KR101270364B1 - Pad dressing apparatus - Google Patents
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Abstract
패드 드레싱 장치가 개시된다. 패드 드레싱 장치는 헤드 몸체; 상기 헤드 몸체에 구비되며, 고압의 세정액을 분사하는 노즐; 상기 헤드 몸체에 회전 가능하도록 구비되는 드레서; 상기 헤드 몸체를 이동시키기 위하여 구동력을 제공하는 몸체 구동부; 및 상기 헤드 몸체와 몸체 구동부에 연결되는 암을 포함하며, 상기 암은 상기 노즐로 공급되는 세정액을 공급하는 유로가 내장된다.A pad dressing device is disclosed. The pad dressing device includes a head body; A nozzle provided in the head body, for spraying a high pressure cleaning liquid; A dresser provided to be rotatable in the head body; A body driving unit providing a driving force to move the head body; And an arm connected to the head body and the body driving unit, wherein the arm has a flow path for supplying a cleaning liquid supplied to the nozzle.
Description
실시예는 패드 드레싱 장치에 관한 것이다.An embodiment relates to a pad dressing device.
웨이퍼를 연마하기 위해서, 패드가 사용된다. 이때, 연마의 질에 대하여 특히 중요한 것은 패드 전체에 걸친 연마 입자들의 분포이다. 패드의 상부는 섬유질 또는 소형 공극들에 의해 입자들을 지지하는데, 이는 패드의 회전 운동에 의하여 생성되는 원심력으로 인한 입자들의 탈락을 저해하기에 충분한 마찰력을 제공한다. 그러므로, 가능한 한 패드의 상부를 유연하게 유지시키는 것, 가능한 한 섬유질들을 직립시켜 유지시키는 것, 그리고 새로이 처리된 연마 입자들을 수용할 수 있는 풍부한 개방 공극들이 존재하도록 확보하는 것이 중요하다.In order to polish the wafer, a pad is used. Of particular importance for the quality of polishing is the distribution of abrasive particles throughout the pad. The top of the pad supports the particles by fibrous or small pores, which provide sufficient friction to inhibit the dropping of the particles due to the centrifugal force generated by the rotational movement of the pad. Therefore, it is important to keep the top of the pads as flexible as possible, to keep the fibers upright as much as possible, and to ensure that there are abundant open voids to accommodate the newly treated abrasive particles.
이때, 패드 표면을 유지시키는 패드 드레서는 패드 표면을 "빗질(combing)" 또는 "절단"함에 의해 재생시키기 위하여 사용될 수 있다. 이러한 공정은 패드의 "드레싱" 및 "컨디셔닝"으로 공지되어 있다. 이를 위하여 많은 유형의 장치 및 공정들이 사용되어 왔다. 이러한 하나의 장치는 금속-매트릭스 표면에 부착된 다이아몬드 입자들과 같은 복수의 초경질의 결정질 입자들을 가지는 드레서이다.At this time, the pad dresser holding the pad surface can be used to regenerate the pad surface by "combing" or "cut". This process is known as "dressing" and "conditioning" of the pad. Many types of apparatus and processes have been used for this purpose. One such device is a dresser having a plurality of ultrahard crystalline particles, such as diamond particles attached to a metal-matrix surface.
실시예는 패드를 균일하고 용이하게 드레싱하는 패드 드레싱 장치를 제공하고자 한다.The embodiment seeks to provide a pad dressing device for uniformly and easily dressing a pad.
실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 헤드 몸체; 상기 헤드 몸체에 구비되며, 고압의 세정액을 분사하는 노즐; 상기 헤드 몸체에 회전 가능하도록 구비되는 드레서; 상기 헤드 몸체를 이동시키기 위하여 구동력을 제공하는 몸체 구동부; 및 상기 헤드 몸체와 몸체 구동부에 연결되는 암을 포함하며, 상기 암은 상기 노즐로 공급되는 세정액을 공급하는 유로가 내장된다.Pad dressing apparatus according to the embodiment includes a head body; A nozzle provided in the head body, for spraying a high pressure cleaning liquid; A dresser provided to be rotatable in the head body; A body driving unit providing a driving force to move the head body; And an arm connected to the head body and the body driving unit, wherein the arm has a flow path for supplying a cleaning liquid supplied to the nozzle.
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실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 노즐 및 드레서를 포함한다. 이에 따라서, 실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 연마 패드에 세정액을 분사하면서, 드레서를 사용하여, 연마 패드를 드레싱할 수 있다.The pad dressing apparatus according to the embodiment includes a nozzle and a dresser. Accordingly, the pad dressing apparatus according to the embodiment can dress the polishing pad by using a dresser while spraying the cleaning liquid on the polishing pad.
