KR101210936B1 - Capacitive sensor interface comprising signal generator for reducing noise - Google Patents

Capacitive sensor interface comprising signal generator for reducing noise Download PDF

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Abstract

PURPOSE: A capacitive sensor interface is provided to effectively reduce noise which is increased during the sensing process of signal by the acceleration senor or the treatment process of sensed signal. CONSTITUTION: A capacitive sensor interface(100) comprises a signal generator(110) and a sensor interface circuit(120). A signal generator generates the input signal of X-axis, Y-axis, and Z-axis inputted to a variable capacitor for sensing acceleration. A sensor interface circuit comprises a multiplexor(121), an operational trans-conductance amplifier(122), and a programmable gain amplifier(123). A multiplexor outputs one of the sensing currents as an input current after the input signal converts into the sensing currents of X-axis, Y-axis, and Z-axis by a variable capacitor. An operational trans-conductance amplifier outputs an input current as the first output value by receiving an input current and the first standard voltage. A programmable fain amplifier outputs the first output value after converting it into the second output value by receiving the first output value and the second standard voltage.

Description

노이즈를 감쇄시킬 수 있는 신호 발생기를 포함하는 용량성 센서 인터페이스{CAPACITIVE SENSOR INTERFACE COMPRISING SIGNAL GENERATOR FOR REDUCING NOISE}CAPACITIVE SENSOR INTERFACE COMPRISING SIGNAL GENERATOR FOR REDUCING NOISE}

본 발명은 용량성 센서 인터페이스에 관한 것으로, 보다 상세하게는 가속도 센서에 의하여 신호가 감지되는 과정 또는 상기 감지된 신호를 처리하는 과정에서 증가한 노이즈를 효과적으로 감쇄시킬 수 있는 신호 발생기를 포함하는 용량성 센서 인터페이스에 관한 것이다.The present invention relates to a capacitive sensor interface, and more particularly, to a capacitive sensor including a signal generator capable of effectively attenuating an increased noise in a process of sensing a signal by an acceleration sensor or in processing a sensed signal. It's about the interface.

미세전자 기계 시스템(Micro Electro Mechanical System: MEMS)의 기술로 구현된 MEMS 센서는 자동차, 항공기 등의 항법과 관련된 기술, 의료용 심전도 등 의료용 기술, 근거리 위치 추적, 전자장치의 입력 장치, 생활, 건강과 관련된 부분 등 수많은 제품 및 매우 다양한 응용 분야를 가지고 있다. 이러한 응용에 많이 쓰이는 MEMS 센서로는 압력 센서, 가속도 센서, 자이로 센서, 지자기 센서 등이 있다.MEMS sensors, implemented with the technology of Micro Electro Mechanical System (MEMS), are related to navigation technologies such as automobiles and aircrafts, medical technologies such as medical electrocardiograms, near-position tracking, input devices of electronic devices, life, health It has numerous products and a wide variety of applications, including related areas. MEMS sensors commonly used in these applications include pressure sensors, acceleration sensors, gyro sensors and geomagnetic sensors.

도 1은 종래기술에 따른 미세전자 기계 시스템(Micro Electro Mechanical System: MEMS)으로 구현된 용량성 센서 인터페이스로 입력되는 입력 신호가 연산 트랜스 컨덕턴스 증폭기에 의해 처리된 것을 나타내고, 도 2는 도 1에 도시된 입력신호를 수신하는 센서 인터페이스 회로를 나타낸다.FIG. 1 shows that an input signal input to a capacitive sensor interface implemented with a conventional Micro Electro Mechanical System (MEMS) is processed by an operational transconductance amplifier, and FIG. 2 is shown in FIG. A sensor interface circuit for receiving the input signal.

도 1에 도시된 바와 같이 센서 인터페이스 회로(10)로 입력되는 입력신호는 X축, Y축 및 Z축에 상시 입력되며, 내부 MUX(11)에 의하여 X축, Y축 및 Z축의 값 중 어느 하나가 OTA(12)에 입력될 수 있다.As shown in FIG. 1, an input signal input to the sensor interface circuit 10 is always input to the X-axis, Y-axis, and Z-axis. One can be input to the OTA 12.

도 1에 도시된 바와 같이, 센서 인터페이스 회로(10)로 입력되는 입력신호는 X축, Y축, Z축의 순서대로 센서 인터페이스 회로(10)에 입력될 수 있다. 도 1을 참조하면, 입력신호는 X축, Y축, Z축의 순서로 센서 인터페이스 회로(10)에 입력된다. 도 1에서는 센서 인터페이스 회로(10)에 X값, X값, Y값, Y값, Z값, Z값이 순서대로 입력되기 위한 입력신호를 나타내고 있다. 상기의 X값, Y값 및 Z값들은 가속도 센서에 포함된 가변 커패시터(미도시)에 의하여 전류값으로 변환된다.As illustrated in FIG. 1, an input signal input to the sensor interface circuit 10 may be input to the sensor interface circuit 10 in the order of the X axis, the Y axis, and the Z axis. Referring to FIG. 1, an input signal is input to the sensor interface circuit 10 in the order of the X axis, the Y axis, and the Z axis. In FIG. 1, an input signal for sequentially inputting an X value, an X value, a Y value, a Y value, a Z value, and a Z value to the sensor interface circuit 10 is illustrated. The X, Y and Z values are converted into current values by a variable capacitor (not shown) included in the acceleration sensor.

