KR101269856B1 - 평판표시소자 제조장비의 기판 감지장치 - Google Patents

평판표시소자 제조장비의 기판 감지장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 평판표시소자 제조장비의 기판 감지장치에 관한 것으로서, 챔버; 상기 챔버의 내부에 설치되어 처리가 예정된 기판 또는 처리가 완료된 기판을 반송하기 위하여 각각 3차원적으로 동작하는 아암부재를 갖되, 상기 각각의 아암부재가 동일축선상에 수평방향으로 나란하게 정렬된 2개가 구비된 듀얼 타입 운송 로봇; 상기 챔버의 상부면 및 하부면에 각각 설치되어 레이저 빔을 발생하는 레이저 센서 및; 상기 레이저 센서들과 동일 수직선상에 위치되고, 상기 2개의 아암부재 중, 윗단의 아암부재에 안착된 기판과 아랫단의 아암부재에 안착된 기판 사이에 위치되어, 상기 레이저 센서들에서 발생된 레이저 빔을 각각 해당 레이저 센서로 재반사시키는 양면 반사판을 포함하는 것을 특징으로 하며, 이에 따라 기판의 유무 및 파손여부를 감지하기 위한 레이저 센서와 반사판의 간격이 최대한 줄어들게 됨으로써, 상기 기판의 유무 및 파손여부 감지가 보다 확실하게 이루어지게 됨은 물론, 2개의 아암부재가 동일 축선상에 수평방향으로 나란하게 정렬된 것을 적용할 수 있게 되는바, 작은 크기의 반송 챔버를 적용할 수 있어 결국 평판표시소자 제조장비의 설비공간을 줄일 수 있게 되는 효과도 제공된다.

Description

평판표시소자 제조장비의 기판 감지장치 {Device for sensing of substrate in apparatus for manufacturing of FPD}
본 발명은 평판표시소자 제조장비의 기판 감지장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 평판표시소자 제조장비의 반송 챔버 내에 입출되는 기판의 유무와 파손여부를 감지하기 위한 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판표시소자 제조장비는 내부에 평판표시소자 기판을 반입시키고, 플라즈마 등을 이용하여 식각 등의 처리를 실시하는데 사용된다.
평판표시소자(Flat Panel Display)는 액정 표시소자(Liquid Cristal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes) 등을 일컬으며, 이러한 평판표시소자의 제조장치는 기판의 표면처리 등을 위하여 진공처리용 장치를 이용하게 되는데, 일반적으로 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 로드락 챔버(Load Lock Chamber)(10), 반송 챔버(Transfer Chamber)(30) 및 공정 챔버(Process Chamber)(20) 등이 이용되고 있다.
로드락 챔버(10)는, 대기압 상태와 진공 상태를 번갈아 가면서 외부로부터 처리되지 않은 기판을 받아들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하고, 반송 챔버(30)는 기판을 각 챔버들 간에 반송하기 위한 운송 로봇이 구비되어 있어서 처리가 예정된 기판을 로드락 챔버(10)에서 공정 챔버(20)로 전달하거나, 처리가 완료된 기판을 공정 챔버(20)에서 로드락 챔버(10)로 전달하는 역할을 하며, 공정 챔버(20)는 진공 분위기 하에서 플라즈마를 이용하거나 열에너지를 이용하여 기판 상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 한다.
이와 같이 구성되는 평판표시소자 제조장비의 반송 챔버(30)에서 기판을 이송하기 위한 운송 로봇(40)은, 반송 챔버(30)의 하부에 고정되는 구동부(42)와, 이 구동부(42)에 의해 3차원적으로 동작하면서 기판을 전달하는 아암(Arm)부재(50,52)로 이루어져 있다.
여기서, 상기 운송 로붓(40)의 아암부재는 1개만 구비된 것도 있으나, 최근에는 기판(S1,S2)의 운송 처리량을 늘려 평판표시소자의 생산량을 증대시키도록 하기 위하여 도 3에 도시된 바와 같이, 아암부재(50,52)를 2개 구비한 듀얼 타입의 운송 로봇(40)이 제공되고 있다.
