KR101247203B1 - Slit member for x-ray analysis device and manufacturing method the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A slit member of an X-ray examination device and a manufacturing method thereof are provided to improve precision of an examination by preventing the influx of undesirable X-rays, thereby enhancing the precision of the examination. CONSTITUTION: A slit member of an X-ray examination device(100) comprises absorption units(110) and transmission units(120). The absorption units are separately arranged in a height direction on a path of X-rays scattered from a sample to an inspection unit, composed of a plurality of thin plates which form the absorption units, and absorb the X-rays being reflected or scattered at a portion extrinsic to the sample. The transmission units fix the thin plates by being interposed between the absorption units and transmit the X-rays scattered from the sample to the inspection unit. Lines extended from the thin plates meet at one point.

Description

Ｘ선 검사장비의 슬릿부재 및 그 제조방법{SLIT MEMBER FOR X-RAY ANALYSIS DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THE SAME}Slit member of X-ray inspection equipment and its manufacturing method {SLIT MEMBER FOR X-RAY ANALYSIS DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THE SAME}

본 발명은 광학 검사장비에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 검출부로 유입되는 엑스선을 정확한 범위에서 선택할 수 있도록 함으로써 물질 등의 검사에 있어서 X선 검출효율을 향상할 수 있는 엑스선 검사장비에 관한 것이다.
The present invention relates to an optical inspection device, and more particularly, to an X-ray inspection apparatus that can improve the X-ray detection efficiency in the inspection of the material and the like by selecting the X-rays flowing into the detection unit in the correct range.

X선을 이용한 물질 분석 방법은 X선 반사 분석법(XRR), 소각 X선 산란법(SAXS) 및 X선 회절 분석법(XRD) 등으로 구분된다.The material analysis method using X-rays is classified into X-ray reflection analysis (XRR), small angle X-ray scattering method (SAXS), X-ray diffraction analysis (XRD) and the like.

X선 반사 분석법(XRR)과 소각 X선 산란법(SAXS)은 주로 기판에 증착된 박판 층의 두께, 밀도 및 표면 특성을 분석하기 위한 기술로 사용된다.X-ray reflection analysis (XRR) and small angle X-ray scattering (SAXS) are mainly used as techniques for analyzing the thickness, density and surface properties of thin layers deposited on substrates.

X선 회절 분석법(XRD)은 시료의 결정 구조를 연구하기 위한 기술로서, 시료는 단색의 X선으로 조사되고, 회절 피크의 위차와 광도가 검출부에 의해 측정된다. 특징적인 산란각과 산란광의 광도는 연구 대상 시료의 격자면과 이러한 격자면을 차지하는 원자수에 좌우되는데, 소정이 파장(λ) 및 격자면의 간격(d)에 대하여, X선이 브래그 조건(nλ=sdsinθ, n:산란차수)을 만족하는 각(θ)으로 격자면에 입사한다. 응력, 고용체 또는 기타 조건에 의한 격자면의 변형에 의해 관창 가능한 XRD스펙트럼의 변화가 일어나므로 시료의 구조를 파악할 수 있는 것이다.X-ray diffraction analysis (XRD) is a technique for studying the crystal structure of a sample. The sample is irradiated with monochromatic X-rays, and the difference and light intensity of diffraction peaks are measured by the detector. The characteristic scattering angle and the intensity of the scattered light depend on the lattice plane of the sample to be studied and the number of atoms occupying the lattice plane. For a predetermined wavelength (λ) and the spacing (d) of the lattice plane, the X-ray is Bragg condition (nλ). = sdsin θ, n: scattering order) is incident on the lattice plane at an angle θ. The deformation of the lattice plane due to stress, solid solution, or other conditions causes a change in the XRD spectrum that can be viewed.

참고적으로, 본 발명의 내용 중에 '산란'이라는 용어는 X선을 시료에 조사하여 시료로부터 방출되는 임의의 모든 과정을 나타내는 데 사용되며, X선 반사 분석법(XRR), 소각 X선 산란법(SAXS) 및 X선 회절 분석법(XRD)은 물론 종래의 X선 형광분석에서의 산란을 포함하는 것으로 이해될 수 있다.For reference, in the context of the present invention, the term 'scattering' is used to refer to any process emitted from the sample by irradiating the sample with X-rays, X-ray reflection analysis (XRR), incineration X-ray scattering ( SAXS) and X-ray diffraction analysis (XRD) as well as scattering in conventional X-ray fluorescence.

도 1은 종래기술의 X선 분석장치의 구성을 간략하게 도시한 개념도이다.1 is a conceptual diagram briefly showing the configuration of an X-ray analyzer of the prior art.

시료(S)는 소정의 시료 테이블상에 배치되고, X선 발생장치(11)는 상기 시료(S)의 표면을 향하여 X선의 컨버징 빔(14)을 지향시킨다. The sample S is disposed on a predetermined sample table, and the X-ray generator 11 directs the X-ray converging beam 14 toward the surface of the sample S.

검출부(16)는 상기 시료로부터 산란된 X선(15)을 감지하도록 배치되고, 이와 같은 구성은 X선 회절 분석 장비나 X선 반사 분석 장비의 개념에 공통된다.The detection unit 16 is arranged to detect the X-rays 15 scattered from the sample, and this configuration is common to the concept of X-ray diffraction analysis equipment or X-ray reflection analysis equipment.

