KR101284563B1 - Anodizing apparatus for rotary target - Google Patents

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Abstract

본 발명은 TFT-LCD 등 디스플레이 소자 제조를 위한 스퍼터링 등에 사용되는 알루미늄제의 로터리 타겟의 내면에 양극산화막을 형성하기 위한 양극산화처리장치를 제공한다. 이를 위해, 본 발명은 알루미늄 로터리 타겟의 내면에 양극산화막을 형성하기 위한 양극산화처리장치에 있어서, 하측단부는 폐쇄플러그(12)로 폐쇄되고 상측단부는 플랜지형 연결단부(16)가 연결되고 알루미늄으로 되는 원통체(10)와, 상기 원통체(10)의 플랜지형 연결단부(16)가 연결되는 유통공(24)을 가지며 양극전위가 인가되는 양극대(28)가 부착된 연결지그판(26)이 저면을 구성하는 상부전해조(20)와, 상기 원통체(10)의 내면에 대하여 일정한 간격을 유지하도록 상기 원통체(10)의 내부에 삽입되고 음극전위가 인가되는 음극파이프(30)와, 상기 원통체(10) 및 음극파이프(30) 내부에서 순환하며 상부전해조(20) 내에 수용되는 전해액(34)을 포함하는 로터리 타겟용 양극산화처리장치를 개시한다.The present invention provides an anodizing apparatus for forming an anodizing film on an inner surface of an aluminum rotary target used for sputtering for manufacturing a display device such as a TFT-LCD. To this end, the present invention in the anodizing apparatus for forming an anodization film on the inner surface of the aluminum rotary target, the lower end is closed with a closing plug 12 and the upper end is connected to the flange-type connecting end 16 and aluminum A connecting jig plate having a cylindrical body 10 to be connected to the anode hole 28 to which a positive electrode potential is applied, and having a distribution hole 24 to which the flange-shaped connecting end portion 16 of the cylindrical body 10 is connected. An upper electrolytic tank 20 constituting the bottom surface and a negative electrode pipe 30 inserted into the cylindrical body 10 so as to maintain a constant interval with respect to the inner surface of the cylindrical body 10 and the negative electrode potential is applied thereto. And an electrolyte treatment device for a rotary target including an electrolyte solution 34 circulated in the cylindrical body 10 and the cathode pipe 30 and accommodated in the upper electrolyte tank 20.

Description

로터리 타겟용 양극산화처리장치 {ANODIZING APPARATUS FOR ROTARY TARGET}Anodizing Device for Rotary Targets {ANODIZING APPARATUS FOR ROTARY TARGET}

본 발명은 로터리 타겟(rotary target)용 양극산화처리장치에 관한 것으로, 특히 TFT-LCD 등 디스플레이 소자 제조를 위한 스퍼터링(spurttering) 등의 증착공정에 사용되는 알루미늄(Al)제의 원통체인 로터리 타겟(rotary target)의 내면에 양극산화막을 형성하기 위한 양극산화처리장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an anodizing apparatus for a rotary target, and in particular, a rotary target, which is a cylindrical body made of aluminum (Al), used in a deposition process such as sputtering for manufacturing a display device such as a TFT-LCD ( An anodizing apparatus for forming an anodization film on an inner surface of a rotary target).

통상적으로 TFT-LCD 등 디스플레이 소자 제조를 위한 스퍼터링(spurttering) 등의 증착공정에 사용되는 알루미늄(Al) 등의 중공의 로터리 타겟(rotary target)은 일반적으로 그 내면에 양극산화막이 형성되도록 양극산화처리된다.In general, a hollow rotary target such as aluminum (Al) used in a deposition process such as sputtering for manufacturing a display device such as a TFT-LCD is generally anodized so that an anodization film is formed on an inner surface thereof. do.

이러한 양극산화처리를 위한 장치는 일반적으로 소정 길이의 양극대 및 음극대를 포함하고 내부에 전해액으로서 황산용액이 충전된 기다란 전해조 내에 알루미늄 파이프를 넣고 이를 상기 양극대와 전기적으로 연결한 후 전계를 인가하여 상기 황산용액을 전기분해함으로써 상기 알루미늄 파이프의 표면에 양극산화피막층을 형성하는 방식을 이용한다. 그 일 예로서, 피처리물로서 알루미늄 파이프의 내외측면을 양극산화처리하기 위한 양극산화처리장치가 등록실용신안 제0408130호(2006. 2. 1 등록)에 개시된 바 있다. The apparatus for anodizing generally includes a positive electrode and a negative electrode of a predetermined length, and puts an aluminum pipe in an elongated electrolytic cell filled with sulfuric acid solution as an electrolyte therein and electrically connects it to the positive electrode to apply an electric field. By using the electrolysis of the sulfuric acid solution to form an anodized layer on the surface of the aluminum pipe. As an example, an anodizing apparatus for anodizing the inside and outside surfaces of an aluminum pipe as a workpiece has been disclosed in Korean Utility Model Registration No. 0408130 (registered on Feb. 1, 2006).

