KR101265540B1 - 감시 장치 및 그 방법 - Google Patents

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KR101265540B1
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transfer robot
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wafer transfer
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signal
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KR1020130002360A
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김재민
김재현
이정호
이상신
박규성
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주식회사 썬닉스
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Abstract

본 명세서는 웨이퍼 트랜스퍼 로봇, 자동차, 항공기 등의 다양한 기계 장치의 움직임 시 발생하는 진동 신호의 주파수 특성을 근거로 상기 다양한 기계 장치의 이상 유무를 감지하고, 이상 감지 시 알람 정보를 생성 및 출력하여, 사용상의 편의성을 향상시킬 수 있는 감시 장치 및 그 방법에 관한 것이다. 이를 위하여 본 명세서의 실시예에 따른 감시 장치는, 웨이퍼 트랜스퍼 로봇에 부착 설치하며, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 동작 또는 이동 시 발생하는 진동 신호를 측정하는 센서부; 상기 측정된 진동 신호 중에서 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 동작에 따라 발생한 신호 대역을 분리하며, 상기 분리된 진동 신호에 포함된 잡음 신호를 제거하며, 상기 잡음이 제거된 진동 신호 및 상기 진동 신호를 측정한 위치의 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 구성 요소에 대응하여 저장부에 미리 저장된 참조 신호와의 비교를 통해, 상기 진동 신호를 측정한 위치에 대응하는 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 구성 요소의 이상 유무를 확인하는 제어부; 및 상기 확인 결과를 표시하는 표시부;를 포함한다.

Description

감시 장치 및 그 방법{Monitoring apparatus and method thereof}
본 명세서는 감시 장치 및 그 방법에 관한 것으로, 더욱 상세히는 웨이퍼 트랜스퍼 로봇, 자동차, 항공기 등의 다양한 기계 장치의 움직임 시 발생하는 진동 신호의 주파수 특성을 근거로 상기 다양한 기계 장치의 이상 유무를 감지하고, 이상 감지 시 알람 정보를 생성 및 출력하여, 사용상의 편의성을 향상시킬 수 있는 감시 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(wafer transfer robot)은, 반도체 소자를 이동하기 위한 반도체 소자 제조 장비이다.
이러한 웨이퍼 트랜스퍼 로봇, 자동차, 항공기 등의 다양한 기계 장치는, 상기 기계 장치를 구성하는 복수의 베어링, 감속기 등의 관절 등에 구비되는 각각의 구성 요소의 이상 유무(또는, 고장 유무)를 확인할 수 없는 문제점이 있다.
한국 특허 출원 번호 제10-2005-0129682호
본 명세서의 목적은, 웨이퍼 트랜스퍼 로봇, 자동차, 항공기 등의 다양한 기계 장치의 움직임 시 발생하는 진동 신호의 주파수 특성을 근거로 상기 다양한 기계 장치의 이상 유무를 감지하고, 이상 감지 시 알람 정보를 생성 및 출력하여, 사용상의 편의성을 향상시킬 수 있는 감시 장치 및 그 방법을 제공하는 데 있다.
본 명세서의 다른 목적은, 상기 기계 장치의 동작 상태와 관련된 다양한 정보를 제공하여, 전체 시스템의 관리 효율성을 향상시킬 수 있는 감시 장치 및 그 방법을 제공하는 데 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 감시 장치는, 웨이퍼 트랜스퍼 로봇에 부착 설치하며, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 동작 또는 이동 시 발생하는 진동 신호를 측정하는 센서부; 상기 측정된 진동 신호 중에서 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 동작에 따라 발생한 신호 대역을 분리하며, 상기 분리된 진동 신호에 포함된 잡음 신호를 제거하며, 상기 잡음이 제거된 진동 신호 및 상기 진동 신호를 측정한 위치의 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 구성 요소에 대응하여 저장부에 미리 저장된 참조 신호와의 비교를 통해, 상기 진동 신호를 측정한 위치에 대응하는 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 구성 요소의 이상 유무를 확인하는 제어부; 및 상기 확인 결과를 표시하는 표시부;를 포함할 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 감시 방법은, 웨이퍼 트랜스퍼 로봇에 부착 설치한 센서부를 통해, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 동작 또는 이동 시 발생하는 진동 신호를 측정하는 단계; 상기 측정된 진동 신호 중에서 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 동작에 따라 발생한 신호 대역을 분리하는 단계; 상기 분리된 진동 신호에 포함된 잡음 신호를 제거하는 단계; 상기 잡음이 제거된 진동 신호 및 상기 진동 신호를 측정한 위치의 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 구성 요소에 대응하여 미리 저장된 참조 신호를 근거로, 상기 진동 신호를 측정한 위치에 대응하는 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 구성 요소의 이상 유무를 확인하는 단계; 및 상기 확인 결과를 출력하는 단계;를 포함할 수 있다.
본 명세서의 실시예에 따른 감시 장치 및 그 방법은, 웨이퍼 트랜스퍼 로봇을 구성하는 하나 이상의 구성 요소의 동작에 따른 진동 주파수를 측정하고, 상기 측정된 각 구성 요소의 진동 주파수 특성을 근거로 각 구성 요소의 이상 유무를 확인함으로써, 고가의 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 운영 기간을 연장하고, 생산성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 명세서의 실시예에 따른 감시 장치 및 그 방법은, 상기 기계 장치의 동작 상태와 관련된 다양한 정보를 제공함으로써, 전체 시스템의 관리 효율성을 향상시킬 수 있는 감시 시스템 및 그의 제어 방법을 제공할 수 있다.
도 1은 본 명세서의 실시예에 따른 감시 장치가 적용된 감시 시스템의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 2는 본 명세서의 실시예에 따른 감시 장치의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 3은 본 명세서의 일 실시예에 따른 감시 방법을 나타낸 흐름도이다.
