KR101253508B1 - Heater control device and method for large amount of gas supply apparatus - Google Patents

Heater control device and method for large amount of gas supply apparatus Download PDF

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Abstract

PURPOSE: A device for controlling a heater in a large gas supply apparatus and a method thereof are provided to prevent the overheating of gas by maintaining the gas in a back end gas pipe in a temperature which is higher than room temperature. CONSTITUTION: A block heater(40) heats the front end gas pipe of a regulator(30). A control unit(50) detects the first temperature of the back end gas pipe of the regulator. The control unit supplies current to the block heater if the first temperature falls. A second regulator again depressurizes the gas depressurized by the regulator. A line heater heats the back end gas pipe of the second regulator. [Reference numerals] (50) Control unit;

Description

대용량 가스 공급설비의 히터 제어장치 및 방법{Heater control device and method for large amount of gas supply apparatus}Heater control device and method for large amount of gas supply apparatus

본 발명은 대용량 가스 공급설비의 히터 제어장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 고압의 가스를 정량 공급하는 레귤레이터의 후단에서 가스의 압력이 낮아지면서 온도가 급강하되는 것을 방지하기 위한 대용량 가스 공급설비의 히터 제어장치 및 방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a heater control apparatus and method of a large-capacity gas supply system, and more particularly, to a large-capacity gas supply system for preventing a temperature drop while lowering the pressure of the gas at a rear end of a regulator for supplying a fixed-pressure gas. The present invention relates to a heater control apparatus and method.

일반적으로 반도체 장치 또는 평판 디스플레이를 제조하는 장치에는 대용량의 가스를 공급하는 가스 공급장치들이 부가되어 있다. 이러한 가스 공급장치들은 가스용기에 고압으로 충진된 가스의 압력을 점진적으로 낮춰 제조공정에서 사용되는 적정한 압력의 가스를 설비에 제공하게 된다.
Generally, a gas supply device for supplying a large amount of gas is added to a device for manufacturing a semiconductor device or a flat panel display. These gas supply devices gradually lower the pressure of the gas charged into the gas container at a high pressure to provide the facility with a gas of a suitable pressure used in the manufacturing process.

이때 가스의 압력을 낮추는 과정에서 사용되는 레귤레이터의 전단과 후단의 가스 압력의 차이가 클수록 그에 비례하여 전단과 후단의 온도차도 커지게 된다.At this time, the greater the difference between the gas pressure at the front end and the rear end of the regulator used in the process of lowering the pressure of the gas, the greater the temperature difference between the front end and the rear end.

즉, 레귤레이터 후단의 가스 압력이 낮아짐에 따라 온도도 전단의 가스에 비하여 더 낮아지게 되며, 따라서 그 레귤레이터와 그 레귤레이터 후단의 가스 관로에 물이 응집되거나, 얼음이 어는 등의 문제가 발생할 수 있다.
That is, as the gas pressure at the rear of the regulator is lowered, the temperature is lower than that of the gas at the front of the regulator. Therefore, problems such as water agglomeration or ice freezing may occur at the regulator and the gas pipeline at the rear of the regulator.

이러한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명의 출원인이 출원 공개한 공개특허 10-2008-0087410호(2008년 10월 1일 공개)에는 다단을 레귤레이터를 마련하여 각 레귤레이터에서 가스의 압력을 감압하는 감압정도를 상대적으로 낮춰, 그 레귤레이터를 통과한 가스가 외기 온도와 유사하게 승온되도록 하는 구조가 제시되어 있다.In order to solve this problem, Patent Application Publication No. 10-2008-0087410 (published on October 1, 2008) filed by the applicant of the present invention provides a multi-stage regulator to reduce the degree of decompression to reduce the pressure of gas in each regulator. Relatively low, a structure is proposed in which the gas passing through the regulator is raised to a temperature similar to the ambient temperature.

상기 공개특허의 방식은 별도의 히터를 사용하지 않고도, 가스의 압력 조정과정에서 발생할 수 있는 문제점들을 해소할 수는 있으나, 다수의 레귤레이터와 외기와 열교환이 충분히 일어날 수 있도록 가스관로를 보다 길게 설치해야 하는 문제점을 예측할 수 있다.
The method of the above patent can solve the problems that may occur in the pressure adjustment process of the gas without using a separate heater, but the gas pipes should be installed longer to allow sufficient heat exchange between the various regulators and the outside air. You can predict the problem.

도 1은 히터를 사용하는 종래 대용량 가스공급장치의 구성도이다.1 is a block diagram of a conventional large-capacity gas supply apparatus using a heater.