상기와 같은 구성에서 시료(S)는 소정의 테이블에 배치되는데, X선이 원하지 않는 부위에서 산란되거나 반사되는 경우가 존재한다. 이렇게 바람직하지 않게 검출부(16)측으로 유입되는 X선은 일종의 노이즈로서 작용하게 되고 X선 영상의 부정확성의 문제로 이어지게 된다.
In the above configuration, the sample S is disposed on a predetermined table, and there are cases where the X-rays are scattered or reflected at an unwanted portion. This undesirably X-rays flowing into the detection unit 16 acts as a kind of noise and leads to problems of inaccuracy of the X-ray image.

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위하여 안출된 것으로, 검출부측으로 유입되는 X선에서 효과적으로 노이즈를 제거하여 X선 연상의 대조도가 저하되는 문제를 해결할 수 있는 엑스선 검사장비의 슬릿부재를 제공하는 데 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, to provide a slit member of the X-ray inspection equipment that can effectively solve the problem that the contrast of the X-ray association is reduced by effectively removing noise from the X-rays flowing into the detection unit side There is a purpose.

또한, 본 발명은 슬릿을 형설하는 복수의 박판의 배치를 간단한 방법으로 정확하게 결정하여 엑스선 검사장비에의 배치를 용이하도록 하는 슬릿부재의 제조방법을 제공하는 데 목적이 있다.
In addition, an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a slit member to easily determine the arrangement of a plurality of thin plates for forming the slit by a simple method to facilitate the placement on the X-ray inspection equipment.

본 발명의 X선 검사장비의 슬릿부재는, X선 발생부로부터 조사되고 시료로부터 산란되는 X선을 검출부에서 검출하여 시료를 검사하는 엑스선 검사장비의 슬릿부재로서, 시료로부터 검출부로 산란되는 X선의 경로 상에서 높이방향으로 상호 이격되어 배치되는 복수의 박판으로 이루어지며 시료 외의 부위에서 반사되거나 산란되는 X선을 흡수하는 흡수부 및 상기 흡수부의 사이에 개재되어 상기 복수의 박판을 고정하고 시료로부터 검출부로 산란되는 X선을 투과하는 투과부를 포함하는 슬릿부재를 제공한다. 따라서, 바람직하지 않은 X선의 검출부로의 유입을 차단할 수 있고 영상재현의 정확성과 효율성이 증대되고, 작동신뢰성과 내구성이 향상된다.The slit member of the X-ray inspection apparatus of the present invention is a slit member of the X-ray inspection equipment for inspecting the sample by detecting the X-rays irradiated from the X-ray generator and scattered from the sample by the detection unit, and the X-rays scattered from the sample to the detection unit. It consists of a plurality of thin plates arranged to be spaced apart from each other in the height direction on the path interposed between the absorbing portion and the absorbing portion for absorbing X-rays reflected or scattered from a portion other than the sample to fix the plurality of thin plates to the detection unit from the sample Provided is a slit member including a transmission portion that transmits scattered X-rays. Therefore, it is possible to block the inflow of undesirable X-rays to the detection unit, increase the accuracy and efficiency of image reproduction, and improve the operation reliability and durability.

또한, 본 발명의 X선 검사장비의 슬릿부재는, 상기 흡수부와 투과부는, 평면형상이 상호 일치될 수 있다. 따라서, 공간적인 효율성이 극대화되고 제작의 정확성이 향상된다.In addition, the slit member of the X-ray inspection apparatus of the present invention, the absorption portion and the transmission portion, the planar shape may be mutually matched. Therefore, the spatial efficiency is maximized and the manufacturing accuracy is improved.

또한, 본 발명의 일실시예에 따른 X선 검사장비의 슬릿부재는, 상기 흡수부를 이루는 박판들은 상호 평행하게 배치된다. In addition, in the slit member of the X-ray inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, the thin plates forming the absorbing portion are arranged in parallel to each other.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 X선 검사장비의 슬릿부재는, 상기 흡수부를 이루는 박판들은, 그 연장선이 한 점에서 만나도록 배치된다. 따라서, 방사상으로 조사되는 X선을 효과적으로 필터링할 수 있다.In addition, the slit member of the X-ray inspection apparatus according to another embodiment of the present invention, the thin plates forming the absorbing portion, is arranged so that the extension line meets at one point. Therefore, it is possible to effectively filter the X-rays radiated radially.

또한, 본 발명의 X선 검사장비의 슬릿부재는, 상기 투과부가 상면이 경사진 형상으로 이루어질 수 있다. 따라서, 가공공정의 단순화되는 이점이 있다.In addition, the slit member of the X-ray inspection apparatus of the present invention, the transmission portion may be made in the shape of the inclined top surface. Therefore, there is a simplified advantage of the machining process.

또한, 본 발명의 X선 검사장비의 슬릿부재는, 상기 투과부가 폴리이미드, 아크릴, 폴리카보네이트 또는 그래파이트 중에서 선택된 재질로 이루어질 수 있다.In addition, the slit member of the X-ray inspection apparatus of the present invention, the transmission portion may be made of a material selected from polyimide, acrylic, polycarbonate or graphite.

한편, 본 발명의 X선 검사장비의 슬릿부재를 제조하는 방법은, 투과패널을 마련하는 단계, 상기 투과패널의 일면에 경사면을 형성하는 단계, 상기 투과패널을 흡수부를 이루는 박판의 전후방의 폭에 대응되도록 커팅하여 투과부 유닛을 마련하는 단계, 상기 투과부 유닛과 상기 박판을 교차하여 적층하는 단계;를 포함하는 슬릿부재의 제조방법을 제공한다. 따라서, 제조공정이 정확하고 단순하다.On the other hand, the method of manufacturing the slit member of the X-ray inspection apparatus of the present invention, the step of providing a transmissive panel, forming an inclined surface on one surface of the transmissive panel, the transmissive panel in the width of the front and rear of the thin plate forming the absorption part It provides a method of manufacturing a slit member comprising the step of providing a transmission unit by cutting so as to correspond, and laminating the transmission unit unit and the thin plate. Therefore, the manufacturing process is accurate and simple.

