KR101231841B1 - 반송계 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정표시소자의 제조시 적재된 기판을 반송하는 과정에서 마찰력에 의해 발생되는 정전기를 제거할 수 있는 반송계를 제공하는 것으로, 기판과의 마찰시 정전기를 양극으로 대전시키는 비전도성 재질로 이루어진 다수의 비전도성 롤러들이 일정 간격으로 이격되어 부착된 다수의 제 1 샤프트들; 및 기판과의 마찰시 정전기를 음극으로 대전시키는 전도성 재질로 이루어진 다수의 전도성 롤러들이 일정 간격으로 이격되어 부착된 다수의 제 2 샤프트들을 구비하며, 상기 다수의 제 1 및 제 2 샤프트들이 일정 간격으로 이격되어 동일 수평면 상에 배치되되, 상기 제 1 샤프트들과 제 2 샤프트들이 일정한 비율로 나뉘어서 교대로 배치되는 것을 특징으로 한다.
액정표시소자, 기판, 반송계, 정전기, 롤러, 접지

Description

반송계{Transfer system}
도 1은 액티브 매트릭스 타입의 액정표시소자를 나타내는 사시도이다.
도 2는 일반적인 액정표시소자의 제조 공정에 사용되는 반송계의 사시도이다.
도 3은 일반적인 액정표시소자의 제조 공정에 사용되는 반송계에 구비되는 롤러와 샤프트의 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반송계의 평면도이다.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반송계의 평면도이다.
도 6은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 반송계의 평면도이다.
도 7은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 반송계의 평면도이다.
도 8은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 반송계의 평면도이다.
도 9는 본 발명의 제 6 실시예에 따른 반송계의 평면도이다.
본 발명은 액정표시소자의 제조시 이용되는 반송계에 관한 것으로, 특히 액 정표시소자의 제조시 적재된 기판을 반송하는 과정에서 마찰력에 의해 발생되는 정전기를 제거할 수 있는 반송계에 관한 것이다.
최근의 정보화 사회에서 표시소자는 시각정보 전달매체로서 그 중요성이 어느 때보다 강조되고 있다. 현재 주류를 이루고 있는 음극선관(Cathode Ray Tube) 또는 브라운관은 무게와 부피가 큰 문제점이 있다.
평판표시소자에는 액정표시소자(Liquid Crystal Display : LCD), 전계 방출 표시소자(Field Emission Display : FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP) 및 전계발광소자(Electroluminescence : EL) 등이 있고 이들 대부분이 실용화되어 시판되고 있다.
액정표시소자는 전자제품의 경박단소 추세를 만족할 수 있고 양산성이 향상되고 있어 많은 응용분야에서 음극선관을 빠른 속도로 대체하고 있다.
특히, 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하, "TFT"라 한다)를 이용하여 액정셀을 구동하는 액티브 매트릭스 타입의 액정표시소자는 화질이 우수하고 소비전력이 낮은 장점이 있으며, 최근의 양산기술 확보와 연구개발의 성과로 대형화와 고해상도화로 급속히 발전하고 있다.
이러한 액티브 매트릭스 타입의 액정표시소자는 도 1과 같이 액정층(15)을 사이에 두고 합착되는 컬러필터 기판(22)과 TFT 어레이 기판(23)을 구비한다. 도 1에 도시된 액정표시소자는 전체 유효화면의 일부를 나타낸 것이다.
컬러필터 기판(22)에는 상부 유리기판(12)의 배면 상에 도시하지 않은 블랙 매트릭스, 컬러필터(13)와 공통전극(14)이 형성된다. 상부 유리기판(12)의 전면 상에는 편광판(11)이 부착된다. 컬러필터(13)는 적(R), 녹(G) 및 청(B) 색의 컬러필터를 포함하여 특정 파장대역의 가시광을 투과시킴으로써 컬러표시를 가능하게 한다.
TFT 어레이 기판(23)에는 하부 유리기판(16)의 전면에 데이터라인들(19)과 게이트라인들(18)이 상호 교차되며, 그 교차부에 TFT들(20)이 형성된다. 그리고 하부 유리기판(16)의 전면에는 데이터라인(19)과 게이트라인(18) 사이의 셀 영역에 화소전극(21)이 형성된다. TFT(20)는 게이트라인(18)으로부터의 스캐닝신호에 응답하여 데이터라인(19)과 화소전극(21) 사이의 데이터 전송패스를 절환함으로써 화소전극(21)을 구동하게 된다. TFT 어레이 기판(23)의 배면에는 편광판(17)이 부착된다.
