KR101233518B1 - Adjustment method of normal line direction of base plate - Google Patents

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KR101233518B1
KR101233518B1 KR1020107020170A KR20107020170A KR101233518B1 KR 101233518 B1 KR101233518 B1 KR 101233518B1 KR 1020107020170 A KR1020107020170 A KR 1020107020170A KR 20107020170 A KR20107020170 A KR 20107020170A KR 101233518 B1 KR101233518 B1 KR 101233518B1
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가츠토시 하마다
히로노리 츠카모토
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니혼 덴산 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 기판의 법선 방위의 조정 방법에 있어서, 펄스 레이저를 조사하는 소정 영역 내에서 상기 펄스 레이저를 조사하는 개소를 복수로 하고, 상기 법선 방위를 변화시키는 방향에 따라서, 상기 소정 영역의 중심 위치와 범위를 정하고, 상기 법선 방위를 변화시키는 양은, 상기 소정 영역 내에 있어서의 상기 펄스 레이저를 조사하는 개소의 수를 증감하는 것에 의해 증감시키고, 상기 펄스 레이저를 조사하는 개소의 분포 밀도는 상기 조사하는 개소를 늘리는 경우에는 높게 하고, 상기 조사하는 개소를 줄이는 경우에는 낮게 해서, 상기 펄스 레이저의 발진 조건은 상기 법선 방위를 변화시키는 방향 및 양에 상관없이, 실질적으로 일정하게 한 것을 특징으로 하는 기판의 법선 방위의 조정 방법에 관한 것이다.This invention WHEREIN: In the method of adjusting the normal orientation of a board | substrate, the center position of the said predetermined area | region is made according to the direction which changes the said normal orientation in the position which irradiates the said pulse laser in the predetermined area | region which irradiates a pulse laser, and is multiple. The amount of changing the normal orientation is determined by increasing or decreasing the number of locations irradiated with the pulse laser in the predetermined area, and the distribution density of the locations irradiated with the pulse laser is determined by When the location is increased, the height is increased, and when the location to be irradiated is decreased, the value is decreased, and the oscillation conditions of the pulse laser are substantially constant regardless of the direction and the amount of changing the normal orientation. A method for adjusting normal orientation.

Description

기판의 법선 방위의 조정 방법{ADJUSTMENT METHOD OF NORMAL LINE DIRECTION OF BASE PLATE}ADJUSTMENT METHOD OF NORMAL LINE DIRECTION OF BASE PLATE}

본 발명은 기판의 법선 방위의 조정 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for adjusting the normal orientation of a substrate.

본 발명은 기판의 소정 영역의 법선 방위를 조정하는 방법이고, 이 방법을 구체적으로 적용할 수 있는 사례를 들어서, 배경 기술을 설명한다.This invention is a method of adjusting the normal orientation of the predetermined area | region of a board | substrate, The background art is demonstrated by giving the example which can apply this method concretely.

근년, CD나 DVD, HDD 등의 디스크 구동 장치의 박형화가 진행되고 있다. 이것에 수반해서, 디스크 구동 장치를 구성하는 스핀들 모터도, 박형화의 요구가 높아지고 있다. 또한, 디스크의 고용량화에 수반해서 디스크의 기록 밀도가 높아지고 있다. 이 때문에, 광픽업 유닛의 수발광(受發光) 방향과, 디스크의 기록면 또는 재생면(이하, R/P면이라고 함)과의 각도 및 위치가, 약간 어긋나 있을 뿐이어도, 기록시 또는 재생시(이하, R/P시라고 함)에 에러를 발생할 우려가 있다.In recent years, thinning of disk drive apparatuses, such as a CD, a DVD, and HDD, is progressing. In connection with this, the spindle motor which comprises a disk drive apparatus also becomes thinner. In addition, with the higher capacity of the disc, the recording density of the disc is increasing. For this reason, even when the angle and position of the optical pickup unit of the optical pickup unit and the disc recording surface or reproduction surface (hereinafter referred to as R / P surface) are slightly shifted, the recording or reproduction An error may occur (hereinafter referred to as R / P).

그 때문에, 광픽업 유닛의 수발광 방향과 디스크의 기록면이 이루는 각이 직각이 되도록, 광픽업 유닛의 수발광 방향과 스핀들 모터의 회전축과의 각도를 조정하고 있다{이하, 이 조정을 스큐(skew) 조정이라고 함}.Therefore, the angle between the light emitting direction of the optical pickup unit and the rotational axis of the spindle motor is adjusted so that the angle between the light emitting direction of the optical pickup unit and the recording surface of the disk is at right angles. ) Adjustment.

예를 들면, 일본 특허 공개 제 2002-373485 호 공보에는, 디스크 탑재면의 평행도를 용이하고, 또한 정확하게 개수하기 위해서, 레이저광을 고정 프레임의 적당한 위치에 조사하는 레이저 포밍 가공이 개시되어 있다. For example, Japanese Patent Laid-Open No. 2002-373485 discloses a laser forming process for irradiating a laser beam to a proper position of a fixed frame in order to easily and accurately repair the parallelism of the disk mounting surface.

또한, 일본 특허 공개 제 2000-094164 호 공보에는 모터 등의 축의 기울기 조정 방법이 개시되어 있다. 이것은 지지 기체에 장착한 축의 장착 기부의 근방부에, 레이저 빔을 조사해서, 가열, 용융시킨 후, 냉각하는 것으로, 그 때의 소성 변형에 의해, 축의 기울기를 조정하는 방법이다. In addition, Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2000-094164 discloses a method for adjusting the tilt of an axis such as a motor. This is the method of adjusting the inclination of an axis by the plastic deformation at that time by irradiating a laser beam, heating, melting, and cooling to the vicinity of the mounting base of the axis | shaft attached to the support base.

일본 특허 공개 제 2007-317272 호 공보에는, 베이스부 상에 마련된 대략 평판 형상의 변위부의 외주에 설정된 피가열 영역을 가열해서 변형시켜서, 상대 위치가 조정되어 있는 모터가 개시되어 있다.Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2007-317272 discloses a motor whose relative position is adjusted by heating and deforming a heated region set on the outer circumference of the substantially flat displacement portion provided on the base portion.

일본 특허 공개 제 2002-373485 호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2002-373485 일본 특허 공개 제 2000-094164 호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2000-094164 일본 특허 공개 제 2007-317272 호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2007-317272

그러나, 일본 특허 공개 제 2002-373485 호 공보에 개시된 스큐 조정에서는, 레이저 빔의 조사에 있어서의 조사 영역의 각도 범위에 따라서는, 그 변위량이 고르지 않은 일이 있어서, 추가의 조정 정밀도의 향상이 요망되고 있다.However, in the skew adjustment disclosed in Japanese Unexamined Patent Publication No. 2002-373485, the amount of displacement may be uneven depending on the angle range of the irradiation area in the irradiation of the laser beam, and further improvement of the adjustment accuracy is desired. It is becoming.

일본 특허 공개 제 2000-094164 호 공보에 개시된 축의 기울기 조정 방법은, 압입된 축의 기울기 조정 방법이고, 축도 가열, 용융시키고 있다. The tilt adjustment method of the shaft disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2000-094164 is a tilt adjustment method of the pushed shaft, and the shaft is also heated and melted.

일본 특허 공개 제 2007-317272 호 공보에 개시된 모터 부품에서는, 대략 평판 형상의 변위부의 외주 전체에 걸쳐서 가열 변형시켜서, 상대 위치가 조정되어 있는 예가 개시되어 있다. In the motor component disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2007-317272, an example is disclosed in which the relative position is adjusted by heating and deforming over the entire outer circumference of the substantially flat plate-shaped displacement portion.

본 발명의 목적은 레이저를 이용한 기판의 법선 방위의 조정 방법을 제공하는 것이다. 구체적으로는, 스핀들 모터 베이스 기판과 모터의 회전축과의 수직도나, 광디스크 드라이브용 모터와 그 회전축과의 수직도를 정밀도 좋게 조정할 수 있는, 기판의 법선 방위의 조정 방법을 제공한다. An object of the present invention is to provide a method for adjusting the normal orientation of a substrate using a laser. Specifically, there is provided a method for adjusting the normal orientation of the substrate, which can precisely adjust the perpendicularity between the spindle motor base substrate and the rotational axis of the motor and the perpendicularity between the optical disk drive motor and the rotational axis thereof.

본 발명에 의한, 기판의 법선 방위의 조정 방법은, According to the present invention, the method for adjusting the normal orientation of the substrate is

기판 상의 어느 특정 영역의 법선 방위를 변화시키는 방향 및 양에 따라서, 상기 특정 영역의 주위의 소정 영역에, 수속시킨 펄스 레이저를 조사해서 국부적으로 용융·냉각시키는 것에 의해, 상기 특정 영역의 법선 방위를 변화시키는, 기판의 법선 방위의 조정 방법에 있어서, According to the direction and the amount of changing the normal orientation of a specific region on the substrate, the normal orientation of the specific region is adjusted by irradiating a locally converged pulse laser to the predetermined region around the specific region by melting and cooling. In the method of adjusting the normal orientation of the substrate to be changed,

상기 펄스 레이저를 조사하는 소정 영역 내에 있어서, 상기 펄스 레이저를 조사하는 개소를 복수로 하고, In the predetermined area | region which irradiates the said pulsed laser, the place which irradiates the said pulsed laser shall be multiple,

상기 법선 방위를 변화시키는 방향에 따라서, 상기 소정 영역의 중심 위치와 범위를 정하고, According to the direction of changing the normal orientation, the center position and range of the predetermined area is determined,

상기 법선 방위를 변화시키는 양은, 상기 소정 영역 내에 있어서의 상기 펄스 레이저를 조사하는 개소의 수를 증감하는 것에 의해 증감되고, The amount of changing the normal orientation is increased or decreased by increasing or decreasing the number of points irradiated with the pulse laser in the predetermined area,

상기 펄스 레이저를 조사하는 개소의 분포 밀도는, 상기 조사하는 개소를 늘리는 경우에는 높게 하고, 상기 조사하는 개소를 줄이는 경우에는 낮게 하며, The distribution density of the place irradiated with the said pulsed laser is made high when the said irradiated place is extended, and made low when it reduces the said irradiated place,

상기 펄스 레이저의 발진 조건은 상기 법선 방위를 변화시키는 방향 및 양에 상관 없이, 실질적으로 일정하게 한 것을 특징으로 한다. The oscillation condition of the pulse laser is characterized in that it is substantially constant irrespective of the direction and the amount of changing the normal orientation.

본 발명의 펄스 레이저를 이용한 기판의 법선 방위의 조정 방법에 의하면, 기판의 특정 영역의 법선 방위를 조정할 수 있다. 이 조정 방법을, 스핀들 모터나 광디스크용 모터의 축 기울기의 조정에 적용하면, 베이스 기판과 회전축과의 수직도를 고정밀도로 조정할 수 있다.  According to the adjustment method of the normal orientation of the board | substrate using the pulse laser of this invention, the normal orientation of the specific area | region of a board | substrate can be adjusted. When this adjustment method is applied to the adjustment of the shaft inclination of the spindle motor or the optical disk motor, the perpendicularity between the base substrate and the rotating shaft can be adjusted with high accuracy.

