KR101263378B1 - 롤러, 롤러의 제조방법 및 이를 구비하는 기판처리장치 - Google Patents

롤러, 롤러의 제조방법 및 이를 구비하는 기판처리장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 고온의 작업 환경에서 내구성을 갖는 롤러, 롤러의 제조방법 및 이를 구비하는 기판처리장치에 관한 것으로서, 롤러는 환형의 내부 롤러와; 상기 내부 롤러의 외주면 상에 구비되는 외부 롤러; 및 상기 내부 롤러와 외부 롤러 사이에 구비되는 접착부재;를 포함하며, 상기 내부 롤러의 외주면과 상기 외부 롤러의 내주면 중 적어도 어느 한 면의 적어도 일부에 요철구조가 형성되고, 상기 접착부재에는 상기 요철구조에 대응하는 패턴이 형성되며, 상기 내부 롤러와 외부 롤러는 상기 요철구조와 상기 패턴이 서로 맞물려진 상태로 이격되도록 형성되어, 롤러의 내구성이 향상되어 파손된 롤러의 교체 등으로 인한 유지비용을 절감할 수 있다.

Description

롤러, 롤러의 제조방법 및 이를 구비하는 기판처리장치{Roller, manufacturing method for roller, and substrate processing apparatus having the same}
본 발명은 롤러, 롤러의 제조방법 및 이를 구비하는 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 고온의 작업 환경에서 내구성을 갖는 롤러, 롤러의 제조방법 및 이를 구비하는 기판처리장치에 관한 것이다.
최근 들어 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 우수한 특성을 갖는 평판 표시장치(flat panel display; FPD)의 필요성이 대두되고 있으며, 그 중에서 색 재현성 등이 우수한 액정 표시 장치(liquid crystal display; LCD)가 활발하게 개발되고 있다.
이러한 평판 표시장치는 통상 두 개의 기판을 합착시켜 형성되며, 기술의 발전에 따라 평판 표시장치의 대형화 및 박형화가 가속되는 추세에 있다. 따라서 평판 표시장치를 제조하는 과정에서 면적이 넓고 두께가 얇은 기판을 안정적으로 이송하는데 어려움이 있다.
이에 따라 기판을 처리하기 위한 장치나 설비의 규모가 커지게 되었고, 이로 인해 발생되는 설치 공간 상의 문제 등을 해소하기 위해서 기판을 수직으로 세운 상태에서 기판처리장치로 로딩하고, 기판이송장치에 의해 챔버 내부에서 수평 이송한다. 이때, 기판은 면적이 넓은 반면에 두께가 얇기 때문에 기판을 단독으로 챔버에 로딩하여 이송하는 경우에는 기판이 쉽게 손상되거나 파손될 수 있다. 따라서 기판은 기판의 가장자리를 지지하도록 프레임(frame) 형태로 형성된 캐리어(carrier)에 고정된 상태로 챔버 내에 로딩 및 이송되어 가공 처리되고 있다.
이렇게 캐리어에 고정된 기판은 챔버 내의 기판이송장치로 로딩되어 그 내부로 이송되는데, 기판이송장치에는 복수 개의 롤러가 구비되며 캐리어는 롤러에 안착되어 수평방향으로 이송된다.
롤러는 통상 금속재질, 예컨대 스테인레스 스틸로 형성되며, 롤러의 외주면에는 캐리어가 안정적으로 안착될 수 있도록 폭방향으로 중심부에 오목한 홈이 원주방향을 따라 형성되어 있다.
그러나 기판을 챔버 내부로 로딩하여 이송하는 과정에서 금속재질로 형성된 캐리어와 롤러가 상호 접촉되어 마모되면서 이물질(particle)이 발생하고, 이에 따라 기판이 오염되거나 손상되어 기판 불량률이 높아지는 문제점이 있다.
