KR101225229B1 - Ｅｐｍａ 분석용 판상 시료 홀더 - Google Patents

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Abstract

EPMA 분석용 판상 시료 홀더에 관하여 개시한다.
본 발명인 EPMA 분석용 판상 시료 홀더는 판상의 시료를 내부에 수용하도록 상부가 개방된 홀더 몸체부와, 홀더 몸체부의 측벽을 관통하여 시료의 양측 단부 쪽으로 진퇴 구동함에 따라 시료를 양측 단부를 가압하여 고정하는 폭 방향 고정부와, 홀더 몸체부의 하부를 관통하여 시료의 하부 쪽으로 진퇴 구동함에 따라 시료의 저부를 가압하여 고정하는 높이 방향 고정부를 포함한다.

Description

ＥＰＭＡ 분석용 판상 시료 홀더{PLATE TYPE SAMPLE HOLDER FOR ELECTRON PROBE MICRO ANALYZER}
본 발명은 EPMA 분석용 판상 시료 홀더에 관한 것으로, 특히 판상의 시료에 대한 미량원소의 정성, 정량 및 분포를 분석하기 위하여 EPMA 분석을 수행할 때, 시료 분석을 안정적이고 정확하게 실시할 수 있도록 고정해주는 홀더에 관한 기술이다.
소재 내의 미량원소의 정성, 정량 및 분포를 분석하기 위하여 EPMA(Electron Probe Micro Analyzer) 분석을 실시한다.
전자총에서 가속된 전자빔을 1마이크로미터 이하의 직경으로 초점 조정하여, 잘 연마된 시료표면에 충돌시키면, 시료를 구성하고 있는 원소들로부터 원소별로 고유한 파장을 갖는 X-선이 발생한다. 이러한 X-선을 검출기로 측정하여 시료의 화학조성을 규명하는 방법이 EPMA 분석이다.
본 발명의 목적은 판상의 시료에 대한 EPMA 분석을 실시할 때, 계측 정밀도를 향상시키기 위하여 더욱 안정적이고 정확한 위치에서 판상의 시료를 고정해줄 수 있는 EPMA 분석용 판상 시료 홀더를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 EPMA 분석을 실시하기 위하여 판상의 시료를 고정할 때, 보다 자동화된 방식으로 시료의 고정을 수행할 수 있도록 한 EPMA 분석용 판상 시료 홀더를 제공함에 있다.
본 발명의 사상에 따르면, 판상의 시료를 내부에 수용하도록 상부가 개방된 홀더 몸체부; 상기 홀더 몸체부의 측벽을 관통하여 시료의 양측 단부 쪽으로 진퇴 구동함에 따라 시료를 양측 단부를 가압하여 고정하는 폭 방향 고정부; 및 상기 홀더 몸체부의 하부를 관통하여 시료의 하부 쪽으로 진퇴 구동함에 따라 시료의 저부를 가압하여 고정하는 높이 방향 고정부;를 포함하는 EPMA 분석용 판상 시료 홀더를 제공한다.
상기 홀더 몸체부는, 상부의 개방된 영역을 통해 판상의 시료를 내부에 수용하도록, 장방형 단면의 수납 구조로 이루어질 수 있다.
상기 폭 방향 고정부는, 상기 홀더 몸체부의 측벽을 관통하여 선단부가 시료의 양측 단부 쪽으로 진퇴하여 시료의 폭 방향 위치를 조절하여 고정하도록 구비된 폭 방향 리드스크류(lead screw); 및 상기 폭 방향 리드스크류의 후단부와 연결되어 회전 조작을 위해 구비되는 폭 방향 회전 탭;을 포함한다.
여기서, 상기 폭 방향 고정부는, 상기 폭 방향 회전 탭 대신에 상기 폭 방향 리드스크류의 후단부와 축 연결되어 회전력을 제공하는 폭 방향 전동모터를 더 포함할 수 있다.
상기 높이 방향 고정부는, 상기 홀더 몸체부의 하부를 관통하여 선단부가 시료의 하부 쪽으로 진퇴하여 시료의 높이 방향 위치를 조절하여 고정하도록 구비된 높이 방향 리드스크류; 및 상기 높이 방향 리드스크류의 후단부와 연결되어 회전 조작을 위해 구비되는 높이 방향 회전 탭;을 더 포함한다.