이에 따라서, 실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 연마 패드를 균일하게 드레싱 할 수 있다.Accordingly, the pad dressing apparatus according to the embodiment can uniformly dress the polishing pad.
또한, 실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 세정액 분사 및 다이아몬드 드레서 등에 의한 드레싱 공정을 따로 진행할 필요가 없으므로, 드레싱 공정에 소모되는 시간을 줄일 수 있다.In addition, the pad dressing apparatus according to the embodiment does not need to separately perform a dressing process by spraying a cleaning liquid and a diamond dresser, so that the time required for the dressing process can be reduced.
따라서, 실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 연마 패드를 용이하게 드레싱 할 수 있다.Thus, the pad dressing apparatus according to the embodiment can easily dress up the polishing pad.
도 1은 실시예에 따른 패드 드레싱 장치를 도시한 개략도이다.
도 2는 드레싱 헤드를 도시한 분해 사시도이다.
도 3은 제 1 드레서 및 제 1 구동부를 도시한 사시도이다.
도 4는 제 1 드레서를 도시한 분해 사시도이다.
도 5는 실시예에 따른 패드 드레싱 장치의 일 단면을 도시한 단면도이다.
도 6은 드레싱 헤드의 일 단면을 도시한 단면도이다.
도 7은 실시예에 따른 패드 드레싱 장치를 이용하여, 제 1 연마 패드 및 제 2 연마 패드를 드레싱하는 과정을 도시한 도면이다.1 is a schematic view showing a pad dressing apparatus according to an embodiment.
2 is an exploded perspective view of the dressing head.
3 is a perspective view illustrating a first dresser and a first driving unit.
4 is an exploded perspective view illustrating the first dresser.
5 is a cross-sectional view showing one cross section of the pad dressing apparatus according to the embodiment.
6 is a cross-sectional view showing one cross section of the dressing head.
7 is a view illustrating a process of dressing the first polishing pad and the second polishing pad by using the pad dressing apparatus according to the embodiment.
실시 예의 설명에 있어서, 각 패드, 플레이트, 웨이퍼 또는 영역 등이 각 패드, 플레이트, 웨이퍼 또는 영역 등의 "상(on)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상(on)"과 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 구성요소를 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 구성요소의 상 또는 하부에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다. 도면에서의 각 구성요소들의 크기는 설명을 위하여 과장될 수 있으며, 실제로 적용되는 크기를 의미하는 것은 아니다.In the description of the embodiment, in the case where each pad, plate, wafer, or region is described as being formed "on" or "under" of each pad, plate, wafer, or region, "On" and "under" include both being formed "directly" or "indirectly" through other components. In addition, the upper or lower reference of each component is described with reference to the drawings. The size of each component in the drawings may be exaggerated for the sake of explanation and does not mean the size actually applied.
도 1은 실시예에 따른 패드 드레싱 장치를 도시한 개략도이다. 도 2는 드레싱 헤드를 도시한 분해 사시도이다. 도 3은 제 1 드레서 및 제 1 구동부를 도시한 사시도이다. 도 4는 제 1 드레서를 도시한 분해 사시도이다. 도 5는 실시예에 따른 패드 드레싱 장치의 일 단면을 도시한 단면도이다. 도 6은 드레싱 헤드의 일 단면을 도시한 단면도이다. 도 7은 실시예에 따른 패드 드레싱 장치를 이용하여, 제 1 연마 패드 및 제 2 연마 패드를 드레싱하는 과정을 도시한 도면이다.1 is a schematic view showing a pad dressing apparatus according to an embodiment. 2 is an exploded perspective view of the dressing head. 3 is a perspective view illustrating a first dresser and a first driving unit. 4 is an exploded perspective view illustrating the first dresser. 5 is a cross-sectional view showing one cross section of the pad dressing apparatus according to the embodiment. 6 is a cross-sectional view showing one cross section of the dressing head. 7 is a view illustrating a process of dressing the first polishing pad and the second polishing pad by using the pad dressing apparatus according to the embodiment.