한편, 반송 챔버(30)에는 운송 로봇(40)에 의해 처리가 예정된 기판을 로드락 챔버(10)에서 공정 챔버(20)로 전달하거나, 처리가 완료된 기판을 공정 챔버(20)에서 로드락 챔버(10)로 전달하는 과정에서 기판의 유무와 파손여부를 감지하기 위한 감지수단이 설치되어 있다.
상기 감지수단은, 도 3에 도시된 바와 같이, 반송 챔버(30)의 상부면에 설치되는 레이저 센서(60)와, 반송 챔버(30)의 하부면에 설치되어 상기 레이저 센서(60)로부터 발생되는 레이저 빔을 편광시킨 후, 이를 레이저 센서(60)로 재반사시키는 반사판(62)을 포함하여 구성되어 있다.
여기서, 상기 감지수단은 반사판(62)을 통하여 레이저 센서(60)로 재반사되어 온 레이저 빔의 파형을 검출하는 제어부와, 레이저 빔의 파형을 디스플레이 하는 디스플레이부 및 레이저 빔의 파형 변화를 감지하여 파손여부를 외부로 알리기 위한 경보기 등을 포함하기도 한다.
그러나, 상기와 같은 감지수단이 설치된 반송 챔버(30)의 경우, 운송 로봇이 1개만 구비된 경우에는 큰 문제가 없으나, 앞서 언급한 바와 같이, 아암부재(50,52)가 2개 구비된 듀얼 타입의 운송 로봇(50)이 제공된 경우에는 감지가 제대로 이루어지지 않는다는 문제점이 있었다.
즉, 최근에는 평판표시소자가 대형화 되고 있는 추세에 따라 기판 자체도 대면적의 것이 적용됨으로써, 반송 챔버(30)의 크기도 커지게 되고, 이에 반송 챔버(30)의 상부면과 하부면 사이의 간격이 멀어지게 된다.
특히, 운송 로봇(40)의 아암부재(50,52)가 2개 구비된 듀얼 타입의 경우, 아암부재(50,52)가 수직방향으로 2단에 걸쳐 설치됨으로써, 반송 챔버(30)의 상부면과 하부면의 간격이 더욱 벌어지게 되어 결국 반송 챔버(30)의 상부면에 설치되는 레이저 센서(60)와 반송 챔버(30)의 하부면에 설치되는 반사판(62)의 간격 또한 멀어지게 되는바, 레이저 빔의 이동거리가 증대됨에 따라 감지효율이 좋지 못한 문제점이 있었다.
또한, 운송 로봇(40)의 아암부재(50,52)가 2개 구비된 듀얼 타입의 경우, 아암부재(50,52)가 동일 축선상으로 정렬되게 설치되면, 기판(S1,S2) 또한 동일 축선상으로 정렬되게 위치하게 됨으로써, 2개의 기판(S1,S2)이 겹쳐지게 되며, 이에 따라 레이저 센서(60)에서 발생된 레이저 빔이 겹쳐진 2개의 기판(S1,S2)을 통과한 후, 반사판(62)에 의해 레이저 센서(60)로 재반사되는바, 기판의 유무 및 파손여부를 정확하게 감지할 수 없게 되는 문제가 있게 된다.
이에, 운송 로봇(40)의 아암부재(50,52)가 2개 구비된 듀얼 타입의 경우, 위와 같은 문제를 해결하기 위하여 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 2개의 아암부재(50,52)가 수평방향으로 엇갈리도록 비정렬 상태로 위치하도록 하고 있다.