도 1을 참조하면 종래 대용량 가스공급장치는, 가스가 충진된 가스용기(1)의 가스를 인출하여 가스배관(2)을 통해 공급되도록 하는 밸브(3)와, 상기 밸브(3)의 후단측 가스배관(2)을 가열하여 인출되는 가스를 승온시키는 블록히터(4)와, 상기 블록히터(4)의 후단측 가스배관(2)에 마련되어 상기 가열된 가스의 압력을 조정하여 설정된 압력으로 강하시는 레귤레이터(5)를 포함하여 구성된다.Referring to FIG. 1, a conventional large-capacity gas supply device includes a valve 3 which draws gas from a gas container 1 filled with gas to be supplied through a gas pipe 2, and a rear end side of the valve 3. It is provided in the block heater 4 which heats the gas piping 2 and heats up the gas which is drawn out, and is provided in the gas pipe 2 of the rear end side of the block heater 4, and adjusts the pressure of the heated gas, It is configured to include a regulator (5).

상기 블록히터(4)는 블록내에 가스가 지나는 관로가 다수회 절곡되어 마련되어 있으며, 그 주변으로 가열수단이 배치된 형태이다.
The block heater 4 is provided with a pipe passage through which gas flows in the block a plurality of times, and a heating means is arranged around the block heater 4.

이하, 상기와 같이 구성되는 종래 대용량 가스공급장치의 구성과 그 대용량 가스 공급설비를 제어하는 방법을 보다 상세히 설명한다.
Hereinafter, a configuration of a conventional large-capacity gas supply device configured as described above and a method of controlling the large-capacity gas supply facility will be described in more detail.

먼저, 가스용기(1)에 충진된 가스는 그 압력이 상대적으로 고압으로 충진되어 있으며, 그 가스용기(1)에 충진된 가스는 밸브(3)가 열린 상태에서 가스용기(1)의 충진압력에 의하여 고압의 가스가 가스배관(2)을 통해 가스가 소비되는 공정장치측으로 공급된다.
First, the gas filled in the gas container 1 is filled at a relatively high pressure, and the gas filled in the gas container 1 is filled in the pressure of the gas container 1 with the valve 3 open. The high pressure gas is supplied to the process apparatus side through which the gas is consumed through the gas pipe 2.

이때 상기 가스용기(1)의 가스는 레귤레이터(5)에 의하여 일정한 압력을 가지도록 압력이 조정된다. 이때 레귤레이터(5)를 통과한 가스의 압력은 상기 가스용기(1)의 가스 압력에 비해서는 더 낮은 압력으로 조정된다.
At this time, the pressure of the gas in the gas container 1 is adjusted to have a constant pressure by the regulator (5). At this time, the pressure of the gas passing through the regulator 5 is adjusted to a lower pressure than the gas pressure of the gas container 1.

상기와 같이 레귤레이터(5)를 통과하여 가스가 감압됨에 따라 그 가스의 온도는 낮아지게 되며, 그 가스의 감압정도에 비례하는 온도의 차가 발생하게 된다.As described above, as the gas is decompressed through the regulator 5, the temperature of the gas is lowered, and a difference in temperature is generated in proportion to the degree of decompression of the gas.

이러한 온도의 차이에 의하여 레귤레이터(5) 후단측의 가스배관(2)의 외측에는 물이 맺히거나, 그 압력의 강하 정도가 큰 경우 가스배관(2)이 결빙되어 가스 공급이 원활하게 이루어지지 않는 등의 문제점이 발생할 수 있다.
Due to such a difference in temperature, water forms on the outside of the gas pipe 2 at the rear end of the regulator 5, or when the pressure drop is large, the gas pipe 2 freezes and gas supply is not performed smoothly. Problems may occur.

이를 방지하기 위하여 상기 레귤레이터(5)의 전단측 가스배관(2)에 블록히터(3)를 설치하여, 상기 가스용기(1)로부터 인출된 고압의 가스를 승온시킨다.In order to prevent this, a block heater 3 is installed in the front side gas pipe 2 of the regulator 5 to heat up the high-pressure gas drawn from the gas container 1.

상기 블록히터(3)는 블록히터(3) 자체의 온도를 검출하거나, 상기 레귤레이터(5) 전단의 가스배관(2)의 온도를 검출하여 이 검출온도가 설정된 온도와의 관계를 고려하여 작동하게 된다.The block heater 3 detects the temperature of the block heater 3 itself, or detects the temperature of the gas pipe 2 in front of the regulator 5 to operate in consideration of the relationship between the detected temperature and the set temperature. do.

