KR101205741B1 - 피코 스케일을 위한 진동 측정 장치 - Google Patents

피코 스케일을 위한 진동 측정 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 피코 스케일을 위한 진동 측정 장치에 대한 것으로서, 더 상세하게는 기판상에 평면 광도파로를 형성시키고 열전소자를 이용하여 온도 조절을 함으로써 피코 스케일까지 진동 측정이 가능한 진동 측정 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 평면 광도파로 구조를 이용하여 진동을 측정하게 되므로 챔버를 구비할 필요없이 진동 측정을 간편하게 실행할 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 효과로서는 열전소자로 평면 광도파로의 온도를 제어하게 되므로, 주변의 기온 변화와 무관하게 일정한 온도인 항온으로 유지된다는 점을 들 수 있다.

Description

피코 스케일을 위한 진동 측정 장치{Vibration Measurement Instrument for pico scale}
본 발명은 피코 스케일을 위한 진동 측정 장치에 대한 것으로서, 더 상세하게는 기판상에 평면 광도파로를 형성시키고 열전소자를 이용하여 온도 조절을 함으로써 피코 스케일까지 진동 측정이 가능한 진동 측정 장치에 관한 것이다.
최근에 정량적인 음향진동 측정 기술을 이용한 표면파(surface wave) 진행과 같은 이차원의 음향 진동 등을 분석하므로 물체의 결함이나 판 같은 구조물의 기계적 음향적 특성을 측정 감시하는데 활용하는 관심이 증대되고 있다.
재료 표면에 진동을 측정하는 많은 경우에 기존의 접촉식 트랜스듀서인 EMAT(Electromagnetic acoustic transducer)나 air coupled 트랜스듀서를 사용해서 음향진동을 발생시키시고 측정하였다. 이러한 기술들은 적용하는데 많은 한계를 가지고 있다.
접촉식 트랜스듀서로 스캔을 하거나 실험 샘플에 접촉할 때 많은 불편을 겪는 것이 사실이다. Air-coupled 트랜스 듀서의 경우는 공기와 고체에 대한 임피던스가 맞지 않아 에너지의 결합효율이 현저히 떨어지는 문제들이 발생한다.
간섭계를 이용한 비접촉식 측정방법은 이러한 문제들을 극복할 수 있을 뿐만 아니라 보다 정밀한 측정을 가능하게 한다. 광섬유 초점기(focuser)의 초점크기(spot size)는 5um 이하이다. 그러므로 5um의 크기로 2차원 표면 진동의 등고선(contour)을 측정할 수 있다. 광섬유 간섭계는 광경로가 공기가 아니라 광섬유이기 때문에 측정하고자 하는 샘플(sample)에 복잡한 기구부없이 쉽게 정렬할 수 있는 장점이 있다.
이를 보여주는 도면이 도 1에 도시된다. 도 1은 마이켈슨 간섭계를 이용한 것으로 두 개의 반사경과 이들 사이에 위치한 빛살 가리개를 기본 골격으로 한다. 도 1을 참조하면, 레이저 소스(100)로부터 나온 빛은 광섬유에 입력된 후 방향성 커플러(directional coupler)(110)에 의해 두 부분으로 나누어진다. 이 방향성 커플러(110)가 마이켈슨 광섬유 간섭계가 된다.
한쪽 부분은 위상 변조기(130)를 거쳐 광섬유 끝단에서 광섬유 기준 미러(150)에 의해 반사되어 진다. 한편으로 다른 한 부분은 광경로의 변위를 측정할 수 있도록 Focuser(140)가 연결되어 있다.
편광 유지 광섬유가 사용되어 편광에 영향을 받지 않고 간섭이 잘 일어나는 장점을 가지고 있다. 또한, 온도나 그 외의 물리량에 의한 위상 드리프트(drift)를 보정할 수 있는 위상 보정 회로(120)가 구성된다.
더 상세한 설명은 한국정밀공학회 2003년도 추계학술인회논문집 "광섬유 간섭계를 이용한 음향 진동의 미소변위 측정( Measure the fine displacement of acoustic wave using fiber interferometer )(김종관, 김진홍, 강승범 , 서경식 )"에 상세히 기술되어 있으므로 더 이상의 설명은 생략하기로 한다.
그런데, 도 1에 따른 종래 기술의 경우, 챔버내에 광섬유를 넣고 진동을 측정해야 되므로, 간편한 진동 측정이 되지 않는다는 단점이 있다.
