KR20140125903A - 탄성 촉각센서 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

탄성변형이 일어나는 부품에 직접 장착이 가능한 탄성 촉각센서가 개시된다. 본 발명에 따른 탄성 촉각센서는 탄성 및 절연성을 갖는 지지층과, 지지층의 상부에 단일 또는 다중으로 형성되어 탄성과 전도성 및 압전저항성을 갖는 가변저항층과, 가변저항층의 양쪽에 접촉되는 전극과, 가변저항층의 상부에 형성되어 탄성 및 절연성을 갖는 표면층을 포함하여 구성된다. 이러한 탄성 촉각센서는 표면층 또는 지지층으로부터 전달된 압력에 따라 가변저항층의 체적이 변하여 발생된 저항값을 전극을 통해 측정하여 압력에 대한 촉각정보를 감지하는 것이다.

Description

탄성 촉각센서 및 그 제조방법{A tactile sensor and manufacturing method for thereof}
본 발명은 촉각센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 높은 유연성(flexibility)과 체적의 변화를 수반할 수 있어 자동화 장치나 로봇 손 등의 물체를 직접 잡는데 사용되는 부위와 같이 탄성변형이 일어나는 부품에 직접 장착이 가능한 탄성 촉각센서 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
현재, 접촉을 통한 주변환경의 정보, 즉 접촉력, 진동, 표면의 거칠기, 열전도도에 대한 온도변화 등을 획득하는 촉각기능은 차세대 정보수집 매체로 인식되고 있다. 이와 같은 촉각감각을 대체할 수 있는 생체모방형 촉각센서는 혈관내의 미세수술, 암진단 등의 각종 의료진단 및 시술에 사용될 뿐만 아니라 향후 가상환경 구현기술에서 중요한 촉각제시 기술에 적용될 수 있기 때문에 그 중요성이 점차 증가하고 있다.
이러한 생체모방형 촉각센서는 이미 산업용 로봇의 손목에 사용되고 있는 6자 유도의 힘/토크 센서와 로봇의 그리퍼(gripper)용으로 접촉 압력 및 순간적인 미끄러짐을 감지할 수 있는 것이 개발된 바 있으나, 이는 감지부의 크기가 비교적 큰 관계로 민감도가 낮은 문제점을 안고 있다.
그리고 마이크로 전자기계시스템(MEMS; micro electro mechanical systems) 제작기술을 이용하여 촉각센서의 개발 가능성을 보여준 바 있으나, 이들은 단지 접촉력에 대한 정보만을 획득할 수 있도록 제작되기 때문에 외부환경에 대한 정보 수집면이 제한적이다.
한편, 실리콘 기반의 MEMS기술로 제작한 실리콘 촉각센서(T)는 통상적으로 도 1에 도시된 바와 같이 하중을 받고 있는 사각형 모양의 박막형 감지부(100)로 구성되는 것으로서, 촉각센서의 감지부(100)는 하중블록(loading block)(110)과 전체 구조를 지지하는 지지블록(side block)(120)으로 이루어지고, 과하중(overload)이 전달되었을 때 막의 파괴를 방지하기 위하여 과하중 보호블록(overload protection)(130)을 포함한다.
따라서 종래의 촉각센서(T) 어레이는 도 2에 도시된 바와 같이 인쇄회로기판(PCB)(200)에 단일의 촉각센서(T)를 어레이하며, 인쇄회로기판상에 어레이된 촉각센서(T)는 메탈 와이어(210)를 이용한 와이어 본딩(wirebonding) 공정으로 인쇄회로기판(200)과 전기적으로 연결되어 있다.
그러나 종래의 촉각센서는 실리콘 기반의 MEMS기술을 이용하여 제작함으로써 촉각센서의 유연성이 크게 저하되며, 이러한 촉각센서를 적용한 어레이는 다양한 지지물과의 접착면에 있어서 극히 제한적일 수 밖에 없다.
또한, 이와 같은 종래의 촉각센서 어레이는 단일의 촉각센서를 제조한 후, 제조된 촉각센서를 인쇄회로기판상에 정렬하여 형성하나, 정렬과정에 있어 불량을 유발하게 되며, 이로 인하여 공정 수율이 저하된다.