본 명세서에서 사용되는 기술적 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아님을 유의해야 한다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 기술적 용어는 본 명세서에서 특별히 다른 의미로 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 의미로 해석되어야 하며, 과도하게 포괄적인 의미로 해석되거나, 과도하게 축소된 의미로 해석되지 않아야 한다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 기술적인 용어가 본 발명의 사상을 정확하게 표현하지 못하는 잘못된 기술적 용어일 때에는, 당업자가 올바르게 이해할 수 있는 기술적 용어로 대체되어 이해되어야 할 것이다. 또한, 본 발명에서 사용되는 일반적인 용어는 사전에 정의되어 있는 바에 따라, 또는 전후 문맥상에 따라 해석되어야 하며, 과도하게 축소된 의미로 해석되지 않아야 한다.
또한, 본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "구성된다" 또는 "포함한다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 여러 구성 요소들, 또는 여러 단계를 반드시 모두 포함하는 것으로 해석되지 않아야 하며, 그 중 일부 구성 요소들 또는 일부 단계들은 포함되지 않을 수도 있고, 또는 추가적인 구성 요소 또는 단계들을 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다.
또한, 본 명세서에서 사용되는 제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시 예를 상세히 설명하되, 도면 부호에 관계없이 동일하거나 유사한 구성 요소는 동일한 참조 번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
또한, 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 첨부된 도면은 본 발명의 사상을 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 발명의 사상이 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 됨을 유의해야 한다.
도 1은 본 명세서의 실시예에 따른 감시 장치가 적용된 감시 시스템(10)의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 감시 시스템(10)은, 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100) 및, 감시 장치(200)로 구성된다. 도 1에 도시된 감시 시스템(10)의 구성 요소 모두가 필수 구성 요소인 것은 아니며, 도 1에 도시된 구성 요소보다 많은 구성 요소에 의해 감시 시스템(10)이 구현될 수도 있고, 그보다 적은 구성 요소에 의해서도 감시 시스템(10)이 구현될 수도 있다.
상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)은, 반도체 제조 설비(미도시)에 포함된다. 여기서, 상기 반도체 제조 설비는, 통상의 이온 주입 공정 또는 식각 공정이 수행되는 적어도 하나 이상의 공정 챔버(process chamber)(미도시)와, 상기 공정 챔버와 연통되며 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)이 설치되는 트랜스퍼 챔버(transfer chamber)(미도시)와, 상기 트랜스퍼 챔버의 일측에 장착되어 진공 상태의 상기 공정 챔버에서 상기 이온 주입 공정 또는 상기 식각 공정이 진행될 수 있도록 대기 중에서 저진공 상태로 복수의 웨이퍼가 일괄적으로 로딩 또는 언로딩되는 로드락 챔버(load lock chamber)(미도시)와, 상기 트랜스퍼 챔버와 연통되며 상기 로드락 챔버에 로딩된 웨이퍼를 일방향으로 정렬하는 정렬 챔버(aligning chamber)(미도시)를 포함한다. 여기서, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100) 이외에도, 자동차, 항공기 등의 다양한 임의의 기계 장치에 적용할 수도 있다.
또한, 상기 트랜스퍼 챔버 내에 설치되는 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)은, 상기 로드락 챔버, 상기 정렬 챔버 및, 상기 공정 챔버 간에 웨이퍼를 순차적으로 빠르게 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)시키며, 멀티 챔버를 이용한 반도체 제조 설비는 우수한 스루풋(throughput)을 얻을 수 있으면서도 매우 정밀한 공정 수행 기능을 제공한다.
또한, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)은, 몸체, 암(arm), 블레이드, 관절 및, 구동 모터의 회전축으로 구성된다.
상기 몸체(미도시)는, 지면에 지지가 되며, 회전 동력을 발생시키는 회전 동력부(미도시)를 포함한다.
상기 암(미도시)은, 상기 몸체에 일측이 결합하여 상기 회전 동력부에서 전달되는 회전 동력을 전달받아 회전하고, 타측이 상기 몸체에서 수축 및 팽창하도록 형성하며, 적어도 하나 이상으로 이루어진다. 여기서, 상기 암은, 상기 회전 동력부에서 전달되는 회전 동력을 전달받아 수축 또는 팽창하면서 상기 암의 타측 말단에 형성된 상기 블레이드를 전진 또는 후진시킨다.
또한, 상기 암은, 상기 몸체에 결합하여, 회전 동작하는 복수의 윙(미도시) 및, 상기 복수의 윙 말단에 연결되고 상기 복수의 윙의 회전 동작에 의해 상기 블레이드를 전진 또는 후진시키는 익스텐더(미도시) 를 포함한다.
이때, 상기 복수의 익스텐더는, 일측이 각각 결합 수단에 의해 상기 블레이드의 피봇 암(미도시)에 연결되고, 타측이 상기 복수의 윙 말단에 각각 피봇 베어링(미도시)에 의해 연결된다. 여기서, 상기 복수의 익스텐더는, 상기 윙이 서로 반대 방향으로 회전되면 상기 블레이드를 전진 또는 후진시킬 수 있다.
상기 블레이드(미도시)는, 상기 암의 타측 말단에서 웨이퍼를 수평으로 지지하며, 적어도 하나 이상으로 이루어진다. 즉, 상기 블레이드는, 상기 익스텐더의 말단에 연결된다.