또한, 기판 처리 공정이 통상 200℃ 이상의 고온에서 이루어지는데, 이때 롤러가 열팽창되어 형상이 변형되고, 이렇게 변형된 상태에서 기판이 고정된 캐리어의 하중에 의해 가압되어 파손되는 등 롤러의 수명이 저하되는 문제점도 있었다.
2008-0104695 A 0927998 B1
본 발명은 고온의 공정 환경에서도 장기간 사용할 수 있는 롤러, 롤러의 제조방법 및 이를 구비하는 롤러, 롤러의 제조방법 및 이를 구비하는 기판처리장치를 제공한다.
본 발명은 이물질의 발생을 억제하여 기판의 불량률을 저하시킬 수 있는 롤러, 롤러의 제조방법 및 이를 구비하는 롤러, 롤러의 제조방법 및 이를 구비하는 기판처리장치를 제공한다.
본 발명은 유지비용을 절감할 수 있는 롤러, 롤러의 제조방법 및 이를 구비하는 기판처리장치를 제공한다.
본 발명의 실시 형태에 따른 롤러는, 환형의 내부 롤러와; 상기 내부 롤러의 외주면 상에 구비되는 외부 롤러; 및 상기 내부 롤러와 외부 롤러 사이에 구비되는 접착부재;를 포함하며, 상기 내부 롤러의 외주면과 상기 외부 롤러의 내주면 중 적어도 어느 한 면의 적어도 일부에 요철구조가 형성되고, 상기 접착부재에는 상기 요철구조에 대응하는 패턴이 형성되며, 상기 내부 롤러와 외부 롤러는 상기 요철구조와 상기 패턴이 서로 맞물려진 상태로 이격된다.
상기 내부 롤러의 외주면의 적어도 일부에는 요철구조가 형성되고, 상기 접착부재에는 상기 요철구조에 대응하는 패턴이 형성되어 상기 내부 롤러의 외주면과 상기 접착부재 사이에 공간이 형성될 수도 있다.
상기 내부 롤러는 오스테나이트계 스테인레스강 또는 마르텐사이트계 스테인레스강으로 형성될 수도 있다.
그리고 상기 외부 롤러는 세라믹 재질로 형성될 수도 있고, 상기 접착부재는 열경화성 수지일 수도 있다.
본 발명의 실시 형태에 따른 롤러의 제조방법은, 환형의 내부 롤러 및 외부 롤러를 준비하는 과정과; 상기 외부 롤러에 상기 내부 롤러를 삽입하는 과정과; 상기 외부 롤러와 상기 내부 롤러 사이에 접착부재를 주입하는 과정과; 상기 내부 롤러, 외부 롤러 및 접착부재를 가열하는 과정; 및 상기 내부 롤러, 외부 롤러 및 접착부재를 냉각시키는 과정;을 포함한다.
상기 내부 롤러 및 외부 롤러를 준비하는 과정에서 상기 내부 롤러의 외주면과 상기 외부 롤러 내주면 중 적어도 어느 한 면에는 적어도 일부에 요철구조를 형성할 수도 있다.
또한, 상기 접착부재는 상기 내부 롤러와 외부 롤러 사이에 압입될 수도 있다.
그리고 상기 가열하는 과정에서 상기 내부 롤러는 열팽창되고, 상기 접착부재는 상기 내부 롤러의 외주면에 가압된 상태로 경화되어 상기 접착부재에 상기 요철구조에 대응하는 패턴이 형성될 수 있으며, 상기 냉각시키는 과정에서 상기 내부 롤러는 수축되어 상기 내부 롤러와 상기 접착부재 사이에 공간이 형성됨으로써 상기 내부 롤러와 상기 외부 롤러가 이격될 수 있다.
본 발명의 실시 형태에 따른 기판처리장치는, 기판이 처리되는 공간을 제공하는 챔버; 및 상기 챔버의 내부에서 상기 기판을 지지 및 이송시키는 다수의 롤러와, 상기 다수의 롤러에 회전력을 제공하는 롤러 구동수단을 포함하는 기판 이송 수단;을 포함하되, 상기 롤러는, 환형의 내부 롤러와; 상기 내부 롤러의 외주면에 구비되는 외부 롤러; 및 상기 내부 롤러와 상기 외부 롤러 사이에 구비되는 접착부재;를 포함하며, 상기 내부 롤러와 상기 외부 롤러 사이에는 공간이 형성된다.