예를 들어 상기 블록히터(3)의 최대 가열온도를 80℃로 한정하고, 최저 가열온도를 70℃로 한정한 경우에는 상기 블록히터(3)의 검출온도가 70℃인 경우 가열동작을 수행하며, 최대 가열온도인 80℃를 초과하지 않도록 블록히터(3)의 검출온도가 80℃인 경우 블록히터(3)의 동작을 정지시킨다.
For example, when the maximum heating temperature of the block heater 3 is limited to 80 ° C. and the minimum heating temperature is limited to 70 ° C., the heating operation is performed when the detection temperature of the block heater 3 is 70 ° C. When the detection temperature of the block heater 3 is 80 ° C., the operation of the block heater 3 is stopped so as not to exceed the maximum heating temperature of 80 ° C.

이와 같은 작용으로 인하여 상기 레귤레이터(5)의 전단측 가스배관(2) 내의 고압의 가스의 온도를 70 내지 80℃의 범위에서 유지할 수 있게 된다. 이와 같이 레귤레이터(5)의 전단측 가스의 온도를 승온시킴으로써, 상기 승온된 고압의 가스가 레귤레이터(5)에 의해 감압되는 경우에도 그 감압된 가스, 즉 레귤레이터(5) 후단측의 가스배관(2) 내의 가스의 온도가 상온보다 낮지 않은 상태가 되도록 할 수 있어, 그 가스의 감압에 따른 가스의 온도변화에도 그 가스배관 주변에 물이 응축되는 문제를 해결할 수 있다.
Due to this action it is possible to maintain the temperature of the high-pressure gas in the front gas pipe 2 of the regulator 5 in the range of 70 to 80 ℃. By raising the temperature of the gas on the front end side of the regulator 5 in this way, even if the elevated pressure gas is depressurized by the regulator 5, the reduced pressure gas, that is, the gas pipe 2 on the rear end side of the regulator 5. The temperature of the gas in the c) can be made not lower than the normal temperature, so that water condensation around the gas pipe can be solved even when the temperature of the gas changes due to the reduced pressure of the gas.

그러나 상기와 같은 종래 대용량 가스공급장치는 상기 가스용기(1)에서 가스가 인출되어 그 가스용기(1)의 압력이 낮아지는 경우에도 최초 설정된 블록히터(3)의 설정온도에 따라 동작하기 때문에 상기 레귤레이터(5)를 통하여 감압된 가스의 온도가 과도하게 높게 될 수 있는 문제점이 있었다.
However, the conventional large-capacity gas supply device as described above operates even when the gas is withdrawn from the gas container 1 and the pressure of the gas container 1 is lowered, thus operating according to the initially set temperature of the block heater 3. There was a problem that the temperature of the gas decompressed through the regulator 5 may be excessively high.

즉, 가스용기의 최초 압력이 100bar인 경우 레귤레이터(5)를 통해 60bar의 압력으로 감압한다고 가정하여, 최초에는 100bar, 80℃인 가스를 레귤레이터(5)를 통해 60bar로 감압하여, 가스의 온도가 낮아져 30℃가 된다. 이때 구체적인 수치는 하나의 예이며, 감압에 따른 온도의 감온정도는 가스마다 차이가 있을 수 있다.That is, assuming that the initial pressure of the gas container is 100bar, it is assumed that the pressure is reduced to 60bar through the regulator (5). At first, the gas having 100bar and 80 ° C is reduced to 60bar through the regulator (5). It becomes low and becomes 30 degreeC. At this time, the specific value is one example, the temperature reduction degree of temperature according to the decompression may be different for each gas.

이와 같은 상태로 가스의 공급이 지속되는 경우 상기 레귤레이터(5)의 후단의 가스배관(2)에는 물이 응축되지 않게 되나, 반대로 상기 가스용기(1)에서 가스가 인출되어 그 가스용기(1)의 압력이 80bar로 낮아진 경우에도 상기 블록히터(3)로 80℃로 가열하게 되어 레귤레이터(5)에 의한 감압 폭이 줄어드는 경우 그 감온의 폭도 줄어들게 된다. 즉, 80bar에서 60bar로 20bar의 감압이 이루어지는 동안 감온 정도도 낮아지게 되어 레귤레이터(5) 후단의 가스 온도가 60℃를 넘을 수 있게 되어, 고온의 가스에 의한 레귤레이터(5) 손상이 발생될 수 있다.
When the gas is supplied in this state, water is not condensed in the gas pipe 2 at the rear end of the regulator 5, but on the contrary, the gas is withdrawn from the gas container 1 and the gas container 1 is removed. Even if the pressure of 80 bar is lowered to the heating to 80 ℃ to the block heater (3) when the reduced pressure range by the regulator 5 is reduced the width of the temperature reduction. That is, the temperature reduction degree during the decompression of 20 bar from 80 bar to 60 bar is also lowered so that the gas temperature of the rear end of the regulator (5) can be over 60 ℃, damage to the regulator (5) by the high temperature gas may occur. .

