KR101236356B1 - 실드 용사 장치 - Google Patents

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KR101236356B1
KR101236356B1 KR1020110120013A KR20110120013A KR101236356B1 KR 101236356 B1 KR101236356 B1 KR 101236356B1 KR 1020110120013 A KR1020110120013 A KR 1020110120013A KR 20110120013 A KR20110120013 A KR 20110120013A KR 101236356 B1 KR101236356 B1 KR 101236356B1
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김정환
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(주)제니스월드
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    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
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    • C23C16/4404—Coatings or surface treatment on the inside of the reaction chamber or on parts thereof

Abstract

본 발명은 별도의 모터부재가 필요치 않고, 용사 코팅 작업과 동시에 냉각 작업을 수행할 수 있으며, 실드의 상, 하, 측면부를 모두 고정하여 회전시킴으로써 실드의 변형을 방지하고 안정적으로 용사 코팅을 수행할 수 있는 실드 용사 장치에 관한 것으로서, 실드의 외부립 외측면을 가압하여 고정할 수 있도록 구비되는 복수의 고정틀과, 상기 고정틀의 내측면에 장착되어서 상기 실드 바닥면을 지지할 수 있도록 구비되는 하부 브라켓 및 상기 고정틀의 상단부에 회동 가능하게 결합되어서 상기 실드 외부립의 플랜지 상부면을 가압하여 고정할 수 있도록 구비되는 클램프 레버를 포함하여 구성되는 실드 고정부와, 상기 실드 고정부가 장착되는 회전판과, 상기 회전판의 하부면에 결합되는 중앙 회전축과, 상기 중앙 회전축이 삽입되어 회전할 수 있도록 구비되는 회전축 서포트를 포함하여 구성되는 회전부와, 압축공기를 상기 실드 고정부 외부에서 상기 실드 고정부 측면으로 분사할 수 있도록 구비되는 에어 스프레이 건 및 상기 실드를 용사 코팅할 수 있도록 상기 실드 고정부 상부에 구비되는 용사 스프레이 건을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

실드 용사 장치{Apparatus for thermal spraying of the shield}
본 발명은 실드 용사 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 별도의 모터부재가 필요치 않고, 용사 코팅 작업과 동시에 냉각 작업을 수행할 수 있으며, 실드의 상, 하, 측면부를 모두 고정하여 회전시킴으로써 실드의 변형을 방지하고 안정적으로 용사 코팅을 수행할 수 있는 실드 용사 장치에 관한 것이다.
웨이퍼를 이용한 반도체 제조공정 혹은 평판 디스플레이 장치의 제조 공정에서는 웨이퍼나 유리 기판과 같은 기판에 특정 물질을 증착하기 위해 화학 기상 증착이 종종 이용된다.
이러한 화학 기상 증착 공정은 반응가스가 주입된 저압 챔버 내부에서 진행되는데, 통상 실드라 불리우는 부품의 하부에서 공정이 진행되게 된다. 실드는 기판 표면에만 혼합가스를 분사시키고, 동시에 가스의 비산을 방지하여 챔버 내부의 내벽을 보호하는 역할을 하는 장치이다.
도 1 은 이러한 실드의 일례를 도시한 예시도이다. 도 1 을 참조하면, 실드(1000)는 원통형의 용기 형상으로 형성되되 바닥면(1240)은 평평하게 형성되고, 바닥면(1240)의 중앙에는 가스벤트(1100)가 형성되도록 중심부가 상부 방향으로 융기하여 그 상면이 개구된 형상의 내부 립(1210)이 형성되며, 용기의 외곽 측면이 되는 외부 립(1220)의 상부 끝단에는 플랜지(1230)가 외측 방향으로 형성된다.
이러한 실드(1000)는 바닥면(1240)이 기판과 대면되도록 챔버에 설치되는데, 대체로 실드(1000)의 바닥면(1240)과 기판의 간격이 좁을수록 증착 품질이 높아지는 효과가 있기 때문에 실드(1000)는 기판과 매우 근접하게 설치하는 것이 일반적이다.