상기 내부 롤러의 외주면과 상기 외부 롤러의 내주면 중 적어도 어느 한 면의 적어도 일부에는 요철구조가 형성되고, 상기 접착부재에는 상기 요철구조에 대응하는 형상의 패턴이 형성되어, 상기 요철구조와 상기 패턴이 맞물려져 상기 내부 롤러와 상기 외부 롤러가 결합될 수도 있다.
또한, 상기 내부 롤러의 외주면에는 요철구조가 형성되고, 상기 접착부재에는 상기 요철구조에 대응하는 형상의 패턴이 형성되어, 상기 내부 롤러와 상기 접착부재가 이격된 상태로 상기 요철구조와 상기 패턴이 맞물려져 상기 내부 롤러와 상기 외부 롤러가 결합될 수도 있다.
본 발명의 실시 형태에 따른 롤러, 롤러의 제조방법 및 이를 구비하는 기판처리장치는, 롤러를 구성함에 있어서 내부 롤러의 외주면과 외부 롤러의 내주면을 소정 거리 이격된 상태로 결합시킴으로써 고온의 공정 환경에서 내부 롤러가 열팽창하여 외부 롤러가 파손되는 현상을 억제할 수 있다. 이에 롤러의 내구성이 향상되어 파손된 롤러의 교체 등으로 인한 유지비용을 절감할 수 있다. 게다가 내부 롤러를 열팽창율이 낮고, 경도가 높은 재질을 이용하여 형성함으로써 고온의 공정 온도에 의한 변형이나 파손을 억제할 수 있는 동시에, 다른 구성요소들 간의 마찰에 의한 이물질의 발생도 억제할 수 있다. 이에 따라 기판의 불량률을 저하시켜 생산성도 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판처리장치의 구조를 개략적으로 보여주는 단면도.
도 2는 도 1에 적용되는 롤러의 사시도.
도 3은 도 2의 종단면도.
도 4는 롤러의 변형 예를 보여주는 종단면도.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 롤러의 제조과정을 보여주는 순서도.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 롤러의 제조과정에서 내부 롤러와 외부 롤러 사이에 공간이 형성되는 과정을 보여주는 종단면도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라, 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판처리장치의 구조를 개략적으로 보여주는 단면도이고, 도 2는 도 1에 적용되는 롤러의 사시도이며, 도 3은 도 2의 종단면도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 기판처리장치는 기판(10)이 처리되는 공간을 형성하는 챔버(chamber; 100)와, 챔버(100)의 내부에서 기판(S)을 지지하고 이를 이송시키는 기판이송수단(300)을 포함한다.
챔버(100)에는 기판(S)을 로딩 및 언로딩할 수 있도록 개폐 가능한 게이트가 형성될 수 있으며, 내부의 압력 조절을 위해 공기 등을 배출시키기 위한 배기구(미도시) 등이 형성될 수도 있다.
기판이송수단(300)은 챔버(100) 내부의 하부에 구비되며, 롤러(310)의 회전 방향에 따라 기판을 챔버(100) 내부 또는 외부로 이송한다. 통상 기판은 프레임 형태의 캐리어(200)에 고정된 상태로 챔버(100)에 로딩되기 때문에 기판이송수단(300)은 실질적으로 기판이 고정된 캐리어(200)를 이송하게 된다.
기판이송수단(300)은 캐리어(200)를 지지하는 복수 개의 롤러(310)와, 복수 개의 롤러(310)에 회전축(330)을 통해 연결되어 롤러(310)에 회전력을 제공하는 구동수단(320)을 포함한다.
