KR101203710B1 - substrate treatment apparatus - Google Patents

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Abstract

평판표시소자용 기판을 제조하는 작업에 사용하는 기판처리장치를 개시한다.
그러한 기판처리장치는, 프레임과, 기판이 놓여지는 지지대와, 이 지지대 측에 연결된 연결부재를 구비하고 상기 프레임 상에서 상기 연결부재로 상기 지지대를 잡아당기면서 상,하 방향으로 움직일 수 있도록 형성된 수직이송부와, 상기 수직이송부의 지지대와, 연결부재의 연결 상태 또는 연결 해제 상태에 따라 링크절 운동이 이루어지면서 상기 지지대의 움직임을 제한할 수 있는 걸림 접촉력을 발생할 수 있도록 형성된 낙하방지수단을 포함한다.A substrate processing apparatus for use in a work for manufacturing a substrate for a flat panel display element is disclosed.
Such a substrate processing apparatus includes a frame, a support on which a substrate is placed, and a connection member connected to the support side, and vertically formed to move in an up and down direction while pulling the support to the connection member on the frame. And a drop preventing means formed so as to generate a locking contact force that can limit the movement of the support while the link section movement is made according to the sending part, the support of the vertical transfer part, and the connection state or the disconnection state of the connection member. .

Figure R1020100078352
Figure R1020100078352

Description

기판처리장치{substrate treatment apparatus}Substrate treatment apparatus

본 발명은 평판표시소자용 기판을 이송시키면서 각종 제조 공정을 진행하는데 사용되며, 특히 기판의 상,하 방향 이송시 한층 향상된 작동성과, 이송 안정성을 확보할 수 있는 기판처리장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is used to carry out various manufacturing processes while transferring a substrate for a flat panel display device, and more particularly, to a substrate processing apparatus capable of ensuring further improved operability and transfer stability when transferring a substrate in a vertical direction.

평판표시소자용 기판을 제조하는 작업은 주로 기판들을 이동시키면서 각각의 공정들을 정해진 순서에 따라 진행하는 방식으로 이루어진다.The operation of manufacturing a substrate for a flat panel display device is mainly performed by moving the substrates in a predetermined order.

예를 들어, 기판의 세정 작업은, 세정부 내부로 기판을 이송 공급하여 기판의 이송 중에 세정하는 방식으로 진행되며, 이와 같이 세정부와 연계하여 기판을 이송시키면서 기판 제조를 위한 일련의 작업을 진행할 수 있도록 형성된 장치(이송장치)를 일컬어 기판처리장치라고 한다.For example, the cleaning of the substrate may be performed by transporting and supplying the substrate into the cleaning unit and cleaning the substrate during transportation. Thus, a series of operations for manufacturing the substrate may be performed while transferring the substrate in association with the cleaning unit. An apparatus (transfer apparatus) formed so that it can be called is called a substrate processing apparatus.

이러한 기판처리장치는 작업 요건이나 환경 등에 따라 여러 가지 구조가 있지만 대부분 기판을 좌,우 방향으로 수평하게 이송할 수 있도록 형성된 수평이송부를 구비하거나, 기판을 상,하 방향으로 이송할 수 있도록 형성된 수직이송부를 구비하여 이루어진다.Such substrate processing apparatus has various structures according to work requirements or environment, but most of them have a horizontal transfer unit formed to horizontally transfer the substrate in the left and right directions, or are formed to transfer the substrate in the up and down directions. It comprises a vertical transfer unit.

상기 수평이송부는 이송용 로울러들이 간격을 띄우고 좌,우 방향으로 배치되어 이 이송용 로울러 측에 기판이 놓여진 상태에서 상기 이송용 로울러들이 일방향 회전시 기판이 대략 수평 방향을 따라 옮겨질 수 있도록 형성된다.The horizontal conveying part is formed so that the transport rollers are spaced apart in the left and right directions so that the substrate can be moved along the horizontal direction when the transport rollers rotate in one direction while the substrate is placed on the transport roller side. do.

그리고, 상기 수직이송부는 기판이 놓여지는 지지대를 구비하고 서보모터와 같은 구동원의 회전력으로 움직이는 벨트나 와이어로 상기 지지대를 잡아당겨서 기판이 대략 상,하 방향을 따라 옮겨질 수 있도록 형성된다.The vertical transfer part includes a support on which the substrate is placed, and is formed to pull the support with a belt or wire that is moved by a rotational force of a driving source such as a servomotor so that the substrate can be moved in an approximately up and down direction.