또한, 상기 블레이드는, 수평 상태의 상기 웨이퍼를 지지하면서 상기 웨이퍼가 전진/후진 또는 회전 방향으로 평행한 수평면을 갖는 플레이트(plate)와, 상기 플레이트를 상기 익스텐더의 말단에 연결하는 적어도 하나 이상의 볼트와 같은 결합 장치로 이루어진 피봇 암(pivot arm)(미도시)과, 상기 피봇 암이 상기 플레이트에 연결되어 상기 익스텐더의 전/후진 시 자유로이 회전될 수 있도록 형성된 피봇 베어링(pivot bearing)(미도시)을 포함한다.
여기서, 상기 플레이트는, 상기 웨이퍼의 지름보다 큰 지름을 갖는 금속 재질로 형성하며, 상기 웨이퍼의 무게 중심을 기준으로 대칭적으로 상기 웨이퍼의 하면을 지지할 수 있도록 형성한다.
즉, 상기 플레이트는, 상기 웨이퍼의 중심을 받치는 손바닥 모양을 갖도록 형성할 수 있고, 상기 웨이퍼의 중심을 사이에 두고 양측 상기 웨이퍼의 가장자리를 받치는 복수의 창살로 이루어지는 포크(fork) 형상을 갖도록 형성할 수도 있다. 이때, 상기 웨이퍼가 이동 중에 수평 방향으로 미끄러지지 않도록 하기 위해 상기 블레이드의 가장자리에는, 상기 웨이퍼의 외주면을 둘러싸고 상기 웨이퍼를 지지하는 면보다 돌출되는 소정 높이를 갖는 웨이퍼 가이드 턱을 형성한다.
상기 감치 장치(200)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 센서부(210), 저장부(220), 제어부(230), 표시부(240) 및, 음성 출력부(250)로 구성된다. 도 2에 도시된 감치 장치(200)의 구성 요소 모두가 필수 구성 요소인 것은 아니며, 도 2에 도시된 구성 요소보다 많은 구성 요소에 의해 감치 장치(200)가 구현될 수도 있고, 그보다 적은 구성 요소에 의해서도 감치 장치(200)가 구현될 수도 있다.
상기 센서부(210)는, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 소정 위치(예를 들어, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)에 포함된 관절, 암(arm), 베어링, 감속기, 구동 모터의 회전축 등 포함)에 설치(또는, 부착 설치)한다.
또한, 상기 센서부(210)는, 진동 센서 등을 포함한다.
또한, 상기 센서부(210)는, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 동작(또는, 움직임/이동)에 따라 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)에 포함된 복수의 구성 요소가 상호 연결된 위치에서 발생하는 진동 신호를 측정한다.
즉, 상기 센서부(210)는, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)이 이동하거나 동작할 때, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)에 포함된 관절에서 발생하는 진동 신호, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)에 포함된 암에서 발생하는 진동 신호, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)에 포함된 베어링에서 발생하는 진동 신호, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)에 포함된 감속기에서 발생하는 진동 신호 및, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)에 포함된 구동 모터의 회전축에서 발생하는 진동 신호 등을 측정한다.
상기 저장부(220)는, 다양한 사용자 인터페이스(User Interface : UI) 및/또는 그래픽 사용자 인터페이스(Graphic User Interface : GUI)를 저장한다.
또한, 상기 저장부(220)는, 상기 감시 장치(200)가 동작하는데 필요한 데이터와 프로그램 등을 저장한다.
또한, 상기 저장부(220)는, 플래시 메모리 타입(Flash Memory Type), 하드 디스크 타입(Hard Disk Type), 멀티미디어 카드 마이크로 타입(Multimedia Card Micro Type), 카드 타입의 메모리(예를 들면, SD 또는 XD 메모리 등), 자기 메모리, 자기 디스크, 광디스크, 램(Random Access Memory : RAM), SRAM(Static Random Access Memory), 롬(Read-Only Memory : ROM), EEPROM(Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory), PROM(Programmable Read-Only Memory) 중 적어도 하나의 저장매체를 포함할 수 있다. 또한, 감시 장치(200)는 인터넷(internet)상에서 저장부(220)의 저장 기능을 수행하는 웹 스토리지(web storage)를 운영하거나, 또는 상기 웹 스토리지와 관련되어 동작할 수도 있다.
또한, 상기 저장부(220)는, 상기 센서부(210)를 통해 측정된 상기 진동 신호 및, 상기 진동 신호를 측정한 위치에 대응하는 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 해당 구성 요소 정보를 저장한다.
또한, 상기 저장부(220)는, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)에 포함된 각각의 구성 요소의 정상 상태에 대응하는 주파수 특성을 저장한다.
즉, 상기 저장부(220)는, 정상 동작 중인 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)에 포함된 관절에서의 주파수 특성, 상기 정상 동작 중인 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)에 포함된 복수의 암의 각각의 주파수 특성, 상기 정상 동작 중인 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)에 포함된 베어링의 각각의 주파수 특성, 상기 정상 동작 중인 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)에 포함된 감속기의 주파수 특성 및, 상기 정상 동작 중인 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)에 포함된 구동 모터의 회전축의 주파수 특성 등을 저장한다.
또한, 상기 저장부(220)는, 상기 제어부(230)의 제어에 의해 산출된, 환경 소음 레벨(dB-SPL), 실효치 전력(RMS Power), 최대 샘플 값(maximum sample value), 최대 전력 주파수(max power frequency), 미리 설정된 주파수에 대한 최대 샘플 값, 신호 RMS 값(signal RMS value) 및, 배터리 상태 정보 등을 저장한다.
또한, 상기 저장부(220)는, 상기 제어부(230)의 제어에 의해 생성된 정상 상태 정보, 점검 상태 정보 및, 정비 상태 정보 등을 저장한다.
상기 제어부(230)는, 상기 감시 장치(200)의 전반적인 제어 기능을 수행한다.