본 발명의 실시 예에서는 롤러(310)를 형성함에 있어서, 고온 예컨대 200℃ 이상에서도 변형이나 파손을 억제할 수 있고, 캐리어(200)와의 마찰로 인한 마모를 감소시킬 수 있도록 한다. 롤러(310)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 중심에 회전축(330)이 삽입되는 관통공(313)이 형성된 원통형의 내부 롤러(312)와, 내부 롤러(312)의 외주면을 둘러싸도록 형성되는 환형의 외부 롤러(316)을 포함한다. 외부 롤러(316)에는 캐리어(200)가 안정적으로 안착될 수 있도록 외주면의 중심부에 원주방향을 따라 소정 깊이의 홈(319)이 형성될 수도 있다. 이때, 내부 롤러(312)와 외부 롤러(316)는 소정 거리 이격된 상태로 결합될 수 있다. 즉, 내부 롤러(312)는 내열성, 내화학성이 좋고 강도가 높은 오스테나이트계 스테인레스강(스테인레스 스틸 300계), 마르텐사이트계 스테인레스강(스테인레스 스틸 400계) 등의 금속재질로 형성될 수 있다. 이때, 오스테나이트계 스테인레스 스틸강은 18㎛/m℃ 정도의 열팽창계수를 갖고, 마르텐사이트계 스테인레스강은 10.8㎛/m℃의 열팽창계수를 갖는데, 기판 처리 공정이 통상 200℃ 이상의 고온에서 수행되는 것을 감안한다면 열팽창계수가 작은 변형이 적은 마르텐사이트계 스테인레스강으로 형성하는 것이 롤러의 수명을 향상시키는데 좋다. 그리고 외부 롤러(316)는 캐리어(200)와의 마찰계수를 줄여 이물질(particle)의 발생을 줄일 수 있는 Si3N4 등의 세라믹으로 형성되는 것이 좋다.
이렇게 서로 다른 재질로 형성된 내부 롤러(312)와 외부 롤러(316)는 접착부재(318)를 통해 연결될 수 있다. 이때, 접착부재(318)는 고온에서 경화되는 열경화 수지(접착부재의 예)가 사용될 수 있다.
이와 같이 롤러(310)는 금속재질의 내부 롤러(312)와 내부 롤러(312)의 외주면에 세라믹 재질의 외부 롤러(316)가 결합되는 이중 구조로 형성되어 캐리어(200)와의 마찰에 의한 마모를 억제할 수 있고, 내부 롤러(312)와 외부 롤러(316)가 소정 거리 이격되도록 형성함으로써 고온 공정에서도 변형이나 파손을 억제하여 공정을 안정적으로 진행할 수 있도록 하였다.
한편, 본 발명의 실시 예에서는 내부 롤러(312)와 외부 롤러(316) 사이에 소정 거리의 공간(315)을 형성함으로써 기판 처리 공정 중 내부 롤러(312)가 열팽창하면서 외부 롤러(316)를 가압하여 외부 롤러(316)가 손상 또는 파손되는 것을 방지하고 있다. 이때, 내부 롤러(312)와 외부 롤러(316) 사이에 공간(315)이 형성되면서 외부 롤러(316)가 내부 롤러(312)로부터 이탈할 수 있는 문제점이 있다. 이에 본 발명의 실시 예에서는 내부 롤러(312)의 외주면에 요철구조(314)를 형성하고, 내부 롤러(312)와 외부 롤러(316) 사이에 접착부재(318)를 주입하는 과정에서 접착부재(318)에 요철구조(314)와 대응하는 패턴이 형성되도록 한다. 그리고 이를 가열하여 접착부재(318)를 경화시키고, 냉각되는 과정에서 내부 롤러(312)와 접착부재(318)가 이격되어 내부 롤러(312)의 요철구조(314)와 접착부재(318)의 패턴이 상호 맞물려지면서 내부 롤러(312)와 외부 롤러(316)가 결합되도록 하였다. 이때, 내부 롤러(312)에 형성되는 요철구조(314)는 원뿔, 다각형 뿔, 파형(波形), 구형파(矩形波) 등 다양한 형태로 형성될 수 있으며, 내부 롤러(312)의 외주면 전체 또는 외주면의 일부에 형성될 수 있다. 또한, 요철구조(314)의 높이(또는 깊이, D)는 내부 롤러(312)가 수축 또는 팽창하는 길이보다 높게(또는 낮게) 형성함으로써 내부 롤러(312)가 수축되어 내부 롤러(312)와 외부 롤러(316)가 이격된 상태에서도 외부 롤러(316)가 내부 롤러(312)로부터 이탈하는 것을 방지할 수 있다. 이와 같이 내부 롤러(312)와 외부 롤러(316)가 결합되는 원리는 후술하는 롤러의 제조과정에서 다시 설명하기로 한다.
