KR101255907B1 - Sludge Filter Recycling System With Cleaning Fluid - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 유리 기판 등을 에칭 용액으로 에칭하는 과정에서 발생하는 슬러지를 걸러내는 필터의 재활용 시스템에 관한 것으로, 슬러지 필터를 구성하는 수천장의 디스크 필터가 사용 후 폐기되어 폐기물에 의한 환경오염 및 슬러지 필터 구입 비용의 부담을 해결하고자 한 것이다.
본 발명에 따르면, 디스크 필터를 물 세척하고, 지그에 고정하여 알칼리 용액에 불린 후, 초음파 발생기로 초음파 세척하여 미세 슬러지까지 모두 털어내 디스크 필터를 재활용하게 하여 친환경 및 비용절감을 모두 이룰 수 있다. The present invention relates to a recycling system for a filter that filters sludge generated in the process of etching a glass substrate or the like with an etching solution, in which thousands of disk filters constituting the sludge filter are discarded after use, thereby causing environmental pollution and sludge. To solve the burden of the filter purchase cost.
According to the present invention, the disk filter is washed with water, fixed in a jig, soaked in an alkaline solution, and then ultrasonically cleaned with an ultrasonic generator to shake off all the fine sludge to recycle the disk filter, thereby achieving both eco-friendliness and cost reduction.
Description
본 발명은, 유리 기판 등을 에칭 용액으로 에칭하는 과정에서 발생하는 슬러지를 걸러내는 필터의 재활용 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to a filter recycling system for filtering sludge generated in the process of etching a glass substrate or the like with an etching solution.
디스플레이 패널용 유리 기판, OLED 조명용 유리 기판 등의 유리 기판을 에칭 용액으로 슬리밍 가공하거나 캐비티를 형성하기 위해 에칭하는 경우, 에칭 용액을 유리 기판에 스프레이로 분사하거나 다운플로어 방식으로 에칭 용액을 흘려주어 유리 기판을 원하는 수준으로 얇게 가공하거나 소정의 캐비티를 형성한다. 이러한 에칭 용액에 의한 에칭 작용으로 인해 유리 기판으로부터 떨어져 나오는 유리 슬러지는 에칭 용액에 포함되게 되며, 슬러지가 에칭 용액 속에 많아지면, 에칭 불량이 발생할 수 있다. 따라서 에칭 공정 중 발생하는 슬러지를 에칭 용액으로부터 걸러내는 슬러지 필터를 필요로 하게 된다. 슬러지 필터를 사용하여, 에칭 용액에 포함된 슬러지를 걸러내고 이렇게 걸러진 에칭 용액은 슬리밍 공정 등에 재사용할 수 있어 슬러지 필터의 사용은 자원절약과 환경문제에 있어 필수적이라 할 수 있다. When glass substrates such as glass substrates for display panels and glass substrates for OLED lighting are etched to be slimmed or formed into cavities, the etching solution is sprayed onto the glass substrate or the etching solution is flowed in a down-floor manner The substrate is thinned to a desired level or a predetermined cavity is formed. The glass sludge which is separated from the glass substrate due to the etching action by the etching solution is included in the etching solution, and when the sludge is increased in the etching solution, etching failure may occur. Therefore, a sludge filter which filters the sludge generated during the etching process from the etching solution is required. By using the sludge filter, the sludge contained in the etching solution can be filtered out and the filtered etching solution can be reused in the slimming process and the like. Therefore, the use of the sludge filter is essential for resource saving and environmental problems.