또한, 본 발명의 X선 검사장비의 슬릿부재의 제조방법은, 상기 적층하는 단계에서, 미리 마련된 박판을 각각의 투과부 유닛에 접착하는 방식으로 결합시킬 수 있다.In addition, the manufacturing method of the slit member of the X-ray inspection apparatus of the present invention, in the laminating step, it can be bonded in a manner to adhere the thin plate prepared in advance to each transmission unit.

또한, 본 발명의 X선 검사장비의 슬릿부재의 제조방법은, 상기 적층하는 단계에서, 상기 투과부 유닛의 면에 박판을 스퍼터(sputtering)링 증착하는 방식으로 결합시킬 수 있다.In addition, the method of manufacturing the slit member of the X-ray inspection apparatus of the present invention, in the laminating step, may be coupled to the surface of the transmission unit by sputtering (sputtering) ring deposition.

또한, 본 발명의 X선 검사장비의 슬릿부재의 제조방법은, 상기 적층하는 단계에서, 상기 투과부 유닛의 면에 박판을 e-beam증착(e-beam evaporation)하는 방식으로 결합시킬 수 있다.
In addition, the method of manufacturing a slit member of the X-ray inspection apparatus of the present invention, in the laminating step, may be coupled to the surface of the transmission unit in a manner of e-beam evaporation (e-beam evaporation).

본 발명에 따른 X선 검사장비의 슬릿부재는 바람직하지 않은 X선이 검출부로 유입되는 것을 차단할 수 있으므로 검사의 정밀성이 현저하게 향상되는 효과가 있다.Since the slit member of the X-ray inspection apparatus according to the present invention can block the undesirable X-rays to be introduced into the detector, the precision of the inspection is remarkably improved.

또한, 박판 형상의 흡수부의 배열을 투과성이 높은 투과부에 의하여 고정하면서 형상을 유지하기 때문에 X선 검사장비의 모듈화된 구성에서 배치 및 결합의 공정이 단순해지고 작동 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.In addition, since the arrangement of the thin absorbent portion is maintained by the highly permeable transmission portion, the shape is maintained, thereby simplifying the process of arrangement and coupling in the modular configuration of the X-ray inspection apparatus and improving the operational reliability.

한편, 본 발명에 따른 슬릿부재의 제조방법은, 미리 투과부의 형상과 크기를 결정한 이후에 그 상면에 투과부의 박판을 교차하여 적층하는 방식으로 이루어지기 때문에 제조공정의 정확성이 향상되는 효과가 있다.
On the other hand, the method of manufacturing the slit member according to the present invention has an effect of improving the accuracy of the manufacturing process because it is made in such a way that the thin plate of the transmissive part is laminated on the upper surface after determining the shape and size of the transmissive part in advance.

도 1은 종래기술의 엑스선 검사장비를 나타내는 개념도.
도 2는 본 발명의 X선 검사장비의 일실시예에 따른 슬릿부재가 배치되는 엑스선 검사장비를 나타내는 개념도.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬릿부재의 정면도.
도 4는 도 3의 슬릿부재의 사시도.
도 5는 본 발명의 슬릿부재를 제조하는 공정을 도시한 도면.1 is a conceptual diagram showing the X-ray inspection equipment of the prior art.
Figure 2 is a conceptual diagram showing the X-ray inspection equipment is disposed slit member according to an embodiment of the X-ray inspection equipment of the present invention.
3 is a front view of a slit member according to another embodiment of the present invention.
4 is a perspective view of the slit member of FIG.
5 is a view showing a process for manufacturing a slit member of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 따른 X선 검사장비의 슬릿부재를 더욱 상세하게 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in more detail the slit member of the X-ray inspection apparatus according to the present invention.

도 2는 본 발명의 X선 검사장비의 슬릿부재가 배치되는 엑스선 검사장비를 나타내는 개념도이다.2 is a conceptual diagram illustrating an X-ray inspection apparatus in which the slit member of the X-ray inspection apparatus of the present invention is disposed.

본 발명의 실시예에서 도 2의 배치상태에 따라 X선이 슬릿으로 유입되는 부위를 일측으로, 그 대향되는 부위를 타측으로 정의하여 사용한다.In the embodiment of the present invention according to the arrangement of Figure 2 is used to define the site where the X-rays are introduced into the slit on one side, the opposite site to the other side.

본 발명에 적용되는 엑스선 검사장비는 기본적으로 엑스선 발생부(11)와, 검출부(16)를 포함하여 이루어진다.The X-ray inspection apparatus applied to the present invention basically includes an X-ray generator 11 and a detector 16.

상기 엑스선 발생부(11)는 클로즈드 타입(Closed Type)의 고전압 엑스선 발생기나 오픈 타입(Open Type)의 엑스선 발생기를 선택적으로 사용할 수 있으며, 또한 전파를 이용하여 물질의 구조를 측정할 수 있는 다양한 파장의 전자기파를 발생할 수 있는 장비라면 선택적으로 이루어질 수 있다.The X-ray generator 11 may selectively use a closed type high voltage X-ray generator or an open type X-ray generator, and various wavelengths for measuring the structure of a material by using radio waves. If the equipment can generate electromagnetic waves can be made selectively.

