KR101282606B1 - Slit Coater Nozzle - Google Patents

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김은수
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    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/005—Nozzles or other outlets specially adapted for discharging one or more gases
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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Abstract

본 발명은 슬릿코터노즐에 관한 것으로서, 한 쌍의 플레이트로 이루어지고, 기판을 향해 약액이 토출되는 토출구를 가진 노즐본체와, 상기 노즐본체 일측에 제공되어 상기 토출구의 폭을 조절하기 위한 적어도 하나의 조절수단을 포함하여 이루어지되, 상기 조절수단은 상기 토출구의 폭을 조절하기 위해 상기 노즐본체의 일측에 형성된 조절홈부와, 상기 조절홈부에 구비되어 상기 조절홈부의 폭을 상하 방향으로 신축시키기 위한 신축부와, 상기 신축부와 결합되어 상기 신축부로 회전력을 전달하는 제1회전부와, 상기 제1회전부와 접촉되도록 설치되어 상기 제1회전부에 회전력을 제공하는 제2회전부를 포함하여 이루어진 것이다. 따라서, 슬릿코터노즐의 조절수단으로 제1회전부과 제2회전부를 이용하여 조절홈부의 간격을 조절하여 토출구의 초기 상태를 기준으로 폭을 좁히거나 그 반대로 늘릴 수 있으며 양방향으로 원활하게 조절할 수 있는 효과를 가지며, 토출구의 폭을 조절하기 위하여 종래의 볼트 구조 대신 제1회전부와 제2회전부로 웜휠과 웜을 사용하여 미세 조절이 가능하게 되고, 도포 공정 동안 토출구의 폭을 조절된 상태로 유지할 수 있는 효과를 가진다.The present invention relates to a slit coater nozzle, comprising a pair of plates, a nozzle body having a discharge port for discharging a chemical liquid toward a substrate, and at least one provided on one side of the nozzle body to adjust the width of the discharge port. It comprises an adjustment means, wherein the adjustment means is provided with an adjustment groove formed on one side of the nozzle body to adjust the width of the discharge port, and is provided for the adjustment groove in the expansion and contraction for stretching the width of the adjustment groove in the vertical direction And a first rotating part coupled to the elastic part to transmit rotational force to the elastic part, and a second rotating part installed to contact the first rotating part to provide rotational force to the first rotating part. Therefore, by adjusting the interval between the first and second rotating parts of the slit coater nozzle using the first and second rotating parts, the width can be narrowed or vice versa based on the initial state of the discharge port, and the effect can be smoothly adjusted in both directions. In order to control the width of the discharge port, fine adjustment is possible using the worm wheel and the worm as the first rotating part and the second rotating part instead of the conventional bolt structure, and the width of the discharge hole can be maintained in a controlled state during the coating process. Has an effect.

슬릿코터노즐, 토출구 조절, 웜, 웜휠 Slit coater nozzle, outlet adjustment, worm, worm wheel

Description

슬릿코터노즐 {Slit Coater Nozzle}Slit Coater Nozzle {Slit Coater Nozzle}

도 1은 종래기술에서의 슬릿코터노즐의 개념도이다.1 is a conceptual diagram of a slit coater nozzle in the prior art.

도 2는 종래기술에서의 슬릿코터노즐의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of the slit coater nozzle in the prior art.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿코터노즐의 사시도이다.3 is a perspective view of a slit coater nozzle according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿코터노즐의 단면도이다.Figure 4 is a cross-sectional view of the slit coater nozzle according to an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿코터노즐의 조절수단을 구체적으로 나타낸 사시도이다.Figure 5 is a perspective view showing in detail the adjusting means of the slit coater nozzle according to an embodiment of the present invention.

** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **DESCRIPTION OF REFERENCE NUMERALS

10 : 노즐본체 10a : 제1노즐본체10: nozzle body 10a: first nozzle body

10b : 제2노즐본체 11 : 토출구10b: second nozzle body 11: the discharge port

12 : 약액주입구 20 : 조절수단12: chemical inlet 20: control means

20a : 볼트 30 : 조절홈부20a: Bolt 30: Adjustment groove

31 : 조임홈 32 : 걸림부31: tightening groove 32: locking portion

33 : 지지홈부 34 : 커버33: support groove 34: cover

40 : 신축부 41 : 제1회전축40: expansion and contraction portion 41: the first rotating shaft

42 : 조임돌기 43 : 걸림돌기42: fastening protrusion 43: jamming protrusion

50 : 제1회전부 51 : 회전기어50: first rotating part 51: rotating gear

60 : 제2회전부 61 : 축기어60: second rotating portion 61: shaft gear

62 : 지지돌기 63 : 전달돌기62: support protrusion 63: transfer protrusion

70 : 약액챔버 75 : 약액(포토레지스트)70: chemical chamber 75: chemical liquid (photoresist)

80 : 기판 100 : 슬릿코터노즐80: substrate 100: slit coater nozzle

200 : 펌프 300 : 약액탱크200: pump 300: chemical tank

400 : 제1밸브 450 : 제2밸브400: first valve 450: second valve

본 발명은 슬릿코터에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 슬릿코터의 노즐 구조를 개선하여 토출구의 폭을 초기 상태를 기준으로 좁히거나 그 반대로 늘릴 수 있으며 미세하게 조절할 수 있도록 한 슬릿코터노즐에 관한 것이다.The present invention relates to a slit coater, and more particularly, to a slit coater nozzle capable of finely controlling the width of the discharge port by narrowing or vice versa by improving the nozzle structure of the slit coater.

