KR101252881B1 - An air flow control device - Google Patents

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Abstract

그레이팅의 구조를 변경하여 부상 기류를 방지할 수 있는 기류조정장치가 개시된다. Disclosed is an airflow adjusting device capable of changing the structure of a grating to prevent a floating airflow.

본 발명에 따른 기류조정장치는 클린룸 내에 설치되며 내부에 복수의 통기공이 구비된 그레이팅 및 상기 복수의 통기공 내부면에 형성된 슬릿을 구비한 것을 특징으로 한다. The airflow adjusting apparatus according to the present invention is characterized in that it is provided in a clean room and has a grating having a plurality of vent holes therein and slits formed on the inner surface of the plurality of vent holes.

그레이팅, 부상기류, 클린룸 Grating, Floating Air, Clean Room

Description

기류조정장치{An air flow control device}An air flow control device

도 1은 본 발명에 따른 클린룸의 내부구조를 개략적으로 나타낸 도면.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a schematic illustration of an internal structure of a clean room according to the present invention; Fig.

도 2는 도 1의 그레이팅을 상세히 나타낸 도면.Fig. 2 is a detailed view of the grating of Fig. 1; Fig.

<도면의 주요부분에 대한 간단한 설명>BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG.

101:생산라인 102:제조장비101: Production line 102: Manufacturing equipment

103:팬 필터 유닛 104:그레이팅103: Fan filter unit 104: Grating

106:통기공 108:슬릿106: vent hole 108: slit

본 발명은 기류조정장치에 관한 것으로, 특히 그레이팅의 구조를 변경하여 부상기류를 방지할 수 있는 기류조정장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an airflow adjusting device, and more particularly, to an airflow adjusting device capable of preventing a floating airflow by changing the structure of a grating.

현대 과학시술의 첨단화와 함께 생산공정의 초정밀화, 고순도화, 고정도화, 무균화가 추진되고 있으며, 첨단제품의 성능과 생산수율을 향상시키기 위한 청정기술(Clean Technology)이 핵심기술로 자리잡게 되었다. With the advancement of modern science and technology, the production process is becoming more sophisticated, high-purity, fixed, and sterilized, and clean technology has become the core technology to improve the performance and production yield of advanced products.

상기 청정기술은 총체적으로 생산공간의 환경을 청정하게 만든 설비인 클린룸에 관한 것으로, 주로 이물질이 문제되는 반도체, 액정표시장치 등 전자산업분 야, 정밀기계분야, 반도체용 화학약품을 제조하는 화학공장 뿐만아니라 미생물 오염이 문제되는 병원, 의약품공장, 식품공업등에 널리 이용되고 있다.The above cleaning technology relates to a clean room, which is a facility that totally cleans the environment of a production space, and is mainly used in the fields of electronic industries such as semiconductors and liquid crystal display devices in which foreign matter is a problem, It is widely used not only in factories but also in hospitals, pharmaceutical factories, food industry, etc. where microbial contamination is a problem.

반도체 산업에서 클린룸은 일정 목적의 계획공간으로서, 그 공간의 공기중에 떠다니는 이물질을 원하는 숫자 이하로 제어함으로써 그 공간에서 행하여지는 작업 대상체에 먼지등이 다다르지 못하게 하는 공간이다. In the semiconductor industry, a clean room is a planning space for a certain purpose. It controls the amount of foreign substances floating in the air in the space below a desired number, thereby preventing dust and the like from being different from each other in the object to be worked in the space.

상기 클린룸의 특성상 온도, 습도, 실내의 압력, 조도, 소음, 진동 등이 함께 제어관리되고 있다. The characteristics of the clean room include temperature, humidity, room pressure, illuminance, noise, and vibration.

액정표시장치를 구성하는 일 부품인 액정패널은 스위칭 소자인 박막트랜지스터가 매트릭스 형태로 배열된 어레이 기판을 포함한다. The liquid crystal panel, which is a component of the liquid crystal display device, includes an array substrate in which thin film transistors, which are switching elements, are arranged in a matrix form.