액정층(15)은 자신에게 인가된 전계에 의해 TFT 어레이 기판(23)을 경유하여 입사되는 빛의 투과량을 조절한다.
컬러필터 기판(22)과 TFT 기판(23) 상에 부착된 편광판들(11,17)은 어느 한 방향으로 편광된 빛을 투과시키게 되며, 액정(15)이 90°TN 모드일 때 그들의 편광방향은 서로 직교하게 된다.
컬러필터 기판(22)과 어레이 TFT 기판(23)의 액정 대향면들에는 도시하지 않은 배향막이 형성된다.
액티브 매트릭스 타입의 액정표시소자를 제조하기 위한 제조공정은 기판 세정, 기판 패터닝 공정, 배향막형성/러빙 공정, 기판합착/액정주입 공정, 실장 공정, 검사 공정, 리페어(Repair) 공정 등으로 나뉘어진다. 기판세정 공정은 액정표 시소자의 기판 표면에 오염된 이물질을 세정액으로 제거한다. 기판 패터닝 공정은 컬러필터 기판의 패터닝 공정과 TFT 어레이 기판의 패터닝 공정으로 나뉘어 실시된다. 배향막형성/러빙 공정은 컬러필터 기판과 TFT 어레이 기판 각각에 배향막을 도포하고 그 배향막을 러빙포 등으로 러빙하게 된다. 기판합착/액정주입 공정은 실재(Sealant)를 이용하여 컬러필터 기판과 TFT 어레이기판을 합착하고 액정주입구를 통하여 액정과 스페이서를 주입한 다음, 그 액정주입구를 봉지한다. 실장공정은 게이트 드라이브 집적회로 및 데이터 드라이브 집적회로 등의 집적회로가 실장된 테이프 케리어 패키지(Tape Carrier Package : 이하, "TCP"라 한다)를 기판 상의 패드부에 접속시키게 된다. 이러한 드라이브 집적회로는 전술한 TCP를 이용한 테이프 오토메이티드 본딩(Tape Automated Bonding) 방식 이외에 칩 온 글라스(Chip On Glass, COG) 방식 등으로 기판 상에 직접 실장될 수도 있다. 검사 공정은 TFT 어레이 기판에 데이터라인과 게이트라인 등의 신호배선과 화소전극이 형성된 후에 실시되는 전기적 검사와 기판합착/액정주입 공정 후에 실시되는 전기적검사 및 육안검사를 포함한다. 리페어 공정은 검사 공정에 의해 리페어가 가능한 것으로 판정된 기판에 대한 복원을 실시한다. 검사 공정에서 리페어가 불가능한 기판들은 폐기처분된다.
상기한 바와 같은 액정표시소자를 포함한 대부분의 평판 표시소자를 제조함에 있어, 기판 상에 적층되는 박막 물질은 포토리소그래피(Photorithography) 공정으로 패터닝되는데, 이러한 포토리소그래피 공정은 일반적으로 포토레지스트(Photoresist)의 도포, 마스크 정렬, 노광, 현상 및 세정을 포함하는 일련의 사진 공정으로 이루어진다. 이와 같은 포토리소그래피 공정이 완료되면, 기판은 반송계에 의해 에칭 및 스트립 공정 등을 위한 다른 챔버로 반송된다. 특히, 액정표시소자의 제조시 하나의 챔버에서 다른 챔버로 기판을 반송시켜 주는 반송계는 다양한 종류가 사용되고 있는데, 일예로 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 롤러와 샤프트로 이루어진 반송계가 사용되고 있다.
도 2를 참조하면, 반송계(50)는, 동일 수평면 상에 일정 간격으로 이격되어 배열된 다수의 샤프트(Shaft)들(51)과, 샤프트(51) 상에 일정 간격으로 이격되어 고정된 다수의 롤러(Roller)들(52)을 구비한다.
다수의 샤프트들(51)은 회전력을 공급받아 일정한 속도로 회전하면서 반송계(50) 상에 적재된 유리 기판(53)이 이송되도록 한다.