슬러지 필터는, 여과 포 등으로 구성할 수도 있으나, 바람직하게는 디스크형 필터를 사용한다. 즉, 섬유, 테플론 또는 폴리프로필렌 등의 재질로 만든 디스크형 필터를 중심부의 막대에 촘촘히 포개어 고정하고 이렇게 만든 슬러지 필터를 에칭 용액의 순환로에 설치하여 에칭 용액을 통과시키면, 미세 입도의 슬러지를 포함한 유리 슬러지 등의 슬러지가 디스크형 필터의 디스크면과 디스크와 디스크 사이에 잔류하게 되어 걸리지므로, 에칭 용액은 여러 차례 에칭 공정에 재활용될 수 있다. 그러나, 이와 같이 구성한 슬러지 필터 역시 10여 차례 에칭 용액이 순환되고 나면 교체를 요하고 결국 폐기하게 된다. 슬러지 필터의 성능을 고려해 최대한 촘촘히 디스크를 포개어 배치하기 때문에 하나의 중심 막대에 고정되는 디스크가 1,000 장 내외이기 때문에 폐기되는 슬러지 필터에 포함되는 디스크의 양 또한 수 천장으로 막대하여 자원 낭비이자 친환경적이지 못하다는 문제가 여전히 남는다. The sludge filter may be composed of a filter cloth or the like, but preferably, a disc filter is used. In other words, a disk-shaped filter made of a material such as fiber, Teflon or polypropylene is closely piled up and fixed on a rod in the center, and the sludge filter thus formed is installed in the circulation path of the etching solution and passed through the etching solution. Since sludge, such as sludge, is retained between the disk surface of the disk-shaped filter and the disk and the disk, the etching solution can be recycled to the etching process many times. However, the sludge filter configured as described above also needs to be replaced and eventually discarded after the etching solution is circulated about 10 times. Since the disks are stacked as closely as possible in consideration of the performance of the sludge filter, the number of disks included in the sludge filter that is discarded is enormous to several ceilings because the disk fixed to one center bar is about 1000 sheets. The problem still remains.
따라서, 본 발명의 목적은 에칭 공정에 사용되는 슬러지 필터의 재활용 시스템을 제공하고자 하는 것이다. It is therefore an object of the present invention to provide a recycling system of sludge filters used in etching processes.
본 발명은, The present invention,
에칭 공정의 에칭 용액 순환로에 배치했던 슬러지 필터에 포함되는 다수의 디스크 필터를 고정하는 지그;A jig for fixing a plurality of disk filters included in the sludge filter disposed in the etching solution circuit of the etching process;
상기 디스크 필터가 고정된 지그를 세정 용액에 액침 할 수 있는 용액조;및A solution tank capable of immersing a jig in which the disk filter is fixed in a cleaning solution; and
상기 용액조에 설치되는 초음파 발생기;를 포함하고,And; an ultrasonic generator installed in the solution tank;
상기 지그는 다수의 디스크 필터를 각각 소정 간격을 두고 고정하도록 소정 간격으로 배열된 톱니형 고정부를 포함하고, The jig includes a toothed fixing portion arranged at predetermined intervals to fix the plurality of disk filters at predetermined intervals, respectively,
상기 지그에 고정된 디스크 필터를 세정 용액이 담긴 상기 용액조에 액침하여 불리고;The disc filter fixed to the jig is immersed in the solution bath containing the cleaning solution;
세정 용액으로 불린 상기 다수의 디스크 필터에 초음파를 발사하여 디스크 필터에 잔류하는 슬러지를 제거하여, 디스크 필터를 재활용할 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 슬러지 필터 재활용 시스템을 제공할 수 있다. The sludge filter recycling system may be provided by emitting ultrasonic waves to the plurality of disk filters called cleaning solutions to remove sludge remaining in the disk filters, thereby allowing the disk filters to be recycled.
또한, 본 발명은, Further, according to the present invention,
에칭 공정의 에칭 용액 순환로에 배치했던 슬러지 필터에 포함되는 다수의 디스크 필터를 고정하는 지그;A jig for fixing a plurality of disk filters included in the sludge filter disposed in the etching solution circuit of the etching process;
상기 디스크 필터가 고정된 지그를 세정 용액에 액침 할 수 있는 제1 용액조;및A first solution tank capable of immersing a jig in which the disk filter is fixed in a cleaning solution; and
물 또는 세정 용액을 담는 제2 용액조에 설치되는 초음파 발생기;를 포함하고,And an ultrasonic generator installed in the second solution tank containing the water or the cleaning solution.
