KR101216999B1 - Touch panel with both elevation of view trait and slim state - Google Patents

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Abstract

본 발명은 시인성과 슬림화를 겸비한 터치패널에 관련되며, 그 구성의 특징으로서, PC(폴리카보네이트)나 PMMA(폴리메타메틸아크릴) 중에서 하나를 주재로 하는 기판(10); 및 상기 기판(10)의 일면에 아크릴수지계의 하드코팅층(20a), 산화니오븀층(22) 및 산화규소층(25)과 산화인듐주석층(30)을 차례로 증착하는 것을 특징으로 한다.
이에 따라 본 발명은, 경량화/슬림화의 추세에 부응하면서 시인성을 확보하여 다양한 제품으로 응용이 가능하도록 한 효과가 있다.
The present invention relates to a touch panel that combines visibility and slimming, and, as a feature of the configuration, includes a substrate 10 based on one of PC (polycarbonate) and PMMA (polymethacryl); And depositing an acrylic resin hard coating layer 20a, a niobium oxide layer 22, a silicon oxide layer 25, and an indium tin oxide layer 30 on one surface of the substrate 10 in order.
Accordingly, the present invention has the effect of enabling the application to a variety of products by ensuring visibility while meeting the trend of light weight / slim.

Description

시인성 향상과 슬림화를 겸비한 터치패널{Touch panel with both elevation of view trait and slim state}Touch panel with both elevation and slimness {Touch panel with both elevation of view trait and slim state}

본 발명은 PC(폴리카보네이트)나 PMMA(폴리메타메틸아크릴) 등의 기판을 이용한 터치패널에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 경량화/슬림화의 추세에 부응하면서 시인성을 확보하여 다양한 제품으로 응용이 가능하도록 한 시인성 향상과 슬림화를 겸비한 터치패널에 관한 것이다.The present invention relates to a touch panel using a substrate such as PC (polycarbonate) or PMMA (polymethylmethylacryl), and more particularly, to meet the trend of light weight and slimming, and to ensure visibility and to be applied to various products. The present invention relates to a touch panel that combines improved visibility and slimness.

통상적으로 터치패널은 저항막 방식, 정전용량 방식, 초음파 방식, 탄성파 방식, 적외선 방식 등으로 구분되며, 이 중에서 현재 저항막 방식과 정전용량 방식이 주종을 이루고 있다. In general, the touch panel is classified into a resistive film type, a capacitive type, an ultrasonic type, an acoustic wave type, an infrared type, and the like, and the resistive type and the capacitive type are mainly used.

한편, 저항막 방식은 작동 신뢰성과 안정성이 높아 TV, 모니터, 노트북 PC, 카네비게이션, 게임기기, 백색가전, PDA, 전자사전, 휴대전화, 캠코더 등에 폭 넓게 사용된다. 다만, 전도성 물질이 코팅된 유리나 필름 위에 전도성 물질이 코팅된 필름을 적층한 구조이므로, 상하판 사이 공기층(Air Gap)에 의한 난반사 현상으로 야외 시인성이 불량하고, 유리를 사용하는 경우 표면의 유연성이 결여되어 응용분야의 확산에 장애가 된다. On the other hand, the resistive film is widely used in TVs, monitors, notebook PCs, car navigation systems, game devices, white appliances, PDAs, electronic dictionaries, mobile phones, camcorders, etc. due to its high reliability and stability. However, since the conductive material is coated on the glass or the film coated with the conductive material is laminated structure, the outdoor visibility is poor due to the diffuse reflection phenomenon by the air gap between the upper and lower plates, the surface flexibility when using glass Lack of barriers to the proliferation of applications.

그리고 정전용량 방식은 인체의 정전기를 감지해 구동하는 방식으로서 내구성이 강하고 반응시간이 짧으며 투과성이 좋아 일부 산업용, 카지노 게임기로부터 최근 휴대폰으로 적용범위가 확대되고 있다. 반면, 펜을 이용하거나 장갑 낀 손으로 작동되지 않고 비교적 고가인 단점을 지닌다. In addition, the capacitive method is a method of sensing and driving static electricity of the human body, which is durable, has a short response time, and has good permeability. On the other hand, it does not operate with a pen or gloved hand and has a relatively expensive disadvantage.