그리고, 도 3에 도시된 바와 같이, 다수의 롤러들(52)은 원반형으로 이루지고 원반형의 중심부를 통해 관통되는 샤프트(51) 상에 고정된다.
이렇게 다수의 롤러들(52)이 샤프트(51) 상에 고정됨으로써, 반송계(50)에 적재되는 유리 기판(53)은 샤프트(51)와 접촉되지 않고 롤러들(52)과 직접적으로 접촉된다. 이에 따라, 샤프트(51)를 따라 롤러들(52)이 회전되는 경우, 롤러들(52)과 유리 기판(53) 사이에 마찰력이 발생되고 이 마찰력은 유리 기판(130)이 반송되도록 하는 운동에너지가 된다.
최근에는 액정표시소자가 초대형화됨에 따라 이의 소재가 되는 유리 기판의 사이즈도 초대형화되어 가고 있으므로, 초대형 유리 기판을 적재하여 반송하는 반송계(50)의 샤프트(51) 길이도 길어지고 있다.
특히, 상기한 바와 같이 롤러들(52)과 유리 기판(53) 사이에 마찰력이 발생됨으로써 정전기가 유리 기판(53)에 대전되는데, 이 정전기에 의해 유리 기판(53)이 손상되었으며, 이로 인해 유리 기판(53) 상에 형성된 데이터라인들과 게이트라인들이 파손되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 액정표시소자의 제조시 적재된 기판을 반송하는 과정에서 마찰력에 의해 발생되는 정전기를 제거할 수 있는 반송계를 제공하는 데 있다.
본 발명의 목적은 기판을 반송하는 과정에서 마찰력에 의해 발생되는 정전기를 제거함으로써, 정전기에 의한 기판의 손상을 방지할 수 있는 반송계를 제공하는 데 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 기판과의 마찰시 정전기를 양극으로 대전시키는 비전도성 재질로 이루어진 다수의 비전도성 롤러들이 일정 간격으로 이격되어 부착된 다수의 제 1 샤프트들; 및 기판과의 마찰시 정전기를 음극으로 대전시키는 전도성 재질로 이루어진 다수의 전도성 롤러들이 일정 간격으로 이격되어 부착된 다수의 제 2 샤프트들을 구비하며, 상기 다수의 제 1 및 제 2 샤프트들이 일정 간격으로 이격되어 동일 수평면 상에 배치되되, 상기 제 1 샤프트들과 제 2 샤프트들이 일정한 비율로 나뉘어서 교대로 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 상기 비전도성 롤러들이 부착된 제 1 샤프트들과 상기 전도성 롤 러들이 부착된 제 2 샤프트들이 교대로 배치되되, 1:1 비율로 배치되는 것을 특징으로 한다. 여기서, 상기 기판 상부에 대전되는 정전기를 상쇄시키기 위한 양이온과 음이온을 분사하는 이온나이저가 상기 제 1 및 제 2 샤프트들의 상부에 이격되어 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 상기 비전도성 롤러들이 부착된 제 1 샤프트들과 상기 전도성 롤러들이 부착된 제 2 샤프트들이 교대로 배치되되, 1:2 비율로 배치되는 것을 특징으로 한다. 여기서, 상기 기판 상부에 대전되는 정전기를 상쇄시키기 위한 양이온과 음이온을 분사하는 이온나이저가 상기 제 1 및 제 2 샤프트들의 상부에 이격되어 배치되는 것을 특징으로 한다. 그리고, 상기 전도성 롤러들이 부착된 제 2 샤프트들은 접지에 접속되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 상기 전도성 롤러들이 부착된 제 2 샤프트들과 상기 비전도성 롤러들이 부착된 제 1 샤프트들이 교대로 배치되되, 2:1 비율로 배치되는 것을 특징으로 한다. 여기서, 상기 기판 상부에 대전되는 정전기를 상쇄시키기 위한 양이온과 음이온을 분사하는 이온나이저가 상기 제 1 및 제 2 샤프트들의 상부에 이격되어 배치되는 것을 특징으로 한다. 그리고, 상기 전도성 롤러들이 부착된 제 2 샤프트들은 접지에 접속되는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 단, 이하의 첨부 도면에서는 9개의 샤프트들로 이루어진 반송계를 도시하였으나, 이는 본 발명의 기술적 사상을 개시함에 있어 하나의 예를 든것일 뿐, 결코 본 발명이 9개의 샤프트들로 이루어진 반송계에 한정되어 구현되는 것은 아니다. 마찬가지로, 이하의 첨부 도면에서는 하나의 샤프트에 7개의 롤러들이 부착되는 반송계를 도시하였으나, 이 또한 본 발명의 기술적 사상을 개시함에 있어 하나의 예를 든것일 뿐, 결코 본 발명이 하나의 샤프트에 7개의 롤러들이 부착된 반송계에 한정되어 구현되는 것은 아니다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 반송계의 평면도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명의 반송계(100)는, 동일 수평면 상에 일정 간격으로 이격되어 배열된 다수의 샤프트들(110-1 내지 110-9)과, 다수의 샤프트들(110-1, 110-3, 110-5, 110-7, 110-9) 상에 일정 간격으로 이격되어 부착된 다수의 비전도성 롤러들(120)과, 다수의 샤프트들(110-2, 110-4, 110-6, 110-8) 상에 일정 간격으로 이격되어 부착된 다수의 전도성 롤러들(130)을 구비한다.
