KR101205955B1 - 번인 테스트 시스템의 전원공급장치 - Google Patents

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Abstract

복수개의 피검사장치들에 대한 테스트 동작을 제어하는 시스템 콘트롤러 및 상기 시스템 콘트롤러의 제어에 따라 상기 피검사 장치들에 전원을 공급하는 복수개의 전원공급모듈을 포함하는 번인 테스트 시스템의 전원공급장치가 개시된다. 본 발명의 전원공급장치에 있어서, 상기 전원공급모듈은 번인 테스트를 위하여 상기 피검사장치에 공급된 전원에 의하여 상기 피검사장치에 축적된 전하를 제거하기 위하여 상기 피검사장치와 연결되는 전류싱크회로를 포함하고, 상기 시스템 콘트롤러는 상기 번인 테스트 완료후에 상기 피검사장치에의 상기 전원공급을 차단하는 제어신호를 발생시킴과 동시에 상기 전류싱크회로를 활성화시키는 전류싱크제어 기능을 가진다. 본 발명에 따른 전류싱크회로를 구비한 번인 테스트 시스템의 전원공급장치에 의하면, 피검사장치에 공급된 전원에 의하여 피검사장치에 축적된 전하를 번인 테스트 종료후에 제거함으로써 피검사장치를 번인 테스트 시스템으로부터 제거할 때 피검사장치가 전기적 충격을 받아 전기적 성능이 떨어지는 일이 없고, 또한 빠른 시간 내에 피검사장치에 축적된 전하를 제거할 수 있으므로 번인 테스트의 효율성, 즉 반도체 장치의 생산성을 향상시킬 수 있다.

Description

번인 테스트 시스템의 전원공급장치{Power Supply of Burn-In Test System}
본 발명은 번인 테스트 시스템의 전원공급장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 번인 테스트 종료후에 피검사장치에 공급된 전원에 의하여 피검사장치에 축적된 전하를 제거하기 위하여 피검사장치와 연결되는 전류싱크회로를 구비한 번인 테스트 시스템의 전원공급장치에 관한 것이다.
반도체 집적회로 칩과 같은 반도체 장치는 제조후에 제품의 신뢰성을 보증하기 위하여 가혹한 조건에서 장시간의 스트레스를 가함으로써 초기 불량을 선별하는 소위, 번인 테스트(burn-in test)의 대상이 된다. 번인 테스트 시에 반도체 장치가 불량인 경우에는 반도체 장치 내에서 단락이 일어날 수 있고 그러한 경우에는 과전류가 발생한다. 이러한 과전류 발생은 다른 피검사장치에 악영향을 줄 수 있고, 또한 번인 테스트 시스템에도 악영향을 줄 수 있기 때문에 피검사장치의 테스트 시에 과전류가 발생할 경우에는 번인 테스트 시스템의 보호를 위하여 피검사장치로의 전원공급을 차단하게 된다. 또한 테스트의 신뢰성을 확보하기 위해서는, 피검사장치에 공급되는 전원이 정전압 전원인 경우에 테스트 동작을 위해 피검사장치에 공급된 전압이 설정값과 동일하거나 피검사장치에 공급된 전압을 정확하게 파악할 수 있어야 한다. 또한 테스트를 빠른 시간 내에 수행할 수 있는 방법도 테스트의 효율성 내지 반도체 장치의 생산성 측면에서 중요한 요소가 된다.
상기한 번인 테스트 시스템의 성능을 향상시키기 위한 노력으로부터 도출된 결과물들로서, 특허공개번호 제10-2010-0121219호(2010년 11월 17일 공개)는 번-인 테스트 시스템의 개별적인 전원공급장치를 개시하고, 특허등록 제10-0960308호(2010년 5월 20일 등록)는 프로그래머블 전원공급유닛의 제어방법 및 반도체 실장테스트 시스템을 개시하며, 특허공개번호 제10-2009-0022603호(2009년 03월 04일 공개)는 디바이스 파워 서플라이 확장회로, 이를 포함하는 테스트시스템 및 반도체 장치의 테스트 방법을 개시하고, 특허등록 제10-0826293호(2008년 04월 23일 등록)는 메모리 테스트 시스템의 전원 공급 장치를 개시하며, 특허등록 제10-0665915호(2007년 01월 02일 등록)는 번-인 테스트 시스템을 위한 전원공급장치를 개시한다.