그런데, 상기의 어느 방식에 있어서 제품의 용도에 부합된 품질과 생산성의 유지는 향후 시장성을 판가름하는 중요한 요인으로 인식되고 있으며, 적용제품의 다양화로 글래스(유리)를 도입할 필요성도 있으나 현실적인 난관이 따른다.However, in any of the above methods, the maintenance of quality and productivity consistent with the use of the product is recognized as an important factor in determining the future marketability, and there is a necessity to introduce glass (glass) due to the diversification of the applied product. Follow.

일예로, 한국 등록특허공보 제0681157호의 "정전용량방식의 터치 패널의 구조 및 그 제조방법"에 의하면 『은 페이스트로 형성된 선형성 패턴, 실드패턴 및 오버코팅막이 형성되는 글래스 기판과; 상기 글래스 기판의 전면부에 ITO 또는 ATO로 형성하여 터치패널에 터치되는 물제의 터치위치를 정확하게 검출할 수 있는 투명도전막과; 상기 글래스 기판의 배면부를 ITO로 형성하여 노이즈를 차폐하는 투명도전막과; 상기 투명도전막의 배면부에 은 페이스트로 형성되어 노이즈를 감쇄시키기 위한 실드패턴과; 상기 투명도전막의 전면부에 은 페이스트로 형성하여 터치패널에서 구조적으로 발생하는 왜곡된 신호로부터 선형성으로 보정하기 위해 형성되며, 터치패널에 만들어지는 전압을 일정하게 분배시켜 선형성을 확보하는 선형성 패턴과; 상기 선형성 패턴 상부면과 투명도전막의 표면 위에 SiO2계 코팅 용액으로 균일하게 스핀 코팅되어 터치패널의 전도 코팅층을 보호하고 노이즈를 감쇄시킬 수 있는 오버코팅막과; 상기 선형성 패턴에 전원을 공급하기 위한 전극에 테일의 단자를 솔더링으로 접합하여 연결되어 있는 유연하고 플래트한 테일; 로 구성』된다.For example, according to Korean Patent Publication No. 0681157, "The structure of the capacitive touch panel and its manufacturing method", "A glass substrate formed with a linear pattern, a shield pattern and an overcoating film formed of silver paste; A transparent conductive film formed of ITO or ATO on the front surface of the glass substrate so as to accurately detect a touch position of a material touched by the touch panel; A transparent conductive film for shielding noise by forming a back portion of the glass substrate with ITO; A shield pattern formed of silver paste on the rear surface of the transparent conductive film to reduce noise; A linear pattern formed by using a silver paste on the front surface of the transparent conductive film to correct linearly from a distorted signal structurally generated in the touch panel, and uniformly distributing a voltage generated in the touch panel to ensure linearity; An overcoat layer uniformly spin-coated with SiO 2 -based coating solution on the upper surface of the linear pattern and the transparent conductive layer to protect the conductive coating layer of the touch panel and reduce noise; A flexible and flat tail connected by soldering a terminal of a tail to an electrode for supplying power to the linear pattern; It consists of.

다른 예로, 한국 등록특허공보 제908225호의 “저항막 방식 터치패널”에 의하면, 『하부 절연체층, 상기 하부 절연체층의 상면에 터치부 패턴으로 형성된 하부 투명 전도 산화막 층, 및 상기 하부 투명 전도 산화막 층으로부터 상기 하부 절연체층의 가장자리까지 전기적 신호의 인출을 위한 연결 패턴으로 형성된 하부 금속 증착 코팅층으로 이루어진 하부 패드; (중략) 상기 전기적 신호의 인출을 위한 연결 패턴은 전부에 대하여 상기 투명 전도 산화막 층과 상기 금속 증착코팅층의 2중층 구조』를 제안한다. 이는 종래에 ITO층으로부터 외부로의 인출을 위한 연결 패턴으로 실버페이스트를 적용한 공정보다 저가의 재료와 간단한 공정으로 제작이 가능하다고 밝힌다.As another example, according to the "resistive touch panel" of Korean Patent No. 908225, "the lower insulator layer, the lower transparent conductive oxide film layer formed in the touch part pattern on the upper surface of the lower insulator layer, and the lower transparent conductive oxide film layer A lower pad made of a lower metal deposition coating layer formed in a connection pattern for drawing electrical signals from the edge of the lower insulator layer to the edge of the lower insulator layer; (Omitted) proposes a double layer structure of the transparent conductive oxide film layer and the metal deposition coating layer for all the connection patterns for the electrical signal extraction. This reveals that it is possible to manufacture a material with a lower cost and a simpler process than a process in which silver paste is applied as a connection pattern for drawing out from the ITO layer to the outside.