다수의 샤프트들(110-1 내지 110-9)은 금속 재질로 이루어지므로 전도성을 갖는다.
비전도성 롤러들(120)이 부착된 샤프트들(110-1, 110-3, 110-5, 110-7, 110-9)과 전도성 롤러들(130)이 부착된 샤프트들(110-2, 110-4, 110-6, 110-8)이 교대로 배치되되, 1:1 비율로 배치되는 것을 특징으로 한다.
즉, 도면의 오른쪽에 위치된 첫번째 샤프트(110-1)에는 비전도성 롤러들(120)이 일정 간격으로 이격되어 부착되고, 두번째 샤프트(110-2)에는 전도성 롤러들(130)이 일정 간격으로 이격되어 부착되며, 세번째 샤프트(110-3)에는 비전도성 롤러들(120)이 일정 간격으로 이격되어 부착되고, 네번째 샤프트(110-4)에는 전도성 롤러들(130)이 일정 간격으로 이격되어 부착되며, 다섯번째 샤프트(110-5)에는 비전도성 롤러들(120)이 일정 간격으로 이격되어 부착되고, 여섯번째 샤프트(110-6)에는 전도성 롤러들(130)이 일정 간격으로 이격되어 부착되며, 일곱번째 샤프트(110-7)에는 비전도성 롤러들(120)이 일정 간격으로 이격되어 부착되고, 여덟번째 샤프트(110-8)에는 전도성 롤러들(130)이 일정 간격으로 이격되어 부착되며, 그리고 아홉번째 샤프트(110-9)에는 비전도성 롤러들(120)이 일정 간격으로 이격되어 부착된다.
여기서, 비전도성 롤러들(120)은 기판과의 마찰시 발생되는 정전기를 양극(+)으로 대전시키는 반면에, 전도성 롤러들(130)은 기판과의 마찰시 발생되는 정전기를 음극(-)으로 대전시킨다.
따라서, 본 발명은 도면에서와 같이 비전도성 롤러들(120)과 전도성 롤러들(130)을 교대로 배치함으로써, 비전도성 롤러들(120)에 의해 양극(+)으로 대전된 정전기와 전도성 롤러들(130)에 의해 음극(-)으로 대전된 정전기가 서로 상쇄되도록 한다.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 반송계의 평면도이다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 반송계(200)는, 동일 수평면 상에 일정 간격으로 이격되어 배열된 다수의 샤프트들(210-1 내지 210-9)과, 다수의 샤프트들(210-1, 210-4, 210-7) 상에 일정 간격으로 이격되어 부착된 다수의 비전도성 롤러들(220)과, 다수의 샤프트들(210-2, 210-3, 210-5, 210-6, 210-8, 210-9) 상에 일정 간격으로 이격되어 부착된 다수의 전도성 롤러들(230)을 구비한다.
다수의 샤프트들(210-1 내지 210-9)은 금속 재질로 이루어지므로 전도성을 갖는다.
비전도성 롤러들(220)이 부착된 샤프트들(210-1, 210-4, 210-7)과 전도성 롤러들(230)이 부착된 샤프트들(210-2, 210-3, 210-5, 210-6, 210-8, 210-9)이 교대로 배치되되, 1:2 비율로 배치되는 것을 특징으로 한다.