또한, 상기 검출부(16)는 X선 발생부(11)로부터 조사되어 피사체로부터 반사되거나 산란되는 엑스선 빔을 검출할 수 있는 장치라면 다양한 장치가 적용될 수 있다.In addition, as long as the detection unit 16 is a device capable of detecting an X-ray beam that is irradiated from the X-ray generator 11 and reflected or scattered from the subject, various devices may be applied.

X선 발생부(11)에서 시료(S)를 향하여 조사되는 X선(14)은 시료(S)에서 산란되어 검출부(16)로 입력되는데 이 과정에서 바람직하지 않은 부위 즉, 테이블(미도시)나 물질의 다른 부위에서부터 반사되거나 산란되는 X선이 검출부(16)로 유입되는 경우 화상검출의 노이즈로서 작용하게 되어 검사의 부정확으로 이어지게 되는 문제가 있음은 상기한 바와 같다.The X-ray 14 irradiated from the X-ray generator 11 toward the sample S is scattered from the sample S and input to the detection unit 16. In this process, an undesired portion, that is, a table (not shown) However, when X-rays reflected or scattered from other parts of the substance are introduced into the detector 16, the X-rays act as noise of image detection, leading to inaccuracy of inspection.

이를 도면에서 살펴보면, 시료의 원하는 검출부위로부터 산란되는 X선(15)의 경로와 다른 부위로부터 산란되는 X선(25)의 경로는 서로 차이가 남을 확인할 수 있다. 더욱 구체적으로는 시료의 검출부위로부터 산란되는 X선(15)과 바람직하지 않은 X선(25)은 검출부(16)에서 바라볼 때 입사각에서 차이를 가진다. 예를 들어, 바람직한 X선(15)의 개시점을 시료(S)의 소정의 부위로 정의하게 되면, 테이블에서 산란되는 바람직하지 않은 X선(25)은 상기 개시점과 다른 부위에 위치하고, 검출부(16)에서 바라볼 때 상기 X선빔들은 서로 다른 각도로 입사되는 것이다.Looking at this in the drawings, it can be seen that the path of the X-rays 15 scattered from the desired detection site of the sample and the path of the X-rays 25 scattered from other sites remain different from each other. More specifically, the X-ray 15 scattered from the detection portion of the sample and the undesirable X-ray 25 have a difference in incident angle when viewed from the detection portion 16. For example, if the starting point of the preferred X-ray 15 is defined as a predetermined site of the sample S, the undesirable X-ray 25 scattered from the table is located at a site different from the starting point, and the detection unit As seen from (16), the X-ray beams are incident at different angles.

본 발명에서는 이에 착안하여 시료(S)로부터 검출부(16)로 산란되는 X선(15)의 경로상에 바람직하지 않은 X선(25)을 필터링할 수 있는 슬릿부재를 배치하는 개념을 제시한다.The present invention proposes a concept of disposing a slit member capable of filtering the undesirable X-rays 25 on the path of the X-rays 15 scattered from the sample S to the detection unit 16.

여기서 상기 X선(15)은 이하 시료(S)에서 산란된어 검출부(16)에서 감지되는 X선을 의미하는 것으로 이해될 수 있으며, 상기 X선에는 다양한 파장을 가진 전자기파 및 전자빔 등 다양한 산란선이 포함될 수 있음에 유의하여야 한다. 또한, 상기 X선(15)과 다른 각도를 가진 X선은 필터링의 요구되는 X선(25)으로 이해될 수 있다.Here, the X-ray 15 may be understood to mean X-rays detected by the language detector 16 scattered from the sample S, and the X-rays have various scattering rays such as electromagnetic waves and electron beams having various wavelengths. It should be noted that this may be included. In addition, an X-ray having an angle different from that of the X-ray 15 may be understood as the required X-ray 25 for filtering.

상기 슬릿부재(100)는 기본적으로 시료(S)로부터 검출부(16)로 산란되는 X선(15)의 경로 상에서 높이방향으로 상호 이격되어 배치되는 판 형상의 흡수부(110)와, 상기 흡수부(110)의 사이에 개재되어 상기 흡수부(110)들을 고정하는 투과부(120)로 이루어진다.The slit member 100 is basically a plate-shaped absorbing portion 110 and spaced apart from each other in the height direction on the path of the X-ray 15 scattered from the sample (S) to the detector 16, and the absorbing portion Interposed between the (110) consists of a transmission portion 120 for fixing the absorbing portion (110).

본 발명의 개념에서는 상기 슬릿부재(100)의 흡수부(110)가 복수의 박판으로 이루어지고, 상기 흡수부(110)는 X선 흡수재질로서 이루어질 수 있다.In the concept of the present invention, the absorption part 110 of the slit member 100 may be formed of a plurality of thin plates, and the absorption part 110 may be formed as an X-ray absorption material.

여기서, 상기 흡수부(110)를 이루는 박판은 납(lead), 비스무스(bismuth), 금(gold), 니켈(nickel), 바륨(barium), 텅스텐(tungsten), 플라티늄(platinum), 수은(mercury), 인듐(indium), 탈륨(thallium), 팔라듐(palladium), 주석(tin), 아연(zinc) 또는 상기 물질들의 합금으로 이루어질 수 있다. 다만, 상기 흡수부(110)의 재질은 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.Here, the thin plate constituting the absorption unit 110 is lead (lead), bismuth (gold), gold (nickel), barium (barium), tungsten (tungsten), platinum (platinum), mercury (mercury) ), Indium, thallium, palladium, tin, zinc or an alloy of these materials. However, the material of the absorber 110 is not necessarily limited thereto.