그러나 상기한 종래 기술들에 의하면 어느 정도 양산성과 내구성을 향상할 수 있기는 하지만, 저항막 방식의 유리 기판에 적용 시 높은 굴절율의 발휘에 한계가 있어 다양한 제품으로 응용하기 어려운 폐단이 있었고, 그 외 슬림화 추세에도 부응하지 못하는 면이 있었다.However, according to the above-mentioned prior arts, although mass productivity and durability can be improved to some extent, when applied to a resistive-type glass substrate, there is a limitation in exhibiting high refractive index, and thus there is a difficulty in applying to various products. There was a side that failed to meet the slimming trend.

한국 등록특허공보 제0681157호 "정전용량방식의 터치 패널의 구조 및 그 제조방법"Korean Patent Publication No. 0681157 "Structure of capacitive touch panel and its manufacturing method" 한국 등록특허공보 제908225호 “저항막 방식 터치패널”Korean Patent Publication No. 908225 “Resistive Touch Panel”

상기와 같은 종래의 문제점들을 근본적으로 개선하기 위한 본 발명의 목적은, 경량화/슬림화의 추세에 부응하면서 시인성을 확보하여 다양한 제품으로 응용이 가능하도록 한 시인성 향상과 슬림화를 겸비한 터치패널을 제공하려는데 그 목적이 있다.An object of the present invention for fundamentally improving the conventional problems as described above, to meet the trend of light weight / slimming to provide a touch panel having both improved visibility and slimming to ensure visibility and to be applied to a variety of products. There is a purpose.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 터치패널에 있어서: PC(폴리카보네이트)나 PMMA(폴리메타메틸아크릴) 중에서 하나를 주재로 하는 기판; 및 상기 기판의 일면에 아크릴수지계의 하드코팅층, 산화니오븀층(NB2O5) 및 산화규소층(SiO2)과 산화인듐주석층(ITO; Indium Tin Oxide)을 차례로 증착는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a touch panel comprising: a substrate based on one of PC (polycarbonate) and PMMA (polymethacryl); And depositing an acrylic resin hard coating layer, a niobium oxide layer (NB 2 O 5 ), a silicon oxide layer (SiO 2 ), and an indium tin oxide layer (ITO) on one surface of the substrate.

한편, 이에 앞서 본 명세서 및 특허청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.It should be understood, however, that the terminology or words of the present specification and claims should not be construed in an ordinary sense or in a dictionary, and that the inventors shall not be limited to the concept of a term It should be construed in accordance with the meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention based on the principle that it can be properly defined. Therefore, the embodiments described in the present specification and the configurations shown in the drawings are merely the most preferred embodiments of the present invention, and not all of the technical ideas of the present invention are described. Therefore, It is to be understood that equivalents and modifications are possible.

이상의 구성 및 작용에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 터치패널의 적층 구조는 저항막 방식의 터치패널에 기판을 적용함에 있어 경량화/슬림화의 추세에 부응하면서 시인성을 확보하여 다양한 제품으로 응용이 가능하도록 한 효과를 제공한다.As described in the above configuration and operation, the laminated structure of the touch panel of the present invention can be applied to various products by securing visibility while meeting the trend of light weight / slim in applying a substrate to a resistive touch panel. Provide effect.

도 1은 본 발명에 따른 터치패널의 주요구조를 적층상태로 나타내는 구성도.
도 2는 도 1의 구조를 단면 상태로 나타내는 구성도.
1 is a configuration diagram showing the main structure of the touch panel according to the present invention in a laminated state.
FIG. 2 is a configuration diagram showing the structure of FIG. 1 in a sectional state; FIG.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 터치패널에 관련되는 것으로, 특히 기판(10) 상면에 산화니오븀층(NB2O5)(22) 및 산화규소층(SiO2)(25)과 산화인듐주석층(ITO; Indium Tin Oxide)(30)을 증착에 의하여 형성하는 방식에 관련된다. The present invention relates to a touch panel, and in particular, a niobium oxide layer (NB 2 O 5 ) 22, a silicon oxide layer (SiO 2 ) 25, and an indium tin oxide layer (ITO) on an upper surface of a substrate 10. Oxide) 30 is related to the manner in which it is formed by vapor deposition.