액정표시소자 또는 반도체소자 제조공정에서는 다수의 포토리소그래피 공정이 적용되고, 포토리소그래피공정을 위하여 노광공정이 진행되는데, 상기 노광공정을 위해 감광물질인 포토레지스트가 사용된다.In the manufacturing process of the liquid crystal display device or the semiconductor device, a plurality of photolithography processes are applied, and an exposure process is performed for the photolithography process, and a photoresist as a photosensitive material is used for the exposure process.

노광공정은 기판 또는 웨이퍼에 감광성의 포토레지스트를 도포하고 소정의 패턴이 형성된 마스크를 이용하여 노광하는 순서로 진행된다.The exposure process is performed by applying a photosensitive photoresist to the substrate or the wafer and exposing using a mask having a predetermined pattern.

따라서, 상기 노광공정에서 포토레지스트를 기판 등에 도포하는 장치로서 슬릿코터가 사용될 수 있다.Therefore, a slit coater can be used as an apparatus for applying a photoresist to a substrate or the like in the exposure process.

슬릿코터의 구조 및 과정을 좀 더 자세히 살펴보면 다음과 같다.Looking at the structure and process of the slit coater in more detail as follows.

도 1에 나타낸 것과 같이 공급된 약액(포토레지스트; 75)을 약액탱크(300)로 보내고, 이 약액(75)은 펌프(200)를 이용하고 제1밸브(400)를 개방하여 슬릿코터노즐(100)에 공급된다.As shown in FIG. 1, the supplied chemical liquid (photoresist) 75 is sent to the chemical liquid tank 300, which uses the pump 200 and opens the first valve 400 to open the slit coater nozzle ( 100).

공급된 약액(75)은 슬릿코터노즐(100)의 토출구(11)를 통하여 기판(80)에 토출된다. 그리고 위의 과정에서 약액(75)의 공급은 밸브(400, 450)를 통해 조절하는 것이 가능하다.The supplied chemical liquid 75 is discharged to the substrate 80 through the discharge port 11 of the slit coater nozzle 100. In the above process, the supply of the chemical liquid 75 may be controlled through the valves 400 and 450.

그리고, 작업을 마친 약액은 폐액으로 처리되어 제2밸브(450)를 개방하여 배출한다.Then, the finished chemical liquid is treated as waste liquid, and the second valve 450 is opened and discharged.

한편, 종래기술의 슬릿코터노즐에서는 도 2에서와 같이 약액을 토출하는 토출구(11)의 조절수단으로 볼트 방식(20a)을 채택하고 있다.Meanwhile, in the slit coater nozzle of the prior art, the bolt system 20a is adopted as a control means of the discharge port 11 for discharging the chemical liquid as shown in FIG.

슬릿코터노즐에 있어서 토출구(11)의 폭을 조절하는 조절수단의 구성은 슬릿코터노즐의 길이방향 전체에 대해 형성되는 조절홈부(30)를 마련하고 이 조절홈부(20)에 조절수단(20a)을 형성하여 이 조절수단(20a)이 조절홈부(30)의 폭을 좁히는 방법으로 토출구(11)의 폭을 조절할 수가 있다.The configuration of the adjusting means for adjusting the width of the discharge port 11 in the slit coater nozzle is provided with an adjusting groove 30 formed over the entire longitudinal direction of the slit coater nozzle and the adjusting means 20a in the adjusting groove 20. It is possible to adjust the width of the discharge port 11 in such a way that the adjusting means 20a narrows the width of the adjusting groove 30.

볼트 방식을 이용한 종래기술의 조절수단은 볼트를 조여서 조절홈부의 폭을 줄일 수는 있으나, 이를 풀어서 간격을 줄인 조절홈부를 다시 늘이기는 곤란한 문제점이 있다.The adjusting means of the prior art using the bolt method can reduce the width of the adjusting groove by tightening the bolt, there is a problem that it is difficult to extend the adjusting groove to reduce the gap by loosening it.

즉, 볼트 방식의 조절수단은 토출구의 초기 상태를 기준으로 폭을 좁히기는 용이하나 그 반대로 늘리기는 곤란한 것이다.That is, the bolt-type adjusting means is easy to narrow the width based on the initial state of the discharge port, but it is difficult to increase the contrary.

그리고, 볼트의 나사산의 폭에 따라 1회전 시 조절홈부의 벌어진 정도가 결 정되므로 볼트 방식으로는 미세조정이 어렵고, 이미 조정된 볼트에서 나사산의 마찰력이 부족하여 풀리는 문제점이 있다.In addition, since the opening degree of the adjusting groove is determined in one rotation according to the width of the thread of the bolt, fine adjustment is difficult by the bolt method, and there is a problem of loosening due to lack of friction of the screw thread in the already adjusted bolt.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위해서 안출된 것으로서, 슬릿코터노즐의 구조를 개선하여 토출구의 초기 상태를 기준으로 폭을 좁히거나 그 반대로 늘릴 수 있으며 미세하게 조절할 수 있도록 하는 데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve such a problem, and the object of the present invention is to improve the structure of the slit coater nozzle so that the width can be narrowed or vice versa based on the initial state of the discharge port and can be finely adjusted.

