KR101249858B1 - 상정반 가압 유닛 및 이를 포함한 양면 연마 장치 - Google Patents

상정반 가압 유닛 및 이를 포함한 양면 연마 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 상정반 가압 유닛은 상하 이동을 통해 상정반을 가압하여 상정반의 움직임량을 조절하는 적어도 하나의 가압 부재; 및 상기 가압 부재를 삽입하는 관통홀이 형성되고, 상기 관통홀의 내주면에 기준 돌기가 형성된 블록을 포함한다.

Description

상정반 가압 유닛 및 이를 포함한 양면 연마 장치{UPPER PLATE PRESSURIZING UNIT AND DOUBLE-SIDE POLISHING DEVICE INCLUDING THE SAME}
본 발명은 웨이퍼 양면 연마 장치에서 상정반의 움직임량을 정밀 조정하여 가공물의 가공 평탄도를 개선하는 상정반 가압 유닛 및 이를 포함한 양면 연마 장치에 관한 것이다.
반도체 등의 전자부품을 생산하기 위한 소재로 사용되는 실리콘 웨이퍼는, 단결정 실리콘 잉곳을 웨이퍼 형태로 얇게 절단하는 슬라이싱 공정(slicing), 원하는 웨이퍼의 두께로 연마하면서 평탄도를 개선하는 래핑 공정(lapping), 웨이퍼의 손상(damage) 제거를 위한 에칭 공정(etching), 표면 경면화 및 평탄도를 향상시키기 위한 연마 공정(polishing), 웨이퍼 표면의 오염 물질을 제거하기 위한 세정 공정(cleaning) 등의 단계를 거쳐 웨이퍼로 생산된다.
도 1은 래핑 공정 및 연마 공정에 사용되는 일반적인 양면 연마 장치를 도시한 도면이다.
양면 연마 장치(10)는 웨이퍼 경면연마를 위한 연마패드가 상면에 부착된 하정반(11)과, 웨이퍼를 상측에서 회전 가압하며 하면에 연마패드가 부착된 상정반(12)과, 상정반(12)과 하정반(11) 사이에 결합되게 놓여져서 웨이퍼(W)를 위치 및 이동시키고 회전시키는 웨이퍼 캐리어(13)를 포함한다.
하정반(11)의 내주에는 내주기어(14)가 형성되고, 중심부에는 선기어(sun gear)(15)가 설치되어, 상정반(12)과 하정반(11)의 반대방향 회전에 따라 각각 서로 반대방향으로 회전한다.
웨이퍼 캐리어(13)는 대략 원판형상으로 선기어(15)와 내주기어(14) 사이에 맞물리게 놓여지며, 그 내측에는 웨이퍼(W)의 장착을 위한 장착홀이 다수개 형성되어 있다. 따라서 웨이퍼(W)가 웨이퍼 캐리어(13)에 장착된 상태에서 상정반(12) 및 하정반(11)의 연마패드와 그 표면이 밀착되는 것이 가능하다.
양면 연마 장치(10)를 작동시키면, 하정반(11)과 상정반(12)이 서로 반대방향으로 회전하고, 내주기어(14)와 선기어(15)도 이에 연동하여 회전한다. 그리고, 선기어(15) 및 내주기어(14)에 맞물리게 놓여지는 웨이퍼 캐리어(13)가 상,하정반(12, 11) 사이에서 자전과 공전을 하면서 웨이퍼(W)를 정반의 중심과 외곽으로 회전시켜서 웨이퍼(W)의 양면이 연마되어진다.
그러나 종래의 양면 연마 장치(10)에는 다음과 같은 문제점이 있다.
도 2는 개략적으로 도시한 일반적인 양면 연마 장치에서 상정반의 움직임을 나타낸 도면이다.
양면 연마 장치에서, 상정반(120)과 하정반(110) 사이에서 웨이퍼가 가공되는데, 웨이퍼의 형상이나 두께 등의 편차가 발생하여도 가공이 균일하게 될 수 있도록 상정반(120)은 도 2에 도시된 바와 같이 하정반(110)에 대하여 접근 또는 이격되는 방향(상,하 방향)으로 승,하강이 가능하게 설치될 수 있다.