그러나, 이러한 종래기술은 상기 알루미늄 파이프인 피처리물의 내면 및 외면 모두가 양극산화처리되므로, 피처리물로서 상기 알루미늄 로터리 타겟의 내면에만 양극산화막을 형성하기 위해서는 그 외면이 전해액에 접촉하지 않도록 외면을 일일이 마스킹하여야 하는 작업이 추가로 요구된다. 이에 따라, 이러한 마스킹 작업으로 인해 공정이 복잡해지고, 무엇보다도 마스킹 부위에 전해액이 침투함은 물론, 전해조 내에서 전해액의 원활한 순환이 방해되어 양극산화처리 효율이 떨어지고 결국 품질저하를 야기한다.However, since the inner and outer surfaces of the object to be treated as the aluminum pipe are both anodized, such a conventional technique requires the outer surface not to contact the electrolyte so as to form an anodized film only on the inner surface of the aluminum rotary target as the object to be treated. Additional work required to be masked separately is required. Accordingly, such a masking operation complicates the process, and above all, the electrolyte solution penetrates into the masking site, as well as the smooth circulation of the electrolyte solution in the electrolytic cell, thereby decreasing the anodizing efficiency and eventually causing the deterioration of quality.

본 발명의 목적은 초박막액정표시장치의 제조공정에 사용되는 알루미늄 로터리 타겟의 내면에만 양극산화막이 형성될 수 있도록 하기 위하여, 로터리 타겟과 같은 원통체를 전해조의 일부를 구성할 수 있도록 하여 전해액이 피처리제품인 로터리 타겟인 원통체의 외면에는 전해액이 접촉하지 않는 로터리 타겟용 양극산화처리장치를 제공하기 위한 것이다.An object of the present invention is to allow the anodic oxide film to be formed only on the inner surface of the aluminum rotary target used in the manufacturing process of the ultra-thin liquid crystal display device, so that a cylindrical body, such as a rotary target, can form part of the electrolytic cell. An object of the present invention is to provide an anodizing apparatus for a rotary target in which an electrolyte solution does not contact an outer surface of a cylindrical body, which is a rotary target, which is a processed product.

이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 로터리 타겟용 양극산화처리장치는 알루미늄 로터리 타겟의 내면에 양극산화막을 형성하기 위한 양극산화처리장치로서, 하측단부는 폐쇄플러그로 폐쇄되고 상측단부는 플랜지형 연결단부가 연결되고 알루미늄으로 되는 원통체와, 상기 원통체의 플랜지형 연결단부가 연결되는 유통공을 가지며 양극전위가 인가되는 양극대가 부착된 연결지그판이 저면을 구성하는 상부전해조와, 상기 원통체의 내면에 대하여 일정한 간격을 유지하도록 상기 원통체의 내부에 삽입되고 음극전위가 인가되는 음극파이프와, 상기 원통체 및 음극파이프 내부에서 순환하며 상부전해조 내에 수용되는 전해액을 포함할 수 있다. Anodizing apparatus for a rotary target according to the present invention for achieving the above object is an anodizing apparatus for forming an anodizing film on the inner surface of an aluminum rotary target, the lower end is closed with a closing plug and the upper end is flanged An upper electrolytic tank having a cylindrical body made of aluminum and a connecting hole having a flow hole to which a flange-shaped connecting end of the cylindrical body is connected, and a connecting jig plate having a positive electrode band to which an anode potential is applied; It may include a negative electrode pipe is inserted into the inside of the cylindrical body and the negative electrode potential is applied to maintain a constant interval with respect to the inner surface of the, and the electrolyte solution circulated inside the cylindrical body and the negative electrode pipe and accommodated in the upper electrolyte tank.

이때, 상기 플랜지형 연결단부는 방사상 플랜지를 가지며, 상기 방사상 플랜지가 상기 연결지그판에 결합될 수 있다.At this time, the flange-shaped connecting end has a radial flange, the radial flange may be coupled to the connecting jig plate.