도 1 내지 도 6을 참조하면, 실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 헤드 유닛(10), 암(20) 및 헤드 유닛 구동부(30)를 포함한다.1 to 6, the pad dressing apparatus according to the embodiment includes a
상기 헤드 유닛(10)은 상기 암(20)에 연결된다. 상기 헤드 유닛(10)은 상기 헤드 유닛 구동부(30)에 의해서 구동된다. 또한, 상기 헤드 유닛(10)은 상기 암(20)을 통하여, 세정액을 공급받는다.The
도 2, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 헤드 유닛(10)은 헤드 몸체(100), 노즐(210, 220), 드레서(310, 320), 드레서 가이드(410, 420) 및 드레서 구동부(510, 520)를 포함한다.As shown in FIGS. 2, 5 and 6, the
상기 헤드 몸체(100)는 상기 암(20)에 연결된다. 상기 헤드 몸체(100)는 상기 노즐(210, 220), 상기 드레서(310, 320), 상기 드레서 가이드(410, 420) 및 상기 드레서 구동부(510, 520)를 지지한다. 상기 헤드 몸체(100)는 상기 드레서 구동부(510, 520)를 수용하기 위한 수용부를 포함할 수 있다.The
또한, 상기 헤드 몸체(100)는 상기 드레서 구동부(510, 520)를 수용하기 위한 홈들을 포함할 수 있다. 또한, 상기 헤드 몸체(100)는 상기 드레서 가이드(410, 420)와 일체로 형성될 수 있다. 또한, 상기 헤드 몸체(100)는 상기 노즐(210, 220)에 상기 세정액을 공급하기 위한 유로를 포함한다.In addition, the
상기 노즐(210, 220)은 상기 헤드 몸체(100)에 구비된다. 상기 노즐(210, 220)은 상기 헤드 몸체(100)에 볼트 등에 의해서 고정될 수 있다. 상기 노즐(210, 220)은 상기 세정액을 고압으로 분사할 수 있다. 상기 노즐(210, 220)은 제 1 노즐(210) 및 제 2 노즐(220)을 포함한다.The
상기 제 1 노즐(210)은 상기 헤드 몸체(100)의 상부에 구비된다. 상기 제 1 노즐(210)은 상기 유로와 연결된다. 상기 제 1 노즐(210)은 상기 세정액을 제 1 방향으로 분사한다. 더 자세하게, 상기 제 1 노즐(210)은 상기 세정액을 상방으로 분사할 수 있다.The
상기 제 2 노즐(220)은 상기 헤드 몸체(100)의 하부에 구비된다. 상기 제 2 노즐(220)은 상기 유로와 연결된다. 상기 제 2 노즐(220)은 상기 세정액을 상기 제 1 방향에 대하여 반대 방향인 제 2 방향으로 분사한다. 더 자세하게, 상기 제 2 노즐(220)은 상기 세정액을 하방으로 분사할 수 있다.The
상기 드레서(310, 320)는 상기 헤드 몸체(100)에 구비된다. 더 자세하게, 상기 드레서(310, 320)는 상기 드레서 가이드(410, 420)를 통하여 상기 헤드 몸체(100)에 설치된다. 상기 드레서(310, 320)는 상기 헤드 몸체(100)에 회전 가능하도록 구비된다. 상기 드레서(310, 320)는 전체적으로 고리 형상을 가질 수 있다. 또한, 상기 드레서(310, 320)는 상기 노즐(210, 220)을 둘러쌀 수 있다. 상기 드레서(310, 320)는 제 1 드레서(310) 및 제 2 드레서(320)를 포함한다.The
상기 제 1 드레서(310)는 상기 헤드 몸체(100)의 상부에 구비된다. 상기 제 1 드레서(310)는 상기 제 1 노즐(210)을 둘러싼다. 상기 제 1 드레서(310)는 상기 제 1 노즐(210)의 주위를 따라서 회전할 수 있다.The
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 드레서(310)는 제 1 프레임 및 다수 개의 제 1 절삭부들(313)을 포함한다.As shown in FIGS. 3 and 4, the
상기 제 1 프레임은 상기 제 1 절삭부들(313)을 지지한다. 상기 제 1 프레임은 제 1 드레서 구동부(510)에 의해서, 회전된다. 상기 제 1 프레임은 제 1 플레이트(311) 및 제 1 기어부(312)를 포함한다.The first frame supports the
상기 제 1 플레이트(311)에는 중공이 형성된다. 즉, 상기 제 1 플레이트(311)는 고리 형상을 가진다. 이때, 상기 제 1 노즐(210)은 상기 제 1 플레이트(311)의 중공에 배치된다. 즉, 상기 제 1 노즐(210)은 상기 제 1 드레서(310) 내측에 배치될 수 있다.A hollow is formed in the
상기 제 1 플레이트(311)의 상면에 상기 제 1 절삭부들(313)이 구비된다. 즉, 상기 제 1 절삭부들(313)은 상기 제 1 플레이트(311)에 볼트 등에 의해서 고정될 수 있다.The
상기 제 1 기어부(312)는 상기 제 1 플레이트(311)에 결합된다. 상기 제 1 기어부(312)는 상기 제 1 플레이트(311)에 볼트 등에 의해서 결합될 수 있다. 이와는 다르게, 상기 제 1 기어부(312)는 상기 제 1 플레이트(311)와 일체로 형성될 수 있다.The