한편, 증착 공정 전 웨이퍼나 유리 기판을 챔버 내부로 투입하는 과정과, 증착 공정 후 이들을 챔버 외부로 배출하는 과정이 필요한데, 이때 기판의 진출입이 이루어지는 통로를 형성하는 바닥면(1240)의 평탄도가 매끄럽지 못하면 기판이 챔버 내부로 투입되거나 또는 챔버 외부로 배출될 때 기판과 근접하게 설치된 실드(1000)의 바닥면(1240)과 기판이 접촉하여 기판이 손상되는 문제가 있었다.
따라서, 실드(1000) 바닥면(1240)의 평탄도를 높이기 위해 실드(1000)는 스테인레스 강 또는 알루미늄 합금 박판으로 제작되고, 고온의 가스 및 산화 변형 등 열악한 챔버 내부 환경에서 오래 견디도록 하기 위하여 내부벽에 용사(Thermal Spray) 표면 처리를 수행함으로써 표면을 코팅하여 사용한다.
그러나, 이러한 용사 코팅을 수행할 때 약 1300℃의 용사 화염이 실드(1000) 내부벽에 분출되고, 이로 인해 실드(1000)가 열팽창 변형되어서 용사 코팅 후 실드(1000)의 변형 교정 과정에서 코팅층이 탈락되거나 금이 가는 문제가 있었다.
본 발명은, 별도의 모터부재가 필요치 않고, 용사 코팅 작업과 동시에 냉각 작업을 수행할 수 있는 실드 용사 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은, 실드의 상, 하, 측면부를 모두 고정하여 회전시킴으로써 실드의 변형을 방지하고 안정적으로 용사 코팅을 수행할 수 있는 실드 용사 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한 본 발명은, 용사 공정 중 용사 스프레이 건의 토출 방향에 위치하는 장해물을 최소화 할 수 있는 실드 용사 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한 본 발명은, 다양한 크기의 실드를 안정적으로 고정할 수 있는 실드 용사 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 실드 용사 장치는, 실드의 외부립 외측면을 가압하여 고정할 수 있도록 구비되는 복수의 고정틀과, 상기 고정틀의 내측면에 장착되어서 상기 실드 바닥면을 지지할 수 있도록 구비되는 하부 브라켓 및 상기 고정틀의 상단부에 회동 가능하게 결합되어서 상기 실드 외부립의 플랜지 상부면을 가압하여 고정할 수 있도록 구비되는 클램프 레버를 포함하여 구성되는 실드 고정부와; 상기 실드 고정부가 장착되는 회전판과, 상기 회전판의 하부면에 결합되는 중앙 회전축과, 상기 중앙 회전축이 삽입되어 회전할 수 있도록 구비되는 회전축 서포트를 포함하여 구성되는 회전부와; 압축공기를 상기 실드 고정부 외부에서 상기 실드 고정부 측면으로 분사할 수 있도록 구비되는 에어 스프레이 건; 및 상기 실드를 용사 코팅할 수 있도록 상기 실드 고정부 상부에 구비되는 용사 스프레이 건; 을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 실드(1000)를 고정하는 실드 고정부(100)의 측면에 구비되는 에어 스프레이 건(400)의 토출 고압 공기에 의하여 실드(1000)가 회전할 수 있도록 함으로써, 별도의 모터부재가 필요치 않고, 용사 코팅 작업과 동시에 냉각 작업을 수행할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 실드(1000)의 상, 하, 측면부를 모두 고정하여 회전시킴으로써 실드(1000)의 변형을 방지하고 안정적으로 용사 코팅을 수행할 수 있는 효과가 있다.
또한 본 발명은, 클램프 레버(130)가 지렛대 원리에 의해 실드(1000)를 고정하거나 고정을 해제하도록 함으로써, 용사 공정 중 용사 스프레이 건(500)의 토출 방향에 위치하는 장해물을 최소화 할 수 있는 효과가 있다.
또한 본 발명은, 고정틀 고정나사 홈(111) 및 브라켓 고정나사 홈(121)을 길게 형성함으로써, 다양한 크기의 실드(1000)를 안정적으로 고정할 수 있는 효과가 있다.