이러한 상정반(120)의 상,하 방향 움직임은 복수 개의 가압 부재(130)의 상,하 이동을 통하여 이루어질 수 있는데, 여기에 일정한 기준점이 없어 가압 부재(130)의 상,하 이동 정도를 정확히 파악할 수 없고 가압 부재(130)의 이동량을 정밀하게 조정하는 것이 어려워, 상정반(120)의 수평도 유지 및 움직임량 조절 실패에 따른 웨이퍼의 평탄도 품질이 저하되는 문제점이 존재하였다.
본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 웨이퍼 양면 연마 장치에서 상정반의 움직임량을 정밀 조정하여 가공물의 가공 평탄도를 개선하는 상정반 가압 유닛 및 이를 포함하는 양면 연마 장치를 제공하고자 한다.
상술한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명에 따른 상정반 가압 유닛은 상하 이동을 통해 상정반을 가압하여 상정반의 움직임량을 조절하는 적어도 하나의 가압 부재; 및 상기 가압 부재를 삽입하는 관통홀이 형성되고, 상기 관통홀의 내주면에 기준 돌기가 형성된 블록을 포함한다.
상기 가압 부재는 가압 볼트와, 상기 가압 볼트의 하방에 위치하는 지지 샤프트로 이루어질 수 있다.
상기 가압 부재의 상부에, 가압 부재의 상하 이동량을 조정하는 정밀조정 노브(knob)를 더 포함할 수 있다.
상기 정밀조정 노브는 외주면에 눈금이 구비된 제1 조정부 및 제2 조정부를 포함하고, 상기 제1 조정부의 회전에 의한 눈금 변위량을 통해 가압 부재의 상하 이동량을 조정할 수 있다.
상기 가압 부재 하부의 외주면을 감싸는 탄성 부재를 더 포함하고, 상기 탄성 부재의 복원력에 의해 상정반이 가압될 수 있다.
상기 가압 부재의 상하 이동량을 입력받는 입력부, 상기 입력부에 연결되어 입력부의 신호에 따라 가압 부재의 상하 이동을 제어하는 제어부, 및 상기 제어부의 제어 신호에 따라 상기 가압 부재를 상하로 이동시키는 구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 구동부는, 상기 가압 부재에 연결되어, 상기 제어부의 제어 신호에 따라 전진행정 또는 후진행정을 하여 상기 가압 부재를 상하로 이동시킬 수 있다.
상기 구동부는, 상기 가압 부재에 연결되어, 상기 제어부의 제어 신호에 따라 회전하여 상기 가압 부재를 상하로 이동시키는 모터일 수 있다.
상기 기준 돌기는, 상기 관통홀의 내주면에 서로 높이를 달리하여 복수 개가 구비될 수 있다.
본 발명에 따른 양면 연마 장치는, 연마패드가 상면에 부착된 하정반; 웨이퍼를 상측에서 회전 가압하며, 하면에 연마패드가 부착된 상정반; 상기 상정반 및 하정반 사이에 위치하며, 웨이퍼를 위치 및 이동시키는 웨이퍼 캐리어; 및 상기 상정반 상부에 위치하는 상정반 가압 유닛을 포함하며, 상기 상정반 가압 유닛은, 상하 이동을 통해 상정반을 가압하여 상정반의 움직임량을 조절하는 적어도 하나의 가압 부재; 및 상기 가압 부재를 삽입하는 관통홀이 형성되고, 상기 관통홀의 내주면에 기준 돌기가 형성된 블록을 포함한다.
상술한 본 발명에 따른 상정반 가압 유닛 및 양면 연마 장치에 의하면, 가공물의 두께 차이, 형상 차이 등에 따라 가압 부재의 상하 이동량을 정밀 조정하여 상정반의 움직임량을 정확하게 제어함으로써, 웨이퍼 에지부의 리무벌량(removal) 편차 및 롤-오프 현상을 개선하여 가공물의 가공 평탄도를 개선할 수 있다.