또한, 상기 원통체의 외면은 마스킹될 수 있고, 이 마스킹은 무정전 비닐 및 PVC 파이프 중의 하나 이상으로 될 수 있다.In addition, the outer surface of the cylindrical body may be masked, and the masking may be one or more of an uninterruptible vinyl and PVC pipe.

또한, 상기 원통체의 내부로 삽입되는 음극파이프는 원통체의 내면과 일정한 간격을 유지하여 상기 전해액의 유동이 이루어질 수 있도록 상기 음극파이프의 외면에 부착된 하나 이상의 스페이서를 포함할 수 있고, 이 스페이서는 절연체로 될 수 있다. 또한, 상기 음극파이프(30)는 내부를 유동하는 상기 전해액(34)이 외부로 분사되도록 상기 음극파이프(30)의 표면에 복수의 홀을 더 포함할 수 있다.In addition, the negative electrode pipe inserted into the cylindrical body may include one or more spacers attached to the outer surface of the negative electrode pipe to maintain a constant distance from the inner surface of the cylindrical body to allow the flow of the electrolyte solution, the spacer Can be an insulator. In addition, the cathode pipe 30 may further include a plurality of holes on the surface of the cathode pipe 30 such that the electrolyte 34 flowing therein is injected to the outside.

또한, 상기 원통체의 내부로 삽입되는 음극파이프는 그 단부가 상기 원통체의 폐쇄플러그에 근접하여 하측으로 개방되게 배치되고, 상기 음극파이프의 상단부는 상기 상부전해조에 공급되는 전해액의 수위보다 더 높은 위치에 놓이도록 배치될 수 있다.In addition, the negative electrode pipe inserted into the cylindrical body is disposed so that the end thereof is open to the lower side close to the closing plug of the cylindrical body, the upper end of the negative electrode pipe is higher than the water level of the electrolyte supplied to the upper electrolytic tank It may be arranged to be in position.

또한, 상기 전해액을 저장하는 전해액저장조와, 일단이 상기 전해액저장조와 연결되고 다른 일단이 상기 상부전해조의 내부에서 상기 음극파이프의 상측에 연결되어 상기 전해액을 상기 전해액저장조로부터 상기 음극파이프의 내부로 공급하는 전해액공급관을 더 포함할 수 있다. In addition, an electrolyte storage tank for storing the electrolyte, and one end is connected to the electrolyte storage tank and the other end is connected to the upper side of the negative electrode pipe in the inside of the upper electrolyte tank to supply the electrolyte solution from the electrolyte storage tank to the inside of the negative electrode pipe It may further include an electrolyte supply pipe.

또한, 상기 전해액공급관에 연결되어 상기 전해액 내에 공기를 공급하는 급기관을 더 포함할 수 있다.In addition, the air supply pipe may be further connected to the electrolyte supply pipe for supplying air in the electrolyte.

또한, 상기 상부전해조의 측부에 연결되어 상기 상부전해조 내에서 임의의 기준수위를 넘는 전해액을 상기 전해액저장조 내로 배출하는 오버플로우를 더 포함할 수 있다. 이로써, 상기 전해액의 유로는 상기 음극파이프 내부, 상기 음극파이프 외면 및 상기 원통체 내면 사이, 상기 상부전해조 내부 및 상기 전해액저장조 내부의 순서로 이루어질 수 있다.In addition, it may further include an overflow connected to the side of the upper electrolyte tank for discharging the electrolyte exceeds any reference level in the upper electrolyte tank into the electrolyte storage tank. Thus, the flow path of the electrolyte may be formed in the order between the inside of the cathode pipe, the outer surface of the cathode pipe and the inner surface of the cylindrical body, inside the upper electrolyte tank and inside the electrolyte storage tank.

이하, 본 발명을 첨부도면에 의거하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1의 (a), (b) 및 (c)는 알루미늄 로터리 타겟의 원통체가 전해조의 일부를 구성하여 사용될 수 있도록 하측단부에 폐쇄플러그가 용접으로 폐쇄되고 상측단부에 플랜지를 갖는 연결단부가 용접으로 연결되는 것을 보인 설명도.
도 2는 본 발명에 의한 양극산화처리장치를 보인 단면도.
도 3은 본 발명에 의한 양극산화처리장치를 구성하기 위하여 상부전해조에 로터리 타겟의 원통체가 결합되는 것을 보이고 원통체에 음극관이 삽입되는 것을 보인 부분사시도.
도 4는 본 발명에 의한 양극산화처리장치를 구성하는 상부전해조와 이에 결합된 원통체의 일부를 보인 부분확대단면도.(A), (b) and (c) of FIG. 1, the closing plug is welded closed at the lower end and the connecting end having the flange at the upper end is welded so that the cylindrical body of the aluminum rotary target can be used as part of the electrolytic cell. An explanatory diagram showing the connection to.
2 is a cross-sectional view showing an anodizing apparatus according to the present invention.
Figure 3 is a partial perspective view showing that the cylindrical body of the rotary target is coupled to the upper electrolytic tank to constitute the anodizing apparatus according to the present invention is inserted into the cylindrical tube.
Figure 4 is a partially enlarged cross-sectional view showing a part of the upper electrolytic tank and the cylindrical body constituting the anodizing apparatus according to the present invention.