일예로, 저항막 방식의 경우 기판(10) 상에 산화규소층(SiO2)과 산화인듐주 석층(ITO)을 증착으로 형성한 본 발명의 구성에 이어서, 연결구ㆍ도트 스페이서ㆍ도선을 지닌 도전층을 접합한 다음 마지막으로 필름을 접합하는 공정을 택할 수 있다. 다른 예로, 기판(10) 상에 산화니오븀층(NB2O5) 및 산화규소층(SiO2)과 산화인듐주석층(ITO)을 증착으로 형성한 상태에서 상기와 다른 적층 구조를 택할 수 있다. 어느 방식이든 시인성이 개선되면 다양한 제품으로의 응용성이 높아진다.For example, in the case of the resistive film method, a silicon oxide layer (SiO 2 ) and an indium tin oxide layer (ITO) are formed on the substrate 10 by vapor deposition. One may choose to bond the layers and then finally to bond the films. As another example, a laminate structure different from the above may be selected in a state in which a niobium oxide layer (NB 2 O 5 ), a silicon oxide layer (SiO 2 ), and an indium tin oxide layer (ITO) are formed by vapor deposition on the substrate 10. . Either way, better visibility improves the applicability to various products.

본 발명의 개략적인 공정순서를 살피기에 앞서 설명의 편의를 위해, PC(폴리카보네이트)나 PMMA(폴리메타메틸아크릴) 등의 기판(10) 가운데 PC(폴리카보네이트) 기판을 중심으로 하여 먼저 설명하기로 한다. Prior to reviewing a schematic process sequence of the present invention, for convenience of explanation, the following description will be given mainly on a PC (polycarbonate) substrate among the substrates 10 such as PC (polycarbonate) or PMMA (polymethacryl). Shall be.

본 발명의 개략적인 공정순서를 살피면, 세정 전 PC(폴리카보네이트) 기판(10)을 적재하는 준비단계, PC(폴리카보네이트) 기판(10)을 세정기에 투입하는 세정단계, PC(폴리카보네이트) 기판(10)을 캐리어에 로딩하는 단계, PC(폴리카보네이트) 기판(10)을 진공챔버에 진입시키는 단계, 플라즈마 형성에 의해 산화니오븀층(NB2O5)을 코팅하는 단계, 아르곤 플라즈마 형성에 의해 산화규소층(SiO2)을 코팅하는 단계, 직류전원 제어방식에 의해 산화인듐주석층(ITO)을 코팅하는 단계, PC(폴리카보네이트) 기판(10)을 이온빔으로 표면 처리하여 ITO 박막의 안정화를 통한 저항 경시변화 율을 감소하는 단계를 거친다.In view of the schematic process sequence of the present invention, a preparation step of loading a PC (polycarbonate) substrate 10 before cleaning, a cleaning step of putting the PC (polycarbonate) substrate 10 into a cleaner, and a PC (polycarbonate) substrate Loading 10 into the carrier, entering the PC (polycarbonate) substrate 10 into a vacuum chamber, coating a niobium oxide layer (NB 2 O 5 ) by plasma formation, by argon plasma formation Coating the silicon oxide layer (SiO 2 ), coating the indium tin oxide layer (ITO) by DC power control, and stabilizing the ITO thin film by surface treating the PC (polycarbonate) substrate 10 with an ion beam. Through this step, the rate of change of resistance over time is reduced.

본 발명에 따르면 PC(폴리카보네이트)나 PMMA(폴리 메타메틸아크릴) 중에서 하나를 주재로 하는 기판(10)이 사용되며, 기판(10)은 소정의 전처리를 거쳐 물성 을 개선해야 한다. 통상적으로 물성의 개선은 물리적 방식, 열적 방식, 화학적 방식 중에서 선택된다.According to the present invention, a substrate 10 based on one of PC (polycarbonate) and PMMA (poly methacryl) is used, and the substrate 10 has to be improved in physical properties through a predetermined pretreatment. Typically, the improvement in physical properties is selected from physical, thermal and chemical methods.

