KR101258404B1 - Apparatus for conveyance of glass disk - Google Patents

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KR101258404B1
KR101258404B1 KR1020120005996A KR20120005996A KR101258404B1 KR 101258404 B1 KR101258404 B1 KR 101258404B1 KR 1020120005996 A KR1020120005996 A KR 1020120005996A KR 20120005996 A KR20120005996 A KR 20120005996A KR 101258404 B1 KR101258404 B1 KR 101258404B1
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glass
glass disk
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disk
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KR1020120005996A
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권오규
박준희
모선희
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로체 시스템즈(주)
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Abstract

PURPOSE: A glass disk returning device is provided to prevent damage to a glass disk due to contact during the movement of the glass disk. CONSTITUTION: A finger(130) adsorbs a side of a glass disk with vacuum. The finger loads the glass disk to a glass table or unloads the same to a cassette. A side of the glass disk is inserted into a slot(131b) in a body unit(131). A groove unit(131c) is connected to the slot. One or more vacuum forming lines(132) place the glass disk on the groove unit. An air supply line(133) sprays air to the slot to discharge the glass disk to the outside of the slot.

Description

글라스 디스크 반송장치{APPARATUS FOR CONVEYANCE OF GLASS DISK}Glass Disc Carrier {APPARATUS FOR CONVEYANCE OF GLASS DISK}

본 발명은 글라스 디스크 반송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 HDD용 글라스 디스크의 크기 및 두께를 검사하기 위하여 글라스 디스크를 글라스 테이블에 로딩시키거나, 검사 완료된 글라스 디스크를 카세트로 언로딩 시키는 글라스 디스크 반송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a glass disk conveying apparatus, and more particularly, a glass disk conveying for loading a glass disk on a glass table or unloading a inspected glass disk with a cassette in order to inspect the size and thickness of the HDD disk. Relates to a device.

일반적으로 HDD용 글라스 디스크의 크기 및 두께를 검사하여 분류하기 위해서는 카세트에 적재되어 있는 글라스 디스크를 글라스 테이블로 로딩시키거나, 크기 및 두께의 검사가 완료된 글라스 디스크를 상기 글라스 테이블로부터 카세트로 언로딩시키는 글라스 반송장치가 사용된다.Generally, in order to inspect and classify the size and thickness of HDD glass disks, a glass disk loaded in a cassette is loaded into a glass table, or an unloaded glass disk from the glass table is unloaded from the glass table into a cassette. A glass conveying device is used.

상기와 같은 글라스 반송장치는 통상 글라스 테이블 일측에 위치하도록 설치되어 상기 글라스 테이블과 글라스 반송장치 사이에 위치한 카세트로부터 상기 글라스 디스크를 클램핑하여 상기 글라스 테이블로 로딩시켜 상기 글라스 디스크의 크기 및 두께를 검사 작업을 진행할 수 있도록 한다. 또한, 상기 글라스 반송장치는 상기 글라스 테이블로 로딩되어 크기 및 두께의 검사가 완료된 글라스 디스크를 클램핑하여 크기 및 두께 별로 카세트로 언로딩하는 작업을 하게 된다.The glass conveying apparatus as described above is usually installed on one side of the glass table, and clamps the glass disk from the cassette located between the glass table and the glass conveying apparatus and loads the glass disk into the glass table to inspect the size and thickness of the glass disk. To proceed. In addition, the glass conveying apparatus is to be loaded into the glass table to clamp the glass disk, the size and thickness of the inspection is completed to unload the cassette by size and thickness.

그러나, 상기와 같은 일반적인 글라스 반송장치는 상기 글라스 디스크를 로딩시키거나 언로딩시킬 시에 핑거가 상기 글라스 디스크를 직접적으로 클램핑하게 됨으로써 상기 핑거와의 접촉으로 인하여 상기 글라스 디스크의 표면이 손상된다는 문제점이 있었다.However, such a common glass conveying apparatus has a problem that the surface of the glass disk is damaged due to the contact with the finger because the finger directly clamps the glass disk when loading or unloading the glass disk. there was.

따라서, 본 발명의 목적은 글라스 디스크의 손상 없이 상기 글라스 디스크를 글라스 테이블로 로딩시키거나 검사 완료된 글라스 디스크를 카세트로 언로딩 시킬 수 있는 글라스 디스크 운방장치를 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a glass disk transport apparatus capable of loading the glass disk into a glass table or unloading the inspected glass disk into a cassette without damaging the glass disk.

본 발명의 예시적인 일실시예에 따른 글라스 디스크 반송장치는 글라스 디스크의 일측을 진공으로 흡착하여 상기 글라스 테이블로 로딩시키거나, 상기 카세트로 언로딩 시키는 핑거를 포함한다.The glass disk conveying apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention includes a finger to suck one side of the glass disk in a vacuum to be loaded into the glass table, or unloaded into the cassette.

