KR101114306B1 - Touch panel with both elevation of view trait and slim state - Google Patents

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KR101114306B1
KR101114306B1 KR1020110008812A KR20110008812A KR101114306B1 KR 101114306 B1 KR101114306 B1 KR 101114306B1 KR 1020110008812 A KR1020110008812 A KR 1020110008812A KR 20110008812 A KR20110008812 A KR 20110008812A KR 101114306 B1 KR101114306 B1 KR 101114306B1
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김병환
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Abstract

PURPOSE: A touch panel is provided to increase the visibility of a touch panel and to make a touch panel be slim when a substrate is applied to a resistive touch panel. CONSTITUTION: An Nb2O5 layer(22), an SiO2 layer(25), and an ITO(Indium Tin Oxide) layer(30) are laminated on one side of a substrate(10). The substrate has a chemical reinforcing layer(20) on one side of a touch panel. The chemical reinforcing layer is formed in KNO3 solution at 400 degrees.

Description

시인성 향상과 슬림화를 겸비한 터치패널{Touch panel with both elevation of view trait and slim state} Touch panel with both elevation of view trait and slim state

본 발명은 글래스 등의 기판을 이용한 터치패널에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 경량화/슬림화의 추세에 부응하면서 시인성을 확보하여 다양한 제품으로 응용이 가능하도록 한 시인성 향상과 슬림화를 겸비한 터치패널에 관한 것이다. The present invention relates to a touch panel using a substrate such as glass, and more particularly, to a touch panel having both visibility improvement and slimness to secure visibility and to be applicable to various products while meeting the trend of weight reduction/slimization. .

통상적으로 터치패널은 저항막 방식, 정전용량 방식, 초음파 방식, 탄성파 방식, 적외선 방식 등으로 구분되며, 이 중에서 현재 저항막 방식과 정전용량 방식이 주종을 이루고 있다. Conventionally, the touch panel is classified into a resistive film type, a capacitive type, an ultrasonic type, an elastic wave type, and an infrared type, and among them, the resistive film type and the capacitive type are predominant.

저항막 방식은 작동 신뢰성과 안정성이 높아 TV, 모니터, 노트북 PC, 카네비게이션, 게임기기, 백색가전, PDA, 전자사전, 휴대전화, 캠코더 등에 폭 넓게 사용된다. 다만, 전도성 물질이 코팅된 유리나 필름 위에 전도성 물질이 코팅된 필름을 적층한 구조이므로, 상하판 사이 공기층(Air Gap)에 의한 난반사 현상으로 야외 시인성이 불량하고, 유리를 사용하는 경우 표면의 유연성이 결여되어 응용분야의 확산에 장애가 된다. 정전용량 방식은 인체의 정전기를 감지해 구동하는 방식으로서 내구성이 강하고 반응시간이 짧으며 투과성이 좋아 일부 산업용, 카지노 게임기로부터 최근 휴대폰으로 적용범위가 확대되고 있다. 반면, 펜을 이용하거나 장갑 낀 손으로 작동되지 않고 비교적 고가인 단점을 지닌다. The resistive method is widely used in TVs, monitors, notebook PCs, car navigation systems, game devices, white goods, PDAs, electronic dictionaries, mobile phones, camcorders, etc. due to its high operational reliability and stability. However, since the conductive material is coated on a glass or film coated with a conductive material, the outdoor visibility is poor due to diffuse reflection caused by an air gap between the upper and lower plates, and the flexibility of the surface when using glass It lacks and hinders the spread of application fields. The capacitive method is a method of sensing and driving the static electricity of the human body, and has a strong durability, a short reaction time, and good permeability. Recently, the range of application from some industrial and casino game machines to mobile phones has been expanded. On the other hand, it does not work with a pen or with a gloved hand and has a relatively expensive disadvantage.

어느 방식에 있어서 제품의 용도에 부합된 품질과 생산성의 유지는 향후 시장성을 판가름하는 중요한 요인으로 인식되고 있으며, 적용제품의 다양화로 글래스(유리)를 도입할 필요성도 있으나 현실적인 난관이 따른다.In any way, maintaining the quality and productivity suitable for the use of the product is recognized as an important factor in determining the marketability in the future, and there is a need to introduce glass (glass) due to diversification of applied products, but there are practical difficulties.