또한, 상기 박판을 형성하는 방법은 증착(thin film deposition), 식각(photolithography), 에칭(etching) 및 접착(bonding) 등 다양한 방법으로 이루어질 수 있는데 이와 관련하여서는 본 발명의 슬릿부재의 생산방법에서 후술하도록 한다.In addition, the method of forming the thin plate may be made by various methods such as thin film deposition, etching (photolithography), etching (etching) and bonding (bonding) in this regard will be described later in the production method of the slit member of the present invention. Do it.

본 발명의 개념에서는 상기 흡수부(110)의 배치 및 형상을 정확하게 유지할 수 있도록 흡수부(110)를 형성하는 박판의 사이에 높이방향으로 적층되는 방식으로 투과부(120)가 배치된다.In the concept of the present invention, the transmission part 120 is disposed in such a manner as to be stacked in the height direction between the thin plates forming the absorption part 110 so as to accurately maintain the arrangement and shape of the absorption part 110.

상기 투과부(120)는 각각 상하면에서 박판들을 고정하면서 지지하게 되고, 이에 따라 박판들의 사이의 공간에서 시료(S)로부터 산란되는 X선(15)이 정확하게 검출부(16)로 유입될 수 있게 된다.The transmission part 120 supports the thin plates while fixing the upper and lower surfaces, respectively, so that the X-rays 15 scattered from the sample S in the space between the thin plates can be accurately introduced into the detection unit 16.

상기 투과부(120)의 재질은 X선 또는 전자기파를 간섭하거나 흡수하지 않고 투과할 수 있는 재질이라면 선택에 따라 다양하게 이루어질 수 있는데, 상기 투과부(120)의 재질로서, 폴리이미드(Polyimid), 아크릴(PMMA), 폴리카보네이트(Polycarbonate), 플라스틱(plastic), 폴리머(polymer), 세라믹(ceramic), 그래파이트(graphite) 또는 탄소섬유(carbon fiber) 등이 선택되어 사용될 수 있다.The material of the transmission part 120 may be variously formed according to a selection if it is a material capable of transmitting without interfering with or absorbing X-rays or electromagnetic waves. As the material of the transmission part 120, polyimide, acrylic ( PMMA), polycarbonate, plastic, polymer, ceramic, graphite or carbon fiber may be selected and used.

예를 들어, 수지재질로 이루어지는 경우 가공성이 우수하고 생산비용이 저감되는 이점을 가질 수 있다. 이중 폴리이미드 재질이 사용되는 경우 후술할 바와 같은 증착공정의 안정성이 우수하여 박판의 형성에 유리한 이점이 있다.For example, when made of a resin material may have the advantage that the workability is excellent and the production cost is reduced. When a double polyimide material is used, there is an advantage in forming a thin plate because of excellent stability of the deposition process as described below.

본 발명의 일실시예에서는 상기 슬릿부재(100)가 X선(15)의 경로상에 대략 평행한 방향, 더욱 정확하게는 박판의 폭방향과 X선(15)의 진행방향이 대략 평행하도록 배치되는 예가 설명된다.In one embodiment of the present invention, the slit member 100 is disposed in a direction substantially parallel to the path of the X-ray 15, more precisely, the width direction of the thin plate and the traveling direction of the X-ray 15 are substantially parallel. An example is described.

따라서, 상기 박판의 사이 즉, 투과부(120)와 평행하게 유입되는 X선만이 통과하여 검출부(16)에 도달하게 되고, 시료(S) 외의 다른 부위에서 산란되는 X선(25)은 흡수부(110)에서 흡수되는 방식으로 필터링이 이루어질 수 있다.Therefore, only the X-rays flowing in parallel with the thin plate, that is, in parallel with the transmission part 120, reach the detection part 16, and the X-rays 25 scattered from other parts other than the sample S are absorbed ( Filtering may be done in a manner that is absorbed at 110.

이러한 개념에 따라 상기 흡수부(110) 및 투과부(120)가 형성되는 폭은 다른 시료(S)로 부터 산란되는 X선(15)과 다른 각도 또는 방향에서 유입되는 X선(25)이 박판의 상면 또는 하면에 충돌하여 흡수할 수 있을 정도의 길이가 보장되는 것이 바람직하다.According to this concept, the width of the absorbing part 110 and the transmitting part 120 is formed so that the X-rays 25 introduced from different angles or directions are different from the X-rays 15 scattered from other samples S. It is desirable to ensure a length that can be absorbed by impacting the upper or lower surface.

상기 흡수부(110)의 넓이, 폭, 배열되는 간격 및 개수 등은 장비나 시료의 종류 또는 배치상테 등의 요인에 따라 다양하게 결정될 수 있고, 상기 투과부(120)는 이렇게 결정된 흡수부(110)의 배치상태를 정확하게 유지할 수 있는 역할을 한다.The width, width, spacing and the number of the absorbing part 110 may be variously determined according to factors such as the type of equipment or the sample or the arrangement of the sample, and the transmitting part 120 may determine the absorbing part 110. It plays a role to keep the arrangement state of.

도 3 및 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬릿부재의 정면도 및 사시도이다.3 and 4 are a front view and a perspective view of a slit member according to another embodiment of the present invention.