상기 제 1 기어부(312)에는 다수 개의 제 1 기어들이 형성된다. 상기 제 1 기어들은 상기 제 1 드레서 구동부(510)의 제 2 기어들과 기어 결합된다. 상기 제 1 드레서(310)의 회전력은 상기 제 2 기어들 및 상기 제 1 기어들을 통하여, 상기 제 1 드레서(310)에 전달된다.A plurality of first gears are formed in the
상기 제 1 절삭부들(313)은 상기 플레이트에 체결된다. 상기 제 1 절삭부들(313)은 상기 플레이트의 중심을 둘러싼다. 상기 제 1 절삭부들(313)은 상기 제 1 플레이트(311)의 중공의 주위를 따라서 열을 지어 배치된다. 이때, 상기 제 1 절삭부들(313)은 서로 일정한 간격으로 이격될 수 있다.The
상기 제 1 절삭부들(313)은 제 1 몸체부, 다수 개의 제 1 절삭 입자들 및 제 1 코팅층을 포함할 수 있다.The
상기 제 1 몸체부는 상기 플레이트 상에 배치된다. 상기 제 1 몸체부는 상기 플레이트에 고정된다. 상기 제 1 몸체부는 상기 플레이트의 상면에 볼트 등에 의해서 체결될 수 있다. 상기 제 1 몸체부로 사용되는 물질의 예로서는 금속, 합금 또는 세라믹 등을 들 수 있다.The first body portion is disposed on the plate. The first body part is fixed to the plate. The first body portion may be fastened to the upper surface of the plate by a bolt or the like. Examples of the material used as the first body portion include metals, alloys or ceramics.
상기 제 1 절삭 입자들은 상기 제 1 몸체부에 배치된다. 더 자세하게, 상기 제 1 절삭 입자들은 상기 제 1 절삭 입자들은 상기 제 1 몸체부에 일부 삽입될 수 있다. 즉, 상기 제 1 절삭 입자들의 일부는 상기 제 1 몸체부 내측에 삽입되고, 상기 제 1 절삭 입자들의 다른 일부는 상기 제 1 몸체부로부터 노출된다.The first cutting particles are disposed on the first body portion. In more detail, the first cutting particles may be partially inserted into the first cutting particles. That is, some of the first cutting particles are inserted inside the first body portion, and other portions of the first cutting particles are exposed from the first body portion.
상기 제 1 절삭 입자들은 높은 경도를 가진다. 상기 제 1 절삭 입자들로 사용되는 물질의 예로서는 다이아몬드, 다결정 다이아몬드(polycrystaline diamond;PCD), 입방 보론 질화물 및 다결정 입방 보론 질화물(polycrystaline boron nitride;PCBN) 등을 들 수 있다.The first cutting particles have a high hardness. Examples of the material used as the first cutting particles include diamond, polycrystaline diamond (PCD), cubic boron nitride and polycrystaline boron nitride (PCBN).
상기 제 1 코팅층은 상기 제 1 몸체부의 상면에 배치된다. 즉, 상기 제 1 코팅층은 상기 제 1 몸체부의 상면에 코팅된다. 상기 제 1 코팅층은 상기 제 1 몸체부에 전기도금되는 금속층을 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 코팅층은 상기 제 1 몸체부에 니켈 등의 금속이 전기도금되어 형성될 수 있다.The first coating layer is disposed on an upper surface of the first body portion. That is, the first coating layer is coated on the upper surface of the first body portion. The first coating layer may be a metal layer electroplated on the first body portion. For example, the first coating layer may be formed by electroplating a metal such as nickel on the first body.
상기 제 1 절삭 입자들은 상기 제 1 몸체부에 압력에 의해서 삽입될 수 있다. 즉, 상기 제 1 몸체부 전기도금 등에 의해서, 상기 제 1 코팅층이 형성되고, 이후, 상기 제 1 절삭 입자들이 상기 제 1 몸체부의 상면에 배치된다. The first cutting particles may be inserted by pressure in the first body portion. That is, the first coating layer is formed by the first body part electroplating or the like, and then the first cutting particles are disposed on the upper surface of the first body part.