한국 등록특허공보 제0681157호의 "정전용량방식의 터치 패널의 구조 및 그 제조방법"에 의하면 『은 페이스트로 형성된 선형성 패턴, 실드패턴 및 오버코팅막이 형성되는 글래스 기판과; 상기 글래스 기판의 전면부에 ITO 또는 ATO로 형성하여 터치패널에 터치되는 물제의 터치위치를 정확하게 검출할 수 있는 투명도전막과; 상기 글래스 기판의 배면부를 ITO로 형성하여 노이즈를 차폐하는 투명도전막과; 상기 투명도전막의 배면부에 은 페이스트로 형성되어 노이즈를 감쇄시키기 위한 실드패턴과; 상기 투명도전막의 전면부에 은 페이스트로 형성하여 터치패널에서 구조적으로 발생하는 왜곡된 신호로부터 선형성으로 보정하기 위해 형성되며, 터치패널에 만들어지는 전압을 일정하게 분배시켜 선형성을 확보하는 선형성 패턴과; 상기 선형성 패턴 상부면과 투명도전막의 표면 위에 SiO2계 코팅 용액으로 균일하게 스핀 코팅되어 터치패널의 전도 코팅층을 보호하고 노이즈를 감쇄시킬 수 있는 오버코팅막과; 상기 선형성 패턴에 전원을 공급하기 위한 전극에 테일의 단자를 솔더링으로 접합하여 연결되어 있는 유연하고 플래트한 테일; 로 구성』된다.According to Korean Patent Publication No. 0681157, "A structure of a capacitive touch panel and a method of manufacturing the same," a glass substrate formed of a linear pattern, a shield pattern, and an overcoating film formed of silver paste; A transparent conductive film formed of ITO or ATO on the front surface of the glass substrate to accurately detect a touch position of a material touched on a touch panel; A transparent conductive film that shields noise by forming a rear portion of the glass substrate with ITO; A shield pattern formed of a silver paste on a rear surface of the transparent conductive film to attenuate noise; A linearity pattern formed of silver paste on the front surface of the transparent conductive film to correct linearity from distorted signals generated structurally in the touch panel, and securing a linearity by uniformly distributing the voltage generated on the touch panel; An overcoat film which is uniformly spin coated with an SiO 2 -based coating solution on the top surface of the linear pattern and the surface of the transparent conductive film to protect the conductive coating layer of the touch panel and attenuate noise; A flexible and flat tail connected to the electrode for supplying power to the linearity pattern by soldering the terminal of the tail by soldering; It consists of 』.

한국 등록특허공보 제908225호의 "저항막 방식 터치패널"에 의하면, 『하부 절연체층, 상기 하부 절연체층의 상면에 터치부 패턴으로 형성된 하부 투명 전도 산화막 층, 및 상기 하부 투명 전도 산화막 층으로부터 상기 하부 절연체층의 가장자리까지 전기적 신호의 인출을 위한 연결 패턴으로 형성된 하부 금속 증착 코팅층으로 이루어진 하부 패드; (중략) 상기 전기적 신호의 인출을 위한 연결 패턴은 전부에 대하여 상기 투명 전도 산화막 층과 상기 금속 증착코팅층의 2중층 구조』를 제안한다. 이는 종래에 ITO층으로부터 외부로의 인출을 위한 연결 패턴으로 실버페이스트를 적용한 공정보다 저가의 재료와 간단한 공정으로 제작이 가능하다고 밝힌다.According to the "Resistance film type touch panel" of Korean Patent Publication No. 908225, "The lower insulator layer, the lower transparent conductive oxide film layer formed in the touch part pattern on the upper surface of the lower insulator layer, and the lower transparent conductive oxide film layer from the lower A lower pad formed of a lower metal deposition coating layer formed in a connection pattern for drawing an electrical signal to the edge of the insulator layer; (Omitted) The connection pattern for drawing out the electrical signal proposes a double layer structure of the transparent conductive oxide layer and the metal deposition coating layer for all. This indicates that it is possible to manufacture with a lower cost material and a simple process than the process of applying silver paste as a connection pattern for drawing out from the ITO layer to the outside.