이때, 상기 PC(폴리카보네이트)나 PMMA(폴리메타메틸아크릴) 등의 기판(10)의 경우에는 아크릴수지계의 하드코팅층(20a)을 기판(10) 일면에 형성함으로써 후술하는 산화니오븀층(NB2O5)(22)와의 친화력이 강화된다. PC(폴리카보네이트)나 PMMA(폴리메타메틸아크릴) 등의 기판(10)은 디스플레이 제품에 요구되는 물성을 구비하므로 적절하지만, 반드시 이에 국한되는 것은 아니고 다양한 글래스 소재, 즉 소다라임 글래스 또는 고리라 글래스의 기판에도 적용할 수도 있다할 것이다.At this time, in the case of the substrate 10 such as PC (polycarbonate) or PMMA (polymethacryl), a niobium oxide layer (NB 2 ) to be described later is formed by forming a hard coating layer 20a of acrylic resin on one surface of the substrate 10. Affinity with O 5 ) (22) is enhanced. Substrate 10, such as PC (polycarbonate) or PMMA (polymethacryl), is suitable because it has the physical properties required for display products, but is not necessarily limited thereto. It may be applied to a substrate.

한편, 기판의 균열은 미세한 균열과 마찰력에 의하여 발생하므로, 이를 개선할 수 있다. 즉, 하드코팅층(20a)은 기판(10)의 모양이나 두께에 관계없이 고강도를 구현할 수 있다.(도 1 및 도 2)On the other hand, since the crack of the substrate is generated by the minute crack and the frictional force, it can be improved. That is, the hard coating layer 20a may implement high strength regardless of the shape or thickness of the substrate 10 (FIGS. 1 and 2).

한편, 본 발명에 따르면 상기 기판(10)의 일면에 산화니오븀층(NB2O5)(22) 및 산화규소층(SiO2)(25)과 산화인듐주석층(ITO)(30)을 차례로 증착하는데, 이러한 증착과정을 보다 상세하게 설명한다. 여기서, 산화니오븀층(NB2O5)(22) 및 산화규소층(25)과 산화인듐주석층(30)은 전술한 PC, PMMA 등의 소재 중에서 선택되는 기판(10)을 진공챔버(Vacuum chamber)에 수용하고 소정의 가스 분위기에서 증착(sputtering)을 통하여 형성된다.Meanwhile, according to the present invention, a niobium oxide layer (NB 2 O 5 ) 22, a silicon oxide layer (SiO 2 ) 25, and an indium tin oxide layer (ITO) 30 are sequentially turned on one surface of the substrate 10. Deposition, this deposition process is described in more detail. Here, the niobium oxide layer (NB 2 O 5 ) 22, the silicon oxide layer 25, and the indium tin oxide layer 30 may be formed of a vacuum chamber including a substrate 10 selected from materials such as PC and PMMA. in a chamber and formed by sputtering in a predetermined gas atmosphere.

우선, PC(폴리카보네이트) 기판(10) 재료의 수입검사 및 자재수량을 확인한 다음 카세트에 적재한다. 한 열에 적재 가능한 수량은 대략 62개 내외이며(그 이상, 이하도 가능), 첫 번째와 마지막 칸은 비워서 취급불량을 방지한다. 세정 카세트 3열 60매씩 적재가 완료되면 전체적으로 외관 상태를 확인한다. 세정기 투입대기 장소로 이동하여 투입대기 선반에 적재한다. 물론 이 공정의 이전 또는 직후에 아크릴수지계의 하드코팅층(20a)을 형성한 PC(폴리카보네이트) 기판(10)을 사용해야 한다. First, the import inspection and material quantity of the PC (polycarbonate) substrate 10 material are confirmed, and then loaded into the cassette. Approximately 62 can be loaded in a row (more and less), and the first and last spaces are empty to prevent mishandling. When loading of 60 sheets of 3 rows of cleaning cassettes is completed, check the appearance as a whole. Move to the washing machine's waiting place and load it on the loading stand shelf. Of course, the PC (polycarbonate) substrate 10 having the acrylic resin-based hard coating layer 20a before or after this process should be used.

다음으로, 적재된 PC 기판(10) 재료를 세정기에 넣어 세정작업을 수행한다. 이때 세정 온도는 60℃ 내외로 하고 세정 시간은 약 45분 정도로 하는 것이 적당하다. 이러한 수치는 사용하는 PC 기판(10) 재료의 기타 조건에 따라 조절될 수 있다. 그런 다음, 세정 공정을 마친 PC 기판(10) 재료는 진공챔버로 진입하기 위해 캐리어(Carrier)에 로딩된다. 로딩 시에는 코팅 유효 범위 존(Zone) 내에 유지하도록 투입되는 수량을 제한한다.Next, the loaded PC board 10 material is put in a washing machine to perform a washing operation. At this time, it is appropriate that the cleaning temperature is about 60 ℃ and the cleaning time is about 45 minutes. This value can be adjusted according to other conditions of the PC substrate 10 material used. Then, the finished PC substrate 10 material is loaded into a carrier to enter the vacuum chamber. When loading, the quantity to be put in to keep in the coating effective range zone is limited.