도 1 은 실드의 일례를 도시한 예시도.
도 2 는 본 발명의 실시예에 따른 실드 용사 장치의 단면도.
도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 실드 용사 장치의 평면도.
도 4 는 본 발명의 실시예에 따른 실드 용사 장치의 고정틀의 사시도.
도 5 는 본 발명의 실시예에 따른 실드 용사 장치의 하부 브라켓의 사시도.
이하에서, 본 발명의 실시예에 따른 실드 용사 장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2 는 본 발명의 실시예에 따른 실드 용사 장치의 단면도이고, 도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 실드 용사 장치의 평면도이고, 도 4 는 본 발명의 실시예에 따른 실드 용사 장치의 고정틀의 사시도이고, 도 5 는 본 발명의 실시예에 따른 실드 용사 장치의 하부 브라켓의 사시도이다.
도 2 내지 도 5 를 참조하면, 본 발명의 실드 용사 장치는, 실드(1000)를 고정하는 실드 고정부(100)와, 실드 고정부(100)가 회전 가능하도록 실드 고정부(100)가 장착되는 회전부(200)와, 회전부(200)가 고정되는 설치대(300)와, 실드(1000) 측면에 압축 공기를 분사하여 실드 고정부(100)에 회전 동력을 제공하는 에어 스프레이 건(400) 및 실드(1000)에 용사작업을 수행하는 용사 스프레이 건(500)을 포함하여 구성된다.
실드 고정부(100)는, 회전부(200)에 장착되되 실드(1000)의 외부립(1220) 외측면을 가압하여 고정할 수 있도록 등간격으로 구비되는 복수의 고정틀(110)과, 고정틀(110)의 내측면에 장착되어서 실드(1000) 바닥면(1240)을 지지할 수 있도록 구비되는 하부 브라켓(120) 및 고정틀(110)의 상단부에 회동 가능하게 결합되어서 실드(1000)의 플랜지(1230) 상부면을 가압하거나 가압을 해제 함으로써 실드(1000)의 고정 유무를 결정하는 클램프 레버(130)를 포함하여 구성된다.
고정틀(110)은, 양단이 절곡된 기둥 형상의 프레임으로서 하단 절곡부는 하측의 회전부(200)에 결합 장착되고, 상단 절곡부는 실드(1000)의 플랜지(1230) 하부면과 밀착되되 그 끝단에 클램프 레버(130)가 힌지결합된다. 또한 고정틀(110)의 내측면, 즉 실드(1000)와 마주보는 면 중단부에는 하부 브라켓(120)이 결합 장착되어서 실드(1000)의 바닥면(1240)을 지지할 수 있도록 한다. 이러한 고정틀(110)은 복수개가 구비되어서 실드(1000)의 외부립(1220) 외측면을 가압하여 실드(1000)가 밀착 고정할 수 있도록 구성되는데, 실드(1000)의 종류별로 외부립(1220) 직경이 서로 다를 수 있으므로 실드(1000)의 외부립(1220) 직경에 따라 각 고정틀(110) 사이의 거리가 가변되어 회전부(200)에 고정된다. 각 고정틀(110) 사이의 거리를 가변하기 위하여 고정틀(110) 하단 절곡부의 고정틀 고정나사 홈(111)을 길게 형성하여서 고정틀 고정나사(112)를 풀면 고정틀(110)이 회전부(200) 중심 방향으로 진퇴할 수 있도록 하는 것이 바람직하나, 이에 한정하지 않고 고정틀 고정나사 홈(111)을 고정틀 고정나사(112)에 맞게 형성한 후 반대로 회전부(200)의 고정틀 고정나사(112) 결합부를 장공(長孔)처리하는 것도 가능하며, 고정틀(110)을 회전부(200) 중심 방향에 대하여 진퇴하여 고정할 수 있는 구성이면 어느 것이든 가능함은 물론이다.