상기 지그는 다수의 디스크 필터를 각각 소정 간격을 두고 고정하도록 소정 간격으로 배열된 톱니형 고정부를 포함하고, The jig includes a toothed fixing portion arranged at predetermined intervals to fix the plurality of disk filters at predetermined intervals, respectively,
상기 지그에 고정된 디스크 필터를 세정 용액이 담긴 상기 제1 용액조에 액침하여 불리고;The disc filter fixed to the jig is immersed in the first solution bath containing the cleaning solution;
세정 용액으로 불린 상기 다수의 디스크 필터를 상기 제2 용액조에 넣고 초음파를 발사하여 디스크 필터에 잔류하는 슬러지를 제거하여, 디스크 필터를 재활용할 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 슬러지 필터 재활용 시스템을 제공할 수 있다. It is possible to provide a sludge filter recycling system, characterized in that the plurality of disk filters, called a cleaning solution, is put in the second solution tank and ultrasonic waves are removed to remove sludge remaining in the disk filters, thereby allowing the disk filters to be recycled. have.
또한, 본 발명은, 상기 슬러지 필터 재활용 시스템에 있어서, 세정 용액은 알칼리 용액이거나, 옥틸페녹시폴리에톡시에탄올(Octylphenoxypoly-ethoxyethanol(Triton-X100)), 폴리에틸렌글리콜(Polyethylene-glycol), 에틸렌글리콜모노부틸에테르(Ethylene-glycol-monobutyl-ether), 디프로필렌글리콜모노메틸에테르(Dipropylene-Glycol-Monomethyl-ether), 음이온 계면활성제 및 물을 혼합하여 제조된 용액인 것을 특징으로 하는 슬러지 필터 재활용 시스템을 제공할 수 있다. In addition, the present invention, in the sludge filter recycling system, the cleaning solution is an alkaline solution, octylphenoxypoly-ethoxyethanol (Triton-X100), polyethylene glycol (polyethylene-glycol), ethylene glycol mono Provides a sludge filter recycling system, characterized in that a solution prepared by mixing butyl ether (glycol-monobutyl-ether), dipropylene glycol monomethyl ether, anionic surfactant and water can do.
또한, 본 발명은, 에칭 공정의 에칭 용액 순환로에 배치했던 슬러지 필터에 포함되는 다수의 디스크 필터를 슬러지 필터 하우징에서 이탈시켜 스프레이를 이용한 물 세척으로 강산 성분을 씻어내고 슬러지 일부를 제거하는 전 처리 세척을, 상기 지그에 상기 디스크 필터를 고정하기 전에 실시하는 것을 특징으로 하는 슬러지 필터 재활용 시스템을 제공할 수 있다. In addition, the present invention, a plurality of disk filters included in the sludge filter disposed in the etching solution circulation path of the etching process is removed from the sludge filter housing to wash the strong acid component by water washing using a spray to remove a portion of the sludge, pre-treatment washing It is possible to provide a sludge filter recycling system, characterized in that carried out before fixing the disk filter to the jig.
또한, 본 발명은, 상기 지그의 톱니형 고정부는, 1 내지 10 mm의 톱니 폭과 1 내지 10 mm의 톱니와 톱니 사이의 간격을 포함하는 것을 특징으로 하는 슬러지 필터 재활용 시스템을 제공할 수 있다. In addition, the present invention, it is possible to provide a sludge filter recycling system, characterized in that the toothed fixing portion of the jig comprises a tooth width of 1 to 10 mm and the distance between the tooth and the tooth of 1 to 10 mm.
또한, 본 발명은, 상기 지그에 고정된 디스크 필터를 액침하여 불리는 알칼리 용액의 온도는 50 내지 85 ℃이고, 액침 시간은 10 내지 60 분으로 하는 것을 특징으로 하는 슬러지 필터 재활용 시스템을 제공할 수 있다.In addition, the present invention can provide a sludge filter recycling system, characterized in that the temperature of the alkaline solution called by immersing the disk filter fixed to the jig is 50 to 85 ℃, immersion time is 10 to 60 minutes. .