즉, 도면의 왼쪽에 위치된 첫번째 샤프트(210-1)에는 비전도성 롤러들(220)이 일정 간격으로 이격되어 부착되고, 두번째 샤프트(210-2)와 세번째 샤프트(210-3)에는 전도성 롤러들(230)이 일정 간격으로 이격되어 부착되며, 네번째 샤프트(210-4)에는 비전도성 롤러들(220)이 일정 간격으로 이격되어 부착되고, 다섯번째 샤프트(210-5)와 여섯번째 샤프트(210-6)에는 전도성 롤러들(230)이 일정 간격으로 이격되어 부착되며, 일곱번째 샤프트(210-7)에는 비전도성 롤러들(220)이 일정 간격으로 이격되어 부착되고, 그리고 여덟번째 샤프트(210-8)와 아홉번째 샤프트(210-9)에는 전도성 롤러들(230)이 일정 간격으로 이격되어 부착된다.
여기서, 비전도성 롤러들(220)은 기판과의 마찰시 발생되는 정전기를 양극(+)으로 대전시키고 전도성 롤러들(230)은 기판과의 마찰시 발생되는 정전기를 음극(-)으로 대전시키되, 동일한 갯수의 비전도성 롤러들(220)과 전도성 롤러들(230)에 의해 정전기가 양극(+)과 음극(-)으로 대전될 경우 양극(+)으로 대전되는 정전기량이 음극(-)으로 대전되는 정전기량보다 2배 정도 많은 특징이 있다.
예를 들면, 첫번째 샤프트(210-1)에 부착된 7개의 비전도성 롤러들(220)에 의해 양극(+)으로 대전되는 정전기량은 두번째 샤프트(210-2)에 부착된 7개의 전도성 롤러들(230)에 의해 음극(-)으로 대전되는 정전기량이나 세번째 샤프트(210-3) 에 부착된 7개의 전도성 롤러들(230)에 의해 음극(-)으로 대전되는 정전기량보다 2배 정도 많으므로, 실질적으로 첫번째 샤프트(210-1)에 부착된 7개의 비전도성 롤러들(220)에 의해 양극(+)으로 대전되는 정전기량은 두번째 샤프트(210-2)에 부착된 7개의 전도성 롤러들(230)과 세번째 샤프트(210-3)에 부착된 7개의 전도성 롤러들(230)에 의해 음극(-)으로 대전되는 정전기량과 동일해진다.
이에 따라, 첫번째 샤프트(210-1)에 부착된 7개의 비전도성 롤러들(220)에 의해 양극(+)으로 대전되는 정전기가 두번째 샤프트(210-2)에 부착된 7개의 전도성 롤러들(230)에 의해 음극(-)으로 대전되는 정전기에 의해 절반 정도 상쇄된 다음 나머지 양극(+)의 정전기가 세번째 샤프트(210-3)에 부착된 7개의 전도성 롤러들(230)에 의해 음극(-)으로 대전되는 정전기에 의해 모두 상쇄되는 것이다.
이와 같이 본 발명은 비전도성 롤러들(220)과 전도성 롤러들(230)을 교대로 배치하되, 전도성 롤러에 비해 상대적으로 많은 양의 양극(+) 정전기를 대전시키는 비전도성 롤러들(220)과 비전도성 롤러에 비해 상대적으로 적은 양의 음극(-) 정전기를 대전시키는 전도성 롤러들(230)을 1:2 비율로 배치함으로써, 비전도성 롤러들(220)에 의해 양극(+)으로 대전된 정전기와 비전도성 롤러들(230)에 의해 음극(-)으로 대전된 정전기가 모두 상쇄되어 제거되도록 한다.
도 6은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 반송계의 평면도이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 반송계(300)는, 동일 수평면 상에 일정 간격으로 이격되어 배열된 다수의 샤프트들(310-1 내지 310-9)과, 다수의 샤프트들(310-1, 310-2, 310-4, 310-5, 310-7, 310-8) 상에 일정 간격으로 이격되어 부착된 다수 의 전도성 롤러들(320)과, 다수의 샤프트들(310-3, 310-6, 310-9) 상에 일정 간격으로 이격되어 부착된 다수의 비전도성 롤러들(330)을 구비한다.
다수의 샤프트들(310-1 내지 310-9)은 금속 재질로 이루어지므로 전도성을 갖는다.
