KR101222985B1 - Organic Emtting Device - Google Patents

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KR101222985B1
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Abstract

본 발명은 빛의 광량 및 색재현율이 개선된 유기 발광 소자에 관한 것으로, 본 발명의 유기 발광 소자는 복수개의 서브픽셀 영역을 구비하며, 각 서브픽셀마다 구동 영역과 발광 영역을 포함하는 투명 기판과, 상기 각 서브픽셀의 구동 영역에 형성된 박막 트랜지스터와, 상기 각 발광 영역에 대응되어 형성된 유기 발광층과, 상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되어 상기 유기 발광층 하측에 형성되며, 투명한 제 1 전극과, 상기 유기 발광층 상측에 형성된 제 2 전극과, 상기 제 1 전극 하측과 상기 투명 기판 사이에 형성되는 투명 무기 절연막 및 상기 투명 기판에 대향되며 상기 제 2 전극 상측에 위치하는 대향 기판을 포함하여 이루어짐을 특징으로 한다.The present invention relates to an organic light emitting device having improved light quantity and color reproducibility. The organic light emitting device includes a transparent substrate including a plurality of subpixel regions, each of which includes a driving region and a light emitting region. A thin film transistor formed in the driving region of each subpixel, an organic light emitting layer formed corresponding to each of the light emitting regions, a first electrode which is formed under the organic light emitting layer and is electrically connected to the thin film transistor, And a second inorganic electrode formed above the emission layer, a transparent inorganic insulating layer formed between the lower side of the first electrode and the transparent substrate, and an opposite substrate facing the transparent substrate and positioned above the second electrode. .

유기 발광 소자, 마이크로 캐버티(micro cavity), 버퍼층(buffter layer), 투명 전극 Organic light emitting device, micro cavity, buffer layer, transparent electrode

Description

유기 발광 소자{Organic Emtting Device}Organic Emitting Device

도 1은 종래의 유기 발광 소자 및 이의 발광 상태를 나타낸 단면도1 is a cross-sectional view showing a conventional organic light emitting device and a light emitting state thereof

도 2는 본 발명의 유기 발광 소자 및 이의 발광 상태를 나타낸 단면도2 is a cross-sectional view showing an organic light emitting device and a light emission state thereof of the present invention

도 3은 본 발명의 유기 발광 소자를 나타낸 단면도3 is a cross-sectional view showing an organic light emitting device of the present invention.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 소자를 나타내는 단면도4 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode according to another exemplary embodiment of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*Description of the Related Art [0002]

100 : 투명 기판 111 : 제 1 산화막100 transparent substrate 111 first oxide film

112 : 제 2 산화막 113 : 질화막112: second oxide film 113: nitride film

114 : 제 3 산화막 115 : 제 1 전극114: third oxide film 115: first electrode

116 : 유기 발광층 117 : 제 2 전극116 organic light emitting layer 117 second electrode

본 발명은 유기 발광 소자에 관한 것으로 특히, 빛의 광량 및 색재현율이 개선된 유기 발광 소자에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting device, and more particularly, to an organic light emitting device having improved light quantity and color reproducibility.

평판 디스플레이 중 하나인 유기 전계 발광 소자는 자체 발광형이기 때문에, 액정 표시 장치에 비해 시야각, 콘트라스트(contrast) 등이 우수하며, 백라이트가 요구되지 않기 때문에, 경량 박형이 가능하고, 소비 전력 측면에서도 유리하다.One of the flat panel displays is an organic electroluminescent element, which is self-luminous, and thus has a better viewing angle, contrast, and the like than a liquid crystal display. Do.

그리고, 직류 저전압 구동이 가능하고, 응답 속도가 빠르며 전부 고체이기 때문에, 외부 충격에 강하고 사용 온도 범위도 넓으며, 특히 제조 비용 측면에서도 저렴한 장점을 가지고 있다. 특히, 유기 전계 발광 소자의 제조 공정에는, 액정 표시 장치나, PDP(Plasma Display Panel)과 달리 증착 및 봉지(encapsulation) 장비가 전부라고 할 수 있기 때문에, 공정이 매우 단순하다.In addition, since DC low voltage driving is possible, the response speed is fast, and all solid, it is resistant to external shock and has a wide range of use temperature, and in particular, has a low cost in terms of manufacturing cost. In particular, in the manufacturing process of the organic EL device, unlike the liquid crystal display device and the plasma display panel (PDP), since deposition and encapsulation equipment are all, the process is very simple.

또한, 각 화소마다 스위칭 소자인 박막 트랜지스터를 가지는 액티브 매트릭스 방식으로 유기 전계 발광 소자를 구동하게 되면 낮은 전류를 인가하더라도 동일한 휘도를 나타내므로, 저소비 전력, 고정세, 대형화가 가능한 장점을 지닌다.In addition, when the organic EL device is driven by an active matrix method having a thin film transistor as a switching element for each pixel, the same luminance is displayed even when a low current is applied, and thus, low power consumption, high definition, and large size can be obtained.

이러한 유기 전계 발광 소자는 전자 및 정공 등의 캐리어를 이용하여 형광물질을 여기시킴으로써 비디오 영상을 표시하게 된다.The organic electroluminescent device displays a video image by exciting a fluorescent material using carriers such as electrons and holes.

한편, 이러한 유기 전계 발광 소자의 구동방식으로는 별도의 박막트랜지스터를 구비하지 않는 패시브 매트릭스 방식(Passive matrix type)이 주로 이용되고 있다.On the other hand, a passive matrix type (Passive matrix type) that does not have a separate thin film transistor is mainly used as a driving method of the organic EL device.

그러나, 패시브 매트릭스 방식은 해상도나 소비 전력, 수명 등에 많은 제한적인 요소를 가지고 있기 때문에, 고해상도나 대화면을 요구하는 차세대 디스플레이 제조를 위한 액티브 매트릭스형 유기 전계 발광 소자에 대해 연구 개발되고 있다.However, since the passive matrix method has many limited elements such as resolution, power consumption, and lifespan, active matrix organic electroluminescent devices for manufacturing next-generation displays requiring high resolution and large screens have been researched and developed.