또한, 본 발명은, 상기 제 1용액조에 넣는 알칼리 용액의 온도는 50 내지 85 ℃이고, 액침 시간은 10 내지 60 분으로 하고, 상기 제2 용액조에 넣는 물 또는 알칼리 용액의 온도는 50 내지 85 ℃ 인 것을 특징으로 하는 슬러지 필터 재활용 시스템을 제공할 수 있다.In addition, in the present invention, the temperature of the alkaline solution in the first solution bath is 50 to 85 ° C, the immersion time is 10 to 60 minutes, and the temperature of the water or alkaline solution in the second solution bath is 50 to 85 ° C. It is possible to provide a sludge filter recycling system characterized in that.
또한, 본 발명은, 상기 슬러지 필터 재활용 시스템에서, 알칼리 용액으로 불린 상기 다수의 디스크 필터에 초음파를 발사하는 시간은 1 내지 60 분임을 특징으로 하는 슬러지 필터 재활용 시스템을 제공할 수 있다.In addition, the present invention, in the sludge filter recycling system, it is possible to provide a sludge filter recycling system, characterized in that the time for emitting ultrasonic waves to the plurality of disk filters called an alkaline solution is 1 to 60 minutes.
본 발명에 따르면, 에칭 공정에 사용되는 에칭 용액 재활용을 위한 슬러지 필터를 1 회 사용 후 폐기하는 것이 아니라 세정하여 재활용할 수 있으므로 친환경적이며, 슬러지 필터 구입비용을 현저히 줄일 수 있어 1석2조의 효과를 낼 수 있다. According to the present invention, the sludge filter for recycling the etching solution used in the etching process can be cleaned and recycled instead of being discarded after one use. I can make it.
도 1은 슬러지 필터의 구성을 나타내는 단면 구성도 및 사진이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 슬러지 필터 재활용 시스템의 디스크 필터용 지그의 사진 및 지그의 톱니 구성을 보여주는 단면도이다.
도 3은 본 발명의 디스크 필터를 상기 지그에 고정시킨 모습을 보여주는 사진이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 슬러지 필터 재활용 시스템의 구성을 나타내는 평면도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a sectional configuration diagram and a photograph showing a configuration of a sludge filter.
2 is a cross-sectional view showing a photograph of a disc filter jig and a tooth configuration of a jig of a sludge filter recycling system according to a preferred embodiment of the present invention.
3 is a photograph showing a state in which the disk filter of the present invention is fixed to the jig.
A plan view showing a configuration of a sludge filter recycling system according to a preferred embodiment of the present invention.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 첨부 도면을 참조하여 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 유리 등의 에칭 공정에서 발생하는 슬러지를 걸러내는 슬러지 필터(100)의 구성을 설명하기 위한 구성도와 그에 따라 구성된 슬러지 필터(100) 사진이다. 폴리프로필렌이나 테플론 그외 섬유 등으로 만든 도넛 형 디스크 필터(110)를 슬러지 필터 고정 막대(120)에 끼워 압축하여 슬러지 필터를 구성하면 사진과 같이 된다. 이렇게 구성한 슬러지 필터(100)를 그 하우징(미도시) 안에 넣어 에칭 용액의 순환 경로에 배치하여 에칭 공정에서 발생한 슬러지를 걸러내는 것이다. 상기 슬러지 필터(100)에 의해 수차례 재활용된 에칭 용액을 사용하면 슬러지 필터(100)에 슬러지가 누적되어 여과 성능이 저하되고, 그에 따라 에칭 공정 불량이 발생하게 된다. 따라서 수차례 에칭 용액을 재활용한 후 슬러지 필터(100)를 하우징에서 꺼내어 폐기하게 되는데, 이때 수 천장의 디스크 필터(110)가 폐기된다. 이에 따라 본 발명자들은 디스크 필터(110)를 세척하여 재활용할 수 있는 방안을 모색한 것이다. FIG. 1 is a block diagram illustrating the structure of a sludge filter 100 for filtering sludge generated in an etching process such as glass and a photograph of a sludge filter 100 configured accordingly. A