이후, 평평한 하면을 가지는 합금 시트 등에 의해서, 상기 제 1 절삭 입자들에 압력이 가해진다. 이에 따라서, 상기 제 1 절삭 입자들이 상기 제 1 몸체부에 삽입될 수 있다.Thereafter, pressure is applied to the first cutting particles by an alloy sheet having a flat lower surface. Accordingly, the first cutting particles may be inserted into the first body portion.
상기 제 2 드레서(320)는 상기 헤드 몸체(100)의 하부에 구비된다. 상기 제 2 드레서(320)는 상기 제 2 노즐(220)을 둘러싼다. 상기 제 2 드레서(320)는 상기 제 2 노즐(220)의 주위를 따라서 회전할 수 있다.The
상기 제 2 드레서(320)는 상기 제 1 드레서(310)와 실질적으로 동일한 구성을 가질 수 있다. 상기 제 2 드레서(320)는 제 2 프레임 및 다수 개의 제 2 절삭부들(323)을 포함한다.The
상기 제 2 프레임은 상기 제 2 절삭부들(323)을 지지한다. 상기 제 2 프레임은 제 2 드레서 구동부(520)에 의해서, 회전된다. 상기 제 2 프레임은 제 2 플레이트(321) 및 제 2 기어부(322)를 포함한다.The second frame supports the
상기 제 2 플레이트(321)에는 중공이 형성된다. 즉, 상기 제 2 플레이트(321)는 고리 형상을 가진다. 이때, 상기 제 2 노즐(220)은 상기 제 2 플레이트(321)의 중공에 배치된다. 즉, 상기 제 2 노즐(220)은 상기 제 2 드레서(320) 내측에 배치될 수 있다.A hollow is formed in the
상기 제 2 플레이트(321)의 상면에 상기 제 2 절삭부들(323)이 구비된다. 즉, 상기 제 2 절삭부들(323)은 상기 제 2 플레이트(321)에 볼트 등에 의해서 고정될 수 있다.The
상기 제 2 기어부(322)는 상기 제 2 플레이트(321)에 결합된다. 상기 제 2 기어부(322)는 상기 제 2 플레이트(321)에 볼트 등에 의해서 결합될 수 있다. 이와는 다르게, 상기 제 2 기어부(322)는 상기 제 2 플레이트(321)와 일체로 형성될 수 있다.The
상기 제 2 기어부(322)에는 다수 개의 제 3 기어들이 형성된다. 상기 제 3 기어들은 상기 제 2 드레서 구동부(520)의 제 4 기어들과 기어 결합된다. 상기 제 2 드레서(320)의 회전력은 상기 제 3 기어들 및 상기 제 4 기어들을 통하여, 상기 제 2 드레서(320)에 전달된다.A plurality of third gears are formed in the
상기 제 2 절삭부들(323)은 상기 플레이트에 체결된다. 상기 제 2 절삭부들(323)은 상기 플레이트의 중심을 둘러싼다. 상기 제 2 절삭부들(323)은 상기 제 2 플레이트(321)의 중공의 주위를 따라서 열을 지어 배치된다. 이때, 상기 제 2 절삭부들(323)은 서로 일정한 간격으로 이격될 수 있다.The
상기 제 2 절삭부들(323)은 상기 제 1 절삭부들(313)과 실질적으로 동일할 수 있다. 즉, 상기 제 2 절삭부들(323)은 제 2 몸체부, 다수 개의 제 2 절삭 입자들 및 제 2 코팅층을 포함할 수 있고, 상기 제 2 몸체부, 상기 제 2 절삭 입자들 및 상기 제 2 코팅층은 상기 제 1 몸체부, 상기 제 1 절삭 입자들 및 상기 제 1 코팅층과 실질적으로 동일할 수 있다.The
상기 제 2 몸체부는 상기 제 2 플레이트(321) 상에 배치된다. 상기 제 2 몸체부는 상기 제 2 플레이트(321)에 고정된다. 상기 제 2 절삭 입자들은 상기 제 2 몸체부에 배치된다. 더 자세하게, 상기 제 2 절삭 입자들은 상기 제 2 몸체부에 일부 삽입될 수 있다. 상기 제 2 코팅층은 상기 제 2 몸체부의 상면에 배치된다. 즉, 상기 제 2 코팅층은 상기 제 2 몸체부의 상면에 코팅된다.The second body portion is disposed on the
상기 드레서 가이드(410, 420)는 상기 드레서(310, 320)를 가이드한다. 상기 드레서 가이드(410, 420)는 상기 헤드 몸체(100)와 일체로 형성될 수 있다. 상기 드레서 가이드(410, 420)는 상기 드레서(310, 320)가 회전할 때, 상기 헤드 몸체(100)로부터 이탈되지 않도록 상기 드레서(310, 320)를 가이드한다.The dresser guides 410 and 420 guide the
상기 드레서 가이드(410, 420)는 제 1 드레서 가이드(410) 및 제 2 드레서 가이드(420)를 포함한다. 상기 제 1 드레서 가이드(410)는 상기 제 1 드레서(310)를 가이드한다. 상기 제 1 드레서 가이드(410)는 상기 헤드 몸체(100)의 상부에 구비된다.The dresser guides 410 and 420 include a