도 4는 롤러의 변형 예를 도시한 횡단면도이다. 여기에서는 내부 롤러(312)는 물론, 외부 롤러(316')의 내주면에도 요철구조(317)를 형성하여 외부 롤러(316')와 접착부재(318) 간의 접촉 면적을 증가시킴으로써 접착부재(318)와 외부 롤러(316) 간의 접착력이 향상되도록 하였다.
또한, 도시되지는 않았지만 내부 롤러의 외주면과 외부 롤러의 내주면에 요철구조, 예컨대 내부 롤러 및 외부 롤러의 길이방향을 따라 요철구조를 형성하여 내부 롤러가 외부 롤러의 내부로 슬라이딩 결합되도록 할 수도 있다. 이 경우, 내부 롤러의 외경은 외부 롤러의 내경보다 작게 형성하여 외부 롤러와 내부 롤러 사이가 이격되도록 형성하는 것이 바람직하다. 이에 내부 롤러와 외부 롤러가 롤러의 길이방향으로는 결합 및 분리가 가능하지만, 롤러의 회전시에는 요철구조가 서로 맞물려져 이탈하지 않는다. 그리고 위에서 설명한 롤러와는 달리 별도의 중간물질, 즉 접착부재가 요구되지 않는다.
이와 같이 형성된 롤러(310)는 기판의 이송방향을 따라 일정한 간격을 가지며 배열되고, 내부 롤러(312)의 중심에 형성된 관통구(313)에 삽입되는 회전축(330)을 통해 구동수단(320)과 연결된다. 회전축(330)에는 복수 개의 롤러(310)가 연결되어 복수 개의 이송로(미도시)를 형성할 수도 있다. 구동수단(320)은 회전축(330)을 통해 연결된 롤러(310)를 독립적으로 회전시킬 수도 있으나, 각각의 롤러(310)와 연결되는 회전축(330)을 벨트(미도시)나 체인(미도시) 등으로 연결하고 이를 구동시켜 복수 개의 롤러(310)를 동시에 회전시킬 수도 있다.
그리고 회전축(330)은 상하방향으로 이동가능하도록 형성된 지지축(340)에 지지될 수도 있다. 이와 같이 회전축(330)을 지지축(340)에 의해 지지함으로써 롤러(310)의 회전을 가능하게 하고, 캐리어(200)의 하중에 의해 회전축(330)이 처지거나 파손되는 현상을 방지할 수 있다.
또한, 챔버(100)의 내부 상부에는 복수 개의 롤러(310)에 의해 형성되는 이송로에 대응하는 위치에 기판, 즉 캐리어(200)의 상단부를 지지하기 위한 가이드 수단(210)이 구비될 수도 있다. 가이드 수단(210)은 다양한 방법을 통해 캐리어(200)를 지지할 수 있도록 형성될 수 있으며, 예컨대 자성(磁性)에 의해 인력 또는 척력을 발생할 수 있도록 형성되어 캐리어(200)의 상단부를 고정 또는 분리시킬 수 있다.
이하에서는 본 발명의 실시 예에 따른 기판처리장치에 적용되는 롤러의 제조방법에 대해서 설명한다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 롤러의 제조과정을 보여주는 순서도이고, 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 롤러의 제조과정에서 내부 롤러와 외부 롤러 사이에 공간이 형성되는 과정을 보여주는 종단면도로서, 서로 연관지어 설명한다.
