KR101234999B1 - 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치 및 방법 - Google Patents

탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

압저항 특성을 구비한 탄소나노튜브 패턴을 통해 미세한 유체의 흐름 또는 유량을 측정하는 초소형으로 제작할 수 있는 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치 및 방법에 관한 기술이 개시된다. 이에, 유체가 흐르는 통로를 형성하는 캐비티층과 캐비티층과 결합하는 맴브레인과 맴브레인상에 형성되어 압력차를 발생시키는 오리피스 및 오리피스에 의해 발생된 압력차를 감지할 수 있도록 맴브레인상에 형성된 탄소나노튜브 패턴을 포함한 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치를 제공한다.

Description

탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치 및 방법{Flow Rate Measuring Device of using Carbon Nanotube and Method of Using the same}
본 발명은 유량 또는 유속의 측정에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유체의 의해 발생한 압력차를 감지하여 유량을 측정하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
유체의 유량 또는 유속에 대한 측정은 항공, 조선, 원자력, 정밀화학분야에 널리 사용되고 있다. 또한, 최근에는 렙온어칩(lab on a chip), 의료분야 등으로 그 응용분야가 확대되고 있는 추세에 있다. 유체의 유량 또는 유속을 측정하는 방식에는 가열부에서 발생하는 열을 이용하여 가열부와 유체간의 온도 차이를 이용하는 방법, 유체의 흐름에 의해 발생하는 압력차 감지하여 이를 이용하는 방법, 매질 속에서의 광 또는 초음파의 주파수 변화를 이용하는 방법 등이 있다.
그런데 기존의 온도 차이를 이용하는 방법은 주위환경의 영향에 민감하고 응답성이 낮은 문제점이 있으며, 광 또는 초음파의 주파수 변화를 이용하는 방법은 유량 측정장치를 소형화하는데 한계가 있다. 또한, 종래의 마이크로 유량, 유속센서는 측정감도와 정밀도가 낮고, 측정 대상인 동작 유체의 종류가 제한적이라는 한계점이 있다. 이에 압력차를 이용하여 유량을 측정하는 장치 또는 방법은 구성 및 그 동작원리가 간단한 이점이 있어 다양한 응용분야에 사용되고 있다. 압력차를 이용한 유량 측정장치는 주로 오리피스(orifice)의 전후에 위치한 압력센서에 의해 측정한 압력차를 유량으로 환산한다. 압력센서는 압력차를 감지하여 이를 전기적 신호로 출력하는데, 특히 압력차에 의해 야기되는 스트레인(strain)에 기인한 저항의 변화를 이용한 압저항(Piezoresistive) 소자에 대한 관심이 증대되고 있다.
또한, 최근에는 미세한 유체의 흐름 또는 유량의 측정이 필요할 뿐 아니라, 유량 측정장치를 소형화하는 것을 필요로 한다. 이에, 초소형의 압저항 소자를 제작하여 유량의 측정에 활용하는 기술에 대한 개발이 필요한 실정이다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 압저항 특성을 구비한 탄소나노튜브 패턴을 이용하여 미세한 유체의 흐름 또는 유량을 측정할 수 있는 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치 및 방법을 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 유체가 흐르는 통로를 형성하는 캐비티층과 상기 캐비티층과 결합하는 맴브레인과 상기 맴브레인상에 형성되어 압력차를 발생시키는 오리피스 및 상기 오리피스에 의해 발생된 압력차를 감지할 수 있도록 상기 맴브레인상에 형성된 탄소나노튜브 패턴을 포함한 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치를 제공한다.
여기서, 탄소나노튜브 패턴은 박막의 형태로 오리피스를 중심으로 하여 맴브레인상에 형성할 수 있다.
여기서, 탄소나노튜브 패턴은 나선의 형태로 연결되어 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 다른 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 캐비티층에 형성된 유입구로 유체를 유입시키는 단계와 유체를 맴브레인상에 형성되어 있는 오리피스를 통과시키는 단계 및 맴브레인상에 형성되어 있는 탄소나노튜브 패턴의 전도도를 측정하는 단계를 포함하는 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정방법을 제공한다.