또한, 슬릿코터노즐의 구조를 개선하여 토출구의 폭 조절 후, 그 조절된 폭이 계속 유지될 수 있게 하는 데 그 목적이 있다.In addition, the object of the present invention is to improve the structure of the slit coater nozzle to maintain the adjusted width after adjusting the width of the discharge port.

이와 같은 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 한 쌍의 플레이트로 이루어지고, 기판을 향해 약액이 토출되는 토출구를 가진 노즐본체와, 상기 노즐본체 일측에 제공되어 상기 토출구의 폭을 조절하기 위한 적어도 하나의 조절수단을 포함하여 이루어지되, 상기 조절수단은 상기 토출구의 폭을 조절하기 위해 상기 노즐본체의 일측에 형성된 조절홈부와, 상기 조절홈부에 구비되어 상기 조절홈부의 폭을 상하 방향으로 신축시키기 위한 신축부와, 상기 신축부와 결합되어 상기 신축부로 회전력을 전달하는 제1회전부와, 상기 제1회전부와 접촉되도록 설치되어 상기 제1회전부에 회전력을 제공하는 제2회전부를 포함하여 이루어진 슬릿코터노즐을 제공한다.The present invention for achieving the above object consists of a pair of plates, the nozzle body having a discharge port for discharging the chemical liquid toward the substrate, and at least one provided on one side of the nozzle body to adjust the width of the discharge port It comprises a control means of, wherein the control means is provided with an adjustment groove formed on one side of the nozzle body to adjust the width of the discharge port, the adjustment groove is provided for stretching the width of the adjustment groove in the vertical direction A slit coater nozzle comprising an expansion and contraction portion, a first rotation part coupled to the expansion and contraction part to transmit rotational force to the expansion and contraction part, and a second rotation part installed to contact the first rotation part and providing rotational force to the first rotation part. To provide.

이때, 상기 신축부는 상기 토출구의 토출 방향을 따라 설치된 제1회전축과, 상기 제1회전축의 일단으로부터 연장 형성되고, 외주면에는 수나사산이 형성된 조 임돌기와, 상기 조절홈부의 상단에 오목하게 형성되되, 상기 조임돌기가 나사 결합되도록 암나사산이 형성된 조임홈과, 상기 제1회전축의 타단으로부터 볼록하게 연장 형성되어 상기 조절홈부의 하단에 회전 가능하게 설치되는 걸림돌기와, 상기 걸림돌기가 상기 조절홈부의 하단을 관통하며 고정되도록 형성된 걸림부를 포함하여 이루어질 수 있다.At this time, the expansion and contraction portion is formed extending from the first rotary shaft and one end of the first rotary shaft installed along the discharge direction of the discharge port, the outer peripheral surface is formed concave on the upper end of the adjustment groove, A fastening groove in which a female thread is formed such that the fastening protrusion is screwed, a convex extension extending from the other end of the first rotation shaft, and a locking protrusion rotatably installed at a lower end of the adjusting groove, and the locking protrusion penetrating the lower end of the adjusting groove. And it may be made including a locking portion formed to be fixed.

한편, 상기 조절홈부의 걸림부에는 제1회전축이 이탈되는 것을 방지하는 커버가 더 포함되어 이루어진 것이 바람직하다.On the other hand, the locking portion of the adjusting groove is preferably made of a cover that further prevents the first rotation shaft from being separated.

상기 제1회전부는 상기 제1회전축이 관통되도록 설치되고, 상기 제2회전부로부터 회전력을 제공받을 수 있도록 외주면에 치차가 형성된 회전기어를 포함하여 이루어질 수 있다.The first rotating part may be installed to penetrate the first rotating shaft, and may include a rotating gear having a gear formed on an outer circumferential surface thereof so as to receive a rotation force from the second rotating part.

상기 제2회전부는 상기 회전기어와 교차되도록 설치되고, 교차되는 부위에는 회전기어의 치차와 맞물려 상기 회전기어로 회전력을 전달하는 치차가 형성된 축기어와, 상기 축기어의 일단에 돌출 형성되되, 상기 조절홈부의 일측면에 고정되어 상기 축기어를 지지하는 지지돌기와, 상기 축기어의 타단에 돌출 형성되어 외부로부터 회전력을 전달받는 전달돌기를 포함하여 이루어질 수 있다.The second rotary part is installed to intersect with the rotary gear, and the intersecting portion is formed with a gear gear having a gear for transmitting rotational force by meshing with the teeth of the rotary gear and protruding from one end of the shaft gear. It is fixed to one side of the adjustment groove portion may be formed including a support projection for supporting the shaft gear, and a transmission projection is formed protruding to the other end of the shaft gear receives a rotational force from the outside.

또한, 상기 조절홈부의 내측면에는 상기 지지돌기를 회전 가능하게 고정시키기 위한 지지홈부를 더 포함하여 이루어진 것이 바람직하다.In addition, it is preferable that the inner side of the adjustment groove further comprises a support groove for fixing the support projection rotatably.

또한, 상기 조절수단은 노즐본체에 일정 간격 이격된 상태로 복수 개 설치되되, 상기 노즐본체의 양끝단 및 중심부에 더 설치된 것이 바람직하다.In addition, a plurality of adjusting means are installed in the nozzle body spaced apart at regular intervals, it is preferable that the nozzle body is further provided at both ends and the center of the nozzle body.