일예를 들면, 상기 핑거는 상기 글라스 디스크의 일측이 삽입되는 슬롯과, 상기 슬롯과 연통되도록 형성되는 홈부를 구비하는 바디부와, 상기 홈부와 연통되도록 상기 바디부에 형성되어 상기 글라스 디스크를 진공 흡착하여 상기 홈부에 안착시키는 적어도 하나의 진공 형성라인을 포함한다.For example, the finger is formed in the body portion having a slot in which one side of the glass disk is inserted, the groove portion is formed to communicate with the slot, the body portion is in communication with the groove portion is vacuum suction the glass disk At least one vacuum forming line to be seated on the groove portion.

한편, 상기 핑거는 상기 슬롯과 연통되도록 상기 바디부에 형성되어 상기 슬롯에 에어를 분출하여 상기 글라스 디스크를 슬롯 외부로 배출시키는 에어 공급라인을 더 포함한다.On the other hand, the finger further comprises an air supply line is formed in the body portion to communicate with the slot to eject the air to the slot to discharge the glass disk out of the slot.

일예를 들면, 상기 에어 공급라인은 상기 진공 형성라인의 양측에 위치하도록 상기 바디부에 형성된다.For example, the air supply line is formed in the body part so as to be located at both sides of the vacuum forming line.

일예를 들면, 상기 슬롯이 형성되는 바디부의 측면부와 상기 슬롯은 상기 글라스 디스크가 일정한 깊이로 상기 슬롯에 삽입될 수 있도록 호 형태로 형성된다.For example, the side portion of the body portion in which the slot is formed and the slot are formed in an arc shape so that the glass disk can be inserted into the slot with a predetermined depth.

한편, 상기 핑거는 복수개가 적층되어 복수개의 글라스 디스크를 한 번에 진공 흡착하여 상기 글라스 테이블로 로딩시키거나, 상기 카세트로 언로딩 시킬 수 있다.On the other hand, a plurality of fingers are stacked may be a vacuum suction of a plurality of glass disks at a time to be loaded into the glass table, or unloaded into the cassette.

상술한 바와 같이 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치는 핑거에 글라스 디스크의 측면의 일부만 접촉되도록 상기 글라스 디스크를 상기 핑거에 진공 흡착하여 상기 글라스 디스크를 이동시킬 수 있으므로, 상기 글라스 디스크의 이동 시 접촉에 의한 글라스 디스크의 상부면의 손상을 방지할 수 있다.As described above, the glass disk conveying apparatus according to an embodiment of the present invention may move the glass disk by vacuum-adsorbing the glass disk to the finger so that only a part of the side surface of the glass disk contacts the finger. It is possible to prevent damage to the upper surface of the glass disk due to contact during movement.

따라서, 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치는 글라스 디스크의 이송 안정성을 확보할 수 있음은 물론 검사 속도와 정확성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Therefore, the glass disk conveying apparatus according to an embodiment of the present invention can secure the conveying stability of the glass disk, as well as improve the inspection speed and accuracy.

도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치의 사시도
도 2는 본 발명의 일실시예에 의한 핑거를 설명하기 위한 도면
도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 복수개의 핑거가 적층되어 복수개의 글라스 디스크를 흡착시킨 상태를 도시한 도면
도 4 내지 도 7은 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치를 사용하여 카세트에 적층된 글라스 디스크를 글라스 테이블로 로딩시키는 과정을 설명하기 위한 도면
1 is a perspective view of a glass disk conveying apparatus according to an embodiment of the present invention
2 is a view for explaining a finger according to an embodiment of the present invention.
3 is a diagram illustrating a state in which a plurality of fingers are stacked to adsorb a plurality of glass disks according to an embodiment of the present invention.
4 to 7 are views for explaining a process of loading a glass disk stacked in a cassette into a glass table using the glass disk conveying apparatus according to an embodiment of the present invention;

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제 1 구성 요소는 제 2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성 요소도 제 1 구성 요소로 명명될 수 있다.Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, the terms "comprising" or "having ", and the like, are intended to specify the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art.

일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the relevant art and are to be interpreted as ideal or overly formal in meaning unless explicitly defined in the present application Do not.

이하 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치의 사시도이며, 도 2는 본 발명의 일실시예에 의한 핑거를 설명하기 위한 도면이다.1 is a perspective view of a glass disk conveying apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a view for explaining a finger according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치는, 슬라이딩 수단(100), 이동블록(110), 구동수단(120) 및 핑거(130)를 포함한다.1 and 2, the glass disk conveying apparatus according to an embodiment of the present invention includes a sliding means 100, a moving block 110, a driving means 120, and a finger 130.