상기와 같은 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치는 박막의 맴브레인상에 형성되는 탄소나노튜브 패턴의 압저항 특성을 이용하여 압력차를 감지하여 전기적인 신호를 출력하는바, 미세한 유량을 측정할 수 있을 수 있다.
또한 본 발명인 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치는 소형으로 제작이 가능하여, 의료, 정밀화학분야 등 다양한 분야에 응용이 가능한 장점이 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 압력 측정체의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 상기 도 1에 도시된 탄소나노튜브 패턴의 확대도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치의 다른 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 유량 측정장치에 의해 측정된 유량에 따른 전도도의 변화를 도시한 그래프이다.
도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 실시예에 따른 유량 측정장치에 의해 측정된 유량에 따른 전도도의 변화를 도시한 그래프들이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
실시예
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 압력 측정체의 평면도이다.
도 1을 참조하면, 압력 측정체(10)는 맴브레인(100), 오리피스(110) , 탄소나노튜브 패턴(120) 및 전극(130)을 포함한다.
박막인 맴브레인(membrane)(100)에 홀(hole)이 구비되고, 구비된 홀(hole)은 유체가 통과할 때 압력차를 발생시키는 오리피스(orifice)(110)의 기능을 수행한다. 또한, 맴브레인(100)상에 탄소나노튜브(CNT: Carbon nanotube) 패턴(120)이 형성되며, 탄소나노튜브 패턴(120)은 오리피스(110)를 중심으로 하여 그 주변에 형성되도록 할 수 있다.
또한, 맴브레인(100)은 절연막의 적층으로 이루어질 수 있으며, 폴리디메틸실록산(PDMS :poly dimethyl siloxane)으로 구성되도록 하는 것이 바람직하다. PDMS는 탄소(C)가 아닌 실리콘(Si)으로 이루어진 고분자 물질로서 화학적으로 안정하며, 내구성이 강한 탄성중합체이다. 또한, PDMS는 성형가공성이 우수하여 회로 기판(substrate)에 상대적으로 넓은 영역에 안정적으로 점착할 수 있는 장점이 있다. 따라서, 맴브레인(100)은 PDMS로 제작하는 것이 바람직하다.
오리피스(110)는 유체를 분출시키는 홀로 유량의 조절 또는 측정 등을 위하여 사용된다. 또한, 오리피스(110)는 원형 또는 사각형 등의 다양한 형상으로 구비될 수 있다. 유체가 오리피스(100)를 통과하는 경우, 통과 전후의 유체의 압력차가 발생하며, 발생된 압력차를 이용하여 유량을 측정할 수 있다.
또한, 유체가 오리피스(110)를 통과하면, 탄성체인 맴브레인(100)에 기계적인 변형이 발생되며, 기계적 변형은 탄소나노튜브 패턴의 저항값을 변화시킨다. 즉, 맴브레인(100)의 기계적인 변형은 맴브레인(100)상에 형성된 탄소나노튜브 패턴(120)에 전달되어, 탄소나노튜브 패턴(120)에 기계적인 변형이 발생한다. 탄소나노튜브 패턴(120)은 압저항체의 특성을 가지고 있으므로, 기계적인 변형에 상응하여 저항이 변하는 특성을 가진다. 이를 통하여 유체의 흐름에 의한 압력차를 저항값의 변화로 나타낼 수 있으며, 소정의 전압 또는 전류의 인가를 통해 유체의 흐름에 따른 압력차를 감지하고, 이를 전기적 신호로 변환할 수 있다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 상기 도 1에 도시된 탄소나노튜브 패턴의 확대도이다.