그러나 상기한 종래 기술들에 의하면 어느 정도 양산성과 내구성을 향상할 수 있기는 하지만, 저항막 방식의 유리 기판에 적용 시 높은 굴절율의 발휘에 한계가 있어 다양한 제품으로 응용하기 어려운 폐단이 있었고, 그 외 슬림화 추세에도 부응하지 못하는 면이 있었다.However, according to the above-mentioned prior arts, although it is possible to improve the mass production and durability to some extent, there were limitations in exerting high refractive index when applied to a resistive glass substrate, and thus there were closed ends difficult to apply to various products. There was a side that could not respond to the trend of slimming.

이에 따라 본 발명은 경량화/슬림화의 추세에 부응하면서 시인성을 확보하여 다양한 제품으로 응용이 가능하도록 한 시인성 향상과 슬림화를 겸비한 터치패널을 제공하려는데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention aims to provide a touch panel having both visibility improvement and slimming, which ensures visibility and secures visibility while adapting to the trend of weight reduction/slimization.

이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 터치패널에 있어서; 글래스를 주재로 하는 기판; 및 상기 기판의 일면에 산화니오븀(

Figure 112011104590634-pat00001
)층 및 산화규소층(SiO2)과 산화인듐주석층(ITO; Indium Tin Oxide)을 차례로 형성하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve this object, the present invention relates to a touch panel; A substrate mainly made of glass; And niobium oxide on one side of the substrate (
Figure 112011104590634-pat00001
) Layer and a silicon oxide layer (SiO 2 ) and an indium tin oxide layer (ITO).

본 발명에 따르면, 상기 글래스 기판에는 소다라임 글래스 또는 고리라(Gorilla) 글래스 중에서 선택되고 화학강화층을 구비하는데, 화학강화층은 400~500℃ 내외의 질산칼륨용액에 2~8시간 내외로 침지하여 형성되는 것을 특징으로 한다.According to the present invention, the glass substrate is selected from soda lime glass or Gorilla glass and is provided with a chemical strengthening layer, the chemical strengthening layer being immersed in a potassium nitrate solution at about 400 to 500°C for about 2 to 8 hours. It is characterized by being formed.

한편, 이에 앞서 본 명세서 및 특허청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.On the other hand, prior to this, the terms or words used in the present specification and claims should not be interpreted as being limited to the ordinary or lexical meaning, and the inventor has introduced the concept of terms to explain his or her invention in the best way. Based on the principle that it can be appropriately defined, it should be interpreted as meanings and concepts consistent with the technical spirit of the present invention. Therefore, the configuration shown in the embodiments and drawings described in this specification is only one of the most preferred embodiments of the present invention, and does not represent all of the technical spirit of the present invention, and thus can replace them at the time of application. It should be understood that there may be equivalents and variations.

이상의 구성 및 작용에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 터치패널의 적층 구조는 저항막 방식의 터치패널에 기판을 적용함에 있어 경량화/슬림화의 추세에 부응하면서 시인성을 확보하여 다양한 제품으로 응용이 가능하도록 한 효과가 있다. As described in the above configuration and operation, the stacked structure of the touch panel according to the present invention ensures visibility while adapting to the trend of light weight/slim in applying the substrate to the resistive touch panel, so that it can be applied to various products. There is one effect.

도 1은 본 발명에 따른 터치패널의 주요구조를 적층상태로 나타내는 구성도.
도 2는 도 1의 구조를 단면 상태로 나타내는 구성도.
1 is a block diagram showing the main structure of the touch panel according to the present invention in a stacked state.
Fig. 2 is a block diagram showing the structure of Fig. 1 in a sectional state;

이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 터치패널에 관련되는 것으로, 특히 기판 상면에 산화니오븀(