다음으로, PC 기판(10) 재료를 진공챔버에 진입시킨다. 이때 진공챔버의 분위기 온도는 250℃±50 내외의 적정온도 또는 340℃ 내외로 설정한다. 이후 마그네트론 스퍼터링(Magnetron Sputtering) 방식에 의한 플라즈마 스퍼터링 처리를 수행한다. 마그네트론 스퍼터링은 타겟에 가해지는 바이어스 전압(DC, RF)에 의하여 타겟과 실드(Shield) 혹은 타겟과 기판(Substrate) 사이에서 생성될 수 있는 플라즈마를 타겟에 붙어 있는 영구자석을 이용하여 타겟 근처에 집중시키고, 타겟 표면과 플라즈마 사이의 전위차에 의해 가속된 이온들이 타겟 표면과 충돌하여 이차 전자방출을 일으킴과 동시에 타겟 표면에서 스퍼터링을 일으키고, 스퍼터링된 중성의 원자들이 기판으로 날아가 박막을 형성하는 원리로 작동된다. Next, the PC substrate 10 material is introduced into a vacuum chamber. At this time, the ambient temperature of the vacuum chamber is set to a suitable temperature of about 250 ℃ ± 50 or about 340 ℃. Thereafter, plasma sputtering is performed by a magnetron sputtering method. Magnetron sputtering focuses near the target using a permanent magnet attached to the target, which can generate plasma between the target and the shield or the target and the substrate due to bias voltages (DC, RF) applied to the target. Ions accelerated by the potential difference between the target surface and the plasma collide with the target surface to cause secondary electron emission, sputtering at the target surface and sputtered neutral atoms fly to the substrate to form a thin film. do.

다음으로, 플라즈마에 의한 NB2O5 코팅처리를 수행하여 산화니오븀층(NB2O5)(22)를 형성한다. 이때 코팅되는 박막두께는 40±10Å 정도를 유지하는 것이 바람직한데, 이러한 산화니오븀(NB2O5) 대신 산화티타늄(TIO2)이나 지르코늄(ZrO2) 등의 고굴절물질을 사용하여 증착할 수도 있다.Next, an NB 2 O 5 coating process by plasma is performed to form a niobium oxide layer (NB 2 O 5 ) 22. At this time, the thickness of the coated film is preferably maintained at about 40 ± 10Å. Instead of niobium oxide (NB 2 O 5 ), it may be deposited using a high refractive material such as titanium oxide (TIO 2 ) or zirconium (ZrO 2 ). .

다음으로, 아르곤(Ar) 플라즈마에 의한 SiO2 코팅처리를 수행하여 산화규소층(SiO2)(25)을 형성한다. 이때 코팅되는 박막두께는 250Å 정도를 유지하는 것이 바람직하다. 그리고 상기 산화규소층(25) 대신 산화알루미늄(Al2O3)이나 산화실리콘(SiNx) 등의 저 굴절물질을 사용하여 증착할 수도 있다.Next, an SiO 2 coating process using an argon (Ar) plasma is performed to form a silicon oxide layer (SiO 2 ) 25. At this time, the thickness of the coated film is preferably maintained at about 250Å. Instead of the silicon oxide layer 25, a low refractive material such as aluminum oxide (Al 2 O 3) or silicon oxide (SiNx) may be used for deposition.

한편 SiO2 코팅시 방법은 RF 파워의 제어방식으로는 캐소드(Cathode) 4개를 사용하는 것이 바람직하다. 캐소드 개수 및 배치되는 위치는 진공챔버의 구조에 따라 달라질 수 있으며, 본 발명에 최적화되는 캐소드는 PC 기판(10) 재료에 대향하는 위치에서 일정한 등 간격을 유지하는 4개를 선정한다. 캐소드 수가 적으면 박막 형성이 미흡해질 우려가 있고, 너무 많으면 두께의 균일한 제어가 곤란하다. 이에 따라 코팅에 의한 투과율을 90% 이상으로 향상시킬 수 있다. On the other hand, in the SiO 2 coating method, it is preferable to use four cathodes as a method of controlling RF power. The number and positions of the cathodes may vary depending on the structure of the vacuum chamber, and the cathodes optimized for the present invention select four that maintain a constant equal spacing at positions opposite to the PC substrate 10 material. When the number of cathodes is small, there is a possibility that the thin film formation is insufficient, and when too large, uniform control of thickness is difficult. Thereby, the transmittance | permeability by coating can be improved to 90% or more.