도 1은 디스크 구동 장치의 제 1 실시형태를 도시한 모식 단면도,
도 2는 트래버스 유닛의 상면도,
도 3은 스핀들 모터의 제 1 실시형태를 도시한 모식 단면도,
도 4는 스큐 조정 장치의 제 1 실시형태를 도시한 모식도,
도 5는 트래버스 유닛의 하면도,
도 6은 도 3에 있어서의 장착판의 주위의 확대도,
도 7은 가열부에 의한 피가열 영역으로의 가열후의 장착판에 형성된 조사부를 도시한 모식 단면도,
도 8은 트래버스 유닛에 있어서의 조립체를 도시한 평면도이고, 섀시의 하면도,
도 9는 도 3에 있어서의 장착판의 주위의 확대도,
도 10은 장착판의 피가열 영역에 있어서의 A 위상 내지 D 위상의 각 범위에 펄스 레이저를 조사했을 때의, 펄스 레이저의 각도와 조사부의 변위량과의 관계를 도시한 그래프,
도 11은 펄스 레이저의 쇼트수와 조사부의 변위량과의 관계를 도시한 그래프,
도 12는 스핀들 모터의 회전축과 섀시와 보지 지그와의 접촉면에 의해서 형성된 가상 평면에 대한 축 기울기량을 측정하는 측정 장치를 도시한 모식도,
도 13은 트래버스 유닛의 제조 과정을 도시한 흐름도,
도 14는 장착판에 펄스 레이저를 조사한 상태를 도시한 평면도이고, 장착판의 모식 하면도,
도 15는 스핀들 모터의 다른 실시형태를 도시한 모식 단면도,
도 16은 도 15의 스핀들 모터의 모식 상면도,
도 17은 도 15의 스핀들 모터의 모식 하면도.
1 is a schematic sectional view showing a first embodiment of a disk drive device;
2 is a top view of the traverse unit,
3 is a schematic sectional view showing the first embodiment of the spindle motor;
4 is a schematic diagram showing a first embodiment of a skew adjusting device;
5 is a bottom view of the traverse unit,
6 is an enlarged view of the periphery of the mounting plate in FIG. 3;
7 is a schematic sectional view showing an irradiation section formed on a mounting plate after heating to a region to be heated by the heating section;
8 is a plan view illustrating the assembly in the traverse unit, and a bottom view of the chassis;
9 is an enlarged view of the periphery of the mounting plate in FIG. 3;
10 is a graph showing the relationship between the angle of the pulse laser and the amount of displacement of the irradiation part when the pulse laser is irradiated to each of the ranges A to D in the region to be heated of the mounting plate;
11 is a graph showing the relationship between the number of shots of a pulsed laser and the displacement of the irradiator;
12 is a schematic diagram showing a measuring device for measuring an amount of axial tilt with respect to an imaginary plane formed by the rotational axis of the spindle motor and the contact surface between the chassis and the holding jig;
13 is a flowchart illustrating a manufacturing process of the traverse unit;
14 is a plan view showing a state in which a pulse laser is irradiated onto the mounting plate, and a schematic bottom view of the mounting plate;
15 is a schematic sectional view showing another embodiment of the spindle motor;
16 is a schematic top view of the spindle motor of FIG. 15;
It is a schematic bottom view of the spindle motor of FIG.

[본 발명의 조정 방법]ADJUSTMENT METHOD OF THIS INVENTION

본 발명에 의한 펄스 레이저를 이용한 기판의 법선 방위의 조정 방법에 관해서, 도면을 참조하면서 이하에 상세하게 설명한다.The method for adjusting the normal orientation of the substrate using the pulse laser according to the present invention will be described in detail below with reference to the drawings.

우선, 기본이 되는 기술에 대해서 설명한다.First, the basic technology will be described.

예를 들면, 금속 기판의 표면에 펄스 레이저를 조사하고, 국부적으로 가열하고 용융해서 냉각하는 것을 생각한다. 이 경우, 펄스 레이저가 조사된 개소는 가열되어 용융되었을 때에 체적 팽창하고, 펄스 레이저가 조사된 면을 볼록하게 해서 변형한다. 이 때, 가열 용융된 개소는 표면 장력에 의해 팽창되려고 해서, 기판 부재에 있어서 이동하는 부분이 존재한다. 이러한 가열 용융된 개소가 냉각되면, 인장 응력이 발생해서, 최종적으로는 펄스 레이저가 조사된 면이 오목으로 되도록 변형된다. 이에 의해, 기판의 법선 방위를 조정하려면, 법선 방위가 기울어진 방향과 180도 반대측의 영역에, 펄스 레이저를 조사하면 좋은 것을 알 수 있다.For example, a pulse laser is irradiated to the surface of a metal substrate, and locally heated, melted, and cooled. In this case, the portion to which the pulse laser is irradiated is expanded in volume when heated and melted, and the surface to which the pulse laser is irradiated is convex and deformed. At this time, the hot-melted part tries to expand by surface tension, and there exists a part which moves in a board | substrate member. When such a hot melted portion is cooled, tensile stress is generated, and finally the surface to which the pulse laser is irradiated is deformed to be concave. Thereby, in order to adjust the normal orientation of a board | substrate, it turns out that it is good to irradiate a pulse laser to the area | region on the opposite side to 180 degree | times in the direction in which the normal orientation was inclined.

펄스 레이저의 조사되는 개소는 용융 스팟이 된다. 이 스팟이 크게 겹치면, 변형량이 적어진다. 이 때문에, 펄스 레이저의 조사 펄스에 대한 법선 방위의 조정량이 정량적이지 않게 된다. 따라서, 펄스 레이저의 조사되는 개소가, 겹치지 않게 하면 좋다. 또한, 법선 방위의 조정량이 많은 경우는, 펄스 레이저의 조사되는 개소의 간격이 좁아져서, 그 주변부가 겹치게 되는 경우가 있다. 중복이 주변부에서만 있으면, 조사 펄스와 법선 방위의 조정량과의 정량성에의 영향은 적다.The irradiated part of a pulse laser turns into a melting spot. When these spots overlap greatly, the amount of deformation becomes small. For this reason, the adjustment amount of the normal orientation with respect to the irradiation pulse of a pulse laser will not be quantitative. Therefore, what is necessary is not to overlap the location irradiated with a pulse laser. In addition, when there are many adjustment amounts of normal orientation, the space | interval of the site | part irradiated by a pulse laser may become narrow and the peripheral part may overlap. If the overlap is only at the periphery, the influence on the quantitative value of the irradiation pulse and the normal orientation adjustment is small.

펄스 레이저를 조사하는 영역은, 특정 영역의 전주위가 고려되므로, 환형상의 영역이 상정된다. 이 상정된 환형상의 영역에 있어서의 반경 방향의 폭은, 구체적인 기판을 고려하면, 어느 범위에 한정된다.Since the full periphery of a specific area | region is considered for the area | region which irradiates a pulse laser, an annular area | region is assumed. The width in the radial direction in this assumed annular region is limited to a certain range in consideration of a specific substrate.

이와 같이 고려하면, 기판의 법선 방위를 조정하기 위한 장치에 있어서, 특정 영역의 중앙을 중심으로 하여, 기판을 회전할 수 있는 기구를 구비하면, 대응할 수 있다. 즉, 펄스 레이저는 기판의 회전에 동기해서 조사되면 좋다.In consideration of this, in the apparatus for adjusting the normal orientation of the substrate, it is possible to cope with a mechanism that can rotate the substrate about the center of the specific region. That is, the pulse laser may be irradiated in synchronization with the rotation of the substrate.

[구체예][Example]

본 발명을 적용할 수 있는 일예시로서는, 디스크 구동 장치의 기판과 회전축의 수직도의 조정을 들 수 있다.As an example to which the present invention can be applied, adjustment of the perpendicularity between the substrate and the rotation axis of the disk drive device is mentioned.

그래서, 우선 디스크 구동 장치에 있어서의 제 1 실시형태에 대해서, 도 1과 도 2를 이용해서 설명한다. 도 1은 디스크 구동 장치의 제 1 실시형태를 축방향으로 자른 모식 단면도이다.Therefore, first, the first embodiment of the disc drive device will be described with reference to FIGS. 1 and 2. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic cross section which cut | disconnected 1st Embodiment of the disk drive apparatus to the axial direction.

<디스크 구동 장치> <Disk drive unit>

도 1을 참조해서, 디스크 구동 장치(1)는 스핀들 모터(3)와, 광픽업 유닛(41)과, 한쌍의 가이드 레일(42)과, 이동 기구(43)와, 섀시(44)와, 트레이(5)와, 하우징(6)으로 구성된다.Referring to FIG. 1, the disc drive device 1 includes a spindle motor 3, an optical pickup unit 41, a pair of guide rails 42, a moving mechanism 43, a chassis 44, It consists of the tray 5 and the housing 6.

도 2를 참조해서, 스핀들 모터(3)는 원반 형상의 디스크(도시하지 않음)를, 소정의 중심축(J1)[이하, 회전축(J1)이라고 함]을 중심으로 회전시킨다. 광픽업 유닛(41)은 한쌍의 가이드 레일(42) 상에 배치되고, 해당 가이드 레일(42)에 따라서, 이동 기구(43)에 의해서 이동 가능하다. 한쌍의 가이드 레일(42)은 회전축(J1)에 대해서 수직인 방향인 직경방향으로 신장하고 있다.Referring to FIG. 2, the spindle motor 3 rotates a disk-shaped disk (not shown) about a predetermined center axis J1 (hereinafter referred to as rotation axis J1). The optical pickup unit 41 is disposed on the pair of guide rails 42 and is movable by the moving mechanism 43 along the guide rails 42. The pair of guide rails 42 extend in the radial direction which is a direction perpendicular to the rotation axis J1.

섀시(44)는 스핀들 모터(3), 가이드 레일(42) 및 이동 기구(43)를 고정하고, 광픽업 유닛(41)을 수용한다. 이하, 섀시(44)에 고정된 부품군을 트래버스 유닛(4)이라고 부른다. The chassis 44 fixes the spindle motor 3, the guide rail 42, and the movement mechanism 43, and accommodates the optical pickup unit 41. Hereinafter, the component group fixed to the chassis 44 is called the traverse unit 4.

트레이(5)는 디스크(2)를 삽입 및 배출하고, 디스크(2)를 스핀들 모터(3)로 안내한다. 하우징(6)은 상술한 요소를 수용한다. The tray 5 inserts and ejects the disk 2 and guides the disk 2 to the spindle motor 3. The housing 6 houses the above mentioned element.

광픽업 유닛(41)은 디스크(2)의 기록면에 광을 방사하는 발광부와, 디스크(2)의 기록면으로부터 반사된 광을 수광하는 수광부를 구비한다. The optical pickup unit 41 includes a light emitting portion for emitting light on the recording surface of the disk 2 and a light receiving portion for receiving light reflected from the recording surface of the disk 2.

트레이(5)에 탑재된 디스크(2)는 스핀들 모터(3)의 회전축(J1)과 동축에 이동되었을 때에, 섀시(44)가 상측으로 이동하는 것에 의해서, 스핀들 모터(3)로 옮겨진다.When the disk 2 mounted on the tray 5 is moved coaxially with the rotational shaft J1 of the spindle motor 3, the disk 44 is moved to the spindle motor 3 by moving the chassis 44 upward.

디스크(2)를 배출할 때에는, 섀시(44)가 하측으로 이동하는 것에 의해서, 디스크(2)는 스핀들 모터(3)로부터 벗어나서, 트레이(5)에 옮겨진다. 트레이(5)는 하우징(6)의 외측까지 이동해서 디스크(2)를 취출시키도록 한다. When discharging the disk 2, the chassis 44 moves downward so that the disk 2 is displaced from the spindle motor 3 and transferred to the tray 5. The tray 5 moves to the outside of the housing 6 to take out the disk 2.

<트래버스 유닛의 구성><Configuration of Traverse Unit>

트래버스 유닛(4)의 구성에 대해서, 도 2 및 도 5를 이용해서 설명한다. 도 2는 트래버스 유닛(4)의 상면도이다. 도 5는 트래버스 유닛(4)의 하면도이다. The structure of the traverse unit 4 is demonstrated using FIG. 2 and FIG. 2 is a top view of the traverse unit 4. 5 is a bottom view of the traverse unit 4.

도 2를 참조해서, 트래버스 유닛(4)은 스핀들 모터(3)가 대략 평판 형상의 섀시(44)의 일부에 고정된다. 섀시(44)에는 광픽업 유닛(41)을 수용하는 수용 개구 구멍(441)이 형성되어 있다. 광픽업 유닛(41)은 회전축(J1)을 중심으로 하는 직경방향(도 2 중의 화살표 4111방향)을 따라서, 이 수용 개구 구멍(441) 내를 이동 가능하게 되어 있다. 수용 개구 구멍(441)의 주위의 일부에는, 복수의 모터 장착부(442)가 형성되고, 후술하는 스핀들 모터(3)의 장착판(326)(도 3 참조)이 고정되어 있다. 모터 장착부(442)는 이 경우 3개 형성되어 있다. 모터 장착부(442)에는 각각 장착 구멍(4421)이 형성되어 있다.Referring to FIG. 2, the traverse unit 4 is fixed to a part of the chassis 44 in which the spindle motor 3 is substantially flat. The chassis 44 is provided with a receiving opening hole 441 for accommodating the optical pickup unit 41. The optical pickup unit 41 is capable of moving in the accommodation opening hole 441 along the radial direction (the arrow 4111 direction in FIG. 2) centering on the rotational axis J1. Several motor mounting parts 442 are formed in a part of the periphery of the receiving opening hole 441, and the mounting plate 326 (refer FIG. 3) of the spindle motor 3 mentioned later is being fixed. In this case, three motor mounting portions 442 are formed. The mounting holes 4421 are formed in the motor mounting portions 442, respectively.