상기 슬라이딩 수단(100)은 베이스(140)의 상부면에 설치된다. 예를 들면, 상기 슬라이딩 수단(100)으로는 LM 가이드를 사용할 수 있다.The sliding means 100 is installed on the upper surface of the base 140. For example, the LM guide may be used as the sliding means 100.

상기 이동블록(110)은 상기 슬라이딩 수단(100) 즉, 상기 LM 가이드에 설치된다.The moving block 110 is installed in the sliding means 100, that is, the LM guide.

상기 구동수단(120)은 상기 슬라이딩 이동수단(100)인 LM 가이드와 연결되도록 상기 베이스(140)의 상부면에 설치된다. 예를 들면, 상기 구동수단(120)으로는 로드리스 실린더를 사용할 수 있다.The driving means 120 is installed on the upper surface of the base 140 to be connected to the LM guide which is the sliding movement means 100. For example, a rodless cylinder may be used as the driving means 120.

상기 핑거(130)는 상기 이동블록(110)에 복수개의 고정수단(150)에 의해 탈착 가능하게 설치된다. 예를 들면, 상기 고정수단(150)으로는 나사를 사용할 수 있다. 보다 상세하게 설명하면, 상기 핑거에는 복수개의 관통 홀(131a)이 형성되고, 상기 이동블록(110)에는 복수개의 고정 홀(도시되지 않음)이 형성되어 상기 관통 홀(131a)이 상기 고정 홀과 일치되도록 상기 핑거(130)를 상기 이동블록(110)에 올려놓은 후 상기 관통 홀(131a)을 관통하도록 복수개의 고정수단(150)을 상기 고정 홀에 나사 체결함으로써 상기 이동블록(110)에 핑거(130)를 탈착 가능하게 설치할 수 있다.The finger 130 is installed detachably by a plurality of fixing means 150 to the moving block (110). For example, a screw may be used as the fixing means 150. In more detail, a plurality of through holes 131a are formed in the finger, and a plurality of fixing holes (not shown) are formed in the moving block 110 so that the through holes 131a are formed with the fixing holes. The finger 130 is placed on the movable block 110 so as to coincide therewith, and the plurality of fixing means 150 are screwed into the fixing hole to penetrate the through hole 131a. The 130 can be detachably installed.

상기와 같은 핑거(130)는 글라스 디스크(200)의 일측을 진공으로 흡착하여 글라스 테이블로 상기 글라스 디스크(200)를 로딩시키거나, 상기 카세트로 글라스 디스크(200)를 언로딩 시킬 수 있도록 한다.The finger 130 as described above allows one side of the glass disk 200 to be sucked in a vacuum so as to load the glass disk 200 into the glass table or to unload the glass disk 200 with the cassette.

도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 복수개의 핑거가 적층되어 복수개의 글라스 디스크를 흡착시킨 상태를 도시한 도면이다.3 is a diagram illustrating a state in which a plurality of fingers are stacked to adsorb a plurality of glass disks according to an embodiment of the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이 본 발명의 일실시예에 의한 핑거(130)는 복수개가 적층되어 상기 이동블록(110)에 복수개의 고정수단(150)에 의해 탈착 가능하게 설치됨으로써 복수개의 글라스 디스크(200)를 한 번에 진공 흡착하여 상기 글라스 테이블로 로딩시키거나, 상기 카세트로 언로딩 시킬 수도 있다.As shown in FIG. 3, a plurality of fingers 130 according to an embodiment of the present invention are stacked to be detachably installed by the plurality of fixing means 150 in the moving block 110. 200 may be vacuum adsorbed at one time and loaded into the glass table or unloaded into the cassette.

상기와 같은 핑거(130)는 바디부(131)와 적어도 하나의 진공 형성라인(132)을 포함한다. 상기 바디부(131)는 일측단부에 관통 홀(131a)이 형성되어 상기 바디부(131)를 고정부재(150)에 의해 이동블록(110)에 탈착 가능하게 설치할 수 있다. 상기 바디부(131)의 측면부에는 상기 글라스 디스크(200)의 일측이 삽입되는 슬롯(131b)이 형성이 형성된다. 또한, 상기 바디부(131)에는 상기 슬롯(131b)과 연통되도록 홈부(131c)가 구비된다. 한편, 상기 슬롯(131b)이 형성되는 바디부(131)의 측면부는 상기 슬롯(131b)에 글라스 디스크(200)가 일정한 깊이로 삽입되도록 호 형태로 형성되며, 상기 슬롯(131b) 또한 상기 바디부(131)의 측면부와 마찬가지로 호 형태로 형성되는 것이 바람직하다. 상기 적어도 하나의 진공 형성라인(132)은 상기 슬롯(131b)과 연통되도록 상기 바디부(131)에 형성되어 상기 글라스 디스크(200)를 진공 흡착하여 상기 슬롯(131b)에 삽입시켜 고정시킬 수 있도록 한다. The finger 130 as described above includes a body portion 131 and at least one vacuum forming line 132. The body 131 may have a through hole 131a formed at one side end thereof, and the body 131 may be detachably installed to the moving block 110 by the fixing member 150. A slot 131b into which one side of the glass disk 200 is inserted is formed at a side portion of the body 131. In addition, the body portion 131 is provided with a groove portion 131c to communicate with the slot (131b). On the other hand, the side portion of the body portion 131, the slot 131b is formed is formed in an arc shape so that the glass disk 200 is inserted into the slot 131b to a predetermined depth, the slot 131b also the body portion It is preferable that it is formed in an arc shape similarly to the side part of 131. The at least one vacuum forming line 132 is formed in the body portion 131 so as to communicate with the slot 131b so that the glass disk 200 is vacuum-adsorbed and inserted into the slot 131b to be fixed. do.