도 1은 래핑 공정 및 연마 공정에 사용되는 일반적인 양면 연마 장치를 도시한 도면이고,
도 2는 개략적으로 도시한 일반적인 양면 연마 장치에서 상정반의 움직임을 나타낸 도면이고,
도 3은 도 2의 일부 구성요소인 블록을 확대하여 도시한 평면도이고,
도 4는 도 2의 A 부분을 확대하여 도시한 단면도이고,
도 5는 본 발명에 따른 상정반 가압 유닛을 도시한 도면이고,
도 6 및 도 7은 제1 실시예에 따른 상정반 가압 유닛을 도시한 도면이고,
도 8 및 도 9는 제2 실시예에 따른 상정반 가압 유닛을 도시한 도면이고,
도 10은 블록(140)의 관통홀(145)의 내주면에 복수 개의 기준 돌기가 구비된 상정반 가압 유닛을 도시한 도면이고,
도 11은 도 10의 B 부분을 확대하여 도시한 도면이고,
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 상정반 가압 유닛을 적용하기 전과 후의 양면 연마 장치를 이용하여 웨이퍼를 연마한 결과를 도시하는 그래프이다.
이하 상기의 목적을 구체적으로 실현할 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다. 종래와 동일한 구성요소는 설명의 편의상 동일 명칭 및 동일 부호를 부여하며 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 2는 개략적으로 도시한 일반적인 양면 연마 장치에서 상정반의 움직임을 나타낸 도면이고, 도 3은 도 2의 일부 구성요소인 블록을 확대하여 도시한 평면도이며, 도 4는 도 2의 A 부분을 확대하여 도시한 단면도이다.
도 2를 다시 참조하면, 복수 개의 가압 부재(130)가 블록(140)에 형성된 복수 개의 관통홀(145)에 각각 삽입되어 있고, 블록(140) 밑에 제1 링부재(150)가 배치된다. 그리고, 블록(140)의 관통홀(145)에 삽입된 복수 개의 가압 부재(130)가 상기 제1 링부재(150)를 누르도록 구성되어 있다.
상기 제1 링부재(150)의 하부에는 제2 링부재(160)가 배치되는데, 상기 제1 링부재(150)는 상기 제2 링부재(160)의 중심부에 홀이 형성되어 그 홀에 삽입되거나, 상기 제2 링부재(160)의 상부에 위치할 수 있다.
상기 제2 링부재(160)는 지지대(170)를 통해 상정반(120)의 상부에 지지된다.
블록(140)의 평면도를 확대하여 도시한 도 3을 참조하면, 블록(140)에 형성된 복수 개의 관통홀(145)에 가압 부재(130)가 각각 삽입되어 있음을 알 수 있다. 상정반(120)에 균일하게 압력을 가할 수 있도록 블록(140)의 가장자리를 따라 복수 개의 가압 부재(130)가 등간격으로 구비되는 것이 바람직하다.
가압 부재(130)가 상정반(120)을 가압하는 과정을 도 2를 참조하여 설명하면 다음과 같다.
복수 개의 가압 부재(130)가 블록(140)의 관통홀(145) 내에서 상,하 방향으로 이동하여 가압 부재(130)의 하방에 위치한 제1 링부재(150)를 가압하고, 상기 제1 링부재(150)의 하방에 위치하거나, 제1 링부재(150)를 중심부에 삽입하고 있는 제2 링부재(160)가 지지대(170)를 통해 상정반(120)을 가압함으로써, 상정반(120)이 하정반(110)에 대하여 접근 또는 이격되는 방향(상,하 방향)으로 승,하강이 가능하다.
도 2의 제1 링부재(150), 제2 링부재(160) 및 지지대(170) 등의 구성요소는 일 예시일 뿐 이보다 더 적거나 더 많은 구성요소가 포함될 수 있음은 당연하다.
도 2의 A 부분을 확대하여 도시한 도 4를 참조하여 가압 부재(130)의 상,하 이동을 좀 더 자세히 설명하기로 한다. 도 4는 종래의 상정반 가압 유닛을 도시한 것이다.
도 4를 참조하면, 블록(140)의 관통홀(145)에 가압 부재(130)가 삽입되어 있다. 상기 가압 부재(130)는 가압 볼트(132)와 상기 가압 볼트(132)의 하방에 위치하는 지지 샤프트(134)로 이루어질 수 있다. 그리고, 상기 지지 샤프트(134)의 외주면을 감싸는 스프링(210)이 구비된다.