스핀들 모터(3)는 각 장착 구멍(4421)을 통해, 나사(4422)를 각각 조이는 것에 의해서, 모터 장착부(442)에 고정된다. 섀시(44)의 외주연에는 하우징(6)(도 1 참조)과, 덤퍼를 거쳐서 장착되는 하우징 장착부(445)가 형성된다. 하우징 장착부(445)는 이 경우 3개 형성되어 있다. 장착판(326)에는 모터 장착부(442)에 장착되는 평면부를 갖는다.The spindle motor 3 is fixed to the motor mounting part 442 by tightening the screw 4422 respectively through each mounting hole 4421. The outer periphery of the chassis 44 is provided with a housing 6 (see FIG. 1) and a housing mounting portion 445 mounted via a dumper. In this case, three housing mounting parts 445 are formed. The mounting plate 326 has a flat portion mounted to the motor mounting portion 442.

도 5를 참조해서, 트래버스 유닛(4)은 섀시(44)의 하면에 있어서, 스핀들 모터(3)의 양측에는, 모터 장착부(442)를 각각 사이에 두고, 가이드 레일(42)을 고정하는 제 1 가이드 레일 장착부(443, 443)가, 각각 형성되어 있다. 제 1 가이드 레일 장착부(443, 443)를 수용 개구 구멍(441)을 거쳐서 연장한 위치에는, 제 2 가이드 레일 장착부(444, 444)가 각각 형성되어 있다. 이들 제 1 가이드 레일 장착부(443) 및 제 2 가이드 레일 장착부(444)에 의해서, 한쌍의 가이드 레일(42)은 서로 평행하게, 또한 직경방향을 따라서 배치되어 있다(도 2 참조). Referring to FIG. 5, the traverse unit 4 is a lower surface of the chassis 44, and is provided on both sides of the spindle motor 3 with a motor mounting portion 442 interposed therebetween to fix the guide rail 42. 1 Guide rail mounting parts 443 and 443 are formed, respectively. The second guide rail mounting portions 444 and 444 are formed at positions where the first guide rail mounting portions 443 and 443 extend through the accommodation opening hole 441, respectively. By these 1st guide rail mounting part 443 and the 2nd guide rail mounting part 444, a pair of guide rail 42 is arrange | positioned in parallel with each other and along radial direction (refer FIG. 2).

도 2를 참조해서, 광픽업 유닛(41)에는 가이드 레일(42, 42)과 대응하는 위치에, 각각 직경방향을 따라 관통 구멍(411, 412)이 형성되어 있다. 가이드 레일(42, 42)은 각각의 관통 구멍(411, 412)에 삽통된다. 이것에 의해, 광픽업 유닛(41)이 한쌍의 가이드 레일(42)을 따라 이동 가능하게 된다.2, through-holes 411 and 412 are formed in the optical pickup unit 41 in the position corresponding to the guide rails 42 and 42, respectively, along the radial direction. Guide rails 42 and 42 are inserted into respective through holes 411 and 412. As a result, the optical pickup unit 41 can move along the pair of guide rails 42.

한쌍의 가이드 레일(42)의 일방은 그 외주면에, 관통 구멍(411) 내주면에 형성된 암나사에 대응하는, 수나사가 형성되어 있는 이송축(421)이다. 한쌍의 가이드 레일(42)의 타방은 관통 구멍(412)과 접동하는 접동축(422)이다. One of the pair of guide rails 42 is a feed shaft 421 having a male screw corresponding to a female screw formed on the inner circumferential surface of the through hole 411 on the outer circumferential surface thereof. The other of the pair of guide rails 42 is a sliding shaft 422 sliding with the through hole 412.

도 2를 참조해서, 이동 기구(43)는 출력축에 치차를 갖고 회전 구동원이 되는 구동 모터(431)와, 구동 모터(431)의 치차와 서로 맞물리는 감속 치차(432)를 구비한다. 구동 모터(431)의 회전은 감속 치차(432)에 의해 감속되어서, 이송축(421)에 전달된다. Referring to FIG. 2, the moving mechanism 43 includes a drive motor 431 having a gear on the output shaft and serving as a rotation drive source, and a reduction gear 432 meshing with a gear of the drive motor 431. The rotation of the drive motor 431 is decelerated by the reduction gear 432 and transmitted to the feed shaft 421.

구동 모터(431)가 회전하면, 출력축의 치차가 회전해서, 감속 치차(432)를 회전시킨다. 감속 치차(432)가 회전하면, 이송축(421)이 회전한다. 이송축(421)이 회전하는 것에 의해서, 이송축(421)과 서로 맞물리는 관통 구멍(411)이, 도면중의 화살표 4111의 직경방향으로 이동한다. 이 때, 구동 모터(431)의 회전방향에 의해서, 이동하는 방향이 역전한다. 이와 같이 해서, 광픽업 유닛(41)은 화살표 4111 방향을 따라서 이동한다. When the drive motor 431 rotates, the gear of the output shaft rotates to rotate the deceleration gear 432. When the reduction gear 432 rotates, the feed shaft 421 rotates. As the feed shaft 421 rotates, the through hole 411 which meshes with the feed shaft 421 moves in the radial direction of arrow 4111 in the figure. At this time, the moving direction is reversed by the rotational direction of the drive motor 431. In this way, the optical pickup unit 41 moves along the direction of arrow 4111.

<스핀들 모터의 전체 구조><Overall Structure of Spindle Motor>

본 발명을 적용할 수 있는 스핀들 모터의 전체 구조의 제 1 실시형태에 대해서, 도 3을 이용해서 설명한다. 도 3은 스핀들 모터(3)의 모식 단면도이다. The first embodiment of the entire structure of the spindle motor to which the present invention can be applied will be described with reference to FIG. 3. 3 is a schematic sectional view of the spindle motor 3.

도 3을 참조해서, 스핀들 모터(3)는 회전축(J1)을 중심으로 회전하는 회전체(31)와, 회전체(31)를 회전 가능하게 지지하는 고정체(32)와, 회전체(31)와 일체로 회전하고, 디스크(도시하지 않음)를 보지할 수 있는 척킹 장치(33)로 구성된다. Referring to FIG. 3, the spindle motor 3 includes a rotating body 31 that rotates about the rotating shaft J1, a fixed body 32 that rotatably supports the rotating body 31, and a rotating body 31. And a chucking device 33 which can rotate integrally with and hold a disk (not shown).

회전체(31)는 회전축(J1)과 동축에 배치되는 샤프트(311)와, 샤프트(311)에 고정되는 로터 홀더(312)와, 로터 홀더(312)에 고정되는 로터 마그넷(313)과, 로터 홀더(312)의 하면에 고정되는 발지(拔止) 부재(314)를 구비한다. 로터 홀더(312)는 얇은 강판을 프레스 가공하는 것에 의해서 형성된다. The rotating body 31 includes a shaft 311 disposed coaxially with the rotating shaft J1, a rotor holder 312 fixed to the shaft 311, a rotor magnet 313 fixed to the rotor holder 312, The holding member 314 fixed to the lower surface of the rotor holder 312 is provided. The rotor holder 312 is formed by pressing a thin steel sheet.

고정체(32)는 슬리브(321)와, 하우징(322)과, 스테이터(323)와, 뚜껑 부재(324)와, 스러스트 플레이트(325)와, 장착판(326)을 구비한다. The fixed body 32 includes a sleeve 321, a housing 322, a stator 323, a lid member 324, a thrust plate 325, and a mounting plate 326.

슬리브(321)는 샤프트(311)의 직경방향을 회전 가능하게 지지하는 베어링 부가 되는, 기름을 담근 소결체로 형성되고, 대략 원통 형상을 하고 있다. 하우징(322)은 슬리브(321)의 외주면을 보지하는 내주면을 갖는다. 스테이터(323)는 하우징(322)에 고정되고, 로터 마그넷(313)과의 사이에서 회전 자계를 형성한다. The sleeve 321 is formed of an oil-sintered sintered body which is attached to a bearing for rotatably supporting the radial direction of the shaft 311, and has a substantially cylindrical shape. The housing 322 has an inner circumferential surface holding the outer circumferential surface of the sleeve 321. The stator 323 is fixed to the housing 322 and forms a rotating magnetic field with the rotor magnet 313.

뚜껑 부재(324)는 하우징(322)의 내주면의 하단측을 밀봉한다. 스러스트 플레이트(325)는 뚜껑 부재(324)의 상면에 배치되고, 샤프트(311)를 회전 가능하게 축방향으로 지지한다. 장착판(326)은 뚜껑 부재(324)의 직경방향 외측에서, 또한 하우징(322)의 내주면의 하단측에 고정되고, 섀시(44)에 고정되어서, 대략 평판 형상을 하고 있다. The lid member 324 seals the lower end side of the inner circumferential surface of the housing 322. The thrust plate 325 is disposed on the upper surface of the lid member 324, and supports the shaft 311 rotatably in the axial direction. The mounting plate 326 is fixed to the lower end side of the inner circumferential surface of the housing 322 at the radially outer side of the lid member 324, and is fixed to the chassis 44 to have a substantially flat plate shape.

장착판(326)에 있어서, 모터 장착부(442)(도 2 참조)에 장착되는 평면부에는 뚜껑 부재(324)와 하우징(322)의 일부가 삽입되는 관통 구멍이 형성된다.In the mounting plate 326, a through hole into which the lid member 324 and a part of the housing 322 are inserted is formed in the flat portion to be mounted to the motor mounting portion 442 (see FIG. 2).

하우징(322)의 상부에는 플랜지부(3221)가 형성된다. 플랜지부(3221)의 하측에는, 플랜지부(3221)의 외직경보다 작은 내경을 갖는 발지 부재(314)가 배치된다. 이에 의해, 고정체(32)에 대한, 회전체(31)의 축방향 상측으로의 이동이 규제된다.The flange portion 3221 is formed on the upper portion of the housing 322. Under the flange portion 3221, a holding member 314 having an inner diameter smaller than the outer diameter of the flange portion 3221 is disposed. Thereby, the movement to the axial direction upper side of the rotating body 31 with respect to the fixed body 32 is regulated.

하우징(322)의 하단면에는 내측 돌기부(322a)와, 외측 돌기부(322b)가 마련된다. 내측 돌기부(322a)는 뚜껑 부재(324)를 고정한다. 외측 돌기부(322b)는 내측 돌기부(322a)보다 직경방향 외측에 형성되어서, 장착판(326)을 고정한다.An inner protrusion 322a and an outer protrusion 322b are provided on the bottom surface of the housing 322. The inner protrusion 322a fixes the lid member 324. The outer protrusion 322b is formed radially outward than the inner protrusion 322a to fix the mounting plate 326.

내측 돌기부(322a)와 외측 돌기부(322b)는, 각각 하측으로 신장하는 대략 원환 형상이다. 내측 돌기부(322a)보다 직경방향 내측에는, 뚜껑 부재(324)의 상면이 접촉하는 것에 의해서, 뚜껑 부재(324)의 축방향의 위치를 결정할 수 있는 내측 접촉면(322c)이 형성된다. 외측 돌기부(322b)보다 직경방향 외측에는, 장착판(326)의 축방향의 위치를 결정할 수 있는 외측 접촉면(322d)이 형성된다. The inner protrusions 322a and the outer protrusions 322b each have a substantially annular shape extending downward. Inwardly contacting the upper surface of the lid member 324, the inner contact surface 322c capable of determining the axial position of the lid member 324 is formed in the radially inner side of the inner protrusion 322a. On the outer side in the radial direction than the outer side protrusion part 322b, the outer side contact surface 322d which can determine the position of the axial direction of the mounting plate 326 is formed.

내측 접촉면(322c)과 외측 접촉면(322d)은, 각각 회전축(J1)에 대해서 수직으로 신장하는 대략 환형상의 평면이다. 장착판(326)은 외측 접촉면(322d)에 접촉한 상태에서, 외측 돌기부(322a)가 직경방향 외측으로 소성 변형된다. 이것에 의해, 외측 접촉면(322d)과 외측 돌기부(322a)의 사이에 끼워짐에 따라, 장착판(326)은 하우징(322)의 하단면에 고정된다. 즉, 장착판(326)은 하우징(322)에 코킹 고정된다The inner contact surface 322c and the outer contact surface 322d are substantially annular planes extending perpendicularly to the rotational axis J1, respectively. In the state where the mounting plate 326 is in contact with the outer contact surface 322d, the outer protrusion 322a is plastically deformed outward in the radial direction. Thereby, the mounting plate 326 is fixed to the lower end surface of the housing 322 as it fits in between the outer contact surface 322d and the outer protrusion part 322a. That is, the mounting plate 326 is caulking fixed to the housing 322

뚜껑 부재(324)도 마찬가지로, 내측 돌기부(322a)가 직경방향 내측으로 소성 변형된다. 이것에 의해, 내측 접촉면(322c)과 내측 접촉면(322a)의 사이에 끼워짐에 따라, 뚜껑 부재(324)는 하우징(322)의 하단면에 고정된다. 즉, 뚜껑 부재(324)는 하우징(322)에 코킹 고정된다. 따라서, 장착판(326) 및 뚜껑 부재(324)와 하우징(322)의 고정은, 고정을 위한 부재를 사용하는 일 없이, 염가의 방법으로 고정된다. 그 결과, 염가의 모터를 제공할 수 있다. Similarly, the lid member 324 is plastically deformed to the inner side in the radial direction. As a result, the lid member 324 is fixed to the lower end surface of the housing 322 as it is sandwiched between the inner contact surface 322c and the inner contact surface 322a. That is, the lid member 324 is fixed to the housing 322 caulking. Therefore, fixing of the mounting plate 326, the lid member 324, and the housing 322 is fixed by inexpensive method, without using a member for fixing. As a result, an inexpensive motor can be provided.