도 2를 참조하면, 센서 인터페이스 회로(10)는 멀티플렉서(Multiplexer: MUX)(11), 연산 트랜스컨덕턴스 증폭기(Operational Transconductance Amplifier: OTA)(12), 프로그래머블 이득 증폭기(Programmable Gain Amplifier:PGA)(13) 및 A/D 컨버터(Analog to Digital Converter)(14)를 포함한다.Referring to FIG. 2, the sensor interface circuit 10 includes a multiplexer (MUX) 11, an operational transconductance amplifier (OTA) 12, a programmable gain amplifier (PGA) 13. ) And an A / D converter (Analog to Digital Converter) 14.

MUX(11)에는 센싱을 하기 위하여 외부 연결된 가속도 센서, 즉 가변 커패시터(미도시)의 커패시턴스 변화량이 전류값으로 변환되어 입력된다. 그에 따라 MUX(11)의 X축에는 전류변화량 IX가, Y축에는 Y축의 전류변화량 IY가, Z축에는 전류변화량 IZ가 각각 입력된다.In order to sense the MUX 11, an amount of change in capacitance of an externally connected acceleration sensor, that is, a variable capacitor (not shown) is converted into a current value and input. Accordingly, the current change amount IX is input to the X axis of the MUX 11, the current change amount IY of the Y axis is input to the Y axis, and the current change amount IZ is input to the Z axis, respectively.

OTA(12)는 MUX(11)로부터 IX, IY, IZ을 시분할로 입력받아서, 즉 IX, IY, IZ 중 어느 하나를 입력받아서 전압으로 변환하여 출력한다. OTA(12)로부터 출력되는 출력전압(VOUT)은 하기와 같다.The OTA 12 receives IX, IY, and IZ from the MUX 11 in time division, that is, receives one of IX, IY, and IZ, and converts the voltage into a voltage. The output voltage V OUT output from the OTA 12 is as follows.

Figure 112011075722773-pat00001
………수학식 (1)
Figure 112011075722773-pat00001
... ... ... Equation (1)

수학식 (1)에서 보는 바와 같이, OTA(12)는 MUX(11)로부터 출력되는 값(IX, IY, IZ) 및 기준전압(Vref)을 입력받는다. 이때 OTA(12)로 공급되는 기준전압(Vref)은 기생 커패시턴스를 포함하므로 OTA(12)는 주신호를 증폭하는 역할 이외에도 기준전압(Vref)에서 발생하는 잡음을 증폭하는 비반전증폭기의 역할을 수행한다. 기준전압(Vref)에 의하여 발생하는 잡음(ΔVOUT)은 아래의 수학식 (2)와 같이 나타낼 수 있다.As shown in Equation (1), the OTA 12 receives the values IX, IY, IZ and the reference voltage V ref output from the MUX 11. In this case, since the reference voltage V ref supplied to the OTA 12 includes parasitic capacitance, the OTA 12 plays a role of a non-inverting amplifier that amplifies the noise generated from the reference voltage V ref in addition to amplifying the main signal. Do this. The noise ΔV OUT generated by the reference voltage V ref may be expressed by Equation 2 below.

Figure 112011075722773-pat00002
………수학식 (2)
Figure 112011075722773-pat00002
... ... ... Equation (2)

PGA(12)는 OTA(12)로부터 출력되는 값(VOUT) 및 기준전압(Vref)을 입력받아서 차동으로 신호를 처리한다. 또한 A/D 컨버터(14)는 PGA(13)로부터 출력된 신호를 입력받아서 디지털 신호로 변환한다.The PGA 12 receives the value V OUT and the reference voltage V ref output from the OTA 12 and processes the signal differentially. In addition, the A / D converter 14 receives a signal output from the PGA 13 and converts it into a digital signal.

상기와 같이, MUX(11)는 X축에서의 전류변화량 IX, Y축에서의 전류변화량 IY 및 Z축에서의 전류변화량 IZ을 수신하여 그 중 하나의 값을 출력한다. 이때 IX, IY, IZ는 가변 커패시터에 의하여 감지, 변환되는 값이므로, 기생 커패시턴스(미도시), 즉 노이즈를 가지게 된다. 기생 커패시턴스에 의한 노이즈는 OTA(12) 및 PGA(13)에 의하여 MUX(11)로부터 출력된 신호와 함께 증폭된다. 그에 따라 MEMS 센서는 올바른 가속도를 구하기 용이하지 않다는 문제점이 있다.As described above, the MUX 11 receives a current change amount IX on the X-axis, a current change amount IY on the Y-axis, and a current change amount IZ on the Z-axis, and outputs one of them. In this case, since IX, IY, and IZ are values sensed and converted by the variable capacitor, they have parasitic capacitance (that is, not shown), that is, noise. Noise due to parasitic capacitance is amplified together with the signal output from the MUX 11 by the OTA 12 and the PGA 13. Accordingly, there is a problem that the MEMS sensor is not easy to obtain the correct acceleration.