또한, 상기 핑거(130)는 상기 바디부(131)에 상기 슬롯(131b)과 연통되도록 형성되어 상기 슬롯(131b)에 삽입되어 있는 글라스 디스크(200)에 에어를 분출하여 상기 글라스 디스크(200)를 상기 슬롯(121b)의 외부로 배출시킬 수 있는 복수개의 에어 공급라인(133)을 더 포함한다. 즉, 상기 바디부(131)에 형성된 에어 공급라인(133)은 상기 바디부(131)에 형성된 슬롯(131b)에 삽입되어 있는 글라스 디스크(200)에 에어를 분출함으로써 상기 슬롯(131b)에 삽입되어 있는 글라스 디스크(200)가 상기 슬롯(131b)으로부터 용이하게 배출될 수 있도록 한다. 예를 들면, 상기 에어 공급라인(133)은 도 2에 도시된 바와 같이 복수개의 진공 형성라인(132)의 양측에 위치하도록 상기 바디부(131)에 형성되어 진공 형성라인(132)의 양측에서 에어를 글라스 디스크(200)에 동일한 압력으로 분출하여 상기 슬롯(131b)으로부터 글라스 디스크(200)가 보다 안정적으로 배출될 수 있도록 한다. 즉, 도 2에 도시된 바와 같이 3개의 진공 형성라인(132) 외측에 위치하도록 한 쌍의 에어 공급라인(133)이 상기 바디부(131)에 형성되어 한 쌍의 에어 공급라인(133)이 글라스 디스크(200)의 중심에서부터 동일한 위치에 동일한 압력으로 에어를 상기 글라스 디스크(200)에 분출할 수 있도록 함으로써 상기 슬롯(131b)으로부터 글라스 디스크(200)가 보다 안정적으로 배출될 수 있도록 한다.In addition, the finger 130 is formed to communicate with the slot 131b in the body portion 131 to eject the air to the glass disk 200 is inserted into the slot 131b to the glass disk 200 It further comprises a plurality of air supply line 133 that can be discharged to the outside of the slot (121b). That is, the air supply line 133 formed in the body portion 131 is inserted into the slot 131b by ejecting air into the glass disk 200 inserted into the slot 131b formed in the body portion 131. The glass disk 200 can be easily discharged from the slot (131b). For example, the air supply line 133 is formed in the body portion 131 so as to be located on both sides of the plurality of vacuum forming line 132 as shown in Figure 2 on both sides of the vacuum forming line 132 Air is ejected to the glass disk 200 at the same pressure so that the glass disk 200 can be more stably discharged from the slot 131b. That is, as shown in FIG. 2, a pair of air supply lines 133 are formed in the body part 131 so as to be located outside the three vacuum forming lines 132 so that a pair of air supply lines 133 are formed. By allowing air to be ejected to the glass disk 200 at the same pressure from the center of the glass disk 200, the glass disk 200 can be more stably discharged from the slot 131b.

상기와 같이 바디부(131)에 형성된 슬롯(131b)에 글라스 디스크(200)를 진공 흡착시킬 수 있도록 상기 진공 형성라인(132)에 연결되는 에어라인들(도시되지 않음)과, 상기 슬롯(121b)에 삽입된 글라스 디스크(200)에 에어를 분출함으로써 상기 글라스 디스크(200)를 슬롯(131b) 외부로 배출시킬 수 있도록 하는 상기 에어 공급라인(133)에 연결되는 에어라인들(도시되지 않음)은 상기 이동블록(110)과 연결되도록 베이스(140)에 설치되는 케이블베이어(Cableveyor : 160)에 의해 보호된다.Air lines (not shown) connected to the vacuum forming line 132 to vacuum-adsorb the glass disc 200 to the slot 131b formed in the body 131 as described above, and the slot 121b. Air lines (not shown) connected to the air supply line 133 for discharging the glass disk 200 to the outside of the slot 131b by blowing air to the glass disk 200 inserted in the Is protected by a cable carrier (Cableveyor: 160) installed in the base 140 to be connected to the moving block 110.