도 2의 예에서는 상기 흡수부(110)의 박판들이 높이방향으로 배열되되 상호 평행하게 배치되는 예가 도시되었으나, 상기 시료(S)로부터 산란되는 X선(15)은 방사되는 성질을 가지기 때문에 흡수부(110)의 배열, 더욱 정확하게는 흡수부(110)의 박판 사이에서 X선(15)이 투과되는 방향 역시 방사방향으로 형성되는 것이 바람직하다.In the example of FIG. 2, the thin plates of the absorber 110 are arranged in the height direction but arranged in parallel to each other, but the X-rays 15 scattered from the sample S have the property of being radiated. It is preferable that the direction in which the X-rays 15 are transmitted between the arrangement of the 110 and, more precisely, the thin plates of the absorber 110 is also formed in the radial direction.

본 발명의 다른 실시예에서는 상기 슬릿부재(100)의 흡수부(110) 및 투과부(120)가 높이방향으로 소정의 경사를 가지고 배열되는 예가 설명된다.In another embodiment of the present invention will be described an example in which the absorbent portion 110 and the transmission portion 120 of the slit member 100 is arranged with a predetermined inclination in the height direction.

바람직하게는 상기 흡수부(110)를 이루는 박판들은 소정의 가상원의 원주방향으로 배열되는데, 즉 각각의 박판의 연장선들은 가상의 한 점에서 만나도록 배열될 수 있다.Preferably, the thin plates constituting the absorber 110 are arranged in the circumferential direction of a predetermined virtual circle, that is, the extension lines of each thin plate may be arranged to meet at a virtual point.

이러한 개념에 따라 상기 흡수부(110)를 고정하는 투과부(120) 역시 상면 및/또는 하면이 경사면으로 이루어지고 일측의 높이방향 두께가 타측의 두께보다 크게 이루어질 수 있다.According to this concept, the transmissive part 120 fixing the absorber 110 may also have an upper surface and / or a lower surface formed of an inclined surface, and the thickness of one side may be greater than the thickness of the other side.

상기와 같이 형성되는 본 발명의 슬릿부재(100)는, 박판 형상의 흡수부(110)의 배열을 투과성이 높은 투과부(120)에 의하여 고정하면서 형상을 유지하기 때문에 X선 검사장비의 모듈화된 구성에서 배치 및 결합의 공정이 단순해지고 작동 신뢰성도 향상되는 이점이 있다.The slit member 100 of the present invention formed as described above is a modular configuration of the X-ray inspection equipment because it maintains the shape while fixing the arrangement of the thin plate-shaped absorbing portion 110 by the highly permeable transmission portion 120 In this case, the process of arrangement and coupling is simplified and operational reliability is also improved.

또한, 슬릿부재(100)의 탈착과정에서의 변형의 가능성도 최소화되므로 탈착이 가능하게 되고 경우에 따라 교체 및 유지보수성도 비약적으로 향상되는 이점이 있다.In addition, since the possibility of deformation in the desorption process of the slit member 100 is minimized, the desorption is possible, and in some cases, there is an advantage in that replacement and maintenance are greatly improved.

도 5는 본 발명의 엑스선 검사장비의 슬릿부재의 제조공정을 도시한 도면들이다.5 is a view showing a manufacturing process of the slit member of the X-ray inspection apparatus of the present invention.

본 발명에 따른 슬릿부재의 제조공정은 기본적으로 투과부(120)의 형상을 먼저 결정하고 여기에 흡수부(110)와 투과부(120)를 교차하여 적층하는 방식으로 이루어진다.The manufacturing process of the slit member according to the present invention basically consists of first determining the shape of the permeation part 120 and then stacking the absorbing part 110 and the permeation part 120 thereon.

구체적으로, 도 5의 (a)와 같이 투과부(120)를 형성하는 투과패널(121)이 먼저 형성된다. 상기 투과패널(121)은 X선 또는 전자기파를 간섭하거나 흡수하지 않고 투과할 수 있는 재질이라면 선택에 따라 다양하게 이루어질 수 있는데, 폴리이미드(Polyimid), 아크릴(PMMA), 폴리카보네이트(Polycarbonate), 플라스틱(plastic), 폴리머(polymer), 세라믹(ceramic), 그래파이트(graphite) 또는 탄소섬유(carbon fiber) 등이 선택되어 사용될 수 있음은 상기한 바와 같다.Specifically, as shown in FIG. 5A, a transmissive panel 121 forming the transmissive part 120 is first formed. The transmissive panel 121 may be made of various materials as long as the material is able to transmit without interfering with or absorbing X-rays or electromagnetic waves, and may be made of polyimide, acrylic, polycarbonate, or plastic. As described above, plastic, polymer, ceramic, graphite or carbon fiber may be selected and used.

예를 들어, 투과패널(121)이 수지 재질로 이루어지는 경우 입자상의 원료를 가압 및/또는 가열처리하여 소정의 두께를 가진 패널을 형성하게 된다. 상기 투과패널(121)의 두께는 흡수부(110)를 형성하는 박판의 두께보다 두껍게 이루어지나, 전체적으로 박판의 형상을 이루게 되는데 기본적으로 일측의 두께(t1)과 타측의 구께(t2)는 동일하게 이루어질 수 있다.For example, when the transmissive panel 121 is made of a resin material, the particulate material is pressurized and / or heated to form a panel having a predetermined thickness. The thickness of the transmission panel 121 is made thicker than the thickness of the thin plate to form the absorbing portion 110, but the overall shape of the thin plate, the thickness (t1) of one side and the thickness (t2) of the other side is the same Can be done.

이렇게 판 형상의 투과패널(121)이 마련되면, 상기한 방사상의 슬릿부재(100)를 형성하기 위하여 상면 및/또는 하면에 경사를 형성하게 된다.When the plate-shaped transmissive panel 121 is provided in this way, an inclination is formed on the upper and / or lower surface to form the radial slit member 100.