본 발명의 해결하고자 하는 과제는 가속도 센서에 의하여 신호가 감지되는 과정 또는 상기 감지된 신호를 처리하는 과정에서 증가한 노이즈를 효과적으로 감쇄시킬 수 있는 신호 발생기를 포함하는 용량성 센서 인터페이스를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a capacitive sensor interface including a signal generator capable of effectively attenuating the increased noise in the process of sensing a signal by the acceleration sensor or in processing the sensed signal.

본 발명의 일 실시예에 용량성 센서 인터페이스는, 가속도를 센싱하기 위하여 가변 커패시터에 입력되는 X축, Y축 및 Z축에 대한 입력신호를 생성하는 신호 발생기; 상기 가변 커패시터에 의하여 상기 입력신호가 상기 X축, Y축 및 Z축 각각에 대한 센싱전류들로 변환되면, 상기 센싱전류들을 입력받고, 상기 센싱전류들 중 어느 하나를 입력전류로서 출력하는 멀티플렉서; 상기 입력전류 및 제1 기준전압을 각각 입력받아 상기 입력전류를 제1 출력값으로 변환하여 출력하는 연산 트랜스컨덕턴스 증폭기; 및 상기 제1 출력값 및 제2 기준전압을 각각 입력받아 상기 제1 출력값을 제2 출력값으로 변환하여 출력하는 프로그래머블 이득 증폭기를 포함하고, 상기 신호 발생기는, 상기 X축, Y축 및 Z축 각각에 대하여 위상이 정반대인 복수의 신호를 상기 입력신호로서 생성하는 것을 특징으로 한다.In one embodiment of the present invention, a capacitive sensor interface includes: a signal generator for generating input signals for X, Y, and Z axes input to a variable capacitor to sense acceleration; A multiplexer which receives the sensing currents and outputs any one of the sensing currents as an input current when the input signal is converted into sensing currents for each of the X, Y, and Z axes by the variable capacitor; An operational transconductance amplifier configured to receive the input current and the first reference voltage, respectively, and convert the input current into a first output value; And a programmable gain amplifier configured to receive the first output value and the second reference voltage, respectively, and convert the first output value into a second output value, and output the converted output signal. A plurality of signals having opposite phases with respect to each other is generated as the input signal.

바람직하게, 상기 신호 발생기로부터 생생된 입력신호는, 상기 X축, Y축 및 Z축 각각에 대한 노이즈를 포함하고, 상기 센싱전류들은 상기 X축, Y축 및 Z축 각각에 대한 노이즈들을 포함하여 상기 가변 커패시터에 의하여 상기 센싱전류들로 변환되고, 상기 연산 트랜스컨덕턴스 증폭기는 상기 노이즈들을 포함하여 상기 센싱전류들을 제1 출력값으로 증폭하는 것을 특징으로 한다.Preferably, the input signal generated from the signal generator includes noise for each of the X, Y, and Z axes, and the sensing currents include noise for each of the X, Y, and Z axes. The operational signal is converted into the sensing currents by the variable capacitor, and the operational transconductance amplifier amplifies the sensing currents to the first output value including the noises.

실시예에 따라 상기 연산트랜스컨덕턴스 증폭기는, 상기 X축에 대한 센싱전류들 중 위상이 정반대인 두 개의 센싱전류들을 각각 증폭하여 상기 X축에 대한 두 개의 제1 출력값들을 출력하고, 상기 프로그래머블 이득 증폭기는 상기 제1 출력값들의 차를 증폭하여 제2 출력값으로 출력하는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment, the operational transconductance amplifier may amplify two sensing currents having opposite phases among the sensing currents of the X axis to output two first output values of the X axis, and the programmable gain amplifier. Amplifies the difference between the first output value and outputs a second output value.

실시예에 따라 상기 연산트랜스컨덕턴스 증폭기는, 상기 Y축에 대한 센싱전류들 중 위상이 정반대인 두 개의 센싱전류들을 각각 증폭하여 상기 Y축에 대한 두 개의 제1 출력값들을 출력하고, 상기 프로그래머블 이득 증폭기는 상기 제1 출력값들의 차를 증폭하여 상기 제2 출력값으로 출력하는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment, the operational transconductance amplifier may amplify two sensing currents having opposite phases among the sensing currents of the Y-axis, respectively, and output two first output values of the Y-axis, and the programmable gain amplifier. Amplifies the difference between the first output value and outputs the second output value.