척킹 장치(33)는 센터 케이스(331)와, 조심 갈고리(調芯爪)(331a)와, 갈고리 부재(332)와, 탄성 부재(333)를 구비한다. The chucking device 33 includes a center case 331, a claw 331a, a claw member 332, and an elastic member 333.

센터 케이스(331)는 디스크(2)에 형성된 중심 개구부(21)(도 1 참조)의 내주면과 직경방향에 대향하고, 이 중심 개구부(21)보다 내측에 배치된다. 조심 갈고리(331a)는 센터 케이스(331)와 일체로 마련되어 있다. 조심 갈고리(331a)는 중심 개구부(21)의 내주면을 직경방향 외측으로 압박하는 것에 의해서, 디스크(2)의 중심 개구부(21)의 중심과 센터 케이스(331)의 중심을 조정한다. 갈고리 부재(332)는 중심 개구부(21)의 상단연을 압박하는 것에 의해서, 디스크(2)를 보지하는 직경방향으로 이동 가능하다. 탄성 부재(333)는 갈고리 부재(332)를 직경방향 외측으로 가압한다.The center case 331 faces the inner circumferential surface of the center opening 21 (refer to FIG. 1) formed in the disk 2 in the radial direction, and is disposed inward of the center opening 21. The guard hook 331a is provided integrally with the center case 331. The claw 331a adjusts the center of the center opening 21 of the disk 2 and the center of the center case 331 by pressing the inner peripheral surface of the center opening 21 radially outward. The hook member 332 is movable in the radial direction holding the disk 2 by pressing the upper edge of the center opening 21. The elastic member 333 presses the hook member 332 radially outward.

본 실시형태에서는 조심 갈고리(331a)는 센터 케이스(311)와 일체로 마련되고, 둘레방향으로 이간해서 3개 마련된다. 갈고리 부재(332)는 둘레방향으로 서로 이웃이 되는 조심 갈고리(331a)의 사이에 배치되고, 3개 마련된다. 탄성 부재(333)는 직경방향으로 신축하는 코일 스프링을 이용한다. In this embodiment, the claws 331a are integrally provided with the center case 311, and are provided three apart from the circumferential direction. The hook members 332 are arranged between the guard hooks 331a which are adjacent to each other in the circumferential direction, and three are provided. The elastic member 333 uses a coil spring that expands and contracts in the radial direction.

로터 홀더(312)에 있어서의 직경방향 외측의 상면에는, 디스크(2)의 하면이 탑재되는 탑재면(312a)이 형성되어 있다. 본 실시형태에 있어서, 탑재면(312a)은 로터 홀더(312)의 상면보다 마찰 계수가 큰, 러버 등의 수지 재료가 링 형상으로 배치되어 형성된다. 로터 홀더(312)의 상면에 탑재면(312a)을 형성하는 것에 의해서, 별도의 부재로 디스크(2)를 탑재하는 턴테이블을 형성할 필요가 없다. 그 결과, 부품 점수를 삭감하는 동시에, 스핀들 모터의 축방향을 박형화할 수 있다. 로터 홀더(312)는 프레스 가공에 의해서 형성할 수 있으므로, 염가로 제조할 수 있다. On the upper surface of the outer side in the radial direction in the rotor holder 312, a mounting surface 312a on which the lower surface of the disk 2 is mounted is formed. In the present embodiment, the mounting surface 312a is formed by arranging a resin material such as a rubber having a larger friction coefficient than the upper surface of the rotor holder 312 in a ring shape. By providing the mounting surface 312a on the upper surface of the rotor holder 312, it is not necessary to form a turntable for mounting the disk 2 as a separate member. As a result, the number of parts can be reduced and the axial direction of the spindle motor can be reduced. Since the rotor holder 312 can be formed by press working, it can be manufactured at low cost.

이하, 본 발명에 의한 기판의 법선 방위의 조정 방법을, 스핀들 모터의 축기울기의 조정에 적용했을 경우의 구체예인, 스큐 조정을 이용해서 설명한다. Hereinafter, the adjustment method of the normal orientation of the board | substrate which concerns on this invention is demonstrated using skew adjustment which is a specific example at the time of applying to the adjustment of the axial tilt of a spindle motor.

<스큐 조정 장치 및 측정 장치><Skew adjusting device and measuring device>

스핀들 모터, 디스크 구동 장치에 있어서, 스큐 조정 장치 및 스큐 조정의 방법으로 대해서, 도 4 내지 도 12를 이용해서 설명한다.In the spindle motor and the disk drive device, the skew adjusting device and the skew adjusting method will be described with reference to FIGS. 4 to 12.

도 4는 본 발명에 있어서의 스큐 조정 장치(7)의 제 1 실시형태를 도시한 모식도이다.FIG. 4: is a schematic diagram which shows 1st Embodiment of the skew adjustment apparatus 7 in this invention.

도 4를 참조해서, 스큐 조정 장치(7)에 대해서 설명한다. 스큐 조정 장치(7)는 보지부(71)와, 계측부(72)와, 가열부(73)와, 회전 기구(74)와, 이동 기구(75)와, 제어부(76)를 구비한다.With reference to FIG. 4, the skew adjustment apparatus 7 is demonstrated. The skew adjusting device 7 includes a holding unit 71, a measuring unit 72, a heating unit 73, a rotating mechanism 74, a moving mechanism 75, and a control unit 76.

보지부(71)는 조립체(AS1)를 보지한다. 여기서, 조립체(AS1)는 트래버스 유닛(4)에 있어서의, 스핀들 모터(3)와 섀시(44)를 조립한 상태의 것을 말한다. 계측부(72)는 섀시(44) 상의 복수의 계측 위치에 있어서, 중심축(J2) 방향의 높이를 계측한다. 가열부(73)는 보지부(71)에 보지된 장착판(326)을 가열한다. 회전 기구(74)는 조립체(AS1)를 보지부(71)와 함께 회전한다. 이동 기구(75)는 보지부(71)를 가열부(73)에 대해서 상대적으로 이동시킨다. 제어부(76)는 이러한 구성을 제어한다. The holding part 71 holds the assembly AS1. Here, the assembly AS1 refers to a state in which the spindle motor 3 and the chassis 44 are assembled in the traverse unit 4. The measurement part 72 measures the height of the center axis J2 direction in the some measurement position on the chassis 44. As shown in FIG. The heating portion 73 heats the mounting plate 326 held by the holding portion 71. The rotating mechanism 74 rotates the assembly AS1 together with the retaining portion 71. The moving mechanism 75 moves the holding part 71 relative to the heating part 73. The control unit 76 controls this configuration.

여기서, 중심축(J2)은 회전 기구(74)의 회전 중심이다. 중심축(J2)과, 스핀들 모터(3)의 샤프트(311)와, 스러스트 플레이트(325)(도 3 참조)와의 접촉 위치(J1a)는 대략 동일하게 되도록, 섀시(44)는 보지부(71)에 대해서 배치된다. 본 실시형태에서 보지부(71)는 3개 마련되어 있다.Here, the center axis J2 is the rotation center of the rotation mechanism 74. The chassis 44 has a holding portion 71 so that the contact position J1a of the central axis J2, the shaft 311 of the spindle motor 3, and the thrust plate 325 (see FIG. 3) are approximately the same. ) Is arranged. In the present embodiment, three holding portions 71 are provided.

도 5는 트래버스 유닛(4)을 하측으로부터 본 평면도이다. 5 is a plan view of the traverse unit 4 seen from below.

스큐 조정 장치(7)에 있어서, 조립체(AS1)는 섀시(44)의 모터 장착부(442)에 있어서의 스핀들 모터(3)가 장착되는 측을, 축방향의 상측을 향해서, 보지부(71)에 의해서 보지된다. 이것에 의해, 섀시(44)의 보지부(71)에 대한 축방향의 위치가 결정된다. 보지부(71)의 상측에는 계측부(72)가 배치된다. 보지부(71)의 상측은 스핀들 모터(3)가 섀시(44)에 대해서 장착되는 측이다. In the skew adjusting device 7, the assembly AS1 holds the side on which the spindle motor 3 is mounted in the motor mounting portion 442 of the chassis 44 toward the upper side in the axial direction. Is seen by. Thereby, the position of the axial direction with respect to the holding | maintenance part 71 of the chassis 44 is determined. The measuring unit 72 is disposed above the holding unit 71. The upper side of the retaining portion 71 is the side on which the spindle motor 3 is mounted relative to the chassis 44.

계측부(72)는 기준 위치(기준 평면)로부터의 축방향의 높이를 계측한다. 기준 위치(기준 평면)란, 보지부(71)와 섀시(44)의 하면에 있어서의 동일한 높이의 평면과의 각 접촉면(도 5중의 Zl, Z2, Z3)을 묶은 가상 평면(446)(도 5 참조)을 말한다. The measurement unit 72 measures the height in the axial direction from the reference position (reference plane). The reference position (reference plane) is an imaginary plane 446 (FIG. 5) which binds each contact surface (Zl, Z2, Z3 in FIG. 5) with the holding portion 71 and a plane of the same height in the lower surface of the chassis 44. 5).

보지부(71)의 하측에는 가열부(73)가 배치된다(도 4 참조). 보지부(71)의 하측이란, 스핀들 모터(3)가 장착되는 측과는 반대측인, 섀시(44)의 하면측이다. 그리고 가열부(73)는 펄스 형상의 펄스 레이저를, 장착판(326)의 하면측으로부터 국소적으로 조사하는 것에 의해, 장착판(326)을 가열한다. 이동 기구(75)는 가상 평면(446)과 평행이고, 또한, 서로 수직인 2개의 방향으로 섀시(44)를 보지부(71)와 함께 이동하는, 이른바, XY테이블이다. The heating part 73 is arrange | positioned under the holding part 71 (refer FIG. 4). The lower side of the retaining portion 71 is the lower surface side of the chassis 44 which is the side opposite to the side on which the spindle motor 3 is mounted. And the heating part 73 heats the mounting plate 326 by irradiating a pulsed pulse laser locally from the lower surface side of the mounting plate 326. The movement mechanism 75 is what is called an XY table which moves the chassis 44 with the holding part 71 in two directions parallel to the virtual plane 446 and perpendicular to each other.

스큐 조정 장치(7)에서는 보지부(71)에 보지된 조립체(AS1)가, 중심축(J2)을 중심으로 해서 회전 기구(74)에 의해 일정 속도로 회전된다. 회전 기구(74)에 의한 조립체(AS1)의 회전과 함께, 장착판(326)의 하면측에 있어서, 스핀들 모터(3)의 장착판(326)에 있어서의 미소한 조사 영역에, 가열부(73)로부터의 펄스 형상의 레이저가 조사된다. 이것에 의해, 스핀들 모터(3)의 장착판(326)의 하면측(도 1 참조)에 있어서, 하우징(322)의 외측 돌기부(322b)보다 직경방향 외측에 형성되는 환형상의 영역(3261)에, 펄스 레이저가 소정의 조사 각도 범위에서 조사된다(도 6 참조). 펄스 레이저 조사에 의해, 이 영역(3261)은 가열된다. 이하의 설명에서는 영역(3261)을 "피가열 영역(3261)"이라고 한다. In the skew adjusting apparatus 7, the assembly AS1 held by the holding part 71 is rotated at a constant speed by the rotation mechanism 74 about the central axis J2. With the rotation of the assembly AS1 by the rotation mechanism 74, the heating portion (3) is provided on the minute irradiation area in the mounting plate 326 of the spindle motor 3 on the lower surface side of the mounting plate 326. The pulsed laser beam from 73 is irradiated. As a result, on the lower surface side (see FIG. 1) of the mounting plate 326 of the spindle motor 3, in the annular region 3331 formed radially outward from the outer protrusion 322b of the housing 322. The pulsed laser is irradiated at a predetermined irradiation angle range (see FIG. 6). By the pulse laser irradiation, this area 3331 is heated. In the following description, the region 3221 is referred to as the "heated region 3331".