즉, 수차례 에칭 용액의 순환 재활용 이후, 슬러지 필터(100)를 하우징에서 꺼내어 먼저 고압 스프레이를 이용해 물 세척을 한다. 물 세척 공정은 도 1의 사진과 같이 다수의 디스크 필터(110)가 슬러지 필터 고정 막대(120)에 고정 및 압축된 상태에서 압축을 다소 해제하여 디스크 필터(110)에 잔류하는 강산성분을 제거하고 슬러지 일부를 제거하는 효과가 있다. 에칭 용액의 성분은 강산을 띠고 있으므로, 이와 같은 전 처리 세척은 이후 실시될 불림 공정과 초음파 세척 공정에서 미세 슬러지를 제거하는 데 유리하게 작용한다. 따라서 전 처리 세척은 생략할 수도 있으나 가급 실시하는 것이 바람직하다.That is, after cyclic recycling of the etching solution several times, the sludge filter 100 is taken out of the housing and washed first using a high pressure spray. In the water washing process, as shown in FIG. 1, the plurality of
전 처리 세척에 사용되는 고압 스프레이 세척기의 마력은 특별히 제한되지 않으며 전 처리 세척 시간은 1 내지 20 분, 바람직하게는 10 분 정도 할 수 있다. The horsepower of the high pressure spray washer used in the pretreatment wash is not particularly limited and the pretreatment wash time can be from 1 to 20 minutes, preferably 10 minutes.
전 처리 세척 이후, 슬러지 필터(100)에 고정되어 있던 디스크 필터(110)들을 알칼리 용액에 액침하여 불리고, 초음파를 발생하여 초음파 세척을 하여 미세 슬러지를 제거한다. 이때 수천장의 디스크 필터(110)를 슬러지 필터(100)에 고정된 상태로는 미세 슬러지를 효율적으로 제거할 수 없으며, 이러한 문제는 불림 공정에서 각 디스크 필터(110) 간의 간격이 있어야 각 디스크 필터(110)마다 충분한 불림 효과를 볼 수 있다는 점과, 초음파 세척에 있어서는 디스크 필터(110)에 발사하는 초음파의 진동으로 인한 미세 슬러지의 이탈은 디스크 필터를 초음파의 진동에 대해 안정되게 고정한 상태라야 관성의 법칙에 따라 미세 슬러지를 털어 낼 수 있는바, 본 발명은 이러한 목적에 적합한 도 2에서와 같은 지그(200)를 제안하였다. 즉, 도 2의 지그(200)는 톱니형 고정부를 다수 구비한다. 톱니(210)는 그 돌출부 위에 디스크 필터(110)를 얹어 고정하고, 이는 톱니와 톱니 사이의 간격에 디스크 필터(110)를 고정하는 것과 같으며, 톱니(210)의 폭과 톱니와 톱니 사이의 간격에 의해 다수의 디스크 필터(110) 각각은 소정의 간격을 두고 고정될 수 있다. After the pre-treatment washing, the
톱니(210)의 돌출부 길이는 10 내지 15 mm, 폭은 3 내지 5 mm, 톱니(210) 돌출부와 돌출부 사이의 간격은 2 내지 4 mm로 구성할 수 있다. 이와 같은 톱니형 지그(200)에 고정된 디스크 필터(110)를 도 3에 사진으로 나타내었다. The length of the protrusions of the
지그(200)에 고정된 다수의 디스크 필터(110)는 도 4에서와 같이 알칼리 용액이 채워진 용액조(300)에 액침된다. 용액조(300)에 채워지는 알칼리 용액은 알칼리 성분이 50 % 내외의 용액으로, 강산 성분을 중화할 수 있으며, 알칼리 용액의 온도는 50 내지 85 ℃인 것이 바람직하다. 액침으로 불리는 시간은 10 내지 60 분, 바람직하게는 30 분으로 할 수 있다. 상기 액침 공정을 통해, 미세 슬러지는 디스크 필터(110)로부터 용이하게 이탈 제거될 수 있는 상태가 된다. The plurality of
다음, 상기 용액조(300)에 초음파 발생기(450)로 초음파를 발사하여 디스크 필터(110)에 잔류하는 미세 슬러지를 털어낸다. 본 실시예에 사용된 초음파 발생기(450)는 1200 watt, 40 Hz 성능을 내는 것이나, 이에 한정되는 것은 아니다. Next, the ultrasonic wave is emitted to the
초음파 세척 시간은 1 분 내지 60 분, 바람직하게는 15 내지 40 분 정도로 할 수 있다. 지그(200)에 고정된 디스크 필터(110)는 용액조(300) 바닥과도 이격되고, 각각의 디스크 필터(110) 간에도 이격되어 있어, 초음파 발사로 인한 진동에 의해 미세 슬러지가 효율적으로 제거될 수 있다. The ultrasonic cleaning time may be about 1 minute to 60 minutes, preferably about 15 to 40 minutes. The