실시예에 따라 상기 연산트랜스컨덕턴스 증폭기는, 상기 Z축에 대한 센싱전류들 중 위상이 정반대인 두 개의 센싱전류들을 각각 증폭하여 상기 Z축에 대한 두 개의 제1 출력값들을 출력하고, 상기 프로그래머블 이득 증폭기는 상기 제1 출력값들의 차를 증폭하여 상기 제2 출력값으로 출력하는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment, the operational transconductance amplifier may amplify two sensing currents having opposite phases among the sensing currents of the Z axis to output two first output values of the Z axis, and the programmable gain amplifier. Amplifies the difference between the first output value and outputs the second output value.

본 발명에 따르면, 가속도 센서에 의하여 신호가 감지되는 과정 또는 상기 감지된 신호를 처리하는 과정에서 발생한 노이즈를 효과적으로 감쇄시킬 수 있는 용량성 센서 인터페이스에서의 신호 공급기를 제공한다.According to the present invention, there is provided a signal feeder in a capacitive sensor interface capable of effectively attenuating noise generated in a process of sensing a signal by an acceleration sensor or in processing a sensed signal.

도 1은 종래기술에 따른 미세전자 기계 시스템으로 구현된 용량성 센서 인터페이스로 입력되는 입력 신호가 연산 트랜스 컨덕턴스 증폭기에 의해 처리된 것을 나타낸다.
도 2는 도 1에 도시된 입력신호를 수신하는 용량성 센서 인터페이스의 용량성 센서 인터페이스 회로를 나타낸다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 신호 발생기를 포함하는 용량성 센서 인터페이스의 대략적인 구조를 나타낸다.
도 4a 및 도 4b는 도 3에 도시된 신호 발생기로부터 발생하는 신호의 일 예를 나타낸 것이다.1 shows that an input signal input to a capacitive sensor interface implemented with a microelectromechanical system according to the prior art has been processed by an operational transconductance amplifier.
FIG. 2 shows a capacitive sensor interface circuit of the capacitive sensor interface for receiving the input signal shown in FIG. 1.
3 illustrates a schematic structure of a capacitive sensor interface including a signal generator according to an embodiment of the present invention.
4A and 4B illustrate an example of a signal generated from the signal generator shown in FIG. 3.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다. The terms first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, the terms "comprising" or "having ", and the like, are intended to specify the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art.

일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the relevant art and are to be interpreted as ideal or overly formal in meaning unless explicitly defined in the present application Do not.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference will now be made in detail to the preferred embodiments of the present invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 신호 발생기를 포함하는 용량성 센서 인터페이스를 나타낸다.3 illustrates a capacitive sensor interface including a signal generator according to an embodiment of the present invention.

용량성 센서 인터페이스(100)는 신호 발생기(110), 센서 인터페이스 회로(120) 및 A/D 컨버터(130)를 포함할 수 있다.The capacitive sensor interface 100 may include a signal generator 110, a sensor interface circuit 120, and an A / D converter 130.

신호 발생기(110)는 입력신호를 발생하여 센서 인터페이스 회로(120)에 공급한다. 본 실시예에 따른 신호 발생기(110)는 센서 인터페이스 회로(120)로 입력되는 입력신호, 즉 X축에서의 값(X), Y축에서의 값(Y) 및 Z축에서의 값(Z)을 발생시킨다. 이때 신호 발생기(110)는 X축, Y축, Z축 각각에 대한 입력신호를 위상이 정반대인 두 개의 신호들로 각각 나누어 발생시킴으로써 용량성 센서 인터페이스(100)에서의 노이즈를 최소화할 수 있다. 예를 들어, 신호 발생기(110)는 (+X), (-X), (+Y), (-Y), (+Z), (-Z)의 순서대로 입력신호를 생성하거나 또는 (+X), (-X), (+2Y), (-2Y), (+3Z), (-3Z)의 순서대로 입력신호를 생성할 수 있다.The signal generator 110 generates an input signal and supplies it to the sensor interface circuit 120. The signal generator 110 according to the present embodiment includes an input signal input to the sensor interface circuit 120, that is, a value X on the X axis, a value Y on the Y axis, and a value Z on the Z axis. Generates. In this case, the signal generator 110 may minimize the noise in the capacitive sensor interface 100 by generating an input signal for each of the X-axis, the Y-axis, and the Z-axis by dividing the signal into two signals having opposite phases. For example, the signal generator 110 generates an input signal in the order of (+ X), (-X), (+ Y), (-Y), (+ Z), (-Z) or (+ Input signals can be generated in the order of X), (-X), (+ 2Y), (-2Y), (+ 3Z), and (-3Z).

센서 인터페이스 회로(120)는 신호 발생기(110)로부터 수신한 입력신호를 증폭하여 A/D 컨버터(130)에 공급한다. 센서 인터페이스 회로(120)는 멀티플렉서(Multiplexer: MUX)(121), 연산 트랜스컨덕턴스 증폭기(Operational Transconductance Amplifier: OTA)(122), 프로그래머블 이득 증폭기(Programmable Gain Amplifier:PGA)(123)을 포함할 수 있다.The sensor interface circuit 120 amplifies the input signal received from the signal generator 110 and supplies it to the A / D converter 130. The sensor interface circuit 120 may include a multiplexer (MUX) 121, an operational transconductance amplifier (OTA) 122, and a programmable gain amplifier (PGA) 123. .