여기서, 상기 높이 방향 고정부는, 상기 높이 방향 회전 탭 대신에 상기 높이 방향 리드스크류의 후단부와 축 연결되어 회전력을 제공하는 높이 방향 전동모터를 더 포함할 수 있다.
한편, 상기 폭 방향 전동모터 또는 상기 높이 방향 전동모터에 전기적인 신호를 인가하여 상기 폭 방향 전동모터의 ON/OFF 및 정/역 방향 회전을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
그리고 사용자로부터 동작 지령을 입력받아 상기 제어부를 통해 상기 폭 방향 전동모터 또는 상기 높이 방향 전동모터의 ON/OFF 및 정/역 방향 회전 작동을 조절하는 조작스위치를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 또 하나의 사상에 따르면, 판상의 시료를 내부에 수용하도록 상부가 개방되며, 측벽이 상호 대향하는 방향으로 이송 가능한 이동식 측벽을 구비하는 홀더 몸체부; 상기 이동식 측벽의 외면에 연결되어 진퇴 구동함에 따라 상기 이동식 측벽의 내면이 시료의 양측 단부를 가압하여 고정하는 폭 방향 고정부; 및 상기 홀더 몸체부의 하부를 관통하여 시료의 하부 쪽으로 진퇴 구동함에 따라 시료의 저부를 가압하여 고정하는 높이 방향 고정부;를 포함하는 EPMA 분석용 판상 시료 홀더를 제공한다.
이때, 상기 이동식 측벽은, 상기 홀더 몸체부의 바닥 상단부에 구비된 가이드 홈을 따라 서로 마주하는 한 쌍이 상호 대향하는 방향으로 직진 이송하되, 각각의 하단부는 상기 홀더 몸체부로부터 이탈하지 않도록 구속 연결될 수 있다.
여기서, 상기 폭 방향 고정부는, 상기 홀더 몸체부의 바닥 상단부를 관통하여 선단부가 상기 이동식 측벽의 하단부까지 연결되되, 회전에 따라 진퇴 구동하여 상기 이동식 측벽이 시료의 양측 단부를 가압하도록 하여, 시료의 폭 방향 위치를 조절하여 고정하도록 구비된 폭 방향 리드스크류(lead screw)를 포함한다.
본 발명인 EPMA 분석용 판상 시료 홀더에 의하면, 판상의 시료에 대한 EPMA 분석 시, 시료의 안정적인 위치 고정 상태를 지속적으로 유지할 수 있는 효과가 따른다.
또한, 본 발명인 EPMA 분석용 판상 시료 홀더에 의하면, 판상의 시료를 고정하기 위하여 시료의 노출 영역을 가리지 않으므로, 데드 스페이스(dead space)를 발생시키지 않아 시료 전 영역에 대한 계측 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명인 EPMA 분석용 판상 시료 홀더에 의하면, 작업자로 하여금 판상의 시료를 고정하는 작업을 간단하고 신속하게 수행할 수 있도록 해줌으로써, 작업 편의성을 향상시키는 효과가 따른다.
또한, 본 발명인 EPMA 분석용 판상 시료 홀더에 의하면, 판상의 시료를 고정하는 작업을 자동화 방식으로 구현할 수 있어, 분석자의 수고를 덜어주는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 EPMA 분석용 판상 시료 홀더를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 EPMA 분석용 판상 시료 홀더에 자동화 동작 구현을 위한 추가 구성을 포함시킨 모습을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 EPMA 분석용 판상 시료 홀더를 이용하여 판상의 시료를 고정하는 동작을 단계별로 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 EPMA 분석용 판상 시료 홀더를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 EPMA 분석용 판상 시료 홀더를 이용하여 판상의 시료를 고정하는 동작을 단계별로 도시한 도면이다.
본 발명의 이점 및 특성, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다.
그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 의해 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
또한, 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기술 등이 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있다고 판단되는 경우 그에 관한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
이하, 본 발명의 바람직한 제1 및 제2실시예에 따른 EPMA 분석용 판상 시료 홀더에 대해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
제1실시예
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 EPMA 분석용 판상 시료 홀더를 개략적으로 도시한 도면이며, 도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 EPMA 분석용 판상 시료 홀더에 자동화 동작 구현 기능을 위한 구성을 포함한 도면이다.