상기 제 1 드레서 가이드(410)의 일부는 상기 제 1 기어부(312)의 내측에 형성된 가이드 홈 내측에 삽입될 수 있다. 상기 제 1 드레서 가이드(410) 중 상기 가이드 홈 내측에 삽입되는 부분과 삽입되지 않는 부분은 서로 일체로 형성될 수 있다. 이와는 다르게, 상기 제 1 드레서 가이드(410) 중 상기 가이드 홈 내측에 삽입되는 부분과 삽입되지 않는 부분은 서로 분리될 수 있고, 볼트 등에 의해서 체결될 수 있다.A portion of the
상기 제 2 드레서 가이드(420)는 상기 제 2 드레서(320)를 가이드한다. 상기 제 2 드레서 가이드(420)는 상기 헤드 몸체(100)의 하부에 구비된다. 상기 제 2 드레서 가이드(420)는 상기 제 2 드레서 가이드(420)와 실질적으로 동일할 수 있다.The
상기 드레서 구동부(510, 520)는 상기 헤드 몸체(100)에 구비된다. 상기 드레서 구동부(510, 520)는 상기 드레서(310, 320)를 구동한다. 상기 드레서 구동부(510, 520)는 상기 제 1 드레서 구동부(510) 및 상기 제 2 드레서 구동부(520)를 포함한다.The
상기 제 1 드레서 구동부(510)는 상기 제 1 드레서(310)를 구동한다. 또한, 상기 제 1 드레서 구동부(510)는 상기 헤드 몸체(100)에 형성된 홈 내측에 배치될 수 있다. 또한, 상기 제 1 드레서 구동부(510)는 상기 헤드 몸체(100)에 고정될 수 있다.The
상기 제 1 드레서 구동부(510)는 상기 제 2 기어들을 포함하고, 상기 제 1 기어부(312)의 제 1 기어들과 기어 결합한다. 상기 제 1 드레서 구동부(510)에 의해서, 상기 제 1 드레서(310)는 회전된다.The
본 실시예에서는 상기 제 1 드레서 구동부(510)가 제 1 기어들 및 제 2 기어들에 의해서, 상기 제 1 드레서(310)를 구동하는 것으로 기재되어 있지만, 이에 한정되지 않고, 상기 제 1 드레서 구동부(510)는 상기 제 1 드레서(310)를 다양한 방식으로 회전시킬 수 있다.In the present exemplary embodiment, the
상기 제 2 드레서 구동부(520)는 상기 제 2 드레서(320)를 구동한다. 또한, 상기 제 2 드레서 구동부(520)는 상기 헤드 몸체(100)에 형성된 홈 내측에 배치될 수 있다. 또한, 상기 제 2 드레서 구동부(520)는 상기 헤드 몸체(100)에 고정될 수 있다.The
상기 제 2 드레서 구동부(520)는 상기 제 4 기어들을 포함하고, 상기 제 2 기어부(322)와 기어 결합한다. 상기 제 2 드레서 구동부(520)에 의해서, 상기 제 2 드레서(320)는 회전된다.The
본 실시예에서는 상기 제 2 드레서 구동부(520)가 상기 제 3 기어들 및 상기 제 4 기어들에 의해서, 상기 제 2 드레서(320)를 구동하는 것으로 기재되어 있지만, 이에 한정되지 않고, 상기 제 2 드레서 구동부(520)는 상기 제 2 드레서(320)를 다양한 방식으로 회전시킬 수 있다.In the present embodiment, the
상기 제 1 드레서(310) 및 상기 제 2 드레서(320)는 서로 같은 방향으로 회전될 수 있다. 이와는 다르게, 상기 제 1 드레서(310) 및 상기 제 2 드레서(320)는 서로 다른 방향으로 회전될 수 있다.The
상기 암(20)은 상기 헤드 유닛(10)과 연결된다. 더 자세하게, 상기 암(20)은 상기 헤드 몸체(100)와 연결된다. 또한, 상기 암(20)은 상기 헤드 유닛 구동부(30)와 연결된다. 상기 암(20)에는 상기 제 1 노즐(210) 및 상기 제 2 노즐(220)에 상기 세정액을 공급하기 위한 유로(21)가 형성된다.The
상기 암(20)은 상기 헤드 유닛 구동부(30)를 중심으로 힌지 구동될 수 있다. 또한, 상기 암(20)은 길이 방향으로도 구동될 수 있다.The
상기 헤드 유닛 구동부(30)는 상기 헤드 유닛(10)을 구동한다. 더 자세하게, 상기 헤드 유닛 구동부(30)는 상기 암(20)을 통하여, 상기 헤드 유닛(10)을 구동할 수 있다. 또한, 상기 헤드 유닛 구동부(30)는 상기 헤드 유닛(10)에 상기 세정액을 고압으로 상기 암(20)을 통하여 공급할 수 있다.The
상기 헤드 유닛 구동부(30)는 상기 암(20)을 직경 방향 및 길이 방향으로 구동할 수 이 있다. 또한, 상기 헤드 유닛 구동부(30)는 상기 헤드 유닛(10)의 높이를 조절할 수 있다.The
도 7을 참조하면, 상기 헤드 유닛(10)은 웨이퍼 양면 연마장치의 상정반(40) 및 하정반(50) 사이에 배치될 수 있다. 즉, 상기 헤드 유닛(10)은 상기 헤드 유닛 구동부(30)에 의해서, 상기 상정반(40)에 부착된 제 1 연마 패드(41) 및 상기 하정반(50)에 부착된 제 2 연마 패드(51) 사이에 로딩된다. 이때, 상기 제 1 연마 패드(41) 및 상기 제 2 연마 패드(51)는 서로 이격되고, 서로 마주본다.Referring to FIG. 7, the
이후, 상기 상정반(40)은 하강한다. 이에 따라서, 상기 제 1 연마 패드(41)는 상기 제 1 드레서(310)에 직접 접촉하고, 상기 제 2 연마 패드(51)는 상기 제 2 드레서(320)에 직접 접촉될 수 있다.Thereafter, the