한편, 상기 유기 전계 발광 소자는 발광층을 상하부 기판 상에 어디에 위치시키는지에 따라 하부 발광 방식 혹은 상부 발광 방식으로 구분하며, 상부 발광 방 식의 경우 액티브 매트릭스형으로 구현시 박막 트랜지스터 어레이를 하부 기판 상에 배치하고, 발광층을 상부 기판 상에 위치시킬 경우, 이를 듀얼 플레이트 유기 전계 발광 소자(DOD: Dual plate Organic Electro-luminescence Device)라 한다.Meanwhile, the organic electroluminescent device is classified into a bottom emission method or a top emission method according to where the light emitting layer is positioned on the upper and lower substrates. In the case of the upper emission method, the thin film transistor array is formed on the lower substrate when the active matrix is formed. When the light emitting layer is disposed on the upper substrate, this is referred to as a dual plate organic electroluminescence device (DOD).

이하, 첨부된 도면을 참조하여 종래의 유기 발광 소자를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a conventional organic light emitting diode will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래의 유기 발광 소자 및 이의 발광 상태를 나타낸 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a conventional organic light emitting device and a light emitting state thereof.

도 1에 도시된 유기 발광 소자는 하부 발광 소자를 나타낸 것으로, 발광층이 형성된 부분의 단면을 나타낸다. 도 1과 같이, 발광 영역에서는 하부 기판(10) 상에 발광층(12)의 하측과 상부에 제 1, 제 2 전극(11, 14)이 형성되어 있다. The organic light emitting device shown in FIG. 1 shows a lower light emitting device and shows a cross section of a portion where a light emitting layer is formed. As shown in FIG. 1, in the emission region, first and second electrodes 11 and 14 are formed below and above the emission layer 12 on the lower substrate 10.

여기서, 상기 제 1 전극(11)은 투명 전극이고, 상기 제 2 전극(14)은 차광 전극으로, 상기 유기 발광층(12)에 구동 신호가 인가되어 발광되면, 상기 제 1 전극(11)을 거쳐 하부 기판(10) 측으로 발광이 이루어진다.The first electrode 11 is a transparent electrode, and the second electrode 14 is a light blocking electrode. When a driving signal is applied to the organic light emitting layer 12 to emit light, the first electrode 11 passes through the first electrode 11. The light is emitted toward the lower substrate 10.

이러한 종래의 유기 발광 소자에 있어서, 상기 제 1 전극(11)은 직접 하부 기판(10)과 맞닿아 있는 상태이며, 이 상태로 표시가 이루어지는데, 이와 같이, 상기 발광층(12)을 통과한 광이 상기 제 1 전극(11)을 개재하여 하부 기판(10)을 토과하게 될 경우, 광의 진행 방향에서 간섭 효과에 의한 광량이 상쇄되는 문제가 있어, 상기 발광층(12)에서 생성되는 광량에 비해 낮은 광량이 출사됨을 관찰할 수 있다.In the conventional organic light emitting device, the first electrode 11 is in direct contact with the lower substrate 10, and the display is performed in this state. In this way, the light passing through the light emitting layer 12 is generated. When passing through the lower substrate 10 via the first electrode 11, there is a problem in that the amount of light due to the interference effect is canceled in the traveling direction of the light, which is lower than the amount of light generated in the light emitting layer 12. It can be observed that the light amount is emitted.

도시되지 않았지만, 상기 유기 발광 소자를 구동시키기 위한 박막 트랜지스터는 도시되지 않은 타 영역에 형성되어 있다.Although not shown, the thin film transistor for driving the organic light emitting element is formed in another region not shown.

상기와 같은 종래의 유기 발광 소자는 다음과 같은 문제점이 있다.The conventional organic light emitting device as described above has the following problems.

유기 발광층 하측으로 하부 발광이 이루어지는 구조의 경우, 유기 발광층 하부의 투명 전극과 기판 사이의 개재되는 막이 없는 상태에서 발광이 이루어질 경우, 광의 진행 방향의 파장성을 갖기 때문에, 부분적인 간섭에 의해 상쇄 현상이 일어나 출사되는 광량이 낮게 된다. In the case of the structure in which the lower light emission is below the organic light emitting layer, when light is emitted in a state in which there is no intervening film between the transparent electrode under the organic light emitting layer and the substrate, the light emission has a wavelength characteristic in the direction of the light, so it is offset by partial interference. This rises and the amount of light emitted is low.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 빛의 광량 및 색재현율이 개선된 유기 발광 소자를 제공하는 데, 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide an organic light emitting device having improved light quantity and color reproducibility, which are devised to solve the above problems.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 유기 발광 소자는 복수개의 서브픽셀 영역을 구비하며, 각 서브픽셀마다 구동 영역과 발광 영역을 포함하는 투명 기판과, 상기 각 서브픽셀의 구동 영역에 형성된 박막 트랜지스터와, 상기 각 발광 영역에 대응되어 형성된 유기 발광층과, 상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되어 상기 유기 발광층 하측에 형성되며, 투명한 제 1 전극과, 상기 유기 발광층 상측에 형성된 제 2 전극과, 상기 제 1 전극 하측과 상기 투명 기판 사이에 형성되는 투명 무기 절연막 및 상기 투명 기판에 대향되며 상기 제 2 전극 상측에 위치하는 대향 기판을 포함하여 이루어짐에 그 특징이 있다.The organic light emitting device of the present invention for achieving the above object has a plurality of subpixel regions, a transparent substrate including a driving region and a light emitting region for each subpixel, and a thin film formed in the driving region of each subpixel A transistor, an organic light emitting layer formed corresponding to each of the light emitting regions, a first electrode that is electrically connected to the thin film transistor and is formed below the organic light emitting layer, a second electrode formed above the organic light emitting layer, and the second It is characterized in that it comprises a transparent inorganic insulating film formed between the lower electrode and the transparent substrate and an opposite substrate facing the transparent substrate and positioned above the second electrode.

상기 투명 무기 절연막은 상기 투명 기판의 표면으로부터 차례로 제 1 산화막, 질화막(SiNx) 및 제 2 산화막(SiO2)이 적층되어 이루어진다.The transparent inorganic insulating film is formed by stacking a first oxide film, a nitride film (SiNx), and a second oxide film (SiO 2) sequentially from the surface of the transparent substrate.

상기 질화막은 700~4500Å의 두께로 형성된다.The nitride film is formed to a thickness of 700 ~ 4500Å.