먼저, 내부 롤러(312)와 외부 롤러(316)가 준비(S110)되면, 외부 롤러(316) 내에 내부 롤러(312)를 삽입(S120)한다. 이때, 내부 롤러(312)의 외경은 외부 롤러(316)의 내경보다 작게 형성되어 내부 롤러(312)를 외부 롤러(316) 내에 삽입되었을 때 내부 롤러(312)와 외부 롤러(316) 사이에 소정 거리의 공간(315)이 형성된다.
외부 롤러(316) 내에 내부 롤러(312)가 삽입되면, 외부 롤러(316)와 내부 롤러(312) 사이에 형성되는 공간(315)에 노즐 형상의 주입수단(400) 등을 이용하여 접착부재(318)를 압입(S130)한다. 이는 내부 롤러(312)의 외주면과 외부 롤러(316)의 내주면 사이에 접착부재(318)가 고르게 분포되도록 하려는 목적도 있지만, 내부 롤러(312)의 외주면(또는 외부 롤러(316)의 내주면)에 형성된 요철구조(314, 317)의 사이사이마다 접착부재(318)가 주입되어 접착부재(318)에 요철구조(314)와 대응하는 패턴이 형성되도록 하려는데 목적이 있다.
이후, 외부 롤러(316)와 내부 롤러(312) 사이에 접착부재(318)의 주입된 상태로 오븐에 넣어 가열(S140)한다. 가열공정이 진행되면서 내부 롤러(312)는 내부 롤러(312)의 중심점을 기준으로 외주면 방향으로 열팽창하게 되고, 접착부재(318)는 내부 롤러(312)에 의해 가압되면서 경화되어 내부 롤러(312)의 외주면과 외부 롤러(316)의 내주면을 서로 연결시킨다.
가열공정을 통해 접착부재(318)가 경화되면, 접착부재(318)에 의해 서로 연결된 내부 롤러(312)와 외부 롤러(316)를 오븐 내에서 소정 시간 동안 방치함으로써 자연 냉각(S150) 시킨다. 이때, 열팽창되었던 내부 롤러(312)는 냉각되면서 내부 롤러(312)의 중심점 방향으로 수축하게 되는데, 내부 롤러(312)는 수축하면서 그 외주면이 접착부재(318)와 분리되어 내부 롤러(312)와 접착 부재 사이에 공간(315)이 형성된다. 이렇게 내부 롤러(312)와 접착부재(318)가 분리되어도 내부 롤러(312)의 외주면에 형성되어 있는 요철구조(314)와 접착부재(318)에 요철구조(314)와 대응하도록 형성된 패턴이 서로 맞물려진 상태로 내부 롤러(312)와 외부 롤러(316)가 소정 거리 이격되어 결합되어 롤러(310)가 완성된다.
이후, 롤러(310)가 냉각되면, 롤러(310)를 오븐으로부터 인출하고 정밀가공, 테스트 및 세정 공정 등의 후처리공정을 수행한다.
이와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
100 : 챔버 200 : 캐리어
210 : 가이드 수단 300 : 기판이송수단
310 : 롤러 312 : 내부 롤러
313 : 관통구 314, 317 : 요철구조
315 : 공간 316, 316' : 외부 롤러
318 : 접착부재 319 : 홈
320 : 구동수단(320) 330 : 회전축(330)
340 : 지지축(340) 400 : 주입수단
S : 기판

Claims (13)

  1. 환형의 내부 롤러와;
    상기 내부 롤러의 외주면 상에 구비되는 외부 롤러; 및
    상기 내부 롤러와 외부 롤러 사이에 구비되며 열경화성 수지를 포함하는 접착부재;
    를 포함하며,
    상기 내부 롤러의 외주면과 상기 외부 롤러의 내주면 중 적어도 어느 한 면의 적어도 일부에 내부 롤러가 외부 롤러의 내부로 슬라이딩 결합되도록 내부 롤러 및 외부 롤러의 길이방향을 따라 요철구조가 형성되고, 상기 접착부재에는 상기 요철구조에 대응하는 패턴이 형성되며, 상기 내부 롤러와 외부 롤러는 상기 요철구조와 상기 패턴이 서로 맞물려진 상태로 이격되는 롤러.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 내부 롤러의 외주면의 적어도 일부에는 요철구조가 형성되고, 상기 접착부재에는 상기 요철구조에 대응하는 패턴이 형성되어 상기 내부 롤러의 외주면과 상기 접착부재 사이에 공간이 형성되는 롤러.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 내부 롤러는 오스테나이트계 스테인레스강 또는 마르텐사이트계 스테인레스강으로 형성된 롤러.