이어서, 상온에서 증착된 SiO2의 막 강도를 향상시키기 위해 플라즈마 처리작업을 수행한다. 그리고 상기한 SiO2 코팅방법 대신 염화마그네슘(MGF2)을 E빔(일렉트론 빔)에 녹여서 증착하는 방법도 가능하나, SiO2 코팅 처리방법이 더 바람직한 것으로 사료된다.Subsequently, plasma treatment is performed to improve the film strength of SiO 2 deposited at room temperature. And SiO 2 described above. Instead of the coating method, a method of depositing magnesium chloride (MGF 2 ) by dissolving it in an E-beam (electron beam) is possible, but a SiO 2 coating method is more preferable.

다음으로, 코팅된 SiO2의 PC 기판(10) 재료에 직류파워 제어방식에 의해 120±50Å 두께로 ITO를 코팅하여 산화인듐주석층(ITO)(30)을 형성하는 것이 바람직하다. ITO 코팅 처리 시에는 아르곤 및 산소 가스의 압력제어에 의해 ITO 성막의 저항 균일도를 5% 이내로 유지하도록 한다. 이러한 제어 방식은 통상의 장치를 사용할 수 있다. 분위기의 조건을 정밀 제어하는 전용의 장치를 사용한다.Next, it is preferable to form an indium tin oxide layer (ITO) 30 by coating ITO to a thickness of 120 ± 50 Pa by a DC power control method on the coated SiO 2 PC substrate 10 material. During ITO coating, the uniformity of resistance of ITO film formation is kept within 5% by the pressure control of argon and oxygen gas. This control method can use a conventional apparatus. A dedicated device is used to precisely control the conditions of the atmosphere.

다음으로, 이온빔으로 표면 처리하여 ITO 박막의 안정화를 통한 저항 경시변화율 감소를 달성할 수 있다. Next, the surface treatment with an ion beam can be achieved to reduce the resistance change over time through the stabilization of the ITO thin film.

한편, PC(폴리카보네이트) 및 PMMA(폴리메타메틸아크릴) 계열의 기판(10) 모두 진공챔버의 온도를 250℃±50 내외로 설정해서 산화인듐주석층(ITO; Indium Tin Oxide)(30)을 증착하게 되면 저항치도 400~500Ω 내외여서 무난하게 사용될 수 있는 형태로 제조될 수 있다. 또 산화인듐주석층(30)의 물질들이 안정화/결정화되는데 아무런 장애가 생기지 않아 소비자의 다양한 요구에 부응할 수 있는 이점이 있다. 왜냐하면, PC나 PMMA 기판(10)의 경우에 진공챔버의 온도를 340℃ 내외로 설정해서 산화인듐주석층(30)을 증착해 버리면 PC나 PMMA의 기판(10)이 타버릴 수 있는 경우도 있기 때문이다. 다만, 진공챔버의 온도를 340℃ 내외로 설정한 뒤 PC나 PMMA 기판(10) 상에 산화인듐주석층(30)을 증착하더라도 80~300Ω 내외의 저항치를 가지면서 PC나 PMMA의 기판(10)이 타지 않도록 할 수는 있지만, 생산성 저하 및 불량품 발생 우려가 있으므로 가급적 진공챔버의 온도를 250℃ 내외로 설정하여 소비자가 요구하는 다양한 저항치의 터치패널을 제조할 수 있게 된다. On the other hand, both PC (polycarbonate) and PMMA (polymethylmethylacrylic) -based substrates 10 set the temperature of the vacuum chamber to about 250 ° C. ± 50 to form an indium tin oxide (ITO) 30. When deposited, the resistance is also about 400 ~ 500Ω can be manufactured in a form that can be used safely. In addition, since the materials of the indium tin oxide layer 30 do not cause any obstacles in stabilization / crystallization, there is an advantage of meeting various demands of consumers. This is because in the case of the PC or PMMA substrate 10, if the indium tin oxide layer 30 is deposited by setting the temperature of the vacuum chamber to around 340 ° C, the substrate 10 of the PC or PMMA may be burned. Because. However, even after the temperature of the vacuum chamber is set to about 340 ° C., even if the indium tin oxide layer 30 is deposited on the PC or PMMA substrate 10, the substrate 10 of the PC or PMMA has a resistance of about 80 to 300 kW. Although it is possible to prevent the burning, there is a risk of deterioration of productivity and defective products, so that the temperature of the vacuum chamber may be set to around 250 ° C. to manufacture touch panels having various resistance values required by consumers.