상기 제 1 산화막은 복수개의 층으로 이루어진다. 여기서, 상기 1 산화막은 이층의 산화막으로 이루어지며, 상기 제 1층 산화막은 300~1000Å이며, 상기 제 2층 산화막은 1000~3000Å이다.The first oxide film is composed of a plurality of layers. Here, the first oxide film is composed of two layers of oxide films, the first layer oxide film is 300 to 1000 mW, and the second layer oxide film is 1000 to 3000 mW.

그리고, 상기 제 2 산화막은 2000~5000Å의 두께로 이루어진다.The second oxide film has a thickness of 2000 to 5000 kPa.

상기 투명 무기 절연막은 상기 발광 영역을 포함한 투명 기판 전면에 형성된다.The transparent inorganic insulating film is formed on the entire surface of the transparent substrate including the light emitting region.

상기 박막 트랜지스터는 상기 투명 기판 상부에 형성되는 버퍼층과, 상기 투명 기판의 구동 영역에 형성되는 반도체층과, 상기 반도체층을 덮도록 상기 버퍼층 상에 형성되는 게이트 절연막과, 상기 게이트 절연막 상의 반도체층 상부에 형성되는 게이트 전극과, 상기 게이트 전극을 덮도록 상기 게이트 절연막 상에 형성되는 층간 절연막과, 상기 게이트 절연막 및 층간 절연막을 관통하여 상기 반도체층을 부분적으로 노출시키는 제 1 및 제 2 컨택홀 및 상기 제 1 및 제 2 컨택홀을 통하여 상기 반도체층과 전기적으로 연결되는 소오스 전극 및 드레인 전극을 포함하여 구성됨에 특징이 있다.The thin film transistor includes a buffer layer formed on the transparent substrate, a semiconductor layer formed in a driving region of the transparent substrate, a gate insulating film formed on the buffer layer to cover the semiconductor layer, and an upper semiconductor layer on the gate insulating film. A gate electrode formed on the gate electrode; an interlayer insulating film formed on the gate insulating film so as to cover the gate electrode; first and second contact holes partially exposing the semiconductor layer through the gate insulating film and the interlayer insulating film; And a source electrode and a drain electrode electrically connected to the semiconductor layer through first and second contact holes.

상기 제 1 산화막은 상기 버퍼층 또는 상기 게이트 절연막과 동일층에 형성되고, 상기 질화막 및 제 2 산화막은 상기 층간 절연막과 동일층에 형성된다.The first oxide film is formed on the same layer as the buffer layer or the gate insulating film, and the nitride film and the second oxide film are formed on the same layer as the interlayer insulating film.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 유기 발광 소자를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an organic light emitting diode according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 유기 발광 소자 및 이의 발광 상태를 나타낸 단면도이며, 도 3은 본 발명의 유기 발광 소자를 나타낸 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing an organic light emitting device and a light emitting state thereof of the present invention, Figure 3 is a cross-sectional view showing an organic light emitting device of the present invention.

도 2(유기 발광 소자의 단위 서브픽셀 중 발광 영역을 도시)와 같이, 본 발명의 유기 발광 소자는 복수개의 서브픽셀 영역을 구비하며, 각 서브 픽셀마다 구동 영역과 발광 영역을 포함하는 투명 기판(100)과, 상기 각 서브픽셀의 구동 영역에 형성된 박막 트랜지스터(도 3 참조)와, 상기 각 발광 영역에 대응되어 형성된 유기 발광층(116)과, 상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되어 상기 유기 발광층(116) 하측에 형성되며, 투명한 제 1 전극(115)과, 상기 유기 발광층(116) 상측에 형성된 제 2 전극(117)과, 상기 제 1 전극(115) 하측과 상기 투명 기판(100) 사이에 형성되는 투명 무기 절연막의 적층체 및 상기 투명 기판(100)에 대향되며 상기 제 2 전극(117) 상측에 위치하는 대향 기판(미도시)을 포함하여 이루어진다.As illustrated in FIG. 2 (showing a light emitting area among the unit subpixels of the organic light emitting device), the organic light emitting device of the present invention includes a plurality of subpixel areas, each transparent pixel including a driving area and a light emitting area for each subpixel ( 100, a thin film transistor (see FIG. 3) formed in the driving region of each subpixel, an organic emission layer 116 formed corresponding to each emission region, and an organic emission layer 116 electrically connected to the thin film transistor. A first electrode 115 formed below the second electrode 117, a second electrode 117 formed above the organic emission layer 116, and a bottom side between the first electrode 115 and the transparent substrate 100. It includes a laminate of a transparent inorganic insulating film and an opposing substrate (not shown) facing the transparent substrate 100 and positioned above the second electrode 117.

여기서, 상기 투명 무기 절연막이 적층체는 상기 투명 기판(100)의 표면으로부터 차례로 제 1 산화막(SiO2, 111), 제 2 산화막(112), 질화막(SiNx)(113) 및 제 3 산화막(SiO2)으로 이루어진다.Here, the transparent inorganic insulating film is a laminate of the first oxide film (SiO2, 111), the second oxide film 112, the nitride film (SiNx) 113 and the third oxide film (SiO2) in order from the surface of the transparent substrate 100 Is done.

이 경우, 상기 질화막(113)은 700~4500Å의 두께로 형성된다. 보다 효과적으로는 상기 질화막(113)은 1250~4250Å의 두께로 형성하는 것이 좋다.In this case, the nitride film 113 is formed to a thickness of 700 ~ 4500Å. More effectively, the nitride film 113 may be formed to a thickness of 1250 ~ 4250Å.

그리고, 상기 제 1 산화막(111)은 300~1000Å의 두께로 형성하고, 상기 제 2 산화막(112)은 1000~3000Å의 두께로 형성하며, 상기 질화막(113) 상부의 상기 제 3 산화막(114)은 2000~5000Å의 두께로 형성한다.The first oxide film 111 is formed to have a thickness of 300 to 1000 GPa, the second oxide film 112 is formed to have a thickness of 1000 to 3000 GPa, and the third oxide film 114 is formed on the nitride film 113. Is formed to a thickness of 2000 ~ 5000Å.