상기 어레이 기판에 배열된 단위화소를 구동하는 박막트랜지스터는 상기 반도체 공정을 통하여 형성되므로 고 순도의 청정 환경속에서 형성되어야 하므로 액정표시장치 제조공정에서 주위 환경은 제품의 품질 및 수율에 지대한 영향을 미치고 있다. Since the thin film transistor for driving the unit pixels arranged on the array substrate is formed through the semiconductor process, it must be formed in a clean environment of high purity. Therefore, the ambient environment in the manufacturing process of the liquid crystal display device has a great influence on the quality and yield of the product have.

따라서, 상기 액정표시장치의 제조공정은 고 청정도가 유지된 클린룸 내에서 이루어진다. 상기 클린룸 내에는 기류가 형성되어 내부에서 발생하는 먼지 등의 이물질을 제거하도록 되어 있다. Therefore, the manufacturing process of the liquid crystal display device is performed in a clean room where high cleanliness is maintained. An air flow is formed in the clean room to remove foreign matter such as dust generated inside.

특히 고청정 클린룸에서 기류의 흐름은 수직 층류(Down Stream Laminar Flow)가 기본으로 되어 있으며 부상기류는 최소한 억제하여야 한다. Especially, in a clean room with high cleanliness, the flow of the air stream is based on a down stream laminar flow, and the float air flow should be minimized.

이러한 클린룸 내에는 기류를 조정하기 위하여 일반적으로 상기 클린룸 바닥에 설치되는 그레이팅이 설치되어 있다. 상기 그레이팅에는 복수의 홀이 구비되어 있어 상기 클린룸내에서 상기 수직으로 흐르는 기류에 의해 상기 클린룸 내에서 발생하는 이물질들이 상기 그레이팅의 홀을 통해 아래로 배출된다. In such a clean room, a grating installed on the floor of the clean room is generally installed to adjust the air flow. The grating is provided with a plurality of holes so that foreign materials generated in the clean room are discharged downward through the holes of the grating by the vertically flowing airflow in the clean room.

이와 같이, 상기 클린룸은 상기 그레이팅을 통해 상기 클린룸에서 발생한 이물질들을 밖으로 배출시켜 고청정도를 유지하게 된다.As described above, the clean room discharges foreign substances generated in the clean room through the grating to maintain high cleanliness.

상기 클린룸은 위에서 서술한 바와 같이 수직기류를 강제로 흐르게 하여 상기 클린룸에서 발생한 이물질이 상기 그레이팅으로 빠지도록 한다. The clean room forcibly flows a vertical air flow as described above, so that foreign substances generated in the clean room are allowed to fall into the grating.

상기 그레이팅의 홀들은 상기 그레이팅을 기준으로 상하의 기압 차이에 따라 어느 방향으로도 기류를 형성할 수 있다. The holes of the grating can form an air flow in any direction according to the difference in air pressure between the upper and lower sides based on the grating.

따라서, 상기 클린룸내에서 수직방향으로 강제적으로 기류가 흐르도록 하여도 예기치 못한 상황으로 인해 상기 그레이팅의 홀을 통해 부상기류가 발생될 수 있다. Therefore, even if the airflow is forcibly forced to flow in the vertical direction in the clean room, a floating airflow can be generated through the holes of the grating due to an unexpected situation.

이때, 상기 부상기류는 상기 수직 방향으로 흐르는 기류와 반대되는 기류를 의미한다. At this time, the flotation air flow refers to an air flow opposite to the air flow flowing in the vertical direction.

이로인해, 상기 클린룸의 바닥을 이루는 상기 그레이팅 상에 깔려있던 이물질들이 상기 부상기류로 인해 상기 클린룸 내로 다시 유입되는 현상이 발생할 수 있다. 상기 부상기류를 방지하기 위해 별도의 팬을 설치하여 강제적으로 수직방향으로 기류가 흐르도록 조정하고 있다. As a result, foreign materials laid on the grating forming the bottom of the clean room may flow back into the clean room due to the sweeping air current. In order to prevent the floating airflow, a separate fan is provided so that the airflow is forced to flow in the vertical direction.

상기 부상기류를 방지하기 위해 강제적으로 별도의 팬을 설치함에 따라 비용이 증가하는 등의 문제가 발생하게 된다. A separate fan is forcibly installed in order to prevent the floating air flow, which causes a problem such as an increase in cost.