이러한 도 1 및 도 2는 본 발명을 개념적으로 명확히 이해하기 위하여, 주요 특징되는 부분만을 분명하게 도시한 것이다. 따라서 도해의 다양한 변형이 예상되며, 여기에 도시된 특정 형상에 의해 본 발명의 범위가 제한될 필요는 없다.
도시된 판상 시료 홀더는, 판상의 시료(S)를 수용하도록 형성된 홀더 몸체부(110)와, 홀더 몸체부의 측벽을 관통하여 진퇴함에 따라 시료(S)의 양측을 고정하는 폭 방향 고정부(120, 120′) 및 홀더 몸체부의 하부를 관통하여 진퇴함에 따라 시료(S)의 하부를 지지하는 높이 방향 고정부(130)를 포함한다.
도 1의 (a)를 살펴보면, 홀더 몸체부(110)와 그 내측에 수용되는 판상의 시료(S)의 위치 관계를 확인할 수 있다.
홀더 몸체부(110)는, 판상의 시료를 상하로 수납할 수 있도록 상부가 개방된 박스 형태로 이루어진다. 특히, 분석에 사용될 판상의 시료(S)의 형상 및 크기보다 더 큰 장방형 단면 구조를 가질 수 있다.
예시적으로, 흔히 이용되는 판상의 시료(S) 규격은 두께가 5 ~ 10mm 정도이며, 가로 X 세로가 90 ~ 100mm X 40 ~ 50mm 인 경우가 많다. 이러한 시료의 규격에 대비하여 홀더 몸체부(110)의 수용공간은 더 크게 형성되도록 해준다. 그 결과 판상의 시료는 소정의 크기 변화에도 무관하게 홀더 몸체부(110)의 내측으로 용이하게 수납될 수 있다.
그리고 도 1의 (a)의 경우에는 폭 방향 고정부(도 1의 (b)에서 도면부호 120, 120′)가 홀더 몸체부(110)의 양측 벽체에만 구비되어 있는 것으로 도시되어 있으나, 이는 설명의 편의를 위해 간략히 도시한 것이다.
따라서 더욱 바람직하게는 홀더 몸체부(110)의 전후 벽체에도 구비되는 것이 좋다. 즉, 폭 방향 고정부는 홀더 몸체부(110)의 4개의 측벽 각각에 적어도 하나씩 구비될 수 있다.
다음으로, 도 1의 (b)를 참조하여, 폭 방향 고정부(120, 120′) 및 높이 방향 고정부(130)의 구조 및 작동 관계를 구체적으로 살펴보기로 한다.
도시된 바와 같이, 폭 방향 고정부(120, 120′)는, 홀더 몸체부(110)의 측벽을 관통하여 시료(S)의 양측 단부 쪽으로 진퇴 구동하여 시료(S)의 측면을 가압 고정하는 구성이다.
이를 위해, 상기 폭 방향 고정부(120, 120′)는 홀더 몸체부(110)의 측벽을 관통하여 진퇴 구동하는 폭 방향 리드스크류(122, 122′)와, 각각의 리드스크류의 후단부와 연결되어 회전 조작을 위해 구비되는 폭 방향 회전 탭(124, 124′)을 포함한다.
폭 방향 리드스크류(122, 122′)는 도시된 바와 같이 홀더 몸체부(110) 내에서 서로 대향하는 측벽을 관통하여 한 쌍이 내측 방향으로 진입되거나 또는 외측 방향으로 퇴출되는 작동 형태를 가진다. 특히, 폭 방향 리드스크류는, 관용의 리드스크류와 같이 회전에 연동하여 진퇴되는 거리 및 방향이 정해지는 부재로서, 소정 직경을 갖는 축 외주면에 나사산이 형성된 부재를 말한다.
폭 방향 회전 탭(124, 124′)은 상기 폭 방향 리드스크류의 진퇴 조절을 위하여 회전시킬 때, 작업자의 파지 편의성을 확보하기 위하여 구비한 부재이다.
이러한 세부 구성을 갖는 폭 방향 고정부(120, 120′)는 양측에서의 회전 조작에 따라 폭 방향 리드스크류(122, 122′)가 시료(S)의 양측 단부로 근접하여 진입되거나 또는 시료(S)의 양측 단부로부터 멀어지는 방향으로 후퇴 조절된다.