따라서, 본 발명은 상기 조절수단의 구조를 개선한 것에 의해 토출구의 폭을 기준 상태에서 좁히거나 늘리며 미세하게 조절할 수 있다.Therefore, the present invention can be finely adjusted by narrowing or increasing the width of the discharge port in the reference state by improving the structure of the adjusting means.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 슬릿코터노즐에 대해 자세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the slit coater nozzle of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿코터노즐의 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿코터노즐의 단면도이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿코터노즐의 조절수단을 구체적으로 도시한 사시도이다.First, Figure 3 is a perspective view of a slit coater nozzle according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a sectional view of a slit coater nozzle according to an embodiment of the present invention, Figure 5 is a slit according to an embodiment of the present invention A perspective view showing in detail the adjustment means of the coater nozzle.

도 3 내지 도 5에서 나타낸 것과 같이, 본 발명의 슬릿코터노즐은, 한 쌍의 플레이트로 이루어지고, 기판(80)을 향해 약액(75)이 토출되는 토출구(11)를 가진 노즐본체(10)와, 상기 노즐본체(10) 일측에 제공되어 상기 토출구(11)의 폭을 조절하기 위한 적어도 하나의 조절수단(20)을 포함하여 이루어지되, 상기 조절수단(20)은 상기 토출구(11)의 폭을 조절하기 위해 상기 노즐본체(10)의 일측에 형성된 조절홈부(30)와, 상기 조절홈부(30)에 구비되어 상기 조절홈부(30)의 폭을 상하 방향으로 신축시키기 위한 신축부(40)와, 상기 신축부(40)와 결합되어 상기 신축부(40)로 회전력을 전달하는 제1회전부(50)와, 상기 제1회전부(50)와 접촉되도록 설치되어 상기 제1회전부(50)에 회전력을 제공하는 제2회전부(60)를 포함하여 이루어진다.3 to 5, the slit coater nozzle of the present invention is composed of a pair of plates, the nozzle body 10 having a discharge port 11 for discharging the chemical liquid 75 toward the substrate 80 And at least one adjusting means 20 provided on one side of the nozzle body 10 to adjust the width of the discharge hole 11, wherein the adjusting means 20 is formed of the discharge hole 11. Adjusting groove portion 30 formed on one side of the nozzle body 10 to adjust the width, and provided in the adjusting groove portion 30, the elastic portion 40 for stretching the width of the adjustment groove portion 30 in the vertical direction ), A first rotation part 50 coupled to the expansion and contraction part 40 to transmit rotational force to the expansion and contraction part 40, and installed to be in contact with the first rotation part 50, and thus the first rotation part 50. It comprises a second rotating unit 60 for providing a rotational force to.

여기서, 상기 노즐본체(10)는 제1노즐본체(10a)와 제2노즐본체(10b)가 서로 결합되어 토출구(11)를 형성하고 있으며, 상기 제1노즐본체(10a)에는 약액(75)이 공급되는 약액주입구(12)가 구비되어 있고, 상기 제2노즐본체(10b)에는 상기 토출구(11)의 폭을 조절하기 위한 조절수단(20)이 구비되어 있다.Here, the nozzle body 10 is the first nozzle body (10a) and the second nozzle body (10b) is coupled to each other to form a discharge port (11), the first nozzle body (10a) in the chemical liquid (75) The supplied chemical liquid inlet 12 is provided, and the second nozzle body 10b is provided with an adjusting means 20 for adjusting the width of the outlet 11.

상기 토출구(11)는 상기 조절수단(20)의 조정에 의해 초기 상태를 기준으로 토출구의 폭을 좁히거나 또는 그 반대로 늘릴 수 있게 형성되어 있다.The discharge port 11 is formed to narrow the width of the discharge port on the basis of the initial state or vice versa by adjusting the adjusting means 20.

여기서, 상기 조절수단(20)으로 제1회전부(50)와 제2회전부(60)는 웜휠과 웜으로 구성하는 것이 바람직하다.Here, the first rotating part 50 and the second rotating part 60 as the adjusting means 20 is preferably composed of a worm wheel and a worm.

따라서, 제2회전부(60)인 웜이 제1회전부(50)인 웜휠을 회전시켜 상기 조절홈부(30)의 상하폭을 조절하게 하여 약액(75)이 토출되는 토출구(11)의 폭을 조절하도록 구성되는 것이 바람직할 것이다.Therefore, the worm, which is the second rotating part 60, rotates the worm wheel that is the first rotating part 50 to adjust the upper and lower widths of the adjusting groove part 30, thereby adjusting the width of the discharge port 11 through which the chemical liquid 75 is discharged. It would be desirable to be configured to do so.

한편, 웜휠은 작은 공간에서도 1:300의 큰 감속비를 얻을 수 있는 특징이 있으며, 웜에 축방향 하중이 걸리고 미끄럼 마찰을 받게 되기 때문에 다른 기어에 비하여 고정된 위치를 유지하는 데 큰 효과가 있다.On the other hand, the worm wheel is characterized in that a large reduction ratio of 1: 300 can be obtained even in a small space, and since the worm is subjected to axial load and is subjected to sliding friction, it is effective in maintaining a fixed position compared to other gears.