상기 가압 부재(130) 상단의 노브(knob)(130a)를 이용하여 상기 가압 부재(130)의 상,하 이동을 조절하면, 상기 지지 샤프트(134)의 외주면을 감싸는 스프링(210)이 압축 또는 복원되면서 결과적으로 상정반(120)의 가압 정도가 조절된다.
그러나, 가압 부재(130)가 삽입된 블록(140)에 일정한 기준점이 없어 가압 부재(130)의 상,하 이동 정도를 정확히 파악할 수 없고, 가압 부재(130)의 이동량을 정밀하게 조정하는 것에도 어려움이 있다.
이로 인해, 상정반(120)의 수평도를 유지하거나 상정반(120)의 움직임량을 정밀하게 조정하는 것이 어려워져서 웨이퍼 에지부의 리무벌량(removal)에 편차가 발생하고, 웨이퍼 중심부보다 에지부에의 연마량이 많아져 웨이퍼의 수직 방향 절단면이 볼록한 형상을 갖는 롤-오프(roll-off) 현상이 발생할 수 있다.
도 5는 본 발명에 따른 상정반 가압 유닛을 도시한 도면이다. 도 5에 도시된 상정반 가압 유닛은 도 2의 A 부분에 상응하는 부분을 확대하여 도시한 것이다.
본 발명에 따른 상정반 가압 유닛(400)은 상정반(120)을 가압하여 상정반의 움직임량을 조절하는 적어도 하나의 가압 부재(130), 및 상기 가압 부재(130)를 삽입하는 관통홀(145)이 형성되고 상기 관통홀(145)의 내주면에 기준 돌기(140a)가 형성된 블록(140)을 포함한다.
상기 가압 부재(130)는 그 자체로서 단일의 구성요소일 수도 있고, 도 5에 예시로서 도시된 바와 같이 가압 볼트(132)와 상기 가압 볼트(132)의 하방에 위치하는 지지 샤프트(134)로 이루어질 수도 있다.
상기 가압 부재(130)의 하부 외주면, 즉 도 5에서는 지지 샤프트(134)의 외주면을 감싸는 스프링(210)이 구비될 수 있다.
종래의 상정반 가압 유닛(200)과의 차이점은 블록(140)의 관통홀(145)의 내주면에 기준 돌기(140a)가 형성되어 있다는 점이다.
종래에는 블록(140)에 기준점이 없어 가압 부재(130)가 상,하로 어느 정도 이동하였는지 알기 어려워 상정반(120)의 움직임량을 조절하기 어려웠으나, 본 발명의 상정반 가압 유닛(400)은 관통홀(145)의 내주면에 기준 돌기(140a)가 형성되어 있어 이를 기준점으로 하여 가압 부재(130)의 상하 이동량을 조절해 상정반(120)의 움직임량을 조절할 수 있다.
상기 기준 돌기(410a)는 블록(140)의 관통홀(145)의 내주면을 따라 수평 방향으로 연속된 링 형태일 수 있다.
<제1 실시예>
도 6 및 도 7은 제1 실시예에 따른 상정반 가압 유닛을 도시한 도면이다. 도 6 및 도 7에 도시된 상정반 가압 유닛은 도 2의 A 부분에 상응하는 부분을 확대하여 도시한 것이다.
제1 실시예에 따른 상정반 가압 유닛(500)은 상정반(120)을 가압하여 상정반의 움직임량을 조절하는 적어도 하나의 가압 부재(130), 및 상기 가압 부재(130)를 삽입하는 관통홀(145)이 형성되고 상기 관통홀(145)의 내주면에 기준 돌기(140a)가 형성된 블록(140)을 포함하고, 상기 가압 부재(130)의 상부에, 가압 부재(130)의 상하 이동량을 조정하는 정밀조정 노브(510)를 더 포함한다.
상기 가압 부재(130)는 그 자체로서 단일의 구성요소일 수도 있고, 도 6 및 7에 예시로서 도시된 바와 같이 가압 볼트(132)와 상기 가압 볼트(132)의 하방에 위치하는 지지 샤프트(134)로 이루어질 수도 있다.