이는 상기 가스의 감온정도가 감압정도에 비례하기 때문이며, 상기 레귤레이터(5)의 내에 사용되는 수지재 부품이 권장 사용온도의 상한이 통상 60 내지 65℃를 넘지 못하게 되어 있는 것을 고려할 때, 수지재 부품의 변형을 일으킬 수 있다.This is because the degree of temperature reduction of the gas is proportional to the degree of decompression, and considering that the upper limit of the recommended use temperature of the resin material used in the regulator 5 does not normally exceed 60 to 65 ° C, the resin material parts May cause deformation.

상기 레귤레이터(5)의 수지재 부품이 손상되는 경우 정압의 가스를 공급할 수 없게 되어, 이후 공정 불량등을 일으키는 원인이 된다.
If the resin material component of the regulator 5 is damaged, it is impossible to supply a gas of positive pressure, which causes a later process failure or the like.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 레귤레이터에 의해 가스가 감압되면서 온도가 낮아져 그 레귤레이터의 후단부에서 응축수가 발생하거나 응결이 발생되는 것을 방지할 수 있으며, 과열에 의한 레귤레이터의 손상을 방지할 수 있는 대용량 가스 공급설비의 히터 제어장치 및 제어방법을 제공함에 있다.
The technical problem to be solved by the present invention in consideration of the above problems, the gas is reduced by the pressure reduced by the regulator to prevent condensation or condensation occurs at the rear end of the regulator, the regulator by overheating The present invention provides a heater control apparatus and a control method of a large-capacity gas supply facility that can prevent damage.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명 대용량 가스 공급설비의 히터 제어장치는, 가스용기의 가스를 가스배관으로 인출시켜, 레귤레이터로 감압하는 가스 공급장치에 있어서, 상기 레귤레이터의 전단측 가스배관을 가열하는 블록히터와, 상기 레귤레이터의 후단측 가스배관의 온도인 제1온도를 검출하여, 상기 제1온도와 상온 이상의 하한 기준 온도를 비교하여, 상기 제1온도가 상기 하한 기준 온도와 동일 또는 더 낮은 온도일 때 상기 블록히터에 전류를 공급하는 제어부를 더 포함한다.The heater control apparatus of the present invention large-capacity gas supply equipment for solving the above problems, in the gas supply device for drawing the gas of the gas container into the gas pipe, and depressurized by the regulator, heating the front end gas pipe of the regulator Detecting a block heater and a first temperature, which is a temperature of a gas pipe at a rear end side of the regulator, and comparing the first temperature with a lower reference temperature higher than or equal to a room temperature, wherein the first temperature is equal to or lower than the lower reference temperature. It further comprises a control unit for supplying a current to the block heater when the temperature.

또한 본 발명 대용량 가스 공급설비의 히터 제어방법은, a) 가스용기에서 인출되는 가스를 감압하는 레귤레이터의 후단측 가스배관의 온도인 제1온도를 검출하는 단계와, b) 상기 제1온도와 상온 이상인 하한 기준 온도를 비교하여, 제1온도가 하한 기준 온도와 같거나 낮을 때 상기 레귤레이터의 전단측 상기 가스배관을 블록히터로 가열하는 단계와, c) 상기 b) 단계의 상태에서 상기 블록히터의 온도인 제2온도를 검출하여, 상기 제2온도와 상한 기준 온도를 비교하여, 상기 제2온도가 상한 기준 온도와 같거나 더 높은 온도일 때, 상기 블록히터의 작동을 정지시키는 단계를 포함한다.
In addition, the heater control method of the large-capacity gas supply equipment of the present invention comprises the steps of: a) detecting a first temperature which is a temperature of a gas pipe at a rear end side of a regulator for reducing pressure of a gas drawn from a gas container; and b) the first temperature and room temperature. Comparing the lower limit reference temperature which is greater than or equal to, when the first temperature is equal to or lower than the lower limit reference temperature, heating the gas pipe on the front end side of the regulator with a block heater; c) of the block heater in the state of step b). Detecting a second temperature that is a temperature, comparing the second temperature with an upper limit reference temperature, and stopping the operation of the block heater when the second temperature is equal to or higher than an upper limit reference temperature; .

본 발명은 가스용기에서 인출되는 가스의 압력을 낮춰 정압 공급하는 레귤레이터의 후단측 가스배관의 온도를 검출하고, 그 후단측 가스배관 내의 가스 온도를 상온 이상이 되도록 제어함으로써, 그 레귤레이터의 후단측에 응축수 또는 응결이 발생되는 것을 방지함과 아울러 가스의 과열을 방지하여 레귤레이터의 손상을 방지할 수 있는 효과가 있다.
The present invention detects the temperature of the gas pipe at the rear end of the regulator for supplying the positive pressure by lowering the pressure of the gas drawn out from the gas container, and controls the gas temperature in the gas pipe at the rear end of the regulator so that the temperature is equal to or higher than the normal temperature. In addition to preventing condensate or condensation from occurring, it is possible to prevent overheating of the gas to prevent damage to the regulator.