한편, 고정틀(110)은 실드(1000)를 안정적으로 가압 고정하여 실드(1000)의 외측 방향으로의 변형을 방지하고 하술할 에어 스프레이 건(400)의 고압 에어에 의해 회전 동력을 안정적으로 전달받을 수 있도록 실드(1000) 외부립(1220) 외주연에 등간격으로 구비되는 것이 바람직하나, 그 간격을 한정하는 것은 아니다.
또한, 고정틀(110)이 실드(1000)를 고정한 채 에어 스프레이 건(400)의 고압 에어에 의해 회전할 때 고정틀(110)이 밀착되지 않은 실드(1000)의 외측면은 고압 에어에 노출되어서 냉각 효과를 받게 되는데, 이러한 노출면을 최대한 활용하면서 고압 에어의 회전 동력을 충분히 받아낼 수 있도록 고정틀(110)의 개수는 3 내지 6개가 바람직하나, 그 갯수를 한정하는 것은 아니다.
하부 브라켓(120)은, 실드(1000)에 용사 공정이 진행될 때 실드(1000)의 무게에 의해 실드(1000)가 하부 방향으로 변형되는 것을 방지하는 역할을 한다. 이를 위하여 하부 브라켓(120)은 꺽쇠 형상으로 형성되어서 꺽쇠의 세로축이 하부를 향하도록 고정틀(110)의 내측면에 결합 장착되고 꺾어진 가로축이 실드(1000) 바닥면(1240)을 떠받치도록 구성된다.
한편, 하부 브라켓(120)은, 실드(1000)의 종류별로 외부립(1220) 높이가 서로 다를 수 있으므로 실드(1000)의 외부립(1220) 높이에 따라 고정틀(110)에서의 위치가 가변되어 고정틀(110)에 결합되도록 구성된다. 이를 위하여 하부 브라켓(120)은 고정틀(110)에 결합되는 세로축의 브라켓 고정나사 홈(121)을 길게 형성하여서 브라켓 고정나사(122)를 풀면 하부 브라켓(120)이 고정틀(110) 길이 방향으로 진퇴할 수 있도록 하는 것이 바람직하나, 이에 한정하지 않고 브라켓 고정나사 홈(121)을 브라켓 고정나사(122)에 맞게 형성한 후 반대로 고정틀(110)의 브라켓 고정나사(122) 결합부를 장공처리하는 것도 가능하며, 하부 브라켓(120)을 고정틀(110) 길이 방향에 대하여 진퇴하여 고정할 수 있는 구성이면 어느 것이든 가능함은 물론이다.
클램프 레버(130)는, 고정틀(110)의 상단부에 회동가능하게 결합되어서 실드(1000)의 플랜지(1230) 상부면을 가압하여 실드(1000)를 구속시키거나, 또는 가압을 해제하여 실드(1000)가 탈착될 수 있도록 한다. 이를 위하여 클램프 레버(130)는 막대 형상으로 형성되어서 중단부는 고정틀(110)의 상단 절곡부 끝단에 힌지결합되고, 상부에는 실드(1000) 외부립(1220)의 플랜지(1230) 상부를 가압할 수 있도록 실드(1000) 내측 방향으로 휘어진 갈고리 형상의 레버 후크(131)가 형성되며, 하부에는 고정틀(110)과 하단부의 이격 거리를 조절하여 상부의 레버 후크(131)가 지렛대 원리에 의하여 실드(1000) 외부립(1220)의 플랜지(1230)를 가압하거나 가압을 해제할 수 있도록 레버 볼트(132)가 구비된다.
이러한 클램프 레버(130)의 구성은, 용사 스프레이 건(500)에 의해 실드(1000)가 용사 코팅될 때 용사 스프레이 건(500)의 분출 방향에 위치하는 장애물의 간섭을 최소화하기 위한 것으로서, 고정틀(110) 상단부에 클램프 레버(130)를 힌지 결합하고, 레버 볼트(132)를 조절하여 클램프 레버(130)의 하단부를 고정틀(110)로부터 밀어내는 동작을 통하여 지렛대 원리에 의해 클램프 레버(130)의 상단 레버 후크(131)가 실드(1000) 외부립(1220) 플랜지(1230) 상부를 가압하도록 함으로써 달성된다. 이를 통해 실드(1000)를 고정틀(110)에 견고히 고정하면서도 용사 스프레이 건(500)의 분출 방향에 클램프 레버(130)의 레버 후크(131) 부분만 노출되도록 할 수 있게 된다.