따라서, 레이저 센서(60) 및 반사판(62)이 하나의 아암부재(50 또는 52)에 의해 운송되는 하나의 기판(S1 또는 S2)만을 감지하게 됨으로써, 기판의 유무 및 파손여부를 용이하게 감지할 수는 있게 되나, 이의 경우에는 2개의 아암부재(50,52)를 수평상태에서 엇갈리도록 비정렬 상태로 설치하게 됨으로써, 반송 챔버(30)의 전후면과 좌우면의 간격이 더욱 벌어지게 될 수밖에 없어 반송 챔버(30)의 전체적인 크기가 커지게 되는바, 결국 평판표시소자 제조장비의 설비공간을 크게 차지한다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 제반 문제점들에 착안하여 안출된 것으로서, 운송 로봇에 의해 반송이 이루어지는 기판의 유무 및 파손여부를 감지하기 위한 레이저 센서와 반사판의 간격을 최대한 줄임으로써, 상기 기판의 유무 및 파손여부 감지가 보다 확실하게 이루어지도록 한 평판표시소자 제조장비의 기판 감지장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
특히, 본 발명은 운송 로봇의 아암부재가 2개 구비된 듀얼 타입의 경우, 상기 아암부재들에 의해 반송되는 기판이 동일 축선상에 수평방향으로 나란하게 정렬된 경우에도, 각각의 기판 유무 및 파손여부를 확실하게 감지할 수 있도록 함으로써, 2개의 아암부재가 동일 축선상에 수평방향으로 나란하게 정렬된 것을 적용할 수 있도록 하여 반송 챔버의 크기를 줄여 결국 평판표시소자 제조장비의 설비공간을 줄일 수 있도록 한 평판표시소자 제조장비의 기판 감지장치를 제공하는데에도 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장비의 기판 감지장치는, 챔버; 상기 챔버의 내부에 설치되어 처리가 예정된 기판 또는 처리가 완료된 기판을 반송하기 위하여 각각 3차원적으로 동작하는 아암부재를 갖되, 상기 각각의 아암부재가 동일축선상에 수평방향으로 나란하게 정렬된 2개가 구비된 듀얼 타입 운송 로봇; 상기 챔버의 상부면 및 하부면에 각각 설치되어 레이저 빔을 발생하는 레이저 센서 및; 상기 레이저 센서들과 동일 수직선상에 위치되고, 상기 2개의 아암부재 중, 윗단의 아암부재에 안착된 기판과 아랫단의 아암부재에 안착된 기판 사이에 위치되어, 상기 레이저 센서들에서 발생된 레이저 빔을 각각 해당 레이저 센서로 재반사시키는 양면 반사판을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이 경우, 상기 레이저 센서들은, 발생되는 레이저 빔이 상기 아암부재들에 안착된 기판을 관통하도록 하는 위치에 설치되고, 상기 양면 반사판은 상기 레이저 센서들과 동일 수직선상에 위치되되, 상기 아암부재들 중, 윗단의 아암부재에 안착된 기판의 하부에 위치되고, 아랫단의 아암부재에 안착된 기판의 상부에 위치되도록 설치되는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 양면 반사판은, 상기 아암부재들 중, 윗단의 아암부재로부터 동일 수평방향으로 지지되게 설치되는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장비의 기판 감지장치는, 챔버; 상기 챔버의 내부에 설치되어 처리가 예정된 기판 또는 처리가 완료된 기판을 반송하기 위하여 3차원적으로 동작하는 아암부재를 갖는 운송 로봇; 상기 챔버의 상부면에 설치되어 레이저 빔을 발생하는 레이저 센서 및; 상기 레이저 센서와 동일 수직선상에 위치되고, 상기 아암부재에 안착된 기판의 아래쪽에 위치되어, 상기 레이저 센서에서 발생된 레이저 빔을 상기 레이저 센서로 재반사시키는 반사판을 포함하는 것일 수도 있다.
이 경우, 상기 레이저 센서는, 발생되는 레이저 빔이 상기 아암부재에 안착된 기판을 관통하도록 하는 위치에 설치되고, 상기 반사판은 상기 레이저 센서와 동일 수직선상에 위치되되, 상기 아암부재에 안착된 기판의 하부에 위치되도록 설치되는 것이 바람직하다.
여기서, 상기 반사판은, 상기 아암부재로부터 동일 수평방향으로 지지되게 설치되는 것이 더욱 바람직하다.
이상에서와 같이, 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장비의 기판 감지장치에 의하면, 운송 로봇에 의해 반송이 이루어지는 기판의 유무 및 파손여부를 감지하기 위한 레이저 센서와 반사판의 간격이 최대한 줄어들게 됨으로써, 상기 기판의 유무 및 파손여부 감지가 보다 확실하게 이루어지게 되는 효과가 제공된다.