이와 같은 디스크 필터(110) 세척으로 인해, 사용 후 폐기되던 슬러지 필터(100)는 재활용될 수 있고, 그에 따라 에칭 공정에서 발생하는 폐기물 급감 및 비용 절감과 친환경적 효과를 낼 수 있다. Due to the cleaning of the
실제로 초음파 세척을 이용한 경우, 유리 기판의 에칭 공정에서, 디스크 필터 16매당 유리기판 2000 내지 2500 매를 슬리밍 가공한 후에야 폐기되며(디스크 필터의 파손 등으로 재활용 불가능한 상태라야 폐기함), 이는 종래 500매 정도의 유리기판 가공 후 폐기되던 것에 비해 4 내지 5 배의 재활용 효과를 나타내는 것이다. In fact, when ultrasonic cleaning is used, in the etching process of the glass substrate, it is discarded only after slimming of 2000 to 2500 sheets of glass substrates per 16 disc filters (disposable only when it is impossible to recycle due to damage of the disc filter). It shows 4 to 5 times the recycling effect compared to the waste after processing the degree of glass substrate.
또한, 상기에서 초음파 세척에 사용되는 용액을 알칼리 용액 이외에 다음과 같은 세정액으로 대체할 수 있으며, 이 경우 좀 더 단시간에 우수한 세척 효과를 볼 수 있다. In addition, the solution used for the ultrasonic cleaning in the above can be replaced with the following cleaning solution in addition to the alkaline solution, in this case it can be seen a good cleaning effect in a shorter time.
세정액은, 옥틸페녹시폴리에톡시에탄올(Octylphenoxypoly-ethoxyethanol(Triton-X100)) 5 내지 15 중량부, 폴리에틸렌글리콜(Polyethylene-glycol) 20 내지 50 중량부, 에틸렌글리콜모노부틸에테르(Ethylene-glycol-monobutyl-ether) 10 내지 35 중량부, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르(Dipropylene-Glycol-Monomethyl-ether) 2 내지 15 중량부, ALS 또는 SLES(Sodium Lauryl ether sulfate)등 음이온 계면활성제를 5 내지 25 중량부, 물 30 내지 65 중량부를 혼합한 세정용액과, 여기에 다시 물을 혼합하여 제조할 수 있다. 구성 성분을 첨가하는 순서에는 특별한 제한이 없고, 음이온 계면활성제는 하나 이상을 첨가할 수 있으며, 세정용액과 물의 첨가 비율은 조정할 수 있다.
Washing liquid is 5 to 15 parts by weight of octylphenoxypoly-ethoxyethanol (Triton-X100), 20 to 50 parts by weight of polyethylene-glycol, ethylene glycol monobutyl ether (Ethylene-glycol-monobutyl) -ether) 10 to 35 parts by weight, 2 to 15 parts by weight of dipropylene-glycol-monomethyl-ether, 5 to 25 parts by weight of anionic surfactants such as ALS or sodium lauryl ether sulfate (SLES), It can be prepared by mixing the washing solution with 30 to 65 parts by weight of water and water again. There is no particular restriction on the order of addition of the constituents, and the anionic surfactant may be added one or more, and the addition ratio of the washing solution and water may be adjusted.
본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.The rights of the present invention are not limited to the embodiments described above, but are defined by the claims, and those skilled in the art can make various modifications and adaptations within the scope of the claims. It is self-evident.