이때, 레버 볼트(132)를 임팩렌츠 등을 이용하여 무리하게 조절할 경우 레버 후크(131)에 의해 실드(1000)의 외부립(1220) 플랜지(1230)가 파손될 수 있는데, 이를 위하여 레버 볼트(132)의 볼트 머리를 크게 형성하여 공구 등을 사용하지 않고 수동 조작이 가능하도록 구성한다.
한편, 클램프 레버(130)는 용사 작업을 위해 실드(1000)를 고정하는 작용 이외에, 용사 작업 전 후 실드(1000)를 탈착해야 하는 경우 실드(1000)의 고정을 해제하는 작용을 하여야 하는데, 이때에는 레버 볼트(132)를 조절하여 클램프 레버(130)의 하단부가 고정틀(110) 방향으로 회동할 수 있도록 한다. 즉, 고정틀(110)의 상단 절곡부는 실드(1000) 외측 방향으로 절곡되어서 그 끝단에 클램프 레버(130)가 힌지결합될 수 있도록 구성되되, 클램프 레버(130)의 하단부가 고정틀(110) 방향으로 충분히 회동했을 때 클램프 레버(130)의 레버 후크(131) 끝단이 실드(1000) 외부립(1220) 플랜지(1230)의 외측 끝단보다 더 외측에 위치하도록 하여 실드(1000)가 탈착될 수 있도록 한다. 이를 위하여 고정틀(110)의 상단 절곡부 길이와, 클램프 레버(130)의 힌지 결합부에서 하단부까지의 길이가 적절히 조절되어야 하는데, 이는 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 능히 응용할 수 있는 구성이므로 그 길이를 한정하는 것은 아니다.
회전부(200)는, 상부에 실드 고정부(100)가 장착되어서 에어 스프레이 건(400)에 의해 회전함으로써 실드(1000)가 회전하며 용사 코팅이 이루어지도록 회전축의 역할을 한다. 이를 위하여 회전부(200)는, 실드 고정부(100)가 장착되는 회전판(210)과, 회전판(210)의 하부면에 결합되는 중앙 회전축(220)과, 중앙 회전축(220)이 삽입되어 회전할 수 있도록 구비되는 회전축 서포트(230) 및 회전축 서포트(230)의 상부면과 회전판(210)의 하부면 사이에 개재되는 베어링(240)을 포함하여 구성된다.
회전판(210)은, 원판으로 형성되어서 상부에 실드 고정부(100)가 결합 장착되어서 회전할 수 있도록 실드 고정부(100)의 장착면 역할을 한다. 이때, 회전판(210)에는 고정틀 고정나사(112)가 결합될 수 있도록 고정틀 고정나사(112) 결합부가 형성되는데, 상술한 실드 고정부(100)의 고정틀(110) 하단 절곡부의 고정틀 고정나사 홈(111)의 형상에 따라 원형 또는 장공형으로 형성될 수 있다.
회전판(210)의 하부면 중심에는 하부 방향으로 중앙 회전축(220)이 결합되는데, 중앙 회전축(220)은 하술할 회전축 서포트(230)의 형상에 따라서 막대형으로 형성되어 회전축 서포트(230)의 내주연에 중앙 회전축(220)의 외주연이 밀착되도록 삽입될 수 있고, 원통형으로 형성되어서 회전축 서포트(230)의 외주연에 중앙 회전축(220)의 내주연이 밀착되도록 삽입될 수 있다.
회전축 서포트(230)는, 설치대(300)에 고정되어서 중앙 회전축(220)이 삽입되어 회전할 수 있도록 가이드 역할을 하는데, 중앙 회전축(220)의 형상에 따라 중앙 회전축(220)이 내측으로 삽입될 수 있도록 원통형으로 형성될 수 있고, 또는 중앙 회전축(220)이 외측으로 삽입될 수 있도록 막대형의 원기둥으로 형성될 수 있다. 이때, 중앙 회전축(220)의 길이보다 회전축 서포트(230)의 길이를 더 길게하여서 중앙 회전축(220)이 회전축 서포트(230)에 삽입되어 회전할 때 중앙 회전축(220)의 끝단이 설치대(300)에 접촉되지 않도록 하는 것이 바람직하다.