이러한 상기 투명 무기 절연막의 두께는 실험상 색재현율의 80% 이상인 정도가 나오는 값들을 산출한 것으로, 이러한 두께들에서 색좌표 특성이 우수하며, EL(Elctro Luminescence)의 스펙트럼상의 개선 효과가 남을 관찰할 수 있었다.The thickness of the transparent inorganic insulating film was calculated to obtain values of more than 80% of the color reproducibility experimentally, the color coordinate characteristics are excellent at these thicknesses, it can be observed that the improvement effect of the spectrum of EL (Elctro Luminescence) remains there was.

이러한 상기 투명 무기 절연막은 상기 발광 영역을 포함한 투명 기판 전면에 형성될 수도 있고, 혹은 선택적으로 상기 발광 영역에 한하여 형성될 수도 있다.The transparent inorganic insulating layer may be formed on the entire surface of the transparent substrate including the light emitting region, or may be selectively formed only in the light emitting region.

도 3을 참조하여, 상기 투명 무기 절연막이 구동 영역을 포함한 상기 투명 기판(100) 전면에 형성된 예를 살펴본다.Referring to FIG. 3, an example in which the transparent inorganic insulating layer is formed on the entire surface of the transparent substrate 100 including a driving region will be described.

도 3과 같이, 본 발명의 유기 발광 소자는 각 서브픽셀이 박막 트랜지스터(TFT)를 포함하는 구동 영역과 발광이 이루어지는 발광 영역으로 이루어진다. 그리고, 상기 박막 트랜지스터를 포함한 상기 구동 영역의 구성은 상기 투명 기판(100)의 전면에 형성된 제 1 산화막(111)과, 상기 구동 영역의 소정 부위에 섬상으로 형성된 반도체층(135)과, 상기 반도체층(135)을 포함한 상기 제 1 산화막(111) 상부에 형성된 제 2 산화막(112)과, 상기 반도체층(135) 상부에 대응되는 상기 제 2 산화막(112) 상에 형성된 게이트 전극(131)과, 상기 게이트 전극(131)을 포함한 상기 제 2 산화막(112) 상에 형성된 제 1 층간 절연막인 질화막(113)과, 상기 게이트 전극(131)의 양측에 위치하는 질화막(113) 및 제 2 산화막(112)이 소정 부분 제거되어 노출된 반도체층(135)과 콘택하는 소오스 전극(121a) 및 드레인 전극(121b)과, 상기 소오스/드레인 전극(121a/121b)을 포함한 상기 질화막(113) 상부에 형성된 제 3 산화막(114)과, 상기 제 3 산화막(114)에 콘택홀을 구비하여 드레인 전극(121b)과 전기적으로 연결되는 투명한 제 1 전극(115)을 포함하여 이루어진다.As shown in FIG. 3, the organic light emitting diode of the present invention includes a driving region in which each subpixel includes a thin film transistor TFT and a light emitting region in which light is emitted. The driving region including the thin film transistor may include a first oxide layer 111 formed on an entire surface of the transparent substrate 100, a semiconductor layer 135 formed in an island shape on a predetermined portion of the driving region, and the semiconductor. A second oxide film 112 formed on the first oxide film 111 including the layer 135, a gate electrode 131 formed on the second oxide film 112 corresponding to the semiconductor layer 135, and And a nitride film 113, which is a first interlayer insulating film formed on the second oxide film 112 including the gate electrode 131, and nitride films 113 and second oxide films disposed on both sides of the gate electrode 131. 112 is formed on the nitride film 113 including the source electrode 121a and the drain electrode 121b and the source / drain electrodes 121a and 121b contacting the exposed semiconductor layer 135 by removing a predetermined portion. A contact hole in the third oxide film 114 and the third oxide film 114 Comprises a transparent first electrode 115 electrically connected to the drain electrode (121b) and provided with.

그리고, 상기 제 1 전극(115)이 상기 발광 영역까지 연장되어 형성되며, 상 기 제 1 전극 (115) 상부에 유기 발광층(116) 및 제 2 전극(117)이 형성된다. 여기서, 상기 제 1 전극(115)은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide) 및 ITZO(Indium Tin Zinc Oxide) 중 어느 하나로 이루어지는 투명 전극이며, 상기 제 2 전극(117)은 티타늄(Ti), 몰리브덴(Mo), 칼슘(Ca), 마그네슘(Mg), 바륨(Ba), 구리(Cu) 및 알루미늄(Al)과 같이 차광성이 유지되는 전극으로 이루어진다. In addition, the first electrode 115 extends to the emission region, and the organic emission layer 116 and the second electrode 117 are formed on the first electrode 115. Here, the first electrode 115 is a transparent electrode made of any one of indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), and indium tin zinc oxide (ITZO), and the second electrode 117 is titanium (Ti). ), And molybdenum (Mo), calcium (Ca), magnesium (Mg), barium (Ba), copper (Cu), and aluminum (Al).

이 경우, 상기 제 1 산화막(111)은 버퍼층으로 기능하며, 투명 기판(100) 전면에 형성되는 상기 제 2 산화막(112)은 게이트 절연막으로 기능하며, 마찬가지로 투명 기판(100) 전면에 형성될 수 있으며, 상기 질화막(113) 및 제 3 산화막(114)은 각각 층간 절연막으로 기능하며, 상기 투명 기판(100) 전면에 형성될 수 있다.In this case, the first oxide layer 111 may function as a buffer layer, and the second oxide layer 112 formed on the entire surface of the transparent substrate 100 may function as a gate insulating layer and may be formed on the entire surface of the transparent substrate 100. The nitride film 113 and the third oxide film 114 each function as an interlayer insulating film, and may be formed on the entire surface of the transparent substrate 100.

경우에 따라, 상기 구동 영역의 상술한 절연층들과 상기 발광 영역의 투명 무기 절연막의 적층체로 별개로 형성할 수도 있으나, 이와 같이, 동일층에 형성하는 것이 공정의 수순을 줄이는 점에서 바람직할 것이다.In some cases, the above-described insulating layers of the driving region and the transparent inorganic insulating layer of the light emitting region may be formed separately, but it may be preferable to form the same layer in terms of reducing the procedure of the process. .

이하, 표를 통해 본 발명의 유기 발광 소자와 같이, 투명 무기 절연막은 제 1 전극 하측에 포함하는 구조와 그렇지 않은 구조의 특성을 비교하여 살펴본다.Hereinafter, like the organic light emitting device of the present invention, the transparent inorganic insulating film will be described by comparing the characteristics of the structure included on the lower side of the first electrode and the structure not.