또한, 상기 제어부(230)는, 상기 센서부(210)를 통해 측정된 상기 진동 신호를 근거로 환경 소음 레벨(dB-SPL), 실효치 전력(RMS Power), 최대 샘플 값(maximum sample value), 최대 전력 주파수(max power frequency), 미리 설정된 주파수에 대한 최대 샘플 값 및, 신호 RMS 값(signal RMS value) 등을 산출(또는, 확인)한다.
또한, 상기 제어부(230)는, 상기 산출된 환경 소음 레벨(dB-SPL), 실효치 전력(RMS Power), 최대 샘플 값, 최대 전력 주파수, 미리 설정된 주파수에 대한 최대 샘플 값, 신호 RMS 값 및, 배터리 상태 정보 등을 상기 표시부(240) 및/또는 상기 음성 출력부(250)를 통해 출력한다.
또한, 상기 제어부(230)는, 상기 센서부(210)를 통해 측정된 상기 진동 신호에서 1차 소음을 제거한다.
즉, 상기 제어부(230)는, 상기 측정된 진동 신호 중에서 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 동작에 따라 발생한 신호 대역(또는, 주파수 대역)을 분리(source seperation)한다.
또한, 상기 제어부(230)는, 상기 분리된 진동 신호에 포함된 잡음 신호를 제거한다. 이때, 상기 제어부(230)는, 이미 공지된 다양한 잡음 제거 방식을 근거로 상기 분리된 진동 신호에 포함된 주변 잡음을 제거할 수 있다.
즉, 상기 제어부(230)는, 상기 분리된 진동 신호 중에서 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 동작에 따라 발생한 실질적인 소스 신호만을 추출(source extraction)하기 위해서, 상기 분리된 진동 신호에 포함된 잡음 신호를 제거한다.
또한, 상기 제어부(230)는, 상기 잡음이 제거된 진동 신호 및, 상기 진동 신호를 측정한 위치의 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 해당 구성 요소에 대응하여 저장부(220)에 미리 저장된 참조 신호(또는, 기준 신호)와의 비교를 통해, 상기 진동 신호를 측정한 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 해당 구성 요소의 이상 유무를 확인한다.
즉, 상기 제어부(230)는, 상기 잡음이 제거된 진동 신호의 주파수 특성이 상기 수신된 상기 진동 신호를 측정한 위치에 대응하는 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 구성 요소 정보에 대응하여 상기 저장부(220)에 미리 저장된(또는, 설정된) 해당 구성 요소 정보의 주파수 특성의 범위 내에 있는지 여부를 확인하여, 상기 해당 구성 요소의 이상 유무를 확인한다.
또한, 상기 제어부(230)는, 상기 확인 결과, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 해당 구성 요소에서 이상이 감지된 경우 즉, 상기 수신된 진동 신호의 주파수 특성이 상기 저장부(220)에 미리 저장된 해당 구성 요소 정보의 주파수 특성의 범위 내에 존재하지 않는 경우, 상기 진동 신호와 관련된 해당 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 해당 구성 요소에 이상이 있는 것으로 확인(또는, 판단)하고, 상기 이상이 감지된 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 해당 구성 요소에 대한 정보를 포함하는 알람 신호를 생성한다.
또한, 상기 제어부(230)는, 상기 생성된 알람 신호를 상기 표시부(240) 및/또는 상기 음성 출력부(250)를 통해 출력한다.
또한, 상기 제어부(230)는, 상기 확인 결과, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 해당 구성 요소에서 이상이 감지된 경우 즉, 상기 수신된 진동 신호의 주파수 특성이 상기 저장부(220)에 미리 저장된 해당 구성 요소 정보의 주파수 특성의 범위 내에 존재하는 경우, 상기 진동 신호와 관련된 해당 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 해당 구성 요소에 이상이 없는 것으로 판단하여, 정상 상태임을 나타내는 정상 상태 정보(또는, 정상 상태 신호)를 생성하고, 상기 생성된 정상 상태 정보를 상기 표시부(240) 및/또는 상기 음성 출력부(250)를 통해 출력한다.
또한, 상기 제어부(230)는, 상기 수신된 상기 진동 신호를 측정한 위치에 대응하는 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 구성 요소 정보에 대응하여 상기 저장부(220)에 미리 저장된(또는, 설정된) 해당 구성 요소 정보의 복수의 주파수 특성 범위(예를 들어, 정상 범위(또는, 정상 범위 주파수), 점검 범위(또는, 점검 범위 주파수) 및, 정비 범위(또는, 정비 범위 주파수) 등 포함) 중에서, 상기 잡음이 제거된 진동 신호의 주파수 특성이 어느 주파수 특성 범위에 해당하는지(또는, 포함되는지) 여부를 확인하여, 상기 해당 구성 요소의 이상 유무를 확인한다.
또한, 상기 제어부(230)는, 상기 복수의 주파수 특성 범위(예를 들어, 정상 범위, 점검 범위 및, 정비 범위 등 포함) 중에서, 상기 잡음이 제거된 진동 신호의 주파수 특성이 정상 범위 내에 포함될 때, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 해당 구성 요소에 이상이 없는 것으로 판단하여, 정상 상태임을 나타내는 정상 상태 정보(또는, 정상 상태 신호)를 생성하고, 상기 생성된 정상 상태 정보를 상기 표시부(240) 및/또는 상기 음성 출력부(250)를 통해 출력한다.
또한, 상기 제어부(230)는, 상기 복수의 주파수 특성 범위(예를 들어, 정상 범위, 점검 범위 및, 정비 범위 등 포함) 중에서, 상기 잡음이 제거된 진동 신호의 주파수 특성이 점검 범위 내에 포함될 때, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 해당 구성 요소에 대한 점검이 필요한 것으로 판단하여, 점검이 필요한 상태임을 나타내는 점검 상태 정보(또는, 점검 상태 신호)를 생성하고, 상기 생성된 점검 상태 정보를 상기 표시부(240) 및/또는 상기 음성 출력부(250)를 통해 출력한다.