본 발명은 TFT-LCD 등 디스플레이 소자 제조를 위한 스퍼터링(spurttering) 등의 증착공정에 사용되는 알루미늄(Al)제의 원통체인 로터리 타겟(rotary target)의 내면에 양극산화막을 형성하기 위한 양극산화처리장치를 제공하기 위한 것이다. 이러한 로터리 타겟을 구성하는 알루미늄 원통체는 그 내면만이 양극산화처리되어 양극산화막이 형성되어야 한다. 본 발명에서 이러한 원통체는 전해조의 일부를 구성하는데 사용된다.The present invention provides an anodizing apparatus for forming an anodized film on the inner surface of a rotary target, which is a cylindrical body made of aluminum (Al), used in a deposition process such as sputtering for manufacturing a display device such as a TFT-LCD. It is to provide. The aluminum cylinder constituting the rotary target should be anodized only on its inner surface to form an anodized film. In the present invention such a cylinder is used to form part of an electrolytic cell.

이를 위하여, 도 1에서 보인 바와 같이, 상하개방형인 알루미늄 원통체(10)는 그 하측단부에 폐쇄플러그(12)가 용접되어 폐쇄되고, 상측단부는 상측에 방사상 플랜지(14)를 갖는 연결단부(16)가 용접으로 연결된다. 또한, 원통체(10)의 외면은 무정전 비닐 및/또는 PVC 파이프의 마스킹소재(18)로 마스킹되며, 본 발명에 있어서 마스킹 소재는 이에 한정되지 아니하고 해당 분야에 공지된 모든 마스킹 소재로 될 수 있다. 한편으로는, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 이러한 마스킹 공정은 생략될 수도 있으며, 이에 대해서는 후술한다.To this end, as shown in Figure 1, the upper and lower aluminum cylindrical body 10 is closed by the closing plug 12 is welded to the lower end thereof, the upper end is connected to the upper end having a radial flange (14) ( 16) is connected by welding. In addition, the outer surface of the cylindrical body 10 is masked with a masking material 18 of an uninterruptible vinyl and / or PVC pipe, and the masking material in the present invention may be any masking material known in the art, without being limited thereto. . On the other hand, according to an embodiment of the present invention, such a masking process may be omitted, which will be described later.

그리고, 상기와 같이 하측단부가 폐쇄되고 상측단부에 플랜지형 연결단부(16)가 연결된 원통체(10)는 도 2~4에 도시하는 본 발명에 의한 전해조의 일부로서 상부전해조(20)에 결합된다.And, as described above, the cylindrical body 10 having the lower end closed and the flange-shaped connecting end 16 connected to the upper end is coupled to the upper electrolytic cell 20 as part of the electrolytic cell according to the present invention shown in FIGS. 2 to 4. do.

도 2~4를 참조하면, 상부전해조(20)의 하측에는 이에 결합되는 원통체(10)의 길이보다 더 길게 연장된 프레임(22)이 착설되어 전해조 전체를 지지한다.2 to 4, the lower side of the upper electrolytic tank 20 is installed frame 22 extending longer than the length of the cylindrical body 10 coupled thereto to support the entire electrolytic cell.

또한, 상부전해조(20)는 용기의 형태이고, 그 저면에 원통체(10)의 플랜지형 연결단부(16)가 결합되는 유통공(24)을 갖는 연결지그판(26)이 배치된다. 이 연결지그판(26)에 양극대(28)가 부착되고, 상부전해조(20)의 저면에 배치된 연결지그판(26)의 유통공(24)에 내부가 연통되도록 결합된 원통체(10)의 내부로 음극파이프(30)가 삽입된다.In addition, the upper electrolytic bath 20 is in the form of a container, and a connecting jig plate 26 having a distribution hole 24 to which the flange-shaped connecting end portion 16 of the cylindrical body 10 is coupled is disposed on the bottom surface thereof. A cylindrical body 10 is attached to the connecting jig plate 26 and coupled to communicate with an inside of a distribution hole 24 of the connecting jig plate 26 disposed on the bottom surface of the upper electrolytic cell 20. The negative electrode pipe 30 is inserted into the inside.