소자 구조Device structure 투명무기 절연막 유무Transparent inorganic insulating film VV J(mA/cm2)J (mA / cm2) cd/Acd / A lm/Wlm / W cd/m2cd / m2 xx yy 녹색 유기 발광층
Green organic light emitting layer
U 4.544.54 2020 12.212.2 8.58.5 24402440 0.2770.277 0.6540.654
radish 4.904.90 2020 13.713.7 8.88.8 27452745 0.2630.263 0.6580.658 청색 유기 발광층
Blue organic light emitting layer
U 4.314.31 2020 5.45.4 3.93.9 10811081 0.1510.151 0.1250.125
radish 4.644.64 2020 5.95.9 4.04.0 11771177 0.1460.146 0.1630.163 적색 유기 발광층
Red organic light emitting layer
U 4.204.20 2020 1.51.5 1.11.1 304304 0.6590.659 0.3390.339
radish 4.654.65 2020 1.91.9 1.31.3 374374 0.6630.663 0.3340.334

위의 표는 각 조건에서 전류 밀도(J)를 20mA/cm2로 하였을 때, 각 색상의 유기 발광층에 대하여 구동 전압(V), 발광효율(cd/A), 전력 효율(lm/W), 휘도(cd/m2), 색좌표x(CIEx), 색좌표 y(CIEy)를 나타낸 값이다.The above table shows the driving voltage (V), luminous efficiency (cd / A), power efficiency (lm / W), and luminance for the organic light emitting layer of each color when the current density (J) is 20 mA / cm2 under each condition. (cd / m2), color coordinate x (CIEx), and color coordinate y (CIEy).

투명 무기 절연막 적층체가 있는지 없는지에 따른 경향성을 살펴보면, 투명 무기 절연막이 없을 경우, 구동 전압(V), 발광효율(cd/A), 전력 효율(lm/W), 휘도 (cd/m2)이 늘어남을 알 수 있고, 색좌표는 이와 다른 경향이 일어남을 알 수 있다. 예를 들어, 상기 색좌표를 통한 색재현율의 계산은 상기 R(적색), G(녹색), B(청색)을 각 색좌표를 이어 얻어지는 삼각형의 면적으로 그 값을 산출하는데, 특히 투명 무기 절연막을 개재하였을 경우, 청색에서, Y 좌표 값이 크게 줄어듦을 알 수 있으며, 이 경우, 각 색좌표를 통한 얻어진 삼각형의 면적이 늘어남을 알 수 있다. 이와 같이 색재현율(gamut(%))이 높으면 상기 유기 발광층으로부터 발광되는 색상이 보다 순색에 가깝게 발광면으로 출사됨을 의미하며, 이에 따라 자체 발광 소자인 유기 발광 소자에 있어서, 고감도 표시를 기대할 수 있게 된다.The tendency of the presence or absence of the transparent inorganic insulating film laminate shows that in the absence of the transparent inorganic insulating film, the driving voltage (V), the luminous efficiency (cd / A), the power efficiency (lm / W), and the luminance (cd / m2) are increased. It can be seen that color coordinates are different from this. For example, the calculation of color gamut through the color coordinates calculates the values of R (red), G (green), and B (blue) by the area of a triangle obtained by successive color coordinates, in particular through a transparent inorganic insulating film. In the case of blue, the Y coordinate value is greatly reduced, and in this case, it can be seen that the area of the triangle obtained through each color coordinate is increased. As such, when the color gamut (%) is high, it means that the color emitted from the organic light emitting layer is emitted to the light emitting surface closer to pure color. Accordingly, in the organic light emitting device which is a self-light emitting device, high sensitivity display can be expected. do.

특히, 청색은 인간이 시감이 민감하게 좌우되는 색상인데, 본 발명의 유기 발광 소자에서는 우선적으로 청색에 대한 시감이 현저하게 개선되는 것을 얻을 수 있는 투명 무기 절연막의 두께를 산출하고 있다.Particularly, blue is a color in which human eyes are sensitively influenced. In the organic light emitting device of the present invention, first, the thickness of the transparent inorganic insulating film which can achieve a significant improvement in the luminous sensitivity to blue is calculated.

이상의 표에서 설명한 외로 상기 투명한 제 1 전극의 두께와 질화막의 두께를 변경하여 실험하여 여러 가지 시뮤레이션 데이터를 얻었다.Except as described in the above table, experiments were performed by changing the thickness of the transparent first electrode and the thickness of the nitride film to obtain various simulation data.

예를 들어, 제 1 전극의 두께가 500Å일 경우, 상기 질화막의 두께를 4250Å으로 하였을 때, 상기 청색의 색좌표는 (0.135, 0.102), 상기 녹색의 색좌표는 (0.239, 0.661), 상기 적색의 색좌표는 (0.638, 0.353)으로 색재현율은 약 80.7%가 산출되었다. 혹은 동일 조건에서 상기 질화막의 두께를 2000Å으로 변경하였을 때는, 상기 청색의 색좌표는 (0.128, 0.115), 상기 녹색의 색좌표는 (0.198, 0.645), 상기 적색의 색좌표는 (0.661, 0.331)이 산출되었다. For example, when the thickness of the first electrode is 500 ms, when the thickness of the nitride film is 4250 ms, the blue color coordinates are (0.135, 0.102), the green color coordinates are (0.239, 0.661), and the red color coordinates. Was (0.638, 0.353), and the color reproducibility was about 80.7%. Alternatively, when the thickness of the nitride film was changed to 2000 microns under the same conditions, the blue color coordinates (0.128, 0.115), the green color coordinates (0.198, 0.645), and the red color coordinates (0.661, 0.331) were calculated. .

그 밖의 상기 제 1 전극의 두께를 1000Å, 1500Å, 2000Å으로 조정하고, 이에 따라 상대적으로 각 투명 무기 절연막의 두께를 조정하였을 때, 산출된 색재현율이 80% 이상이 됨을 확인할 수 있었다.When the thickness of the other first electrode was adjusted to 1000 Å, 1500 Å, 2000 Å, and thus the thickness of each transparent inorganic insulating film was relatively adjusted, it was confirmed that the calculated color reproducibility was 80% or more.