또한, 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치는 상기 핑거(130)가 설치된 이동블록(110)에 설치되는 오버로드 센서(170)를 더 포함할 수 있다. 상기 오버로드 센서(170)는 상기 핑거(130)에 걸치는 부하를 감지할 수 있도록 한다.In addition, the glass disk conveying apparatus according to an embodiment of the present invention may further include an overload sensor 170 installed in the moving block 110 is installed with the finger 130. The overload sensor 170 may detect a load applied to the finger 130.

또한, 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치는 상기 슬라이딩 수단(100)인 LM 가이드의 양측 끝단부에 위치하도록 상기 베이스(140)에 설치되는 한 쌍의 제 1, 2 포지션 스토퍼(181, 182)를 더 포함한다. 상기 제 1 포지션 스토퍼(181)는 상기 LM 가이드에 의해 이동블록(110) 및 핑거(130)가 카세트 방향으로 일정거리 만큼 전진하게 되면, 상기 이동블록(110)과 접촉되어 상기 구동수단(120)의 작동이 정지되도록 하여 핑거(130)가 더 이상 전진되지 않도록 한다. 상기 제 2 포지션 스토퍼(182)는 상기 LM 가이드에 의해 이동블록(110) 및 핑거(130)가 카세트의 외부로 일정거리 만큼 후진하게 되면, 상기 이동블록(110)과 접촉되어 상기 구동수단(120)의 작동이 정지되도록 하여 핑거(130)가 더 이상 후진되지 않도록 한다.
In addition, the glass disk conveying apparatus according to an embodiment of the present invention is a pair of first and second position stoppers 181 installed on the base 140 to be located at both ends of the LM guide that is the sliding means 100. 182). The first position stopper 181 is in contact with the moving block 110 when the moving block 110 and the finger 130 is advanced by a predetermined distance in the cassette direction by the LM guide, the driving means 120 The operation of the stop so that the finger 130 is no longer advanced. The second position stopper 182 is in contact with the movable block 110 when the movable block 110 and the finger 130 are moved backward by a predetermined distance by the LM guide, the driving means 120 ) Is stopped so that the finger 130 is no longer reversed.

도 1 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치를 사용하여 카세트에 적층된 복수개의 글라스 디스크를 글라스 테이블로 로딩시키는 과정과 상기 글라스 테이블에 로딩되어 크기 및 두께 선별 과정을 마친 글라스 디스크를 상기 글라스 테이블로부터 카세트로 언로딩 하는 과정에 대하여 설명하면 다음과 같다.Using the glass disk conveying apparatus according to an embodiment of the present invention with reference to Figures 1 to 7 loading a plurality of glass disks stacked on the cassette to a glass table and the size and thickness screening process loaded on the glass table The process of unloading the glass disk from the glass table to the cassette is described as follows.

도 4 내지 도 7은 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치를 사용하여 카세트에 적층된 글라스 디스크를 글라스 테이블로 로딩시키는 과정을 설명하기 위한 도면이다.4 through 7 are views for explaining a process of loading a glass disk stacked in a cassette into a glass table using a glass disk conveying apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치를 사용하여 카세트(300)에 적재되어 있는 HDD용 글라스 디스크(200)를 글라스 테이블(400)로 로딩시키기 위해서는 먼저, 도 4에 도시된 바와 같이 핑거(130)가 카세트(300)의 외부에 위치한 상태에서 구동수단(120)인 로드리스 실린더를 작동시켜 상기 로드리스 실린더와 연결된 슬라이딩 수단(100)인 LM 가이드의 가이드 블록(101)을 카세트(300) 방향으로 슬라이딩 이동시킨다.In order to load the HDD glass disk 200 loaded in the cassette 300 into the glass table 400 using the glass disk conveying apparatus according to an embodiment of the present invention, first, as shown in FIG. The guide block 101 of the LM guide, which is the sliding means 100 connected to the rodless cylinder, is operated by operating the rodless cylinder which is the driving means 120 while the 130 is located outside the cassette 300. Sliding direction).

상기와 같이 LM 가이드의 가이드 블록(101)이 카세트(300) 방향으로 슬라이딩 이동되면 상기 가이드 블록(101)에 설치된 이동블록(110)과 상기 이동블록(110)에 설치된 핑거(130)가 상기 가이드 블록(101)과 연동되어 카세트(300) 방향으로 이동을 하게 되어 상기 핑거(130)의 끝단부가 도 5에 도시된 바와 같이 글라스 디스크(200)가 적재되어 있는 카세트(300) 내부로 삽입된다. 이때, 상기 글라스 디스크(200)는 상기 핑거(130)의 슬롯(131b)에 삽입된 상태가 된다.As described above, when the guide block 101 of the LM guide slides toward the cassette 300, the moving block 110 installed in the guide block 101 and the finger 130 installed in the moving block 110 are guided. Interlocked with the block 101 to move toward the cassette 300, the end of the finger 130 is inserted into the cassette 300, the glass disk 200 is loaded as shown in FIG. In this case, the glass disk 200 is inserted into the slot 131b of the finger 130.