이후, 상기 제 1 노즐(210)로부터 상기 세정액이 상방으로 분사된다. 즉, 상기 제 1 노즐(210)은 상기 세정액을 상기 제 1 연마 패드(41)를 향하여 분사한다. 이때, 상기 세정액은 탈 이온수일 수 있다.Thereafter, the cleaning liquid is injected upward from the
마찬가지로, 상기 제 2 노즐(220)로부터 상기 세정액이 하방으로 분사된다. 즉, 상기 제 2 노즐(220)은 상기 세정액을 상기 제 2 연마 패드(51)를 향하여 분사한다.Similarly, the cleaning liquid is injected downward from the
동시에, 상기 제 1 드레서(310) 및 상기 제 2 드레서(320)는 회전하게된다. 상기 제 1 드레서(310) 및 상기 제 2 드레서(320)는 서로 같은 방향 또는 다른 방향으로 회전될 수 있다. 또한, 상기 제 1 드레서(310) 및 상기 제 2 드레서(320)는 시계 방향 또는 반 시계 방향으로 회전될 수 있다.At the same time, the
이에 따라서, 상기 제 1 연마 패드(41) 및 상기 제 2 연마 패드(51)는 상기 세정액에 의해서 세정됨과 동시에, 상기 제 1 드레서(310) 및 상기 제 2 드레서(320)에 의해서 드레싱된다.Accordingly, the
즉, 실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 상기 제 1 연마 패드(41) 및 상기 제 2 연마 패드(51)를 드레싱함과 동시에, 상기 제 1 연마 패드(41) 및 상기 제 2 연마 패드(51)에 상기 세정액을 분사한다.That is, the pad dressing apparatus according to the embodiment dresses up the
이에 따라서, 실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 상기 제 1 연마 패드(41) 및 상기 제 2 연마 패드(51)에 남아있는 잔유물들을 효율적으로 제거할 수 있다.Accordingly, the pad dressing apparatus according to the embodiment can efficiently remove the residues remaining on the
또한, 실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 상기 제 1 연마 패드(41) 및 상기 제 2 연마 패드(51)에 상기 세정액을 분사하면서, 상기 제 1 연마 패드(41) 및 상기 제 2 연마 패드(51)를 드레싱한다.In addition, the pad dressing apparatus according to the embodiment sprays the cleaning liquid on the
이에 따라서, 상기 제 1 연마 패드(41) 및 상기 제 2 연마 패드(51)는 균일하게 드레싱 될 수 있다.Accordingly, the
특히, 상기 제 1 노즐(210)은 상기 제 1 드레서(310) 내에 배치되고, 상기 제 2 노즐(220)은 상기 제 2 드레서(320) 내에 배치된다. 이에 따라서, 상기 세정액이 분사되는 시간과 상기 드레서(310, 320)가 드레싱하는 시간 사이의 간격이 매우 짧다.In particular, the
이에 따라서, 실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 상기 제 1 연마 패드(41) 및 상기 제 2 연마 패드(51)를 더욱 효율적으로 드레싱 할 수 있다.Accordingly, the pad dressing apparatus according to the embodiment can more efficiently dress the
또한, 실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 세정액 분사에 의한 세정 공정 및 다이아몬드 드레서(310, 320) 등에 의한 드레싱 공정을 따로 진행할 필요가 없으므로, 드레싱 공정에 소모되는 시간을 줄일 수 있다.In addition, since the pad dressing apparatus according to the embodiment does not need to separately perform the cleaning process by spraying the cleaning liquid and the dressing process by the
따라서, 실시예에 따른 패드 드레싱 장치는 상기 제 1 연마 패드(41) 및 상기 제 2 연마 패드(51)를 용이하게 드레싱 할 수 있다.Accordingly, the pad dressing apparatus according to the embodiment may easily dress the
