KR101255510B1 - 배기 시스템 및 그 제어 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 가스 배출 배기관의 뎀퍼나 통풍 팬들을 선택적으로 교체 운전할 수 있도록 자동화 제어함으로써 가스 배기 정압을 안정화하고 배기관의 교체 운전 시간을 단축시키는 등 인력 소모를 최소화할 수 있도록 한 배기 시스템 및 그 제어 방법에 관한 것으로, 배기관으로 배출되는 가스의 배기 정압을 측정하는 정압계; 상기 배기관을 통해 제 1 환풍 팬으로 배출되는 가스 배출량을 조절하는 제 1 뎀퍼; 상기 제 1 뎀퍼의 가스 배출량을 제어하는 제 1 뎀퍼 제어부; 상기 배기관을 통해 제 2 환풍 팬으로 배출되는 가스 배출량을 조절하는 제 2 뎀퍼; 상기 제 2 뎀퍼의 가스 배출량을 제어하는 제 2 뎀퍼 제어부; 및 상기 정압계로부터 측정된 배기 정압에 따라 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부를 각각 제어함으로써 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 각각의 가스 배기량을 제어하는 정압 제어부를 구비한 것을 특징으로 한다.

Description

배기 시스템 및 그 제어 방법{A EXHAUST SYSTEM AND A CONTROL METHOD THEREOF}
본 발명은 가스 배기 시스템에 관한 것으로, 특히 가스 배출 배기관의 뎀퍼나 통풍 팬들을 선택적으로 교체 운전할 수 있도록 자동화 제어함으로써 가스 배기 정압을 안정화하고 배기관의 교체 운전 시간을 단축시키는 등 인력 소모를 최소화할 수 있도록 한 배기 시스템 및 그 제어 방법에 관한 것이다.
반도체 장치나 영상 표시장치 등의 제조 공정라인에서 배출되는 환경오염물질이 포함된 가스는 옥외로 배기하여 대기환경 보전법에 의거하여 물리/화학/전기적 방법 등으로 처리하고 있으며, 제조공정의 품질을 안정적으로 확보하기 위하여 항상 일정한 배기정압을 유지시키고 있다.
일반적으로 배기관을 통해 배출되는 일정한 배기정압은 배기관에 마련된 통풍 팬(Fan)을 상시 가동하여 유지시키나, 이러한 통풍 팬의 예방 정비(Preventive Maintenance)를 위해 대기하고 있는 다른 통풍 팬으로 교체 운전을 해야 한다. 이때, 통풍 팬들을 교체 운전하거나 교체하는 과정에 있어서도 배기관을 통해 배출되는 배기 정압을 최대한 일정하게 유지되어야 한다.
하지만, 종래에는 가스 배기관의 배기량을 조절하는 뎀퍼(Damper)나 통풍 팬들을 여러 관리자가 수동으로 직접 조작하여 교체 운전하도록 하였고, 이에 배기관이나 통풍 팬의 교체 운전 과정에서의 배기 정압이 관리 범위를 이탈하는 등의 문제가 발생하였다.