이와 더불어, 촉각센서와 인쇄회로기판과의 연결을 위한 와이어 본딩 공정에 있어서 공정의 난이성으로 인하여 공정비용이 상승하고, 단락이 유발될 수 있으며, 집적도가 저하되는 문제점이 존재한다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 탄성을 가지는 재료 사이에 탄성이 있으면서 압전저항(piezoresistive)을 갖는 소재를 내장하여 단일 또는 다중 센싱부를 샌드위치형으로 제작함으로써, 자동화 장치나 로봇 손 등의 물체를 직접 잡는데 사용되는 부위와 같이 탄성변형이 일어나는 부품에 직접 장착이 가능한 탄성 촉각센서 및 이의 제조방법을 제공하려는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않는다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위해 본 발명에 따른 탄성 촉각센서는,
탄성 및 절연성을 갖는 지지층;
지지층의 상부에 단일 또는 다중으로 형성되어 탄성과 전도성 및 압전저항성을 갖는 가변저항층;
가변저항층의 양쪽에 접촉되는 전극; 및
가변저항층의 상부에 형성되어 탄성 및 절연성을 갖는 표면층;을 포함하여,
표면층 또는 지지층으로부터 전달된 압력에 따라 가변저항층의 체적이 변하여 발생된 저항값을 전극을 통해 측정하여 압력에 대한 촉각정보를 감지하는 것을 특징으로 하는 탄성 촉각센서를 제공한다.
이때, 가변저항층은 탄성을 갖는 액상 고분자 또는 프리폴리머에 0.1~20중량%의 전도성 나노튜브가 포함될 수 있다.
그리고 표면층의 상부에 가변저항층 및 표면층을 번갈아 가면서 적어도 한번 이상 다중으로 형성하여 센싱을 다중 어레이로 구축할 수도 있다.
상기와 같이 다중으로 된 가변저항층은 상하층간 직각 또는 다양한 각도를 가질 수 있도록 교차되게 형성될 수 있을 것이다.
또한, 본 발명에 따른 탄성 촉각센서 제조방법은,
일정한 틀을 갖는 몰드내에 탄성 및 절연성을 갖는 액상의 고분자 또는 프리폴리머 재료를 주입하여 판 형상으로 제작하는 지지층 형성 단계;
탄성 및 전도성과 압전저항성을 갖는 액상의 재료를 디스펜싱 장치에 주입하여 지지층이 경화된 상부면상에 단일 또는 다중으로 센싱 패턴을 제작하는 가변저항층 형성 단계; 및
가변저항층이 경화된 후에 그 위에 탄성 및 절연성을 갖는 액상의 고분자 또는 프리폴리머 재료를 주입하여 판 형상으로 제작하는 표면층 형성단계;를 포함하며,
표면층 형성단계 중에 가변저항층의 양쪽에 접촉되도록 전극을 배치시킨 후, 전극이 표면층에 인서트 되도록 함을 특징으로 하는 탄성 촉각센서 제조방법을 제공한다.
이때, 가변저항층의 재료로는 탄성을 갖도록 바디를 이루는 액상의 고분자에 전도성 및 압전저항성을 갖도록 0.1~20중량%의 전도성 나노튜브를 첨가하여 분산제에 의한 화학적 분산방법 또는 롤밀에 의한 물리적 분산방법으로 골고루 분산하여 사용할 수 있다.
또는, 가변저항층의 재료로는 탄성 및 광개시 반응을 갖도록 바디를 이루는 액상의 프리폴리머에 전도성 및 압전저항성을 갖도록 0.1~20중량%의 전도성 나노튜브를 첨가하여 분산제에 의한 화학적 분산방법 또는 롤밀에 의한 물리적 분산방법으로 골고루 분산하여 사용하며, 디스펜싱 장치에는 광개시 반응을 위한 광발산장치가 부설되도록 할 수 있을 것이다.