도 6은 도 3의 스핀들 모터(3)에 있어서의 장착판(326)의 주위를 확대한 확대도이다. 도 7은 가열부(73)에 의한 피가열 영역(3261)으로의 가열후의, 장착판(326)에 형성된 조사부(3262)를 나타내는 모식 단면도이다.FIG. 6 is an enlarged view enlarging the circumference of the mounting plate 326 in the spindle motor 3 of FIG. 3. FIG. 7: is a schematic cross section which shows the irradiation part 3262 formed in the mounting plate 326 after heating to the to-be-heated area | region 3331 by the heating part 73. As shown in FIG.

도 6 및 도 7을 참조해서, 피가열 영역(3261)이 장착판(326)의 하면측으로부터 가열되는 것에 의해, 피가열 영역(3261)이 용융되면서, 일단 하면측(도 7의 하방)으로, 소성 변형을 수반하면서 팽창한다. 그 후, 온도가 내려감에 따라서 피가열 영역(3261)은 수축되고, 도 7의 상방으로 변형한다. 이것은 가열시에 있어서의 변형 방향과는 반대 방향으로, 변형하는 것이다.With reference to FIGS. 6 and 7, the heated region 3331 is heated from the lower surface side of the mounting plate 326 so that the heated region 3331 is melted, and once to the lower surface side (downward in FIG. 7). And expand with plastic deformation. Thereafter, as the temperature decreases, the region to be heated 3331 shrinks and deforms upward in FIG. 7. This deforms in the direction opposite to the deformation direction at the time of heating.

이 결과, 피가열 영역(3261)에 둘러싸인 대략 평판 형상의 부위(3262)가, 도 7중의 이점 쇄선에 도시하는 바와 같이, 중심축(J2)에 관해서, 가열부(73)측과는 반대측으로 변위한다. As a result, the substantially flat portion 3326 surrounded by the region to be heated 3326 is opposite to the heating portion 73 side with respect to the central axis J2 as shown in the dashed-dotted line in FIG. 7. Displace.

이하의 설명에서는 장착판(326)의 부위(3262)를 "조사부(3262)"라고 한다.In the following description, the part 3262 of the mounting plate 326 is called "irradiation part 3262".

도 8은 본 발명의 트래버스 유닛(4)에 있어서의 조립체를 도시한 도면이고, 섀시(44)의 하측으로부터 본 평면도이다. FIG. 8 is a view showing the assembly in the traverse unit 4 of the present invention, and is a plan view seen from the lower side of the chassis 44.

도 8을 참조해서, 3개의 모터 장착부(442)를 묶은 제 2 가상 평면(446a)의 중심(P1)과 스핀들 모터(3)의 회전축(J1)과는 다른 위치에 마련된다. 또한, 피가열 영역(3261)을 형성하는 장착판(326)의 하면은 중심축(J1)을 중심으로 둘레방향으로 비대칭인 형상이다. 따라서, 피가열 영역(3261)(도 6 및 도 7 참조)은 둘레방향으로 강도가 다르다. 그 때문에, 펄스 레이저를 둘레방향으로 일정한 출력으로 조사했다고 해도, 피가열 영역(3261)의 조사부(3262)의 변형량은 조사된 둘레방향의 위치에 따라 다르다.With reference to FIG. 8, it is provided in the position different from the center P1 of the 2nd virtual plane 446a which tied three motor mounting parts 442, and the rotating shaft J1 of the spindle motor 3. As shown in FIG. In addition, the lower surface of the mounting plate 326 forming the region to be heated 3331 is asymmetric in the circumferential direction about the central axis J1. Therefore, the region to be heated 3331 (see FIGS. 6 and 7) has different strengths in the circumferential direction. Therefore, even if the pulse laser is irradiated with a constant output in the circumferential direction, the amount of deformation of the irradiating portion 3262 in the region to be heated 3326 varies depending on the position in the irradiated circumferential direction.

도 9는 도 3에 있어서 스핀들 모터(3)에 있어서의 장착판의 주위를 확대한 확대도이다. FIG. 9 is an enlarged view in which the periphery of the mounting plate in the spindle motor 3 is enlarged in FIG. 3.

그래서, 도 9에 도시하는 바와 같이, 스핀들 모터(3)에 있어서의 피가열 영역(3261)(도 6 및 도 7 참조)을, 회전축(J1)을 중심으로 해서 둘레방향으로 4등분 하고, 각 위상을 A 위상, B 위상, C 위상, D 위상이라고 한다(도 9중의 A 내지 D에 대응함). 이들 A 위상 내지 D 위상의 각각에 관하여, 조사 각도 범위를 변화시킨 펄스 레이저에 의해서 조사한다. 이것에 의해, A 위상 내지 D 위상의 각 범위에 있어서의 펄스 레이저의 조사 각도의 범위와, 조사부(3262)의 변위량과의 관계의 데이터를 작성한다.Therefore, as shown in FIG. 9, the to-be-heated area | region 361 (refer FIG. 6 and FIG. 7) in the spindle motor 3 is divided into 4 parts in the circumferential direction centering on the rotating shaft J1, and each The phases are called A phase, B phase, C phase, and D phase (corresponding to A to D in FIG. 9). Each of these A phases to D phases is irradiated with a pulse laser in which the irradiation angle range is changed. Thereby, the data of the relationship of the range of the irradiation angle of the pulse laser in each range of A phase to D phase and the displacement amount of the irradiation part 3326 are created.

도 10은 조사 범위의 각도와, 조사부(3262)의 변위량(각도)과의 관계를 도시한 그래프이다. 조사 범위의 각도란, 장착판(326)의 피가열 영역(3261)에 있어서의 A 위상 내지 D 위상의 각 범위에, 펄스 레이저를 조사했을 때의, 펄스 레이저의 중심축(J2)을 중심으로 한 원호 형상의 각도를 말한다. 여기서, A 위상 내지 D 위상이란, 중심축(J2){혹은, 회전축 (J1)}을 중심으로 둘레방향으로 90도 등간격 배치로 설정한 위치이고, 이 위치를 중심으로 하여 둘레방향의 양측에 펄스 레이저의 조사 각도 범위의 반을 조사한다. 본 실시형태에서는 A 위상 내지 D 위상의 각 범위를 중심으로, 둘레방향으로 대략 90도, 펄스 레이저를 조사하고 있다.10 is a graph showing the relationship between the angle of the irradiation range and the displacement amount (angle) of the irradiating portion 3326. The angle of the irradiation range is centered on the center axis J2 of the pulse laser when the pulse laser is irradiated to each range of A phase to D phase in the region to be heated 3326 of the mounting plate 326. Refers to the angle of an arc shape. Here, the A phase to the D phase are positions set at equal intervals of 90 degrees in the circumferential direction with respect to the center axis J2 (or the rotation axis J1), and on both sides of the circumferential direction around this position Half of the irradiation angle range of the pulse laser is irradiated. In this embodiment, a pulse laser is irradiated approximately 90 degrees in the circumferential direction centering on each range of A phase to D phase.

도 10으로부터 알수 있듯이, A 위상 내지 D 위상의 각 범위로의 펄스 레이저의 조사 각도에 있어서, 각각의 조사부(3262)의 변위량은, 조사 각도의 범위가 60도 내지 120도나 240도 이상에서는 그 차이가 커지고 있다. 이것에 대해서, 조사 각도의 범위가 대략 180도인 경우, 조사부(3262)의 변위량의 차이가 가장 적어지고 있다. 따라서, A 위상 내지 D 위상의 각 범위에 있어서, 대략 180도의 범위에 펄스 레이저를 조사하는 것에 의해, 조사부(3262)의 변위량을 대략 일정하게 할 수 있다. 즉, 펄스 레이저를 조사하는 소정 영역을, 특정 영역의 중앙을 중심으로 대략 절반 둘레로 하면 좋다. As can be seen from Fig. 10, in the irradiation angle of the pulse laser to each range of A phase to D phase, the amount of displacement of each irradiation section 3262 differs when the irradiation angle ranges from 60 degrees to 120 degrees or 240 degrees or more. Is growing. On the other hand, when the range of irradiation angle is about 180 degree, the difference in the displacement amount of the irradiation part 3262 is the smallest. Therefore, the amount of displacement of the irradiation part 3262 can be made substantially constant by irradiating a pulse laser to the range of about 180 degree in each range of A phase-D phase. That is, it is good to make the predetermined area | region which irradiates a pulse laser about halfway around the center of a specific area | region.

만약 원형 기판의 중심에, 펄스 레이저를 조사했을 경우에는, 상술과 같은 결과가 아닌, 어느 위상에 대해서도, 변위량의 차이는 적을 것이라고 추측된다. 이 실험에 이용한 기판은 도 9에 도시한 형상을 하고 있으므로, 펄스 레이저를 조사하는 영역의 주변의 형상이, 위상에 의해서 차이가 나는, 즉 기판의 주연은 둘레방향으로 강성이 다르기 때문에, 변위량에 차이가 발생한 것으로 추측된다.If a pulse laser is irradiated to the center of a circular substrate, it is guessed that the difference of displacement amount will be small for any phase other than the above result. Since the substrate used in this experiment has the shape shown in Fig. 9, the shape of the periphery of the region irradiated with the pulse laser differs depending on the phase, i.e., since the circumferential edge of the substrate differs in rigidity in the circumferential direction, It is assumed that a difference has occurred.

도 11은 펄스 레이저의 쇼트수와, 조사부(3262)의 변위량[조정량(각도)]과의 관계를 도시한 그래프이다. 도 11에 도시하는 바와 같이, 대체로 펄스 레이저의 쇼트수에 비례해서, 조사부(3262)의 변위량은 변화하고 있는 것을 알 수 있다. 이것으로부터, 펄스 레이저의 쇼트수를 제어하는 것에 의해서, 조사부(3262)의 변위량을 정량적으로 제어할 수 있다. 여기서, 펄스 레이저의 쇼트수란, 펄스 레이저의 조사 각도 범위 내에, 펄스 레이저를 조사하는 횟수이다. 예를 들면, 펄스 레이저의 쇼트수가 30인 경우, 펄스 레이저의 조사 각도 범위를 대략 180도로 하면, 펄스 레이저를 대략 6도마다 조사하는 것이 된다.11 is a graph showing the relationship between the number of shots of the pulse laser and the amount of displacement (adjustment amount (angle)) of the irradiating portion 3326. As shown in FIG. 11, it is understood that the amount of displacement of the irradiator 3326 is changing in proportion to the number of shots of the pulse laser in general. From this, by controlling the number of shots of the pulse laser, it is possible to quantitatively control the amount of displacement of the irradiator 3326. Here, the short number of pulse lasers is the number of times to irradiate a pulse laser within the irradiation angle range of a pulse laser. For example, when the number of shots of the pulse laser is 30, when the irradiation angle range of the pulse laser is approximately 180 degrees, the pulse laser is irradiated approximately every 6 degrees.

<스핀들 모터의 회전축에 있어서의 축기울기량의 측정 방법> <Measurement method of shaft tilt amount on a rotating shaft of a spindle motor>

다음에, 도 12를 이용해서, 가상 평면(446)(도 5 참조)에 대한, 스핀들 모터(3)의 회전축(J1)의 축기울기량의 측정 방법에 대해 설명한다. 이 가상 평면(446)은 보지부(71)와 조립체(AS1)의 섀시(44)와의 접촉면에서 형성된 가상 평면이다.Next, the measuring method of the shaft tilt amount of the rotating shaft J1 of the spindle motor 3 with respect to the virtual plane 446 (refer FIG. 5) is demonstrated using FIG. This virtual plane 446 is a virtual plane formed at the contact surface between the holding portion 71 and the chassis 44 of the assembly AS1.

도 12는 가상 평면(446)에 대한, 스핀들 모터(3)의 회전축(J1)의 축기울기량을 측정하는 측정 장치(8)를 도시한 모식도이다. FIG. 12: is a schematic diagram which shows the measuring apparatus 8 which measures the axial tilt amount of the rotating shaft J1 of the spindle motor 3 with respect to the virtual plane 446. As shown in FIG.

측정 장치(8)는 오토 콜리메이터(81)와, 섀시(44)에 있어서의 보지부(71)가 접촉한 위치에 접촉하는 보지 지그(82)와, 스핀들 모터(3)에 장착하고, 오토 콜리메이터(81)로부터의 광을 반사하는 더미 디스크(83)를 구비한다. 보지 지그(82)는 섀시(44)의 동일한 부위와 접촉하는 것에 의해서, 가상 평면(446)을 형성한다. 섀시(44)는 스큐 조정 장치(7)의 보지부(71)와 접촉한다. The measuring apparatus 8 is attached to the holding jig 82 and the spindle motor 3 which are in contact with the position where the auto collimator 81 and the holding part 71 in the chassis 44 contacted, and the auto collimator A dummy disk 83 reflecting light from 81 is provided. The holding jig 82 forms the virtual plane 446 by contacting the same portion of the chassis 44. The chassis 44 is in contact with the retaining portion 71 of the skew adjusting device 7.