도 5의 (b)는 이러한 경사면을 형성하는 과정을 도시하는데, 본 발명의 실시예에서는 상기 투과패널(121)의 상면에만 경사면이 형성되는 예가 설명된다.5B illustrates a process of forming such an inclined surface. In the embodiment of the present invention, an example in which an inclined surface is formed only on an upper surface of the transmission panel 121 is described.

상기 경사면의 형성은 재질에 따라 절삭이나 에칭과 같은 공정이 사용될 수 있다.The formation of the inclined surface may be a process such as cutting or etching depending on the material.

이렇게 경사면이 형성되는 경우 일측의 두께(t3)는 타측의 두께(t2)보다 작게 이루어진다. When the inclined surface is formed in this way, the thickness t3 of one side is made smaller than the thickness t2 of the other side.

도 5의 (c)에서는 상기 슬릿부재(100)의 전후방의 폭에 대응되도록 투과패널(121)이 커팅되는 과정이 도시되는데, 이 과정에서 각각의 투과부(120)의 유닛들의 형성이 완료된다.5 (c) shows a process in which the transmission panel 121 is cut to correspond to the width of the front and rear of the slit member 100, in which the formation of the units of each transmission portion 120 is completed.

상기 투과패널(121)이 커팅되는 전후방의 폭은 미리 결정된 흡수부(110)의 박판의 폭에 의하여 결정될 수 있고, 투과부(120)의 전후방의 폭과 흡수부(110)의 전후방의 폭은 일치되는 것이 공간적인 활용성을 고려하여 바람직하다.The width of the front and rear sides of the transparent panel 121 may be determined by a predetermined width of the thin plate of the absorber 110, and the width of the front and rear of the transmission 120 and the width of the front and rear of the absorber 110 coincide with each other. It is desirable to consider the spatial utility.

도 5의 (d)에서는 상기와 같이 마련된 복수의 투과부(120) 유닛들이 흡수부(110)와 교차되어 높이방향으로 적층되는 과정이 도시된다.5 (d) illustrates a process in which the plurality of transmission part 120 units provided as described above are stacked in the height direction by crossing the absorbing part 110.

본 발명의 흡수부(110)를 이루는 박판들은 얇은 금속판재로 이루어지게 되는데, 미리 박판들이 소정의 크기와 형상으로 마련되고 투과부(120) 유닛들에 접착되는 방식으로 교차되면서 적층되는 방식으로 형성될 수 있다.The thin plates constituting the absorbent part 110 of the present invention are made of a thin metal plate material, and the thin plates are formed in a manner of being laminated while being laminated in a manner of being provided in a predetermined size and shape and bonded to the transmission part 120 units. Can be.

다만, 박판의 두께를 고려하여 상기 흡수부(110)들은 투과부(120) 유닛들의 면에 증착(thin film deposition) 및/또는 식각(photolithography) 및/또는 에칭(etching)되는 방식으로 형성될 수 있다.However, in consideration of the thickness of the thin plate, the absorbing parts 110 may be formed in a manner of thin film deposition and / or photolithography and / or etching on the surfaces of the transmitting part 120 units. .

상기한 증착공정은 기준에 따라 열증착(thermal evaporation), e-beam증착(e-beam evaporation), 스퍼터링(sputtering), 화학증착(CVD) 등으로 분류될 수 있는데, 재질과 환경에 따라 공지의 증착공정이 적용될 수 있다.The deposition process may be classified into thermal evaporation, e-beam evaporation, sputtering, chemical vapor deposition (CVD), etc., according to a standard. Deposition processes may be applied.

예를 들어, 폴리이미드(Polyimid)로 이루어지는 투과부(120) 유닛의 상면에 진공증착방식으로 금속 박판이 증착되고 그 상면에 다시 투과부(120)의 유닛이 적층되어 다시 증착되는 방식으로 형성될 수 있다.For example, the thin metal plate may be deposited on the upper surface of the transmissive part 120 unit made of polyimide by vacuum deposition, and the unit of the transmissive part 120 may be stacked on the upper surface of the transmissive part 120 to be deposited again. .

한편, 경우에 따라 상기 흡수부(110)가 전후방으로 긴 형상의 투과패널(121)로 이루어지지 않고 미리 결정된 슬릿부재(100)의 두께로 형성된 이후에 소잉머신(sawing machine)을 통하여 일측 또는 타측에서 슬롯을 형성한 이후에 흡수부(110)를 매립하는 방식으로 형성될 수도 있음은 물론이다.On the other hand, in some cases, the absorbing part 110 is formed of a predetermined thickness of the slit member 100 instead of the transmissive panel 121 having an elongated shape forward and backward, and then through one or the other side through a sawing machine. After the slot is formed in the absorbent portion 110 may be formed in such a way as to embed.

상기한 바와 같은 본 발명의 개념에 따른 슬릿부재의 제조방법은, 미리 투과부(120)의 형상과 크기를 결정한 이후에 그 상면에 투과부(120)의 박판을 교차하여 적층하는 방식으로 이루어지기 때문에 제조공정의 정확성이 향상되는 이점이 있다.Since the method of manufacturing the slit member according to the concept of the present invention as described above is made in such a way that the thin plate of the transmissive part 120 is laminated on the upper surface after determining the shape and size of the transmissive part 120 in advance. This has the advantage of improving the accuracy of the process.