또한, 상기 제어부(230)는, 상기 복수의 주파수 특성 범위(예를 들어, 정상 범위, 점검 범위 및, 정비 범위 등 포함) 중에서, 상기 잡음이 제거된 진동 신호의 주파수 특성이 정비 범위 내에 포함될 때, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 해당 구성 요소에 대한 즉시 정비가 필요한 것으로 판단하여, 정비가 필요한 상태임을 나타내는 정비 상태 정보(또는, 정비 상태 신호)를 생성하고, 상기 생성된 정비 상태 정보를 상기 표시부(240) 및/또는 상기 음성 출력부(250)를 통해 출력한다.
이와 같이, 상기 제어부(230)는, 상기 잡음이 제거된 진동 신호의 주파수 특성과, 상기 진동 신호를 측정한 위치에 대응하여 상기 저장부(220)에 미리 저장된 참조 신호의 주파수 특성을 근거로, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 해당 구성 요소의 이상 유무를 확인한다.
상기 표시부(240)는, 상기 제어부(230)의 제어에 의해, 상기 저장부(220)에 저장된 사용자 인터페이스 및/또는 그래픽 사용자 인터페이스를 이용하여 다양한 메뉴 화면 등과 같은 다양한 콘텐츠를 표시할 수 있다. 여기서, 상기 표시부(240)에 표시되는 콘텐츠는, 다양한 텍스트 또는 이미지 데이터(예를 들어, 각종 정보 데이터 포함)와 아이콘, 리스트 메뉴, 콤보 박스 등의 데이터를 포함하는 메뉴 화면 등을 포함한다. 또한, 상기 표시부(240)는, 터치 스크린 일 수 있다.
또한, 상기 표시부(240)는, 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display : LCD), 박막 트랜지스터 액정 디스플레이(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display : TFT LCD), 유기 발광 다이오드(Organic Light-Emitting Diode : OLED), 플렉시블 디스플레이(Flexible Display), 3차원 디스플레이(3D Display), 전자잉크 디스플레이(e-ink display) 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다.
또한, 상기 표시부(240)는, 상기 제어부(230)의 제어에 의해, 상기 측정된 진동 신호의 주파수 특성(또는, 상기 잡음이 제거된 진동 신호의 주파수 특성)과, 상기 산출된 정보(예를 들어, 상기 환경 소음 레벨, 상기 실효치 전력, 상기 최대 샘플 값, 상기 최대 전력 주파수, 상기 미리 설정된 주파수에 대한 최대 샘플 값 및, 상기 신호 RMS 값 등 포함)와, 상기 생성된 정보(예를 들어, 상기 정상 상태 정보, 상기 점검 상태 정보 및, 상기 정비 상태 정보 등 중 어느 하나 포함)와, 배터리 상태 정보 등을 표시한다.
상기 음성 출력부(250)는, 상기 제어부(230)에 의해 소정 신호 처리된 신호에 포함된 음성 정보를 출력한다. 여기서, 상기 음성 출력부(250)는, 스피커가 될 수도 있다.
또한, 상기 음성 출력부(250)는, 상기 제어부(230)에 의해, 상기 생성된 정보(예를 들어, 상기 정상 상태 정보, 상기 점검 상태 정보 및, 상기 정비 상태 정보 등 포함) 또는 상기 생성된 알람 정보에 대응하는 음성 정보를 출력한다.
또한, 상기 감시 장치(200)는, 유/무선 통신망을 통해 내부의 임의의 구성 요소 또는, 임의의 서버(미도시) 등과 통신 연결하는 통신부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 여기서, 무선 인터넷 기술로는, 무선랜(Wireless LAN : WLAN), 와이 파이(Wi-Fi), 와이브로(Wireless Broadband : Wibro), 와이맥스(World Interoperability for Microwave Access : Wimax), HSDPA(High Speed Downlink Packet Access), IEEE 802.16, 롱 텀 에볼루션(Long Term Evolution : LTE), 광대역 무선 이동 통신 서비스(Wireless Mobile Broadband Service : WMBS) 등이 포함될 수 있다. 또한, 근거리 통신 기술로는, 블루투스(Bluetooth), RFID(Radio Frequency Identification), 적외선 통신(Infrared Data Association : IrDA), UWB(Ultra Wideband), 지그비(ZigBee), 인접 자장 통신(Near Field Communication; NFC) 등이 포함될 수 있다. 또한, 유선 통신 기술로는, 전력선 통신(Power Line Communication : PLC), USB 통신, 이더넷(Ethernet), 시리얼 통신(serial communication), 광/동축 케이블 등이 포함될 수 있다.
또한, 상기 통신부는, 상기 제어부(230)의 제어에 의해, 상기 측정된 진동 신호의 주파수 특성(또는, 상기 잡음이 제거된 진동 신호의 주파수 특성)과, 상기 산출된 정보(예를 들어, 상기 환경 소음 레벨, 상기 실효치 전력, 상기 최대 샘플 값, 상기 최대 전력 주파수, 상기 미리 설정된 주파수에 대한 최대 샘플 값 및, 상기 신호 RMS 값 등 포함)와, 상기 생성된 정보(예를 들어, 상기 정상 상태 정보, 상기 점검 상태 정보 및, 상기 정비 상태 정보 등 포함)와, 배터리 상태 정보 등을 상기 임의의 서버에 전송할 수 있다.
이와 같이, 웨이퍼 트랜스퍼 로봇을 구성하는 하나 이상의 구성 요소의 동작에 따른 진동 주파수를 측정하고, 상기 측정된 각 구성 요소의 진동 주파수 특성을 근거로 각 구성 요소의 이상 유무를 확인할 수 있다.