또한, 위상 보정 회로를 이용하여 온도 보상한다고 하더라도, 주변의 기온 변화에 좌우되어 항온이 유지되지 않으므로 정밀한 진동 측정이 되지 않는 단점이 있다.
또한, 기준이 되는 광섬유 mirror coating에 의해 반사되는 광을 상황에 맞게 제어할 수 없다는 단점이 있다.
본 발명은 위에서 제기된 종래기술에 따른 문제점을 극복하기 위해서, 챔버를 구비할 필요없이 간편한 진동 측정이 가능한 피코 스케일을 위한 진동 측정 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 주변의 기온 변화와 무관하게 일정한 온도인 항온이 유지되게 하여 정밀한 진동 측정이 가능한 피코 스케일을 위한 진동 측정 장치를 제공하는데 다른 목적이 있다.
또한, 기준이 되는 기준 광경로의 광을 상황에 맞게 제어할 수 있게 하는 피코 스케일을 위한 진동 측정 장치를 제공하는데 또 다른 목적이 있다.
본 발명은 위에서 제기된 과제를 달성하기 위해 챔버를 구비할 필요없이 간편한 진동 측정이 가능한 피코 스케일을 위한 진동 측정 장치를 제공한다. 이 진동 측정 장치는, 기판; 상기 기판상에 형성되며 광 커플러가 형성된 평면 광도파로(PLC: Planar Lightwave Circuit); 상기 기판의 하단에 배치되어 상기 평면 광도파로의 온도를 조절하는 열전 소자층; 상기 평면 광도파로측으로 광원을 발광하는 발광부; 상기 평면 광도파로측으로부터 발광된 광원을 집광하여 시편에 투사하거나 상기 시편으로부터 반사된 시편 반사광을 집광하는 집속 광학계; 상기 평면 광도파로로부터 발광된 광원을 반사하여 상기 시편 반사광에 기준 광원인 기준광 미러 반사광을 제공하는 기준광 미러; 및 상기 광 커플러에 의해 상기 시편 반사광과 기준광 미러 반사광이 합성된 합성광을 수광하는 수광부 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 이 진동 측정 장치는, 상기 기판을 내부에 패키징하여 항온을 유지하게 하는 온도 유지 패키지를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 이 진동 측정 장치는, 상기 기준 광원의 경로를 온도로 제어하는 히터를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 이 진동 측정 장치는, 상기 발광부, 수광부 및 히터 중 적어도 하나 이상을 제어하는 전자 제어 회로부를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 이 진동 측정 장치는, 상기 전자 제어 회로부로부터 합성광인 광신호를 수신하여 디지털 신호로 변환하는 신호 처리부를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 이 진동 측정 장치는, 상기 집속 광학계를 연장시키는 연장 광섬유를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
이때, 이 진동 측정 장치는, 상기 연장 광섬유를 상기 기판의 평면 광도파로측에 지지시키거나, 또는 상기 연장 광섬유를 상기 집속 광학계에 접속 고정시키는 지지 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한, 상기 발광부는 DFB(Distributed Feedback Laser) 레이져를 사용하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명에 따르면, 평면 광도파로 구조를 이용하여 진동을 측정하게 되므로 챔버를 구비할 필요없이 진동 측정을 간편하게 실행할 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 효과로서는 열전소자로 평면 광도파로의 온도를 제어하게 되므로, 주변의 기온 변화와 무관하게 일정한 온도인 항온으로 유지된다는 점을 들 수 있다.
또한, 본 발명의 또 다른 효과로서는 기준 광경로쪽에 히터를 설치하여 온도 제어를 할 수 있게 되므로 기준이 되는 기준 광경로의 광을 상황에 맞게 제어할 수 있다는 점을 들 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 광섬유 간섭계를 이용한 음향 진동의 미소변위 측정 장치의 구조를 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 평면 광도파로를 이용한 피코 스케일을 위한 진동 측정 장치의 개념도이다.
도 3은 도 2에 도시된 전자 제어 회로부(270)의 회로 블럭도이다.
도 4는 도 2에 도시된 진동 측정 장치의 일부 측면 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따라 광의 진행 경로를 보여주는 개념도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 평면 광도파로를 이용한 피코 스케일을 위한 진동 측정 장치의 개념도이다.
도 7은 도 6에 도시된 진동 측정 장치의 일부 측면 단면도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.