여기에서, 전도성 나노튜브는 단일벽 탄소 나노튜브(single-walled carbon nanotubes), 다중벽 탄소 나노튜브(multi-walled carbon nanotubes), 그래핀(graphene), 금(gold)/은(silver)/동(copper) 나노튜브(nanotubes) 중 어느 하나일 수 있다.
그리고 액상 고분자는 실리콘(Silicon), 우레탄(Urethane), 폴리우레탄(Polyurethane) 중 어느 하나일 수 있다.
한편, 프리폴리머는 프로폭실레이티드 네오펜틸 글리콜 디아크릴레이트(propoxylated neopentyl glycol diacrylate), 프로폭실레이티드 글리세릴 트리아크릴레이트(propoxylated glyceryl triactylate), 사이클릭 트림에틸롤프로판 포멀 아크릴레이트(yclic trimethylolpropane formal acrylate), 에톡실 에이티드 비스페놀 디메타크릴레이트(ethoxyl ated bisphenol dimethacrylate), 아크릴레이트 에스테르(acrylate esters), 우레탄 아크릴레이트(urethane acrylate) 중 어느 하나로 되는 모노머 및 올리고머에 광개시제가 첨가되어 사용될 수도 있다.
전술한 바와 같이 본 발명에 따른 탄성 촉각센서는 가변저항층의 물성에 의해 높은 유연성과 체적의 변화를 수반할 수 있어 자동화 장치나 로봇 손 등의 물체를 직접 잡는데 사용되는 부위와 탄성변형이 일어나는 부품 등에 직접 장착이 가능한 이점이 있다.
도 1은 종래기술에 따른 촉각센서를 나타낸 단면도이고,
도 2는 종래기술에 따른 촉각센서를 나타내 어레이 단면도이고,
도 3은 본 발명에 따른 탄성 촉각센서를 나타낸 구조도이고,
도 4는 본 발명의 탄성 촉각센서에 압력이 가해지는 모습을 나타낸 도면이고,
도 5는 본 발명의 탄성 촉각센서에서 촉각정보를 측정하는 작동방법을 나타낸 도면이고,
도 6은 본 발명에 따른 가변저항층의 내부 구조도 및 작동원리를 나타낸 도면이며, 그리고
도 7은 본 발명에 따른 탄성 촉각센서의 제조공정을 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명한다. 도면들 중 동일한 구성요소들은 가능한 어느 곳에서든지 동일한 부호로 표시한다. 또한 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.
- 촉각센서의 구조 및 원리 -
도 3은 본 발명에 따른 탄성 촉각센서의 구조도를 나타낸 도면으로서, 이 도면에서 보는 것과 같이, 본 발명에 따른 탄성 촉각센서(100)는 지지층(110)과, 이 지지층(110)의 상부에 형성되는 가변저항층(120)과, 가변저항층(120)의 양측에 전기적으로 연결되도록 접촉되는 전극(130)과, 가변저항층(120)의 상부를 감싸는 표면층(140)을 포함하여 샌드위치 구조로 구성된다.
이러한 탄성 촉각센서(100)는 지지층(110)과 가변저항층(120)과 표면층(140)이 탄성체로 제작되어 도 4에서 보는 것과 같이 표면층(140)으로부터 압력이 전달되면 이 압력에 의해 체적이 변화되면서 가변저항층(120)의 저항변화를 양쪽 전극(130)통해 측정하게 된다. 이때, 압력에 의해 체적이 변화될때에 각 층이 쉽게 분리되지 않도록 하기 위해 각 층은 접합되는 구조로 이루어짐이 바람직하며, 전극(130)도 가변저항층(120)으로부터 쉽게 분리되지 않도록 접합되는 구조로 이루어짐이 바람직 할 것이다.
본 발명에 따른 탄성 촉각센서(100)는 도 5에서 보는 것과 같이, 양쪽 전극(130)을 통해 얻어진 가변저항층(120)의 변화된 저항값을 조정과 분석을 통해 압력정보 등의 촉각정보를 얻을 수 있는 것이다.
본 발명의 바람직한 실시예에서는 표면층(140)에서 압력이 전달되는 것을 일예로 하였으나, 표면층(140)과 지지층(110)은 동일한 재질로서 상,하가 반전되어도 무방한 즉, 지지층(110)이 표면층(140)이 될 수도 있을 것이다.
