KR101207091B1 - Autoclave device and the operation way - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판디스플레이를 제조하는 공정 중에서 기판에 편광판의 부착 시 발생되는 기포를 제거하기 위하여 평판디스플레이에 가열과 가압을 하는 탈포용 오토클레이브 장치 및 그 작동방법에 관한 것으로,
더욱 상세하게는 삽입식 히터가 구성된 상부본체와 복사가열방식의 히터가 구성된 하부본체로 나눠져 구성된 본체부와 탈포하려는 제품을 안착하여 상기 본체부에 구성된 상부본체와 하부본체의 사이에 형성된 중공부로 이송레일을 타며 진입, 배출하는 제품안착부와 상기 제품안착부의 작동을 제어하는 제어부가 구성된 탈포기에 있어서, 상기 제품안착부의 상부면 외측으로는 폐곡선 형태로 형성된 패킹안착홈과 상기 패킹안착홈을 따라 패킹이 끼움 할 수 있고, 상기 패킹안착홈에 끼움 구성되는 패킹의 하부에는 하나 이상 다수의 홈으로 된 에어관로가 형성되어 있으며, 본체부의 일 측으로 진입하여 타 측으로 배출되는 제품안착부가 포함된 오토클레이브 장치를 사용함으로서 소량의 에어를 투입하여 LCD 기판제품의 기포제거 시간을 단축시키고, 기포제거 공정을 단일 혹은 최소한으로 함으로써 불필요한 공정을 없앨 수 있으며, 사람이 불필요하게 모든 제품을 검사하여 일일이 OFF LINE
으로 옮겨 기포를 제거 후 다시 IN LINE 으로 투입해야 하는 불필요한 작업과 번거로움을 해결할 수 있고, 오토클레이브의 폭발 위험에서 안전함을 제공할 수 있으며, 에너지의 낭비에 대한 절감효과와 다량의 에어흐름에 의한 폭발적인 소음 발생이 해결될 수 있어 작업환경 개선의 효과와 생산성 및 품질을 개선한 향상된 탈포용 오토클레이브 장치 및 그 작동방법에 관한 것이다.The present invention relates to a degassing autoclave device for heating and pressurizing the flat panel display in order to remove bubbles generated when the polarizing plate is attached to the substrate during the manufacturing of the flat panel display, and a method of operating the same.
More specifically, the main body is divided into an upper body configured with an insert heater and a lower body configured with a radiant heating type heater, and a product to be defoamed is seated and transferred to a hollow portion formed between the upper body and the lower body configured in the main body. In the degassing machine configured to control the operation of the product seat and the product seating portion entering and exiting the rail, the outer side of the upper surface of the product seating portion formed along the packing seating groove and the packing seating groove The packing can be fitted, the lower portion of the packing that is fitted in the packing seating groove is formed with an air conduit consisting of one or more grooves, the autoclave containing the product seating part is discharged to the other side by entering one side of the body portion By using a device, a small amount of air is inputted to shorten the bubble removal time of LCD substrate products. , The bubble removal process and eliminate unnecessary processes by a single or at least by someone unnecessarily having to inspect every product OFF LINE
It can solve unnecessary work and hassles that need to be put back into IN LINE after removing bubbles, and can provide safety from the explosion risk of autoclave, and it is possible to save energy and waste a lot of airflow. The present invention relates to an improved degassing autoclave device and a method of operating the same, in which explosive noise generation can be solved, thereby improving the working environment and improving productivity and quality.

Description

탈포용 오토클레이브 장치 및 그 작동방법{Autoclave device and the operation way}Autoclave device and the operation way for defoaming

본 발명은 평판디스플레이를 제조하는 공정 중에서 기판에 편광판의 부착 시 발생되는 기포를 제거하기 위하여 평편디스플레이에 가열과 가압을 하는 탈포용 오토클레이브 장치에 관한 것으로,The present invention relates to a degassing autoclave device that heats and pressurizes a flat display in order to remove bubbles generated when attaching a polarizing plate to a substrate during a flat panel display manufacturing process.

더욱 상세하게는 가열, 가압시간 단축 및 가압 시 내부에 형성되는 압력부의 폭발 위험을 방지할 수 있는 안전성을 향상 시킨 오토클레이브 장치와 그 작동방법에 관한 것이다.
More particularly, the present invention relates to an autoclave device and a method of operating the same, which improves safety that can prevent the risk of explosion of a pressure part formed therein during heating, shortening of pressurization time and pressurization.

일반적으로 평판디스플레이(LCD : Liquid Crystal Display)는 특성 상 편광필름을 부착하게 된다.In general, a liquid crystal display (LCD) attaches a polarizing film due to its characteristics.

통상적으로 편광필름을 부착 후, 편광필름과 기판 사이에 발생되는 기포를 제거하는 작업이 이루어지는데 이러한 작업을 오토클레이브(Autoclave)라는 장치로 기포를 제거하게 되는 것이다.Typically, after attaching the polarizing film, the operation is performed to remove the bubbles generated between the polarizing film and the substrate, this operation is to remove the bubbles by a device called an autoclave (Autoclave).

이때 편광필름이 부착된 LCD 기판을 한 번에 대량으로 처리하기 위해 받침판에 LCD 기판을 적층시켜 밀폐형 구조를 가진 압력부로 진입시켜 일정시간동안 고온, 고압을 유지시킴으로써 LCD 기판과 편광필름 사이의 기포를 제거하는 방식을 주로 사용하고 있는 것이다.
At this time, in order to process a large amount of LCD substrate with polarizing film at once, the LCD substrate is laminated on the support plate and enters the pressure part with a sealed structure to maintain the high temperature and high pressure for a certain time to prevent air bubbles between the LCD substrate and the polarizing film. It is mainly using the removal method.

기존의 평판디스플레이가 소형사이즈 일 때는 편광필름을 부착 후 기포가 발생한 것만 선별하여 OFF라인 오토클레이브 장치로 기포를 제거하는 작업을 하였으나 최근 평판디스플레이는 대형화 추세로 크기가 점점 커져가고 있는 상황에서 편광필름을 부착하게 되면 기포가 빈번하게 발생하여 기포를 제거하기 위해서 평판디스플레이의 거의 전량을 오토클레이브라는 장치로 기포를 제거하는 공정을 거치게 되는데, 종래의 When the existing flat panel display is of small size, it removes air bubbles by attaching the polarizing film and then selects only the bubble, and then removes the air bubble by using the OFF-line autoclave device. When the air bubbles are frequently generated, the entire process of removing the air bubbles with an apparatus called autoclave to remove the air bubbles is performed.