본 명세서에서 사용되는 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 공정, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 공정, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미가 있는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 피코 스케일을 위한 진동 측정 장치를 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 평면 광도파로를 이용한 피코 스케일을 위한 진동 측정 장치의 개념도이다. 도 2를 참조하면, 진동 측정 장치는, 기판(210); 상기 기판(210)상에 형성되며 광 커플러(233)가 형성된 평면 광도파로(PLC: Planar Lightwave Circuit)(220); 상기 평면 광도파로(220)측으로 광원을 발광하는 발광부(260); 상기 평면 광도파로(220)측으로부터 발광된 광원을 집광하여 시편(280)에 투사하거나 상기 시편으로부터 반사된 시편 반사광을 집광하는 집속 광학계(250); 상기 평면 광도파로(220)로부터 발광된 광원을 반사하여 상기 시편(280)으로부터 반사된 시편 반사광에 기준 광원을 제공하는 기준광 미러(231); 및 상기 광 커플러(223)에 의해 시편 반사광과 기준광 미러 반사광이 합성된 합성광을 수광하는 수광부(261); 상기 발광부(260) 및/또는 수광부(261)를 제어하는 전자 제어 회로부(270); 및 상기 전자 제어 회로부(270)로부터 수신된 합성광인 광신호를 디지털 신호로 처리하는 신호 처리부(290) 등을 포함하는 것을 특징으로 한다.
평면 광도파로(220)는 평면 광파 회로 기술(Planar Lightwave Circuit Technology)을 이용하여 기판(210) 표면에 형성되며, 중간에 광을 혼합하거나 분해하는 광 커플러(223)가 형성된다.
이 광 커플러(223)는 광을 합성 및/또는 분해하는 기능을 수행하며, 마이켈슨 간섭계가 된다. 기판(210)으로는 실리콘 등이 사용된다. 평면 광도파로(220)에 대하여는 널리 공지되어 있는 기술이므로 본 발명의 용이한 이해를 더 이상의 설명은 생략하기로 한다.
광도파로(220)의 좌측단에는 발광부(260) 및 수광부(261)가 구비된다. 발광부(260)로는 레이저 다이오드(LD: Laser Diode) 등이 사용되며, 수광부(261)로는 포토 다이오드(PD: Photo Diode) 등이 사용된다.
레이저 다이오드는 레이저 광을 생성하는데, 레이저 광은 빅셀(Vertical Cavity Surface Emitting Laser) 또는 분포 궤환형 레이저(Distributed Feedback Laser : DFB Laser)와 같은 도파로형 반도체 레이저(Semiconductor Waveguide Laser) 등으로 구현될 수 있다.
이 분포 궤환형 레이저는 광도파로가 주기 구조가 되도록 함으로써 파장 선택성을 지니게 한 공진기를 갖춘 레이저로서, 광섬유 내부에서 전송되는 광의 속도가 동일하게 되어 신호 파형이 붕괴되지 않는다는 장점이 있다.
기판(210)의 우측 상단쪽에는 복수 개인 제 1 및 제 2 히터(230,231)가 구비되며, 이 제 1 및 제 2 히터(230,231)는 기준광 미러(231)로부터 반사된 기준광을 변화시키도록 광도파로(220)의 특정 경로에 대하여 온도 제어를 실행하는 역할을 한다.
기판(210)의 우측 하단쪽에는 집속 광학계(250)가 구성되어 광도파로(220)를 타고 오는 광을 시편(280)쪽으로 집광하여 조사하는 기능을 한다. 물론, 집속 광학계(250)로부터 반사된 광은 광도파로(220)쪽으로 입사된다.
여기서, 시편(280)은 진동 물체로서 자체 진동하는 특성 갖는 물질이다. 따라서, 시편(280)이 진동하게 됨에 따라 반사되는 시편 반사광의 속도도 달라지게 되므로, 기준광 미러(231)로부터 반사되는 기준광 미러 반사광을 기준으로 합성광에서 시편 반사광의 차이를 이용하면 이 진동 물체인 시편(280)의 주파수를 측정할 수 있게 된다. 따라서, 이 주파수를 이용하면 진동 물체의 진동량을 측정하는 것이 가능하게 된다.