본 발명은 그레이팅의 구조를 변경하여 부상기류를 방지할 수 있는 기류조정장치를 제공함에 그 목적이 있다. An object of the present invention is to provide an airflow adjusting device capable of preventing the floating airflow by changing the structure of the grating.

본 발명은 비용을 절감할 수 있는 기류조정장치를 제공함에 그 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide an airflow adjusting device capable of reducing costs.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기류조정장치는 클린룸 내에 설치되며 내부에 복수의 통기공이 구비된 그레이팅 및 상기 복수의 통기공 내부면에 형성된 슬릿을 구비한 것을 특징으로 한다. In order to attain the above object, the airflow adjusting device according to the present invention is provided in a clean room, and includes a grating having a plurality of ventilation holes therein, and slits formed on the inner surfaces of the plurality of ventilation holes.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 설명한다. Hereinafter, embodiments according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 클린룸의 내부구조를 개략적으로 나타낸 도면이다. 1 is a schematic view illustrating an internal structure of a clean room according to the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 클린룸의 생산라인(101)에는 액정표시장치를 생산하기 위한 제조장비(102)들이 구비되고, 상기 생산라인(101)의 천정에는 복수의 팬 필터 유닛(103)이 설치되어 있으며, 상기 생산라인(101)의 바닥에는 복수의 통기공을 구비하고 있는 그레이팅(104)이 설치되어 있다. 1, a manufacturing line 102 for producing a liquid crystal display device is provided in a production line 101 of a clean room, and a plurality of fan filter units 103 are installed in a ceiling of the production line 101, And a grating 104 having a plurality of ventilation holes is provided at the bottom of the production line 101. [

상기 생산라인(101)의 천정에 형성된 팬 필터 유닛(103)을 통과하여 필터링된 공기가 상기 생산라인(101)으로 공급되어 수직 기류를 형성하게 되고, 상기 수직기류에 의해 상기 생산라인(101)에서 발생한 이물질들이 상기 그레이팅(104)을 통해 배출되어 제거됨으로써 상기 생산라인(101) 내의 고청정도를 유지하게 된다. The air filtered through the fan filter unit 103 formed on the ceiling of the production line 101 is supplied to the production line 101 to form a vertical air flow, So that the high cleanliness of the production line 101 can be maintained by removing the foreign substances generated in the production line 101 through the grating 104.

또한, 상기 그레이팅(104)을 통해 배출된 공기는 상기 팬 필터 유닛(103)에 의해 다시 천정위로 이동하여 상기 팬 필터 유닛(103)을 통해 재순환됨으로써 상기 클린룸 내의 고청정도를 유지하게 된다. In addition, the air discharged through the grating 104 is moved back to the ceiling by the fan filter unit 103 and is recirculated through the fan filter unit 103, thereby maintaining high cleanliness in the clean room.

다시 말하면, 액정표시장치 형성용 장비(102)가 설치된 클린룸의 천정에서 수직으로 고청정의 공기가 분사되면 상기 분사된 공기는 상기 클린룸의 바닥에 설치되어 있는 그레이팅(104)에 의해 흡입되면서 상기 클린룸에 분포하는 이물질을 외부로 배출한다. In other words, when highly clean air is injected vertically from the ceiling of the clean room where the apparatus 102 for forming a liquid crystal display is installed, the injected air is sucked by the grating 104 installed at the bottom of the clean room The foreign matter distributed in the clean room is discharged to the outside.

또한 배출된 상기 공기는 송풍기(미도시)에 의해 송풍되어 다시 정화되고 상기 클린룸 상부로 순환하여 상기 클린룸 천정의 팬 필터 유닛(103)을 통하여 상기 클린룸 내로 분사된다. 이와 같은 과정을 통해 상기 클린룸은 고청정 환경을 유지하게 된다. Further, the discharged air is blown by an air blower (not shown), is further purified, circulated to the upper part of the clean room, and is injected into the clean room through the fan filter unit 103 of the clean room ceiling. Through such a process, the clean room is maintained in a highly clean environment.

도 2는 도 1의 그레이팅을 상세히 나타낸 도면이다.2 is a detailed view of the grating shown in FIG.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 그레이팅(104)은 플라스틱 또는 세라믹 재질로 되어 있으며, 일정한 두께를 갖는 정방형의 판상구조로 이루어져 있고, 내부에 순환공기가 흐를 수 있도록 통기공(106)이 매트릭스 형태로 복수개가 형성되어 있다. 1 and 2, the grating 104 is formed of a plastic or ceramic material, and has a square plate-like structure having a predetermined thickness. The grating 104 has a vent hole 106 for circulating air therein, And a plurality of these are formed in the matrix form.