방식을 사용하면 관련 장치의 대형화와 적층시키는 받침판의 관리 및 장비의 대형화, 필요 없는 적층 공정 등의 추가가 필요하게 되며, 이에 따라 제작비용 및 설치 공간, 관리요소의 증가 등 여러 부분에서 비효율적인 문제점이 발생된 것이다.
The use of the method requires the enlargement of related devices, the management of supporting plates to be laminated, the enlargement of equipment, the addition of unnecessary lamination processes, etc., and thus inefficient problems in various areas such as an increase in manufacturing cost, installation space, and management elements. This has occurred.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 편광필름 부착 후 발생되는 기포의 제거 목적으로 LCD 기판제품에 대한 가열, 가압 시 처리조건에 신속하게 도달하면서 오토클레이브에 의한 처리시간을 단축시켜 제품 처리능력을 향상시키는데 있다. 이는 과도한 가압과 장비의 노후로 인한 오토클레이브장치가 폭발하는 것을 방지하여 안전한 오토클레이브의 공정을 실현하면서 불필요한 관리요소를 해결하고, 기포의 제거시간이 오래 걸려 선별 OFF LINE 공정으로 인해 다량으로 기포제거 공정을 거치던 것을 제거시간을 단축하여 하나 또는 소량으로 빠르게 기포 제거를 함으로써 흐름 생산을 하는 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, to shorten the processing time by the autoclave while quickly reaching the processing conditions when heating, pressurizing the LCD substrate products for the purpose of removing bubbles generated after the polarizing film is attached. To improve product throughput. This prevents the autoclave device from exploding due to excessive pressurization and deterioration of the equipment, thereby realizing a safe autoclave process, solving unnecessary management factors, and removing bubbles in large amounts due to the selective off-line process due to the long time for removing bubbles. It is to produce the flow by removing the bubbles quickly in one or a small amount by reducing the removal time of the process.

또한, 다량의 고압에어가 투입되고, 배출되는 과정에서 발생하는 에너지낭비를 소량의 고압에어를 사용함으로써 에너지도 절감할 수 있으며, 고압에어에 의해 발생되던 소음이 소량의 에어를 사용함으로써 소음을 없애 작업환경을 개선할 수도 있는 것을 그 목적으로 한다.
In addition, by using a small amount of high pressure air, energy consumption generated in the process of discharging and discharging a large amount of high pressure air can be reduced, and noise generated by the high pressure air eliminates noise by using a small amount of air. Its purpose is to improve the working environment.

이에 상기 목적을 달성하기 위하여 상부본체와 하부본체로 나눠져 있는 본체부와 기판제품을 안착하여 상기 본체부에 구성된 상부본체와 하부본체의 사이에 형성된 중공부로 이송레일을 타며 진입과 배출 하는 제품안착부와 상기 제품안착부의 작동을 제어하는 제어부가 구성된 탈포용 오토클레이브에 있어서, In order to achieve the above object, the product seating part which enters and discharges the transfer rail to the hollow part formed between the upper body and the lower body, which is mounted between the upper body and the lower body, which is divided into the upper body and the lower body. In the degassing autoclave is configured with a control unit for controlling the operation of the product seat,

상기 본체부의 상부본체에는 내부에 삽입식의 교체가 용이한 히터와 제품안착부의 온도를 유지하는 온도제어용 센서가 구성되고, 하부본체에는 열을 발산하는 히터가 구성된 본체부와 상기 제품안착부의 상면에는 폐곡선으로 형성된 패킹안착홈과 상기 패킹안착홈을 따라 패킹이 끼움 될 수 있고, 상기 패킹안착홈에 끼움 구성되는 패킹의 하부에는 에어관로가 형성되어 있으며, 일 측에 상기 에어관로와 연결되는 에어관로 접속단자가 구성되고, 본체부의 중공부 일 측으로 진입하여 타 측으로 배출되는 제품안착부 및 상기 제품안착부를 상부본체의 하면으로 밀착시키는 하나 이상 다수로 구성된 실린더를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
In the upper body of the main body portion is configured a heater for easy insertion and replacement of the temperature control sensor to maintain the temperature of the product seating portion, the lower body has a heater configured to dissipate heat and the upper surface of the product seating portion The packing may be fitted along the packing seating groove formed in the closed curve and the packing seating groove, and an air pipe path is formed at a lower portion of the packing configured to be fitted into the packing seating groove, and an air pipe path connected to the air pipe path at one side thereof. The connection terminal is configured to include a product seating part which enters one side of the hollow part of the main body part and is discharged to the other side and one or more cylinders in close contact with the bottom of the upper body.

본 발명에 따르면 소량의 에어를 투입하여 LCD 기판제품의 기포제거 시간을 단축시키고, 기포제거 공정을 단일 혹은 최소한으로 함으로써 모든 공정이 흐름 생산 방식으로 처리되는 LCD 제조공정의 특성에 맞추어 기포제거 작업을 할 수 있음으로 불필요한 공정을 없앨 수 있으며, 사람이 불필요하게 모든 제품을 검사하여 일일이 OFF LINE 으로 옮겨 기포를 제거 후 다시 IN LINE 으로 투입해야 하는 불필요한 작업과 번거로움을 해결할 수 있고, 오토클레이브의 폭발 위험에서 안전함을 제공할 수 있으며, 에너지의 낭비에 대한 절감효과와 다량의 에어흐름에 의한 폭발적인 소음 발생이 해결될 수 있어 작업환경 개선의 효과와 생산성 및 품질을 개선한 향상된 오토클레이브 장치에 관한 발명이다.
According to the present invention, a small amount of air is added to shorten the bubble removal time of the LCD substrate product, and the bubble removal process is performed in accordance with the characteristics of the LCD manufacturing process in which all processes are processed by a flow production method by minimizing the bubble removal process. It can eliminate unnecessary processes, and it is possible to solve unnecessary work and hassles that humans need to inspect all products unnecessarily, move them to OFF LINE one by one, remove bubbles and put them back into IN LINE, and explode autoclave. The invention relates to an improved autoclave device that can provide safety at risk and can reduce energy waste and explosive noise generated by a large amount of air flow, thereby improving the working environment and improving productivity and quality. to be.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 평면도
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 정면도
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예를 나타내는 측면도
도 4는 본 발명의 구성 중 상부본체와 히터를 나타내는 평면도와 정면도
도 5는 본 발명의 구성 중 실린더와 캠을 나타내는 평면도, 측면도, 정면도
도 6은 본 발명의 구성 중 하부본체와 히터를 나타내는 평면도, 측면도, 정면도
도 7은 본 발명의 구성 중 이송레일을 나타내는 평면도, 측면도, 정면도
도 8은 본 발명의 구성 중 제품안착부를 나타내는 평면도, 측면도, 정면도
도 9는 본 발명의 구성 중 캠의 작동으로 인한 제품안착부의 작동을 나타내는
상태도
도 10은 본 발명의 구성 중 제품안착부의 패킹안착홈을 나타내는 단면도
도 11은 본 발명의 구성 중 상부본체의 에어공급을 나타내는 단면도
도 12는 본 발명의 구성 중 에어관로로의 에어공급을 나타내는 단면도
도 13은 본 발명의 구성 중 제품안착부의 작동으로 압력부가 발생되는 상태를 나타내는 단면도1 is a plan view showing a preferred embodiment of the present invention
2 is a front view showing a preferred embodiment of the present invention
Figure 3 is a side view showing a preferred embodiment of the present invention
Figure 4 is a plan view and a front view showing the upper body and the heater of the configuration of the present invention
5 is a plan view, side view, and front view showing a cylinder and a cam in the configuration of the present invention;
Figure 6 is a plan view, side view, front view showing the lower body and the heater of the configuration of the present invention
7 is a plan view, a side view, and a front view showing a conveyance rail of the configuration of the present invention;
8 is a plan view, side view, front view showing a product seating portion of the configuration of the present invention
Figure 9 shows the operation of the product seat due to the operation of the cam of the configuration of the present invention
State diagram
10 is a cross-sectional view showing a packing seating groove of the product seating portion of the configuration of the present invention
11 is a cross-sectional view showing the air supply of the upper body of the configuration of the present invention
12 is a cross-sectional view showing the air supply to the air line in the configuration of the present invention
Figure 13 is a cross-sectional view showing a state in which a pressure portion is generated by the operation of the product seating portion of the configuration of the present invention