멀티플렉서(121)에는 센싱을 하기 위하여 외부 연결된 가속도 센서, 즉 가변 커패시터(미도시)의 커패시턴스 변화량이 전류값으로 변환되어 입력된다. 그에 따라 MUX(121)의 X축에는 전류변화량 IX가, Y축에는 Y축의 전류변화량 IY가, Z축에는 전류변화량 IZ가 각각 입력된다. 연산 트랜스컨덕턴스 증폭기(122)는 MUX(121)로부터 전류변화량 IX, IY, IZ을 시분할로 입력받아서, 즉 IX, IY, IZ 중 어느 하나와 기준전압(Vref)를 입력받아서 전압으로 변환하여 출력한다.In order to sense the multiplexer 121, a capacitance change amount of an externally connected acceleration sensor, that is, a variable capacitor (not shown) is converted into a current value and input. Accordingly, the current change amount IX is input to the X axis of the MUX 121, the current change amount IY of the Y axis is input to the Y axis, and the current change amount IZ is input to the Z axis, respectively. The operational transconductance amplifier 122 receives the current change amounts IX, IY, and IZ from the MUX 121 in time division, that is, any one of IX, IY, and IZ and the reference voltage V ref are converted into voltages and output. do.

가속도 센싱 과정에서 신호 발생기(110)로부터 출력된 입력신호인 X, Y, Z 각각에는 동일한 기생 커패시턴스(CN)가 여기된다. 기생 커패시턴스(CN)는 X, Y, Z의 커패시턴스 변화량을 변화시키므로, 상기 전류변화량 IX, IY, IZ는 상기 기생 커패시턴스(CN)를 포함한 커패시턴스 변화량이 전류값으로 변환된 것이다.The same parasitic capacitance C N is excited to each of the input signals X, Y, and Z output from the signal generator 110 in the acceleration sensing process. Since the parasitic capacitance C N changes the capacitance change amounts of X, Y, and Z, the current change amounts IX, IY, and IZ are the capacitance change amounts including the parasitic capacitance C N converted into current values.

연산 트랜스컨덕턴스 증폭기(122)는 멀티플렉서(121)로부터 IX, IY, IZ 중 어느 하나와 기준전압(Vref)를 입력받아서 제1 출력값(VOUT1)을 출력한다. 제1 출력값(VOUT1)은 X, Y, Z 각각에 여기된 기생 커패시턴스(CN)가 전류값으로 변환된 전류변화량을 포함한다. 연산 트랜스컨덕턴스 증폭기(122)로부터 출력되는 제1 출력값(VOUT1)은 X, Y, Z 각각에 대한 출력전압(VOUT1(X), VOUT1(Y), VOUT1(Z)) 중 어느 하나와 기생 커패시턴스(CN)가 변환된 노이즈 출력전압(ΔN)을 포함한다.The operational transconductance amplifier 122 receives one of IX, IY, and IZ and a reference voltage V ref from the multiplexer 121 and outputs a first output value V OUT1 . The first output value V OUT1 includes a current change amount in which parasitic capacitance C N excited at each of X, Y, and Z is converted into a current value. The first output value VOUT1 output from the operational transconductance amplifier 122 is equal to any one of the output voltages V OUT1 (X), V OUT1 (Y), and V OUT1 (Z) for X, Y, and Z, respectively. The parasitic capacitance C N includes the converted noise output voltage ΔN.

프로그래머블 이득 증폭기(123)는 OTA(122)로부터 출력되는 제1 출력값(VOUT1) 및 기준전압(Vref)을 입력받아서 차동으로 신호를 처리한다. 프로그래머블 이득 증폭기(123)는 차동증폭기일 수 있다.The programmable gain amplifier 123 receives the first output value V OUT1 and the reference voltage V ref output from the OTA 122 and processes the signal differentially. Programmable gain amplifier 123 may be a differential amplifier.

A/D 컨버터(130)는 센서 인터페이스 회로(120)로부터 수신한 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환한다. A/D 컨버터(130)는 PGA(123)로부터 상기 아날로그 신호를 수신할 수 있다.The A / D converter 130 converts the analog signal received from the sensor interface circuit 120 into a digital signal. The A / D converter 130 may receive the analog signal from the PGA 123.

도 4a 및 도 4b는 도 3에 도시된 신호 발생기로부터 발생하는 신호의 일 예를 나타낸 것이다.4A and 4B illustrate an example of a signal generated from the signal generator shown in FIG. 3.

도 4a를 참조하면, 신호 발생기(110)는 (+X), (-X), (+Y), (-Y), (+Z), (-Z)의 순서대로 입력신호를 발생하고 있다. 상기와 같은 입력신호에는 동일한 노이즈(N)가 여기된다.Referring to FIG. 4A, the signal generator 110 generates input signals in the order of (+ X), (-X), (+ Y), (-Y), (+ Z), and (-Z). . The same noise N is excited to such an input signal.