그리고, 원통체(10)의 내부로 삽입되는 음극파이프(30)에는 원통체(10)의 내면과 일정한 간격을 유지하여 전해액(34)의 원활한 유동이 이루어질 수 있도록 그 상부와 중간 또는 하부에 절연체의 스페이서(32)가 하나 이상 배치된다. 또한, 상기 전해액(34)은 황산용액을 포함한 해당 분야에서 공지된 모든 물질로 될 수 있다. 또한, 일 예로서, 전해액(34)의 유동과, 원통체(10)의 내면과 전해액(34) 간의 접촉을 더 촉진하기 위해, 음극파이프(30)의 표면에는 음극파이프(30)의 벽을 관통하는 임의의 직경으로 되는 복수의 홀(hole: 미도시)을 형성할 수도 있다. 이로써 음극파이프(30) 내를 흐르는 전해액(34)의 일부가 상기 복수의 홀을 통하여 원통체(10)의 내면으로 분사됨으로써 원통체(10)의 내면으로의 더욱 균일한 전해액(34) 접촉이 달성된다.In addition, the negative electrode pipe 30 inserted into the cylindrical body 10 maintains a constant distance from the inner surface of the cylindrical body 10 so that the smooth flow of the electrolyte solution 34 can be achieved at its upper and middle or lower portions. One or more spacers 32 are disposed. In addition, the electrolyte 34 may be any material known in the art, including sulfuric acid solution. In addition, as an example, in order to further promote the flow of the electrolyte 34 and the contact between the inner surface of the cylindrical body 10 and the electrolyte 34, the wall of the cathode pipe 30 is provided on the surface of the cathode pipe 30. It is also possible to form a plurality of holes (not shown) having any diameter penetrating. As a result, a part of the electrolyte solution 34 flowing in the cathode pipe 30 is injected into the inner surface of the cylindrical body 10 through the plurality of holes, so that a more uniform contact of the electrolyte solution 34 to the inner surface of the cylindrical body 10 is achieved. Is achieved.

또한, 원통체(10)의 내부로 삽입되는 파이프 형태의 음극파이프(30)는 그 단부가 원통체(10)의 폐쇄플러그(12)에 근접하여 하측으로 개방되도록 배치되고, 음극파이프(30)의 상단부는 상부전해조(20)에 공급되는 전해액(34)의 수위보다 더 높은 위치에 놓이도록 배치된다.In addition, the negative pipe 30 of the pipe shape inserted into the cylindrical body 10 is disposed so that the end thereof is open to the lower side close to the closing plug 12 of the cylindrical body 10, the negative electrode pipe 30 The upper end of the is arranged to be located at a position higher than the water level of the electrolyte solution 34 is supplied to the upper electrolytic bath (20).

또한, 상부전해조(20)의 내부에서 음극파이프(30)의 상측에는 전해액공급관(36)이 연결되고 전해액저장조(42) 내의 전해액은 펌프(44)를 통하여 이 전해액공급관(36)으로 공급된다. 또한, 상기 전해액공급관(36)의 연결부위에 전해액(34) 내로의 공기공급을 위한 급기관(38)이 연결되며, 상부전해조(20)의 측부에는 임의의 기준수위를 넘는 전해액을 전해액저장조(42)로 배출하기 위한 오버플로우(40)가 연결된다. In addition, an electrolyte supply pipe 36 is connected to an upper side of the cathode pipe 30 in the upper electrolyte tank 20, and the electrolyte solution in the electrolyte storage tank 42 is supplied to the electrolyte supply pipe 36 through a pump 44. In addition, a supply pipe 38 for supplying air into the electrolyte solution 34 is connected to a connection portion of the electrolyte supply pipe 36, and an electrolyte storage tank having an electrolyte that exceeds an arbitrary reference level is connected to the side of the upper electrolyte tank 20. An overflow 40 for discharging to 42 is connected.