구체적으로, 종래에는 배기 정압 측정 데이터를 관리자들이 무선으로 수신받으면서 어느 한 관리자는 가동중인 통풍 팬의 뎀퍼를 서서히 닫고, 또 다른 관리자는 대기하던 통풍 팬의 뎀퍼를 서서히 열어가며 교체 운전을 진행하였다. 하지만, 이 경우 각 관리자들의 실수나 오판에 의해 뎀퍼의 조작이 잘못되는 문제가 있어 정압 변동이 커져 생산 장비의 영향을 주기도 하였다. 또한, 이렇게 수동으로 관리자들이 무선 통신을 통해 작업하는 경우, 소요되는 시간과 인력 소모가 커 관리 효율이 저하되었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 가스 배출 배기관의 뎀퍼나 통풍 팬들을 선택적으로 교체 운전할 수 있도록 자동화 제어함으로써 가스 배기 정압을 안정화하고 배기관의 교체 운전 시간을 단축시키는 등 인력 소모를 최소화할 수 있도록 한 배기 시스템 및 그 제어 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 배기 시스템은 배기관으로 배출되는 가스의 배기 정압을 측정하는 정압계; 상기 배기관을 통해 제 1 환풍 팬으로 배출되는 가스 배출량을 조절하는 제 1 뎀퍼; 상기 제 1 뎀퍼의 가스 배출량을 제어하는 제 1 뎀퍼 제어부; 상기 배기관을 통해 제 2 환풍 팬으로 배출되는 가스 배출량을 조절하는 제 2 뎀퍼; 상기 제 2 뎀퍼의 가스 배출량을 제어하는 제 2 뎀퍼 제어부; 및 상기 정압계로부터 측정된 배기 정압에 따라 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부를 각각 제어함으로써 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 각각의 가스 배기량을 제어하는 정압 제어부를 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부를 자동 또는 수동모드로 제어하기 위한 제어 모드를 설정함과 아울러, 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부를 제어하기 위한 방법을 상기 정압 제어부에 프로그래밍하는 관리 제어부를 더 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 정압 제어부는 실시간 적으로 측정되는 상기 정압계로부터의 배기 정압 데이터에 대응하여 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 각각의 가스 배기량이 서로 반대로 증가 또는 감소되도록 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부를 독립적으로 각각 제어하는 것을 특징으로 한다.
상기 정압 제어부는 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 각각의 가스 배기량이 서로 반대로 증가 또는 감소되도록 하기 위해, 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 중 어느 하나의 뎀퍼가 미리 설정된 기간 동안 미리 설정된 속도로 닫히도록 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부 중 어느 하나의 뎀퍼 제어부를 제어함과 아울러, 상기 배기 정압 데이터에 대응하여 나머지 하나의 뎀퍼가 열리도록 나머지 하나의 뎀퍼 제어부를 제어하는 것을 특징으로 한다.
상기 정압 제어부는 상기 미리 설정된 속도로 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 중 어느 하나의 뎀퍼가 닫히는 동안, 상기 측정된 배기 정압 데이터가 미리 설정된 기준 배기정압보다 작거나 같으면 상기 나머지 하나의 뎀퍼가 열리도록 제어하고, 상기 측정된 배기 정압 데이터가 상기 미리 설정된 기준 배기정압보다 높으면 상기 나머지 하나의 뎀퍼가 닫히거나 중지되도록 제어하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 배기 시스템 제어 방법은 배기관으로 배출되는 가스의 배기 정압을 측정하는 단계; 제 1 뎀퍼를 이용하여 상기 배기관을 통해 제 1 환풍 팬으로 배출되는 가스 배출량을 조절하는 단계; 제 1 뎀퍼 제어부를 이용하여 상기 제 1 뎀퍼의 가스 배출량을 제어하는 단계; 제 2 뎀퍼를 이용하여 상기 배기관을 통해 제 2 환풍 팬으로 배출되는 가스 배출량을 조절하는 단계; 제 2 뎀퍼 제어부를 이용하여 상기 제 2 뎀퍼의 가스 배출량을 제어하는 단계; 및 상기 정압계로부터 측정된 배기 정압에 따라 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부를 각각 제어함으로써 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 각각의 가스 배기량을 제어하는 단계를 포함한 것을 특징으로 한다.
상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부를 자동 또는 수동모드로 제어하기 위한 제어 모드를 설정함과 아울러, 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부를 제어하기 위한 방법을 상기 정압 제어부에 프로그래밍하는 단계를 더 포함한 것을 특징으로 한다.
상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 각각의 가스 배기량을 제어하는 단계는 실시간 적으로 측정되는 상기 정압계로부터의 배기 정압 데이터에 대응하여 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 각각의 가스 배기량이 서로 반대로 증가 또는 감소되도록 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부를 독립적으로 각각 제어하는 것을 특징으로 한다.
상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 각각의 가스 배기량을 제어하는 단계는 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 각각의 가스 배기량이 서로 반대로 증가 또는 감소되도록 하기 위해, 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 중 어느 하나의 뎀퍼가 미리 설정된 기간 동안 미리 설정된 속도로 닫히도록 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부 중 어느 하나의 뎀퍼 제어부를 제어함과 아울러, 상기 배기 정압 데이터에 대응하여 나머지 하나의 뎀퍼가 열리도록 나머지 하나의 뎀퍼 제어부를 제어하는 것을 특징으로 한다.