또한, 이상에서 실시예들에 설명된 특징, 구조, 효과 등은 본 발명의 적어도 하나의 실시예에 포함되며, 반드시 하나의 실시예에만 한정되는 것은 아니다. 나아가, 각 실시예에서 예시된 특징, 구조, 효과 등은 실시예들이 속하는 분야의 통상의 지식을 가지는 자에 의해 다른 실시예들에 대해서도 조합 또는 변형되어 실시 가능하다. 따라서 이러한 조합과 변형에 관계된 내용들은 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.In addition, the features, structures, effects and the like described in the embodiments are included in at least one embodiment of the present invention, and are not necessarily limited to only one embodiment. Furthermore, the features, structures, effects, and the like illustrated in each embodiment may be combined or modified with respect to other embodiments by those skilled in the art to which the embodiments belong. Therefore, it should be understood that the present invention is not limited to these combinations and modifications.
이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It will be understood that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments can be modified and implemented. It is to be understood that all changes and modifications that come within the meaning and range of equivalency of the claims are therefore intended to be embraced therein.
Claims (10)
상기 헤드 몸체에 구비되며, 고압의 세정액을 분사하는 노즐;
상기 헤드 몸체에 회전 가능하도록 구비되는 드레서;
상기 드레서를 회전시키는 구동부;
상기 헤드 몸체를 이동시키기 위하여 구동력을 제공하는 몸체 구동부; 및
상기 헤드 몸체와 몸체 구동부에 연결되는 암을 포함하며,
상기 암은 상기 노즐로 공급되는 세정액을 공급하는 유로가 내장되고,
상기 드레서는,
중공이 형성된 프레임; 및
상기 프레임에 서로 이격된 위치에 고정되는 다수 개의 절삭부들을 포함하는 패드 드레싱 장치.Head body;
A nozzle provided in the head body, for spraying a high pressure cleaning liquid;
A dresser provided to be rotatable in the head body;
A driving unit to rotate the dresser;
A body driving unit providing a driving force to move the head body; And
An arm connected to the head body and the body driving unit;
The arm has a built-in flow path for supplying a cleaning liquid supplied to the nozzle,
The dresser,
A hollow frame; And
Pad dressing device comprising a plurality of cutting portions fixed to the frame spaced apart from each other.
제 1 방향으로 상기 세정액을 분사하는 제 1 노즐; 및
상기 제 1 방향에 대하여 반대 방향인 제 2 방향으로 상기 세정액을 분사하는 제 2 노즐을 포함하는 패드 드레싱 장치.The method of claim 1, wherein the nozzle,
A first nozzle for spraying the cleaning liquid in a first direction; And
And a second nozzle for spraying the cleaning liquid in a second direction opposite to the first direction.
상기 제 2 노즐의 주위를 둘러싸는 제 2 드레서를 포함하는 패드 드레싱 장치.3. The apparatus of claim 2, further comprising: a first dresser surrounding the first nozzle; And
And a second dresser surrounding the periphery of the second nozzle.
상기 드레서는 상기 노즐의 주위를 둘러싸는 패드 드레싱 장치.The method of claim 1, wherein the dresser has a ring shape,
And the dresser wraps around the nozzle.
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