본 발명에 의하면, 양극산화처리될 내면을 갖는 로터리 타겟의 원통체(10)는 전술하였듯이 전처리의 선행단계로서 그 하측단부에 폐쇄플러그(12)가 용접되어 폐쇄되고 상측단부는 상측에 방사상 플랜지(14)를 갖는 연결단부(16)가 용접으로 연결된 후, 하측단부가 폐쇄된 원통체(10)의 상부가 이에 연결된 플랜지형 연결단부(16)를 통하여 상부전해조(20)의 유통공(24)을 갖는 연결지그판(26)에 누수없이 결합되어 원통체(10) 자체가 전해조의 일부를 구성하게 된다. 그리고, 내부에 전해액이 유통될 수 있는 파이프의 형태인 음극파이프(30)가 스페이서(32)를 통하여 원통체(10)의 내면과 일정한 간격을 유지할 수 있도록 한 상태로 원통체(10)의 내부에 삽입된다.According to the present invention, as described above, the cylindrical body 10 of the rotary target having the inner surface to be anodized is closed by a closing plug 12 welded to the lower end thereof as a preliminary step of the pretreatment, and the upper end thereof has a radial flange ( After the connecting end 16 having the connecting portion 14 is welded, the distribution hole 24 of the upper electrolytic cell 20 is connected to the upper end of the cylindrical body 10 having the lower end closed by the flange-shaped connecting end 16 connected thereto. It is coupled to the connecting jig plate 26 having a leak without the cylindrical body 10 itself constitutes a part of the electrolytic cell. In addition, the inside of the cylindrical body 10 in a state in which the negative electrode pipe 30, which is in the form of a pipe through which the electrolyte can flow, can maintain a constant distance from the inner surface of the cylindrical body 10 through the spacer 32. Is inserted into

이에 따라, 상부전해조(20)의 상측으로 연장된 음극파이프(30)에 전해액공급관(36)을 통하여 전해액을 공급하면 전해액은 음극파이프(30)를 통하여 원통체(10)의 하측 내부로부터 채워지고 상부전해조(20)의 대략 중간높이인 전해액(34)의 기준수위에 이르러 오버플로우(40)를 통하여 전해액저장조(42) 내로 순환된다. 그리고, 이러한 전해액의 순환과정이 이루어지는 상태에서 연결지그판(26)의 양극대(28) 및 음극파이프(30)에 전위를 인가하면 전해액에 의한 원통체(10)의 내면이 양극산화처리되어 양극산화막이 형성된다.Accordingly, when the electrolyte is supplied through the electrolyte supply pipe 36 to the cathode pipe 30 extending above the upper electrolyte tank 20, the electrolyte is filled from the inside of the lower side of the cylindrical body 10 through the cathode pipe 30. The reference level of the electrolyte solution 34, which is approximately the middle height of the upper electrolyte tank 20, is reached and circulated into the electrolyte storage tank 42 through the overflow 40. Then, when a potential is applied to the positive electrode 28 and the negative electrode pipe 30 of the connecting jig plate 26 in a state where such an electrolyte solution is circulated, the inner surface of the cylindrical body 10 by the electrolyte is anodized to give an anode. An oxide film is formed.

이와 같이 전해액(34)의 유로는 상기 음극파이프(30) 내부, 상기 음극파이프(30) 외면 및 상기 원통체(10) 내면 사이, 상기 상부전해조(20) 내부 및 상기 전해액저장조(42) 내부의 순서로 이루어진다. In this way, the flow path of the electrolyte 34 is between the inside of the negative electrode pipe 30, the outer surface of the negative electrode pipe 30, and the inner surface of the cylindrical body 10, inside the upper electrolyte tank 20, and inside the electrolyte storage tank 42. In order.

따라서, 알루미늄 원통체(10)의 외면에는 전해액(34)이 접촉되지 아니하므로, 한편으로는 본 발명의 일 실시예로서 전술한 바와 같은 알루미늄 원통체(10) 외면의 마스킹 공정을 생략할 수도 있다.Therefore, since the electrolyte solution 34 does not contact the outer surface of the aluminum cylindrical body 10, the masking process of the outer surface of the aluminum cylindrical body 10 as described above may be omitted as an embodiment of the present invention. .

상술한 본 발명의 양극산화처리장치는 피처리제품인 로터리 타겟의 원통체가 전해조의 일부를 구성할 수 있도록 하여 원통체의 내면만이 양극산화처리될 수 있고 소량의 전해액이 사용되어 경제적인 양극산화처리가 이루어질 수 있는 이점이 있다.The above-described anodizing apparatus of the present invention allows a cylindrical body of a rotary target to be processed to constitute a part of an electrolytic cell so that only the inner surface of the cylindrical body can be anodized and a small amount of electrolyte is used to economically anodize. There is an advantage that can be made.

전술한 본 발명의 예들은 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가 등이 가능할 것이고, 이러한 수정, 변경, 부가 등은 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 한다.The above-described examples of the present invention are disclosed for purposes of illustration, and any person skilled in the art may make various modifications, changes, additions, and the like within the spirit and scope of the present invention. Etc. shall be regarded as belonging to the claims.