이하, 본 발명의 유기 발광 소자를 듀얼 플레이트형으로 형성한 다른 실시예에 따른 예를 살펴본다.Hereinafter, an example according to another exemplary embodiment in which the organic light emitting diode of the present invention is formed in a dual plate shape will be described.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기 발광 소자를 나타내는 단면도이다.4 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting diode according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 4와 같이, 본 발명의 듀얼 플레이트형 유기 발광 소자는, 서로 소정 간격 이격되어 대향된 제 1 기판(310) 및 제 2 기판(320)과, 상기 제 1 기판(310) 상의 각 서브픽셀에 대응하여 형성된 박막 트랜지스터(TFT)를 포함하는 박막 트랜지스터 어레이와, 상기 제 2 기판(320) 상에 형성된 제 1 전극(321)과, 제 1 전극(321) 상부의 각 서브픽셀의 발광 영역에 형성된 투명 무기막(322)과, 그 상부에 형성된 유기 발광층(323)과, 그 상부에 형성된 제 2 전극(325)과, 상기 제 1, 제 2 기판(310, 320)의 가장자리에 형성된 씰 패턴(330), 및 각 서브픽셀 사이를 구분하도록 형성된 격벽(326)을 포함하여 이루어진다. 또한, 상기 유기 발광층(323)에 전류를 공급하기 위하여, 서브픽셀 단위로 상기 제 2 전극(325)과 박막 트랜지스터(TFT)를 연결하는 전도성 스페이서(317), 및 투명 전극(316)이 형성된다.As shown in FIG. 4, the dual plate type organic light emitting diode of the present invention includes a first substrate 310 and a second substrate 320 that are opposed to each other by a predetermined interval, and each subpixel on the first substrate 310. A thin film transistor array including correspondingly formed thin film transistors (TFTs), a first electrode 321 formed on the second substrate 320, and a light emitting region of each subpixel on the first electrode 321. The transparent inorganic layer 322, the organic emission layer 323 formed thereon, the second electrode 325 formed thereon, and the seal patterns formed at edges of the first and second substrates 310 and 320 ( 330, and a partition wall 326 formed to distinguish between each subpixel. In addition, in order to supply current to the organic light emitting layer 323, a conductive spacer 317 connecting the second electrode 325 and the thin film transistor TFT in subpixel units is formed, and a transparent electrode 316 is formed. .

이와 같이, 박막 트랜지스터 어레이를 제 1 기판 상에 배치하고, 발광층을 제 2 기판 상에 위치시킬 경우, 이를 듀얼 플레이트 유기 발광 소자(DOD: Dual plate Organic light emitting Device)라 한다.As such, when the thin film transistor array is disposed on the first substrate and the light emitting layer is positioned on the second substrate, the thin film transistor array is referred to as a dual plate organic light emitting device (DOD).

투명 무기막(322)은 실리콘 질화막(SiNx), 실리콘 산화막(SiO2), 비정질 실리콘(a-Si) 등의 무기 물질로 형성할 수 있으며, 격벽(326)과 동일 물질로 동시에 패터닝하여 형성하는 것도 가능하다. 이때, 격벽(326)의 두께는 300Å 내지 1㎛로 형성한다.The transparent inorganic film 322 may be formed of an inorganic material such as silicon nitride film (SiN x ), silicon oxide film (SiO 2 ), amorphous silicon (a-Si), or the like by patterning the same material as the partition wall 326. It is also possible. At this time, the thickness of the partition wall 326 is formed to 300 ~ 1㎛.

또한, 격벽(326)을 유기 물질로 형성하는 경우, 격벽(326)을 형성하기 위해 이용하는 희생층을 동시에 상기 유기 발광층(323) 하부에 패터닝하여 남겨두어 이를 투명 무기막(322)으로 이용하는 것도 가능하다.In addition, when the barrier rib 326 is formed of an organic material, the sacrificial layer used to form the barrier rib 326 may be simultaneously patterned and left under the organic light emitting layer 323 to be used as the transparent inorganic layer 322. Do.

제 1 전극(321)은 제 2 기판(320) 상의 전면에 형성되고, 유기 발광층(323)은 제 1 캐리어 전달층, 발광층, 제 2 캐리어 전달층이 차례대로 적층된 구조로 이루어지며, 상기 제 1, 제 2 캐리어 전달층은 발광층에 전자(electron) 또는 정공(hole)을 주입(injection) 및 수송(transporting)하는 역할을 한다.The first electrode 321 is formed on the entire surface of the second substrate 320, the organic light emitting layer 323 has a structure in which the first carrier transfer layer, the light emitting layer, and the second carrier transfer layer are sequentially stacked. The first and second carrier transport layers inject and transport electrons or holes into the light emitting layer.

상기 제 1, 제 2 캐리어 전달층은 양극 및 음극의 배치 구조에 따라 정해지는 것으로, 한 예로 상기 발광층이 고분자 물질에서 선택되고, 제 1 전극(321)을 양극(anode), 제 2 전극(325)을 음극(cathode)으로 구성하는 경우에는 제 1 전극(321)과 인접하는 제 1 캐리어 전달층은 정공 주입층, 정공 수송층이 차례대로 적층된 구조를 이루고, 제 2 전극(325)과 인접하는 상기 제 2 캐리어 전달층은 전자 주입층, 전자수송층이 상기 제 2 전극(325)에 인접하여 차례대로 적층된 구조로 이루어진다.The first and second carrier transfer layers are determined according to the arrangement of the anode and the cathode. For example, the emission layer is selected from a polymer material, and the first electrode 321 is an anode and the second electrode 325. In the case of forming a cathode as a cathode, the first carrier transport layer adjacent to the first electrode 321 has a structure in which a hole injection layer and a hole transport layer are sequentially stacked and adjacent to the second electrode 325. The second carrier transport layer has a structure in which an electron injection layer and an electron transport layer are sequentially stacked adjacent to the second electrode 325.

또한, 상기 제 1, 제 2 캐리어 전달층 및 발광층은 고분자 물질 또는 저분자 물질로 형성할 수 있는데, 저분자 물질로 형성하는 경우는 진공 증착법을 통해 형성하고, 고분자 물질로 형성하는 경우는 잉크젯 방법을 통해 형성하게 된다.In addition, the first and second carrier transfer layer and the light emitting layer may be formed of a high molecular material or a low molecular material, when the low molecular material is formed by a vacuum deposition method, and when formed of a high molecular material through an inkjet method To form.