도 2을 참조하면, 상기 도 1에서 “A”로 표시된 부분은 확대되어 도시된다. 홀(hole)로 구성된 오리피스(110)가 박막인 맴브레인(100)상에 형성되고, 탄소나노튜브 패턴(120)은 박막의 형태로 맴브레인(100)상에 형성된다. 또한, 상기 탄소나노튜브 패턴(120)은 PDMS로 몰딩된다. 따라서, 탄소나노튜브 패턴(120)의 상하는 PDMS 등으로 몰딩된 상태이며, 탄소나노튜브 패턴(120)이 형성된 부위의 중심에는 유체가 통과할 수 있는 오리피스(110)가 구비된 상태이다. 따라서, 탄소나노튜브 패턴(120)은 맴브레인(100)의 기계적 변형을 용이하게 감지하기 위하여, 오리피스(110)를 중심으로 하여 그 주변에 형성시키는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 실시예로 박막의 탄소나노튜브 패턴(120)은 오리피스(110)를 중심으로 하여 나선의 형태를 가짐이 바람직하다. 나선의 형태로 연결된 구조를 가진 탄소나노튜브 패턴(120)은 기계적 변형을 민감하게 감지할 수 있다. 즉, 맴브레인(100)의 특정부위에만 기계적 변형이 발생된다 하더라도, 이를 감지할 수 있는 특징을 가진다.
또한, 오리피스(110)를 형성하는 홀(hole)은 직경이 300μm로 할 수 있으며, 나선형의 탄소나노튜브 패턴(120)의 띠두께(w1)는 30μm, 띠 사이의 간격(w2)은 20μm, 두께는 약 10nm 로 할 수 있다. 또한, 탄소나노튜브 패턴(120)에 연결되는 전극(130)은 전도성이 높은 재질로 하며, 바람직하게는 은(silver)을 사용한다. 또한, 탄소나노튜브(CNT)는 단일벽 및 다중벽 탄소나노튜브로 구분할 수 있으며, 바람직하게는 단일벽 탄소나노튜브(SWNT)를 이용하여 탄소나노튜브 패턴(120)을 형성시킨다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치의 단면도이다.
도 3을 참조하면, 캐비티층(200)은 유체가 흐를 수 있는 통로를 형성하며, 유입구(210)를 구비한다. 상기 캐비티층(200)은 유체의 유입 통로를 형성하고, 이를 수용할 수 있는 구조 및 재질이라면 어느 것이나 사용가능할 것이다. 따라서, 상기 캐비티층의 재질 및 구조는 특별한 한정이 없다. 또한, 상기 도 1에 도시된 압력 측정체(10)가 접합될 수 있는 재질 및 구조라면 상기 캐비티층(200)은 다양한 방법으로 형성가능하다 할 것이다.
캐비티층(200)의 하단에 맴브레인(100)이 결합된다. 유입구(210)를 통하여 유입된 유체는 맴브레인(100)상에 형성된 오리피스(110)를 통하여 배출된다. 오리피스(110)를 통하여 배출되는 유체에 의해 탄성체인 맴브레인(100)이 유체의 이동방향으로 신장되는 기계적인 변형이 일어난다. 맴브레인(100)에 발생한 이러한 기계적인 변형에 기인하여 맴브레인(100)상에 형성된 탄소나노튜브 패턴(120)도 신장되는 기계적 변형이 발생하고, 이로 인하여 탄소나노튜브 패턴(120)의 저항값이 증가하게 된다.
즉, 탄소나노튜브 패턴(120)은 탄소나노튜브들이 무작위적으로 연결되어 있는 얇은 박막으로 볼 수 있다. 따라서, 외력이 작용하여 탄소나노튜브 패턴(120)에 신장이 생기면, 개개의 탄소나노튜브 간의 접촉이 느슨하게 되고, 이로 인하여 접촉저항이 변화하여 탄소나노튜브 패턴(120)의 저항값이 증가하게 된다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치의 다른 단면도이다.
도 4를 참조하면, 맴브레인(100)은 캐비티층(200)의 하단에 배치되지 아니하고, 유체가 흐르는 경로에 배치된다. 예컨대, 캐비티층(200) 사이에 게재되는 형상으로 구비될 수 있다. 캐비티층(200)은 유체를 가이드하는 역할을 하고 있으며, 유체의 유량은 오리피스(110)와 탄소나노튜브 패턴(120)을 구비한 맴브레인(100)에서 감지한다. 따라서, 캐비티층(200)의 형상 및 맴브레인(100)의 위치에 있어서 특별한 한정은 없다.
실험예
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 유량 측정장치에 의해 측정된 유량에 따른 전도도의 변화를 도시한 그래프이다.