도 1은 종래 대용량 가스 공급설비의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대용량 가스 공급설비의 히터 제어장치의 구성도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대용량 가스 공급설비의 히터 제어방법의 순서도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 대용량 가스 공급설비의 히터 제어장치의 구성도이다.1 is a block diagram of a conventional large-capacity gas supply equipment.
2 is a block diagram of a heater control device of a large-capacity gas supply facility according to a preferred embodiment of the present invention.
3 is a flow chart of a heater control method of a large-capacity gas supply facility according to a preferred embodiment of the present invention.
Figure 4 is a block diagram of a heater control device of a large-capacity gas supply facility according to another embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대용량 가스 공급설비의 히터 제어장치 및 방법의 구성과 작용을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the configuration and operation of the heater control apparatus and method of the large-capacity gas supply equipment according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대용량 가스 공급설비의 히터 제어장치의 구성도이다.2 is a block diagram of a heater control device of a large-capacity gas supply facility according to a preferred embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대용량 가스 공급설비의 히터 제어장치는, 가스용기(10)로부터 상대적으로 가스를 인출하여 가스배관(11)을 통해 공급하는 밸브(20)와, 상기 밸브(20)의 후단측 가스배관(11)에 위치하여 상기 가스용기(10)로부터 인출된 가스를 감압하여 정압의 가스를 공급하는 레귤레이터(30)와, 상기 레귤레이터(30)의 전단측 가스배관(11)에 마련되어, 공급되는 전류에 따라 열을 발생시켜 상기 레귤레이터(30) 후단측 가스배관(11)의 온도를 설정범위 내에서 유지하는 블록히터(40)와, 상기 레귤레이터(30) 후단의 가스배관(11) 온도를 검출하여 그 검출된 온도가 하한 기준 값일 때 상기 블록히터(40)에 전류를 공급하며, 상기 블록히터(40)의 온도를 검출하여 블록히터(40)의 검출온도가 상한 기준 값일 때 상기 블록히터(40)에 공급되는 전류를 차단하는 제어부(50)를 포함한다.
Referring to FIG. 2, a heater control apparatus for a large-capacity gas supply facility according to a preferred embodiment of the present invention includes a valve 20 for relatively extracting gas from a gas container 10 and supplying the gas through a gas pipe 11. A regulator (30) positioned in a rear end gas pipe (11) of the valve (20) for supplying a constant pressure gas by depressurizing the gas drawn from the gas container (10), and a front side gas of the regulator (30); Block heater 40 provided in the pipe 11 and generating heat according to the supplied current to maintain the temperature of the gas pipe 11 at the rear end side of the regulator 30 within a set range, and the rear end of the regulator 30. Detects the temperature of the gas pipe 11 and supplies a current to the block heater 40 when the detected temperature is a lower limit reference value, and detects the temperature of the block heater 40 to detect the temperature of the block heater 40. When the upper limit is the reference value, the block heater 40 A current that is a control unit (50) to block.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대용량 가스 공급설비의 히터 제어장치와 제어방법에 대하여 보다 상세히 설명한다.
Hereinafter, a heater control apparatus and a control method of a large-capacity gas supply facility according to a preferred embodiment of the present invention configured as described above will be described in more detail.

먼저, 가스용기(10)는 고압으로 가스를 충진한 것이며, 그 가스용기(10)로부터 인출되는 가스의 압력은 시간이 경과 할수록 점차 감소하게 된다.First, the gas container 10 is filled with gas at a high pressure, the pressure of the gas withdrawn from the gas container 10 is gradually reduced with time.

밸브(20)는 상기 가스용기(10)에 충진된 가스를 가스배관(11)으로 인출하여 도면에 도시되지는 않았지만 가스를 소비하는 공정장비 측으로 가스가 공급되도록 한다.
The valve 20 draws the gas filled in the gas container 10 into the gas pipe 11 so that the gas is supplied to the process equipment that consumes the gas although not shown in the drawing.

이때 상기 밸브(20)를 통해 가스배관(11)측으로 공급되는 가스의 압력은 상기 공정장비측의 요구 공정압력에 비하여 더 크기 때문에 레귤레이터(30)를 사용하여 감압시킨다. At this time, since the pressure of the gas supplied to the gas pipe 11 side through the valve 20 is larger than the required process pressure on the side of the process equipment, the pressure is reduced using the regulator 30.