또한, 이와 같이, 상기 기계 장치의 동작 상태와 관련된 다양한 정보를 제공할 수 있다.
이하에서는, 본 명세서에 따른 감시 방법을 도 1 내지 도 3을 참조하여 상세히 설명한다.
도 3은 본 명세서의 일 실시예에 따른 감시 방법을 나타낸 흐름도이다.
먼저, 센서부(210)는, 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 동작에 따라 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)에 포함된 복수의 구성 요소가 상호 연결된 위치에서 발생하는 진동 신호를 측정한다.
일 예로, 상기 센서부(210)는, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)이 이동할 때(또는, 움직일 때), 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)에 포함된 복수의 관절에서 발생하는 진동 신호, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)에 포함된 복수의 암을 상호 연결하는 임의의 베어링에서 발생하는 진동 신호, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)에 포함된 감속기에서 발생하는 진동 신호 및, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)에 포함된 구동 모터의 회전축에서 발생하는 진동 신호 등을 측정한다(S310).
이후, 상기 제어부(230)는, 상기 센서부(210)를 통해 측정된 상기 진동 신호에서 1차 소음을 제거한다.
즉, 상기 제어부(230)는, 상기 측정된 진동 신호 중에서 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 동작에 따라 발생한 신호 대역(또는, 주파수 대역)을 분리(source seperation)한다.
일 예로, 상기 제어부(230)는, 상기 측정된 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)에 포함된 특정 구동 모터의 회전축에서 발생하는 진동 신호 중에서, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 이동 전 또는 이동 후에 발생하는 진동 신호는 제거(또는, 필터링)하고, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 이동 중에 발생한 진동 신호를 분리한다(S320).
이후, 상기 제어부(230)는, 상기 분리된 진동 신호에 포함된 잡음 신호를 제거한다. 이때, 상기 제어부(230)는, 이미 공지된 다양한 잡음 제거 방식을 근거로 상기 분리된 진동 신호에 포함된 주변 잡음을 제거할 수 있다.
즉, 상기 제어부(230)는, 상기 분리된 진동 신호 중에서 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 동작에 따라 발생한 실질적인 소스 신호만을 추출(source extraction)하기 위해서, 상기 분리된 진동 신호에 포함된 잡음 신호를 제거한다.
일 예로, 상기 제어부(230)는, 상기 분리된 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 이동 중에 발생한 진동 신호에 미리 설정된 하이 패스 필터(high pass filter) 또는 로우 패스 필터(low pass filter)를 적용하여 상기 분리된 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 이동 중에 발생한 진동 신호에 포함된 잡음 신호를 제거한다(S330).
이후, 상기 제어부(230)는, 상기 잡음이 제거된 진동 신호 및, 상기 진동 신호를 측정한 위치의 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 해당 구성 요소에 대응하여 저장부(220)에 미리 저장된 참조 신호(또는, 기준 신호)와의 비교를 통해, 상기 진동 신호를 측정한 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 해당 구성 요소의 이상 유무를 확인한다.
일 예로, 상기 제어부(230)는, 상기 잡음이 제거된 특정 구동 모터의 회전축의 진동 신호의 주파수 특성이, 상기 특정 구동 모터의 회전축과 관련하여 상기 저장부(220)에 미리 저장된(또는, 설정된) 정상 동작일 때의 상기 특정 구동 모터의 회전축의 주파수 특성 범위 내에 있는지 여부를 확인하여, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 구성 요소인 상기 특정 구동 모터의 회전축의 이상 유무를 확인한다.
다른 일 예로, 상기 제어부(230)는, 상기 특정 구동 모터의 회전축과 관련하여 상기 저장부(220)에 미리 저장된 복수의 주파수 특성 범위(예를 들어, 정상 범위, 점검 범위 및, 정비 범위 등 포함) 중에서, 상기 잡음이 제거된 특정 구동 모터의 회전축의 진동 신호의 주파수 특성이 어느 주파수 특성 범위에 포함되는지 여부를 확인한다(S340).
이후, 상기 제어부(230)는, 상기 확인 결과, 상기 해당 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 해당 구성 요소에서 이상이 감지된 경우, 상기 이상이 감지된 웨이퍼 트랜스퍼 로봇(100)의 해당 구성 요소에 대한 정보를 포함하는 알람 신호(또는, 알람 정보)를 생성한다.
또한, 상기 제어부(230)는, 상기 생성된 알람 신호를 표시부(240) 및/또는 음성 출력부(250)를 통해 출력한다.
일 예로, 상기 제어부(230)는, 상기 확인 결과, 상기 잡음이 제거된 특정 구동 모터의 회전축의 진동 신호의 주파수 특성이 상기 저장부(220)에 미리 저장된 정상 동작일 때의 상기 특정 구동 모터의 회전축의 주파수 특성 범위 내에 존재하지 않을 때, 상기 진동 신호를 측정한 위치에 대응하는 상기 특정 구동 모터의 회전축에 이상이 있는 것으로 판단하고, 상기 이상이 감지된 해당 특정 구동 모터의 회전축에 대한 정보를 포함하는 알람 신호를 생성하고, 상기 생성된 알람 신호를 상기 표시부(240) 및/또는 상기 음성 출력부(250)를 통해 출력한다.