이에 본 발명을 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.The present invention will be described in detail with reference to the drawings.

우선 구성을 보면 도 1내지 3에 도시된 바와 같이 상부본체(110)와 하부본체(120)로 나눠져 있는 본체부(100)와 기포를 제거하려는 기판제품(20)을 안착하여 상기 본체부(100)에 구성된 상부본체(110)와 하부본체(120)의 사이에 형성된 중공부로 이송레일(300)을 타며 진입과 배출 하는 제품안착부(200)와 상기 제품안착부(200)의 작동을 제어하는 제어부가 구성된 탈포용 오토클레이브 장치에 있어서,First, as shown in FIGS. 1 to 3, the main body 100 divided into an upper main body 110 and a lower main body 120 and a substrate product 20 to remove bubbles are seated on the main body 100. To control the operation of the product seating unit 200 and the product seating unit 200 to enter and exit the transfer rail 300 to the hollow formed between the upper body 110 and the lower body 120 configured in In the degassing autoclave device comprising a control unit,

도 4에 도시된 바와 같이 상기 상부본체(110)의 일측 내부에 삽입식의 교체가 용이한 상부히터(111)와 제품안착부(200)의 온도를 유지하는 온도제어용 센서(112)가 구성되고, 도 2, 6에 도시된 바와 같이 상기 하부본체(120)에는 제품안착부(200)의 기판제품(20)으로 복사가열방식의 열을 전달하는 하부히터(121)가 구성된 본체부(100)가 구성된다. 도 9,10,12, 13에 도시된 바와 같이 상기 제품안착부(200) 상면에 가공제품이 안착되는 홈부(h`) 둘레에 폐곡선으로 형성된 패킹안착홈(210)과 상기 패킹안착홈(210)을 따라 패킹(220)이 끼움 될 수 있고, 상기 패킹안착홈(210)에 끼움 구성되는 패킹(220)의 하부에 대응하는 패킹안참홈(210)의 일측으로 에어관로(230)가 형성되어 있으며, 일 측에 상기 에어관로(230)와 연결되는 에어관로 접속단자(240)가 구성되고, 본체부(100)의 중공부 일 측으로 진입하여 타 측으로 배출되는 제품안착부(200) 및 상기 제품안착부(200)를 상부본체(110)의 하면으로 밀착시키는 하나 이상 다수로 구성된 실린더(500)를 포함하는 것으로 구성되어진다.
As shown in FIG. 4, a temperature control sensor 112 for maintaining a temperature of the upper heater 111 and the product seating part 200 that can be easily inserted into the upper body 110 is replaced. 2 and 6, the lower body 120 includes a lower heater 121 configured to transfer heat of a radiant heating method to the substrate product 20 of the product seating part 200. Is composed. 9, 10, 12 and 13, the packing seating groove 210 and the packing seating groove 210 formed in a closed curve around the groove portion (h`) where the processed product is seated on the upper surface of the product seating portion 200 The packing 220 may be fitted along the air pipe line 230 is formed at one side of the packing guide groove 210 corresponding to the lower portion of the packing 220 formed in the packing seating groove 210. The air pipe connection terminal 240 is connected to the air pipe line 230 on one side, and the product seating part 200 and the product which are discharged to the other side by entering the hollow part of the main body part 100 are provided. The seating unit 200 is configured to include a cylinder 500 consisting of one or more in close contact with the lower surface of the upper body 110.

도 11,12를 참고로 설명하면, 상기 상부본체(110)와 하부본체(120)에는 전자변(31)의 작동으로 에어의 주입, 배출을 하는 에어공급부(30)가 연결 구성되고, 상부본체(110))의 에어공급부(30)에는 기판제품(20)의 손상을 방지하기 위하여 에어를 분산시키는 분산막(32)이 포함되며, 하부본체(120)의 에어공급부(30‘)는 에어관로 연결장치(510)와 에어관로 접속단자(240)를 거쳐 제품안착부(200)의 홈(h)으로 에어를 공급, 배출하며, 배출된 에어관로(230)를 진공상태로 만드는 진공발생부(33)가 구성된다.Referring to FIGS. 11 and 12, the upper main body 110 and the lower main body 120 are connected to an air supply unit 30 for injecting and discharging air by the operation of the electromagnetic valve 31, and the upper main body ( 110) of the air supply unit 30 includes a dispersion film 32 for dispersing air in order to prevent damage to the substrate product 20, the air supply unit 30 'of the lower body 120 is connected to the air pipe The vacuum generator 33 for supplying and discharging air to the groove h of the product seating part 200 through the device 510 and the air pipe connection terminal 240 and making the discharged air pipe 230 into a vacuum state. ) Is configured.

상기 상부본체(110)와 하부본체(120)는 내부에서 일어나는 가압작용으로 인한 압력에 견딜 수 있도록 격자로 제작되도록 하며, 상기 본체부(100)의 양측에는 상부본체(110)와 하부본체(120)를 고정할 수 있도록 ‘ㄷ’형태의 체결구(600)가 포함되도록 구성하여야 한다.The upper body 110 and the lower body 120 is to be made of a grid to withstand the pressure due to the pressure action occurring inside, the upper body 110 and the lower body 120 on both sides of the body portion 100. It should be configured to include a fastener (600) of the 'c' type to be fixed).

또한, 상부본체(110)와 하부본체(120)는 다단으로 연결 사용할 수 있으며, 다단으로 사용 시 상부본체(110)와 하부본체(120)는 각각 상, 하부본체(110, 120)의 역할을 동시에 수행할 수 있도록 구성하여야 한다. 이는 상부본체(100)의 상부로 또 다른 하부본체(120)를 구성할 수 있으며, 하부본체(120)의 하부로 또 다른 상부본체(110)를 구성할 수 있는 것이다.
In addition, the upper body 110 and the lower body 120 can be used in a multi-stage connection, when used in the multi-stage upper body 110 and the lower body 120, respectively, the role of the upper body, lower body (110, 120) It should be configured to run at the same time. This may constitute another lower body 120 to the upper portion of the upper body 100, it is possible to configure another upper body 110 to the lower portion of the lower body 120.