상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 각각의 가스 배기량을 제어하는 단계는 상기 미리 설정된 속도로 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 중 어느 하나의 뎀퍼가 닫히는 동안, 상기 측정된 배기 정압 데이터가 미리 설정된 기준 배기정압보다 작거나 같으면 상기 나머지 하나의 뎀퍼가 열리도록 제어하고, 상기 측정된 배기 정압 데이터가 상기 미리 설정된 기준 배기정압보다 높으면 상기 나머지 하나의 뎀퍼가 닫히거나 중지되도록 제어하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 특징들을 갖는 본 발명의 실시 예에 따른 배기 시스템 및 그 제어 방법은 가스 배출 배기관의 뎀퍼나 통풍 팬들을 선택적으로 교체 운전할 수 있도록 자동화 제어한다. 이에 따라, 배출되는 가스 배기 정압을 안정화하고 배기관의 교체 운전 시간을 단축시키는 등 인력 소모를 최소화하여 그 관리 효율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 배기 시스템의 구조를 도시한 구성 배치도.
도 2는 도 1에 도시된 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부의 제어 방법을 설명하기 위한 그래프.
도 3은 도 1에 도시된 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부가 수동으로 제어되는 일 예를 설명하기 위한 그래프.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 배기 시스템 제어 방법을 설명하기 위한 순서도.
이하, 상기와 같은 특징을 갖는 본 발명의 실시 예에 따른 배기 시스템 및 그 제어 방법을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 배기 시스템의 구조를 도시한 구성 배치도이다.
도 1에 도시된 배기 시스템은 배기관(4)으로 배출되는 가스의 배기 정압을 측정하는 정압계(2); 상기 배기관(4)을 통해 제 1 환풍 팬(10)으로 배출되는 가스 배출량을 조절하는 제 1 뎀퍼(6); 상기 제 1 뎀퍼(6)의 가스 배출량을 제어하는 제 1 뎀퍼 제어부(14); 상기 배기관(4)을 통해 제 2 환풍 팬(12)으로 배출되는 가스 배출량을 조절하는 제 2 뎀퍼(8); 상기 제 2 뎀퍼(8)의 가스 배출량을 제어하는 제 2 뎀퍼 제어부(16); 및 상기 정압계(2)로부터 측정된 배기 정압에 따라 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부(14,16)를 각각 제어함으로써 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼(6,5) 각각의 가스 배기량을 제어하는 정압 제어부(18)를 구비한다.
또한, 본 발명의 배기 시스템에는 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부(14,16)를 자동 또는 수동모드로 제어하기 위한 제어 모드를 설정함과 아울러, 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부(14,16)를 제어하기 위한 방법을 상기 정압 제어부(18)에 프로그래밍하는 관리 제어부(20)를 더 구비한다.
정압계(2)는 반도체 장비나 영상 표시장치 등의 제조 공정 라인으로부터 배기관(4)을 통해 배출되는 가스의 배기 정압을 실시간으로 측정한다. 이를 위해, 정압계(2)는 제조 공정 라인의 가스 배출관과 배기관(4) 사이에 구비될 수 있다. 이러한 정압계(2)는 실시간으로 미리 설정된 기간 예를 들어, 수 초당 가스 배출량을 측정함으로 배기 정압을 측정하고 측정된 배기 정압 데이터를 실시간으로 정압 제어부(18)로 공급한다.
제 1 뎀퍼(6)는 상기 배기관(4)으로부터 분기되는 제 1 서브 배기관(4a)을 통해 제 1 환풍 팬(10)으로 배출되는 가스 배출량을 조절한다. 이러한 제 1 뎀퍼(6)는 제 1 환풍 팬(10)의 전단에 구비되어 제 1 환풍 팬(10)으로 배출되는 가스 배출량을 조절하기 위한 일종의 통풍 조절판으로서 제 1 뎀퍼 제어부(14)로부터의 제어에 의해 그 배출량이 제어된다.