하기에는 가변저항층(120)이 압력에 따라 체적이 변화되면서 저항값이 변하는 원리를 간략하게 설명한다.
본 발명에 따른 가변저항층은 탄성이 있으면서 전도성 및 압전저항성을 갖는 재료로 제조되는 것으로, 구체적으로는 도 6의 (a)에서 보는 것과 같이 탄성을 갖는 액상의 바디(121)에 전도성을 띄는 나노튜브(122)를 분산시켜 경화한 것이다. 따라서 나노튜브(122)들의 사이에 무수한 터널(Rtunneling)을 형성하게 된다. 이러한 가변저항층(120)이 도 6의 (b)에서 보는 것과 같이 압력에 의해 체적 변화가 일어나면 그 변형량이 직접 접촉이 없는 나노튜브 사이의 거리를 변화시킴으로써, 전체 저항의 크기가 변화되며, 이 변화된 전체 저항을 감지하여 촉각 능력을 갖게 되는 것이다.
좀더 상세하게 설명하면, 전도성 나노튜브(122)는 (a) 및 (b)에서 보는 것과 같이 가변저항층(120)의 바디(121)내에서 끊임없이 연결된 구조가 아닌 단락된 형태로 분산된다. 이러한 가변저항층(120)의 어느 일단에 전원이 입력되면 단락되어 있는 나노튜브(122)들에 의해 가변저항층(120)이 단전되는 것이 아니라 터널(Rtunneling)에 의해 저항을 받으면서 통전시키게 된다. 따라서 도 6의 (a)와 같이 평상시에는 일정한 저항값을 갖게 되는데, (b)와 같이 바디(121)에 체적 변화가 일어나면 나노튜브(122)들의 이격 거리가 변하면서 저항값이 변하게 되는 것이며, 이러한 저항의 변화를 분석하여 촉각 정보를 감지하게 되는 것이다.
- 촉각센서의 제조방법 -
도 7은 본 발명에 따른 촉각센서를 제조하기 위한 공정도이다.
본 발명에 따른 촉각센서는 도 7에서 보는 것과 같이 탄성과 절연성을 갖는 액상재료로 지지층(110)을 형성한 후(S10), 지지층(110)위에 탄성과 전도성 및 압전저항성을 갖는 가변저항층(120)을 형성한 다음(S30), 다시 가변저항층(120)위에 탄성과 절연성을 갖는 액상재료로 표면층(140)을 형성하여서(S40) 제작된다. 이때, 전극(130)은 표면층(140)이 형성되기 전에 가변저항층(120)과 접촉시켜 표면층(140)의 형성시 인서트 되도록 할 수 있다. 물론, 전극(130)은 인서트 뿐만 아니라 표면층(140)이 형성된 후에 이 표면층(140)을 깍아내어 그 자리에 전극(130)을 안치시킨 후 접착시켜서 형성될 수도 있을 것이다.
상기 지지층(110) 및 표면층(140) 형성에 사용되는 재료는 탄성이 있으면서 절연성을 갖는 모든 액상 재료의 사용이 가능할 것이며, 흔히 말하는 소프트 몰딩(soft molding) 공정에서 사용되는 모든 재료가 사용 가능한 것이다.
예를 들어, 지지층(110) 및 표면층(130)의 재료로서, 실리콘(Silicon), 우레탄(Urethane), 폴리우레탄(Polyurethane) 등의 액상 고분자가 사용될 수 있다.
또는, 액상의 광경화성 모노머(monomer) 및 올리고머(oligomer)와 광개시제(photoinitiate) 및 첨가제(additives)를 사용한 프리폴리머일 수 있다.
여기에서, 모노머 및 올리고머는 프로폭실레이티드 네오펜틸 글리콜 디아크릴레이트(propoxylated neopentyl glycol diacrylate), 프로폭실레이티드 글리세릴 트리아크릴레이트(propoxylated glyceryl triactylate), 사이클릭 트림에틸롤프로판 포멀 아크릴레이트(yclic trimethylolpropane formal acrylate), 에톡실 에이티드 비스페놀 디메타크릴레이트(ethoxyl ated bisphenol dimethacrylate), 아크릴레이트 에스테르(acrylate esters), 우레탄 아크릴레이트(urethane acrylate) 등이 사용가능하다.