전도성 롤러들(320)이 부착된 샤프트들(310-1, 310-2, 310-4, 310-5, 310-7, 310-8)과 비전도성 롤러들(330)이 부착된 샤프트들(310-3, 310-6, 310-9)이 교대로 배치되되, 2:1 비율로 배치되는 것을 특징으로 한다.
즉, 도면의 왼쪽에 위치된 첫번째 샤프트(310-1)와 두번째 샤프트(310-2)에는 전도성 롤러들(320)이 일정 간격으로 이격되어 부착되고, 세번째 샤프트(310-3)에는 비전도성 롤러들(330)이 일정 간격으로 이격되어 부착되며, 네번째 샤프트(310-4)와 다섯번째 샤프트(310-5)에는 전도성 롤러들(320)이 일정 간격으로 이격되어 부착되고, 여섯번째 샤프트(310-6)에는 비전도성 롤러들(330)이 일정 간격으로 이격되어 부착되며, 일곱번째 샤프트(310-7)와 여덟번째 샤프트(310-8)에는 전도성 롤러들(320)이 일정 간격으로 이격되어 부착되고, 그리고 아홉번째 샤프트(310-9)에는 비전도성 롤러들(330)이 일정 간격으로 이격되어 부착된다.
이에 따라, 첫번째 샤프트(310-1)에 부착된 7개의 롤러들(320)들과 두번째 샤프트(310-2)에 부착된 7개의 비전도성 롤러들(320)에 의해 음극(-)으로 대전되는 정전기가 세번째 샤프트(310-3)에 부착된 7개의 전도성 롤러들(330)에 의해 양극(-)으로 대전되는 정전기에 의해 모두 상쇄되는 것이다.
이와 같이 본 발명은 전도성 롤러들(320)과 비전도성 롤러들(330)을 교대로 배치하되, 비전도성 롤러에 비해 상대적으로 적은 양의 음극(-) 정전기를 대전시키는 전도성 롤러들(320)과 전도성 롤러에 비해 상대적으로 많은 양의 양극(+) 정전기를 대전시키는 비전도성 롤러들(330)을 2:1 비율로 배치함으로써, 전도성 롤러들(320)에 의해 음극(-)으로 대전된 정전기와 전도성 롤러들(330)에 의해 양극(+)으로 대전된 정전기가 모두 상쇄되어 제거되도록 한다.
도 7은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 반송계의 평면도이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 반송계(400)는, 도 6에 도시된 바와 같이 배열된 다수의 샤프트들(310-1 내지 310-9), 다수의 샤프트들(310-1, 310-2, 310-4, 310-5, 310-7, 310-8) 상에 일정 간격으로 이격되어 부착된 다수의 전도성 롤러들(320), 그리고 다수의 샤프트들(310-3, 310-6, 310-9) 상에 일정 간격으로 이격되어 부착된 다수의 비전도성 롤러들(330)을 구비한다.
단, 본 발명의 제 4 실시예에서는 전도성 롤러들(320)이 부착된 다수의 샤프트들(310-1, 310-2, 310-4, 310-5, 310-7, 310-8)을 접지시키는 것을 특징으로 한다.
이에 따라 전도성 롤러들(320)에 의해 음극(-)으로 대전된 정전기 중에 일부가 다수의 샤프트들(310-1, 310-2, 310-4, 310-5, 310-7, 310-8)을 통해 접지로 인가되어 소거된다.
이와 같이 전도성 롤러들(320)에 의해 음극(-)으로 대전된 정전기 중에 일부를 접지로 인가하여 소거함과 동시에 나머지 음극(-)의 정전기를 비전도성 롤러들(330)에 의해 양극(+)으로 대전된 정전기와 상쇄시켜 소거함으로써, 본 발명은 기 판의 반송 중에 발생되는 정전기를 모두 제거할 수 있는 것이다.
도 8은 본 발명의 제 5 실시예에 따른 반송계의 평면도이다.
도 8을 참조하면, 본 발명의 반송계(500)는, 도 6에 도시된 바와 같이 배열된 다수의 샤프트들(310-1 내지 310-9), 다수의 샤프트들(310-1, 310-2, 310-4, 310-5, 310-7, 310-8) 상에 일정 간격으로 이격되어 부착된 다수의 전도성 롤러들(320), 그리고 다수의 샤프트들(310-3, 310-6, 310-9) 상에 일정 간격으로 이격되어 부착된 다수의 비전도성 롤러들(330)을 구비하며, 또한 다수의 샤프트들(310-1 내지 310-9)의 상부에 이격되어 배치된 이온나이저(Ionizer)(510)를 구비한다.