10: 원통체, 12: 폐쇄플러그, 14: 플랜지, 16: 연결단부, 18: 마스킹소재, 20: 상부전해조, 22: 프레임, 24: 유통공, 26: 연결지그판, 28: 양극대, 30: 음극파이프, 32: 스페이서, 34: 전해액, 36; 전해액공급관, 40: 오버플로우, 42: 전해액저장조, 44: 펌프.10: cylindrical body, 12: closing plug, 14: flange, 16: connecting end, 18: masking material, 20: upper electrolytic bath, 22: frame, 24: distribution hole, 26: connecting jig plate, 28: anode plate, 30 : Cathode pipe, 32: spacer, 34: electrolyte, 36; Electrolyte supply pipe, 40: overflow, 42: electrolyte reservoir, 44: pump.

Claims (12)

알루미늄 로터리 타겟의 내면에 양극산화막을 형성하기 위한 양극산화처리장치에 있어서,
하측단부는 폐쇄플러그(12)로 폐쇄되고 상측단부는 플랜지형 연결단부(16)가 연결되고 알루미늄으로 되는 원통체(10)와;
상기 원통체(10)의 플랜지형 연결단부(16)가 연결되는 유통공(24)을 가지며 양극전위가 인가되는 양극대(28)가 부착된 연결지그판(26)이 저면을 구성하는 상부전해조(20)와;
상기 원통체(10)의 내면에 대하여 일정한 간격을 유지하도록 상기 원통체(10)의 내부에 삽입되고 음극전위가 인가되는 음극파이프(30)와;
상기 원통체(10)의 상부에 배치되고 전해액(34)을 수용하는 상부전해조(20)를 포함하고, 상기 전해액(34)은 상기 음극파이프(30) 및 원통체(10) 내부에서 순환하되 상기 음극파이프(30) 내부의 상측으로부터 하측으로 공급되어 상기 원통체(10) 내부에 채워진 후 상기 상부전해조(20) 내에 수용되는 것을 특징으로 하는 로터리 타겟용 양극산화처리장치.In the anodizing apparatus for forming an anodization film on the inner surface of an aluminum rotary target,
A cylindrical body 10 having a lower end closed by a closing plug 12 and an upper end connected to a flange-shaped connecting end 16 and made of aluminum;
An upper electrolytic tank having a bottom surface is a connecting jig plate 26 having a flow hole 24 to which the flange-shaped connecting end portion 16 of the cylindrical body 10 is connected, and a cathode plate 28 to which an anode potential is applied. 20;
A cathode pipe 30 inserted into the cylinder body 10 and having a cathode potential applied thereto to maintain a constant distance with respect to an inner surface of the cylinder body 10;
An upper electrolyte tank 20 disposed on the cylindrical body 10 and accommodating an electrolyte solution 34, wherein the electrolyte solution circulates inside the cathode pipe 30 and the cylinder body 10, and An anode oxidation apparatus for a rotary target, characterized in that the cathode pipe 30 is supplied from the upper side to the lower side and filled in the cylindrical body 10 and then accommodated in the upper electrolytic cell 20. 제1항에 있어서,
상기 플랜지형 연결단부(16)는 방사상 플랜지(14)를 가지며, 상기 방사상 플랜지(14)가 상기 연결지그판(26)에 결합되는 것을 특징으로 하는 로터리 타겟용 양극산화처리장치.The method of claim 1,
The flange-shaped connection end portion (16) has a radial flange (14), the radial flange anodizing apparatus for a rotary target, characterized in that coupled to the connecting jig plate (26). 제1항에 있어서,
상기 원통체(10)의 외면은 마스킹되는 것을 특징으로 하는 로터리 타겟용 양극산화처리장치.The method of claim 1,
An outer surface of the cylindrical body 10 is masked, characterized in that the anodizing apparatus for a rotary target. 제3항에 있어서,
상기 마스킹은 무정전 비닐 및 PVC 파이프 중의 하나 이상으로 되는 것을 특징으로 하는 로터리 타겟용 양극산화처리장치.The method of claim 3,
The masking is anodizing apparatus for a rotary target, characterized in that at least one of an uninterrupted vinyl and PVC pipe. 제1항에 있어서,
상기 원통체(10)의 내부로 삽입되는 음극파이프(30)는 원통체(10)의 내면과 일정한 간격을 유지하여 상기 전해액(34)의 유동이 이루어질 수 있도록 상기 음극파이프(30)의 외면에 부착된 하나 이상의 스페이서(32)를 포함하는 것을 특징으로 하는 로터리 타겟용 양극산화처리장치.The method of claim 1,
The negative electrode pipe 30 inserted into the cylindrical body 10 is maintained on the outer surface of the negative electrode pipe 30 so that the electrolyte 34 can flow by maintaining a constant distance from the inner surface of the cylindrical body 10. Anodizing apparatus for a rotary target, characterized in that it comprises one or more spacers (32) attached. 제5항에 있어서,