상기 밸브(20)를 통해 레귤레이터(30)의 전단측 가스배관(11)으로 공급되는 가스는 상대적으로 압력이 높으며, 온도는 상온에 가까운 상태이며, 상기 레귤레이터(30)를 통해 감압되면, 상온에 비해 낮은 온도가 된다. 경우에 따라서는 영하의 온도가 되며 그 레귤레이터(30) 후단측 가스배관(11)의 외측에는 응축수가 맺히거나 응결이 발생하게 된다.
The gas supplied to the front side gas pipe 11 of the regulator 30 through the valve 20 is relatively high in pressure, the temperature is close to room temperature, and when the pressure is reduced through the regulator 30, Compared to a lower temperature. In some cases, the temperature is below zero, and condensate or condensation occurs on the outside of the gas pipe 11 at the rear end of the regulator 30.

이를 방지하기 위하여 제어부(50)는 레귤레이터(30) 후단측 가스배관(11)의 온도를 검출하며, 검출 온도가 하한 기준 온도가 되면, 전류를 블록히터(40)에 공급하여 상기 레귤레이터(30) 전단측 가스배관(11)을 가열하게 된다.
In order to prevent this, the controller 50 detects the temperature of the gas pipe 11 at the rear end of the regulator 30. When the detected temperature reaches the lower limit reference temperature, the controller 50 supplies a current to the block heater 40 to provide the regulator 30. The front side gas pipe 11 is heated.

상기 하한 기준 온도는 상온보다 높은 온도인 30℃ 정도가 적당하다. 이 온도는 실내를 기준으로 하는 것이며, 실외에 설치된 경우에는 여름과 겨울의 평균 온도를 감안하여 새롭게 설정함이 바람직하다.
As for the said lower limit reference temperature, about 30 degreeC which is temperature higher than normal temperature is suitable. This temperature is based on indoors, and when it is installed outdoors, it is preferable to set a new temperature in consideration of the average temperature in summer and winter.

즉, 상기 레귤레이터(30)의 후단측 가스배관(11)은 온도가 상온보다 높은 온도에서 유지되어, 그 레귤레이터(30) 후단측 가스배관(11)에 응축수가 맺히거나, 응결이 발생하는 것을 방지할 수 있게 된다.
That is, the rear end side gas pipe 11 of the regulator 30 is maintained at a temperature higher than the normal temperature, thereby preventing condensation from forming or condensation on the rear end side gas pipe 11 of the regulator 30. You can do it.

또한, 상기 제어부(50)는 블록히터(40)의 온도를 검출하여, 블록히터(40)에서 검출된 온도가 상한 기준 온도를 초과하지 않도록 제어한다.In addition, the controller 50 detects the temperature of the block heater 40 and controls the temperature detected by the block heater 40 not to exceed the upper limit reference temperature.

즉, 상기 가스배관(11)의 온도가 상온 이상에서도 상기 제어부(50)에 의해 블록히터(40)로 계속 전류가 공급되어, 그 블록히터(40)의 온도는 상승하게 되며, 그 블록히터(40)의 온도가 상한 기준 온도가 되면, 전류의 공급을 차단하여 블록히터(40)와 그 블록히터(40)에 의해 가열되는 가스배관(11)의 온도가 더 이상 상승하는 것을 방지할 수 있게 된다.That is, even when the temperature of the gas pipe 11 is higher than or equal to room temperature, the current is continuously supplied to the block heater 40 by the control unit 50, and the temperature of the block heater 40 is increased, and the block heater ( When the temperature of 40 is the upper limit reference temperature, the supply of current is cut off so that the temperature of the block heater 40 and the gas pipe 11 heated by the block heater 40 can be prevented from rising any further. do.