특히, 운송 로봇의 아암부재가 2개 구비된 듀얼 타입의 경우, 상기 아암부재들에 의해 반송되는 기판이 동일 축선상에 수평방향으로 나란하게 정렬된 경우에도, 각각의 기판 유무 및 파손여부를 확실하게 감지할 수 있게 됨으로써, 2개의 아암부재가 동일 축선상에 수평방향으로 나란하게 정렬된 것을 적용할 수 있게 되는바, 작은 크기의 반송 챔버를 적용할 수 있어 결국 평판표시소자 제조장비의 설비공간을 줄일 수 있게 되는 효과도 제공된다.
도 1은 종래의 일반적인 평판표시소자 제조장비 구성을 도시한 평면도.
도 2는 도 1에서 반송 챔버와 공정 챔버의 연관관계를 나타낸 측면도.
도 3은 종래의 듀얼 타입 운송 로봇이 적용된 반송 챔버를 나타낸 단면구성도.
도 4는 도 3에서 운송 로봇의 아암부재에 기판이 안착된 상태의 평면도.
도 5는 듀얼 타입 운송 로봇을 갖는 반송 챔버에 본 발명에 따른 기판 감지장치가 적용된 상태를 나타낸 제 1실시 단면구성도.
도 6은 도 5에서 운송 로봇의 아암부재에 기판이 안착된 상태의 평면도.
도 7은 싱글 타입 운송 로봇을 갖는 반송 챔버에 본 발명에 따른 기판 감지장치가 작용된 상태를 나타낸 제 2실시 단면구성도.
도 8은 도 7에서 운송 로봇의 아암부재에 기판이 안착된 상태의 평면도.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.
평판표시소자의 제조장치는 기판의 표면처리 등을 위하여 진공처리용 장치를 이용하게 되는데, 로드락 챔버(Load Lock Chamber), 반송 챔버(Transfer Chamber) 및 공정 챔버(Process Chamber) 등이 이용되고 있다.
로드락 챔버는, 대기압 상태와 진공 상태를 번갈아 가면서 외부로부터 처리되지 않은 기판을 받아들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하고, 반송 챔버는 기판을 각 챔버들 간에 반송하기 위한 운송 로봇이 구비되어 있어서 처리가 예정된 기판을 로드락 챔버에서 공정 챔버로 전달하거나, 처리가 완료된 기판을 공정 챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 하며, 공정 챔버는 진공 분위기 하에서 플라즈마를 이용하거나 열에너지를 이용하여 기판 상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 한다.
이와 같이 구성되는 평판표시소자 제조장비의 반송 챔버에서 기판을 이송하기 위한 운송 로봇은, 반송 챔버의 하부에 고정되는 구동부와, 이 구동부에 의해 3차원적으로 동작하면서 기판을 전달하는 아암(Arm)부재로 이루어져 있다.
최근에는 기판의 운송 처리량을 늘려 평판표시소자의 생산량을 증대시키도록 하기 위하여 도 5에 도시된 바와 같이, 아암부재(120,122)를 2개 구비한 듀얼 타입의 운송 로봇(110)이 제공된다.
참고로, 도 5는 듀얼 타입 운송 로봇을 갖는 반송 챔버에 본 발명에 따른 기판 감지장치가 적용된 상태를 나타낸 제 1실시 단면구성도이고, 도 6은 도 5에서 운송 로봇의 아암부재에 기판이 안착된 상태의 평면도로서, 이를 참조로 하여 본 발명의 제 1실시 예를 설명하기로 한다.
<제 1실시 예>
상기 2개의 아암부재(120,122)는 반송 챔버(100)의 하부에 고정되는 구동부(112)에 의해 동시 또는 선택적으로 3차원적 동작(승강 및 전후좌우 이동)을 이루면서 기판(S1,S2)을 반송하게 되는데, 2개의 아암부재(120,122)가 동일 축선상에 수평방향으로 나란하게 정렬되게 설치되어 있다.
따라서, 상기 2개의 아암부재(120,122)에 안착되는 기판(S1,S2) 또한 동일 축선상에 수평방향으로 나란하게 정렬된 상태로 안착됨으로써, 반송 챔버(100)의 전체적인 크기가 작게 형성되어 있다.