상기와 같은 상태에서 진공 형성라인(132)을 통해 에어를 흡입하게 되면, 상기 핑거(130)의 슬롯(131b)에 상기 글라스 디스크(200)가 진공 흡착된다.When the air is sucked through the vacuum forming line 132 in the above state, the glass disc 200 is vacuum-adsorbed to the slot 131b of the finger 130.

상기와 같이 핑거(130)의 슬롯(131b)에 상기 글라스 디스크(200)가 진공 흡착되면, 상기 구동수단(120)인 로드리스 실린더를 다시 작동시켜 상기 LM 가이드를 따라 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 상기 핑거(130)를 글라스 테이블(400) 측으로 이동시켜 상기 핑거(130)에 진공 흡착된 글라스 디스크(200)를 상기 글라스 테이블(400)의 적재 홈부(410)로 삽입시킨다.As described above, when the glass disc 200 is vacuum-adsorbed to the slot 131b of the finger 130 as described above, the rodless cylinder, which is the driving means 120, is operated again, and thus, shown in FIGS. 6 and 7 along the LM guide. As described above, the finger 130 is moved to the glass table 400 to insert the glass disk 200 vacuum-adsorbed to the finger 130 into the loading groove 410 of the glass table 400.

상기와 같이 핑거(130)에 글라스 디스크(200)를 진공 흡착하여 글라스 테이블(400)의 적재 홈부(410)로 삽입시킨 다음에는, 상기 진공 형성라인(132)을 통한 에어 흡입을 중단하여 상기 글라스 디스크(200)가 핑거(130)의 슬롯(131b)에 진공 흡착된 상태를 해제시킨다.As described above, the glass disk 200 is vacuum-adsorbed to the finger 130 and inserted into the loading groove 410 of the glass table 400. Then, the suction of the air through the vacuum forming line 132 is stopped to stop the glass. The disk 200 releases the vacuum suction state to the slot 131b of the finger 130.

상기와 같이 핑거(130)의 슬롯(131b)에 글라스 디스크(200)가 진공 흡착된 상태를 해제시킨 다음에는 구동수단(120)인 로드리스 실린더를 작동시켜 LM 가이드를 따라 상기 핑거(130)를 카세트(200)의 외부로 이동시킴과 동시에 에어 공급라인(133)을 통해 상기 슬롯(131b)에 삽입된 글라스 디스크(200)에 에어를 분출하여 상기 슬롯(131b)으로부터 글라스 디스크(200)가 배출되도록 하여 상기 글라스 디스크(200)를 글라스 테이블(400)에 로딩시키는 작업을 완료하게 된다.As described above, after releasing the vacuum suction state of the glass disc 200 in the slot 131b of the finger 130, the rodless cylinder, which is the driving means 120, is operated to move the finger 130 along the LM guide. The glass disk 200 is discharged from the slot 131b by moving air to the outside of the cassette 200 and simultaneously ejecting air to the glass disk 200 inserted into the slot 131b through the air supply line 133. The loading of the glass disk 200 to the glass table 400 is completed.

한편, 상기 글라스 테이블(400)에서 크기 및 두께 검사작업을 마친 글라스 디스크(200)를 상기 글라스 테이블(400)로부터 언로딩 시키기 위해서는 먼저, 도 7에 도시된 바와 같이 상기 구동수단(120 : 도 1 참조)인 로드리스 실린더를 작동시켜 상기 핑거(130)를 글라스 테이블(400)의 적재 홈부(410)에 안착된 글라스 디스크(200) 측으로 이동시켜 상기 핑거(130)의 슬롯(131b)에 상기 글라스 디스크(200)의 일측이 삽입되도록 한다. 이때, 상기 핑거(130)는 상기 글라스 디스크(200)를 언로딩 시킬 카세트(200)를 관통한 상태가 된다.On the other hand, in order to unload the glass disk 200, the size and thickness inspection operation in the glass table 400 from the glass table 400, first, as shown in FIG. The fingerless 130 is moved toward the glass disk 200 seated on the loading groove 410 of the glass table 400 to operate the rodless cylinder of the glass 130 in the slot 131b of the finger 130. One side of the disk 200 is inserted. In this case, the finger 130 passes through the cassette 200 to unload the glass disk 200.