Figure 112011007141021-pat00002
)층 및 산화규소층(SiO2)과 산화인듐주석층(ITO; Indium Tin Oxide)을 증착에 의하여 형성하는 방식에 관련된다. 일예로, 저항막 방식의 경우 기판(10) 상에 산화규소층(SiO2)과 산화인듐주석층(ITO)을 증착으로 형성한 본 발명의 구성에 이어서, 연결구 ? 도트 스페이서 ? 도선을 지닌 도전층을 접합한 다음 마지막으로 필름을 접합하는 공정을 택할 수 있다. 다른 예로, 기판(10) 상에 산화니오븀(
Figure 112011007141021-pat00003
)층 및 산화규소층(SiO2)과 산화인듐주석층(ITO)을 증착으로 형성한 상태에서 상기와 다른 적층 구조를 택할 수 있다. 어느 방식이든 시인성이 개선되면 다양한 제품으로의 응용성이 높아진다.The present invention relates to a touch panel, in particular niobium oxide (
Figure 112011007141021-pat00002
) Layer and silicon oxide layer (SiO 2 ) and indium tin oxide (ITO; Indium Tin Oxide). For example, in the case of the resistive film method, following the configuration of the present invention in which a silicon oxide layer (SiO 2 ) and an indium tin oxide layer (ITO) are formed on the substrate 10 by vapor deposition, a connector? Dot spacer? The process of bonding the conductive layer having the conductive wires and finally bonding the film may be selected. As another example, niobium oxide on the substrate 10 (
Figure 112011007141021-pat00003
) Layer and a silicon oxide layer (SiO 2 ) and an indium tin oxide layer (ITO) in a state of being formed by vapor deposition may have a different stacking structure from the above. Either way, if the visibility improves, the applicability to various products increases.

본 발명의 개략적인 공정순서를 살피기에 앞서 설명의 편의를 위해 글래스의 기판(10) 가운데 셀 글래스(Cell Glass) 기판을 중심으로 하여 먼저 설명하기로 한다. Before exploring the schematic process sequence of the present invention, for convenience of description, a description will first be made with a focus on a cell glass substrate among glass substrates 10.

본 발명의 개략적인 공정순서를 살피면, 세정 전 셀 글래스(Cell Glass) 기판(10)을 적재하는 준비단계, 셀 글래스를 세정기에 투입하는 세정단계, 셀 글래스를 캐리어에 로딩하는 단계, 셀 글래스를 진공챔버에 진입시키는 단계, 플라즈마 형성에 의해

Figure 112011007141021-pat00004
를 코팅하는 단계, 아르곤 플라즈마 형성에 의해 SiO2를 코팅하는 단계, 직류전원 제어방식에 의해 ITO를 코팅하는 단계, 셀 글래스를 이온빔으로 표면 처리하여 ITO 박막의 안정화를 통한 저항 경시변화율을 감소하는 단계를 거친다.Looking at the schematic process sequence of the present invention, the preparation step of loading the cell glass (Cell Glass) substrate 10 before cleaning, the cleaning step of putting the cell glass into the washing machine, the step of loading the cell glass into the carrier, the cell glass Step to enter the vacuum chamber, by plasma formation
Figure 112011007141021-pat00004
Coating step, coating SiO 2 by argon plasma formation, coating ITO by DC power control method, surface treatment of cell glass with ion beam to reduce the rate of change of resistance over time through stabilization of the ITO thin film Goes through.

본 발명에 따르면 글래스를 주재로 하는 기판(10)이 사용되며, 기판(10)은 소정의 전처리를 거쳐 물성을 개선해야 한다. 통상적으로 물성의 개선은 물리적 방식, 열적 방식, 화학적 방식 중에서 선택된다.According to the present invention, a substrate 10 having glass as its main material is used, and the substrate 10 must improve physical properties after a predetermined pretreatment. Typically, the improvement of physical properties is selected from physical, thermal, and chemical methods.

이때, 상기 글래스 기판(10)의 경우에는 소다라임 글래스 또는 고리라 글래스 중에서 선택되고, 화학강화층(20)을 구비한다. 소다라임 글래스와 고리라 글래스는 디스플레이 제품에 요구되는 물성을 구비하므로 적절하지만, 반드시 이에 국한되는 것은 아니고 다양한 글래스 소재의 기판, 즉 PC(폴리카보네이트)나 PMMA(폴리메타메틸아크릴) 등의 기판을 적용할 수도 있다. 글래스의 균열은 미세한 균열과 마찰력에 의하여 발생하므로, 열처리 또는 화학적 처리에 의한 표면강화로 이를 개선할 수 있다. 열처리 방식의 경우 용융점 이상의 온도구배에서 임시적으로 응력개선이 발생하고, 글래스가 단순한 평면이면서 일정치 이상의 두께로 되어야 한다. 반면 화학적 방식에 의한 화학강화층(20)은 글래스의 모양이나 두께에 관계없이 고강도를 구현할 수 있다.(도 1 및 도 2)In this case, the glass substrate 10 is selected from soda lime glass or gori glass, and includes a chemically strengthened layer 20. Soda-lime glass and Gorira glass are suitable because they have the properties required for display products, but they are not necessarily limited thereto, and substrates of various glass materials such as PC (polycarbonate) or PMMA (polymethacrylic acrylic) are applied. You may. Since cracks in glass are caused by fine cracks and frictional forces, it can be improved by heat treatment or surface strengthening by chemical treatment. In the case of the heat treatment method, stress improvement occurs temporarily at a temperature gradient above the melting point, and the glass should be a simple plane and have a thickness above a certain value. On the other hand, the chemically strengthened layer 20 by the chemical method can realize high strength regardless of the shape or thickness of the glass (FIGS. 1 and 2).