즉, 종래에는 2개의 아암부재가 감지수단에 의한 기판의 유무 및 파손여부를 감지하기 위하여 수평방향으로는 나란하되, 동일 축선상에 대하여 어긋나게 설치되어 있고(도 3 및 종래기술 참조), 이로 인하여 각각의 아암부재가 3차원적 동작(승강 및 전후좌우 이동)을 위한 충분한 공간확보를 위하여 반송 챔버의 전후간격과 좌우간격이 벌어질 수밖에 없어 결국 반송 챔버의 크기가 큰 것이 적용되었으나, 본 발명의 실시 예에서와 같이 2개의 아암부재(120,122)가 동일 축선상에 수평방향으로 나란하게 정렬된 경우에는 각각의 아암부재(120,122)의 동작반경이 동일하므로, 반송 챔버(100)의 전후간격과 좌우간격을 줄일 수 있어 결국 반송 챔버(100)의 크기가 작은 것을 적용할 수 있게 된다.
따라서, 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제 1실시 예에 따른 반송 챔버(100)는 2개의 아암부재(120,122)가 동일 축선상에 대하여 수평방향으로 정렬되게 설치됨에 따라 종래의 반송 챔버 길이가 'A'인데 반해, 'A - α'가 되어 크기가 작은 것을 적용할 수 있게 되는 것이다.
이와 같이, 2개의 아암부재(120,122)가 동일 축선상에 대하여 수평방향으로 정렬되게 설치된 반송 챔버(100)의 상부면에는 제1레이저 센서(130)가 설치되어 있고, 상기 제1레이저 센서(130)와 대응되는 반송 챔버(100)의 하부면에는 제2레이저 센서(140)가 설치되어 있다.
제 1레이저 센서(130) 및 제 2레이저 센서(140)는 2개의 아암부재(120,122)에 각각 기판(S1,S2)이 안착된 상태에서 반송 챔버(100)의 내부로 레이저 빔을 발생시켜 레이저 빔이 기판(S1,S2)을 통과하도록 하는 것으로서, 동일 수직선상에 위치되게 설치되어 있다.
한편, 상기 2개의 아암부재(120,122)들 중, 윗단의 아암부재(120)와 동일 수평선상에는, 제1레이저 센서(130) 및 제2레이저 센서(140)에서 발생된 레이저 빔을 각각 해당 레이저 센서로 재반사시키는 양면 반사판(150)이 설치되어 있다.
여기서, 양면 반사판(150)은, 윗단의 아암부재(120) 일측에 지지되어 수평방향으로 설치될 수도 있고, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 윗단의 아암부재(120) 일측으로부터 수평방향으로 연장형성되는 연장부재(121)에 지지되어 수평방향으로 설치될 수도 있다.
참고로, 본 발명의 제 1실시 예에서 양면 반사판(150)이 윗단의 아암부재(120)에 대하여 수평방향으로 설치되는 것을 일 예로 들어 설명하였으나, 이는 그 설치의 용이성을 위함이며, 윗단의 아암부재(120)에 안착되는 기판(S1)의 아래쪽 그리고, 아랫단의 아암부재(122)에 안착되는 기판(S2)의 위쪽에 위치하게 설치되기만 하면 굳이 윗단의 아암부재(120)에 대하여 수평방향으로 설치되지 않아도 무방하다.
여기서, 양면 반사판(150)을 통하여 제1레이저 센서(130) 및 제2레이저 센서(140)로 재반사되어 온 레이저 빔의 파형을 검출하는 제어부(미도시됨)와, 레이저 빔의 파형을 디스플레이 하는 디스플레이부(미도시됨) 및 레이저 빔의 파형 변화를 감지하여 파손여부를 외부로 알리기 위한 경보기(미도시됨) 등을 포함하는 것이 바람직하다.
상기와 같은 구성으로 이루어진 평판표시소자 제조장비의 기판 감지장치에 대한 작동관계를 설명하면 다음과 같다.
로드락 챔버로부터 운송 로봇(110)을 이용하여 처리 예정인 기판을 인입하거나 또는 공정 챔버로부터 운송 로봇(110)을 이용하여 처리 완료된 기판을 인입하여 반송 챔버(100) 내부에 기판(S1,S2)이 존재하는 경우, 제1레이저 센서(130) 및 제2레이저 센서(140), 양면 반사판(150)을 포함하는 감지수단이 작동하게 된다.