상기 제품안착부(200)는 띠형의 제품안착부 상판(201)과 제품안착부 하판(202)이 결합되는 이중 구조로 되어 있어 결합 시 상판(201)의 상부로 홈부(h`)가 형성되게 구성되고 상기 홈부(h`) 내부로 기판제품(20)이 안착되며, 상기 제품안착부(200)의 패킹안착홈(210)에 형성된 에어관로(230)에는 하나 이상 다수의 홈(h)이 형성되어 있으며, 상기 홈(h)에는 제품안착부(200)의 상판(201)과 하판(202)의 연결부위를 밀폐하는 연결부위 밀폐용 패킹(231)과 에어관로 형성을 위한 에어관로 형성용 패킹(232)이 구성되어진다.The product seat 200 has a double structure in which a belt-shaped product seat upper plate 201 and a product seat lower plate 202 are coupled to each other so that a groove h ′ is formed at the top of the upper plate 201 when the product seat is coupled. The substrate product 20 is seated inside the groove part h`, and at least one groove h is formed in the air line 230 formed in the packing seating groove 210 of the product seating part 200. Is formed, the groove (h) for forming the air pipe line for forming the connection part sealing packing 231 for sealing the connection portion of the upper plate 201 and the lower plate 202 and the air pipe of the product seating portion 200 Packing 232 is configured.

상기 제품안착부(200)에는 안착되는 기판제품(20)의 유무를 감지하는 센서가 구성되고, 상기 제품안착부(200)의 하면에는 이송레일(300)의 돌출부(310)와 분리, 연결될 수 있으며, 제품안착부(200)의 열팽창을 방지하는 고정홈(260)이 하나 이상 다수 형성되도록 구성되어야 한다.
The product seating part 200 is configured with a sensor for detecting the presence of the substrate product 20 is seated, the lower surface of the product seating portion 200 can be separated and connected to the protrusion 310 of the transfer rail 300. And, it must be configured to form one or more fixing grooves 260 to prevent thermal expansion of the product seat 200.

상기 제품안착부(200)와 하부본체(120)의 사이에는 실린더(500)의 작동으로 상부본체(110)의 하면에 제품안착부(200)가 밀착되었을 때 제품안착부(200)와 이송레일(300)이 접촉되지 않도록 하나 이상 다수의 캠(400)이 구성되어야 한다. 여기서 상기 캠(400)은 유압장치(410)로 회전하며 작동하도록 구성되어야 한다.
The product seating part 200 and the transfer rail when the product seating part 200 is in close contact with the lower surface of the upper body 110 by the operation of the cylinder 500 between the product seating part 200 and the lower body 120. One or more cams 400 should be configured so that 300 is not in contact. The cam 400 is to be configured to operate by rotating the hydraulic device (410).

또한, 실린더(500)에 연결 구성되는 에어관로 연결장치(510)를 통해 주입되는 에어는 제품안착부(200)에 연결된 에어관로 접속단자(240)를 통해 패킹안착홈(210)의 홈(h)까지 주입되며, 상기 홈(h)으로 주입되는 에어로 인해 패킹안착홈(210)에 끼움 구성된 패킹(220)을 상승, 하강시킬 수 있도록 구성되어야 한다. 그리고 상기 에어관로 연결장치(510)에는 오링(510‘)을 구성하여 에어관로 접속단자(240)와 연결 시 밀폐 가능할 수 있도록 구성할 수 있는 것이다.In addition, the air injected through the air pipe connecting device 510 is configured to be connected to the cylinder 500 is the groove (h) of the packing seating groove 210 through the air pipe connecting terminal 240 connected to the product seating portion 200 Injected to), due to the air injected into the groove (h) it should be configured to raise and lower the packing 220 configured to fit in the packing seating groove 210. In addition, the air pipe connecting device 510 may be configured to be sealable when connecting to the air pipe connecting terminal 240 by configuring an O-ring 510 ′.

상기 패킹안착홈(210)에 끼움 구성되는 패킹(220)은 에어관로(230)를 통해 주입되는 에어로 인해 상승, 하강됨에 따라 마모가 되는데, 이를 방지하기 위하여 에어관로 연결장치(510)를 통하여 윤활제를 주입하여 패킹(220)의 마모를 방지할 수 있도록 구성할 수 있어야 한다.
The packing 220 is fitted into the packing seating groove 210 is abrasion as it is raised and lowered due to the air injected through the air pipe 230, the lubricant through the air pipe connecting device 510 to prevent this Injection should be able to be configured to prevent the wear of the packing 220.

상기와 같이 구성된 본 발명인 탈포용 오토클레이브 장치에 따른 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation according to the present invention degassing autoclave configured as described above are as follows.

먼저 본체부(100)의 상부본체(110)와 하부본체(120)의 사이에 형성된 중공부에서 이송레일(300)을 타고 슬라이딩하며 제품안착부(200)가 진출하게 된다.First, the product is mounted on the product rail 200 by sliding on the conveyance rail 300 in the hollow portion formed between the upper body 110 and the lower body 120 of the main body 100.

진출된 제품안착부(200)의 상부에 기포를 제거하려는 기판제품(20)을 안착한 후 상기 제품안착부(200)를 본체부(100)의 중공부로 진입하게 되는 것이다. 이때 제품안착부(200)에는 기판제품(20)의 안착을 확인하기 위하여 센서를 구성하여 기판제품(20)의 안착 유무를 확인할 수 있는 것이다.
After seating the substrate product 20 to remove the bubbles on the upper part of the product seating portion 200 is advancing into the hollow portion of the main body portion 100. At this time, the product seating unit 200 is configured to check the mounting of the substrate product 20 by configuring a sensor to confirm the mounting of the substrate product 20.

상기 본체부(100)의 중공부로 기판제품(20)을 안착한 제품안착부(200)가 진입하게 되면, 상기 제품안착부(200)의 하부에 구성된 실린더(500)가 제품안착부(200)를 상부본체(110)의 하면으로 밀착시키게 된다. 여기서 본 발명은 실린더(500)를 전면에 양측으로 두 개의 실린더(500)를 구성하고, 후면의 중심에 하나의 실린더(500‘)를 구성하여 제품안착부(200)를 상승, 하강 할 수 있도록 하였다. 그리고 상기 제품안착부(200)의 상승 시 제품안착부(200)는 이송레일(300)에서 분리되도록 하여야 한다.When the product seating part 200 in which the substrate product 20 is seated into the hollow part of the main body part 100 enters, the cylinder 500 configured at the lower part of the product seating part 200 is used to mount the product seating part 200. It is in close contact with the lower surface of the upper body (110). Here, the present invention constitutes two cylinders 500 on both sides of the cylinder 500 at the front side, and one cylinder 500 'at the center of the rear side to raise and lower the product seating part 200. It was. In addition, the product seating part 200 should be separated from the transfer rail 300 when the product seating part 200 is raised.