상기 정밀조정 노브(510)는 외주면에 눈금이 구비된 제1 조정부(510a) 및 제2 조정부(510b)를 포함한다.
상기 제1 조정부(510a) 또는 제2 조정부(510b)를 회전시키면 가압 부재(130)가 상,하로 이동하고 이에 따라 제1 조정부(510a) 및 제2 조정부(510b)의 외주면에 각각 구비된 눈금 사이에 변위가 발생하므로, 그 변위량을 측정하여 가압 부재(130)의 이동량을 정확히 제어할 수 있다.
즉, 정밀조정 노브(510)가 게이지(gauge)의 역할을 하여, 가압 부재(130)의 상,하 이동량을 정확히 측정하여 상정반(120)의 움직임량을 정밀하게 조정할 수 있다.
도 6에서는 가압 부재(130)의 지지 샤프트(134)가 직접 제1 링부재(150)와 접촉하여 상정반(120)의 움직임량을 조절하는 구성을 도시하였으나, 도 7에서와 같이 지지 샤프트(134)의 외주면을 감싸는 스프링(210)을 더 포함하여 상기 스프링(210)을 통해 간접적으로 제1 링부재(150)와 접촉하여 상정반(120)의 움직임량을 조절하는 구성도 가능하다.
상술한 제1 실시예에서, 가압 부재(130)가 제1 링부재(150)를 가압하여 결과적으로 상정반(120)을 가압하는 것처럼 도시하였으나, 구성요소들의 배치에 따라 가압 부재(130)가 상정반(120)을 직접 가압하도록 배치하는 것도 가능하다.
<제2 실시예>
도 8 및 도 9는 제2 실시예에 따른 상정반 가압 유닛을 도시한 도면이다. 도 8 및 도 9에 도시된 상정반 가압 유닛은 도 2의 A 부분에 상응하는 부분을 확대하여 도시한 것이다.
제2 실시예에 따른 상정반 가압 유닛(600)은 상정반(120)을 가압하여 상정반의 움직임량을 조절하는 적어도 하나의 가압 부재(630), 및 상기 가압 부재(630)를 삽입하는 관통홀(145)이 형성되고 상기 관통홀(145)의 내주면에 기준 돌기(140a)가 형성된 블록(140)을 포함하고, 상기 가압 부재(630)의 상하 이동량을 입력받는 입력부(640), 상기 입력부(640)에 연결되어 입력부의 신호에 따라 가압 부재(630)의 상하 이동을 제어하는 제어부(650), 및 상기 제어부(650)의 제어 신호에 따라 상기 가압 부재(630)를 상하로 이동시키는 구동부(660)를 더 포함한다.
상기 입력부(640)에는 작업자가 미리 설정한 가압 부재(630)의 상하 이동량이 복수 개의 수치로 저장되어 있고, 작업자가 이러한 수치들 중 하나를 선택하여 입력할 수 있다.
입력부(640)에 작업자가 수치를 입력하면, 입력부(640)는 작업자가 입력한 수치에 상응하는 신호를 제어부(650)에 전달한다. 그리고, 제어부(650)는 상기 신호에 따라 구동부(660)에 제어 신호를 전송하여 구동부(660)를 통해 가압 부재(630)를 움직인다.
일 예시에서, 상기 구동부(660)는, 가압 부재(630)에 연결되어, 상기 제어부(650)의 제어 신호에 따라 전진행정 또는 후진행정을 하여 상기 가압 부재(630)를 상하로 이동시키는 실린더일 수 있다.
상기 실린더는 일반적인 유압식, 또는 공압식 실린더일 수 있으며, 실린더의 피스톤(미도시) 일단이 상기 가압 부재(630)에 연결될 수 있다.
다른 예시에서, 상기 구동부(660)는, 가압 부재(630)에 연결되어, 상기 제어부(650)의 제어 신호에 따라 회전하여 상기 가압 부재(630)를 상하로 이동시키는 모터일 수 있다.