한편, 중앙 회전축(220)이 회전축 서포트(230)에 삽입되어 회전할 때 회전판(210)의 하부면과 회전축 서포트(230)의 상부면이 서로 접촉되어 회전에 방해가 되는 마찰력이 발생될 수 있는데, 이를 위하여 회전축 서포트(230)의 상단에 베어링(240)이 구비되어 회전판(210)과 회전축 서포트(230)의 마찰력을 감소시키는 것이 바람직하다.
설치대(300)는, 상부면에 회전부(200)가 고정 설치되어서 회전판(210) 및 회전판(210)에 고정된 실드 고정부(100)가 회전할 수 있도록 고정 작업대의 역할을 한다. 이러한 설치대(300)는 일측에 에어 스프레이 건(400) 또는 용사 스프레이 건(500)이 고정될 수 있다.
에어 스프레이 건(400)은, 압축 공기를 실드 고정부(100) 외부 측면에서 분사하도록 구비되며, 실드 고정부(100)를 회전시키고 동시에 용사 코팅 과정에서 뜨겁게 달궈진 실드(1000)를 냉각시키는 역할을 한다. 이 과정에서 공중으로 비산되는 용사물질을 외부로 발산시키는 역할도 수행한다.
에어 스프레이 건(400)은 토출되는 압축 공기가 실드(1000) 측면벽을 타고 이동되다가 실드 고정부(100)의 고정틀(110) 측면에 부딪히게 되는데, 이러한 공기의 저항력에 의해 실드 고정부(100)가 실드(1000)를 고정한 채 회전판(210)과 같이 회전하게 된다. 이때 실드 고정부(100)의 회전속도는 에어 스프레이 건(400)의 공기 토출량에 의해 결정되는데, 용사 조건에 맞게 공기 토출량을 조절하기 위하여 에어 스프레이 건(400)은 공기 제어 밸브(410)를 더 포함하여 구성될 수 있다.
이러한 에어 스프레이 건(400)과 실드 고정부(100) 및 회전부(200)에 의하여 본 발명의 실드 용사 장치는 별도의 모터 부재 없이 실드(1000)를 회전시켜 용사 과정을 진행할 수 있으며, 용사 공정과 동시에 실드(1000)의 냉각 공정이 진행됨으로써 실드(1000)의 열변형을 방지할 수 있고 또한 화상 사고의 위험을 줄여 연속적인 실드(1000) 용사 작업을 수행할 수 있는 효과를 갖게 된다.
용사 스프레이 건(500)은, 실드 고정부(100)의 상부에 구비되어서 실드(1000) 표면을 코팅하는 역할을 한다. 이러한 용사 스프레이 건(500)은 설치대(300) 혹은 별도의 장착부에 장착되어 구비되거나 또는 작업자가 직접 용사 스프레이 건(500)을 파지하여 작업하도록 구비될 수 있으며, 본 발명에서 장착 위치를 한정하는 것은 아니다.