한편, 웜은 웜휠보다 미끄럼 마찰을 받는 시간이 길기 때문에 웜은 웜휠보다 마모에 강한 재질을 사용하여야 한다.On the other hand, since the worm has a longer sliding friction time than the worm wheel, the worm should use a material that is more resistant to wear than the worm wheel.

따라서, 본 발명에서는 상기 웜의 재료로서 탄소강 단강품(KS D 3710)의 SF490A, SF540A, SF590A를 풀림하여 사용하거나 니켈크롬강(KS D 3708)의 SNC631, SNC836을 담금질하여 사용하는 것이 바람직할 것이다.Therefore, in the present invention, it is preferable to use SF490A, SF540A, SF590A of carbon steel forgings (KS D 3710) as the material of the worm, or quench SNC631 and SNC836 of nickel chrome steel (KS D 3708).

또는 니켈크롬강의 SNC415, SNC815를 표면 풀림하거나 탄소함유량이 0.4∼0.5%인 탄소강을 고주파 담금질하여 사용하는 것도 바람직할 것이다.Alternatively, it may be preferable to use SNC415 and SNC815 of nickel chromium steel for surface annealing or high frequency quenching of carbon steel having a carbon content of 0.4 to 0.5%.

그리고, 상기 윔휠의 재료로서 청동주물(KS D 6002) BC2, BC3 또는 인청동 주물(KS D 6010) PBC2를 사용하는 것이 바람직할 것이다.In addition, it is preferable to use bronze casting (KS D 6002) BC2, BC3 or phosphor bronze casting (KS D 6010) PBC2 as the material of the wheel.

그리고, 상기 신축부(40)는 상기 토출구(11)의 토출 방향을 따라 설치된 제1 회전축(41)과, 상기 제1회전축(41)의 일단으로부터 연장 형성되고, 외주면에는 수나사산이 형성된 조임돌기(42)와, 상기 조절홈부(30)의 상단에 오목하게 형성되되, 상기 조임돌기(42)가 나사결합되도록 암나사산이 형성된 조임홈(31)과, 상기 제1회전축(41)의 타단으로부터 볼록하게 연장 형성되어 상기 조절홈부(30)의 하단에 회전 가능하게 설치되는 걸림돌기(43)와, 상기 걸림돌기(43)가 상기 조절홈부(30)의 하단을 관통하며 고정되도록 형성된 걸림부(32)를 포함하여 이루어질 수 있다.In addition, the expansion and contraction portion 40 extends from one end of the first rotation shaft 41 and the first rotation shaft 41 provided along the discharge direction of the discharge port 11, and a tightening protrusion having a male thread formed on an outer circumferential surface thereof. (42) and concave on the upper end of the adjustment groove 30, the tightening groove 31 is formed with a female thread so that the tightening projection 42 is screwed, and convex from the other end of the first rotary shaft (41) Is formed to extend so that the locking projection 43 is rotatably installed at the lower end of the adjustment groove 30, and the locking portion 32 is formed so that the locking projection 43 is fixed to pass through the lower end of the adjustment groove (30) It can be made, including).

따라서, 상기 신축부(40)의 일단부에 형성된 조임돌기(42)가 상기 조절홈부(30)에 형성된 조임홈(31)과 나사결합되며, 상기 조절홈부(30)의 벌어진 정도를 조절하게 된다.Therefore, the fastening protrusion 42 formed at one end of the expansion and contraction portion 40 is screwed with the fastening groove 31 formed in the adjustment groove portion 30, and adjusts the gap of the adjustment groove portion 30. .

이때, 상기 신축부(40)의 타단부에 형성된 걸림돌기(43)는 상기 조절홈부(30)의 걸림부(32)에 지지되어, 상기 조절홈부(42)가 상기 조절홈(31)에 조이면서 상기 조절홈부(30)를 조절하는 힘을 지지할 수 있게 지탱하여 준다.At this time, the locking protrusion 43 formed at the other end of the expansion and contraction portion 40 is supported by the locking portion 32 of the adjustment groove portion 30, the adjustment groove portion 42 is tightened to the adjustment groove 31. While supporting it to support the force to adjust the adjustment groove 30.

그리고, 상기 조절홈부(30)의 걸림부(32)에는 제1회전축(41)이 이탈되는 것을 방지하기 위한 커버(34)가 더 포함되어 이루어질 수 있다.In addition, the locking part 32 of the adjusting groove part 30 may further include a cover 34 for preventing the first rotation shaft 41 from being separated.

그리고, 상기 제1회전부(50)는 상기 제1회전축(41)이 관통되도록 설치되고, 상기 제2회전부(60)로부터 회전력을 제공받을 수 있도록 외주면에 치차가 형성된 회전기어(51)를 포함하여 이루어진 것이 바람직하다.In addition, the first rotating unit 50 is installed so that the first rotating shaft 41 penetrates, and includes a rotary gear 51 having a gear formed on an outer circumferential surface thereof so as to receive a rotational force from the second rotating unit 60. It is preferred that it is made.