센서 인터페이스 회로(120)의 멀티플렉서(121)에 입력되는 입력신호는 (+X+N), (-X+N), (+Y+N), (-Y+N), (+Z+N), (-Z+N)가 된다. 센서 인페이스 회로(120)는 상기의 입력신호들이 가변 커패시터에 의하여 전류로 변환된 전류변화량을 수신하게 된다. 상기 노이즈(N)는 입력신호들 각각에 포함된 상태로 센서 인터페이스 회로(120)에 입력되므로, 상기 입력신호들과 함께 전류로 변환될 수 있다. 또한 연산 트랜스컨덕턴스 증폭기(122)에 의하여 상기 전류변화량들과 함께 전압으로 변환된다. 상기 입력신호들 각각이 연산 트랜스컨덕턴스 증폭기(122)에 의하여 전압으로 변환된 것이 제1 출력값(VOUT1)이다. 또한 상기 제1 출력전압(VOUT1)과 함께 증폭된 노이즈가 노이즈 출력전압(ΔN)이다.Input signals input to the multiplexer 121 of the sensor interface circuit 120 are (+ X + N), (-X + N), (+ Y + N), (-Y + N), (+ Z + N ), (-Z + N). The sensor interface circuit 120 receives a current change amount in which the input signals are converted into current by the variable capacitor. Since the noise N is input to the sensor interface circuit 120 in a state included in each of the input signals, the noise N may be converted into a current together with the input signals. In addition, the operational transconductance amplifier 122 is converted into a voltage along with the current changes. Each of the input signals is converted into a voltage by the operational transconductance amplifier 122 is a first output value (V OUT1 ). Also, the noise amplified together with the first output voltage V OUT1 is the noise output voltage ΔN.

연산 트랜스컨덕턴스 증폭기(122)는 X축 신호에 대하여 (VOUT1(X)+ΔN) 및 (-VOUT1(X)+ΔN)을 제1 출력값(VOUT1)으로 출력하고, Y축 신호에 대하여 (VOUT1(Y)+ΔN) 및 (-VOUT1(Y)+ΔN)을 제1 출력값(VOUT1)으로 출력하며, Z축 신호에 대하여 (VOUT1(Z)+ΔN) 및 (-VOUT1(Z)+ΔN)을 제1 출력값(VOUT1)으로서 출력할 수 있다.Operational transconductance amplifier 122 with respect to the X-axis signal (V OUT1 (X) + ΔN) and (-V OUT1 (X) + ΔN), and an output to a first output value (V OUT1), with respect to the Y-axis signal (V OUT1 (Y) + ΔN) and (-V OUT1 (Y) + ΔN) are output as the first output value (V OUT1 ), and (V OUT1 (Z) + ΔN) and (-V) for the Z-axis signal. OUT1 (Z) + ΔN) can be output as the first output value V OUT1 .

프로그래머블 이득 증폭기(123)는 차동증폭기이므로, (VOUT1(X)+ΔN) 및 (-VOUT1(X)+ΔN)의 차, (VOUT1(Y)+ΔN) 및 (-VOUT1(Y)+ΔN)의 차, (VOUT1(Z)+ΔN) 및 (-VOUT1(Z)+ΔN)의 차를 각각 구하여 증폭한다. 프로그래머블 이득 증폭기(123)으로부터 출력된 값을 '제2 출력값(VOUT2)'이라 하기로 한다. 제2 출력값(VOUT2)은 (2VOUT1(X)), (2VOUT1(Y)) 및 (2VOUT1(Z)) 각각을 증폭한 값이다. 즉 프로그래머블 이득 증폭기(123)에 의하여 제1 출력값(VOUT1)에 포함되었던 노이즈 출력전압(ΔN)이 소거될 수 있다.The programmable gain amplifier 123 is a differential amplifier, so the difference between (V OUT1 (X) + ΔN) and (-V OUT1 (X) + ΔN), (V OUT1 (Y) + ΔN) and (-V OUT1 (Y The difference between? + ΔN) and the difference between (V OUT1 (Z) + ΔN) and (−V OUT1 (Z) + ΔN) are respectively amplified. A value output from the programmable gain amplifier 123 will be referred to as a 'second output value V OUT2 '. The second output value VOUT2 is a value obtained by amplifying each of (2V OUT1 (X)), (2V OUT1 (Y)), and (2V OUT1 (Z)). That is, the noise output voltage ΔN included in the first output value V OUT1 may be erased by the programmable gain amplifier 123.

도 4b를 참조하면, 신호 발생기(110)는 (+X), (-X), (+2Y), (-2Y), (+3Z), (-3Z)의 순서대로 입력신호를 발생하고 있다. 상기와 같은 입력신호에도 동일한 노이즈(N)가 여기된다.Referring to FIG. 4B, the signal generator 110 generates an input signal in the order of (+ X), (-X), (+ 2Y), (-2Y), (+ 3Z), and (-3Z). . The same noise N is excited to the above input signal.