덧붙여, 250℃±50 내외의 온도에서 진공 증착하는 PC나 PMMA의 기판(10)으로 말미암아 발생되는 400~500Ω의 저항치를 80~300Ω 내외로 떨어뜨리기 위해서는 180℃~500℃의 진공챔버 내에 산화인듐주석층(30)까지 모두 적층된 상태의 터치패널을 재투입해서 약 10~50분가량을 재차 통과시키면 산화인듐주석층(30)의 저항치가 80~300Ω 내외로 떨어져 다양한 소비자의 욕구에 부응할 수 있는 터치패널을 제조할 수 있다.In addition, in order to reduce the resistance of 400 to 500 kW generated by the substrate 10 of PC or PMMA which is vacuum deposited at a temperature of about 250 ° C. ± 50 to around 80 to 300 kW, indium oxide in a vacuum chamber of 180 ° C. to 500 ° C. Re-injecting the touch panel with all the laminated layers up to the tin layer 30 and passing it again for about 10 to 50 minutes, the resistance of the indium tin oxide layer 30 falls to about 80 ~ 300Ω and to meet the needs of various consumers The touch panel can be manufactured.

이렇게 제조된 PC 및 PMMA 기판 재료의 터치패널을 캐리어에서 탈착한 후 외관 검사와 특성 검사를 수행한다. 외관 검사는 표면의 스크래치, 이물, 오염, 핀홀 등을 육안으로 검사하는 것이고, 특성 검사는 전기저항, 투과율, 막 두께, 내열성, 내마모성을 측정하는 것이다.The touch panels of the PC and PMMA substrate materials thus prepared are detached from the carrier and then inspected for appearance and characteristics. Appearance inspection is to visually inspect scratches, foreign substances, contamination, pinholes, etc. on the surface, and property inspection is to measure electrical resistance, transmittance, film thickness, heat resistance, and wear resistance.

통상 91% 내외의 투과율을 지니는 기판(10)에 산화인듐주석층(30)만 적층하면 투과율이 다소 저하되지만, 산화니오븀층(22) 및 산화규소층(25)과 산화인듐주석층(30)을 적층하면 약 91%내외의 투과율로 회복되며, 더불어 제조공정이 단순하고 제조단가가 낮아지는 유용성을 갖추고 있다.Generally, when only the indium tin oxide layer 30 is laminated on the substrate 10 having a transmittance of about 91%, the transmittance decreases slightly, but the niobium oxide layer 22, the silicon oxide layer 25, and the indium tin oxide layer 30 are reduced. When the lamination is carried out, the transmittance is restored to about 91%, and the manufacturing process is simple and the manufacturing cost is low.

본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 변형예 또는 수정예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It is therefore intended that such variations and modifications fall within the scope of the appended claims.

10: 기판 20a: 하드코팅층
22: 산화니오븀층 25: 산화규소층
30: 산화인듐주석층
10: substrate 20a: hard coating layer
22: niobium oxide layer 25: silicon oxide layer
30: indium tin oxide layer

Claims (1)

터치패널에 있어서:
PC(폴리카보네이트)나 PMMA(폴리메타메틸아크릴) 중에서 하나를 주재로 하는 기판(10); 및
상기 기판(10)의 일면에 아크릴수지계의 하드코팅층(20a), 산화니오븀층(22) 및 산화규소층(25)과 산화인듐주석층(30)을 차례로 증착하는 것을 특징으로 하는 시인성 향상과 슬림화를 겸비한 터치패널.
In the touch panel:
A substrate 10 based on either PC (polycarbonate) or PMMA (polymethacryl); And
The visibility and slimming of the acrylic resin-based hard coating layer 20a, niobium oxide layer 22, silicon oxide layer 25, and indium tin oxide layer 30 are sequentially deposited on one surface of the substrate 10. Touch panel combines.
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