그리고 광개시제는 bis(2,4,6-trimethylbenzoyl) phenylphosphine oxide (BAPO), 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone (DMPA), benzoin ethyl ether (BEE), 5,7-diiodo-3-butoxy-6-fluorone 등이 사용가능하다.
또한, 열경화제로는 2,2'-azobis(2-methyl-propionamidine) dihydrochloride, 2,2'-azobis(2-methylpropionitrile), benzoyl peroxide 등이 사용가능하다.
상기 광개시제는 자외선 램프로부터 에너지를 흡수하여 중합(polymerization) 반응을 시작하게 하는 물질을 말하는 것으로, 모노머나 올리거머, 자유기가 광 중합하는데 필요한 에너지를 가해서 이 물질들이 경화된 후의 고분자 물질로 바뀌게 광 중합을 개시시키는 역할을 하는 것이다.
이러한 광개시제나 열경화제는 모노머 및 올리고머가 광경화성인지 열경화성인지의 특성에 따라 광개시제를 사용할 것인지 아니면 열경화제를 사용할 것인지 선택할 수 있는 것이다. 즉, 광개시제 또는 열경화제는 도 7의 공정도에서 2번째 및 5번째에 해당되는 광 및 열경화 공정(S20, S50)에서 적용되는 것으로, 지지층(110) 및 표면층(140)이 액상 고분자로 사용될때에는 광 및 열경화 공정(S20, S50)이 생략될 수 있고, 지지층(110) 및 표면층(140)이 프리폴리머로 사용될때에는 폴리머화시키기 위해 광 및 열경화 공정(S20, S50)이 수반될 것이다.
본 발명에 따른 가변저항층(120)은 탄성이 있으면서 전도성(conductive) 및 압전저항성(piezoresistive)을 갖는 액상 재료를 디스펜싱(dispensing) 장치(200)를 통하여 단일 또는 다중의 센서 패턴을 제작한다(S30).
가변저항층 형성에 사용되는 재료는 바디를 구성하는 액상의 재료에 전도성 나노튜브를 분산시켜 사용된다. 이때, 바디를 구성하는 액상의 재료는 위의 지지층 및 표면층 재료로 사용한 액상 고분자 또는 프리폴리머가 사용될 수 있으며, 이러한 액상 고분자 또는 프리폴리머에 전도성과 압전저항성을 갖는 전도성 나노튜브를 골고루 분산시켜 사용되는 것이다.
본 발명의 일 실시예에서는 바디를 이루는 액상의 재료로서 아크릴레이트(Acrylate)계 구체적으로, 사이클릭 트림에틸롤프로판 포멀 아크릴레이트(Cyclic Trimethylolpropane Formal Acrylate)를 사용하였고, 이 아크릴레이트에 MWCNT(다중벽 탄소 나노튜브)를 분산시켜 사용하였으며, 광반응에 의한 폴리머화를 위해 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone (DMPA)의 광개시제를 사용하였다. MWCNT(다중벽 나노튜브)는 촉각센서의 구조 및 원리에서 설명한 전도성 나노튜브를 일컷는 것으로, 액상의 아크릴레이트에 0.1~20중량%를 첨가하여 사용된다.
이러한 전도성 나노튜브는 가변저항층이 체적변화에 따라 저항값이 변하게 하기 위한 것이므로, 너무 많은 양이 사용되면, 전도성 나노튜브들이 단락되지 않고 연결될 수 있으므로 분석 불가능한 아주 작은 저항값을 가질 수가 있다. 또는, 너무 적은 양이 사용되면, 전도성 나노튜브들이 너무 이격되어 있어 통전이 불가능할 수 있는 것이다. 따라서 본 발명에서는 통전을 위한 나노튜브의 최소량으로 0.1중량%보다는 커야 됨을 연구를 통해 알게 되었고, 저항이 발생되기 위한 나노튜브의 최대량으로 20중량%보다는 작아야 함을 알게 되었다.