센서 인터페이스 회로(120)의 멀티플렉서(121)에 입력되는 입력신호는, 순서대로 (+X+N), (+2Y+N), (+3Z+N), (-X+N), (-2Y+N) 및 (-3Z+N)가 된다. 센서 인페이스 회로(120)는 상기의 입력신호들이 가변 커패시터에 의하여 전류로 변환된 전류변화량을 수신하게 된다. 상기 노이즈(N)는 입력신호들 각각에 포함된 상태로 센서 인터페이스 회로(120)에 입력되므로, 상기 입력신호들 각각에 대한 전류변화량들과 함께 전압으로 변환된다. 상기 입력신호들 각각은 연산 트랜스컨덕턴스 증폭기(122)에 의하여 제1 출력값(VOUT1)으로 변환된다. 연산 트랜스컨덕턴스 증폭기(122)는 X축 신호에 대하여 (VOUT1(X)+ΔN) 및 (-VOUT1(X)+ΔN)을 제1 출력값(VOUT1)으로 출력하고, Y축 신호에 대하여 (2VOUT1(Y)+ΔN) 및 (-2VOUT1(Y)+ΔN)을 제1 출력값(VOUT1)으로 출력하며, Z축 신호에 대하여 (3VOUT1(Z)+ΔN) 및 (-3VOUT1(Z)+ΔN)을 제1 출력값(VOUT1)으로서 출력할 수 있다.Input signals input to the multiplexer 121 of the sensor interface circuit 120 are (+ X + N), (+ 2Y + N), (+ 3Z + N), (-X + N), (- 2Y + N) and (-3Z + N). The sensor interface circuit 120 receives a current change amount in which the input signals are converted into current by the variable capacitor. Since the noise N is input to the sensor interface circuit 120 in a state included in each of the input signals, the noise N is converted into a voltage together with the amount of current change for each of the input signals. Each of the input signals is converted into a first output value V OUT1 by the operational transconductance amplifier 122. Operational transconductance amplifier 122 with respect to the X-axis signal (V OUT1 (X) + ΔN) and (-V OUT1 (X) + ΔN), and an output to a first output value (V OUT1), with respect to the Y-axis signal Outputs (2V OUT1 (Y) + ΔN) and (-2V OUT1 (Y) + ΔN) as the first output value (V OUT1 ), and (3V OUT1 (Z) + ΔN) and (-3V for the Z-axis signal. OUT1 (Z) + ΔN) can be output as the first output value V OUT1 .

프로그래머블 이득 증폭기(123)는 차동증폭기이므로, (VOUT1(X)+ΔN)와 (-VOUT1(X)+ΔN)의 차, (2VOUT1(Y)+ΔN)와 (-2VOUT1(Y)+ΔN)의 차 및 (3VOUT1(Z)+ΔN)와 (3-VOUT1(Z)+ΔN)의 차를 구하여 각각 증폭한다. 그에 따라 프로그래머블 이득 증폭기(123)는 (2VOUT1(X)), (4VOUT1(Y)) 및 (8VOUT1(Z)) 각각을 증폭할 수 있다. 즉 프래그래머블 이득 증폭기(123)에 의하여 제1 출력값(VOUT1)에 포함되었던 노이즈 출력전압(ΔN)이 소거될 수 있다.Since the programmable gain amplifier 123 is a differential amplifier, the difference between (V OUT1 (X) + ΔN) and (-V OUT1 (X) + ΔN), (2V OUT1 (Y) + ΔN) and (-2V OUT1 (Y) The difference between () + ΔN) and the difference between (3V OUT1 (Z) + ΔN) and (3-V OUT1 (Z) + ΔN) are obtained and amplified, respectively. Accordingly, the programmable gain amplifier 123 may amplify each of (2V OUT1 (X)), (4V OUT1 (Y)), and (8V OUT1 (Z)). That is, the noise output voltage ΔN included in the first output value V OUT1 may be erased by the programmable gain amplifier 123.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이다. 따라서, 전술한 설명 및 아래의 도면은 본 발명의 기술사상을 한정하는 것이 아닌 본 발명을 예시하는 것으로 해석되어져야 한다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical and exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention. Therefore, the above description and the drawings below should be construed as illustrating the present invention, not limiting the technical spirit of the present invention.

100: 용량성 센서 인터페이스 110: 신호 발생기
120: 센서 인터페이스 회로 130: A/D 컨버터100: capacitive sensor interface 110: signal generator
120: sensor interface circuit 130: A / D converter

Claims (5)

