft support having a support shaft hole of the through shape is inserted to support the substrate support is moved up and down,
Drive rails each disposed up and down on both sides of the driving plate to be spaced apart from each other, and provided in the form of a rail to guide the driving up and down,
An up and down driving body disposed under one side of the driving plate, the shaft insert being provided to insert and support the lower part of the substrate support part, and the upper and lower driving parts provided to be driven up and down while supporting the lower part of the substrate support part;
A driving rolling body disposed between the upper and lower driving bodies and the driving rails and guided on the driving rails when vertically driving the upper and lower driving bodies by rolling contact with the driving rails on one side of the upper and lower driving bodies;
A rotational drive shaft disposed below the shaft support, rotatably supported by the lower portion of the shaft support, to be screwed with the vertical drive, to rotate the vertical drive up and down by rotation; and
And a rotary motor disposed under the rotary drive shaft, the rotary motor providing power for rotating the rotary drive shaft.
상기 제2 상하 구동부는,
상기 제1 상하 구동부의 일측에 배치되어 있으며, 상기 기판 지지부와 상기 제1 상하 구동부를 상하로 구동시키는 동력을 제공하는 구동 실린더,
상기 구동 실린더의 상부에 배치되어 있으며, 상기 제1 상하 구동부와 연결되어 상기 구동 실린더의 작동으로 상기 기판 지지부와 상기 제1 상하 구동부를 상부로 이동시키도록 연결된 연결 브라켓,
상기 연결 브라켓의 양측에 서로 떨어져 배치되어 있으며, 상기 제1 상하 구동부가 상하로 구동되는 것을 가이드하도록 상하로 가로지른 위치에 서로 떨어져 각각 구비된 구동 가이드체,
상기 구동 가이드체의 상기 제1 상하 구동부 방향인 타측에 배치되어 있으며, 상기 구동 가이드체의 타측면으로 상기 제1 상하 구동부가 상하로 구동되는 것을 가이드하는 레일 형태로 구비된 구동 가이드 레일, 및
상기 제1 상하 구동부의 일측에 서로 떨어져 각각 배치되어 있으며, 각각의 상기 구동 가이드 레일에 미끄럼 접촉되도록 구비하여 상기 제1 상하 구동부의 상하 이동 시 미끄럼 지지된 상태에서 상기 구동 가이드 레일 상에서 상하로 구동되는 것이 가이드되는 구동 가이드 구름체를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.The method of claim 7, wherein
The second vertical drive unit,
A driving cylinder disposed on one side of the first vertical driving part and providing power for driving the substrate support part and the first vertical driving part up and down;
A connection bracket disposed on an upper portion of the driving cylinder and connected to the first vertical driving part to move the substrate support part and the first vertical driving part upward by an operation of the driving cylinder;
Driving guide bodies disposed on both sides of the connection brackets and spaced apart from each other, and provided to be spaced apart from each other in a vertically transverse position to guide the first vertical driving unit to be driven up and down,
A driving guide rail disposed on the other side of the driving guide body in the direction of the first up and down driving unit and provided in a rail shape to guide the first up and down driving unit to be driven up and down to the other side of the driving guide body;
It is disposed on each side of the first vertical drive unit apart from each other, and provided to be in sliding contact with each of the driving guide rail to be driven up and down on the drive guide rail in the sliding state when the vertical movement of the first vertical drive unit Substrate transport apparatus characterized in that it comprises a drive guide rolling body guided.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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