그 결과, 폭 방향 리드스크류((122, 122′) 각각의 선단부는 시료(S)의 폭 방향 위치를 조절해줌은 물론, 설정된 위치에서 시료(S)의 폭 방향 위치를 고정해준다.
특히, 폭 방향 리드스크류(122, 122′)의 회전 조작은 사용자의 수작업을 통해서도 가능해 질 수 있으나, 이와 달리 자동화 방식으로도 구현되어 질 수 있다. 이를 위해선, 상기 폭 방향 회전 탭(124, 124′) 대신에 전동모터가 이용될 수 있다. 이에 관한 설명은 도 2에서 살펴보기로 한다.
높이 방향 고정부(130)는, 홀더 몸체부(110)의 하부를 관통하여 시료(S)의 하부 쪽으로 진퇴 구동하여 시료(S)의 하부면을 지지하여 위치 고정하는 구성이다.
이를 위해, 상기 높이 방향 고정부(130)는, 홀더 몸체부(110)의 하부를 관통하여 승, 하강되는 방향으로 진퇴 구동하는 높이 방향 리드스크류(132)와, 이러한 높이 방향 리드스크류(132)의 후단부에 연결되어 회전 조작 시 파지되는 높이 방향 회전 탭(134)을 포함한다.
나아가, 여기서의 높이 방향 리드스크류(132)는 직경이 작은 축 부재이므로, 판상의 시료(S)에 대해 하부 지지가 안정적으로 이루어지기 힘들다. 따라서 높이 방향 리드스크류(132)의 선단부에는 역상의 원뿔 받침대(136)가 더 구비되는 것이 바람직하다. 다시 말해서, 원뿔 받침대(136)의 평탄면이 판상의 시료(S)의 하부면을 접촉 지지해줌으로써, 시료(S)의 안착 상태가 안정적으로 구현될 수 있다.
또한, 이러한 높이 방향 리드스크류(132)가 관통 체결되는 홀더 몸체부(110)의 하측에는 덧댐 부재(138)가 더 구비될 수 있다. 이를 통해, 상기 높이 방향 리드스크류(132)의 진퇴 조절 시 흔들림에 의한 좌우 유격 발생이 억제될 수 있어, 안정적인 시료의 안착 상태를 유지할 수 있다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 EPMA 분석용 판상 시료 홀더에 자동화 동작 구현을 위한 추가 구성을 포함시킨 모습을 도시한 도면이다.
도시된 바와 같이, 자동화 동작 구현을 위한 추가 구성으로서, 폭 방향 고정부(120, 120′) 및 높이 방향 고정부(130)의 구성 중에서 전술된 폭 방향 회전 탭(124, 124′) 및 높이 방향 회전 탭(134) 대신에, 폭 방향 전동모터(125, 125′) 및 높이 방향 전동모터(135)가 추가 구성된 것을 확인할 수 있다.
여기서, 폭 방향 전동모터(125, 125′) 및 높이 방향 전동모터(135)는 모두 전기적인 신호를 인가받아 회전 구동이 제어되는 구동 수단으로서, 이러한 구동 수단을 제어하는 구성으로서 제어부(140)를 더 포함할 수 있다.
그리고 이러한 제어부(140)는 사용자로부터 동작 지령을 입력받아 상기 제어부를 통해 상기 폭 방향 전동모터 또는 상기 높이 방향 전동모터의 ON/OFF 및 정/역 방향 회전 작동을 조절하는 조작스위치(150)를 더 포함할 수 있다.
도시된 바와 같이 제어부(140)는, 별도의 세부 구성으로서, 폭 방향 전동모터(125, 125′)의 구동을 제어하는 폭 방향 구동제어부(142) 및 높이 방향 전동모터(135)의 구동을 제어하는 높이 방향 구동제어부(144)를 포함할 수 있다.
이로써, 사용자로부터 동작 지령을 입력받아 전동 방식으로 판상의 시료(S)를 폭 및 높이 방향으로 고정할 수 있어, EPMA 분석 시 시료의 안정적인 고정 상태를 자동화 방식으로 구현할 수 있다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 EPMA 분석용 판상 시료 홀더를 이용하여 판상의 시료를 고정하는 동작을 단계별로 도시한 도면이다.