오토 콜리메이터(81)는 광의 발광 및 수광을 실시하는 렌즈부(811)와, 이 렌즈(811)의 발광 및 수광의 데이터를 나타내는 디스플레이(812)를 구비한다. 우선, 더미 디스크(83)를 스핀들 모터(3)에 의해서 회전시켜 둔다. 오토 콜리메이터(81)의 렌즈부(811)로부터, 더미 디스크(83)를 향해 가상 평면(446)에 대해서 수직으로 발광된 광은 더미 디스크(83)에 반사되어서, 다시 렌즈부(811)에 수광된다. 이 때, 렌즈부(811)의 발광 위치와 수광 위치와의 편차의 데이터로부터, 스핀들 모터의 회전축의 축기울기량 및 방향이 산출되어서, 디스플레이(812)에 표시된다. The auto collimator 81 includes a lens unit 811 that emits and receives light, and a display 812 that shows data of emission and reception of the lens 811. First, the dummy disk 83 is rotated by the spindle motor 3. Light emitted from the lens unit 811 of the auto collimator 81 to the dummy disk 83 in a direction perpendicular to the virtual plane 446 is reflected by the dummy disk 83 and is then received by the lens unit 811 again. do. At this time, from the data of the deviation between the light emitting position and the light receiving position of the lens unit 811, the axial tilt amount and direction of the rotating shaft of the spindle motor are calculated and displayed on the display 812.

<트래버스 유닛(4)의 제조 방법><Method of manufacturing traverse unit 4>

본 발명에 있어서의 트래버스 유닛(4)의 제조 방법으로 대해서, 도 13을 이용해서 설명한다. 도 13은 본 발명의 제조의 흐름을 도시하는 흐름도이다. 본 실시예에서는 특히 트래버스 유닛(4)의 제조의 흐름에 대해 설명한다. The manufacturing method of the traverse unit 4 in this invention is demonstrated using FIG. 13 is a flow chart showing the flow of manufacture of the present invention. In this embodiment, the flow of manufacture of the traverse unit 4 is demonstrated especially.

우선, 프레스 가공하는 것에 의해서 형성된 섀시(44)의 모터 장착부(442)에, 스핀들 모터(3)가 장착된다(스텝 S1). 본 실시형태에서는 스핀들 모터(3)는, 나사에 의한 체결에 의해서 모터 장착부(442)에 고정된다. First, the spindle motor 3 is attached to the motor mounting part 442 of the chassis 44 formed by press working (step S1). In this embodiment, the spindle motor 3 is fixed to the motor mounting part 442 by fastening with a screw.

이어서, 섀시(44)에 스핀들 모터(3)를 조립한 조립체(AS1) 상태에 있어서, 측정 장치(8)에서 스핀들 모터(3)의 회전축(J1)의 가상 평면(446)에 대한 축기울기량 및 둘레방향의 위치를 측정한다(스텝 S2). Subsequently, in the assembly AS1 state in which the spindle motor 3 is assembled to the chassis 44, the shaft tilt amount with respect to the virtual plane 446 of the rotational axis J1 of the spindle motor 3 in the measuring device 8. And the position of the circumferential direction is measured (step S2).

우선, 측정 장치(8)의 보지 지그(82)에 섀시(44)를 접촉시키고 보지시킨다. 이 때, 보지 지그(82)와 섀시(44)와의 접촉면을 묶는 것에 의해서 가상 평면(446)이 형성된다. 이 가상 평면(446)을 기준 평면으로 한다. First, the chassis 44 is brought into contact with the holding jig 82 of the measuring device 8 and held. At this time, the virtual plane 446 is formed by binding the contact surface between the holding jig 82 and the chassis 44. This virtual plane 446 is referred to as the reference plane.

다음에, 스핀들 모터(3)에는 더미 디스크(83)를 장착시킨다. 그리고, 더미 디스크(83)의 상면에 광이 닿도록, 더미 디스크(83)의 상측에 오토 콜리메이터(81)의 렌즈부(811)가 배치된다. 이 렌즈부(811)는 가상 평면(446)에 대해서 수직이 되도록 설정되어 있다. Next, the dummy disk 83 is attached to the spindle motor 3. And the lens part 811 of the auto collimator 81 is arrange | positioned on the upper side of the dummy disk 83 so that light may contact the upper surface of the dummy disk 83. This lens portion 811 is set to be perpendicular to the virtual plane 446.

그리고 스핀들 모터(3)의 회전축(J1)의 가상 평면(446)에 대한 축기울기량이, 미리 설정된 설정 허용 범위 내인 경우(Yes), 도 13중의 스텝 S4인 가이드 레일(42)의 장착 공정으로 진행한다.And when the shaft tilt amount with respect to the virtual plane 446 of the rotating shaft J1 of the spindle motor 3 exists in preset setting allowance range (Yes), it progresses to the mounting process of the guide rail 42 which is step S4 in FIG. do.

한편, 스핀들 모터(3)의 회전축(J1)의 가상 평면(446)에 대한 축기울기량이, 미리 설정된 설정 허용량의 범위 외인 경우(No), 스핀들 모터(3)의 회전축(J1)의 축기울기량을 조정하는 스큐 조정이 실행된다(도 13중의 스텝 S3). On the other hand, when the shaft tilt amount with respect to the virtual plane 446 of the rotation shaft J1 of the spindle motor 3 is out of the range of a preset allowable amount (No), the shaft tilt amount of the rotation shaft J1 of the spindle motor 3 is Skew adjustment is performed to adjust (step S3 in FIG. 13).

스큐 조정을 실시하기 위해서는, 이하와 같은 순서로, 펄스 레이저의 조사 조건을 결정해 두면 좋다. In order to perform skew adjustment, the irradiation conditions of a pulse laser may be determined in the following procedures.

(1) 스핀들 모터와 섀시를 조립한 조립체를 복수 준비하고, 이것에 조사 각도 범위와 쇼트수를 변화시켜서, 펄스 레이저를 조사한다. (1) A plurality of assemblies in which the spindle motor and the chassis are assembled are prepared, and the irradiation angle range and the number of shots are changed thereon to irradiate the pulsed laser.

(2) 조사 각도 및 쇼트수와, 조사부(3262)의 변위량과의, 정량적인 관계를 구한다.(2) A quantitative relationship between the irradiation angle and the number of shots and the amount of displacement of the irradiation unit 3326 is obtained.

(3) 이상의 결과로부터, 최적인 조사 각도 범위 및 쇼트수를 결정한다. (3) From the above result, the optimum irradiation angle range and the number of shots are determined.

본 실시예에 있어서, 최적인 펄스 레이저의 조사 각도 범위는, 도 10에 도시하는 바와 같이 대략 180도이다. 또한, 펄스 레이저의 쇼트수와, 조사부(3262)의 변위량과의 정량적 관계는 도 11에 도시된다. In this embodiment, the irradiation angle range of the optimal pulse laser is approximately 180 degrees as shown in FIG. In addition, the quantitative relationship between the number of shots of a pulse laser and the displacement amount of the irradiation part 3262 is shown in FIG.

도 13중의 스텝 S2에 의해서 측정된, 스핀들 모터(3)의 회전축(J1)의 축기울기량과 도 11을 비교해서, 최적인 펄스 레이저의 쇼트수를 선택한다. 그리고, 스핀들 모터(3)의 회전축(J1)의 축기울기의 둘레방향의 위치를 중심으로, 대략 180도의 범위에 걸쳐서 펄스 레이저를 조사한다. 이것은 즉, 스핀들 모터(3)의 회전축(J1)의 축기울기의 둘레방향의 위치로부터, 둘레방향 양측을 향해 대략 90도의 범위를 펄스 레이저로 조사하는 것이다(도 14 참조). 이것에 의해, 스핀들 모터(3)의 회전축(J1)의 축기울기량이 조정된다. The optimal number of shots of the pulsed laser is selected by comparing the shaft tilt amount of the rotating shaft J1 of the spindle motor 3 measured in step S2 in FIG. 13 with FIG. 11. And a pulse laser is irradiated over the range of about 180 degree centering on the position in the circumferential direction of the axial tilt of the rotating shaft J1 of the spindle motor 3. In other words, this is to irradiate a pulse laser with a range of approximately 90 degrees from the position in the circumferential direction of the shaft tilt of the rotation shaft J1 of the spindle motor 3 toward both sides in the circumferential direction (see FIG. 14). Thereby, the shaft tilt amount of the rotating shaft J1 of the spindle motor 3 is adjusted.

여기서, 도 14를 참조해서, 피가열 영역(3261)은 회전축(J1)의 축기울기 방향측으로 대략 180도의 원호 형상으로 조사된다. 이것에 의해, 회전축(J1)의 축기울기 방향측의 장착판(326)이 축방향 상측으로 변위된다. 이것에 수반해서, 하우징(322)도 축방향 상측으로 변위된다. 그리고, 하우징(322)의 슬리브(321)를 보지하는 관통 구멍의 내주면이 축기울기 방향에 대해서 중심축(J1)에 대해서 반대측으로 변위된다. 이 하우징(322)의 변위에 수반해서, 슬리브(321)도 마찬가지로, 축기울기 방향에 대해서 중심축(J2)에 대해서 반대측으로 변위된다. Here, with reference to FIG. 14, the to-be-heated area | region 3331 is irradiated in circular arc shape of about 180 degree to the axial tilt direction side of the rotating shaft J1. As a result, the mounting plate 326 on the shaft tilt direction side of the rotation shaft J1 is displaced upward in the axial direction. Along with this, the housing 322 is also displaced upward in the axial direction. And the inner peripheral surface of the through-hole holding the sleeve 321 of the housing 322 is displaced to the opposite side with respect to the central axis J1 with respect to the axial tilt direction. With the displacement of this housing 322, the sleeve 321 is also displaced to the opposite side with respect to the central axis J2 with respect to the axial tilt direction.

따라서, 슬리브(321)의 내주면에 지지되는 샤프트(311)가 마찬가지로, 축기울기 방향에 대해서 중심축(J2)에 대해서 반대측으로 변위한다. 그 결과, 샤프트(311)와 회전축(J1)과는 같은 축이기 때문에, 회전축(J1)이 미리 설정된 설정 허용 범위 내로 조정된다. 하우징(322), 슬리브(321) 및 샤프트(311)에 관해서는 도 3을 참조할 것.Therefore, the shaft 311 supported by the inner peripheral surface of the sleeve 321 similarly displaces to the opposite side with respect to the central axis J2 with respect to the axial tilt direction. As a result, since the shaft 311 and the rotating shaft J1 are the same axes, the rotating shaft J1 is adjusted within a preset allowable range. See FIG. 3 for housing 322, sleeve 321 and shaft 311.

그리고, 다시, 도 13중의 스텝 S2인 측정 장치(8)에 의해서 스핀들 모터(3)의 회전축(J1)의 가상 평면(446)에 대한 축기울기량 및 위치를 측정한다. 이것에 의해, 재차 스핀들 모터(3)의 회전축(J1)의 가상 평면(446)에 대한 축기울기량과 미리 설정된 설정 허용량의 범위를 비교한다. 그리고 스핀들 모터(3)의 회전축(J1)의 가상 평면(446)에 대한 축기울기량이 설정 허용량의 범위 외인 경우, 다시 도 13중의 스텝 S3인 스큐 조정한다.And again, the shaft tilt amount and position with respect to the virtual plane 446 of the rotating shaft J1 of the spindle motor 3 are measured by the measuring apparatus 8 of step S2 in FIG. Thereby, the range of the shaft tilt amount with respect to the virtual plane 446 of the rotating shaft J1 of the spindle motor 3 again is compared with the range of preset allowable amount. And when the shaft tilt amount with respect to the virtual plane 446 of the rotating shaft J1 of the spindle motor 3 is out of the range of a setting allowance, the skew adjustment of step S3 in FIG. 13 is performed again.

도 13중의 스텝 S3인 스큐 조정의 종료후, 스핀들 모터(3)로부터 더미 디스크(83)는 분리된다. 그리고, 섀시(44)의 제 1 가이드 레일 장착부(443) 및 제 2 가이드 레일(444)에는, 광픽업 유닛(41)을 미리 장착한 한쌍의 가이드 레일(42)이 장착된다(도 13중의 스텝 S4). 여기서, 동시에 이동 기구(43)가 섀시(44)에 장착된다. 이에 의해, 트래버스 유닛(4)은 조립된다.After the end of the skew adjustment in step S3 in FIG. 13, the dummy disk 83 is separated from the spindle motor 3. A pair of guide rails 42 in which the optical pickup unit 41 is mounted in advance are mounted on the first guide rail mounting portion 443 and the second guide rail 444 of the chassis 44 (step in FIG. 13). S4). Here, the movement mechanism 43 is mounted to the chassis 44 at the same time. As a result, the traverse unit 4 is assembled.