상기한 화학강화층은 400~500℃ 내외의 질산칼륨용액에 2~8시간 내외로 침지하여 형성되는 것을 특징으로 한다. 화학강화는 이온교환과정에 의한 것으로서 유리의 용융점 보다 낮은 온도에서 수행된다. 글래스를 400~500℃ 내외의 질산칼륨용액에 2-8시간 동안 침지한 상태로 두면 글래스 표면의 Na이온과 용액의 K이온이 상호 교환되면서 전자기력에 의한 수축으로 강화가 발생한다. 그리고 화학강화층(20)의 바람직한 온도와 질산칼륨용액의 침지시간은 터치패널의 기능에 따라 달라지는데, 예를 들어 화학강화층(20)의 온도를 420℃로 하고 질산칼륨용액에 3시간가량을 침지시킬 수도 있지만, 온도를 450℃로 하고 질산칼륨용액에 4~5시간동안 침지시킬 수도 있는데, 이것은 터치패널의 특성에 따라 화학강화층(20)의 강도를 달리 처리하는데서 오는 결과라 할 수 있다. 이와 같은 화학강화층(20)을 지닌 기판(10)은 열처리에 의한 것보다 약 8배정도 높은 강도를 발휘하고, 처리 중에 비틀림 등의 변형이 적을뿐더러 색상 및 빛 투과율 특성을 그대로 유지한다.The chemical strengthening layer is characterized in that it is formed by immersion in a potassium nitrate solution at about 400 to 500°C for about 2 to 8 hours. Chemical strengthening is performed by ion exchange, and is performed at a temperature lower than the melting point of the glass. When the glass is immersed in a potassium nitrate solution at 400 to 500°C for 2-8 hours, Na ions on the glass surface and K ions on the solution exchange with each other, and strengthening occurs due to contraction due to electromagnetic force. In addition, the preferred temperature of the chemically strengthened layer 20 and the immersion time of the potassium nitrate solution vary depending on the function of the touch panel. For example, the temperature of the chemically strengthened layer 20 is set to 420° C. and the potassium nitrate solution is about 3 hours. It can be immersed, but the temperature should be 450℃ and immersed in potassium nitrate solution for 4~5 hours. It may be, this can be said to be the result of different treatment of the strength of the chemical strengthening layer 20 according to the characteristics of the touch panel. The substrate 10 having such a chemically strengthened layer 20 exhibits an intensity of about 8 times higher than that by heat treatment, and less deformation such as distortion during processing, and maintains color and light transmittance characteristics.

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한편, 본 발명에 따르면 상기 기판(10)의 일면에 산화니오븀층(

Figure 112011104590634-pat00011
)(22) 및 산화규소층(25)과 산화인듐주석층(30)을 차례로 증착하는데, 이러한 증착과정을 보다 상세하게 설명한다. Meanwhile, according to the present invention, a niobium oxide layer on one surface of the substrate 10 (
Figure 112011104590634-pat00011
) 22 and the silicon oxide layer 25 and the indium tin oxide layer 30 are sequentially deposited, which will be described in more detail.

산화니오븀층(

Figure 112011104590634-pat00012
)(22) 및 산화규소층(25)과 산화인듐주석층(30)은 전술한 글래스의 기판(10)을 진공챔버(Vacuum chamber)에 수용하고 소정의 가스 분위기에서 증착(sputtering)을 통하여 형성된다.Niobium oxide layer (
Figure 112011104590634-pat00012
) 22 and the silicon oxide layer 25 and the indium tin oxide layer 30 receive the above-described glass substrate 10 in a vacuum chamber and form it through sputtering in a predetermined gas atmosphere. do.