또한, 후면에 구성된 실린더(500‘)에는 에어관로 연결장치(510)를 구성하여 상승, 하강 시 제품안착부(200)의 후면에 구성된 에어관로 접속단자(240)와 끼움 될 수 있도록 하여야 한다.
In addition, the cylinder 500 'configured at the rear should be configured to be fitted with the air pipe connection terminal 240 configured at the rear of the product seating portion 200 by configuring the air pipe connection device 510 when rising and falling.

제품안착부(200)의 상승 후 하부에 구성된 캠(400)이 유압장치(410)의 작동으로 회전하게 되어 상기 제품안착부(200)를 지지하게 된다. 또한, 상기 캠(400)의 회전이 완료되면 패킹(220)의 하부에 형성된 에어관로(230)로 에어를 주입시켜 패킹(220)이 패킹안착홈(210)에서 상승의 형태가 되어 패킹(220)이 상부본체(110)의 하면에 밀착하게 되어 압력부(40)를 형성하게 되는 것이다. 여기서 기판제품(20)의 정전기 방지를 위하여 제품안착부(200)의 상면에 안착되는 기판제품(20)의 하부에는 스펀지(s)를 구비하면 되는 것이다. 그리고 상기 캠(400)을 작동시키는 유압장치(410)는 공압으로도 작동시킬 수 있도록 할 수 있는 것이다.After the rise of the product seat 200, the cam 400 is configured to rotate by the operation of the hydraulic device 410 to support the product seat 200. In addition, when the rotation of the cam 400 is completed, the air is injected into the air pipe line 230 formed in the lower portion of the packing 220 so that the packing 220 becomes a form of lifting in the packing seating groove 210 and the packing 220. ) Will be in close contact with the lower surface of the upper body 110 to form a pressure unit (40). In this case, a sponge (s) may be provided at a lower portion of the substrate product 20 seated on the upper surface of the product seating part 200 to prevent static electricity of the substrate product 20. And the hydraulic device 410 for operating the cam 400 is to be able to operate even by pneumatic.

상기 캠(400)은 단면이 반달 모양으로 되어 있으나, 다양하게 형상화 할 수 있는 것이다. 다른 예로써 사각 형태의 구조물을 사선으로 자른 후, 구조물의 양 방향에서 밀게 되면, 자른 구조물 중 하나가 다른 구조물의 상부에 위치하게 된다. 사각 형태의 구조물의 상부에 위치하고 있는 제품안착부(200)의 압력은 이로 인해 하부본체(120)로 압력을 전달할 수 있는 것이다. 또 다른 예로써 나사 구조의 자키 원리를 이용하거나 유압 혹은 제품안착부(200)의 내면보다 넓은 표면 혹은 높은 압력의 에어를 작용시켜 제품안착부(200)에서 발생한 에어의 압력을 하부본체(120)로 전달할 수 있는 것이다.The cam 400 has a half moon shape in cross section, but may be variously shaped. As another example, when the rectangular structure is cut diagonally and then pushed in both directions of the structure, one of the cut structures is positioned on top of the other structure. The pressure of the product seating unit 200 located in the upper portion of the rectangular structure is thereby able to transfer the pressure to the lower body (120). As another example, by using the jockey principle of the screw structure or by actuating air of a wider surface or a higher pressure than the inner surface of the hydraulic or product seat 200, the pressure of the air generated in the product seat 200 is lowered to the main body 120. It can be delivered to.

이는 캠(400)이 제품안착부(200)의 하부를 지지함으로써 이후 형성된 압력부(40)에 발생한 압력으로 인해 제품안착부(200)가 변형되는 것을 방지할 수 있는 것이다.
This may prevent the product seat 200 from being deformed due to the pressure generated in the pressure part 40 formed after the cam 400 supports the lower portion of the product seat 200.

상기와 같이 에어관로(230)로 주입되는 에어로 인해 상승되는 패킹(220)으로 압력부(40)가 형성되면, 상부본체(110)의 에어공급부(30)를 통해 압력부(40)의 내부로 에어를 공급하고, 압력부(40)의 내부를 가압하여 기포를 제거할 수 있는 것이다.When the pressure unit 40 is formed by the packing 220 which is raised due to the air injected into the air pipe line 230 as described above, the pressure unit 40 through the air supply unit 30 of the upper body 110 to the inside of the pressure unit 40. The air can be supplied and bubbles can be removed by pressurizing the inside of the pressure unit 40.

상기 압력부(40)의 내부로 에어를 공급할 때 고압에어를 주입하게 되는데, 이때 에어공급부(30)에서 압력부(40)로 에어의 공급 시 기판제품(20)의 손상을 방지하기 위하여 분산막(32)을 구성하여 에어가 분산되어 압력부(40)로 골고루 주입되도록 하여야 한다. 그리고 상기 압력부(40)로 주입되는 에어는 고압에어를 사용할 수도 있지만, 핫 에어를 사용할 수도 있는 것이다. 상기와 같이 핫 에어의 사용 시 작업시간을 단축시킬 수 있는 것이다.
High pressure air is injected when air is supplied to the inside of the pressure part 40. In this case, the dispersion film is used to prevent damage to the substrate product 20 when air is supplied from the air supply part 30 to the pressure part 40. 32 is to be configured so that the air is dispersed and evenly injected into the pressure unit (40). In addition, although the air injected into the pressure unit 40 may use high pressure air, hot air may be used. As described above, when using the hot air can shorten the working time.

또한, 상기 압력부(40)의 내부를 가압하여 기포를 제거할 때 상부본체(110)의 삽입식으로 교체가 용이한 상부히터(111)와 하부본체(120)의 복사가열방식으로 열을 제품안착부(200)의 기판제품(20)으로 전달하는 하부히터(121)로 가열작용도 동시에 진행되도록 하며, 가열되는 제품안착부(200)의 온도를 유지할 수 있도록 상부본체(110)의 온도제어용 센서(112)가 구성된 것이다.
In addition, when pressing the inside of the pressure unit 40 to remove the air bubbles to the heat of the upper heater 111 and the lower body 120 is easy to replace the insertion of the upper body 110 heat products. The lower heater 121 to be transferred to the substrate product 20 of the seating portion 200 is also carried out at the same time, and the temperature control of the upper body 110 to maintain the temperature of the product seating portion 200 to be heated The sensor 112 is configured.