상술한 구성으로 이루어진 본 발명의 실드 용사 장치의 작동 상태를 살펴보면, 우선 용사 코팅하고자 하는 실드(1000) 외부립(1220)의 플랜지(1230)가 고정틀(110) 상단 절곡부에 얹혀지도록 실드(1000)를 고정틀(110) 사이에 삽입시킨다. 이후 고정틀 고정나사(112)를 풀어 고정틀(110) 내측면을 실드(1000) 외부립(1220) 외주연에 밀착시키고 고정틀 고정나사(112)를 조임으로써 실드(1000)가 고정틀(110)에 밀착될 수 있도록 한다. 그리고 브라켓 고정나사(122)를 풀어 하부 브라켓(120)의 상부면이 실드(1000)의 바닥면(1240)에 밀착되도록 하부 브라켓(120)을 이동시킨 후 브라켓 고정나사(122)를 조여줌으로써 하부 브라켓(120)이 실드(1000)의 바닥면(1240)을 지지할 수 있도록 한다. 이렇게 하면 실드(1000) 외부립(1220)의 플랜지(1230) 하부면과 실드(1000) 바닥면(1240)이 각각 고정틀(110)과 하부 브라켓(120)에 의해 지지되고, 실드(1000) 외부립(1220) 외측면이 고정틀(110) 내측면에 밀착됨으로써 실드(1000)의 하부 및 측면부가 고정되게 된다. 다음으로, 클램프 레버(130)의 레버 볼트(132)를 조여주면 레버 후크(131)가 실드(1000) 중앙부를 향해 회동하게 되고 레버 후크(131)의 끝단이 실드(1000) 외부립(1220)의 플랜지(1230) 상부면을 가압하여 고정시킬 수 있게 되고, 따라서 실드 고정부(100)에 의해 실드(1000)의 상, 하, 측면부가 모두 고정되어 실드(1000)가 안정적으로 회전할 수 있게 된다.
이후, 에어 스프레이 건(400)을 동작시켜 실드(1000)가 회전하도록 하고, 더욱 상세하게는 공기 제어 밸브(410)를 조절하여 용사 코팅에 적당한 속도로 실드(1000)의 회전력을 조절한 후 용사 스프레이 건(500)을 이용하여 실드(1000) 표면에 용사 코팅 공정을 수행하게 된다.
100 : 실드 고정부 110 : 고정틀
120 : 하부 브라켓 130 : 클램프 레버
200 : 회전부 400 : 에어 스프레이 건
500 : 용사 스프레이 건 1000 : 실드
1220 : 외부립 1230 : 플랜지
1240 : 바닥면

Claims (4)

  1. 실드의 외부립 외측면을 가압하여 고정할 수 있도록 구비되는 복수의 고정틀과, 상기 고정틀의 내측면에 장착되어서 상기 실드 바닥면을 지지할 수 있도록 구비되는 하부 브라켓 및 상기 고정틀의 상단부에 회동 가능하게 결합되어서 상기 실드 외부립의 플랜지 상부면을 가압하여 고정할 수 있도록 구비되는 클램프 레버를 포함하여 구성되는 실드 고정부와;
    상기 실드 고정부가 장착되는 회전판과, 상기 회전판의 하부면에 결합되는 중앙 회전축과, 상기 중앙 회전축이 삽입되어 회전할 수 있도록 구비되는 회전축 서포트를 포함하여 구성되는 회전부와;
    압축공기를 상기 실드 고정부 외부에서 상기 실드 고정부 측면으로 분사할 수 있도록 구비되는 에어 스프레이 건; 및
    상기 실드를 용사 코팅할 수 있도록 상기 실드 고정부 상부에 구비되는 용사 스프레이 건;
    을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 실드 용사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 클램프 레버는, 막대 형상으로 형성되어서, 중단부는 상기 고정틀의 상단 절곡부 끝단에 힌지결합되고, 상부에는 상기 실드 내측 방향으로 휘어진 레버 후크가 형성되며, 하부에는 상기 고정틀과의 이격 거리를 조절할 수 있도록 레버 볼트가 구비된 것을 특징으로 하는 실드 용사 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 고정틀은, 회전부 중심방향에 대하여 진퇴하여 고정할 수 있도록 고정틀 고정나사 홈이 길게 형성되고,
    상기 하부 브라켓은, 상기 고정틀 길이방향으로 진퇴하여 고정할 수 있도록 브라켓 고정나사 홈이 길게 형성된 것을 특징으로 하는 실드 용사 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 에어 스프레이 건은, 공기 토출량을 제어할 수 있도록 공기 제어 밸브를 더 구비하여 구성되는 것을 특징으로 하는 실드 용사 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20050080837A (ko) * 2004-02-11 2005-08-18 (주)코리아스타텍 실드 박스 리사이클링을 위한 용접 방법

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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