우선, 셀 글래스 재료의 수입검사 및 자재수량을 확인한 다음 카세트에 적재한다. 한 열에 적재 가능한 수량은 대략 62개 내외이며(그 이상, 이하도 가능), 첫 번째와 마지막 칸은 비워서 취급불량을 방지한다. 세정 카세트 3열 60매씩 적재가 완료되면 전체적으로 외관 상태를 확인한다. 세정기 투입대기 장소로 이동하여 투입대기 선반에 적재한다. 물론 이 공정의 이전 또는 직후에 화학강화를 거쳐 화학강화층(20)을 형성한 셀 글래스를 사용해야 한다. First, check the import and material quantity of cell glass material, and then load it in the cassette. The number of loads per row is approximately 62 (more or less), and the first and last spaces are empty to prevent mishandling. When loading of 60 sheets of 3 cleaning cassettes is completed, the overall appearance is checked. Move to the place where the cleaner is placed and put it on the shelf. Of course, before or immediately after this process, a cell glass having a chemically strengthened layer 20 formed through chemical strengthening must be used.

다음으로, 적재된 셀글래스 재료를 세정기에 넣어 세정작업을 수행한다. 이때 세정 온도는 60℃ 내외로 하고 세정 시간은 약 45분 정도로 하는 것이 적당하다. 이러한 수치는 사용하는 셀글래스 재료의 기타 조건에 따라 조절될 수 있다.Next, the loaded cell glass material is put in a washing machine to perform a cleaning operation. At this time, it is appropriate to set the cleaning temperature to about 60°C and the cleaning time to about 45 minutes. These values can be adjusted according to other conditions of the cell glass material used.

다음으로, 세정 공정을 마친 셀글래스 재료는 진공챔버로 진입하기 위해 캐리어(Carrier)에 로딩된다. 로딩 시에는 코팅 유효 범위 존(Zone) 내에 유지하도록 투입되는 수량을 제한한다.Next, the cell glass material after the cleaning process is loaded into a carrier to enter the vacuum chamber. During loading, the quantity inputted to be kept within the coating effective range zone is limited.

다음으로, 셀글래스 재료를 진공챔버에 진입시킨다. 이때 진공챔버의 분위기 온도는 250℃±50 내외의 적정온도 또는 340℃ 내외로 설정한다. 이후 마그네트론 스퍼터링(Magnetron Sputtering) 방식에 의한 플라즈마 스퍼터링 처리를 수행한다. 마그네트론 스퍼터링은 타겟에 가해지는 바이어스 전압(DC, RF)에 의하여 타겟과 실드(Shield) 혹은 타겟과 기판(Substrate) 사이에서 생성될 수 있는 플라즈마를 타겟에 붙어 있는 영구자석을 이용하여 타겟 근처에 집중시키고, 타겟 표면과 플라즈마 사이의 전위차에 의해 가속된 이온들이 타겟 표면과 충돌하여 이차 전자방출을 일으킴과 동시에 타겟 표면에서 스퍼터링을 일으키고, 스퍼터링된 중성의 원자들이 기판으로 날아가 박막을 형성하는 원리로 작동된다. Next, the cell glass material is introduced into the vacuum chamber. At this time, the ambient temperature of the vacuum chamber is set to about 250°C ± 50°C or about 340°C. Subsequently, plasma sputtering is performed using a magnetron sputtering method. Magnetron sputtering concentrates the plasma that can be generated between the target and the shield or the target and the substrate by the bias voltage (DC, RF) applied to the target near the target using a permanent magnet attached to the target. And the ions accelerated by the potential difference between the target surface and the plasma collide with the target surface to cause secondary electron emission and sputter at the target surface, and sputtered neutral atoms fly to the substrate to form a thin film. do.

다음으로, 플라즈마에 의한

Figure 112011104590634-pat00008
코팅처리를 수행하여 산화니오븀층(
Figure 112011104590634-pat00013
)(22)을 형성한다. 이때 코팅되는 박막두께는 40±10Å 정도를 유지하는 것이 바람직한데, 이러한 산화니오븀(
Figure 112011104590634-pat00010
) 대신 산화티타늄(TIO2)이나 지르코늄(ZrO2) 등의 고 굴절물질을 사용하여 증착할 수도 있다.Next, by plasma
Figure 112011104590634-pat00008
Niobium oxide layer by performing coating treatment (
Figure 112011104590634-pat00013
) (22). At this time, it is desirable to maintain the thickness of the coated thin film at about 40±10 mm 2.
Figure 112011104590634-pat00010
) May be deposited using a high refractive material such as titanium oxide (TIO 2 ) or zirconium (ZrO 2 ).