상기와 같은 전도성 나노튜브로 사용 가능한 재료로서는, SWCNT(단일벽 나노튜브, single-walled carbon nanotubes), MWCNT(다중벽 나노튜브, multi-walled carbon nanotubes), 그래핀(graphene), 금(gold)/은(silver)/동(copper) 나노튜브(nanotubes) 등이 사용 가능하다.
또한, 본 발명에 따른 가변저항층(120)은 전도성 나노튜브가 바디(121)내에 골고루 분산되어야 하므로, 분산제에 의한 화학적 분산방법이나 롤밀 등에 의한 물리적 분산방법을 통하여 달성될 수도 있다.
본 발명에 따른 가변저항층(120)은 전술한 바와 같이 디스펜싱 장치(200)로부터 제작이 되는데, 이러한 디스펜싱 장치에 의해 액상의 가변저항층이 지지층(110)위에 형성되면 최초에는 점성에 의해 패턴이 동그랗게 되지만 시간이 지나면서 액상의 가변저항층의 표면 마찰이 작아져 납작하게 되어 원하는 두께를 얻지 못하는 경우가 발생될 수 있다. 따라서 본 발명에서는 액상의 가변저항층이 형성된 후에 빠른 경화속도를 가질 수 있도록, 바디로 사용되는 액상은 액상 고분자 보다는 프리폴리머가 더 유용하게 될 수 있다. 광개시제는 위에서도 설명하였듯이 액상내에 빛을 받으면 폴리머화되면서 경화되는 것으로, 지지층(110) 및 표면층(140)의 합성에 사용된 광개시제가 사용된다. 물론, 디스펜싱 장치(200)에는 가변저항층(120)의 패턴 형성과 동시에 빛을 발산 할 수 있도록 광발산장치가 마련되어야 할 것이다.
본 발명에 따른 탄성 촉각센서(100)는 다중 레이어로 제작될 수 있다(S60).
즉, 표면층(140)까지 완성된 촉각센서(100)의 상부에 다시 가변저항층 제작공정(S30)과 표면층 제작공정(S50)을 반복하여 2중, 3중 및 다중 센싱 레이어를 가진 촉각 센서를 제작할 수 있는 것이다. 예를 들어 M개의 센싱 요소를 가진 층과, 그 상부에 절연층을 제작한 다음, 그 위에 다시 N개의 센싱 요소를 가진 층으로 제작할 수 있는 것이다. 이 경우, N개의 센싱 요소들은 M개의 센싱 요소들과 직각이 되게 제작할 수 있으며, 직각 뿐만 아니라 다양한 각도를 가지게끔 제작할 수 도 있을 것이다.
이와 같은 다중 레이어 제작시, 각 층 마다 다른 외부 입력을 센싱하는 부분을 제작할 수 있을 것이다. 예를 들어, 아래쪽에 서로 직각을 가진 센싱 요소를 가진 두 층은 압력 센싱을 위해서 사용할 수 있으며, 상부의 또 다른 층은 열 등 다른 물리량을 감지하는 센싱 요소를 포함할 수 있는 것이다.
상기와 같은 탄성 촉각센서는 위에서 설명된 실시 예들의 구성과 작동 방식에 한정되는 것이 아니다. 상기 실시 예들은 각 실시 예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 구성될 수도 있다.
100 : 탄성 촉각센서
110 : 지지층 120 : 가변저항층
130 : 전극 140 : 표면층
200 : 디스펜싱 장치 M : 몰드

Claims (10)

  1. 탄성 및 절연성을 갖는 지지층;
    상기 지지층의 상부에 단일 또는 다중으로 형성되어 탄성과 전도성 및 압전저항성을 갖는 가변저항층;
    상기 가변저항층의 양쪽에 접촉되는 전극; 및
    상기 가변저항층의 상부에 형성되어 탄성 및 절연성을 갖는 표면층;을 포함하여,
    상기 표면층 또는 지지층으로부터 전달된 압력에 따라 상기 가변저항층의 체적이 변하여 발생된 저항값을 상기 전극을 통해 측정하여 압력에 대한 촉각정보를 감지하는 것을 특징으로 하는 탄성 촉각센서.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 가변저항층은 탄성을 갖는 액상 고분자 또는 프리폴리머에 0.1~20중량%의 전도성 나노튜브가 포함된 것을 특징으로 하는 탄성 촉각센서.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 표면층의 상부에 상기 가변저항층 및 표면층을 번갈아 가면서 적어도 한번 이상 다중으로 형성함을 특징으로 하는 탄성 촉각센서.