시편(280)에 대한 진동 측정 방식은 이미 한국정밀공학회 2003년도 추계학술인회논문집 "광섬유 간섭계를 이용한 음향 진동의 미소변위 측정(Measure the fine displacement of acoustic wave using fiber interferometer)(김종관, 김진홍, 강승범, 서경식)"에 상세히 기술되어 있으므로 더 이상의 설명은 생략하기로 한다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 시편(280)에 대한 진동 측정 가능 범위는 50 피코 미터까지 가능하다.
도 2를 계속 설명하면, 발광부(260) 및 수광부(261)에 접속되어 이들 발광부(260) 및/또는 수광부(261)를 제어하는 전자 제어 회로부(270)가 구성된다. 이 전자 제어 회로부(270)는 발광부(260)를 제어하여 광원을 평면 광도파로(220)쪽으로 발광하게 하거나 평면 광도파로(220)로부터 합성된 합성광을 수광부(261)가 수신하여 광신호로 변환하면, 이 합성광인 광신호를 수신하여 이를 신호 처리부(290)에 전송하는 기능을 수행한다.
또한, 전자 제어 회로부(270)는 히터 연결부(263)를 통하여 제 1 히터(230) 및/또는 제 2 히터(231)를 제어하는 기능을 수행한다. 전자 제어 회로부(270)에 대한 구성을 보여주는 도면이 도 3에 도시된다. 즉, 도 3은 도 2에 도시된 전자 제어 회로부(270)의 회로 블럭도이다. 도 3에 대하여는 후술하기로 본 발명의 용이한 이해를 위해 후술하기로 한다.
도 2를 계속 참조하면, 이들, 발광부(260), 수광부(261), 기판(210), 평면 광도파로(220) 및 집속 광학계(250) 등을 온도 유지 패키지(200)로 패키징함으로써 평면 광도파로(220)가 항온을 유지하게 한다. 왜냐하면, 광의 속도는 매질의 온도에 따라 바뀌게 되므로 항온을 유지해야만, 시편(280)에 대한 정밀한 진동 측정이 가능하기 때문이다. 패키징의 재료로는 실리콘, 폴리 실리콘, 폴리머 등이 사용될 수 있다.
물론, 전자 제어 회로부(270)로부터 합성광인 광신호를 수신하여 디지털 신호로 변환하는 신호 처리부(290)가 포함된다. 신호 처리부(290)는 DSP(Digital Signal Processor) 회로 등으로 구현될 수 있다.
도 3은 도 2에 도시된 전자 제어 회로부(270)의 회로 블럭도이다. 도 3을 참조하면, 전자 제어 회로부(270)는 발광부(260)를 제어하는 발광 구동부(300), 수광부(261)를 제어하는 수광 구동부(310), 제 1 및 제 2 히터(도 2의 230,231)를 제어하는 히터 구동부(320)로 구성된다.
도 4는 도 2에 도시된 진동 측정 장치의 일부 측면 단면도이다. 도 4를 참조하면, 기판(210)이 놓이고, 이 기판(210)의 하단에는 열전소자층(400)이 구비된다. 이 열전소자층(400)은 TEC(Thermo-Electric Cooler)로 구성될 수 있다. TEC(열전소자, 열전 반도체 소자)는 펠티어 효과를 이용한 냉각 장비이다. 펠티에 효과란, 서로 다른 금속 끝을 접합시키고 여기에 전류를 흘려보내면, 한쪽 금속의 면은 열을 흡수하고, 다른 한쪽 금속의 면은 열을 방출하는 현상이다.
따라서, TEC는 열이 흡수되는 면에 발열 부품이 닿도록 하고, 다른 한쪽(열을 방출하는 면)에 방열판 등을 이용하여 발열 부품의 온도를 관리하는 방법으로 사용한다. 물론, 열전소자층(400)의 제어를 전자 제어 회로부(도 2의 270)가 할 수 도 있고, 독립적인 제어 회로를 이용하는 것도 가능하다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따라 광의 진행 경로를 보여주는 개념도이다. 도 5를 참조하면, 다음과 같은 순서로 광이 진행하게 된다.
① 발광부(260)로부터 발광된 광원은 평면 광도파로(220)의 광경로I을 따라 진행하게 되며 광 커플러(223)에서 분할된다.
② 분할된 광은 광경로Ⅱ쪽으로 진행되며, 집속 광학계(250)에 의해서 집속된다.
②' 이와 동시에 분할된 광은 광경로Ⅱ'쪽으로 진행되어 기준광 미러(240)에 도달하게 된다.
③ 집속 광학계(250)에 의해 집속된 광은 시편(280)의 표면에 투사된다.