상기한 수평이송부 및 수직이송부의 구조에 의하면, 기판의 이송 중에 일련의 작업 공정(예: 세정)들을 원활하게 진행할 수 있도록 기판을 안정적으로 이송할 수 있어야 하며, 특히, 상기 수직이송부는 지지대가 벨트 또는, 와이어와 연결된 상태로 당겨지면서 작동하는 구조이므로 상기 벨트나 와이어의 연결 상태가 비정상으로 해제(끊김)되더라도 상기 지지대가 낙하하면서 추락하는 것을 방지할 수 있는 작동 안정성을 확보하는 것이 매우 중요하다.According to the structure of the horizontal transfer unit and the vertical transfer unit, it is necessary to stably transfer the substrate so that a series of working processes (eg, cleaning) can be performed smoothly during the transfer of the substrate, and in particular, the vertical transfer unit Since the support structure is operated while being pulled while being connected to the belt or wire, it is very important to secure the operation stability that can prevent the support from falling and falling even if the connection state of the belt or wire is abnormally released (broken). It is important.

하지만, 상기한 종래의 기판처리장치에 제공되는 수직이송부는 대부분 서보모터와 같은 구동원의 회전력으로 벨트나 와이어를 이동시키면서 상기 지지대를 상,하 방향으로 단순하게 움직이는 구조에 한정되므로 만족할 만한 작동 안정성을 확보하기 어렵다.However, the vertical transfer part provided in the conventional substrate processing apparatus is mostly limited to a structure in which the support is simply moved up and down while moving a belt or a wire by the rotational force of a driving source such as a servomotor, thereby providing satisfactory operation stability. Difficult to secure.

즉, 상기 지지대와 연결된 벨트 또는 와이어의 변형이나 파손시 발생할 수 있는 문제들에 적극적으로 대응하기 어렵다.That is, it is difficult to actively cope with problems that may occur when deformation or breakage of the belt or wire connected to the support.

예를 들어, 벨트나 와이어가 끊어지면 상기 지지대를 안정적으로 잡아줄 수 없으므로 이 지지대가 아래쪽을 향하여 그대로 낙하(추락)하면서 심각한 안전 상의 문제들을 야기할 수 있다.For example, a broken belt or wire may not hold the support reliably, causing the support to fall downward and cause serious safety problems.

특히, 벨트나 와이어는 작동 환경에 따라 쉽게 노화되면서 비정상으로 변형 또는 파손(절단)될 수 있으므로 상기 수직이송부는 항상 오작동 및 안전사고의 위험에 노출되어 있다.In particular, since the belt or wire can be easily deformed or broken (cut) while aging easily according to the operating environment, the vertical transfer part is always exposed to the risk of malfunction and safety accident.

이러한 문제들은 벨트나 와이어의 연결 상태가 비정상으로 해제될 때 지지대가 아래쪽을 향하여 낙하하는 제한할 수 있는 수단을 구비하고 있지 않기 때문이다.These problems are due to the fact that there is no limiting means for the support to fall downward when the belt or wire connection is abnormally released.

이러한 문제들을 개선하기 위하여 예를 들어, 벨트나 와이어를 볼스크류로 대체하거나, 별도의 센서와 제동장치들을 설치하여 지지대의 비정상적인 낙하 동작을 전기, 전자적으로 감지 및 제어하는 구조가 제시되고 있지만, 제작비가 과다하게 소요될 뿐만 아니라, 유지보수가 복잡하므로 또 다른 문제들을 야기할 수 있다. In order to improve these problems, for example, a belt or wire is replaced with a ball screw, or a separate sensor and braking devices are installed to detect and control abnormally falling motion of the support electronically. Not only is it excessively expensive, but maintenance is complicated, which can cause further problems.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서,SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems occurring in the prior art,

본 발명의 목적은 특히 기판을 상,하 방향으로 이송할 때 한층 향상된 작동성과 이송 안정성을 확보할 수 있는 기판처리장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a substrate processing apparatus that can ensure further improved operability and transfer stability, especially when the substrate is transferred in the vertical direction.