상기 제어부(50)의 상한 기준 온도는 60 내지 80℃의 범위로 설정할 수 있으며, 가스의 종류에 따라 가변적으로 설정할 수 있게 된다.
The upper limit reference temperature of the controller 50 may be set in a range of 60 to 80 ° C., and may be set variably according to the type of gas.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 대용량 가스 공급설비의 히터 제어방법을 보인 순서도이다.Figure 3 is a flow chart showing a heater control method of a large-capacity gas supply equipment according to a preferred embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면 가스가 공급되는 상태에서 레귤레이터(30) 후단의 가스배관(11)의 제1온도를 검출하는 단계(S31)와, 상기 검출된 제1온도를 하한 기준 온도와 비교하는 단계(S32)와, 상기 제1온도가 하한 기준 온도와 동일 또는 낮은 온도이면 블록히터(40)에 전류를 공급하여 가열하는 단계(S33)와, 상기 제1온도가 하한 기준 온도보다 높은 경우 상기 블록히터(40)의 온도인 제2온도를 검출하는 단계(S34)와, 상기 제2온도와 상한 기준 온도를 비교하여 제2온도가 상한 기준 온도에 비해 낮으면, 상기 S33단계를 유지하고 상기 S34단계를 재수행하는 단계(S35)와, 상기 S35단계의 비교결과 제2온도가 상한 기준 온도와 같거나 더 높은 경우 상기 블록히터(40)에 전류 공급을 중단하고, 상기 S31단계로 귀환하는 단계(S36)를 포함한다.
Referring to FIG. 3, a step (S31) of detecting a first temperature of a gas pipe 11 at a rear end of the regulator 30 in a state where a gas is supplied and comparing the detected first temperature with a lower limit reference temperature ( S32) and supplying a current to the block heater 40 when the first temperature is equal to or lower than the lower limit reference temperature (S33), and heating the block heater 40, and when the first temperature is higher than the lower limit reference temperature, the block heater Detecting a second temperature which is the temperature of 40 (S34), and comparing the second temperature with an upper limit reference temperature, if the second temperature is lower than the upper limit reference temperature, maintaining the step S33 and performing the step S34. If the second temperature is equal to or higher than the upper limit reference temperature as a result of the comparison between the step S35 and the step S35, the supply of the current to the block heater 40 is stopped, and the step S31 is returned. ).

이와 같은 제어방법은 블록히터(40)를 사용하여 레귤레이터(30)의 후단측 가스배관(11)에서 가스의 감압에 따른 온도의 변화에 의한 문제의 발생을 방지함과 아울러 상기 레귤레이터(30) 전단측의 가스의 압력과는 무관하게 온도를 제어할 수 있으며, 가스의 과열을 방지할 수 있게 된다.
Such a control method prevents the occurrence of a problem caused by the temperature change due to the pressure reduction of the gas in the rear end side gas pipe 11 of the regulator 30 using the block heater 40 and also the front end of the regulator 30. The temperature can be controlled regardless of the pressure of the gas on the side, and overheating of the gas can be prevented.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 대용량 가스 공급설비의 히터 제어장치의 구성도이다.Figure 4 is a block diagram of a heater control device of a large-capacity gas supply facility according to another embodiment of the present invention.

도 4를 참조하면 상기 도 2를 참조하여 설명한 본 발명의 실시예에서 상기 레귤레이터(30)의 후단측 가스배관(11)에 마련되어 상기 블록히터(40)를 통해 가열되고, 상기 레귤레이터(30)에 의해 감압된 가스를 다시 감압하는 제2레귤레이터(60)와, 상기 제2레귤레이터(60)의 후단측 가스배관(11)에 마련된 라인히터(70)를 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 4, in the embodiment of the present invention described with reference to FIG. 2, the gas pipe 11 is provided at a rear end side gas pipe 11 of the regulator 30 and is heated through the block heater 40. The second regulator 60 may further include a line heater 70 provided in the rear end side gas pipe 11 of the second regulator 60.

이와 같은 구성의 본 발명의 다른 실시예는, 다수의 레귤레이터들을 사용하여 순차 감압을 수행하는 방식이며, 상기 제2레귤레이터(60)의 후단측 가스배관(11)은 상기 블록히터(40)에 의해 최소 상온 이상의 온도로 유지되는 가스를 감압시키기 때문에 온도의 저하에 의하여 응결이 발생하는 것이 방지되며, 응축수 발생을 방지하기 위하여 상기 블록히터(40)에 비하여 가열정도가 약하며, 에너지 사용량이 적은 라인히터(70)를 사용하여도 충분히 감압된 가스의 온도 저하를 방지할 수 있게 된다.
Another embodiment of the present invention having such a configuration is a method of sequentially depressurizing using a plurality of regulators, the rear end side gas pipe 11 of the second regulator 60 by the block heater 40 Condensation is prevented from occurring due to a decrease in temperature because the gas maintained at a temperature above the minimum room temperature is reduced. In order to prevent condensation, the heating degree is weaker than that of the block heater 40 and the energy consumption is low. Even if 70 is used, it is possible to prevent the temperature drop of the gas sufficiently reduced in pressure.

또한, 상기 블록히터(40)의 온도를 직접 검출하여 가스의 과열을 방지함으로써, 제2레귤레이터(60)의 수지 부분이 손상되는 것을 방지할 수 있게 되어, 정압의 가스 공급이 가능하며, 가스공급의 신뢰성을 향상시킬 수 있게 된다.
In addition, by directly detecting the temperature of the block heater 40 to prevent overheating of the gas, it is possible to prevent the resin portion of the second regulator 60 from being damaged, so that a constant pressure gas supply is possible, and a gas supply is possible. It is possible to improve the reliability of.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정, 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention will be.