도 3을 참조하여, 본 발명의 제1실시예에 따른 EPMA 분석용 판상 시료 홀더를 이용하여 시료(S)를 고정하는 동작을 단계별로 확인할 수 있다.
먼저, 도 3의 (a)를 살펴보면, 홀더 몸체부(110)의 내부 수용공간으로 판상의 시료(S)를 수납하여 안착시킨다. 이때, 높이 방향 고정부(130)를 승강시켜 판상의 시료(S)의 높이 방향 위치를 조절한다.
다음으로, 도 3의 (b)를 살펴보면, 판상의 시료(S)의 높이 방향 위치가 조절된 상태에서, 폭 방향 고정부(120)를 시료의 양측 단부로 가압시켜 판상의 시료(S)를 고정해준다.
끝으로, 도 3의 (c)를 살펴보면, 판상의 시료(S)가 홀더 몸체부(110)의 내측에서 폭 및 높이 방향으로 견고하게 고정되며, 나아가 사용자가 설정하는 위치로 높이가 승강 조절된 모습을 확인할 수 있다. 이와 같은 과정을 통해 판상의 시료(S)는 EPMA 분석에 이용될 수 있다.
제2실시예
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 EPMA 분석용 판상 시료 홀더를 개략적으로 도시한 도면이다.
여기서, 도 4에 도시된 본 발명의 제2실시예는 전술된 제1실시예와 다른 구조의 홀더 몸체부(210) 및 폭 방향 고정부(220, 220′)를 포함하며, 그 외의 높이 방향 고정부(230)의 구성은 전술된 제1실시예와 동일하다.
따라서 서로 구별되는 홀더 몸체부(210) 및 폭 방향 고정부(220, 220′)의 특징적 기능 및 구조 위조로 설명하고, 중복되는 구성에 대한 설명은 생략하기로 한다.
도 4를 참조하면, 도시된 본 발명의 제2실시예에 다른 EPMA 분석용 판상 시료 홀더는, 제1실시예와 동일한 구성인 높이 방향 고정부(230) 이외에, 홀더 몸체부(210)의 상부면상에서, 상호 대향하는 방향으로 이송 가능하게 구비되는 이동식 측벽(221, 221′)과, 이를 진퇴 구동시켜 판상의 시료(S)를 폭 방향으로 고정해주는 폭 방향 고정부(220, 220′)를 포함한다.
특히, 이동식 측벽(221, 221′)은, 홀더 몸체부(210)의 양측면의 측벽을 형성하는 부위로서, 본 제2실시예의 경우, 홀더 몸체부(210)의 상부면을 통해 상호 접근하거나 또는 상호 이격되는 방향으로 직진 이송되는 형태로 이루어진다.
그리고 폭 방향 고정부(220, 220′)는 상기 이동식 측벽(221, 221′)의 외면에 각각 연결되어 진퇴 구동함에 따라 이동식 측벽(221, 221′)의 내면이 시료(S)의 양측 단부를 가압하여 시료(S)를 폭 방향으로 고정해준다.
이를 위해, 이동식 측벽(221, 221′)은 홀더 몸체부(210)의 바닥 상단부에 구비된 가이드 홈(212)을 따라 서로 마주하는 한 쌍이 상호 대향하는 방향을 직진 이송될 수 있도록 구성한다. 그리고 이동식 측벽(221, 221′) 각각의 하단부는 홀더 몸체부(210)로부터 분리 이탈되지 않도록 위치를 구속한다.
이러한 실시예에서, 폭 방향 고정부(220)를 구성하는 폭 방향 리드스크류(222, 222′)는 각각 홀더 몸체부(210)의 바닥 상단부를 관통하도록 내장 형성될 수 있다. 이어서, 폭 방향 리드스크류(222, 222′) 각각의 선단부는 이동식 측벽(221, 221′)의 하단부까지 연결될 수 있다.
그 결과 폭 방향 리드스크류(222, 222′)의 회전에 따라 이동식 측벽(221, 221′)은 접근하거나 멀어지는 방향으로 진퇴 구동하게 되며, 이동식 측벽(221, 221′)이 시료의 양측 단부를 가압할 때, 시료(S)의 폭 방향 고정이 이루어지게 된다.