상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 실현하기 위하여,In order to realize the object of the present invention as described above,

프레임;frame;

기판이 놓여지는 지지대와, 이 지지대 측에 연결된 연결부재를 구비하고 상기 프레임 상에서 상기 연결부재로 상기 지지대를 잡아당기면서 상,하 방향으로 움직일 수 있도록 형성된 수직이송부;A vertical transfer part including a support on which a substrate is placed, and a connection member connected to the support side, the vertical transfer part being configured to move upward and downward while pulling the support onto the connection member on the frame;

상기 수직이송부의 지지대와, 연결부재의 연결 상태 또는 연결 해제 상태에 따라 링크절 운동이 이루어지면서 상기 지지대의 움직임을 제한할 수 있는 걸림 접촉력을 발생할 수 있도록 형성된 낙하방지수단;Drop prevention means formed to generate a locking contact force that can limit the movement of the support while the link section movement is made according to the support of the vertical transfer portion and the connection or disconnection state of the connection member;

을 포함하는 기판처리장치를 제공한다.It provides a substrate processing apparatus comprising a.

이와 같은 본 발명은, 수직이송부의 지지대 측에 기판이 놓여진 상태에서 벨트 또는, 와이어로 상기 지지대를 상,하 방향으로 업,다운시키면서 예를 들어, 기판 세정 작업과 같은 일련의 공정들을 간편하게 진행할 수 있도록 기판을 이송할 수 있다.The present invention can be easily carried out a series of processes such as, for example, substrate cleaning operation while up and down the support in the up and down direction with a belt or wire in a state that the substrate is placed on the support side of the vertical transfer portion. The substrate can be transported to make it possible.

특히, 본 발명은 상기 수직이송부에 제공되는 지지대의 움직임을 제한할 수 있도록 형성된 낙하방지수단을 구비하고 있으므로 기판을 이송할 때 한층 향상된 작동성과 이송 안정성을 확보할 수 있다.In particular, the present invention is provided with a drop preventing means formed to limit the movement of the support provided in the vertical conveying portion can ensure a more improved operability and transport stability when transporting the substrate.

즉, 상기 낙하방지수단은 예를 들어, 상기 지지대와 벨트 또는, 와이어의 연결 상태가 해제(끊김)되면, 탄성력에 의한 링크절 운동으로 상기 지지대의 움직임을 제한할 수 있는 걸림 접촉력을 발생하는 구조이므로 간단한 구조 및 작용으로 상기 지지대의 낙하(추락)를 방지할 수 있다.That is, the fall prevention means is, for example, when the connection state of the support and the belt or the wire is released (disconnected), the structure that generates a locking contact force that can limit the movement of the support by the linkage movement by the elastic force Therefore, it is possible to prevent the fall (fall) of the support by a simple structure and action.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일실시 예에 따른 기판처리장치의 전체 구조를 개략적으로 나타낸 도면들이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 기판처리장치의 낙하방지수단의 세부 구조 및 작용을 설명하기 위한 도면들이다.1 and 2 are schematic views showing the overall structure of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 and 4 are views for explaining the detailed structure and operation of the drop preventing means of the substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시 예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자들이 본 발명의 실시가 가능한 범위 내에서 설명된다.The embodiments of the present invention will be described by those skilled in the art to which the present invention is applicable.

따라서, 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있는 것이므로 본 발명의 특허청구범위는 아래에서 설명하는 실시 예들로 인하여 한정되는 것은 아니다.Therefore, the embodiments of the present invention can be modified into various other forms, so that the claims of the present invention are not limited by the embodiments described below.

도 1 내지 도 4는 본 발명의 일실시 예에 따른 기판처리장치의 전체 구조 및 작용을 개략적으로 나타낸 도면들로서, 도면 부호 2는 프레임을 지칭하고, 도면 부호 4는 수직이송부를 지칭한다.1 to 4 are diagrams schematically showing the overall structure and operation of the substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention, 2 denotes a frame, and 4 denotes a vertical transfer part.

상기 프레임(2)은 기판(G) 처리 작업을 진행하기 위한 일종의 작업대 역할을 하는 것으로서, 도 1을 기준으로 할 때 좌,우 방향으로 연장 형성된 직사각형의 프레임체 형태로 이루어질 수 있다.The frame 2 serves as a kind of work table for processing the substrate G, and may be formed in a rectangular frame body extending in left and right directions based on FIG. 1.

그리고, 상기 프레임(2) 상에는 상기 수직이송부(4)와 대응하는 수평이송부(6)가 설치될 수 있다.In addition, a horizontal transfer unit 6 corresponding to the vertical transfer unit 4 may be installed on the frame 2.