이때, 유기 발광층(323) 내에서 발광층의 하부에 위치한 제 1 캐리어 전달층의 재료로써 상기에서 언급한 실리콘 질화막(SiNx), 실리콘 산화막(SiO2), 비정질 실리콘(a-Si) 등의 무기 물질로 대체하여 형성하거나, 혹은 이들 층과 적층체의 구조로 형성하여 투명 무기막(321)의 역할을 대신할 수도 있다. In this case, as the material of the first carrier transport layer disposed under the light emitting layer in the organic light emitting layer 323, inorganic materials such as silicon nitride film (SiN x ), silicon oxide film (SiO 2 ), and amorphous silicon (a-Si) mentioned above. It may be formed by substituting a material or having a structure of these layers and a laminate to replace the role of the transparent inorganic film 321.

상기 전도성 스페이서(317)는 일반적인 액정 표시 장치용 스페이서와 달리, 셀 갭 유지 기능보다 두 기판을 전기적으로 연결시키는 것을 주목적으로 하는 것으로, 두 기판간의 사이 구간에서 소정의 입체적 형상으로 일정 높이를 가지는 특성을 갖는다.Unlike the spacer for a liquid crystal display device, the conductive spacer 317 is intended to electrically connect two substrates rather than a cell gap holding function, and has a predetermined height in a predetermined three-dimensional shape in a section between the two substrates. Has

여기서, 상기 박막 트랜지스터(TFT)는, 상기 유기 발광층(323)과 전기적으로 연결되는 구동용 박막 트랜지스터에 해당된다. 이러한 박막 트랜지스터(TFT)는 제 1 기판(310) 상의 소정 부위에 형성된 게이트 전극(311)과, 상기 게이트 전극(311)을 덮도록 섬상으로 형성된 반도체층(313)과, 상기 반도체층(313)의 양측에 형성된 소오스/드레인 전극(314a/314b)을 포함하여 이루어진다. 여기서, 상기 게이트 전극(311)과 상기 반도체층(313) 사이의 층간에는 게이트 절연막(312)이 상기 제 1 기판(310) 전면에 형성되며, 상기 소오스/드레인 전극(314a/314b)을 포함한 상기 게이트 절연막(312) 상부에는 보호막(315)이 더 형성되어 있다. 이때, 상기 드레인 전극(314b)은 상기 보호막(315) 내에 구비된 홀을 통해 상기 보호막(315) 상부에 형성되는 투명 전극(316)과 전기적으로 연결된다. 여기서, 상기 투명 전극(316)의 상측은 전도성 스페이서(317)와 접하고 있다.The thin film transistor TFT corresponds to a driving thin film transistor electrically connected to the organic light emitting layer 323. The thin film transistor TFT includes a gate electrode 311 formed at a predetermined portion on the first substrate 310, a semiconductor layer 313 formed in an island shape to cover the gate electrode 311, and the semiconductor layer 313. And source / drain electrodes 314a and 314b formed on both sides of the substrate. Here, a gate insulating film 312 is formed on the entire surface of the first substrate 310 between the gate electrode 311 and the semiconductor layer 313, and includes the source / drain electrodes 314a / 314b. A passivation layer 315 is further formed on the gate insulating layer 312. In this case, the drain electrode 314b is electrically connected to the transparent electrode 316 formed on the passivation layer 315 through a hole provided in the passivation layer 315. Here, the upper side of the transparent electrode 316 is in contact with the conductive spacer 317.

상기 전도성 스페이서(317)는 제 1 기판(310)에 서브픽셀 단위로 구비된 박막 트랜지스터(TFT)의 드레인 전극(314b)과 제 2 기판(320)에 구비된 제 2 전극(325)을 전기적으로 연결하는 역할을 수행하는 것으로, 유기 절연막 등으로 형성된 기둥 형상의 스페이서에 금속이 입혀진 것이며, 이는 제 1, 제 2 기판(310, 320)의 서브픽셀을 일대일로 합착하여 전류를 통하게 하는 역할을 한다.The conductive spacer 317 electrically connects the drain electrode 314b of the thin film transistor TFT provided on the first substrate 310 in units of subpixels and the second electrode 325 provided on the second substrate 320. In this case, metal is coated on a columnar spacer formed of an organic insulating layer or the like, which serves to connect the subpixels of the first and second substrates 310 and 320 in a one-to-one manner to allow current to flow therethrough. .

상기 전도성 스페이서(317)의 외부를 이루는 금속은 전도성 물질에서 선택되며, 바람직하기로는 연성을 띠고, 비저항값이 낮은 금속 물질에서 선택되는 것이 바람직하다.The metal forming the outside of the conductive spacer 317 is selected from a conductive material, and preferably selected from a metal material having ductility and low specific resistance.

여기서, 상기 제 1 전극(321)은 투명 전극 물질로 이루어지며, 상기 제 2 전극(325)은 차광성 물질의 금속층으로 이루어진다.Here, the first electrode 321 is made of a transparent electrode material, the second electrode 325 is made of a metal layer of a light blocking material.

또한, 상기 제 1, 제 2 기판(310, 320)간의 이격 공간은 비활성 기체 또는 절연성 액체로 채워질 수 있다.In addition, the separation space between the first and second substrates 310 and 320 may be filled with an inert gas or an insulating liquid.

한편, 이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.On the other hand, the present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, it is possible that various substitutions, modifications and changes within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. It will be apparent to those of ordinary skill in Esau.

상기와 같은 본 발명의 유기 발광 소자는 다음과 같은 효과가 있다.The organic light emitting device of the present invention as described above has the following effects.

발광면인 투명 기판과 유기 발광층 하측에 위치한 투명 전극 사이에 질화막을 포함한 투명 무기 절연막을 개재하여, 광의 파장성에 의한 상쇄 효과가 발생됨을 완화할 수 있어, 유기 발광층에 나오는 색상에 가깝게 색순도를 얻을 수 있다. 즉, 색재현율을 약 80% 이상 얻을 수 있어, 유기 발광 소자의 표시 효율을 향상시킬 수 있으며, 또한, 구동 전압이 절감되는 효과도 동시에 얻을 수 있다.A transparent inorganic insulating film including a nitride film is interposed between the transparent substrate, which is a light emitting surface, and a transparent electrode disposed under the organic light emitting layer, thereby reducing the offset effect due to the wavelength of light, thereby obtaining color purity close to the color of the organic light emitting layer. have. That is, about 80% or more of color reproducibility can be obtained, the display efficiency of the organic light emitting element can be improved, and the effect of reducing the driving voltage can be obtained at the same time.