본 발명에 의한 스큐 조정에서는, 펄스 레이저의 조사 영역을 특정한 각도 범위에 특정했으므로, 펄스 레이저의 조사에 의한 변위량의 격차를 작게 할 수 있다. 따라서, 기준 평면인 가상 평면(446)에 대한, 회전축(J1)의 축기울기량과 그 방향을 정밀도 좋게 관리할 수 있다.In the skew adjustment by this invention, since the irradiation area of a pulse laser was specified to the specific angular range, the gap of the displacement amount by irradiation of a pulse laser can be made small. Therefore, the amount of tilt and the direction of the axis of rotation J1 with respect to the virtual plane 446 that is the reference plane can be managed with high accuracy.

이것에 의해, 트래버스 유닛(4)에 있어서의 스핀들 모터(3)의 회전축(J1)과, 광픽업 유닛(41)의 발광 방향을 대략 평행으로 조정할 수 있다. 즉, 스핀들 모터(3)의 회전축(J1)과, 광픽업 유닛(41)의 발광 방향을, 미리 설정한 상대적인 기울기량의 범위 내로 할 수 있다. 따라서, 광픽업 유닛(41)의 발광 방향과, 디스크(2)의 기록면을 고정밀도로 수직으로 할 수 있다. 그 결과, 회전축의 기울기에 의해서 발생하는 기록 재생 에러를 충분히 방지할 수 있는, 디스크 구동 장치를 제공할 수 있다. 또한, 스핀들 모터의 회전에 의해서 발생하는 진동을 저감할 수 있는, 디스크 구동 장치를 제공할 수 있다.Thereby, the rotation axis J1 of the spindle motor 3 in the traverse unit 4 and the light emission direction of the optical pickup unit 41 can be adjusted substantially in parallel. That is, the rotational axis J1 of the spindle motor 3 and the light emission direction of the optical pickup unit 41 can be made within the range of the predetermined relative inclination amount. Therefore, the light emission direction of the optical pickup unit 41 and the recording surface of the disk 2 can be made vertical with high accuracy. As a result, it is possible to provide a disc drive device capable of sufficiently preventing a recording and reproducing error caused by the inclination of the rotating shaft. In addition, it is possible to provide a disk drive device capable of reducing vibrations caused by rotation of the spindle motor.

본 발명에 의한 스큐 조정 장치(7)를 이용한, 회전축(J1)의 축기울기의 조정 방법은, 가상 평면(446)에 대한 축기울기량을 고정밀도로 조정할 수 있다. 이 때문에, 스핀들 모터(3)에, 프레스 가공된 로터 홀더(312)를 이용하는 경우의 조정 방법으로서, 특히 적합하다. 또한, 프레스 가공은 가공 정밀도의 향상에 한계가 있다.The adjustment method of the shaft tilt of the rotating shaft J1 using the skew adjustment apparatus 7 by this invention can adjust the shaft tilt amount with respect to the virtual plane 446 with high precision. For this reason, it is especially suitable as an adjustment method in the case of using the pressed rotor holder 312 for the spindle motor 3. In addition, the press working has a limit in improving the processing accuracy.

또한, 스핀들 모터(3)에, 장착판(326)과 하우징(322)이 코킹된 고정체(32)를 이용하는 경우의 조정 방법으로서, 특히 적합하다. 장착판(326)과 하우징(322)의 코킹 구조는, 회전축(J1)의 축기울기에 특히 강한 영향이 있다. Moreover, it is especially suitable as the adjustment method in the case of using the fixed body 32 by which the mounting plate 326 and the housing 322 were caulked for the spindle motor 3. The caulking structure of the mounting plate 326 and the housing 322 has a particularly strong influence on the shaft tilt of the rotating shaft J1.

이들 스핀들 모터(3)는 디스크 구동 장치(1)에 탑재된다.These spindle motors 3 are mounted in the disc drive device 1.

<스핀들 모터를 조립한 상태에 있어서의 스큐 조정><Skew adjustment in the state that the spindle motor is assembled>

스핀들 모터를 조립한 상태에 있어서의 스큐 조정에 대해서, 도 15 내지 도 17을 이용해서 설명한다. 도 15는 본 발명의 스핀들 모터의 다른 실시형태를 도시한, 축방향으로 자른 모식 단면도이다. 도 16은 도 15의 스핀들 모터를 축방향 상측으로부터 본 평면도이다. 도 17은 도 15의 스핀들 모터를 축방향 하측으로부터 본 평면도이다. 도 15 내지 도 17에 있어서의 스핀들 모터(3a)는, 장착판(326a) 이외에는 스핀들 모터(3)와 동일 부재를 이용하고 있다. Skew adjustment in the state which assembled the spindle motor is demonstrated using FIGS. 15-17. It is a schematic cross section which cut | disconnected axially and shows another embodiment of the spindle motor of this invention. 16 is a plan view of the spindle motor of FIG. 15 seen from above in the axial direction. FIG. 17 is a plan view of the spindle motor of FIG. 15 seen from below in the axial direction. FIG. The spindle motor 3a in FIGS. 15-17 uses the same member as the spindle motor 3 except the mounting plate 326a.

이하, 스핀들 모터(3)와 동일 부재에 대한 설명은 생략하고, 장착판(326a)의 형상에 대해서 설명한다. Hereinafter, the description about the same member as the spindle motor 3 is abbreviate | omitted, and the shape of the mounting plate 326a is demonstrated.

스핀들 모터(3a)의 장착판(326a)은 제 1 평면부(326a1)와, 절곡부(326a2)와, 제 2 평면부(326a3)를 구비한다. 제 1 평면부(326a1)는 하우징(322)이 고정되고, 대략 원형 형상을 하고 있다. 절곡부(326a2)는 제 1 평면부(326a1)로부터 상측을 향해서 절곡되어 있다. 제 2 평면부(326a3)는 절곡부(326a2)와 연속하고, 제 1 평면부(326a1)와 평행한 평면을 형성하고 있어서, 섀시(도시하지 않음)에 장착되는 복수의 장착부(326a4)가 형성되어 있다.The mounting plate 326a of the spindle motor 3a includes a first flat portion 326a1, a bent portion 326a2, and a second flat portion 326a3. The housing 322 is fixed to the first flat portion 326a1 and has a substantially circular shape. The bent portion 326a2 is bent upward from the first plane portion 326a1. The second planar portion 326a3 is continuous with the bent portion 326a2 and forms a plane parallel to the first planar portion 326a1, so that a plurality of mounting portions 326a4 mounted on the chassis (not shown) are formed. It is.

본 실시형태에서는 장착부(326a4)는 3개소 마련된다. 절곡부(326a2)는 제 1 평면부(326a1)의 외주연의 둘레방향의 일부에 형성된다.In this embodiment, three mounting parts 326a4 are provided. The bent portion 326a2 is formed in a part of the circumferential direction of the outer circumference of the first planar portion 326a1.

또한, 스핀들 모터(3a)의 기준이 되는 평면은, 복수의 장착부(326a4)를 묶어서 형성된 가상 평면(446b)이다(도 17 참조). 그리고, 가상 평면(446b)에 대해서 스핀들 모터(3a)의 회전축(J1)의 축기울기량 및 방향을 측정한다. 이것에 의해, 복수의 장착부(326a4)는 섀시에 직접 장착되기 때문에, 스핀들 모터(3a)의 섀시에 대한 위치나 기울기를 결정하는 중요한 부위가 된다. 따라서, 복수의 장착부(326a4)에서 형성된 가상 평면(446b)을 기준 평면으로 하는 것에 의해서, 고정밀의 스큐 조정할 수 있다. In addition, the plane used as the reference | standard of the spindle motor 3a is the imaginary plane 446b formed by grouping the some mounting part 326a4 (refer FIG. 17). And the axial tilt amount and direction of the rotating shaft J1 of the spindle motor 3a with respect to the virtual plane 446b are measured. As a result, since the plurality of mounting portions 326a4 are directly mounted to the chassis, it becomes an important site for determining the position and the inclination of the spindle motor 3a with respect to the chassis. Therefore, highly accurate skew adjustment can be performed by making the virtual plane 446b formed in the some mounting part 326a4 into a reference plane.

또한, 장착판(326a)에는 제 1 평면부(326a1)의 외주연의 둘레방향의 일부에 절곡부(326a2)가 형성되기 때문에, 제 1 평면부(326a1)는 회전축(J1)을 중심으로 한 둘레방향의 강도가 불균일이다.Moreover, since the bent part 326a2 is formed in the mounting plate 326a in the circumferential direction of the outer periphery of the 1st planar part 326a1, the 1st planar part 326a1 is centered on the rotating shaft J1. The intensity in the circumferential direction is uneven.

여기서, 펄스 레이저가 조사되는 피가열 영역(3261) 및 조사부(3262)는, 스핀들 모터(3)와 같은 위치이다.Here, the to-be-heated area | region 3331 and the irradiation part 3262 irradiated with a pulse laser are the same positions as the spindle motor 3 here.

스핀들 모터(3a)의 스큐 조정은 상술한 것과 마찬가지로, 미리 가열부인 펄스 레이저의 조사 각도 범위를 설정하는 공정과, 설정된 펄스 레이저의 조사 각도 범위에 대해서, 펄스 레이저의 쇼트수를 변경했을 경우의 조사부의 변위량의 변화와의 관계의 데이터를 얻는 공정을 실시한다. 그리고, 스핀들 모터(3a)의 가상 평면(446b)에 대한 회전축(J1)의 축기울기량 및 방향을 측정한 다음, 그 축기울기의 방향을 중심으로 한 펄스 레이저를 조사한다. 이것에 의해, 스핀들 모터(3a)는 가상 평면(446b)에 대해서, 고정밀도로 수직으로 할 수 있다. As described above, the skew adjustment of the spindle motor 3a is a step of setting the irradiation angle range of the pulse laser which is the heating unit in advance, and the irradiation unit when the number of shots of the pulse laser is changed with respect to the irradiation angle range of the set pulse laser. The process of obtaining the data of the relationship with the change of the displacement amount of is performed. Then, the tilt amount and direction of the axis of rotation J1 with respect to the imaginary plane 446b of the spindle motor 3a are measured, and then a pulse laser around the direction of the axis tilt is irradiated. Thereby, the spindle motor 3a can be made perpendicular to the virtual plane 446b with high precision.

펄스 레이저의 조사 각도 범위를 설정하는 공정에서는, 우선 장착판(326a)의 제 1 평면부(326a1)의 강도가 다른 복수의 범위에 분할한다(본 실시형태에서는 4개의 범위로 분할함). 그리고 분할된 각 범위에 대해서 조사 각도 범위를 복수 변경한 펄스 레이저를 조사해서, 그 변위량을 측정한 데이터를 수집한다. 수집된 데이터에 근거해서, 각 범위의 조사부의 변위량에 있어서의 가장 격차가 적은 펄스 레이저의 조사 각도 범위를 설정한다. 본 실시예에서는 펄스 레이저의 조사 각도 범위는 대략 180도이다.In the process of setting the irradiation angle range of the pulse laser, first, the strength of the first planar portion 326a1 of the mounting plate 326a is divided into a plurality of ranges (divided into four ranges in this embodiment). Then, the pulse laser beams in which the irradiation angle ranges are plurally changed are irradiated to each divided range, and data obtained by measuring the displacement amount is collected. Based on the collected data, the irradiation angle range of the pulse laser with the smallest gap in the displacement amount of the irradiation section of each range is set. In this embodiment, the irradiation angle range of the pulse laser is approximately 180 degrees.

다음에, 펄스 레이저의 쇼트수를 변경했을 경우에 있어서, 쇼트수와 조사부의 변위량과의 관계를 얻는 공정에서는, 설정된 펄스 레이저의 조사 각도 범위에, 쇼트수를 변화시켜서 펄스 레이저를 조사한다. 이것에 의해, 펄스 레이저의 쇼트수의 변경과 조사부의 변위량과의 관계의 정량적인 데이터를 얻을 수 있다. Next, when the number of shots of the pulse laser is changed, in the step of obtaining the relationship between the number of shots and the displacement amount of the irradiation section, the number of shots is varied in the irradiation angle range of the set pulse laser to irradiate the pulsed laser. This makes it possible to obtain quantitative data on the relationship between the change in the number of shots of the pulse laser and the displacement amount of the irradiation section.