이 외에, 자동화 구현에 필요한 추가 구성으로서, 도 4를 통해 확인할 수 있듯이 제어부(240) 및 조작스위치(250)가 포함될 수 있으며, 이에 관한 설명은 전술한 본 발명의 제1실시예와 동일하므로 중복 설명을 생략하기로 한다.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 EPMA 분석용 판상 시료 홀더를 이용하여 판상의 시료를 고정하는 동작을 단계별로 도시한 도면이다.
도 5를 참조하여, 본 발명의 제2실시예에 따른 EPMA 분석용 판상 시료 홀더를 이용하여 시료(S)를 고정하는 동작을 단계별로 확인할 수 있다.
먼저, 도 5의 (a)를 살펴보면, 홀더 몸체부(210)의 내부 수용공간으로 판상의 시료(S)를 수납하여 안착시킨다. 이때, 높이 방향 고정부(230)를 승강시켜 판상의 시료(s)에 대한 높이 방향 위치를 설정한다.
다음으로, 도 5의 (b)를 살펴보면, 판상의 시료(S)의 높이 방향 위치가 조절된 상태에서, 폭 방향 고정부(220)를 진퇴 구동시켜 이와 연결된 이동식 측벽으로 하여금 판상의 시료(S)를 가압 고정시킨다.
끝으로, 도 5의 (c)를 살펴보면, 판상의 시료(S)가 상호 접근된 방향으로 이동된 이동식 측벽에 의해 고정된 모습을 확인할 수 있다. 이와 같은 과정을 통해 판상의 시료(S)는 EPMA 분석에 이용될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 EPMA 분석용 판상 시료 홀더에 관한 것으로서, 특히 판상의 시료에 대한 미량원소의 정성, 정량 및 분포를 분석하기 위하여 EPMA 분석을 수행하는 데 사용되는 것이다.
본 발명인 EPMA 분석용 판상 시료 홀더에 의하면, 판상의 시료에 대한 EPMA 분석 시, 시료의 안정적인 위치 고정 상태를 지속적으로 유지할 수 있는 효과가 따른다.
또한, 본 발명인 EPMA 분석용 판상 시료 홀더에 의하면, 판상의 시료를 고정하기 위하여 시료의 노출 영역을 가리지 않으므로, 데드 스페이스(dead space)를 발생시키지 않아 시료 전 영역에 대한 계측 정밀도를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명인 EPMA 분석용 판상 시료 홀더에 의하면, 작업자로 하여금 판상의 시료를 고정하는 작업을 간단하고 신속하게 수행할 수 있도록 해줌으로써, 작업 편의성을 향상시키는 효과가 따른다.
또한, 본 발명인 EPMA 분석용 판상 시료 홀더에 의하면, 판상의 시료를 고정하는 작업을 자동화 방식으로 구현할 수 있어, 분석자의 수고를 덜어주는 장점이 있다.
이상으로 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 EPMA 분석용 판상 시료 홀더에 관하여 상세하게 살펴보았다.
전술된 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 본 발명의 범위는 전술된 상세한 설명보다는 후술될 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 그 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
S: 시료
110: 홀더 몸체부
120: 폭 방향 고정부
130: 높이 방향 고정부
140: 제어부
142: 폭 방향 구동제어부
144: 높이 방향 구동제어부
150: 조작스위치

Claims (11)

  1. 상부가 개방되고, 판상의 시료의 둘레를 에워싸도록 상기 시료를 내부에 수용하는 홀더 몸체부;
    상기 홀더 몸체부의 측벽을 관통하여 시료의 양측 단부 쪽으로 진퇴 구동함에 따라 시료의 측면을 가압하여 고정하는 폭 방향 고정부; 및
    상기 홀더 몸체부의 하부를 관통하여 시료의 하부 쪽으로 진퇴 구동함에 따라 시료의 하부를 가압하여 고정하는 높이 방향 고정부;를 포함하고,
    상기 높이 방향 고정부는, 상기 홀더 몸체부의 하부를 관통하여 선단부가 시료의 하부 쪽으로 진퇴하여 시료의 높이 방향 위치를 조절하여 고정하도록 구비된 높이 방향 리드스크류와, 상기 높이 방향 리드스크류의 후단부와 연결되어 회전 조작을 위해 구비되는 높이 방향 회전 탭과, 상기 리드스크류의 선단부에 구비되는 역상의 원뿔 받침대를 구비하고, 상기 역상의 원뿔 받침대의 평탄면이 상기 시료의 하부면을 접촉 지지하는 것을 특징으로 하는 EPMA 분석용 판상 시료 홀더.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 홀더 몸체부는,
    상부의 개방된 영역을 통해 판상의 시료를 내부에 수용하도록, 장방형 단면의 수납 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 EPMA 분석용 판상 시료 홀더.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 폭 방향 고정부는,
    상기 홀더 몸체부의 측벽을 관통하여 선단부가 시료의 양측 단부 쪽으로 진퇴하여 시료의 폭 방향 위치를 조절하여 고정하도록 구비된 폭 방향 리드스크류(lead screw); 및
    상기 폭 방향 리드스크류의 후단부와 연결되어 회전 조작을 위해 구비되는 폭 방향 회전 탭;을 포함하는 것을 특징으로 하는 EPMA 분석용 판상 시료 홀더.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 폭 방향 고정부는,
    상기 폭 방향 회전 탭 대신에 상기 폭 방향 리드스크류의 후단부와 축 연결되어 회전력을 제공하는 폭 방향 전동모터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 EPMA 분석용 판상 시료 홀더.