그리고, 상기 제2회전부(60)는 상기 회전기어(51)와 교차되도록 설치되고, 교차되는 부위에는 회전기어(51)의 치차와 맞물려 상기 회전기어(51)로 회전력을 전달하는 치차가 형성된 축기어(61)와, 상기 축기어(61)의 일단에 돌출 형성되되, 상기 조절홈부(30)의 일측면에 고정되어 상기 축기어(61)를 지지하는 지지돌기(62)와, 상기 축기어(61)의 타단에 돌출 형성되어 외부로부터 회전력을 전달받는 전달돌기(63)를 포함하여 이루어져 있다.The second rotating unit 60 is installed to intersect with the rotary gear 51, and the shaft having a gear for transmitting rotational force to the rotary gear 51 is engaged with the gear of the rotary gear 51 at the crossing portion. The support 61 is formed to protrude on one end of the gear 61, the shaft gear 61, the fixing projection portion 30 is fixed to one side of the adjusting groove 30, the support projection 62 for supporting the shaft gear 61, the shaft gear Protruding to the other end of the (61) is made to include a transmission projection (63) for receiving a rotational force from the outside.

여기서, 상기 제2회전부(60)의 외측으로 노출된 타단부에는 전달돌기(63)가 구비되어 있어, 이 전달돌기(63)를 좌우로 회전하면서 상기 제2회전부(60)를 회전시킨다.Here, the other end portion exposed to the outside of the second rotary part 60 is provided with a transmission protrusion 63, and rotates the second rotary part 60 while rotating the transmission protrusion 63 to the left and right.

그리고, 작업자가 상기 제2회전부(60)의 전달돌기(63)를 구동하는 것이 용이하게 하기 위해 상기 전달돌기(63)에 홈을 형성하는 것이 바람직할 것이다.In addition, it may be preferable to form a groove in the delivery protrusion 63 to facilitate the operator to drive the delivery protrusion 63 of the second rotating part 60.

한편, 상기 제1회전부(50)와 제2회전부(60)는 직교하며 맞물리게 형성되기 위해서는 제1회전부(50)의 비틀림각의 크기와 제2회전부(60)의 리드각이 같도록 하고, 비틀림방향이 일치하도록 형성하는 것이 바람직하다. On the other hand, the first rotating part 50 and the second rotating part 60 are orthogonal and in order to be engaged with each other such that the magnitude of the twist angle of the first rotating part 50 and the lead angle of the second rotating part 60 are the same, It is preferable to form so that a direction may match.

그리고, 상기 제1회전부(50)의 축직각 피치는 상기 제2회전부(60)의 축방향 피치와 같게하여 상기 제1회전부(50)에서의 회전기어(51)의 나사산의 폭과 상기 제2회전부(60)에서의 축기어(61)의 나사산과 같게 하는 것이 바람직하다.In addition, the axial perpendicular pitch of the first rotating part 50 is equal to the axial pitch of the second rotating part 60 so that the width of the thread of the rotary gear 51 of the first rotating part 50 is increased. It is preferable to make it equal to the thread of the shaft gear 61 in the rotating part 60. FIG.

그리고, 상기 조절홈부(30)의 내측면에는 상기 지지돌기(62)를 회전 가능하게 고정시키기 위한 지지홈부(33)를 더 포함하여 형성되어 있다.In addition, the inner surface of the adjustment groove 30 is formed to further include a support groove 33 for rotatably fixing the support protrusion 62.

여기서, 상기 제2회전부(60)는 상기 제1회전부(50)를 회전시키며 동력이 전달되도록 상기 지지홈부(33)는 상기 제2회전부(60)가 회전이 가능하게 감싸며 지지하도록 형성되어 있다.Here, the second rotating part 60 is formed so that the second rotating part 60 is wrapped around and supported by the support groove part 33 so that the power is transmitted while rotating the first rotating part 50.

그리고, 상기 조절수단(20)은 노즐본체(10)에 일정 간격 이격된 상태로 복수 개 설치되되, 상기 노즐본체(10)의 양끝단 및 중심부에 더 설치된 것이 바람직하다.In addition, the adjusting means 20 is provided in a plurality of spaced apart from the nozzle body 10 by a predetermined interval, it is preferable to be further installed at both ends and the center of the nozzle body (10).

약액(75)이 토출되는 양이 균일하게 하기 위해서는 길이방향으로 더 많은 복수 개의 조절수단(20)을 구비하는 것이 바람직하며, 특히, 상기 조절수단(20)이 길이방향으로 양끝단과 중심부에 집중적으로 설치되는 것이 작업자가 토출구의 폭을 조절하는 조절수단을 조정하는 것이 용이하며 토출구를 통해 토출되는 약액을 효율적으로 운용할 수 있다.In order to make the amount of the chemical liquid 75 discharged uniformly, it is preferable to have a plurality of adjusting means 20 in the longitudinal direction. In particular, the adjusting means 20 is concentrated at both ends and the center in the longitudinal direction. It is easy for the operator to adjust the adjusting means for adjusting the width of the discharge port and can efficiently operate the chemical liquid discharged through the discharge port.

한편, 본 발명에 따르면, 상기 약액주입구(12)와 토출구(11) 사이에 소정의 공간부를 갖는 약액챔버(70)가 형성되어 있는 것이 바람직하다.On the other hand, according to the present invention, it is preferable that the chemical liquid chamber 70 having a predetermined space portion is formed between the chemical liquid injection hole 12 and the discharge hole 11.