예컨대, 제1레이저 센서(130)가 레이저 빔을 발생시키게 되면, 발생되는 레이저 빔은 윗단의 아암부재(120)에 안착된 기판(S1)을 통과한 후, 이 기판(S1)의 아래쪽에 위치하는 양면 반사판(150)에 의해 제1레이저 센서(130)로 재반사된다. 이때, 제1레이저 센서(130)는 재반사된 레이저 빔의 파형을 제어부에 송신하고, 제어부는 송신된 파형을 비교,판독하여 기판의 유무 또는 파손여부를 검출하게 되고 검출된 값을 디스플레이부에 디스플레이 시킴과 아울러 예 입력된 기준값과 다를 경우 경보기를 통해 경보음을 발생시켜 이상여부를 외부에 알리게 된다.
동시에 제2레이저 센서(140)도 레이저 빔을 발생시키고, 발생되는 레이저 빔은 아랫단의 아암부재(122)에 안착된 기판(S2)을 통과한 후, 이 기판(S2)의 위쪽에 위치하는 양면 반사판(150)에 의해 제2레이저 센서(140)로 재반사된다. 이때, 제2레이저 센서(140)는 재반사된 레이저 빔의 파형을 제어부에 송신하고, 제어부는 송신된 파형을 비교,판독하여 기판의 유무 또는 파손여부를 검출하게 되고 검출된 값을 디스플레이부에 디스플레이 시킴과 아울러 예 입력된 기준값과 다를 경우 경보기를 통해 경보음을 발생시켜 이상여부를 외부에 알리게 된다.
이와 같이, 2개의 아암부재(120,122)가 동일 축선상에 대하여 수평방향으로 정렬되게 설치되어 결국 2개의 기판(S1,S2)이 동일 축선상에 겹치게 위치하게 되더라도, 제1레이저 센서(130)와 양면 반사판(150)에 의해 윗단의 아암부재(120)에 안착된 기판(S1)을 감지하고, 제2레이저 센서(140)와 양면 반사판(150)에 의해 아랫단의 아암부재(122)에 안착된 기판(S2)을 감지하는 등, 각각의 기판(S1,S2)들을 별개로 감지할 수 있게 되는바, 그 감지효율이 매우 향상되게 된다.
또한, 윗단의 아암부재(120)에 안착된 기판(S1)을 감지하기 위한 제1레이저 센서(130)와 양면 반사판(150) 사이의 간격이 좁고, 아랫단의 아암부재(122)에 안착된 기판(S2)을 감지하기 위한 제2레이저 센서(140)와 양면 반사판(150) 사이의 간격이 좁음으로써, 결국 레이저 빔의 이동거리가 짧아짐에 따라 감지효율이 더욱 향상되게 된다.
이와 같이, 레이저 빔의 이동거리가 짧아짐에 따라 상기 아암부재(120,122)들에 성막되지 않은 투명한 베어 글라스가 안착될 경우 더욱 감지효율이 향상되게 된다.
<제 2실시 예>
도 7은 싱글 타입 운송 로봇이 적용된 반송 챔버에 본 발명에 따른 기판 감지장치가 적용된 것을 나타낸 제 2실시 단면구성도이고, 도 8은 도 7에서 운송 로봇의 아암부재에 기판이 안착된 상태의 평면도이다.
본 발명의 제 2실시 예는, 1개의 아암부재(220)만 갖는 운송 로봇(210)이 적용된 싱글 타입 반송 챔버(200)에 본 발명에 따른 기판 감지장치가 적용된 것이다.
상기 1개의 아암부재(220)는 반송 챔버(200)의 하부에 고정되는 구동부(212)에 의해 동시 또는 선택적으로 3차원적 동작(승강 및 전후좌우 이동)을 이루면서 기판을 반송하게 된다.
이와 같이, 1개의 아암부재(220)가 설치된 반송 챔버(200)의 상부면에는 레이저 센서(230)가 설치되어 있는데, 이 레이저 센서(230)는 아암부재(220)에 기판(S1)이 안착된 상태에서 반송 챔버(200)의 내부로 레이저 빔을 발생시켜 레이저 빔이 기판(S1)을 통과하도록 하는 것이다.
상기 아암부재(220)와 동일 수평선상에는, 레이저 센서(230)에서 발생된 레이저 빔을 다시 상기 레이저 센서(230)로 재반사시키는 반사판(240)이 설치되어 있다.