다음으로, 아르곤(Ar) 플라즈마에 의한 SiO2 코팅처리를 수행하여 산화규소층(25)을 형성한다. 이때 코팅되는 박막두께는 250Å 정도를 유지하는 것이 바람직하다. 그리고 상기 산화규소층(25) 대신 산화알루미늄(Al2O3)이나 산화실리콘(SiNx) 등의 저 굴절물질을 사용하여 증착할 수도 있다.Next, a silicon oxide layer 25 is formed by performing an SiO 2 coating treatment with argon (Ar) plasma. At this time, the thickness of the thin film to be coated is preferably maintained at about 250 MPa. In addition, instead of the silicon oxide layer 25, a low refractive material such as aluminum oxide (Al 2 O 3) or silicon oxide (SiNx) may be used for deposition.

한편 SiO2 코팅시 방법은 RF 파워의 제어방식으로는 캐소드(Cathode) 4개를 사용하는 것이 바람직하다. 캐소드 개수 및 배치되는 위치는 진공챔버의 구조에 따라 달라질 수 있으며, 본 발명에 최적화되는 캐소드는 셀글래스 재료에 대향하는 위치에서 일정한 등 간격을 유지하는 4개를 선정한다. 캐소드 수가 적으면 박막 형성이 미흡해질 우려가 있고, 너무 많으면 두께의 균일한 제어가 곤란하다. 이에 따라 코팅에 의한 투과율을 90% 이상으로 향상시킬 수 있다. 이어서 상온에서 증착된 SiO2의 막 강도를 향상시키기 위해 플라즈마 처리작업을 수행한다. 그리고 상기한 SiO2 코팅방법 대신 염화마그네슘(MGF2)을 E빔(일렉트론 빔)에 녹여서 증착하는 방법도 가능하나 SiO2 코팅 처리방법이 더 바람직한 것으로 사료된다.Meanwhile, in the method of coating SiO 2, it is preferable to use four cathodes as a control method of RF power. The number of cathodes and the positions to be arranged may vary depending on the structure of the vacuum chamber, and the cathodes optimized for the present invention are selected to maintain a constant equal spacing at positions facing the cell glass material. If the number of cathodes is small, thin film formation may be insufficient, and if too large, uniform control of thickness is difficult. Accordingly, the transmittance by coating can be improved to 90% or more. Subsequently, plasma treatment is performed to improve the film strength of SiO 2 deposited at room temperature. Also, instead of the above-described SiO 2 coating method, a method of depositing by dissolving magnesium chloride (MGF 2 ) in an E-beam (electron beam) is possible, but it is considered that the SiO 2 coating treatment method is more preferable.

다음으로, 코팅된 SiO2의 셀글래스 재료에 직류파워 제어방식에 의해 120±50Å 두께로 ITO를 코팅하여 산화인듐주석층(30)을 형성하는 것이 바람직하다. ITO 코팅 처리 시에는 아르곤 및 산소 가스의 압력제어에 의해 ITO 성막의 저항 균일도를 5% 이내로 유지하도록 한다. 이러한 제어 방식은 통상의 장치를 사용할 수 있다. 분위기의 조건을 정밀 제어하는 전용의 장치를 사용한다.Next, it is preferable to form the indium tin oxide layer 30 by coating ITO to the coated cell glass material of SiO 2 with a thickness of 120±50 Å by a DC power control method. In the case of ITO coating treatment, the uniformity of resistance of ITO film formation is maintained within 5% by pressure control of argon and oxygen gas. Such a control method can use a conventional device. A dedicated device for precisely controlling the conditions of the atmosphere is used.

다음으로, 이온빔으로 표면 처리하여 ITO 박막의 안정화를 통한 저항 경시변화율 감소를 달성할 수 있다. Next, it is possible to achieve a reduction in the rate of change of resistance over time through stabilization of the ITO thin film by surface treatment with an ion beam.