상기 약액챔버(70)는 상기 약액주입구(12)를 통하여 공급된 약액(75)이 상기 토출구(11)를 통하여 토출되기 전에 약액이 균일하게 혼합된 상태가 유지되도록 임시로 저장하는 곳이다.The chemical liquid chamber 70 is a place where the chemical liquid 75 supplied through the chemical liquid injection hole 12 is temporarily stored so that the chemical liquid is uniformly mixed before being discharged through the discharge hole 11.

그리고, 상기 약액챔버(70)는 약액(75)이 토출구(11)를 통해 토출되는 것이 원활하게 하기 위해서 상부의 공간을 하부보다 넓게 형성하는 것이 바람직하다.In addition, the chemical chamber 70 preferably forms an upper space wider than the lower portion in order to facilitate the discharge of the chemical liquid 75 through the discharge port 11.

상부의 면적이 하부의 면적보다 넓게 형성되면 하부에서의 약액의 유속이 상부에서의 유속보다 더 빨라지게 되며, 그에 따라서 하부로 약액이 보다 잘 토출되는 구조가 형성된다(연속방정식).If the area of the upper portion is formed wider than the area of the lower portion, the flow rate of the chemical liquid in the lower portion is faster than the flow rate in the upper portion, thereby forming a structure in which the chemical liquid is better discharged to the lower portion (continuous equation).

이렇게 완성된 본 발명의 슬릿코터노즐의 작동과정을 살펴보면, 상기 슬릿코터노즐의 토출구(11)의 폭을 조절하기 위해서 먼저, 상기 제2회전부(60)의 전달돌기(63)를 일정방향으로 돌리게 되면, 상기 제2회전부(60)의 축기어(61)에 형성된 치차와 치합되는 치차가 형성되어 있는 제1회전부(50)의 회전기어(51)가 회전되며 상기 제1회전부(50)가 구동된다.Looking at the operation process of the slit coater nozzle of the present invention thus completed, in order to adjust the width of the discharge port 11 of the slit coater nozzle, first, to rotate the transfer projection 63 of the second rotating part 60 in a predetermined direction. In this case, the rotary gear 51 of the first rotary part 50 is rotated and the first rotary part 50 is driven, in which the gear is engaged with the gear formed on the shaft gear 61 of the second rotary part 60. do.

이때의 제1회전축(41)의 일단부에 형성된 조임돌기(42)가 상기 조절홈부(30)에 형성된 조임홈(31)과 나사결합되며 상기 조절홈부(30)의 벌어진 정도가 좁혀지게 되면 그에 따라 토출구(11)의 폭을 넓어지게 된다.At this time, the tightening protrusion 42 formed at one end of the first rotating shaft 41 is screwed with the tightening groove 31 formed in the adjusting groove 30, and when the opening degree of the adjusting groove 30 is narrowed, Accordingly, the width of the discharge port 11 is widened.

다시 말해서, 상기 조절홈부(30)의 벌어진 정도가 좁히게 되면, 상기 토출구(11)를 잡아당기는 효과가 발생되며 결과적으로 토출구(11)의 폭이 넓어지게 된다.In other words, when the opening degree of the adjusting groove 30 is narrowed, the effect of pulling the discharge port 11 is generated, and as a result, the width of the discharge port 11 is widened.

그리고, 상기 제2회전부(60)의 전달돌기(63)를 반대방향으로 돌리게 되면, 상기 조절홈부(30)의 벌어진 정도가 넓어지며 이때의 토출구(11)의 폭은 좁아지게 된다.In addition, when the transmission protrusion 63 of the second rotating part 60 is turned in the opposite direction, the opening degree of the adjusting groove 30 is widened, and the width of the discharge port 11 is narrowed at this time.

따라서, 상기 조절수단(20)의 조정에 의해 토출구(11)의 초기 상태를 기준으로 토출구의 폭을 좁히거나 또는 그 반대로 늘릴 수 있게 된다.Therefore, the width of the discharge port can be narrowed or vice versa based on the initial state of the discharge port 11 by adjusting the adjusting means 20.

전술한 바와 같은 일련의 과정을 통하여 상기 슬릿코터노즐의 토출구(11)의 폭을 조절하여 토출구(11)에서 약액(75)이 토출되는 양을 용이하게 조절할 수 있다.By controlling the width of the discharge port 11 of the slit coat nozzle through a series of processes as described above, it is possible to easily control the amount of the chemical liquid 75 is discharged from the discharge port (11).

이상에서와 같이, 슬릿코터노즐의 조절수단으로 제1회전부과 제2회전부를 이용하여 조절홈부의 간격을 조절하여 토출구의 초기 상태를 기준으로 폭을 좁히거나 그 반대로 늘릴 수 있으며 양방향으로 원활하게 조절할 수 있는 효과를 가진다.As described above, by adjusting the interval between the first groove and the second rotary portion as the adjustment means of the slit coater nozzle, the width can be narrowed or vice versa based on the initial state of the discharge port and smoothly adjusted in both directions. Has the effect.