다른 일 예로, 상기 제어부(230)는, 상기 확인 결과, 상기 특정 구동 모터의 회전축과 관련하여 상기 저장부(220)에 미리 저장된 복수의 주파수 특성 범위(예를 들어, 정상 범위, 점검 범위 및, 정비 범위 등 포함) 중에서, 상기 잡음이 제거된 특정 구동 모터의 회전축의 진동 신호의 주파수 특성이 상기 정상 범위 내에 포함될 때, 상기 특정 구동 모터의 회전축에 이상이 없는 것으로 판단하여, 정상 상태임을 나타내는 정상 상태 정보(또는, 정상 상태 신호)를 생성하고, 상기 생성된 정상 상태 정보를 상기 표시부(240) 및/또는 상기 음성 출력부(250)를 통해 출력한다.
또 다른 일 예로, 상기 제어부(230)는, 상기 확인 결과, 상기 특정 구동 모터의 회전축과 관련하여 상기 저장부(220)에 미리 저장된 복수의 주파수 특성 범위(예를 들어, 정상 범위, 점검 범위 및, 정비 범위 등 포함) 중에서, 상기 잡음이 제거된 특정 구동 모터의 회전축의 진동 신호의 주파수 특성이 상기 점검 범위 내에 포함될 때, 상기 특정 구동 모터의 회전축에 대한 점검이 필요한 것으로 판단하여, 점검이 필요한 상태임을 나타내는 점검 상태 정보(또는, 점검 상태 신호)를 생성하고, 상기 생성된 점검 상태 정보를 상기 표시부(240) 및/또는 상기 음성 출력부(250)를 통해 출력한다.
또 다른 일 예로, 상기 제어부(230)는, 상기 확인 결과, 상기 특정 구동 모터의 회전축과 관련하여 상기 저장부(220)에 미리 저장된 복수의 주파수 특성 범위(예를 들어, 정상 범위, 점검 범위 및, 정비 범위 등 포함) 중에서, 상기 잡음이 제거된 특정 구동 모터의 회전축의 진동 신호의 주파수 특성이 상기 정비 범위 내에 포함될 때, 상기 특정 구동 모터의 회전축에 대한 정비가 필요한 것으로 판단하여, 정비가 필요한 상태임을 나타내는 정비 상태 정보(또는, 정비 상태 신호)를 생성하고, 상기 생성된 정비 상태 정보를 상기 표시부(240) 및/또는 상기 음성 출력부(250)를 통해 출력한다(S350).
본 명세서의 실시예는 앞서 설명한 바와 같이, 웨이퍼 트랜스퍼 로봇을 구성하는 하나 이상의 구성 요소의 동작에 따른 진동 주파수를 측정하고, 상기 측정된 각 구성 요소의 진동 주파수 특성을 근거로 각 구성 요소의 이상 유무를 확인하여, 고가의 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 운영 기간을 연장하고, 생산성을 향상시킬 수 있다.
또한, 본 명세서의 실시예는 앞서 설명한 바와 같이, 상기 기계 장치의 동작 상태와 관련된 다양한 정보를 제공하여, 전체 시스템의 관리 효율성을 향상시킬 수 있는 감시 시스템 및 그의 제어 방법을 제공할 수 있다.
전술한 내용은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10: 감시 시스템 100: 웨이퍼 트랜스퍼 로봇
200: 감시 장치 210: 센서부
220: 저장부 230: 제어부
240: 표시부 250: 음성 출력부

Claims (13)

  1. 웨이퍼 트랜스퍼 로봇에 부착 설치하며, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 이동 시 발생하는 진동 신호를 측정하는 센서부;
    상기 측정된 진동 신호 중에서 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 이동에 따라 발생한 신호 대역을 분리하며, 상기 분리된 진동 신호에 포함된 잡음 신호를 제거하며, 상기 잡음이 제거된 진동 신호 및 상기 진동 신호를 측정한 위치의 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 구성 요소에 대응하여 저장부에 미리 저장된 참조 신호와의 비교를 통해, 상기 진동 신호를 측정한 위치에 대응하는 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 구성 요소의 이상 유무를 확인하는 제어부;
    상기 확인 결과를 표시하는 표시부; 및
    유무선 통신망을 통해 외부의 서버와 통신 연결하는 통신부를 포함하며,를 포함하며,
    상기 센서부는,
    상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇에 포함된 관절 위치, 암(arm) 위치, 베어링 위치, 감속기 위치 및, 구동 모터의 회전축 위치 중 적어도 하나에 설치되어, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇이 이동할 때, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇에 포함된 관절에서 발생하는 진동 신호, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇에 포함된 암에서 발생하는 진동 신호, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇에 포함된 베어링에서 발생하는 진동 신호, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇에 포함된 감속기에서 발생하는 진동 신호 및, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇에 포함된 구동 모터의 회전축에서 발생하는 진동 신호 중 적어도 하나를 측정하고,
    상기 제어부는,
    상기 측정된 진동 신호 중에서 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 이동 전 또는 이동 후에 발생하는 진동 신호를 제거하고, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 이동 중에 발생한 진동 신호에 대응하는 신호 대역만을 분리하고,
    상기 측정된 진동 신호를 근거로 환경 소음 레벨, 실효치 전력, 최대 샘플 값, 최대 전력 주파수, 미리 설정된 주파수에 대한 최대 샘플 값 및, 신호 RMS 값을 산출하며,
    상기 잡음이 제거된 진동 신호의 주파수 특성이 상기 진동 신호를 측정한 위치의 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 구성 요소에 대응하여 저장부에 미리 저장된 해당 구성 요소의 주파수 특성의 범위 내에 존재하지 않을 때, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 구성 요소에 대한 정보를 포함하는 알람 정보를 생성하고, 상기 생성된 알람 정보를 상기 표시부를 통해 표시하고,