상기 그레이팅(104)의 통기공(106) 내부에는 복수의 슬릿(108)이 형성되어 있다. 즉, 상기 그레이팅(104)에 매트릭스 형태로 형성된 복수의 통기공(106) 내부에는 각각 소정의 슬릿(108)이 형성되어 있다. A plurality of slits 108 are formed in the vent hole 106 of the grating 104. That is, a predetermined slit 108 is formed in each of the plurality of ventilation holes 106 formed in the form of a matrix in the grating 104.

상기 복수의 통기공(106) 상에 형성된 소정의 슬릿(108)은 수직방향으로 비스듬히 형성되어 있다. A predetermined slit 108 formed on the plurality of vent holes 106 is formed obliquely in a vertical direction.

위에서 언급한 바와 같이, 상기 그레이팅(104)의 통기공(106)은 상기 그레이팅(104)을 기준으로 상하의 기압 차이가 발생하게 되면 어느 방향으로도 기류 형성 이 가능하다. As described above, the ventilation hole 106 of the grating 104 can form airflow in any direction as the upper and lower air pressure differences are generated with respect to the grating 104.

상기 클린룸 내에서 발생한 이물질들이 상기 수직기류에 의해 상기 그레이팅(104)의 통기공(106)을 통해 외부로 배출되는 과정에서 상기 그레이팅(104)을 기준으로 상하의 기압 차이가 발생하게 되는 경우 상기 그레이팅(104)의 통기공(106)은 부상기류를 형성하게 된다. When foreign matter generated in the clean room is discharged to the outside through the vent hole 106 of the grating 104 by the vertical air flow, when a difference in the air pressure between upper and lower portions occurs on the basis of the grating 104, The air vent 106 of the air vent 104 forms a swirling air flow.

이때, 상기 그레이팅(104)의 통기공(106) 내부에 형성된 복수의 슬릿(108)에 의해 상기 그레이팅(104)을 기준으로 상하 기압차가 발생하여도 상기 부상기류는 상기 그레이팅(104)을 통과하지 못하고 하부방향의 기류를 형성한다. At this time, although the vertical air pressure difference is generated by the plurality of slits 108 formed in the vent hole 106 of the grating 104 with respect to the grating 104, the uprising air does not pass through the grating 104 And forms a downward air flow.

즉, 상기 그레이팅(104)을 기준으로 상하 기압차가 발생하더라도 상기 그레이팅(104)의 통기공(106) 내의 복수의 슬릿(108)에 의해 부상기류가 발생되지 않고 하부방향으로만 기류가 형성된다.That is, even if a vertical pressure difference occurs on the basis of the grating 104, a plurality of slits 108 in the air holes 106 of the grating 104 do not generate a swirling air flow but only a downward flow.

이로인해, 상기 클린룸에서 발생되는 이물질들은 상기 그레이팅(104)을 통해 외부로 배출된다. Accordingly, the foreign substances generated in the clean room are discharged to the outside through the grating 104.

다시 말하면, 상기 그레이팅(104)에 형성된 통기공(106)은 상기 그레이팅(104)을 기준으로 상하 기압차가 발생하게 되면 어느 방향으로도 기류를 형성할 수 있는데, 상기 통기공(106) 내부에 상기 복수의 슬릿(108)이 구비됨에 따라 상기 그레이팅(104)의 통기공(106)은 하부방향으로만 기류를 형성하게 된다.In other words, the ventilation hole 106 formed in the grating 104 can form an airflow in any direction when a vertical pressure difference is generated with respect to the grating 104. In the ventilation hole 106, As the plurality of slits 108 are provided, the air holes 106 of the grating 104 form airflow only in the downward direction.

상기 통기공(106)에서는 하부방향으로만 기류를 형성하기 때문에 부상기류에 따라 상기 클린룸에 이물질이 다시 유입되는 문제점이 해결될 수 있다.Since the airflow is formed only in the downward direction in the vent hole 106, foreign matter may flow into the clean room again according to the floating air flow.