상기한 종래기술들은 다양한 방법에 의하여 번인 테스트 시스템의 성능 향상을 꾀하였지만, 번인 테스트를 위하여 피검사장치에 공급된 전원이 피검사장치에 전하를 축적시킨다는 사실에는 전혀 관심이 없었다. 그러한 결과, 그러한 사실로부터 발생하는 문제점에 대한 인식도 없었으며, 당연히 문제를 해결하기 위한 노력을 할 수도 없었다. 반면에 본 발명자는 피검사장치에 축적된 전하를 제거하지 않고 피검사장치를 번인 테스트 시스템으로부터 제거하는 경우에는 피검사장치에 충격을 주어 전기적 성능이 떨어질 수 있고, 피검사장치에 축적된 전하가 제거되기까지 기다리는 경우에는 상당한 시간이 소요되어 번인 테스트의 효율성, 즉 반도체 장치의 생산성이 떨어진다는 문제점을 인식하였고, 그러한 문제점을 해결하는 방안을 마련함으로써 본 발명을 완성하였다.
따라서 본 발명의 목적은 번인 테스트 종료후에 피검사장치에 공급된 전원에 의하여 피검사장치에 축적된 전하를 제거하기 위하여 피검사장치와 연결되는 전류싱크회로를 구비한 번인 테스트 시스템의 전원공급장치를 제공하는 것이다.
또한 본 발명의 목적은 복수의 피검사장치들을 동시에 테스트함으로써 번인 테스트 시간을 줄일 수 있는 번인 테스트 시스템의 전원공급장치를 제공하는 것이다.
또한 본 발명의 목적은 복수의 전원공급모듈의 전압을 개별적으로 제어함으로써 다양한 반도체 장치를 동시에 테스트할 수 있는 번인 테스트 시스템의 전원공급장치를 제공하는 것이다.
또한 본 발명의 목적은 단일의 전압측정회로 및 전류측정회로를 사용하여 복수의 피검사장치들에 공급되는 전압 및 전류를 측정함으로써 효율적 구성을 이루는 번인 테스트 시스템의 전원공급장치를 제공하는 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 번인 테스트 시스템의 전원공급장치는 복수개의 피검사장치들에 대한 테스트 동작을 제어하는 시스템 콘트롤러 및 상기 시스템 콘트롤러의 제어에 따라 상기 피검사 장치들에 전원을 공급하는 복수개의 전원공급모듈을 포함하는 번인 테스트 시스템의 전원공급장치이다. 이러한 번인 테스트 시스템의 전원공급장치에 있어서, 상기 전원공급모듈은 번인 테스트를 위하여 상기 피검사장치에 공급된 전원에 의하여 상기 피검사장치에 축적된 전하를 제거하기 위하여 상기 피검사장치와 연결되는 전류싱크회로를 포함하고, 상기 시스템 콘트롤러는 상기 번인 테스트 완료후에 상기 피검사장치에의 상기 전원공급을 차단하는 제어신호를 발생시킴과 동시에 상기 전류싱크회로를 활성화시키는 전류싱크제어 기능을 가진다.
상기 전류싱크회로는 스위치와 저항 소자를 포함하고, 접지되어 있다.
상기 시스템 콘트롤러는 상기 전원공급모듈의 전압을 개별적으로 제어하는 전압제어회로 및 상기 전원공급모듈에 개별적으로 전원을 공급 및 차단하는 전원제어회로를 포함하는 것이 바람직하다.