도 5를 참조하면, 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치는 오리피스(110)를 형성하는 홀(hole)의 직경을 300μm로 하고, 나선형의 탄소나노튜브 패턴(120)의 띠두께(w1)는 30μm, 띠 사이의 간격(w2)는 20μm, 두께는 10nm 내외로 하였다. 맴브레인(100)의 두께는 1mm내외로 하였다. 또한, 유체로는 탈이온수(deionized water)을 사용하였다.
탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치에 유체에 의한 압력이 가해지면 맴브레인(100)이 유체의 이동방향으로 신장하게 된다. 이에 따라, 맴브레인(100)에 형성된 탄소나노튜브 패턴(120)도 신장하게 되고 전도도(G)가 감소하게 된다. 유량의 변화에 따른 맴브레인(100)의 상태를 각각 a,b,c,d 표시하면, a는 유체가 유입되는 초기단계, b는 유체의 일부만이 배출되는 단계, c은 유량이 증가한 단계, d는 저장된 유체가 배출되는 단계이다.
도 5에서 보는 바와 같이, 유량에 따라 맴브레인(100)이 신장하는 정도에 변화가 있고, 맴브레인(100)이 신장할수록 탄소나노튜브 패턴(120)의 전기적 저항값이 증가함에 따라 전도도가 감소하는 것을 알 수 있다. 즉, 탄소나노튜브 패턴(120)의 초기 전도도가 G0이고, a, b, c, d 단계에서의 전도도를 각각 Ga, Gb, Gc, Gd라 설정할 수 있다.
초기 전도도(G0)에 대한 전도도의 변화량(△G)의 백분율이 마이너스(-) 방향으로 점차 증가함을 알 수 있다. 이는 탄소나노튜브 패턴(120)의 전도도값이 점차 감소함을 나타낸다.
먼저, 유체가 배출되는 단계(b 및 d)에서는 유체의 배출로 인하여 맴브레인(100)의 신장이 완충됨을 알 수 있다. 즉, 유체가 맴브레인(100)에 유입되면 맴브레인(100)이 유체의 이동방향으로 신장된다. 그리고, 맴브레인(100)상의 오리피스(110)를 통하여 유체가 배출되면 맴브레인(100)의 신장이 완충된다. 따라서, 유체가 오리피스(110)를 통하여 배출되는 구간에서는 탄소나노튜브 패턴(120)의 전도도는 일정한 레벨로 셋팅됨을 알 수 있다.
반면, 유체의 유입만에 의해 유체의 축적이 증가하는 단계(a 및 c)에서는 맴브레인(100)에 인가되는 기계적 변형은 시간의 증가에 따라 증가하는 경향을 가진다. 따라서, 탄소나노튜브 패턴(120)의 저항은 증가한다. 이는 탄소나노튜브 패턴의 전도도의 점진적인 감소로 나타난다.
도 6a 내지 도 6c는 본 발명의 실시예에 따른 유량 측정장치에 의해 측정된 유량에 따른 전도도의 변화를 도시한 그래프이다.
도 6을 참조하여, 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치에 의해 측정된 유체의 유량에 따른 전도도의 변화를 살펴본다. 도 6의 (a),(b),(c)는 유입구(210)를 통하여 유입되는 유체의 유량이 각각 5.4μL/s, 3.8μL/s, 2.8μL/s 일 때의 전도도의 변화량의 백분율(△G/G0(%))을 나타낸다. 유량이 증가할수록 탄소나노튜브 패턴(120)의 전도도의 감소가 가파르게 일어남을 알 수 있다.
즉, 유량이 5.4μL/s 인 경우에는 전도도의 변화량의 백분율(△G/G0(%))이 약 -12%까지 변화함을 볼 수 있고, 유량이 3.8μL/s 인 경우에는 전도도의 변화량의 백분율(△G/G0(%))이 약 -5%까지 변화함을 볼 수 있으며, 유량이 2.8μL/s 인 경우에는 전도도의 변화량의 백분율(△G/G0(%))이 약 -3%까지 변화함을 알 수 있다. 또한, 전도도가 변화하는 시간은 유체의 유량이 많을수록 단축된다는 것을 알 수 있다. 이를 통하여 본 발명은 유체의 미세한 유량을 감지하여 이를 전기적 신호인 전도도의 변화로 나타낼 수 있음을 알 수 있다.