또한, 상기 그레이팅(104)의 통기공(106) 내부에 복수의 슬릿(108)을 구비함으로써 부상기류가 발생하면 이를 강제로 하부방향의 기류로 바뀌게 하는 팬을 별도로 구비하지 않아서 비용이 절감될 수 있다. Since a plurality of slits 108 are provided in the vent hole 106 of the grating 104, when a floatation airflow is generated, a fan for converting the floatation airflow into a downward flow is not separately provided, have.

본 발명은 이상의 실시예에서 살펴본 바에 한정되지 않으며 본 발명의 범위내에서 다양한 변형이 가능하다. 즉, 상기 그레이팅(104)의 재질이나 형상이 다양한 재질과 형상으로 변형 가능할 뿐만 아니라, 상기 그레이팅(104)의 통기공(106) 상에 형성된 슬릿(108)의 형태도 상기 그레이팅에 대응하여 변형될 수 있다. The present invention is not limited to the embodiments described above, and various modifications are possible within the scope of the present invention. That is, the material and shape of the grating 104 can be changed into various materials and shapes, and the shape of the slit 108 formed on the vent hole 106 of the grating 104 is also deformed corresponding to the grating .

위에서 언급한 바와 같이, 본 발명에 따른 기류조정장치는 클린룸 바닥에 형성된 그레이팅에 형성된 통기공에 복수의 슬릿을 구비하여 상기 클린룸 내에서 발생하는 부상기류를 최소화 시킬 수 있다. As described above, the airflow adjusting apparatus according to the present invention has a plurality of slits in the air holes formed in the grating formed on the floor of the clean room, so that the airflow generated in the clean room can be minimized.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따른 기류조정장치는 클린룸 바닥에 설치되는 그레이팅에 형성된 통기공에 복수의 슬릿을 구비하여 상기 그레이팅의 통기공이 상기 그레이팅을 기준으로 상하 기압차이가 나더라도 부상기류를 발생시키지 않고 하부방향으로만 기류를 형성할 수 있다. As described above, the airflow adjusting apparatus according to the present invention includes a plurality of slits in a vent hole formed in a grating installed on a floor of a clean room, so that even when the air holes of the grating are spaced apart from each other with respect to the grating, The airflow can be formed only in the downward direction without generating airflow.

또한, 본 발명에 따른 기류조정장치는 부상기류를 방지함으로써 상기 클린룸 내의 이물질을 외부로 배출시킴으로써 상기 클린룸을 고청정 환경으로 유지시킬 수 있다. In addition, the airflow adjusting apparatus according to the present invention can prevent foreign bodies from flowing into the clean room by discharging the foreign substances in the clean room to the clean environment.

또한, 본 발명에 따른 기류조정장치는 상기 그레이팅의 통기공에 복수의 슬릿만을 구비함으로써 별도의 팬을 이용해서 부상기류를 강제로 하부방향으로 기류로 흐르게 했던 종래의 기류조정장치에 비해 비용을 절감시킬 수 있다. Further, the airflow adjusting apparatus according to the present invention has a plurality of slits in the ventilation hole of the grating, thereby reducing the cost compared with the conventional airflow adjusting device in which the floating airflow is forcibly flowed downward into the airflow using a separate fan .

Claims (4)

클린룸 내부의 바닥에 설치되는 그레이팅;A grating installed on the floor inside the clean room; 상기 그레이팅 내부에 형성된 복수의 통기공; 및A plurality of vent holes formed in the grating; And 상기 복수의 통기공 내부 면에 수직방향으로 비스듬히 형성된 슬릿을 구비하고,And slits formed at an inner surface of the plurality of air vents at an angle in a vertical direction, 상기 그레이팅은 이물질이 포함된 공기를 흡입하고, 이물질을 클린룸 외부로 배출하는 것을 특징으로 하는 기류조정장치.Wherein the grating sucks air containing foreign matter and discharges the foreign matter to the outside of the clean room. 삭제delete 제 1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 통기공은 하부방향의 기류를 형성하는 것을 특징으로 하는 기류조정장치.Wherein the vent hole forms a downward airflow. 제 1항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 슬릿은 적어도 둘 이상 구비되는 것을 특징으로 하는 기류조정장치.Wherein at least two of the slits are provided.
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