제 1 환풍 팬(10)은 제 1 서브 배기관(4a)과 제 1 뎀퍼(6)를 통해 배출되는 가스를 옥외로 배기하거나, 또는 물리/화학/전기적 방법 등으로 처리할 수 있도록 소정의 처리 시스템으로 배기시키기도 한다.
제 1 뎀퍼 제어부(14)는 정압 제어부(18)로부터의 제어 신호에 따라 상기 제 1 뎀퍼(6)를 제어함으로써, 제 1 뎀퍼(6)를 통해 제 1 환풍 팬(10)으로 배출되는 가스 배출량을 조절한다. 이러한 제 1 뎀퍼 제어부(14)는 적어도 하나의 전동, 유압, 전기 또는 공압식의 엑츄에이터(actuator) 등을 구비하여 제 1 뎀퍼(6)를 제어 또는 구동하고, 이에 따라 제 1 뎀퍼(6)를 통해 배출되는 가스의 배출량이 조절되도록 한다.
제 2 뎀퍼(8)는 상기 배기관(4)으로부터 분기되는 제 2 서브 배기관(4b)을 통해 제 2 환풍 팬(12)으로 배출되는 가스 배출량을 조절한다. 이러한 제 2 뎀퍼(8) 또한 제 2 환풍 팬(12)의 전단에 구비되어 제 2 환풍 팬(12)으로 배출되는 가스 배출량을 조절하기 위한 일종의 통풍 조절판으로서, 제 2 뎀퍼 제어부(16)로부터의 제어에 의해 그 배출량이 제어된다.
제 2 환풍 팬(12)은 또한 제 2 서브 배기관(4b)과 제 2 뎀퍼(8)를 통해 배출되는 가스를 옥외로 배기하거나, 또는 물리/화학/전기적 방법 등으로 처리할 수 있도록 소정의 처리 시스템으로 배기시키기도 한다.
제 2 뎀퍼 제어부(16)는 정압 제어부(18)로부터의 제어 신호에 따라 상기 제 2 뎀퍼(8)를 제어함으로써, 제 2 뎀퍼(8)를 통해 제 2 환풍 팬(12)으로 배출되는 가스 배출량을 조절한다. 이러한 제 2 뎀퍼 제어부(16) 또한 적어도 하나의 전동, 유압, 전기 또는 공압식의 엑츄에이터 등을 구비하여, 제 2 뎀퍼(8)를 제어 또는 구동하고, 이에 따라 제 2 뎀퍼(8)를 통해 배출되는 가스의 배출량이 조절되도록 한다.
정압 제어부(18)는 상기 정압계(2)로부터 측정된 배기정압 데이터를 실시간공급받는다. 그리고 공급받은 측정된 배기 정압 데이터에 따라 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부(14,16)에 제어신호를 공급함으로써 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼(6,5) 각각의 가스 배기량을 조절하게 된다. 이를 위해, 정압 제어부(18)는 PLC(Programmable Logic Controller)를 구비하여 관리 제어부(20)로부터의 프로그래밍 정보 즉, 셋팅된 명령에 따라 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부(14,16)에 제어신호를 공급한다.
정압 제어부(18)는 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부(14,16)에 제어신호를 동시 공급하여 제 1 및 제 2 뎀퍼(6,5) 각각의 가스 배기량을 동시에 조절할 수도 있다. 하지만, 복수의 통풍 팬(10,12)이나 각 뎀퍼(6,8)의 예방 정비(Preventive Maintenance)를 위해서는 복수의 통풍 팬(10,12)이나 각 뎀퍼(6,8)를 선택적으로 교체 운전시켜야 한다. 하지만, 복수의 통풍 팬(10,12)이나 각 뎀퍼(6,8)를 선택적으로 교체 운전하는 과정에 있어서도 배기관(4)의 배기 정압은 미리 설정된 기준 정압에 의거 안전하게 유지되어야 한다.