한편, 글래스 기판(10)은 진공챔버의 온도를 250℃±50 내외로 설정해서 산화인듐주석층(ITO; Indium Tin Oxide)(30)을 증착하게 되면 저항치도 400~500Ω 내외여서 무난하게 사용될 수 있는 형태로 제조될 수 있다. 그런데 글래스 기판(10)의 경우에 진공챔버의 온도를 일반적으로 행하고 있는 340℃ 내외로 설정해서 산화인듐주석층(ITO층, 30)을 증착하게 되면 저항치를 80~300Ω 내외로 감소시킬 수도 있고, 또 산화인듐주석층(30)의 물질들이 안정화/결정화되는데 아무런 장애가 생기지 않아 소비자의 다양한 요구에 부응할 수 있는 이점이 있다. On the other hand, the glass substrate 10, the temperature of the vacuum chamber is set to about 250 ℃ ± 50 to deposit the indium tin oxide layer (ITO; Indium Tin Oxide) (30) resistance is also 400 ~ 500 Ω can be used safely. It can be manufactured in the form. However, in the case of the glass substrate 10, if the indium tin oxide layer (ITO layer, 30) is deposited by setting the temperature of the vacuum chamber to about 340°C, which is generally performed, the resistance value may be reduced to about 80 to 300 MPa. In addition, there are no obstacles in stabilizing/crystallizing the materials of the indium tin oxide layer 30, and thus there is an advantage of being able to meet various needs of consumers.

이렇게 제조된 셀글래스 재료의 터치패널을 캐리어에서 탈착한 후 외관 검사와 특성 검사를 수행한다. 외관 검사는 표면의 스크래치, 이물, 오염, 핀홀 등을 육안으로 검사하는 것이고, 특성 검사는 전기저항, 투과율, 막 두께, 내열성, 내마모성을 측정하는 것이다.After the touch panel of the cell glass material thus manufactured is detached from the carrier, an external appearance inspection and characteristic inspection are performed. The appearance inspection is to visually inspect the surface for scratches, foreign substances, contamination, pinholes, etc., and the characteristic inspection is to measure electrical resistance, transmittance, film thickness, heat resistance, and wear resistance.

통상 91% 내외의 투과율을 지니는 기판(10)에 산화인듐주석층(30)만 적층하면 투과율이 다소 저하되지만, 산화니오븀층(22) 및 산화규소층(25)과 산화인듐주석층(30)을 적층하면 약 91%내외의 투과율로 회복되며, 더불어 제조공정이 단순하고 제조단가가 낮아지는 유용성을 갖추고 있다. Normally, if only the indium tin oxide layer 30 is laminated on the substrate 10 having a transmittance of about 91%, the transmittance decreases somewhat, but the niobium oxide layer 22 and the silicon oxide layer 25 and the indium tin oxide layer 30 are formed. When it is laminated, it recovers with a transmittance of about 91%, and has the usefulness of simplifying the manufacturing process and lowering the manufacturing cost.

본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 변형예 또는 수정예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.The present invention is not limited to the described embodiments, and it is obvious to those skilled in the art that various modifications and variations can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, such modifications or modifications will have to belong to the claims of the present invention.

10: 기판 20: 화학강화층
22: 산화니오븀층 25: 산화규소층
30: 산화인듐주석층
10: substrate 20: chemical strengthening layer
22: niobium oxide layer 25: silicon oxide layer
30: indium oxide layer

Claims (3)

터치패널에 있어서:
글래스를 주재로 하는 기판(10); 및
상기 기판(10)의 일면에 산화니오븀층(22) 및 산화규소층(25)과 산화인듐주석층(30)을 차례로 증착하며,
상기 글래스 기판(10)은 소다라임 글래스 또는 고리라 글래스 중에서 선택되고, 기판(10)의 일면에 화학강화층(20)을 구비하되, 화학강화층(20)은 400~500℃ 내외의 질산칼륨용액에 2~8시간 내외로 침지하여 형성되는 것을 특징으로 하는 시인성 향상과 슬림화를 겸비한 터치패널.
On the touch panel:
A substrate 10 mainly made of glass; And
A niobium oxide layer 22 and a silicon oxide layer 25 and an indium tin oxide layer 30 are sequentially deposited on one surface of the substrate 10,
The glass substrate 10 is selected from soda-lime glass or Gorira glass, and includes a chemical strengthening layer 20 on one surface of the substrate 10, wherein the chemical strengthening layer 20 has a potassium nitrate solution of about 400 to 500°C. A touch panel having both visibility improvement and slimming, which is formed by immersion in about 2 to 8 hours.
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