또한, 토출구의 폭을 조절하기 위하여 종래의 볼트 구조 대신 제1회전부와 제2회전부로 웜휠과 웜을 사용함에 따라 미세 조절이 가능하고, 도포 공정 동안 토출구의 폭을 조절된 상태로 유지할 수 있는 효과를 가진다.In addition, fine adjustment is possible by using the worm wheel and the worm as the first rotation part and the second rotation part instead of the conventional bolt structure in order to control the width of the discharge port, and the effect of maintaining the width of the discharge port in the controlled state during the coating process Has

Claims (7)

한 쌍의 플레이트로 이루어지고, 기판을 향해 약액이 토출되는 토출구를 가진 노즐본체와, A nozzle body comprising a pair of plates and having a discharge port through which a chemical liquid is discharged toward the substrate; 상기 노즐본체 일측에 제공되어 상기 토출구의 폭을 조절하기 위한 적어도 하나의 조절수단을 포함하여 이루어지되, Is provided on one side of the nozzle body comprises at least one adjusting means for adjusting the width of the discharge port, 상기 조절수단은 The adjusting means 상기 토출구의 폭을 조절하기 위해 상기 노즐본체의 일측에 형성된 조절홈부와,Adjusting groove formed on one side of the nozzle body to adjust the width of the discharge port, 상기 조절홈부에 구비되어 상기 조절홈부의 폭을 상하 방향으로 신축시키기 위한 신축부와,An expansion and contraction portion provided in the adjustment groove to expand and contract the width of the adjustment groove in a vertical direction; 상기 신축부와 결합되어 상기 신축부로 회전력을 전달하는 제1회전부와,A first rotation part coupled to the expansion part to transmit rotational force to the expansion part; 상기 제1회전부와 접촉되도록 설치되어 상기 제1회전부에 회전력을 제공하는 제2회전부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 슬릿코터노즐.The slit coater nozzle, characterized in that it comprises a second rotating part provided to contact the first rotating part to provide a rotational force to the first rotating part. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 신축부는 The stretching portion 상기 토출구의 토출 방향을 따라 설치된 제1회전축과,A first rotary shaft provided along a discharge direction of the discharge port, 상기 제1회전축의 일단으로부터 연장 형성되고, 외주면에는 수나사산이 형성된 조임돌기와,A tightening protrusion extending from one end of the first rotating shaft and having an external thread formed on an outer circumferential surface thereof; 상기 조절홈부의 상단에 오목하게 형성되되, 상기 조임돌기가 나사 결합되도록 암나사산이 형성된 조임홈과,A concave groove formed on the upper end of the adjusting groove, and having a female screw thread formed such that the fastening protrusion is screwed; 상기 제1회전축의 타단으로부터 볼록하게 연장 형성되어 상기 조절홈부의 하단에 회전 가능하게 설치되는 걸림돌기와,A locking protrusion formed to extend convexly from the other end of the first rotation shaft and rotatably installed at a lower end of the adjustment groove; 상기 걸림돌기가 상기 조절홈부의 하단을 관통하며 고정되도록 형성된 걸림부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 슬릿코터노즐.The slit coater nozzle, characterized in that the locking projection comprises a locking portion formed to penetrate the lower end of the adjustment groove. 제 2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 조절홈부의 걸림부에는 제1회전축이 이탈되는 것을 방지하는 커버가 더 포함되어 이루어진 것을 특징으로 하는 슬릿코터노즐.Slit coater nozzle, characterized in that the locking portion of the adjustment groove further comprises a cover for preventing the first rotation shaft is separated. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,The method according to claim 2 or 3, 상기 제1회전부는 상기 제1회전축이 관통되도록 설치되고, 상기 제2회전부로부터 회전력을 제공받을 수 있도록 외주면에 치차가 형성된 회전기어를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 슬릿코터노즐.The first rotating part is installed so that the first rotating shaft penetrates, the slit coater nozzle characterized in that it comprises a rotary gear having a gear formed on the outer circumferential surface to receive a rotational force from the second rotating part. 제 4항에 있어서,5. The method of claim 4, 상기 제2회전부는 상기 회전기어와 교차되도록 설치되고, 교차되는 부위에는 회전기어의 치차와 맞물려 상기 회전기어로 회전력을 전달하는 치차가 형성된 축기어와,The second rotating part is installed so as to intersect with the rotary gear, the intersecting portion of the shaft gear is formed with a gear for transmitting a rotational force to the rotary gear meshed with the teeth of the rotary gear, 상기 축기어의 일단에 돌출 형성되되, 상기 조절홈부의 일측면에 고정되어 상기 축기어를 지지하는 지지돌기와, A support protrusion protruding from one end of the shaft gear and fixed to one side of the adjustment groove to support the shaft gear; 상기 축기어의 타단에 돌출 형성되어 외부로부터 회전력을 전달받는 전달돌기를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 슬릿코터노즐.Slit coater nozzle, characterized in that formed on the other end of the shaft gear including a transmission projection for receiving a rotational force from the outside. 제 5항에 있어서,6. The method of claim 5, 상기 조절홈부의 내측면에는 상기 지지돌기를 회전 가능하게 고정시키기 위한 지지홈부를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 슬릿코터노즐.Slit coater nozzle, characterized in that made on the inner side of the adjustment groove further comprises a support groove for rotatably fixing the support projection. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 조절수단은 노즐본체에 일정 간격 이격된 상태로 복수 개 설치되되, 상기 노즐본체의 양끝단 및 중심부에 더 설치된 것을 특징으로 하는 슬릿코터노즐.The adjusting means is provided with a plurality of nozzles spaced apart at regular intervals, the slit coater nozzle, characterized in that further installed at both ends and the center of the nozzle body.
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