이에, 정압 제어부(18)는 실시간 적으로 측정되는 정압계(2)로부터의 배기 정압 데이터에 대응하여 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼(6,5) 각각의 가스 배기량이 서로 반대로 증가 또는 감소되도록 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부(14,16)를 독립적으로 각각 제어한다. 다시 말해, 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부(14,16) 각각은 상기 정압 제어부(18)로부터 서로 반대되는 제어신호들을 공급받고, 반대되는 각각의 제어신호에 따라 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼(6,5) 각각의 가스 배기량을 증가 또는 감소시키게 된다. 이러한 정압 제어부(18)의 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부(14,16) 제어 방법에 대해서는 이 후 첨부된 도면을 참조하여 좀 더 구체적으로 설명하기로 한다.
한편, 관리 제어부(20)는 정압계(2)로부터 측정되는 배기 정압 변동 상황에 대응하여 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부(14,16)를 자동 또는 수동 모드로 제어하기 위한 제어 모드를 설정한다. 제 1 및 제 2 뎀퍼(6,8) 동시에 가스를 배출하는 경우나, 제 1 및 제 2 뎀퍼(6,8) 중 어느 하나만으로 가스를 배출하는 경우, 또는 제 1 및 제 2 뎀퍼(6,8)를 교체시키는 과정에서도 모두 배기관(4)의 배기 정압은 미리 설정된 기준 정압에 의거 안전하게 유지되어야 한다. 관리 제어부(20)는 배기 정압 변동 상황에 대응하여 다양한 상황에 따라 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부(14,16)의 제어모드를 미리 설정 및 프로그래밍한다.
도 2는 도 1에 도시된 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부의 제어 방법을 설명하기 위한 그래프이다.
도 2를 참조하면, 정압 제어부(18)는 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼(6,8) 각각의 가스 배기량이 서로 반대로 증가 또는 감소되도록 하기 위해, 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼(6,8) 중 어느 하나의 뎀퍼가 미리 설정된 기간 동안 미리 설정된 속도로 닫히도록 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부(14,16) 중 어느 하나의 뎀퍼 제어부를 제어함과 아울러, 상기 배기 정압 데이터에 대응하여 나머지 하나의 뎀퍼가 열리도록 나머지 하나의 뎀퍼 제어부를 제어하게 된다.
예를 들어, 정압 제어부(18)가 제 1 뎀퍼(6)를 미리 설정된 기간 동안 미리 설정된 속도로 닫히도록 제어하는 경우, 정압계(2)로부터의 배기정압은 제 1 뎀퍼(6)가 닫히는 속도에 대응하여 증가할 수 있다. 이에 정압 제어부(18)는 정압계(2)로부터의 배기 정압이 미리 설정된 기준 정압 범위에서 벗어나지 않도록 제 2 뎀퍼(8)를 열어 제어할 수 있다. 즉, 정압 제어부(18)는 상기 미리 설정된 속도로 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼(6,8) 중 어느 하나의 뎀퍼가 닫히는 동안, 상기 측정된 배기 정압 데이터가 미리 설정된 기준 배기정압보다 작거나 같으면 상기 나머지 하나의 뎀퍼가 열리도록 제어하고, 상기 측정된 배기 정압 데이터가 상기 미리 설정된 기준 배기정압보다 높으면 상기 나머지 하나의 뎀퍼가 닫히도록 제어한다.
도 3은 도 1에 도시된 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부가 수동으로 제어되는 일 예를 설명하기 위한 그래프이다.
도 3을 참조하면, 제 1 및 제 2 뎀퍼(6,8)가 작업자에 의해 수동으로 제어되는 경우, 정압계(2)로부터의 배기정압이 미리 설정된 기준 정압 범위에서 벗어나지 않도록 하면서 서서히 제 1 및 제 2 뎀퍼(6,8) 중 어느 하나의 뎀퍼는 열고 또 다른 하나의 뎀퍼는 닫아주어야 한다. 하지만, 이 경우 배기 정압을 주시하여 명령을 내리는 작업자와 명령에 따라 제 1 뎀퍼(6)를 제어하는 작업자 및 제 2 뎀퍼(8)를 제어하는 작업자가 해당 위치에 각각 필요하게 되고, 실시간으로 배기 정압을 주시하며 열리는 뎀퍼와 닫히는 뎀퍼의 속도를 조절해야 하므로 그 소요 시간이 길어지게 된다. 물론, 작업자들의 실수나 오판에 의해 뎀퍼의 조작이 잘못되는 문제가 발생할 수도 있어 정압 변동에 따라 제조 공정 라인에 영향을 주기도 한다.