이온나이저(510)는 고정된 위치에서 양(+)이온과 음(-)이온을 반송 중인 기판(520) 상에 분사한다.
이에 따라, 기판(520)의 하부에 대전된 정전기는 전도성 롤러들(320)과 비전도성 롤러들(330)에 의해 상쇄되고, 동시에 기판(520)의 상부에 대전된 정전기는 이온나이저(510)로부터 분사되는 양(+)이온과 음(-)이온에 의해 상쇄되어 소거된다.
즉, 기판(520) 상부에 대전된 정전기 중에 양극(+) 정전기는 이온나이저(510)로부터 분사된 음(-)이온에 의해 상쇄되고 음극(-) 정전기는 이온나이저(510)로부터 분사된 양(+)이온에 의해 상쇄된다.
도 9는 본 발명의 제 6 실시예에 따른 반송계의 평면도이다.
도 9를 참조하면, 본 발명의 반송계(600)는, 도 6에 도시된 바와 같이 배열된 다수의 샤프트들(310-1 내지 310-9), 접지에 접속된 다수의 샤프트들(310-1, 310-2, 310-4, 310-5, 310-7, 310-8) 상에 일정 간격으로 이격되어 부착된 다수의 전도성 롤러들(320), 그리고 다수의 샤프트들(310-3, 310-6, 310-9) 상에 일정 간격으로 이격되어 부착된 다수의 비전도성 롤러들(330)을 구비하며, 또한 다수의 샤프트들(310-1 내지 310-9)의 상부에 이격되어 배치된 이온나이저(Ionizer)(610)를 구비한다.
이온나이저(610)는 고정된 위치에서 양(+)이온과 음(-)이온을 반송 중인 기판(620) 상에 분사한다.
이에 따라, 기판(620)의 하부에 대전된 음극(-) 정전기 중에 일부는 접지로 인가되어 소거되고 나머지 음극(-) 정전기는 양극(+) 정전기와 상쇄되어 소거되고, 동시에 기판(620)의 상부에 대전된 정전기는 이온나이저(610)로부터 분사되는 양(+)이온과 음(-)이온에 의해 상쇄되어 소거된다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은, 반송계를 이용하여 기판을 반송하는 과정에서 롤러와 기판의 마찰력에 의해 발생되는 정전기를 제거함으로써, 정전기에 의해 기판 상에 형성된 데이터라인 및 게이트라인 등이 손상되는 것을 방지하고, 이로 인해 액정표시소자의 수율을 높일 수 있다.
본 발명의 기술사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술사상의 범위에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (11)

  1. 기판과의 마찰시 정전기를 양극으로 대전시키는 비전도성 재질로 이루어진 다수의 비전도성 롤러들이 일정 간격으로 이격되어 부착된 다수의 제 1 샤프트들; 및
    기판과의 마찰시 정전기를 음극으로 대전시키는 전도성 재질로 이루어진 다수의 전도성 롤러들이 일정 간격으로 이격되어 부착된 다수의 제 2 샤프트들을 구비하며,
    상기 다수의 제 1 및 제 2 샤프트들이 일정 간격으로 이격되어 동일 수평면 상에 배치되되, 상기 제 1 샤프트들과 제 2 샤프트들이 일정한 비율로 나뉘어서 교대로 배치되고,
    상기 비전도성 롤러들이 부착된 제 1 샤프트들과 상기 전도성 롤러들이 부착된 제 2 샤프트들이 교대로 배치되되, 1:1 비율, 1:2 비율, 2:1 비율 중 어느 하나로 배치되는 것을 특징으로 하는 반송계.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 전도성 롤러들이 부착된 제 2 샤프트들은 접지에 접속되는 것을 특징으로 하는 반송계.
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 상부에 대전되는 정전기를 상쇄시키기 위한 양이온과 음이온을 분사하는 이온나이저를 더 구비하되,
    상기 이온나이저는 상기 제 1 및 제 2 샤프트들의 상부에 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 반송계.
  10. 삭제
  11. 삭제
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