  4. 제 3 항에 있어서,
    다중으로 된 가변저항층은 상하층간 직각 또는 다양한 각도를 가질 수 있도록 교차되게 형성됨을 특징으로 하는 탄성 촉각센서.
  5. 일정한 틀을 갖는 몰드내에 탄성 및 절연성을 갖는 액상의 고분자 또는 프리폴리머 재료를 주입하여 판 형상으로 제작하는 지지층 형성 단계;
    탄성 및 전도성과 압전저항성을 갖는 액상의 재료를 디스펜싱 장치에 주입하여 상기 지지층이 경화된 상부면상에 단일 또는 다중으로 센싱 패턴을 제작하는 가변저항층 형성 단계; 및
    상기 가변저항층이 경화된 후에 그 위에 탄성 및 절연성을 갖는 액상의 고분자 또는 프리폴리머 재료를 주입하여 판 형상으로 제작하는 표면층 형성단계;를 포함하며,
    상기 표면층 형성단계 중에 상기 가변저항층의 양쪽에 접촉되도록 전극을 배치시킨 후, 상기 전극이 상기 표면층에 인서트 되도록 함을 특징으로 하는 탄성 촉각센서 제조방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 가변저항층의 재료로는 탄성을 갖도록 바디를 이루는 액상의 고분자에 전도성 및 압전저항성을 갖도록 0.1~20중량%의 전도성 나노튜브를 첨가하여 분산제에 의한 화학적 분산방법 또는 롤밀에 의한 물리적 분산방법으로 골고루 분산하여 사용함을 특징으로 하는 탄성 촉각센서의 제조방법.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 가변저항층의 재료로는 탄성 및 광개시 반응을 갖도록 바디를 이루는 액상의 프리폴리머에 전도성 및 압전저항성을 갖도록 0.1~20중량%의 전도성 나노튜브를 첨가하여 분산제에 의한 화학적 분산방법 또는 롤밀에 의한 물리적 분산방법으로 골고루 분산하여 사용하며, 상기 디스펜싱 장치에는 광개시 반응을 위한 광발산장치가 부설됨을 특징으로 하는 탄성 촉각센서의 제조방법.
  8. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,
    상기 전도성 나노튜브는 단일벽 탄소 나노튜브(single-walled carbon nanotubes), 다중벽 탄소 나노튜브(multi-walled carbon nanotubes), 그래핀(graphene), 금(gold)/은(silver)/동(copper) 나노튜브(nanotubes) 중 어느 하나임을 특징으로 하는 탄성 촉각센서 제조방법.
  9. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 액상 고분자는 실리콘(Silicon), 우레탄(Urethane), 폴리우레탄(Polyurethane) 중 어느 하나임을 특징으로 하는 탄성 촉각센서 제조방법.
  10. 제 5 항 또는 제 7 항에 있어서,
    상기 프리폴리머는 프로폭실레이티드 네오펜틸 글리콜 디아크릴레이트(propoxylated neopentyl glycol diacrylate), 프로폭실레이티드 글리세릴 트리아크릴레이트(propoxylated glyceryl triactylate), 사이클릭 트림에틸롤프로판 포멀 아크릴레이트(yclic trimethylolpropane formal acrylate), 에톡실 에이티드 비스페놀 디메타크릴레이트(ethoxyl ated bisphenol dimethacrylate), 아크릴레이트 에스테르(acrylate esters), 우레탄 아크릴레이트(urethane acrylate) 중 어느 하나로 되는 모노머 및 올리고머에 광개시제가 첨가되어 사용됨을 특징으로 하는 탄성 촉각센서 제조방법.
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