상기 기판제품(20)에서 기포처리가 완료되면 압력부(40)에서 에어를 배출하는데, 이는 상부본체(110)와 하부본체(120)의 에어공급부(30, 30‘)를 통해 배출할 수 있는 것이다. 상기 압력부(40)의 에어를 배출 후 패킹(220)의 하부 에어관로(230)를 통해 에어공급부(30‘)로 에어를 배출하면, 진공발생부(33)의 작동으로 인해 에어관로(230)가 진공을 형성하게 되고, 상승된 패킹(220)을 하강시키도록 하는 것이다.
When the bubble treatment is completed in the substrate product 20, the air is discharged from the pressure unit 40, which may be discharged through the air supply units 30 and 30 'of the upper body 110 and the lower body 120. will be. After discharging the air of the pressure unit 40 and then discharging the air to the air supply unit 30 'through the lower air pipe path 230 of the packing 220, due to the operation of the vacuum generator 33, the air pipe line 230 ) Forms a vacuum, and causes the raised packing 220 to descend.

이때 상기 에어관로(230)의 진공으로 인해 패킹(220)이 하강하더라도 제품안착부(200)는 실린더(500)의 힘에 의해 상부본체(110)의 하면에 밀착되어 있어야 한다.
At this time, even if the packing 220 is lowered due to the vacuum of the air pipe 230, the product mounting portion 200 should be in close contact with the lower surface of the upper body 110 by the force of the cylinder (500).

상부본체(110)의 하면에 밀착된 제품안착부(200)가 하강할 수 있도록 캠(400)이 회전하게 되고, 제품안착부(200)의 하부에 있는 실린더(500)가 하강하며 동시에 제품안착부(200)가 하강하게 되면서 제품안착부(200)가 이송레일(300)의 돌출부(310)에 안착되어야 한다.Cam 400 is rotated so that the product seating portion 200 in close contact with the lower surface of the upper body 110 is lowered, the cylinder 500 in the lower portion of the product seating portion 200 is lowered and at the same time the product seating As the part 200 is lowered, the product seating part 200 should be seated on the protrusion 310 of the transfer rail 300.

이때 제품안착부(200)에는 돌출부(310)에 제품안착부(200)가 고정될 수 있도록 하는 고정홈(260)과, 열팽창으로 유동이 될 수 있도록 유동 가능한 고정홈(260‘)이 각각 구성되어야 한다.
In this case, the product seating part 200 includes a fixing groove 260 that allows the product seating part 200 to be fixed to the protrusion 310, and a fixing groove 260 ′ that can be flowed to allow flow by thermal expansion. Should be.

기판제품(20)을 안착한 제품안착부(200)가 기포제거가 완료되어 이송레일(300)의 돌출부(310)에 안착되면 이송레일(300)을 타며 슬라이딩하여 본체부(100)의 중공부에서 본체부(100)의 타 측으로 제품안착부(200)가 배출이 되는 것이다. 여기서 제품안착부(200)는 본체부(100)의 중공부 일 측으로 진입하여, 타 측으로 배출되지만, 이는 일 측이 진입과 배출을 함께 할 수도 있도록 구성할 수도 있는 것이다.
When the product seating part 200 on which the substrate product 20 is seated is removed from the bubble and is seated on the protrusion 310 of the conveying rail 300, the product seating part 200 slides on the conveying rail 300 to be moved from the hollow part of the main body part 100. The product seating part 200 is discharged to the other side of the main body part 100. Here, the product seating part 200 enters the hollow part of the main body part 100 and is discharged to the other side, which may be configured to allow one side to enter and discharge together.

또한, 상부본체(110)와 하부본체(120)는 다단으로 연결하여 사용할 수 있으며, 다단으로 사용 시 상부본체(110)와 하부본체(120)는 각각 상, 하부본체(110, 120)의 역할을 동시에 수행할 수 있도록 구성할 수 있는 것이다. 이는 상부본체(110)의 상부에 또 다른 하부본체(120)를 구성할 수 있으며, 하부본체(120)의 하부에 또 다른 상부본체(110)를 구성하여 다단으로 사용할 수 있는 것이다.
In addition, the upper main body 110 and the lower main body 120 can be used by connecting in multiple stages, the upper main body 110 and the lower main body 120 when used in multiple stages, respectively, the role of the upper body, lower body (110, 120) Can be configured to run at the same time. This may be configured another lower body 120 on the upper portion of the upper body 110, it can be used in multiple stages by configuring another upper body 110 in the lower portion of the lower body 120.

상기와 같이 오토클레이브 장치의 작동방법에 대해서 설명하면 다음과 같다.
Referring to the operation method of the autoclave device as described above are as follows.

상기 오토클레이브 장치(10)에 있어서,In the autoclave device 10,

기판제품(20)이 안착된 제품안착부(200)를 슬라이딩되며 작동하는 이송레일(300)로 본체부(100)의 상부본체(110)와 하부본체(120)의 사이에 형성된 중공부로 진입하는 제 1단계;Entering into the hollow portion formed between the upper body 110 and the lower body 120 of the main body portion 100 to the transport rail 300 is operated sliding the product mounting portion 200 on which the substrate product 20 is seated First step;

실린더(500)의 작동으로 기판제품(20)을 안착한 제품안착부(200)를 상부본체(110)의 하면에 밀착시키는 제 2단계;A second step of closely contacting the product seating portion 200 on which the substrate product 20 is seated to the bottom surface of the upper body 110 by the operation of the cylinder 500;

상부본체(110)에 밀착 된 제품안착부(200)의 하부에 구성된 캠(400)을 유압장치(410)로 회전시켜 상기 제품안착부(200)를 지지하는 제 3단계;A third step of supporting the product seating part 200 by rotating the cam 400 formed in the lower portion of the product seating part 200 which is in close contact with the upper body 110 by a hydraulic apparatus 410;

상기 캠(400)의 회전 완료 시 패킹(220)의 하부에 형성된 에어관로(230)로 에어를 주입시켜 패킹(220)이 패킹안착홈(210)에서 상승의 형태가 되어 패킹(220)이 상부본체(110)의 하면에 밀착되어 압력부(40)를 형성하는 제 4단계;When the rotation of the cam 400 is completed, the air is injected into the air pipe line 230 formed at the bottom of the packing 220 so that the packing 220 becomes a rising shape in the packing seating groove 210 so that the packing 220 is upper part. A fourth step of forming a pressure part 40 in close contact with the bottom surface of the main body 110;

상부본체(110)의 에어공급부(30)를 통해 압력부(40)의 내부로 에어를 공급하여 압력부(40)의 내부를 가압하여 기포제거하는 제 5단계;A fifth step of supplying air into the pressure part 40 through the air supply part 30 of the upper body 110 to pressurize the inside of the pressure part 40 to remove bubbles;

기판제품(20)의 기포처리 완료 시 상부본체(110)의 하면과 밀착된 패킹(220)의 내부에 형성된 압력부(40)에서 에어를 에어공급부(30)를 통해 배출하는 제 6단계;A sixth step of discharging air through the air supply unit 30 from the pressure unit 40 formed in the packing 220 in close contact with the lower surface of the upper body 110 when the bubble processing of the substrate product 20 is completed;