상기 시스템 콘트롤러는 상기 각 피검사장치에 공급된 전압 및 전류를 순차적으로 측정하는 전압측정회로 및 전류측정회로를 포함하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 전류싱크회로를 구비한 번인 테스트 시스템의 전원공급장치에 의하면, 피검사장치에 공급된 전원에 의하여 피검사장치에 축적된 전하를 번인 테스트 종료후에 제거함으로써 피검사장치를 번인 테스트 시스템으로부터 제거할 때 피검사장치가 전기적 충격을 받아 전기적 성능이 떨어지는 일이 없고, 또한 빠른 시간 내에 피검사장치에 축적된 전하를 제거할 수 있으므로 번인 테스트의 효율성, 즉 반도체 장치의 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한 본 발명의 장치는 복수의 피검사장치들을 동시에 테스트할 수 있으므로 번인 테스트에 소요되는 시간을 줄일 수 있다. 또한 본 발명의 장치는 복수의 전원공급모듈의 전압을 개별적으로 제어함으로써 다양한 반도체 장치를 동시에 테스트할 수 있다. 또한 본 발명의 장치는 단일의 전압측정회로 및 전류측정회로를 사용하여 복수의 피검사장치들에 공급되는 전압 및 전류를 측정하는 구성으로 이루어져 있어 구성이 효율적이다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 번인 테스트 시스템을 개략적으로 도시한 블록도이다.
도 2는 본 발명에 따른 번인 테스트 시스템의 전원공급장치에 적용되는 각 전원공급모듈의 개략적 회로를 나타낸 블록도이다.
도 3은 본 발명에 따른 번인 테스트 시스템의 전원공급장치에 마련된 전류싱크회로에 의하여 달성되는, 피검사장치에 축적된 전하의 제거 효율성을 기존의 전원공급장치와 비교한 그래프이다.
이하, 본 발명을 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 번인 테스트 시스템의 전원공급장치(Device Power Supply; DPS)(100)는 복수개의 피검사장치들(Devices Under Test; DUTs)에 대한 테스트 동작을 제어하는 시스템 콘트롤러 그리고 시스템 콘트롤러의 제어에 따라 피검사장치들에 전원을 공급하는 복수개의 전원공급모듈(200)을 포함한다.
하나의 전원공급모듈(200)에는 하나의 피검사장치가 장착되어 테스트된다. 시스템 콘트롤러는 중앙연산처리장치(CPU)(101)와 CPU의 지시에 따라 각 전원공급모듈(200)에 공급되는 전원의 전압을 제어하는 전압제어회로(102), 그리고 각 전원공급모듈(200)에 전원공급 및 전류싱크회로를 활성화시킬 것인지를 제어하는 전원 및 전류싱크 제어회로(103)를 포함한다. 시스템 콘트롤러는 또한 전압 및 전류 측정회로(104)를 포함할 수 있다. 본 발명은 복수의 전원공급모듈의 전압을 개별적으로 제어하기 때문에 동일한 종류의 반도체 장치뿐만 아니라 서로 다른 종류의 다양한 반도체 장치를 동시에 테스트할 수 있게 된다.
CPU(101)는 통신회로(105)를 통하여 다양한 외부장비와 연결된다. 사용되는 통신회로는 특별히 제한되지 않으며, 대표적으로 232 통신회로, 422 통신회로, I2C 통신회로가 사용될 수 있다. 사용자는 본 발명의 전원공급장치(100)에 연결된 외부장비를 통하여 원하는 작업을 수행할 수 있다. 예를 들어, 사용자가 피검사장치들을 전원공급모듈(200)에 장착한 후, 본 발명의 전원공급장치(100)에 연결된 자신의 컴퓨터에서 작동전압, 시간 등을 설정하면, 이러한 데이터는 통신회로를 통하여 CPU(101)로 전달되고, CPU(101)는 전압제어회로(102)에 각 전원공급모듈의 전압을 설정값으로 설정하도록 명령하고, 정해진 시간 동안 설정전압에서 작동하게 한 후에는 전원공급을 중단함과 동시에 본 발명에서 제시하는 전류싱크회로를 활성화시켜서 피검사장치들에 공급된 전원에 의하여 피검사장치들에 축적된 전하를 제거한다. 또한, CPU(101)는 동작시간 동안 측정된 전압 및 전류 값들을 사용자의 컴퓨터로 전송함으로써 사용자가 피검사장치들의 상태를 파악할 수 있게 한다.
더욱 구체적으로, 도 2를 참조하면, 각 전원공급모듈(200)은 피검사장치 시험전압 출력부(201), 과전압보호회로(202), 과전류보호회로(203)를 포함한다. 피검사장치 시험전압 출력부(201)는 전압제어회로(102)의 제어에 따라 피검사장치로 전압을 출력하는 것이고, 과전압보호회로(202) 및 과전류보호회로(203)는 피검사장치(DUT)가 장착되고 테스트되는 동안에 이상적인 과전압 및 과전류가 발생하는 경우 전원공급장치(200)를 보호하기 위하여 피검사장치와의 전기적 연결을 차단하는 역할을 하는 것으로 여러 전기장치에 적용되고 있는 것이다.