하지만, 도 2로 도시한 바와 같이, 복수의 뎀퍼(6,8)들 중 적어도 하나의 뎀퍼가 미리 설정된 기간 동안 미리 설정된 속도로 닫히도록 해당 뎀퍼 제어부를 제어함과 아울러, 상기 실시간으로 측정되는 배기 정압 데이터와 미리 설정된 기준 배기정압 비교 결과에 대응하여 닫혀있던 적어도 하나의 나머지 뎀퍼들이 열리도록 나머지 하나의 뎀퍼 제어부를 제어하면 그 소요 시간을 감소시킬 수 있다. 또한 관리 제어부(20)를 통해 미리 프로그래밍된 설정에 따라 교체 운전 작업이 정해진 시간이 이루어지도록 하기 때문에 자동화 과정에 의해 인력 소모를 최소화할 수 있다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 배기 시스템 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 4를 참조하여 본 발명에 따른 배기 시스템 제어 방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 배기 정압 측정 단계(ST1)에서는 배기관(4)에 구비된 정압계(2)를 통해 실시간으로 배기 정압을 측정한다. 그리고 측정된 배기정압에 대응하는 배기 정압 데이터를 실시간으로 정압 제어부(18)에 전송한다.
열림 뎀퍼를 닫는 단계(ST2)에서는 복수의 뎀퍼(6,8)들 중 적어도 하나의 뎀퍼가 미리 설정된 기간 동안 미리 설정된 속도로 닫히도록 해당 뎀퍼 제어부를 제어한다. 다시 말해, 정압 제어부(18)는 미리 설정된 속도로 미리 설정된 기간 동안 제 1 및 제 2 뎀퍼(6,8) 중 어느 하나의 뎀퍼를 닫는다.
이때, 배기 전압 비교단계(ST3)에서 정압 제어부(18)는 측정된 배기 정압 데이터와 미리 설정된 기준 배기정압을 비교 분석한다. 그리고, 측정된 배기 정압 데이터가 미리 설정된 기준 배기정압 작거나 같으면 상기 닫혀 있었던 나머지의 뎀퍼가 열리도록 해당 뎀퍼 제어부를 제어한다(ST4). 한편, 상기의 측정된 배기 정압 데이터가 상기 미리 설정된 기준 배기정압보다 높아지는 경우에는 열리고 있던 뎀퍼들을 중지시키거나 닫히도록 제어하게 된다(ST5).
이러한 뎀퍼(6,8)들의 교체 동작은 열려 있던 뎀퍼들이 모두 닫히고 닫혀 있던 뎀퍼들이 모두 열려 교체 과정이 모두 끝날 때까지 이루어진다.