이상에서, 본 발명은 실시예 및 첨부도면에 기초하여 상세히 설명되었다. 그러나, 이상의 실시예들 및 도면에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않으며, 본 발명의 범위는 후술한 특허청구범위에 기재된 내용에 의해서만 제한될 것이다.
In the foregoing, the present invention has been described in detail based on the embodiments and the accompanying drawings. However, the scope of the present invention is not limited by the above embodiments and drawings, and the scope of the present invention will be limited only by the content of the following claims.

100...슬릿부재 110...흡수부
120...투과부 121...투과패널100 Slit member 110 Absorption section
120 Transmitter 121 Transmitter

Claims (10)

X선 발생부로부터 조사되고 시료로부터 산란되는 X선을 검출부에서 검출하여 시료를 검사하는 엑스선 검사장비의 슬릿부재로서,
시료로부터 검출부로 산란되는 X선의 경로 상에서 높이방향으로 상호 이격되어 배치되는 복수의 박판으로 이루어지며 시료 외의 부위에서 반사되거나 산란되는 X선을 흡수하는 흡수부; 및
상기 흡수부의 사이에 개재되어 상기 복수의 박판을 고정하고 시료로부터 검출부로 산란되는 X선을 투과하는 투과부;를 포함하고,
상기 흡수부를 이루는 박판들은, 그 연장선이 한 점에서 만나도록 배치되는 것을 특징으로 하는 X선 검사장비의 슬릿부재.As a slit member of X-ray inspection equipment for inspecting a sample by detecting the X-rays irradiated from the X-ray generator and scattered from the sample in the detector,
An absorption unit made up of a plurality of thin plates spaced apart from each other in the height direction on the path of X-rays scattered from the sample to the detection unit and absorbing X-rays reflected or scattered from a portion other than the sample; And
And a transmission part interposed between the absorption parts to fix the plurality of thin plates and to transmit X-rays scattered from the sample to the detection part.
Thin plates constituting the absorbing portion, the slit member of the X-ray inspection equipment, characterized in that the extension line is arranged to meet at one point. 제1항에 있어서,
상기 흡수부와 투과부는, 평면형상이 상호 일치되는 것을 특징으로 하는 X선 검사장비의 슬릿부재.The method of claim 1,
The absorbing portion and the transmission portion, the slit member of the X-ray inspection equipment, characterized in that the plane shape mutually match. 제1항에 있어서,
상기 흡수부를 이루는 박판들은 상호 평행하게 배치되는 것을 특징으로 하는 X선 검사장비의 슬릿부재.The method of claim 1,
The slit member of the X-ray inspection equipment, characterized in that the thin plates forming the absorbing portion are arranged in parallel to each other. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 투과부는, 상면 또는 하면이 경사진 형상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 X선 검사장비의 슬릿부재.The method of claim 1,
The transmission part, the slit member of the X-ray inspection equipment, characterized in that the upper surface or the lower surface is inclined. 제1항에 있어서,
상기 투과부는, 폴리이미드, 아크릴, 폴리카보네이트 또는 그래파이트 중에서 선택된 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 X선 검사장비의 슬릿부재.The method of claim 1,
The transmission unit, the slit member of the X-ray inspection equipment, characterized in that made of a material selected from polyimide, acrylic, polycarbonate or graphite. 제1항 내지 제3항, 제5항 또는 제6항 중 어느 한 항의 X선 검사장비의 슬릿부재를 제조하는 방법으로서,
투과패널을 마련하는 단계;
상기 투과패널의 일면에 경사면을 형성하는 단계;
상기 투과패널을 흡수부를 이루는 박판의 전후방의 폭에 대응되도록 커팅하여 투과부 유닛을 마련하는 단계;
상기 투과부 유닛과 상기 박판을 교차하여 적층하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 X선 검사장비의 슬릿부재의 제조방법.A method for manufacturing a slit member of the X-ray inspection apparatus of any one of claims 1 to 3, 5 or 6.
Providing a transmission panel;
Forming an inclined surface on one surface of the transmission panel;
Providing a transmission unit by cutting the transmission panel so as to correspond to a width of front and rear sides of the thin plate forming an absorption unit;
And laminating the transmissive unit and the thin plate in a cross-sectional manner. 제7항에 있어서,
상기 적층하는 단계에서, 미리 마련된 박판을 각각의 투과부 유닛에 접착하는 방식으로 결합시키는 것을 특징으로 하는 X선 검사장비의 슬릿부재의 제조방법.The method of claim 7, wherein
In the laminating step, the method of manufacturing a slit member of the X-ray inspection equipment, characterized in that for bonding in advance by bonding the thin plate provided in each transmission unit. 제7항에 있어서,
상기 적층하는 단계에서, 상기 투과부 유닛의 면에 박판을 스퍼터(sputtering)링 증착하는 방식으로 결합시키는 것을 특징으로 하는 X선 검사장비의 슬릿부재의 제조방법.The method of claim 7, wherein
In the laminating step, the method of manufacturing a slit member of the X-ray inspection equipment, characterized in that for bonding the thin plate on the surface of the transmission unit by sputtering (deposition) deposition. 제7항에 있어서,
상기 적층하는 단계에서, 상기 투과부 유닛의 면에 박판을 e-beam증착(e-beam evaporation)하는 방식으로 결합시키는 것을 특징으로 하는 X선 검사장비의 슬릿부재의 제조방법.The method of claim 7, wherein
In the laminating step, the method of manufacturing a slit member of the X-ray inspection equipment, characterized in that for bonding the thin plate on the surface of the transmission unit unit by e-beam evaporation (e-beam evaporation).
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