이 데이터에 근거해서, 스핀들 모터(3a)의 가상 평면(446b)에 대한 축기울기량 및 방향을 측정한 후, 그 축기울기량을 수정하는데 최적인 펄스 레이저의 쇼트수를 설정해서, 펄스 레이저를 조사한다. 이것에 의해, 스핀들 모터(3a)의 고정밀의 스큐 조정을 실현할 수 있다.Based on this data, after measuring the shaft tilt amount and direction with respect to the virtual plane 446b of the spindle motor 3a, the number of shots of the pulse laser which is optimal for correcting the shaft tilt amount is set, and a pulse laser is performed. Investigate. As a result, high-precision skew adjustment of the spindle motor 3a can be realized.

이상, 본 발명의 여러 가지의 실시형태에 대해 설명했지만, 본 발명은 상술의 실시형태로 한정되는 일 없이, 본 발명의 범위 내에 있어서 여러 가지의 변형이 가능하다.As mentioned above, although various embodiment of this invention was described, this invention is not limited to the above-mentioned embodiment, Various modifications are possible within the scope of this invention.

예를 들면, 상술의 실시형태에 있어서의 스큐 조정은, 조립체(AS1) 상태에서 실행했지만, 본 발명은 이것에 한정되는 일은 없다. 트래버스 유닛(4)을 조립한 후에, 스큐 조정해도 괜찮다.For example, although skew adjustment in above-mentioned embodiment was performed in the assembly AS1 state, this invention is not limited to this. After assembling the traverse unit 4, you may adjust skew.

예를 들면, 상술의 실시형태에 있어서의 스큐 조정 방법에서는, 펄스 레이저의 조사 각도 범위를 설정할 때에, 장착판(326, 326a)의 범위를 회전축(J1)을 중심으로 4개의 범위로 분할해서 설정했지만, 본 발명은 이것에 한정되는 일은 없다. 장착판의 범위로서는, 4개의 범위가 아니어도, 복수의 범위가 있으면 좋다.For example, in the skew adjustment method in the above-described embodiment, when setting the irradiation angle range of the pulse laser, the range of the mounting plates 326 and 326a is divided into four ranges around the rotational axis J1 and set. However, the present invention is not limited to this. As a range of a mounting plate, even if it is not four ranges, there may exist several ranges.

예를 들면, 장착판(326, 326a)은 상술의 실시형태로 한정되는 일은 없다. 예를 들면, 섀시와 장착판을 동일 부재로 구성해서, 설치 베이스로 해도 좋다.For example, the mounting plates 326 and 326a are not limited to the above-mentioned embodiment. For example, the chassis and the mounting plate may be made of the same member to form an installation base.

예를 들면, 상술의 실시형태의 디스크 구동 장치(1)에서는, 트레이(5)에 의해서 디스크(2)를 반송했지만, 본 발명은 이것에 한정되는 일은 없다. 예를 들면, 디스크 구동 장치의 하우징의 디스크의 삽입 및 배출하는 개구 구멍의 양측에, 롤러를 마련하는 것에 의해서 디스크의 반송을 해도 괜찮다. For example, in the disk drive apparatus 1 of the above-mentioned embodiment, although the disk 2 was conveyed by the tray 5, this invention is not limited to this. For example, you may convey a disk by providing a roller in both sides of the opening hole which inserts and discharges the disk of the housing of a disk drive apparatus.

이상 서술한 디스크 구동 장치는 광디스크를 구동하는 장치이다. 광디스크 구동 장치에서는, 장착판(326)은 강판인 것이 많다. 디스크 구동 장치는 이것에 한정되지 않고, 하드 디스크 구동 장치이어도 괜찮다. 이 경우, 모터를 장착하는 기판은 알루미늄 다이캐스트제인 것이 많다. 알루미늄 다이캐스트제 기판에 대해서도, 본 발명은 적용 가능하다. The disk drive described above is a device for driving an optical disk. In the optical disk drive device, the mounting plate 326 is often a steel sheet. The disk drive device is not limited to this and may be a hard disk drive device. In this case, the substrate on which the motor is mounted is often made of aluminum die cast. The present invention is also applicable to a substrate made of an aluminum die cast.

이상의 설명에서는, 디스크 구동 장치를 예로 해서 본 발명을 설명했다. 그러나 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 펄스 레이저 발진 조건은 기판의 법선 방위를 변화시키는 방향 및 양에 관계없이 일정하게 하여, 기판의 법선 방위의 조정이 가능하게 되어서, 조작성이 좋은 바람직한 방법이다.In the above description, the present invention has been described using a disk drive as an example. However, the present invention is not limited to this, and the pulse laser oscillation condition is made constant regardless of the direction and the amount of changing the normal orientation of the substrate, so that the normal orientation of the substrate can be adjusted, which is a preferable method with good operability.

본 발명은 펄스 레이저의 발진 조건을 변경하는 일 없이, 기판의 법선 방위를 변화시킬 수 있다. 따라서, 상술한 디스크 구동 장치의 장착판에 있어서의 법선 방위의 조정이나, 스핀들 모터의 축기울기의 조정 뿐만 아니라, 각종 기판의 법선 방위의 조정에 적용할 수 있다.The present invention can change the normal orientation of the substrate without changing the oscillation conditions of the pulsed laser. Therefore, it is applicable not only to the adjustment of the normal orientation in the mounting plate of the disk drive apparatus mentioned above, the adjustment of the shaft tilt of a spindle motor, but also the adjustment of the normal orientation of various board | substrates.

1 : 디스크 구동 장치 2 : 디스크
3, 3a : 스핀들 모터 31 : 회전체
311 : 샤프트 312 : 로터 홀더
312a : 탑재면 313 : 로터 마그넷
32 : 고정체 321 : 슬리브(베어링부)
322 : 하우징 326, 326a : 장착판
3261 : 피가열 영역 3262 : 조사부
33 : 척킹 장치 4 : 트래버스 유닛
41 : 광픽업 유닛 42 : 가이드 레일
44 : 섀시 441 : 수용 개구 구멍
442 : 모터 장착부 446, 446a : 가상 평면
5 : 트레이 6 : 하우징
J1 : 회전축 J2 : 중심축
S1 내지 S4 : 스텝(공정)
1: disc drive unit 2: disc
3, 3a: spindle motor 31: rotating body
311: shaft 312: rotor holder
312a: Mounting surface 313: Rotor magnet
32: fixed body 321: sleeve (bearing part)
322 housing 326, 326a mounting plate
3261: area to be heated 3262: irradiation unit
33: chucking device 4: traverse unit
41: optical pickup unit 42: guide rail
44: chassis 441: receiving opening hole
442: motor mounting portion 446, 446a: virtual plane
5: tray 6: housing
J1: axis of rotation J2: center axis
S1 to S4: step (process)

Claims (10)

기판 상의 어느 특정 영역의 법선 방위를 변화시키는 방향 및 양에 따라서, 상기 특정 영역의 주위의 소정 영역에, 수속시킨 펄스 레이저를 조사해서 국부적으로 용융·냉각시키는 것에 의해, 상기 특정 영역의 법선 방위를 변화시키는, 기판의 법선 방위의 조정 방법에 있어서,
상기 펄스 레이저를 조사하는 소정 영역 내에 있어서, 상기 펄스 레이저를 조사하는 개소를 복수로 하고,
상기 법선 방위를 변화시키는 방향에 따라서, 상기 소정 영역의 중심 위치와 범위를 정하고,
상기 법선 방위를 변화시키는 양은, 상기 소정 영역 내에 있어서의 상기 펄스 레이저를 조사하는 개소의 수를 증감하는 것에 의해 증감시키고,
상기 펄스 레이저를 조사하는 개소의 분포 밀도는 상기 조사하는 개소를 늘리는 경우에는 높게 하고, 상기 조사하는 개소를 줄이는 경우에는 낮게 하며,
상기 펄스 레이저의 발진 조건은 상기 법선 방위를 변화시키는 방향 및 양에 상관없이 실질적으로 일정하게 하고,
상기 소정 영역은 상기 특정 영역의 중앙을 중심으로 해서, 환형상이고,
복수의 상기 조사하는 개소는 상기 환형상의 소정 영역 내에 있으며,
상기 기판의 주연은 상기 특정 영역의 중앙을 중심으로 둘레 방향으로 비대칭인 형상인 것으로 인하여, 상기 특정 영역의 중앙을 중심으로 하여 둘레 방향으로 강성이 달라서, 상기 펄스 레이저를 조사하는 개소의 변형량이 둘레 방향을 따라 달라지게 되고,
상기 소정 영역은 상기 특정 영역의 중앙을 중심으로 해서 절반 둘레에 걸쳐서 펼쳐져 있는 것을 특징으로 하는
기판의 법선 방위의 조정 방법.
According to the direction and the amount of changing the normal orientation of a specific region on the substrate, the normal orientation of the specific region is adjusted by irradiating a locally converged pulse laser to the predetermined region around the specific region by melting and cooling. In the method of adjusting the normal orientation of the substrate to be changed,
In the predetermined area | region which irradiates the said pulsed laser, the place which irradiates the said pulsed laser shall be multiple,
According to the direction of changing the normal orientation, the center position and range of the predetermined area is determined,
The amount of changing the normal orientation is increased or decreased by increasing or decreasing the number of points irradiated with the pulse laser in the predetermined area,
The distribution density of the part irradiated with the said pulsed laser is made high when the said irradiated place is extended, and made low when it reduces the said irradiated place,
The oscillation condition of the pulsed laser is made substantially constant irrespective of the direction and amount of changing the normal orientation,
The said predetermined area | region is annular centering on the center of the said specific area | region,
The plurality of irradiation points are in the annular predetermined region,
Since the periphery of the substrate has an asymmetrical shape in the circumferential direction with respect to the center of the specific region, the stiffness is different in the circumferential direction with respect to the center of the specific region, so that the amount of deformation of the portion irradiating the pulse laser is circumferential. Depends on direction,
The predetermined area is spread over a half around the center of the specific area, characterized in that
Method of adjusting the normal orientation of the substrate.
제 1 항에 있어서,
상기 소정 영역에 상기 펄스 레이저를 조사하는 개소의 수와, 상기 특정 영역의 법선이 변화하는 방향 및 양과의 관계를 미리 파악해 두고,
상기 관계에 근거해서, 상기 법선 방위를 변화시키는 양에 따라서 상기 펄스 레이저를 조사하는 개소의 수를 결정하는 것을 특징으로 하는
기판의 법선 방위의 조정 방법.
The method of claim 1,
Knowing in advance the relationship between the number of points irradiated with the pulsed laser to the predetermined area and the direction and amount in which the normal of the specific area changes.
Based on the relationship, the number of points irradiated with the pulsed laser is determined according to the amount of changing the normal orientation.
Method of adjusting the normal orientation of the substrate.
제 1 항에 있어서,
상기 조사하는 개소의 분포 밀도는 특정 영역의 중앙과 조사하는 위치와의 거리와, 서로 인접하는 조사 개소 사이의 거리에 의해서 제어하는 것을 특징으로 하는
기판의 법선 방위의 조정 방법.
The method of claim 1,
The distribution density of the said irradiation site is controlled by the distance between the center of a specific area | region and the irradiation position, and the distance between adjacent irradiation sites, It is characterized by the above-mentioned.
Method of adjusting the normal orientation of the substrate.
삭제delete 삭제delete 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기판은 상기 펄스 레이저의 국소적인 조사에 의한 가열·냉각에 의해 변형을 일으키는 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는
기판의 법선 방위의 조정 방법.
The method according to any one of claims 1 to 3,
The substrate is made of a material which causes deformation by heating and cooling by local irradiation of the pulsed laser.
Method of adjusting the normal orientation of the substrate.
제 6 항에 있어서,
상기 기판은 알루미늄 합금 또는 강판인 것을 특징으로 하는
기판의 법선 방위의 조정 방법.
The method according to claim 6,
The substrate is characterized in that the aluminum alloy or steel sheet
Method of adjusting the normal orientation of the substrate.
제 7 항에 있어서,
상기 기판은 스핀들 모터의 베이스 기판인 것을 특징으로 하는
기판의 법선 방위의 조정 방법.
The method of claim 7, wherein
The substrate is characterized in that the base substrate of the spindle motor
Method of adjusting the normal orientation of the substrate.
제 8 항에 있어서,
상기 베이스 기판은 스핀들 모터의 베어링부가 고정되는 평면을 갖고, 상기 평면의 주연은 둘레방향으로 강성이 다른 것을 특징으로 하는
기판의 법선 방위의 조정 방법.
The method of claim 8,
The base substrate has a plane in which the bearing portion of the spindle motor is fixed, the circumference of the plane is characterized in that the rigidity is different in the circumferential direction
Method of adjusting the normal orientation of the substrate.
제 7 항에 있어서,
상기 기판은 광 디스크 드라이브용 모터 베이스 기판인 것을 특징으로 하는
기판의 법선 방위의 조정 방법.
The method of claim 7, wherein
The substrate is characterized in that the motor base substrate for the optical disk drive
Method of adjusting the normal orientation of the substrate.
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