이상에서 상술한 바와 같이, 본 발명의 배기 시스템 및 그 제어방법은 복수의 뎀퍼(6,8)들 중 적어도 하나의 뎀퍼가 미리 설정된 속도로 닫히도록 제어하면서 배기 정압 데이터와 미리 설정된 기준 배기정압 비교 결과에 따라 닫혀있던 나머지 뎀퍼들이 열리도록 제어함으로써, 각각의 뎀퍼(6,8)나 환풍 팬(10,12)의 교체 운전을 위한 소요 시간을 감소시킬 수 있다. 또한 관리 제어부(20)를 통해 미리 프로그래밍된 설정에 따라 교체 운전 작업이 정해진 시간이 이루어지도록 하기 때문에 자동화 과정에 의해 인력 소모를 최소화할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

Claims (10)

  1. 배기관으로 배출되는 가스의 배기 정압을 측정하는 정압계;
    상기 배기관을 통해 제 1 환풍 팬으로 배출되는 가스 배출량을 조절하는 제 1 뎀퍼;
    상기 제 1 뎀퍼의 가스 배출량을 제어하는 제 1 뎀퍼 제어부;
    상기 배기관을 통해 제 2 환풍 팬으로 배출되는 가스 배출량을 조절하는 제 2 뎀퍼;
    상기 제 2 뎀퍼의 가스 배출량을 제어하는 제 2 뎀퍼 제어부; 및
    상기 정압계로부터 측정된 배기 정압에 따라 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부를 각각 제어함으로써 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 각각의 가스 배기량을 제어하는 정압 제어부를 구비하고,
    상기 정압 제어부는
    상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 각각의 가스 배기량이 서로 반대로 증가 또는 감소되도록 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부 중 어느 하나의 뎀퍼 제어부를 제어하며,
    상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 중 어느 하나의 뎀퍼가 닫히는 동안, 상기 측정된 배기 정압이 기준 배기정압보다 작거나 같으면 상기 나머지 하나의 뎀퍼가 열리도록 제어하고, 상기 측정된 배기 정압이 상기 기준 배기정압보다 높으면 상기 나머지 하나의 뎀퍼가 닫히거나 중지되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 배기 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부를 자동 또는 수동모드로 제어하기 위한 제어 모드를 설정함과 아울러, 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부를 제어하기 위한 방법을 상기 정압 제어부에 프로그래밍하는 관리 제어부를 더 구비한 것을 특징으로 하는 배기 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 정압 제어부는
    실시간 적으로 측정되는 상기 정압계로부터의 배기 정압 데이터에 대응하여 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 각각의 가스 배기량이 서로 반대로 증가 또는 감소되도록 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부를 독립적으로 각각 제어하는 것을 특징으로 하는 배기 시스템.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 정압계를 이용하여 배기관으로 배출되는 가스의 배기 정압을 측정하는 단계;
    제 1 뎀퍼를 이용하여 상기 배기관을 통해 제 1 환풍 팬으로 배출되는 가스 배출량을 조절하는 단계;
    제 1 뎀퍼 제어부를 이용하여 상기 제 1 뎀퍼의 가스 배출량을 제어하는 단계;
    제 2 뎀퍼를 이용하여 상기 배기관을 통해 제 2 환풍 팬으로 배출되는 가스 배출량을 조절하는 단계;
    제 2 뎀퍼 제어부를 이용하여 상기 제 2 뎀퍼의 가스 배출량을 제어하는 단계; 및
    상기 정압계로부터 측정된 가스 배기 정압에 따라 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부를 각각 제어함으로써 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 각각의 가스 배기량을 제어하는 단계를 포함하고,
    상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 각각의 가스 배기량을 제어하는 단계는
    상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 각각의 가스 배기량이 서로 반대로 증가 또는 감소되도록 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부 중 어느 하나의 뎀퍼 제어부를 제어하며,
    상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 중 어느 하나의 뎀퍼가 닫히는 동안, 상기 측정된 배기 정압이 기준 배기정압보다 작거나 같으면 상기 나머지 하나의 뎀퍼가 열리도록 제어하고, 상기 측정된 배기 정압이 상기 기준 배기정압보다 높으면 상기 나머지 하나의 뎀퍼가 닫히거나 중지되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 배기 시스템 제어 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부를 자동 또는 수동모드로 제어하기 위한 제어 모드를 설정함과 아울러, 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부를 제어하기 위한 방법을 상기 정압 제어부에 프로그래밍하는 단계를 더 포함한 것을 특징으로 하는 배기 시스템 제어방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 각각의 가스 배기량을 제어하는 단계는
    실시간 적으로 측정되는 상기 정압계로부터의 배기 정압 데이터에 대응하여 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 각각의 가스 배기량이 서로 반대로 증가 또는 감소되도록 상기 제 1 및 제 2 뎀퍼 제어부를 독립적으로 각각 제어하는 것을 특징으로 하는 배기 시스템 제어 방법.
  9. 삭제
  10. 삭제
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KR100445237B1 (ko) * 2001-08-23 2004-08-18 한국과학기술연구원 클레이가 분산된 올레핀계 고분자 나노 복합체 제조방법

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