10:가스용기 11:가스배관
20:밸브 30:레귤레이터
40:블록히터 50:제어부
60:제2레귤레이터 70:라인히터10: gas container 11: gas piping
20: valve 30: regulator
40: block heater 50: control unit
60: second regulator 70: line heater

Claims (6)

가스용기의 가스를 가스배관으로 인출시켜, 레귤레이터로 감압하는 가스 공급장치에 있어서,
상기 레귤레이터의 전단측 가스배관을 가열하는 블록히터;
상기 레귤레이터의 후단측 가스배관의 온도인 제1온도를 검출하여, 상기 제1온도와 하한 기준 온도를 비교하여, 상기 제1온도가 상기 하한 기준 온도와 동일 또는 더 낮은 온도일 때 상기 블록히터에 전류를 공급하는 제어부;
상기 블록히터의 후단측 가스배관에는 상기 레귤레이터에서 감압된 상기 가스를 다시 감압하는 제2레귤레이터; 및
상기 제2레귤레이터의 후단측 가스배관을 가열하는 라인히터를 더 포함하는 대용량 가스 공급설비의 히터 제어장치.
In the gas supply device which draws the gas of the gas container to the gas pipe, and reduces the pressure by a regulator,
A block heater for heating the front gas pipe of the regulator;
Detects a first temperature, which is a temperature of a gas pipe at the rear end side of the regulator, and compares the first temperature with a lower limit reference temperature to the block heater when the first temperature is equal to or lower than the lower limit reference temperature. A controller for supplying current;
A second regulator for depressurizing the gas decompressed by the regulator again in a gas pipe at a rear end side of the block heater; And
And a line heater for heating the gas pipe at the rear end of the second regulator.
제1항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 블록히터의 온도인 제2온도를 검출하여, 상기 제2온도가 상한 기준 온도일 때 상기 블록히터에 공급되는 전류를 차단하는 것을 특징으로 하는 대용량 가스 공급설비의 히터 제어장치.
The method of claim 1,
The control unit,
Detecting a second temperature that is the temperature of the block heater, the heater control device for a large-capacity gas supply facility, characterized in that for blocking the current supplied to the block heater when the second temperature is the upper limit reference temperature.
삭제delete a) 가스용기에서 인출되는 가스를 감압하는 레귤레이터의 후단측 가스배관의 온도인 제1온도를 검출하는 단계;
b) 상기 제1온도와 하한 기준 온도를 비교하여, 제1온도가 하한 기준 온도와 같거나 낮을 때 상기 레귤레이터의 전단측 상기 가스배관을 블록히터로 가열하는 단계;
c) 상기 b) 단계의 상태에서 상기 블록히터의 온도인 제2온도를 검출하여, 상기 제2온도와 상한 기준 온도를 비교하여, 상기 제2온도가 상한 기준 온도와 같거나 더 높은 온도일 때, 상기 블록히터의 작동을 정지시키는 단계; 및
d) 상기 레귤레이터의 후단측에 마련된 제2레귤레이터로 가스를 감압하고, 상기 제2레귤레이터에 의해 감압된 가스의 온도를 보상하기 위하여 라인히터로 상기 제2레귤레이터의 후단측 가스배관을 가열하는 단계를 포함하는 대용량 가스 공급설비의 히터 제어방법.
a) detecting a first temperature, which is a temperature of a gas pipe at a rear end of the regulator for decompressing the gas withdrawn from the gas container;
b) comparing the first temperature and the lower limit reference temperature, and heating the gas pipe on the front side of the regulator with a block heater when the first temperature is equal to or lower than the lower limit reference temperature;
c) detecting a second temperature which is the temperature of the block heater in the state of step b), comparing the second temperature with an upper limit reference temperature, and when the second temperature is equal to or higher than an upper limit reference temperature. Stopping the operation of the block heater; And
d) depressurizing the gas with a second regulator provided at the rear end of the regulator, and heating a gas pipe at the rear end of the second regulator with a line heater to compensate for the temperature of the gas decompressed by the second regulator; Heater control method of a large-capacity gas supply equipment comprising.
제4항에 있어서,
상기 제1온도와 비교되는 하한 기준 온도는,
25 내지 30℃인 것을 특징으로 하는 대용량 가스 공급설비의 히터 제어방법.
5. The method of claim 4,
The lower limit reference temperature compared with the first temperature is,
Heater control method of a large-capacity gas supply facility, characterized in that 25 to 30 ℃.
제4항에 있어서,
상기 제2온도와 비교되는 상한 기준 온도는,
60 내지 80℃인 것을 특징으로 하는 대용량 가스 공급설비의 히터 제어방법.
5. The method of claim 4,
The upper limit reference temperature compared with the second temperature is,
Heater control method of a large-capacity gas supply equipment, characterized in that 60 to 80 ℃.
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