가속도를 센싱하기 위하여 가변 커패시터에 입력되는 X축, Y축 및 Z축에 대한 입력신호를 생성하는 신호 발생기;
상기 가변 커패시터에 의하여 상기 입력신호가 상기 X축, Y축 및 Z축 각각에 대한 센싱전류들로 변환되면, 상기 센싱전류들을 입력받고, 상기 센싱전류들 중 어느 하나를 입력전류로서 출력하는 멀티플렉서;
상기 입력전류 및 제1 기준전압을 각각 입력받아 상기 입력전류를 제1 출력값으로 변환하여 출력하는 연산 트랜스컨덕턴스 증폭기; 및
상기 제1 출력값 및 제2 기준전압을 각각 입력받아 상기 제1 출력값을 제2 출력값으로 변환하여 출력하는 프로그래머블 이득 증폭기를 포함하고,
상기 신호 발생기는, 상기 X축, Y축 및 Z축 각각에 대하여 위상이 정반대인 복수의 신호를 상기 입력신호로서 생성하는 것을 특징으로 하는 용량성 센서 인터페이스.A signal generator for generating input signals for the X-axis, Y-axis, and Z-axis input to the variable capacitor to sense the acceleration;
A multiplexer which receives the sensing currents and outputs any one of the sensing currents as an input current when the input signal is converted into sensing currents for each of the X, Y, and Z axes by the variable capacitor;
An operational transconductance amplifier configured to receive the input current and the first reference voltage, respectively, and convert the input current into a first output value; And
A programmable gain amplifier receiving the first output value and the second reference voltage, respectively, and converting the first output value into a second output value and outputting the second output value;
And the signal generator generates, as the input signal, a plurality of signals having opposite phases with respect to each of the X, Y, and Z axes. 제1항에 있어서,
상기 신호 발생기로부터 생생된 입력신호는, 상기 X축, Y축 및 Z축 각각에 대한 노이즈를 포함하고,
상기 센싱전류들은 상기 X축, Y축 및 Z축 각각에 대한 노이즈들을 포함하여 상기 가변 커패시터에 의하여 상기 센싱전류들로 변환되고,
상기 연산 트랜스컨덕턴스 증폭기는 상기 노이즈들을 포함하여 상기 센싱전류들을 제1 출력값으로 증폭하는 것을 특징으로 하는 용량성 센서 인터페이스.The method of claim 1,
The input signal generated from the signal generator includes noise for each of the X, Y, and Z axes,
The sensing currents are converted into the sensing currents by the variable capacitor, including noises for the X, Y, and Z axes, respectively.
The operational transconductance amplifier amplifies the sensing currents to a first output value including the noises. 제2항에 있어서,
상기 연산트랜스컨덕턴스 증폭기는,
상기 X축에 대한 센싱전류들 중 위상이 정반대인 두 개의 센싱전류들을 각각 증폭하여 상기 X축에 대한 두 개의 제1 출력값들을 출력하고,
상기 프로그래머블 이득 증폭기는 상기 제1 출력값들의 차를 증폭하여 제2 출력값으로 출력하는 것을 특징으로 하는 용량성 센서 인터페이스.The method of claim 2,
The operational transconductance amplifier,
Amplifying two sensing currents having opposite phases among the sensing currents of the X-axis, respectively, and outputting two first output values of the X-axis,
The programmable gain amplifier amplifies the difference between the first output values and outputs the difference as a second output value. 제2항에 있어서,
상기 연산트랜스컨덕턴스 증폭기는,
상기 Y축에 대한 센싱전류들 중 위상이 정반대인 두 개의 센싱전류들을 각각 증폭하여 상기 Y축에 대한 두 개의 제1 출력값들을 출력하고,
상기 프로그래머블 이득 증폭기는 상기 제1 출력값들의 차를 증폭하여 상기 제2 출력값으로 출력하는 것을 특징으로 하는 용량성 센서 인터페이스.The method of claim 2,
The operational transconductance amplifier,
Amplifying two sensing currents having opposite phases among the sensing currents of the Y axis to output two first output values of the Y axis,
And the programmable gain amplifier amplifies the difference between the first output values and outputs the difference to the second output value. 제2항에 있어서,
상기 연산트랜스컨덕턴스 증폭기는,
상기 Z축에 대한 센싱전류들 중 위상이 정반대인 두 개의 센싱전류들을 각각 증폭하여 상기 Z축에 대한 두 개의 제1 출력값들을 출력하고,
상기 프로그래머블 이득 증폭기는 상기 제1 출력값들의 차를 증폭하여 상기 제2 출력값으로 출력하는 것을 특징으로 하는 용량성 센서 인터페이스.The method of claim 2,
The operational transconductance amplifier,
Amplifying two sensing currents having opposite phases among the sensing currents with respect to the Z axis to output two first output values with respect to the Z axis,
And the programmable gain amplifier amplifies the difference between the first output values and outputs the difference to the second output value.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN113993028A (en) * 2021-11-01 2022-01-28 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 Signal processing circuit and method and bone conduction earphone

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000221054A (en) 1999-01-29 2000-08-11 Denso Corp Capacitive physical quantity detector
JP2007187509A (en) 2006-01-12 2007-07-26 Denso Corp Physical quantity sensor of capacitance type

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000221054A (en) 1999-01-29 2000-08-11 Denso Corp Capacitive physical quantity detector
JP2007187509A (en) 2006-01-12 2007-07-26 Denso Corp Physical quantity sensor of capacitance type

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113993028A (en) * 2021-11-01 2022-01-28 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 Signal processing circuit and method and bone conduction earphone
CN113993028B (en) * 2021-11-01 2024-02-13 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 Signal processing circuit and method and bone conduction earphone

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