상기와 같은 상태에서 진공 형성라인(132)을 통해 에어를 흡입하게 되면, 상기 핑거(130)의 슬롯(131b)에 상기 글라스 디스크(200)가 진공 흡착된다.When the air is sucked through the vacuum forming line 132 in the above state, the glass disc 200 is vacuum-adsorbed to the slot 131b of the finger 130.

상기와 같이 핑거(130)의 슬롯(131b)에 상기 글라스 디스크(200)가 진공 흡착되면, 상기 구동수단(120)인 로드리스 실린더를 작동시켜 상기 LM 가이드를 따라 도 6에 도시된 바와 같이 상기 핑거(130)를 카세트(300) 측으로 이동시킨다.When the glass disc 200 is vacuum-adsorbed to the slot 131b of the finger 130 as described above, the rodless cylinder which is the driving means 120 is operated to follow the LM guide as shown in FIG. 6. The finger 130 is moved to the cassette 300 side.

상기와 같이 핑거(130)를 카세트(300) 측으로 이동시켜 상기 핑거(130)에 진공 흡착된 글라스 디스크(200)가 도 5에 도시된 바와 같이 카세트(300) 내에 삽입되면 상기 진공 형성라인(132)을 통한 에어 흡입을 중단하여 상기 글라스 디스크(200)가 핑거(130)의 슬롯(131b)에 진공 흡착된 상태를 해제시킨다.As described above, when the finger 130 is moved toward the cassette 300 and the glass disk 200 vacuum-adsorbed to the finger 130 is inserted into the cassette 300 as shown in FIG. 5, the vacuum forming line 132 Air suction through the) is stopped to release the vacuum suction of the glass disc 200 to the slot 131b of the finger 130.

상기와 같이 핑거(130)의 슬롯(131b)에 글라스 디스크(200)가 진공 흡착된 상태를 해제시킨 다음에는, 구동수단(120)인 로드리스 실린더를 작동시켜 LM 가이드를 따라 상기 핑거(130)를 카세트(300)의 외부로 이동시킴과 동시에 에어 공급라인(133)을 통해 상기 슬롯(131b)에 삽입된 글라스 디스크(200)에 에어를 분출하여 상기 슬롯(131b)으로부터 글라스 디스크(200)가 배출되도록 하여 상기 글라스 디스크(200)를 카세트(300)에 언로딩시키는 작업을 완료하게 된다.After releasing the vacuum disk suction state of the glass disk 200 in the slot 131b of the finger 130 as described above, by operating the rodless cylinder, the driving means 120, the finger 130 along the LM guide To the outside of the cassette 300 and at the same time ejects air to the glass disk 200 inserted into the slot 131b through the air supply line 133 to the glass disk 200 from the slot 131b. It is discharged to complete the operation of unloading the glass disk 200 to the cassette 300.

상술한 바와 같이 본 발명의 일실시예에 의한 글라스 디스크 반송장치는 HDD용 글라스 디스크(200)의 크기 및 두께를 검사하기 위하여 상기 글라스 디스크(200)를 글라스 테이블(400)로 로딩시키거나 크기 및 두께 검사를 마친 글라스 디스크(200)를 카세트(300)로 언로딩 시킬 시 핑거(130)에 글라스 디스크(200)의 측면의 일부만 접촉되도록 상기 글라스 디스크(200)를 핑거(130)에 진공 흡착시킴으로써 글라스 디스크(200)와 핑거(130)와의 사이의 접촉면적을 최소화시킬 수 있도록 한다. As described above, the glass disk conveying apparatus according to an embodiment of the present invention loads the glass disk 200 into the glass table 400 or checks the size and thickness of the HDD glass disk 200. When unloading the glass disk 200 after the thickness test with the cassette 300, the glass disk 200 is vacuum-adsorbed to the finger 130 so that only a part of the side surface of the glass disk 200 is in contact with the finger 130. The contact area between the glass disc 200 and the finger 130 can be minimized.

또한, 본 발명은 상기 글라스 디스크(200)의 크기 및 두께를 검사하기 위하여 상기 글라스 디스크(200)를 운반할 시 접촉에 의한 손상이 발생되어도 되는 글라스 디스크(200)의 측면부만 핑거(130)와 접촉됨으로써 접촉에 의한 글라스 디스크(200)의 상부면 손상이 발생되지 않아 글라스 디스크(200)의 이송 안정성을 확보할 수 있음은 물론 검사 속도와 정확성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.In addition, the present invention is the finger 130 and the only side portion of the glass disk 200 may be damaged by contact when carrying the glass disk 200 to check the size and thickness of the glass disk 200 Since the upper surface of the glass disk 200 due to the contact does not occur by contact, the transport stability of the glass disk 200 may be secured, and the inspection speed and accuracy may be improved.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.In the detailed description of the present invention described above with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art or those skilled in the art having ordinary skill in the art will be described in the claims to be described later It will be understood that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the scope of the present invention.