    상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 구성 요소와 관련하여 저장부에 미리 저장된 정상 범위 주파수, 점검 범위 주파수 및, 정비 범위 주파수 중에서, 상기 잡음이 제거된 진동 신호의 주파수 특성이 상기 정상 범위 주파수에 포함될 때, 정상 상태 정보를 생성하며,
    상기 잡음이 제거된 진동 신호의 주파수 특성이 상기 점검 범위 주파수에 포함될 때, 점검 상태 정보를 생성하며,
    상기 잡음이 제거된 진동 신호의 주파수 특성이 상기 정비 범위 주파수에 포함될 때, 정비 상태 정보를 생성하며,
    상기 생성된 정상 상태 정보, 점검 상태 정보 및, 정비 상태 정보 중 어느 하나를 상기 표시부에 표시하고,
    상기 산출된 환경 소음 레벨, 실효치 전력, 최대 샘플 값, 최대 전력 주파수, 미리 설정된 주파수에 대한 최대 샘플 값 및, 신호 RMS 값을 상기 표시부에 표시하며,
    상기 통신부는,
    상기 제어부의 제어에 의해 상기 진동 신호의 주파수 특성, 상기 산출된 환경 소음 레벨, 실효치 전력, 최대 샘플 값, 최대 전력 주파수, 미리 설정된 주파수에 대한 최대 샘플 값, 신호 RMS 값 및 이상 유무에 대한 정보를 상기 외부의 서버로 전송하는 것을 특징으로 하는 감시 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 웨이퍼 트랜스퍼 로봇에 부착 설치한 센서부를 통해, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 이동 시 발생하는 진동 신호를 측정하는 단계;
    상기 측정된 진동 신호 중에서 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 이동에 따라 발생한 신호 대역을 분리하는 단계;
    상기 분리된 진동 신호에 포함된 잡음 신호를 제거하는 단계;
    상기 잡음이 제거된 진동 신호 및 상기 진동 신호를 측정한 위치의 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 구성 요소에 대응하여 미리 저장된 참조 신호를 근거로, 상기 진동 신호를 측정한 위치에 대응하는 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 구성 요소의 이상 유무를 확인하는 단계;
    상기 확인 결과를 출력하는 단계;
    상기 측정된 진동 신호를 근거로 환경 소음 레벨, 실효치 전력, 최대 샘플 값, 최대 전력 주파수, 미리 설정된 주파수에 대한 최대 샘플 값 및, 신호 RMS 값을 산출하는 단계;
    상기 산출된 환경 소음 레벨, 실효치 전력, 최대 샘플 값, 최대 전력 주파수, 미리 설정된 주파수에 대한 최대 샘플 값 및, 신호 RMS 값을 출력하는 단계; 및
    유무선 통신망을 통해 외부의 서버와 통신 연결하는 단계;를 포함하며,
    상기 진동 신호를 측정하는 단계는,
    상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇에 포함된 관절 위치, 암(arm) 위치, 베어링 위치, 감속기 위치 및, 구동 모터의 회전축 위치 중 적어도 하나에 설치된 상기 센서부를 통해, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇이 이동할 때, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇에 포함된 관절에서 발생하는 진동 신호, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇에 포함된 암에서 발생하는 진동 신호, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇에 포함된 베어링에서 발생하는 진동 신호, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇에 포함된 감속기에서 발생하는 진동 신호 및, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇에 포함된 구동 모터의 회전축에서 발생하는 진동 신호 중 적어도 하나를 측정하고,
    상기 신호 대역을 분리하는 단계는,
    상기 측정된 진동 신호 중에서 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 이동 전 또는 이동 후에 발생하는 진동 신호를 제거하고, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 이동 중에 발생한 진동 신호에 대응하는 신호 대역만을 분리하고,
    상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 구성 요소의 이상 유무를 확인하는 단계는,
    상기 잡음이 제거된 진동 신호의 주파수 특성이 상기 진동 신호를 측정한 위치의 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 구성 요소에 대응하여 저장부에 미리 저장된 해당 구성 요소의 주파수 특성의 범위 내에 있는지 여부를 확인하고,
    상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 구성 요소와 관련하여 저장부에 미리 저장된 정상 범위 주파수, 점검 범위 주파수 및, 정비 범위 주파수 중에서, 상기 잡음이 제거된 진동 신호의 주파수 특성이 어느 주파수 특성 범위에 포함되는지 여부를 확인하며,
    상기 확인 결과를 출력하는 단계는,
    상기 잡음이 제거된 진동 신호의 주파수 특성이 상기 저장부에 미리 저장된 해당 구성 요소의 주파수 특성의 범위 내에 존재하지 않을 때, 상기 웨이퍼 트랜스퍼 로봇의 구성 요소에 대한 정보를 포함하는 알람 정보를 생성하는 과정; 및
    상기 생성된 알람 정보를 출력하는 과정;을 포함하고,
    상기 잡음이 제거된 진동 신호의 주파수 특성이 상기 정상 범위 주파수에 포함될 때, 정상 상태 정보를 생성하는 과정;
    상기 잡음이 제거된 진동 신호의 주파수 특성이 상기 점검 범위 주파수에 포함될 때, 점검 상태 정보를 생성하는 과정;
    상기 잡음이 제거된 진동 신호의 주파수 특성이 상기 정비 범위 주파수에 포함될 때, 정비 상태 정보를 생성하는 과정; 및
    상기 생성된 정상 상태 정보, 점검 상태 정보 및, 정비 상태 정보 중 어느 하나를 출력하는 과정;을 더 포함하며,
    상기 외부 서버와 통신 연결하는 단계는,
    상기 진동 신호의 주파수 특성, 상기 산출된 환경 소음 레벨, 실효치 전력, 최대 샘플 값, 최대 전력 주파수, 미리 설정된 주파수에 대한 최대 샘플 값, 신호 RMS 값 및 이상 유무에 대한 정보를 상기 외부의 서버로 전송하는 것을 특징으로 하는 감시 방법.
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