  4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 외부 롤러는 세라믹 재질로 형성된 롤러.
  5. 삭제
  6. 환형의 내부 롤러 및 외부 롤러를 준비하는 과정과;
    상기 외부 롤러에 상기 내부 롤러를 삽입하는 과정과;
    상기 외부 롤러와 상기 내부 롤러 사이에 접착부재를 주입하는 과정과;
    상기 내부 롤러, 외부 롤러 및 접착부재를 가열하는 과정; 및
    상기 내부 롤러, 외부 롤러 및 접착부재를 냉각시키는 과정;
    을 포함하는 롤러 제조방법.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 내부 롤러 및 외부 롤러를 준비하는 과정에서 상기 내부 롤러의 외주면과 상기 외부 롤러 내주면 중 적어도 어느 한 면에는 적어도 일부에 요철구조를 형성하는 롤러 제조방법.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 접착부재는 상기 내부 롤러와 외부 롤러 사이에 압입되는 롤러 제조방법.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 가열하는 과정에서 상기 내부 롤러는 열팽창되고, 상기 접착부재는 상기 내부 롤러의 외주면에 가압된 상태로 경화되어 상기 접착부재에 상기 요철구조에 대응하는 패턴이 형성되는 롤러 제조방법.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 냉각시키는 과정에서 상기 내부 롤러는 수축되어 상기 내부 롤러와 상기 접착부재 사이에 공간이 형성됨으로써 상기 내부 롤러와 상기 외부 롤러가 이격되는 롤러 제조방법.
  11. 기판이 처리되는 공간을 제공하는 챔버; 및
    상기 챔버의 내부에서 상기 기판을 지지 및 이송시키는 다수의 롤러와, 상기 다수의 롤러에 회전력을 제공하는 롤러 구동수단을 포함하는 기판 이송 수단;
    을 포함하되,
    상기 롤러는,
    환형의 내부 롤러와;
    상기 내부 롤러의 외주면에 구비되는 외부 롤러; 및
    상기 내부 롤러와 외부 롤러 사이에 구비되며 열경화성 수지를 포함하는 접착부재;
    를 포함하며,
    상기 내부 롤러의 외주면과 상기 외부 롤러의 내주면 중 적어도 어느 한 면의 적어도 일부에 내부 롤러가 외부 롤러의 내부로 슬라이딩 결합되도록 내부 롤러 및 외부 롤러의 길이방향을 따라 요철구조가 형성되고, 상기 접착부재에는 상기 요철구조에 대응하는 패턴이 형성되며, 상기 내부 롤러와 외부 롤러는 상기 요철구조와 상기 패턴이 서로 맞물려진 상태로 이격되는 기판처리장치.
  12. 삭제
  13. 청구항 11에 있어서,
    상기 내부 롤러의 외주면에는 요철구조가 형성되고, 상기 접착부재에는 상기 요철구조에 대응하는 형상의 패턴이 형성되어, 상기 내부 롤러와 상기 접착부재가 이격된 상태로 상기 요철구조와 상기 패턴이 맞물려져 상기 내부 롤러와 상기 외부 롤러가 결합되는 기판처리장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2008105085A (ja) * 2006-10-27 2008-05-08 Kyocera Corp 搬送用ローラ

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