압력부(40)의 에어를 배출 후 패킹(220)의 하부 에어관로(230)와 연결된 에어공급부(30‘)를 통해 에어를 배출하여 진공을 형성하여 패킹(220)을 하강시키는 제 7단계;A seventh step of discharging air through the air supply unit 30 'connected to the lower air pipe line 230 of the packing 220 after discharging the air of the pressure unit 40 to form a vacuum to lower the packing 220;

제품안착부(200)의 캠(400)이 회전하여 제품안착부(200)가 하강할 수 있도록 하는 제 8단계;An eighth step of rotating the cam 400 of the product seat 200 to allow the product seat 200 to descend;

실린더(500)가 하강하게 되면서 제품안착부(200)가 이송레일(300)의 돌출부(310)에 안착되는 제 9단계;A ninth step in which the product seat 200 is seated on the protrusion 310 of the transfer rail 300 while the cylinder 500 is lowered;

기판제품(20)을 안착한 제품안착부(200)를 본체부(100)의 중공부에서 본체부(100)의 타 측으로 배출하는 제 10단계; 로 이루어진 것을 특징으로 하는 오토클레이브 장치의 작동방법
A tenth step of discharging the product seating part 200 on which the substrate product 20 is seated from the hollow part of the main body part 100 to the other side of the main body part 100; Operation method of the autoclave device, characterized in that consisting of

여기서 상기 제 1단계 작동 시 제품안착부(200)의 센서가 작동하여 기판제품(20)의 유무를 확인할 수 있도록 하였으며, 제 2단계 작동 시 하부의 이송레일(300)과 제품안착부(200)는 분리되도록 하여야 한다.Here, the sensor of the product seat 200 is operated during the first stage operation so that the presence of the substrate product 20 can be checked, and the transfer rail 300 and the product seat 200 of the lower stage during the second stage operation. Should be separated.

또한, 상기 제 5단계 작동 시 상부본체(110)와 하부본체(120)에 구성된 히터(111, 121)로 인해 가열작용도 동시에 진행되도록 하며, 제 7단계 작동 시 에어관로(230)의 진공으로 인해 패킹(220)이 하강하더라도 제품안착부(200)는 실린더(500)의 힘에 의해 상부본체(110)의 하면에 밀착되어 있도록 하여야 한다.
In addition, the heating operation also proceeds simultaneously due to the heaters 111 and 121 configured in the upper body 110 and the lower body 120 during the fifth step, and the vacuum of the air pipe 230 during the seventh step. Due to the packing 220 is lowered due to the product mounting portion 200 should be in close contact with the lower surface of the upper body 110 by the force of the cylinder (500).

상기와 같은 탈포용 오토클레이브 장치(10)를 사용하게 되면, 소량의 에어를 투입하여 LCD 기판제품(20)의 기포제거 시간을 단축시키고, 기포제거 공정을 단일 혹은 최소한으로 함으로써 모든 공정이 흐름 생산 방식으로 처리되는 LCD 제조공정의 특성에 맞추어 기포제거 작업을 할 수 있음으로 불필요한 공정을 없앨 수 있으며, 사람이 불필요하게 모든 제품을 검사하여 일일이 OFF LINE 으로 옮겨 기포를 제거 후 다시 IN LINE 으로 투입해야 하는 불필요한 작업과 번거로움을 해결할 수 있고, 오토클레이브의 폭발 위험에서 안전함을 제공할 수 있으며, 에너지의 낭비에 대한 절감효과와 다량의 에어흐름에 의한 폭발적인 소음 발생이 해결될 수 있어 작업환경 개선의 효과와 생산성 및 품질을 개선한 향상된 탈포용 오토클레이브 장치에 관한 발명이다.
When using the above-described degassing autoclave device 10, by introducing a small amount of air to shorten the bubble removal time of the LCD substrate product 20, all processes are flow-produced by single or minimum bubble removal process Unnecessary processes can be eliminated by eliminating bubbles in accordance with the characteristics of LCD manufacturing process processed by the method, and humans need to inspect all the products unnecessarily, move them to OFF LINE, remove bubbles and put them back into IN LINE. It can solve unnecessary work and hassle, provide safety in the danger of explosion of autoclave, save energy and wasteful noise caused by large amount of air flow. An invention is directed to an improved autoclave device for defoaming that has improved effectiveness, productivity and quality.

10 : 오토클레이브 장치 20 : 기판제품 30 : 에어공급부
31 : 전자변 32 : 분산막 33 : 진공발생부
40 : 압력부
100 : 본체부 110 : 상부본체
111 : 상부히터 112 : 온도제어용 센서
120 : 하부본체 121 : 하부히터
200 : 제품안착부 201 : 제품안착부 상판 202 : 제품안착부 하판
210 : 패킹안착홈 220 : 패킹
230 : 에어관로 231 : 밀폐용 패킹 232 : 에어관로 형성용 패킹
240 : 에어관로 접속단자 260 : 고정홈
300 : 이송레일 310 : 돌출부
400 : 캠 410 : 유압장치
500 : 실린더 510 : 에어관로 연결장치 600 : 체결구
s : 스펀지 h : 홈10: autoclave device 20: substrate product 30: air supply unit
31: electron valve 32: dispersion membrane 33: vacuum generating unit
40: pressure part
100: main body 110: upper body
111: upper heater 112: temperature control sensor
120: lower body 121: lower heater
200: product seat 201: product seat top plate 202: product seat bottom
210: packing seating groove 220: packing
230: air line 231: sealing packing 232: air line forming packing
240: air pipe connection terminal 260: fixed groove
300: feed rail 310: protrusion
400: cam 410: hydraulic device
500: cylinder 510: air pipe connection device 600: fastener
s: sponge h: home