여기서, 반사판(240)은, 아암부재(220) 일측에 지지되어 수평방향으로 설치될 수도 있고, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 아암부재(220) 일측으로부터 수평방향으로 연장형성되는 연장부재(221)에 지지되어 수평방향으로 설치될 수도 있다.
참고로, 본 발명의 제 2실시 예에서 반사판(240)이 아암부재(220)에 대하여 수평방향으로 설치되는 것을 일 예로 들어 설명하였으나, 이는 그 설치의 용이성을 위함이며, 아암부재(220)에 안착되는 기판(S1)의 아래쪽에 위치하게 설치되기만 하면 굳이 아암부재(220)에 대하여 수평방향으로 설치되지 않아도 무방하다.
여기서, 반사판(240)을 통하여 레이저 센서(230)로 재반사되어 온 레이저 빔의 파형을 검출하는 제어부(미도시됨)와, 레이저 빔의 파형을 디스플레이 하는 디스플레이부(미도시됨) 및 레이저 빔의 파형 변화를 감지하여 파손여부를 외부로 알리기 위한 경보기(미도시됨) 등을 포함하는 것이 바람직하다.
상기와 같은 구성으로 이루어진 제 2실시 예에 따른 평판표시소자 제조장비의 기판 감지장치에 대한 작동관계를 설명하면 다음과 같다.
로드락 챔버로부터 운송 로봇(210)을 이용하여 처리 예정인 기판을 인입하거나 또는 공정 챔버로부터 운송 로봇(210)을 이용하여 처리 완료된 기판을 인입하여 반송 챔버(200) 내부에 기판(S1)이 존재하는 경우, 레이저 센서(230), 반사판(240)을 포함하는 감지수단이 작동하게 된다.
예컨대, 레이저 센서(230)가 레이저 빔을 발생시키게 되면, 발생되는 레이저 빔은 아암부재(220)에 안착된 기판(S1)을 통과한 후, 이 기판(S1)의 아래쪽에 위치하는 반사판(240)에 의해 레이저 센서(230)로 재반사된다. 이때, 레이저 센서(230)는 재반사된 레이저 빔의 파형을 제어부에 송신하고, 제어부는 송신된 파형을 비교,판독하여 기판(S1)의 유무 또는 파손여부를 검출하게 되고 검출된 값을 디스플레이부에 디스플레이 시킴과 아울러 예 입력된 기준값과 다를 경우 경보기를 통해 경보음을 발생시켜 이상여부를 외부에 알리게 된다.
이와 같이, 아암부재(220)에 안착된 기판(S1)을 감지하기 위한 레이저 센서(230)와 반사판(240) 사이의 간격이 짧아짐으로써, 결국 레이저 빔의 이동거리가 짧아짐에 따라 감지효율이 더욱 향상되게 된다.
이상에서와 같은 본 발명의 실시 예에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수도 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시 예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시 예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.
100,200 : 반송 챔버 110,200 : 운송 로봇
112,212 : 구동부 120 : 윗단 아암부재
122 : 아랫단 아암부재 130 : 제1레이저 센서
140 : 제2레이저 센서 150 : 양면 반사판
220 : 아암부재 230 : 레이저 센서
240 : 반사판

Claims (3)

  1. 챔버;
    상기 챔버의 내부에 설치되어 처리가 예정된 기판 또는 처리가 완료된 기판을 반송하기 위하여 3차원적으로 동작하는 아암부재를 갖는 운송 로봇;
    상기 챔버의 상부면에 설치되어 레이저 빔을 발생하는 레이저 센서 및;
    상기 레이저 센서와 동일 수직선상에 위치되고, 상기 아암부재에 안착된 기판의 아래쪽에 위치되어, 상기 레이저 센서에서 발생된 레이저 빔을 상기 레이저 센서로 재반사시키는 반사판을 포함하며,
    상기 레이저 센서는, 발생되는 레이저 빔이 상기 아암부재에 안착된 기판을 관통하도록 하는 위치에 설치되고,
    상기 반사판은 상기 레이저 센서와 동일 수직선상에 위치됨과 아울러 상기 아암부재에 안착된 기판의 하부에 위치되되, 상기 아암부재로부터 동일 수평방향으로 지지되게 설치되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장비의 기판 감지장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
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