④ 집속된 광은 시편(280)의 표면으로부터 반사된 시편 반사광이 집속 광학계(250)에 의해서 집속된다.
⑤ 집속된 광은 광경로Ⅱ를 따라 진행되어 광 커플러(223)쪽으로 진행한다.
⑤' 기준광 미러(240)로부터 반사된 기준광 미러 반사광도 광경로Ⅱ'를 따라 광 커플러(223)쪽으로 진행한다.
⑥ 광 커플러(223)에 의해 기준광 미러 반사광과 시편 반사광이 합성된 합성광이 광경로Ⅲ를 따라 진행하게 되며, 이 합성광은 수광부(261)에 의해 수광된다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 평면 광도파로를 이용한 피코 스케일을 위한 진동 측정 장치의 개념도이다. 도 6을 참조하면, 시편(280)이 멀리 떨어져 있는 경우 집속 광학계(250)를 연장하는 구조이다. 이를 위해, 연장 광섬유(600)가 더 구성되며, 이 연장 광섬유(600)의 좌측단은 연장 광섬유 지지부(610)에 의해 지지되며, 우측단은 연장 광섬유 고정부(620)에 의해 고정된다.
따라서, 연장 광섬유 지지부(610)는 기판(210)의 평면 광도파로(220)측에 연장 광섬유(600)의 끝단을 연결 지지시킨다.
또한, 연장 광섬유 고정부(620)는 연장 광섬유(600)의 끝단과 연결되어 연장 광섬유(600)와 집속 광학계(250)을 연결 결합시킨다.
도 7은 도 6에 도시된 진동 측정 장치의 일부 측면 단면도이다. 특히, 도 7은 연장 광섬유(600)가 연장 광섬유 지지부(610)에 의해 지지 고정된 상태를 보여준다.
100: 레이져 소스 110: 커플러
120: 보정 회로 130: 위상 변조기
140: 포커서 150: 광섬유 기준 미러
200: 온도 유지 패키지 210: 기판
220: 평면 광도파로 223: 광 커플러
230: 제 1 히터
231: 제 2 히터 240: 기준광 미러
250: 집속 광학계 260: 발광부
261: 수광부 263: 히터 연결부
270: 전자 제어 회로부 280: 시편
290: 신호 처리부 400: 열전 소자층
600: 연장 광섬유 610: 연장 광섬유 지지부
620: 연장 광섬유 고정부

Claims (7)

  1. 기판;
    상기 기판상에 형성되며 광 커플러가 형성된 평면 광도파로(PLC: Planar Lightwave Circuit);
    상기 기판의 하단에 배치되어 상기 평면 광도파로의 온도를 조절하는 열전 소자층;
    상기 평면 광도파로측으로 광원을 발광하는 발광부;
    상기 평면 광도파로측으로부터 발광된 광원을 집광하여 시편에 투사하거나 상기 시편으로부터 반사된 시편 반사광을 집광하는 집속 광학계;
    상기 평면 광도파로로부터 발광된 광원을 반사하여 상기 시편 반사광에 기준 광원인 기준광 미러 반사광을 제공하는 기준광 미러; 및
    상기 광 커플러에 의해 상기 시편 반사광과 기준광 미러 반사광이 합성된 합성광을 수광하는 수광부
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 피코 스케일을 위한 진동 측정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판을 내부에 패키징하여 항온을 유지하게 하는 온도 유지 패키지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 피코 스케일을 위한 진동 측정 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 기준 광원의 경로를 온도로 제어하는 히터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 피코 스케일을 위한 진동 측정 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 발광부, 수광부 및 히터 중 적어도 하나 이상을 제어하는 전자 제어 회로부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 피코 스케일을 위한 진동 측정 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 전자 제어 회로부로부터 합성광인 광신호를 수신하여 디지털 신호로 변환하는 신호 처리부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 피코 스케일을 위한 진동 측정 장치.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 집속 광학계를 연장시키는 연장 광섬유; 및
    상기 연장 광섬유를 상기 기판의 평면 광도파로측에 지지시키거나, 또는 상기 연장 광섬유를 상기 집속 광학계에 접속 고정시키는 지지 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 피코 스케일을 위한 진동 측정 장치.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 발광부는 DFB(Distributed Feedback Laser) 레이져를 사용하는 것을 특징으로 하는 피코 스케일을 위한 진동 측정 장치.

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