상기 스페이서(32)는 절연체로 되는 것을 특징으로 하는 로터리 타겟용 양극산화처리장치.The method of claim 5,
The spacer 32 is anodizing apparatus for a rotary target, characterized in that the insulator. 제5항에 있어서,
상기 음극파이프(30)는 내부를 유동하는 상기 전해액(34)이 외부로 분사되도록 상기 음극파이프(30)의 표면에 복수의 홀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로터리 타겟용 양극산화처리장치.The method of claim 5,
The cathode pipe (30) further comprises a plurality of holes on the surface of the cathode pipe 30 so that the electrolyte flowing in the 34 is injected to the outside. 제1항에 있어서,
상기 원통체(10)의 내부로 삽입되는 음극파이프(30)는 그 하단부가 상기 원통체(10)의 폐쇄플러그(12)를 향하여 하측으로 개방되게 배치되고, 상기 음극파이프(30)의 상단부는 상기 상부전해조(20)에 공급되는 전해액(34)의 수위보다 더 높은 위치에 놓이도록 배치되는 것을 특징으로 하는 로터리 타겟용 양극산화처리장치.The method of claim 1,
The negative electrode pipe 30 inserted into the cylindrical body 10 is disposed such that a lower end thereof opens downward toward the closing plug 12 of the cylindrical body 10, and an upper end portion of the negative electrode pipe 30 is opened. Anodizing apparatus for a rotary target, characterized in that arranged to be located at a position higher than the water level of the electrolyte solution 34 is supplied to the upper electrolytic tank (20). 제1항에 있어서,
상기 전해액(34)을 저장하는 전해액저장조(42)와, 일단이 상기 전해액저장조(42)와 연결되고 다른 일단이 상기 상부전해조(20)의 내부에서 상기 음극파이프(30)의 상측에 연결되어 상기 전해액(34)을 상기 전해액저장조(42)로부터 상기 음극파이프(30)의 내부로 공급하는 전해액공급관(36)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로터리 타겟용 양극산화처리장치.The method of claim 1,
An electrolyte storage tank 42 for storing the electrolyte solution 34, one end is connected to the electrolyte storage tank 42 and the other end is connected to the upper side of the negative electrode pipe 30 in the upper electrolyte tank 20 And an electrolyte supply pipe (36) for supplying an electrolyte solution (34) from the electrolyte storage tank (42) to the inside of the cathode pipe (30). 제9항에 있어서,
상기 전해액공급관(36)에 연결되어 상기 전해액(34) 내에 공기를 공급하는 급기관(38)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로터리 타겟용 양극산화처리장치.10. The method of claim 9,
And an air supply pipe (38) connected to the electrolyte supply pipe (36) for supplying air into the electrolyte solution (34). 제9항에 있어서,
상기 상부전해조(20)의 측부에 연결되어 상기 상부전해조(20) 내에서 사전 결정된 기준수위를 넘는 전해액(34)을 상기 전해액저장조(42) 내로 배출하는 오버플로우(40)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 로터리 타겟용 양극산화처리장치.10. The method of claim 9,
And an overflow 40 connected to the side of the upper electrolyte tank 20 for discharging the electrolyte solution 34 exceeding a predetermined reference level in the upper electrolyte tank 20 into the electrolyte storage tank 42. Anodizing device for rotary target. 제11항에 있어서,
상기 전해액(34)의 유로는 상기 음극파이프(30) 내부, 상기 음극파이프(30) 외면 및 상기 원통체(10) 내면 사이, 상기 상부전해조(20) 내부 및 상기 전해액저장조(42) 내부의 순서로 이루어지는 것을 특징으로 하는 로터리 타겟용 양극산화처리장치.The method of claim 11,
The flow path of the electrolyte 34 is between the inside of the cathode pipe 30, the outer surface of the cathode pipe 30, and the inner surface of the cylindrical body 10, the inside of the upper electrolyte tank 20, and the inside of the electrolyte storage tank 42. Anodizing apparatus for a rotary target, characterized in that consisting of.
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