100: 슬러지 필터 110: 디스크 필터
120: 슬러지 필터 고정 막대 200: 지그
210: 톱니 300: 용액조
450: 초음파 발생기100: sludge filter 110: disk filter
120: sludge filter fixing rod 200: jig
210: tooth 300: solution bath
450: ultrasonic generator
Claims (8)
상기 디스크 필터가 고정된 지그를 세정 용액에 액침 할 수 있는 용액조;및
상기 용액조에 설치되는 초음파 발생기;를 포함하고,
상기 지그는 다수의 디스크 필터를 각각 소정 간격을 두고 고정하도록 소정 간격으로 배열된 톱니형 고정부를 포함하고,
상기 다수의 디스크 필터를 상기 지그에 고정하고 세정 용액이 담긴 상기 용액조에 액침하여 불리고,
용액조 내의 상기 다수의 디스크 필터에 초음파를 발사하여, 상기 지그의 관성과 초음파의 진동을 이용하여 디스크 필터에 잔류하는 슬러지를 제거하여, 디스크 필터를 재활용할 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 슬러지 필터 재활용 시스템. A jig for fixing a plurality of disk filters included in the sludge filter disposed in the etching solution circuit of the etching process;
A solution tank capable of immersing a jig in which the disk filter is fixed in a cleaning solution; and
And; an ultrasonic generator installed in the solution tank;
The jig includes a toothed fixing portion arranged at predetermined intervals to fix the plurality of disk filters at predetermined intervals, respectively,
Fixed by the plurality of disk filters to the jig and immersed in the solution bath containing the cleaning solution,
Ultrasonic waves are emitted to the plurality of disk filters in the solution tank to remove sludge remaining in the disk filters by using the inertia of the jig and the vibrations of the ultrasonic waves, so that the disk filters can be recycled. system.
상기 디스크 필터가 고정된 지그를 세정 용액에 액침 할 수 있는 제1 용액조;및
물 또는 세정 용액을 담는 제2 용액조에 설치되는 초음파 발생기;를 포함하고,
상기 지그는 다수의 디스크 필터를 각각 소정 간격을 두고 고정하도록 소정 간격으로 배열된 톱니형 고정부를 포함하고,
상기 지그에 다수의 디스크 필터를 고정하여 세정 용액이 담긴 상기 제1 용액조에 액침하여 불리고;
세정 용액으로 불린 상기 다수의 디스크 필터를 상기 제2 용액조에 넣고 초음파를 발사하여 상기 지그의 관성과 초음파의 진동을 이용하여 디스크 필터에 잔류하는 슬러지를 제거하여, 디스크 필터를 재활용할 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 슬러지 필터 재활용 시스템. A jig for fixing a plurality of disk filters included in the sludge filter disposed in the etching solution circuit of the etching process;
A first solution tank capable of immersing a jig in which the disk filter is fixed in a cleaning solution; and
And an ultrasonic generator installed in the second solution tank containing the water or the cleaning solution.
The jig includes a toothed fixing portion arranged at predetermined intervals to fix the plurality of disk filters at predetermined intervals, respectively,
A plurality of disk filters are fixed to the jig and immersed in the first solution bath containing the cleaning solution;
The plurality of disk filters, called cleaning solutions, were put in the second solution tank and ultrasonic waves were used to remove sludge remaining on the disk filters by using the inertia of the jig and the vibrations of the ultrasonic waves, thereby allowing the disk filters to be recycled. Sludge filter recycling system.
8. The sludge filter recycling system of claim 6 or 7, wherein the time for emitting ultrasonic waves to the plurality of disk filters called cleaning solution is 1 to 60 minutes.
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| JP2004097867A (en) | 2002-09-05 | 2004-04-02 | Central Filter Mfg Co Ld | Automatic ultrasonic cleaning strainer |
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| KR100638980B1 (en) * | 2005-11-17 | 2006-10-25 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | Slurry filter cleaning device of chemical mechanical polishing |
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2011
- 2011-05-16 KR KR1020110045823A patent/KR101255907B1/en not_active IP Right Cessation
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