(130) : 핑거 (131) : 바디부
(131a) : 관통 홀 (131b) : 슬롯
(131c) : 홈부 (132) : 진공 형성라인
(133) : 에어 공급라인
130: finger 131: body part
131a: through hole 131b: slot
131c: Groove 132: vacuum forming line
133: air supply line

Claims (6)

카세트로부터 글라스 테이블로 글라스 디스크를 로딩시키거나, 글라스 테이블로부터 카세트로 글라스 디스크를 언로딩시키는 글라스 디스크 반송장치에 있어서,
상기 글라스 디스크의 일측을 진공으로 흡착하여 상기 글라스 테이블로 로딩시키거나, 상기 카세트로 언로딩 시키는 핑거를 포함하며,
상기 핑거는,
상기 글라스 디스크의 일측이 삽입되는 슬롯과, 상기 슬롯과 연통되도록 형성되는 홈부를 구비하는 바디부;
상기 홈부와 연통되도록 상기 바디부에 상기 글라스 디스크를 진공 흡착하여 상기 홈부에 상기 글라스 디스크를 안착시키는 적어도 하나의 진공 형성라인; 및
상기 슬롯과 연통되도록 상기 바디부에 형성되어, 상기 슬롯에 에어를 분출하여 상기 글라스 디스크를 상기 슬롯 외부로 배출시키는 에어 공급라인을 포함하는 글라스 디스크 반송장치.
A glass disk conveying apparatus for loading a glass disk from a cassette into a glass table or unloading a glass disk from a glass table into a cassette,
A finger which sucks one side of the glass disc into a vacuum to load the glass table or to unload the cassette;
Wherein the finger comprises:
A body part having a slot into which one side of the glass disc is inserted and a groove formed to communicate with the slot;
At least one vacuum forming line configured to vacuum-adsorb the glass disc to the body part so as to communicate with the groove part to seat the glass disc in the groove part; And
And an air supply line formed in the body part so as to communicate with the slot and discharging air to the slot to discharge the glass disc out of the slot.
삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 에어 공급라인은,
상기 진공 형성라인의 양측에 위치하도록 상기 바디부에 형성되는 것을 특징으로 하는 글라스 디스크 반송장치.
The method of claim 1,
The air supply line,
The glass disk conveying apparatus, characterized in that formed in the body portion to be located on both sides of the vacuum forming line.
제 1 항에 있어서,
상기 슬롯이 형성되는 바디부의 측면부와 상기 슬롯은 상기 글라스 디스크가 일정한 깊이로 상기 슬롯에 삽입될 수 있도록 호 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 글라스 디스크 반송장치.
The method of claim 1,
The side portion of the body portion and the slot in which the slot is formed is a glass disk conveying apparatus, characterized in that formed in an arc shape so that the glass disk can be inserted into the slot to a certain depth.
제 1 항에 있어서,
상기 핑거는 복수개가 적층되어 복수개의 글라스 디스크를 한 번에 진공 흡착하여 상기 글라스 테이블로 로딩시키거나, 상기 카세트로 언로딩 시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 글라스 디스크 반송장치.
The method of claim 1,
The plurality of fingers are stacked, the glass disk conveying apparatus, characterized in that the plurality of glass disks are vacuum-adsorbed at a time to be loaded into the glass table or unloaded into the cassette.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023074933A1 (en) * 2021-10-27 2023-05-04 주식회사 세정로봇 Wafer vacuum pickup device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0836752A (en) * 1994-07-25 1996-02-06 Hitachi Electron Eng Co Ltd Vacuum chucking mechanism for magnetic disk
KR980011736A (en) * 1996-07-29 1998-04-30 김광호 Vacuum line of semiconductor manufacturing equipment
KR20020037132A (en) * 2000-11-13 2002-05-18 윤종용 An adsorption apparatus for wafer conveyer
JP2008264973A (en) * 2007-04-24 2008-11-06 Olympus Corp Suction hand, suction apparatus and suction method of workpiece

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0836752A (en) * 1994-07-25 1996-02-06 Hitachi Electron Eng Co Ltd Vacuum chucking mechanism for magnetic disk
KR980011736A (en) * 1996-07-29 1998-04-30 김광호 Vacuum line of semiconductor manufacturing equipment
KR20020037132A (en) * 2000-11-13 2002-05-18 윤종용 An adsorption apparatus for wafer conveyer
JP2008264973A (en) * 2007-04-24 2008-11-06 Olympus Corp Suction hand, suction apparatus and suction method of workpiece

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023074933A1 (en) * 2021-10-27 2023-05-04 주식회사 세정로봇 Wafer vacuum pickup device

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