Claims (12)

복수개의 서브픽셀 영역을 구비하며, 각 서브픽셀마다 구동 영역과 발광 영역을 포함하는 투명 기판;A transparent substrate having a plurality of subpixel regions, each subpixel including a driving region and a light emitting region; 상기 각 서브픽셀의 구동 영역에 형성된 박막 트랜지스터;A thin film transistor formed in the driving region of each subpixel; 상기 각 발광 영역에 대응되어 형성된 유기 발광층;An organic emission layer formed corresponding to each emission area; 상기 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되어 상기 유기 발광층 하측에 형성되며, 투명한 제 1 전극;A transparent first electrode electrically connected to the thin film transistor and formed under the organic emission layer; 상기 유기 발광층 상측에 형성된 제 2 전극;A second electrode formed on the organic emission layer; 상기 제 1 전극 하측과 상기 투명 기판 사이에 형성되는 투명 무기 절연막; 및 A transparent inorganic insulating layer formed between the lower side of the first electrode and the transparent substrate; And 상기 투명 기판에 대향되며 상기 제 2 전극 상측에 위치하는 대향 기판을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유기 발광 소자.And an opposite substrate facing the transparent substrate and positioned above the second electrode. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 투명 무기 절연막은 상기 투명 기판의 표면으로부터 차례로 제 1 산화막, 질화막(SiNx) 및 제 2 산화막(SiO2)이 적층되어 이루어진 것을 특징으로 하는 유기 발광 소자.The transparent inorganic insulating film is an organic light emitting device, characterized in that the first oxide film, the nitride film (SiNx) and the second oxide film (SiO2) are sequentially stacked from the surface of the transparent substrate. 제 2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 질화막은 700~4500Å의 두께로 형성된 것을 특징으로 하는 유기 발광 소자.The nitride film is an organic light emitting device, characterized in that formed in a thickness of 700 ~ 45004. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 질화막은 1250~4250Å의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 소자.The nitride film is an organic light emitting device, characterized in that formed in a thickness of 1250 ~ 4250Å. 제 2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 제 1 산화막은 복수개의 층으로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기 발광 소자.The first oxide film is an organic light emitting device, characterized in that composed of a plurality of layers. 제 5항에 있어서,6. The method of claim 5, 상기 1 산화막은 이층의 산화막으로 이루어지며, The first oxide film is composed of two layers of oxide films, 상기 제 1층 산화막은 300~1000Å이며, 상기 제 2층 산화막은 1000~3000Å인 것을 특징으로 하는 유기 발광 소자.And the first layer oxide film is 300 to 1000 mW, and the second layer oxide film is 1000 to 3000 mW. 제 2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 제 2 산화막은 2000~5000Å의 두께로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기 발광 소자.The second oxide film is an organic light emitting device, characterized in that the thickness of 2000 ~ 5000 ~. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 투명 무기 절연막은 상기 발광 영역을 포함한 투명 기판 전면에 형성된 것을 특징으로 하는 유기 발광 소자.The transparent inorganic insulating layer is formed on the transparent substrate including the light emitting region, characterized in that the organic light emitting device. 제 2항에 있어서,3. The method of claim 2, 상기 박막 트랜지스터는The thin film transistor 상기 투명 기판 상부에 형성되는 버퍼층;A buffer layer formed on the transparent substrate; 상기 투명 기판의 구동 영역에 형성되는 반도체층;A semiconductor layer formed in the driving region of the transparent substrate; 상기 반도체층을 덮도록 상기 버퍼층 상에 형성되는 게이트 절연막;A gate insulating film formed on the buffer layer to cover the semiconductor layer; 상기 게이트 절연막 상의 반도체층 상부에 형성되는 게이트 전극;A gate electrode formed over the semiconductor layer on the gate insulating film; 상기 게이트 전극을 덮도록 상기 게이트 절연막 상에 형성되는 층간 절연막;An interlayer insulating film formed on the gate insulating film to cover the gate electrode; 상기 게이트 절연막 및 층간 절연막을 관통하여 상기 반도체층을 부분적으로 노출시키는 제 1 및 제 2 컨택홀; 및First and second contact holes penetrating the gate insulating film and the interlayer insulating film to partially expose the semiconductor layer; And 상기 제 1 및 제 2 컨택홀을 통하여 상기 반도체층과 전기적으로 연결되는 소오스 전극 및 드레인 전극을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 유기 발광 소자.And a source electrode and a drain electrode electrically connected to the semiconductor layer through the first and second contact holes. 제 9항에 있어서,10. The method of claim 9, 상기 제 1 산화막은 상기 버퍼층 또는 상기 게이트 절연막과 동일층에 형성되고, 상기 질화막 및 제 2 산화막은 상기 층간 절연막과 동일층에 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 소자.And the first oxide film is formed on the same layer as the buffer layer or the gate insulating film, and the nitride film and the second oxide film are formed on the same layer as the interlayer insulating film. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 2 전극은 티타늄(Ti), 몰리브덴(Mo), 칼슘(Ca), 마그네슘(Mg), 바륨(Ba), 구리(Cu) 및 알루미늄(Al) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기 발광 소자.The second electrode may be any one of titanium (Ti), molybdenum (Mo), calcium (Ca), magnesium (Mg), barium (Ba), copper (Cu), and aluminum (Al). . 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 투명한 제 1 전극은 500~2000Å인 것을 특징으로 하는 유기 발광 소자.The transparent first electrode is an organic light emitting device, characterized in that 500 ~ 2000Å.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050105057A (en) * 2004-04-30 2005-11-03 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Organic electro luminescence device and fabrication method thereof
KR20050122687A (en) * 2004-06-25 2005-12-29 삼성에스디아이 주식회사 Organic light emitting display
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Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050105057A (en) * 2004-04-30 2005-11-03 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Organic electro luminescence device and fabrication method thereof
KR20050122687A (en) * 2004-06-25 2005-12-29 삼성에스디아이 주식회사 Organic light emitting display
KR20060077898A (en) * 2004-12-31 2006-07-05 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Organic electro luminescence device and the fabrication method thereof

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