CN2932194Y - 一种风门系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种风门系统，它可以分批打开百叶，使工作间的气压变化控制在可以接受的范围。它包括控制器、传送装置、具有若干百叶的天窗，所述的控制器用于控制传送装置的开启和关闭，而传送装置可以将压缩气体经处理后送到百叶中，所述的传送装置至少有两组以上，每组传送装置负责部分百叶的风供给，并且通过控制器的控制，每两组传送装置的开启或关闭时间之间有一定时间间隔。所述的每组传送装置包括电磁阀、执行器、控制杆，所述的电磁阀由控制器控制，并且将压缩气体传送给执行器，然后经执行器处理后将压缩气体传送给控制杆，最后由控制杆将压缩气体传送给百叶。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种风门系统，尤其适用于半导体行业的风门系统。
背景技术
如图1、2所示，它们是现有的风门系统。图1是风门的天窗示意图，它由框架1、百叶2、轴3组成；图2是风门系统的控制部分示意图，它由可编程控制器(PLC)4、和传送装置组成，传送装置包括电磁阀8、执行器7和控制杆5，在给天窗供气时，首先可编程控制器4打开电磁阀8，然后压缩气体6从电磁阀传送给执行器7，经执行器7处理后，将压缩气体经控制杆5供给天窗的每个百叶2，经百叶2将气体送入到工作间，另外轴3可以带动百叶2旋转，使气体均匀的输入到工作间。
上述风门系统，在实际的工作中具有如下的缺点：每次开启或关闭时，所有的百叶必须是同时开启或关闭，根据气压的变化与气体量的变化成正比原理，可以很明显的得出，在每次开启和关闭时，工作间的气压变化很大，根据测试得出每次的变化量最大在30-100Pa之间，而在半导体的工作间有些工艺设备，在气压变化超过50Pa时，设备将无法正常工作。另外，由于天窗的百叶，经过一定时间不使用，则在其上会有结晶物，这时必须打开进行维护，这时同样会遇到上述问题，并且维护工作是不定期的经常性工作。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供了一种风门系统，它可以分批打开百叶，使工作间的气压变化控制在可以接受的范围。
为了解决以上技术问题，本实用新型提供了一种风门系统，它包括控制器、传送装置、具有若干百叶的天窗，所述的控制器用于控制传送装置的开启和关闭，而传送装置可以将压缩气体经处理后送到百叶中，所述的传送装置至少有两组以上，每组传送装置负责部分百叶的风供给，并且通过控制器的控制，每两组传送装置的开启或关闭时间之间有一定时间间隔。
所述的每组传送装置包括电磁阀、执行器、控制杆，所述的电磁阀由控制器控制，并且将压缩气体传送给执行器，然后经执行器处理后将压缩气体传送给控制杆，最后由控制杆将压缩气体传送给百叶。
因为本实用新型对采用多组传送装置，每组控制部分百叶，并且通过控制器控制每组之间的开启或关闭有延迟，所以工作间在天窗开启或关闭式，带来的气体量变化不大，也就避免了气压的大变化，并且可以根据实际需要，设定所需要的组数。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式，对本实用新型做进一步阐述。
图1是现有天窗示意图；
图2是现有天窗控制部分示意图；
图3是本实用新型天窗控制部分示意图。
具体实施方式
如图2所示，它是本实用新型的天窗控制部分示意图。它和现有天窗控制部分的不同在于，采用了四组传送装置，每组传送装置都包括电磁阀、执行器和控制杆，其中第一组由电磁阀81、执行器71和控制杆51组成，它负责三个百叶21、22、23的供给，第二组由电磁阀82、执行器72和控制杆52组成，它负责两个百叶24、25的供给，第三组由电磁阀83、执行器73和控制杆53组成，它负责两个百叶26、27的供给，第四组由电磁阀84、执行器74和控制杆54组成，它负责两个百叶28、29的供给。而上述传送装置共用一个可编程控制器4，通过控制电磁阀81、82、83、84的开启或关闭时间达到控制天窗的百叶先后开启或关闭，避免一次全部开启带来的大的气流变化。
其中可编程控制器的控制程序，可以采用编程语言编辑，在对每个与对应电磁阀的输出信号进行控制，控制它们的输出时间延迟一定时间，比如在上述控制系统中，它们之间的延迟时间设定在2秒，也就是说，在第一组传送装置开启2秒后，第二组打开，然后在第二组打开2秒后，第三组再开启，接下来再间隔2秒后打开第四组；同理，在关闭系统时，也是先后关闭。
当然，可以根据实际的需要，增加或减少传送装置的组数，也可以根据需要设定具体的延迟时间。
Claims (5)
1、一种风门系统，它包括控制器、传送装置、具有若干百叶的天窗，所述的控制器用于控制传送装置的开启和关闭，而传送装置可以将压缩气体经处理后送到百叶中，其特征在于：所述的传送装置至少有两组以上，每组传送装置负责部分百叶的风供给，并且通过控制器的控制，每两组传送装置的开启或关闭时间之间有一定时间间隔。
2、如权利要求1所述的风门系统，其特征在于，所述的每组传送装置包括电磁阀、执行器、控制杆，所述的电磁阀由控制器控制，并且将压缩气体传送给执行器，然后经执行器处理后将压缩气体传送给控制杆，最后由控制杆将压缩气体传送给百叶。
3、如权利要求1或2所述的风门系统，其特征在于，所述的传送装置有四组以上。
4、如权利要求1所述的风门系统，其特征在于，所述的间隔时间为2秒。
5、如权利要求1所述的风门系统，其特征在于，所述的控制器是可编程控制器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200620041366 CN2932194Y (zh) | 2006-04-27 | 2006-04-27 | 一种风门系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 200620041366 CN2932194Y (zh) | 2006-04-27 | 2006-04-27 | 一种风门系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN2932194Y true CN2932194Y (zh) | 2007-08-08 |
Family
ID=38348691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 200620041366 Expired - Lifetime CN2932194Y (zh) | 2006-04-27 | 2006-04-27 | 一种风门系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| CN (1) | CN2932194Y (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102869410A (zh) * | 2010-10-28 | 2013-01-09 | 韩国建设技术硏究院 | 用于分开地供应泄漏气流和补充气流的空气供应调节门，用于控制空气供应调节门的方法，以及使用空气供应调节门的烟气控制系统 |
| CN110107334A (zh) * | 2019-04-11 | 2019-08-09 | 临沂矿业集团有限责任公司 | 一种联络巷泄压风门 |
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2006
- 2006-04-27 CN CN 200620041366 patent/CN2932194Y/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN110107334A (zh) * | 2019-04-11 | 2019-08-09 | 临沂矿业集团有限责任公司 | 一种联络巷泄压风门 |
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Legal Events
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| GR01 | Patent grant | ||
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| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| COR | Change of bibliographic data |
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| TR01 | Transfer of patent right |
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| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20070808 |
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| EXPY | Termination of patent right or utility model |