상기 가압 부재(630)는 도 8 및 9에 도시된 바와 같이 그 자체로서 단일의 구성요소일 수도 있고, 가압 볼트와 상기 가압 볼트의 하방에 위치하는 지지 샤프트로 이루어질 수도 있다.
가압 부재(630)가 가압 볼트와 지지 샤프트로 이루어진 경우, 상기 구동부(660)는 가압 볼트의 상부에 연결될 수 있다.
도 8에서는 가압 부재(630)가 직접 제1 링부재(150)와 접촉하여 상정반(120)의 움직임량을 조절하는 구성을 도시하였으나, 도 9에서와 같이 가압 부재(630)의 외주면을 감싸는 스프링(210)을 더 포함하여 상기 스프링(210)을 통해 간접적으로 제1 링부재(150)와 접촉하여 상정반(120)의 움직임량을 조절하는 구성도 가능하다.
상술한 제2 실시예에서, 가압 부재(630)가 제1 링부재(150)를 가압하여 결과적으로 상정반(120)을 가압하는 것처럼 도시하였으나, 구성요소들의 배치에 따라 가압 부재(630)가 상정반(120)을 직접 가압하도록 배치하는 것도 가능하다.
도 10은 블록(140)의 관통홀(145)의 내주면에 복수 개의 기준 돌기가 구비된 상정반 가압 유닛을 도시한 도면이고, 도 11은 도 10의 B 부분을 확대하여 도시한 도면이다. 도 10에 도시된 상정반 가압 유닛은 도 2의 A 부분에 상응하는 부분을 확대하여 도시한 것이다.
제1,2 실시예에서는 관통홀(145)의 내주면에 단일의 기준 돌기(140a)만이 형성된 상정반 가압 유닛을 설명하였으나, 도 10에서와 같이 관통홀(145)의 내주면에 복수 개의 기준 돌기(140a, 140b, 140c)가 형성되는 것도 가능하다. 상기 복수 개의 기준 돌기(140a, 140b, 140c)는 상기 관통홀(145)의 내주면에 서로 높이를 달리하여 형성될 수 있다.
복수 개의 기준 돌기가 구비됨으로써 가압 부재(130)의 상하 이동량을 좀 더 세부적으로 파악할 수 있다.
도 10에는 세 개의 기준 돌기(140a, 140b, 140c)가 도시되어 있으나, 제작 방법 및 필요에 따라 네 개 이상의 기준 돌기가 형성될 수도 있다.
도 11에서 알 수 있는 바와 같이, 상기 복수 개의 기준 돌기 중 최하부에 위치한 기준 돌기(140a)는 그 내주면의 직경(d1)이 가압 부재(130)의 가압 볼트(132)의 직경(d2)보다 작아서, 가압 볼트(132)가 상기 기준 돌기(140a)를 넘어 과도하게 아래로 이동하는 것을 방지할 수 있다.
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 상정반 가압 유닛을 적용하기 전과 후의 양면 연마 장치를 이용하여 웨이퍼를 연마한 결과를 도시하는 그래프이다.
종래의 상정반 가압 유닛을 적용한 양면 연마 장치를 이용하여 웨이퍼를 연마한 결과를 보여주는 도 12의 왼쪽 그림을 참조하면, 웨이퍼의 반경이 커질수록 웨이퍼의 두께가 감소하는 것을 알 수 있다.
즉, 웨이퍼의 중심부와 에지부의 리무벌량 편차가 커서 웨이퍼의 중심부가 볼록한 롤-오프(roll-off) 현상이 발생한 것이다.
실시예에 따른 상정반 가압 유닛을 적용한 양면 연마 장치를 이용하여 웨이퍼를 연마한 결과를 보여주는 도 12의 오른쪽 그림을 참조하면, 가공물의 반경에 따른 웨이퍼의 두께 차이가 적음을 알 수 있다.
즉, 웨이퍼의 중심부와 에지부의 리무벌량의 편차가 줄어들어 웨이퍼의 가공 평탄도가 개선된 것이다.