피검사장치 시험전압 출력부(201)에서 제공되는 전원의 전압은 피검사장치로 공급되기 전에 선로에서 전압강하가 발생할 수 있는데, 이러한 경우 피검사장치에 대한 정확한 테스트 결과를 얻을 수 없다. 따라서, 피검사장치에 공급되는 전원의 전압이 설정된 값과 정확하게 일치되게 하기 위하여, 피검사장치로 공급되는 전원의 전압은 피검사장치 시험전압 출력부(201)로 피드백되고, 피검사장치 시험전압 출력부(201)는 이러한 피드백에 의하여 그것의 출력전압을 재설정함으로써 피검사장치에 공급되는 전원의 전압이 항상 설정값과 일치되게 한다.
한편, 각 전원공급모듈(200)은 피검사장치 소모전류 측정부(204)를 포함할 수 있다. 피검사장치 소모전류 측정부(204)는 피검사장치로 공급된 전압에 의하여 피검사장치가 소모하는 전류의 양을 측정하는 것이며, 알려진 구성을 채용할 수 있다. 피검사장치 소모전류 측정부(204)에 의해 측정된 전류값은 CPU(101)로 전달된 후 사용자의 컴퓨터로 전송된다. 이와 같은 구성에 의하면, 피검사장치에서 소모되는 전류값을 매 순간 사용자가 파악할 수 있다는 장점은 있으나, 각 전원공급모듈(200)마다 피검사장치 소모전류 측정부(204)를 마련하여야 하므로 제조비용이 상승한다는 단점이 있다.
따라서, 이에 대한 대안으로서, 전류 및 전압 측정회로(104)를 하나만 마련하고 각 전원공급모듈(200)에 대한 전류 및 전압을 측정하기 위하여 각 전원공급모듈(200)이 순차적으로 전류 및 전압 측정회로(104)와 연결되는 구성이 채택될 수 있다. 이러한 구성에 의하면 하나의 전류 및 전압 측정회로(104)로 모든 전원공급모듈(200)에 연결되는 피검사장치들이 소모하는 전류를 측정할 수 있게 된다. 따라서 간단한 구성에 의하여 제조비용을 줄일 수 있다는 장점을 갖게 된다. 한편, 각 전원공급모듈(200)에 대한 순차적 전압 및 전류의 측정으로 인하여 각 전원공급모듈(200)에서의 전압 및 전류 측정 횟수가 줄어들어 순시전압 및 전류의 추적에 대한 정밀성이 다소 떨어지지만, 그러한 정밀성 부족이 피검사장치의 특성 파악에 큰 영향을 미치지는 않는다. 또한, 피검사장치의 측정 동안에 전압 및 전류의 급격한 변동이 발생하는 경우 사용자가 그러한 급격한 변동을 파악하는데 약간의 지연이 발생하지만, 그러한 경우에도 과전압보호회로(202) 및 과전류보호회로(203)에 의하여 피검사장치와의 연결이 자동으로 차단되므로 특별한 문제가 발생되지는 않는다. 따라서, 이러한 구성은 효율적 구성이 된다.