  5. 삭제
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 높이 방향 고정부는,
    상기 높이 방향 회전 탭 대신에 상기 높이 방향 리드스크류의 후단부와 축 연결되어 회전력을 제공하는 높이 방향 전동모터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 EPMA 분석용 판상 시료 홀더.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 폭 방향 전동모터 또는 상기 높이 방향 전동모터에 전기적인 신호를 인가하여 상기 폭 방향 전동모터의 ON/OFF 및 정/역 방향 회전을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 EPMA 분석용 판상 시료 홀더.
  8. 제 7 항에 있어서,
    사용자로부터 동작 지령을 입력받아 상기 제어부를 통해 상기 폭 방향 전동모터 또는 상기 높이 방향 전동모터의 ON/OFF 및 정/역 방향 회전 작동을 조절하는 조작스위치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 EPMA 분석용 판상 시료 홀더.
  9. 상부가 개방되고, 판상의 시료의 둘레를 에워싸도록 상기 시료를 내부에 수용하고, 판상의 시료를 내부에 수용하도록 상부가 개방되며, 측벽이 상호 대향하는 방향으로 이송 가능한 이동식 측벽을 구비하는 홀더 몸체부;
    상기 이동식 측벽의 외면에 연결되어 진퇴 구동함에 따라 상기 이동식 측벽의 내면이 시료의 양측 단부를 가압하여 고정하는 폭 방향 고정부; 및
    상기 홀더 몸체부의 하부를 관통하여 시료의 하부 쪽으로 진퇴 구동함에 따라 시료의 저부를 가압하여 고정하는 높이 방향 고정부;를 포함하고,
    상기 높이 방향 고정부는, 상기 홀더 몸체부의 하부를 관통하여 선단부가 시료의 하부 쪽으로 진퇴하여 시료의 높이 방향 위치를 조절하여 고정하도록 구비된 높이 방향 리드스크류와, 상기 높이 방향 리드스크류의 후단부와 연결되어 회전 조작을 위해 구비되는 높이 방향 회전 탭과, 상기 리드스크류의 선단부에 구비되는 역상의 원뿔 받침대를 구비하고, 상기 역상의 원뿔 받침대의 평탄면이 상기 시료의 하부면을 접촉 지지하는 것을 특징으로 하는 EPMA 분석용 판상 시료 홀더.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 이동식 측벽은,
    상기 홀더 몸체부의 바닥 상단부에 구비된 가이드 홈을 따라 서로 마주하는 한 쌍이 상호 대향하는 방향으로 직진 이송하되, 각각의 하단부는 상기 홀더 몸체부로부터 이탈하지 않도록 구속 연결되는 것을 특징으로 하는 EPMA 분석용 판상 시료 홀더.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 폭 방향 고정부는,
    상기 홀더 몸체부의 바닥 상단부를 관통하여 선단부가 상기 이동식 측벽의 하단부까지 연결되되, 회전에 따라 진퇴 구동하여 상기 이동식 측벽이 시료의 양측 단부를 가압하도록 하여, 시료의 폭 방향 위치를 조절하여 고정하도록 구비된 폭 방향 리드스크류(lead screw)를 포함하는 것을 특징으로 하는 EPMA 분석용 판상 시료 홀더.
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