이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
120: 상정반 130: 가압 부재
140: 블록 145: 관통홀
140a: 기준 돌기 210: 스프링
510: 정밀조정 노브 640: 입력부
650: 제어부 660: 구동부

Claims (14)

  1. 상하 이동을 통해 상정반을 가압하여 상정반의 움직임량을 조절하며, 복수 개가 이격되어 위치하는 가압 부재; 및
    상기 가압 부재를 각각 삽입하는 복수 개의 관통홀이 형성되고, 상기 관통홀의 내주면에 기준 돌기가 형성된 블록;을 포함하며,
    상기 기준 돌기는, 상기 관통홀의 내주면에 서로 높이를 달리하여 복수 개가 구비된 상정반 가압 유닛.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 가압 부재는 가압 볼트와, 상기 가압 볼트의 하방에 위치하는 지지 샤프트로 이루어진 상정반 가압 유닛.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 가압 부재의 상부에, 가압 부재의 상하 이동량을 조정하는 정밀조정 노브(knob)를 더 포함하는 상정반 가압 유닛.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 정밀조정 노브는 외주면에 눈금이 구비된 제1 조정부 및 제2 조정부를 포함하고, 상기 제1 조정부의 회전에 의한 눈금 변위량을 통해 가압 부재의 상하 이동량을 조정하는 상정반 가압 유닛.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 가압 부재 하부의 외주면을 감싸는 탄성 부재를 더 포함하고, 상기 탄성 부재의 복원력에 의해 상정반이 가압되는 상정반 가압 유닛.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 가압 부재의 상하 이동량을 입력받는 입력부, 상기 입력부에 연결되어 입력부의 신호에 따라 가압 부재의 상하 이동을 제어하는 제어부, 및 상기 제어부의 제어 신호에 따라 상기 가압 부재를 상하로 이동시키는 구동부를 더 포함하는 상정반 가압 유닛.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 구동부는, 상기 가압 부재에 연결되어, 상기 제어부의 제어 신호에 따라 전진행정 또는 후진행정을 하여 상기 가압 부재를 상하로 이동시키는 실린더인 상정반 가압 유닛.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 구동부는, 상기 가압 부재에 연결되어, 상기 제어부의 제어 신호에 따라 회전하여 상기 가압 부재를 상하로 이동시키는 모터인 상정반 가압 유닛.
  9. 삭제
  10. 연마패드가 상면에 부착된 하정반;
    웨이퍼를 상측에서 회전 가압하며, 하면에 연마패드가 부착된 상정반;
    상기 상정반 및 하정반 사이에 위치하며, 웨이퍼를 위치 및 이동시키는 웨이퍼 캐리어; 및
    상기 상정반 상부에 위치하는 상정반 가압 유닛을 포함하며,
    상기 상정반 가압 유닛은, 상하 이동을 통해 상정반을 가압하여 상정반의 움직임량을 조절하며 복수 개가 이격되어 위치하는 가압 부재; 및
    상기 가압 부재를 각각 삽입하는 복수 개의 관통홀이 형성되고, 상기 관통홀의 내주면에 기준 돌기가 형성된 블록을 포함하며,
    상기 기준 돌기는, 상기 관통홀의 내주면에 서로 높이를 달리하여 복수 개가 구비된 양면 연마 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 가압 부재의 상부에, 외주면에 눈금이 구비된 제1 조정부 및 제2 조정부를 포함하는 정밀조정 노브를 더 포함하고, 상기 제1 조정부의 회전에 의한 눈금 변위량을 통해 가압 부재의 상하 이동량이 조절되는 양면 연마 장치.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 가압 부재의 상하 이동량을 입력받는 입력부, 상기 입력부에 연결되어 입력부의 신호에 따라 가압 부재의 상하 이동을 제어하는 제어부, 및 상기 제어부의 제어 신호에 따라 상기 가압 부재를 상하로 이동시키는 구동부를 더 포함하는 양면 연마 장치.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 구동부는, 상기 가압 부재에 연결되어, 상기 제어부의 제어 신호에 따라 전진행정 또는 후진행정을 하여 상기 가압 부재를 상하로 이동시키는 실린더인 양면 연마 장치.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 구동부는, 상기 가압 부재에 연결되어, 상기 제어부의 제어 신호에 따라 회전하여 상기 가압 부재를 상하로 이동시키는 모터인 양면 연마 장치.
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