각 전원공급모듈(200)은 또한 전류싱크회로(205)를 포함한다. 전류싱크회로(205)는 언급한 바와 같이, 번인 테스트를 위하여 피검사장치에 공급된 전원에 의하여 피검사장치에 축적된 전하를 제거하기 위하여 피검사장치와 연결되는 회로이다. 이러한 전류싱크회로(205)는 피검사장치의 검사를 완료한 후에 작동하는 것이다. 이를 위하여, 시스템 콘트롤러, 특히 전원 및 전류싱크 제어회로(103)는 번인 테스트 완료후에 피검사장치로의 전원공급을 차단하는 제어신호를 발생시킨다. 그러면 피검사장치 시험전압 출력부(201)로 전원공급이 중단되며, 결국 피검사장치로의 전원공급이 중단된다. 이와 동시에 전원 및 전류싱크 제어회로(103)는 전류싱크회로를 활성화시키는 제어신호를 발생시킨다. 그러한 제어신호에 의하여 전류싱크회로(205)는 피검사장치와 연결된다. 전류싱크회로(205)는 전원 및 전류싱크 제어회로(103)의 제어에 따라 피검사장치와의 전기적 연결 및 차단을 수행하기 위하여 스위치 소자를 가지며, 또한 피검사장치에 축적된 전하를 제거하기 위하여 저항 소자를 포함하며, 그런 후 접지된다. 이러한 전류싱크회로(205)의 구성에 의하여 피검사장치에 축적된 전하는 전류로 형성되어 전류싱크회로(205)로 흐르고 저항 소자에서 열로 소진됨으로써 도 3에 도시된 바와 같이, 전류싱크회로가 없는 기존의 전원공급장치에 비하여 빠른 시간 내에 피검사장치로부터 제거된다. 따라서, 이러한 전류싱크회로에 의하여 번인 테스트에 소요되는 시간이 줄어들고 결과적으로 반도체 장치의 생산성이 향상된다.
100: 전원공급장치 101: 중앙연산처리장치(CPU)
102: 전압제어회로 103: 전원 및 전류싱크 제어회로
104: 전압 및 전류 측정회로 105: 통신회로
200: 전원공급모듈 회로 201: 피검사장치 시험전압 출력부
202: 과전압보호회로 203: 과전류보호회로
204: 피검사장치 소모전류 측정부 205: 전류싱크회로
206: 피검사장치(DUT) 207: 커넥터

Claims (5)

  1. 복수개의 피검사장치들에 대한 테스트 동작을 제어하는 시스템 콘트롤러 및 상기 시스템 콘트롤러의 제어에 따라 상기 피검사 장치들에 전원을 공급하는 복수개의 전원공급모듈을 포함하는 번인 테스트 시스템의 전원공급장치에 있어서,
    상기 전원공급모듈은 번인 테스트를 위하여 상기 피검사장치에 공급된 전원에 의하여 상기 피검사장치에 축적된 전하를 제거하기 위하여 상기 피검사장치와 연결되는 전류싱크회로를 포함하고, 상기 시스템 콘트롤러는 상기 번인 테스트 완료후에 상기 피검사장치에의 상기 전원공급을 차단하는 제어신호를 발생시킴과 동시에 상기 전류싱크회로를 활성화시키는 전류싱크제어 기능을 가지는 것이고,
    상기 시스템 콘트롤러는 상기 전원공급모듈의 전압을 개별적으로 제어하는 전압제어회로 및 상기 전원공급모듈에 개별적으로 전원을 공급 및 차단하는 전원제어회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 번인 테스트 시스템의 전원공급장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 전류싱크회로는 스위치와 저항 소자를 포함하는 것임을 특징으로 하는 번인 테스트 시스템의 전원공급장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 전류싱크회로는 접지되어 있는 것임을 특징으로 하는 번인 테스트 시스템의 전원공급장치.
  4. 삭제
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 시스템 콘트롤러는 상기 각 피검사장치에 공급된 전압 및 전류를 순차적으로 측정하는 전압측정회로 및 전류측정회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 번인 테스트 시스템의 전원공급장치.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190006744A (ko) * 2017-07-11 2019-01-21 세메스 주식회사 전원 공급 장치 및 이를 포함하는 번인 테스트 장치
KR102632052B1 (ko) 2023-07-25 2024-02-01 (주)에프에이솔루션 전기제품 테스트장비용 전원공급장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100665915B1 (ko) * 2005-11-03 2007-01-10 주식회사디아이 번-인 테스트 시스템을 위한 전원공급 장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100665915B1 (ko) * 2005-11-03 2007-01-10 주식회사디아이 번-인 테스트 시스템을 위한 전원공급 장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190006744A (ko) * 2017-07-11 2019-01-21 세메스 주식회사 전원 공급 장치 및 이를 포함하는 번인 테스트 장치
KR102382014B1 (ko) * 2017-07-11 2022-04-04 주식회사 아이에스시 전원 공급 장치 및 이를 포함하는 번인 테스트 장치
KR102632052B1 (ko) 2023-07-25 2024-02-01 (주)에프에이솔루션 전기제품 테스트장비용 전원공급장치

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