Claims (20)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 상부본체와 하부본체 및 상기상부본체와 하부본체를 고정하는 체결구 결착되어 있는 본체부;
기판제품을 안착하여 상기 본체부에 구성된 상부본체와 하부본체의 사이에 형성된 중공부로 이송레일을 타며 진입과 배출 하는 제품안착부;
상기 제품안착부의 작동을 제어하는 제어부로 구성되되,
상기 본체부의 상부본체에는 내부에 삽입식의 교체가 용이한 히터와 제품안착부의 온도를 유지하는 온도제어용 센서가 구성되고, 하부본체에는 열을 발산하는 히터가 구성된 본체부;
상기 제품안착부의 상면에는 폐곡선으로 형성된 패킹안착홈과 상기 패킹안착홈을 따라 패킹이 끼움 될 수 있고, 상기 패킹안착홈에 끼움 구성되는 패킹의 하부에는 에어관로가 형성되어 있으며, 일 측에 상기 에어관로와 연결되는 에어관로 접속단자가 구성되고, 본체부의 중공부 일 측으로 진입하여 타 측으로 배출되는 제품안착부;
상기 제품안착부를 상부본체의 하면으로 밀착시키는 하나 이상 다수로 구성된 실린더로 구성되고,
상기 제품안착부와 하부본체의 사이에는 실린더의 작동으로 상부본체의 하면에 제품안착부가 밀착되었을 때 제품안착부와 이송레일이 접촉되지 않도록 하나 이상 다수의 캠이 구성되는 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치
A main body having an upper body and a lower body and fasteners for fixing the upper body and the lower body;
A product seating part which seats a substrate product and enters and discharges a transfer rail to a hollow part formed between an upper body and a lower body configured to the main body part;
Consists of a control unit for controlling the operation of the product seat,
The upper body of the main body portion is easy to insert the replacement inside the heater and the temperature control sensor for maintaining the temperature of the product mounting portion is configured, the lower body is configured to the heater for dissipating heat;
An upper surface of the product seating portion may include a packing seating groove formed in a closed curve and a packing seating groove along the packing seating groove, and an air pipe path is formed at a lower portion of the packing configured to be fitted into the packing seating groove, and the air is formed at one side. An air pipe connection terminal configured to be connected to the pipe line, the product seating part being discharged to the other side by entering the hollow part of the main body part;
It consists of a cylinder consisting of one or more contacting the product seating portion to the lower surface of the upper body,
Defoaming auto, characterized in that one or more cams are configured between the product seating portion and the lower body so that the product seating portion and the transfer rail do not contact when the product seating portion is in close contact with the lower surface of the upper body by the operation of the cylinder. Clave device
제 13항에 있어서,
상기 캠은 유압 혹은 공압으로 회전하는 장치로 작동하며, 캠은 다양한 모양을 가질 수 있는 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치
The method of claim 13,
The cam is operated by a device that rotates hydraulically or pneumatically, the cam is an autoclave device for defoaming, characterized in that it can have a variety of shapes
제 13항 또는 제 14항 중 어느 한항의 장치의 구조를 선택하여 구성하되
상기 상부 또는 하부본체에 양측의 기능 및 구조를 하나로 구성하여 상하부본체의 역할을 동시에 수행할 수 있도록 구성하고, 다층으로 중복구성하여 다수개의 탈포 작업을 수행할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치
15. Select and configure the structure of the device of claim 13,
Degassing auto, characterized in that the upper or lower body is configured to perform the role of the upper and lower body at the same time by configuring the function and structure of both sides in one, and to be configured in multiple layers to perform a plurality of defoaming operations Clave device
상기 13항 또는 제 14항 중 어느 한항의 장치를 사용하되,
기판제품이 안착된 제품안착부를 슬라이딩되며 작동하는 이송레일로 본체부의 상부본체와 하부본체의 사이에 형성된 중공부로 진입하는 제 1단계;
실린더의 작동으로 기판제품을 안착한 제품안착부를 상부본체의 하면에 밀착시키는 제 2단계;
상부본체에 밀착 된 제품안착부의 하부에 구성된 캠을 회전시켜 상기 제품안착부를 지지하는 제 3단계;
상기 캠의 회전 완료 시 패킹의 하부에 형성된 에어관로로 에어공급부를 통해 에어를 주입시켜 패킹이 패킹안착홈에서 상승의 형태가 되어 패킹이 상부본체의 하면에 밀착되어 압력부를 형성하는 제 4단계;
상부본체의 에어공급부를 통해 압력부의 내부로 에어를 공급하여 압력부의 내부를 가압하여 기포제거하는 제 5단계;
기판제품의 기포처리 완료 시 상부본체의 하면과 밀착된 패킹의 내부에 형성된 압력부에서 에어를 에어공급부를 통해 배출하는 제 6단계;
압력부의 에어를 배출 후 패킹의 에어공급부로부터 에어를 배출하여 에어관로를 진공을 형성하여 패킹을 하강시키는 제 7단계;
제품안착부의 캠이 회전하여 제품안착부가 하강할 수 있도록 하는 제 8단계;
실린더가 하강하게 되면서 제품안착부가 이송레일의 돌출부에 안착되는 제 9단계;
기판제품을 안착한 제품안착부를 본체부의 중공부에서 본체부의 타 측으로 배출하는 제 10단계; 로 이루어진 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치 작동방법
Use the device of any one of claims 13 or 14 above,
A first step of entering the hollow part formed between the upper body and the lower body of the main body part by a transport rail that operates while sliding the product seat on which the substrate product is mounted;
A second step of closely contacting a product mounting portion on which the substrate product is mounted by operation of the cylinder to a lower surface of the upper body;
A third step of supporting the product seat by rotating a cam configured at a lower portion of the product seat that is in close contact with an upper body;
A fourth step of injecting air through the air supply part into the air pipe path formed at the bottom of the packing when the cam is completely rotated so that the packing becomes a rising shape in the packing seating groove so that the packing adheres to the lower surface of the upper body to form a pressure part;
A fifth step of removing air bubbles by pressurizing the inside of the pressure part by supplying air into the pressure part through the air supply part of the upper body;
A sixth step of discharging air through the air supply part at a pressure part formed in the packing in close contact with the lower surface of the upper body when the bubble processing of the substrate product is completed;
A seventh step of discharging air from the air supply part of the packing after discharging the pressure part to form a vacuum in the air pipe to lower the packing;
An eighth step of allowing the product seat to descend by rotating the cam of the product seat;
A ninth step in which the cylinder is lowered and the product seat is seated on the protrusion of the transfer rail;
A tenth step of discharging the product seat on which the substrate product is seated from the hollow part of the body part to the other side of the body part; Method for operating the autoclave for defoaming, characterized in that consisting of
제 16항에 있어서,
제 1단계 작동 시 제품안착부의 센서가 작동하여 기판제품의 유무를 확인할 수 있는 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치 작동방법
17. The method of claim 16,
Method of operating the autoclave device for defoaming, characterized in that the sensor of the product seat is operated during the first stage operation to check the presence of the substrate product
제 16항에 있어서,
제 2단계 작동 시 하부의 이송레일과 제품안착부는 분리되도록 하는 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치 작동방법
17. The method of claim 16,
How to operate the autoclave device for defoaming, characterized in that the lower conveying rail and product seating part is separated during the second step operation
제 16항에 있어서,
제 5단계 작동 시 상부본체와 하부본체에 구성된 히터로 가열작용도 동시에 진행되도록 하는 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치 작동방법
17. The method of claim 16,
Method for operating an autoclave for defoaming, characterized in that the heating operation is also performed simultaneously with a heater configured in the upper body and the lower body during the fifth step operation.
제 16항에 있어서,
제 7단계 작동 시 에어관로의 진공으로 인해 패킹이 하강하더라도 제품안착부는 실린더의 힘에 의해 상부본체의 하면에 밀착되어 있도록 하는 것을 특징으로 하는 탈포용 오토클레이브 장치 작동방법17. The method of claim 16,
How to operate the autoclave device for defoaming, characterized in that the product seating portion is in close contact with the lower surface of the upper body by the force of the cylinder even if the packing is lowered due to the vacuum in the air pipe during the seventh step operation.
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