또한, 본 발명인 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치는 다양한 방법을 통해 제조될 수 있다.
예컨대, PDMS로 구성되는 맴브레인(100)에 홀(hole)을 형성시킨다. 맴브레인(100)상에 형성된 홀(hole)은 유체가 통과할 수 있으며, 홀(hole)은 압력차를 발생시키는 오리피스(orifice)로 기능한다. 맴브레인(100)상에 홀(hole)을 형성시킨 후, 탄소나노튜브 패턴(120)을 증착시킬 수 있도록 맴브레인(100)상에 포토레지스트를 형성하고, 통상의 리소그래피 공정을 이용하여 포토레지스트 패턴을 형성한다. 이어서, 포토레지스트 패턴 사이의 이격공간을 탄소나노튜브가 포함된 용액으로 매립한다. 이후에 소정의 베이킹 공정을 통해 탄소나노튜브가 포함된 용액의 용매를 제거하여 탄소나노튜브 패턴을 형성할 수 있다. 이후에 포토레지스트 패턴은 제거되고, 맴브레인(100)과 탄소나노튜브 패턴(120)은 PDMS로 코팅 또는 몰딩된다.
본 발명에 따른 유량 측정방법은 캐비티층(200)에 형성된 유입구(210)로 유체를 유입시키는 단계와 상기 유체를 맴브레인(100)상에 형성되어 있는 오리피스(110)를 통과시키는 단계 및 상기 맴브레인(100)상에 형성되어 있는 탄소나노튜브 패턴(120)의 전도도를 측정하는 단계를 포함하는 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정방법을 제공한다. 또한, 전도도를 측정하는 단계에서 측정된 전도도를 이용하여 유체의 유량을 연산하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다. 유체의 유량 또는 유속에 따른 전도도의 변화는 맴브레인(100)의 두께, 오리피스(110)를 구성하는 홀(hole)의 직경, 탄소나노튜브 패턴(120)의 형태 등을 변화시켜 조절할 수 있다.
상술한 본 발명에 따르면, 박막의 맴브레인상에 형성되는 탄소나노튜브 패턴의 압저항 특성을 이용하여 압력차를 감지하고, 이를 전기적인 신호로 출력하는바, 미세한 유량을 측정할 수 있다. 또한, 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치는 소형으로 제작이 가능하여, 의료, 정밀화학분야 등 다양한 분야에 응용이 가능하다. 특히, 혈중의 암세포는 그 종류에 따라 사이즈를 달리하므로, 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치를 적용하여 암의 종류에 따라 다른 전기적 신호를 검출할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10: 압력 측정체
100: 맴브레인 110: 오리피스
120: 탄소나노튜브 패턴 130: 전극
200: 캐비티층 210: 유입구

Claims (11)

  1. 유체가 흐르는 통로를 형성하는 캐비티층;
    상기 캐비티층과 결합하는 맴브레인;
    상기 맴브레인상에 형성되어 압력차를 발생시키는 오리피스; 및
    상기 오리피스에 의해 발생된 압력차를 감지할 수 있도록 박막의 형태로 상기 오리피스를 중심으로 하여 나선의 형태로 연결되어 상기 맴브레인에 형성된 탄소나노튜브 패턴을 포함한 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 맴브레인은 절연막의 적층구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 맴브레인은 PDMS로 구성된 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 유량 측정방법에 있어서,
    캐비티층에 형성된 유입구로 유체를 유입시키는 단계;
    상기 유체를 맴브레인상에 형성되어 있는 오리피스를 통과시키는 단계; 및
    박막의 형태로 상기 오리피스를 중심으로 하여 나선의 형태로 연결되어 상기 맴브레인에 형성되어 있는 탄소나노튜브 패턴의 전도도를 측정하는 단계를 포함하는 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정방법.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 전도도를 측정하는 단계에서 측정된 전도도를 이용하여 상기 유체의 유량을 연산하는 단계를 더 포함하는 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정방법.
  8. 제 6항에 있어서, 상기 맴브레인은 절연막의 적층구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정방법.
  9. 제 7항에 있어서, 상기 맴브레인은 PDMS로 구성된 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브를 이용한 유량 측정방법.
  10. 삭제
  11. 삭제
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