상기 수평이송부(6)는 여러 개의 이송용 로울러(R)들이 상기 프레임(2) 하부 일측에서 타측을 향하여 약간의 간격을 띄우고 배치된 상태로 제공될 수 있다.The horizontal conveying part 6 may be provided in a state in which a plurality of conveying rollers R are arranged with a slight distance from one side of the lower part of the frame 2 toward the other side.

상기 수평이송부(6)는 도면에는 나타내지 않았지만 상기 이송용 로울러(R)들이 구동원(예: 모터)으로부터 통상의 방법(예: 체인과 스프라켓 또는 벨트와 풀리)으로 동력을 전달받아서 축선을 중심으로 회전될 수 있도록 셋팅된다.Although not shown in the drawing, the horizontal conveying part 6 receives the power from the driving source (e.g. motor) from a driving source (e.g. motor) in a conventional manner (e.g. It is set so that it can be rotated.

이와 같은 수평이송부(6)의 구조에 의하면, 상기 이송용 로울러(R)들이 일방향으로 회전될 때 상기 이송용 로울러(R) 측에 놓여진 기판(G)이 상기 프레임(2) 일측에서 타측을 향하여 옮겨지면서 대략 수평 방향으로 이송된다.According to the structure of the horizontal transfer unit 6, when the transport rollers R are rotated in one direction, the substrate G placed on the transport roller R side is moved from one side of the frame 2 to the other side. It is conveyed in the horizontal direction while being moved toward.

상기한 수평이송부(6)는 예를 들어, 기판(G)을 이송할 때 어느 한쪽으로 경사진 상태(경사 반송)로 이송이 가능하도록 상기 이송용 로울러(R)들의 양쪽 단부들 중에서 어느 한쪽편이 다른 한쪽편 보다 더 높거나 낮은 상태로 상기 프레임(2) 상에 설치된 상태로 제공될 수도 있다. 이외에도 기판(G) 처리를 위한 작업 여건과 부합하는 이송 구조는 다양하게 실시할 수 있다.
The horizontal transfer part 6 is, for example, any one of both ends of the transport roller (R) to be transported in the inclined state (tilt transport) to either side when transporting the substrate (G). The side may be provided on the frame 2 in a state higher or lower than the other side. In addition, a transfer structure that matches the working conditions for processing the substrate G may be variously performed.

그리고, 상기 본 발명의 일실시 예에 따른 기판처리장치는, 상기 수평이송부(6)의 이송 구간 내에서 기판(G) 제조를 위한 일련의 공정을 진행할 수 있도록 형성된 기판처리부(8)가 제공될 수 있다.In addition, the substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention, the substrate processing unit 8 is formed so as to proceed a series of processes for manufacturing the substrate (G) within the transfer section of the horizontal transfer unit (6). Can be.

상기 기판처리부(8)는 예를 들어, 롤 브러쉬(미도시)로 기판(G)을 세정할 수 있도록 형성된 통상의 세정장치(챔버)로 구성될 수 있으며, 도 1에서와 같이 상기 수평이송부(6)의 이송 구간 일측에 설치될 수 있다.The substrate processing unit 8 may be, for example, a conventional cleaning device (chamber) formed to clean the substrate G with a roll brush (not shown), and the horizontal transfer unit as shown in FIG. 1. (6) may be installed on one side of the transport section.

그러면, 상기 수평이송부(6)를 따라 기판(G)이 상기 프레임(2) 일측에서 타측을 향하여 이송될 때 기판(G)의 이송 중에 세정 작업을 간편하게 진행할 수 있다. Then, when the substrate G is transferred from one side of the frame 2 toward the other side along the horizontal transfer part 6, the cleaning operation may be easily performed during the transfer of the substrate G.

따라서, 상기 수직이송부(4)는 상기 프레임(2) 상에서 기판(G)을 상,하 방향으로 옮기면서 상기 수평이송부(6) 측에 안정적으로 공급 가능하게 구성될 수 있다.Accordingly, the vertical transfer part 4 may be configured to be stably supplied to the horizontal transfer part 6 while moving the substrate G in the vertical direction on the frame 2.

다시 도 1을 참조하면, 상기 수직이송부(4)는, 기판(G)이 놓여지는 지지대(P)와, 이 지지대(P)를 상기 프레임(2) 상에서 상,하 방향으로 이동 가능하게 가이드할 수 있도록 형성된 가이드부재(L)와, 상기 지지대(P)를 움직이기 위한 동력을 발생하는 구동원(M)과, 이 구동원(M)과 상기 지지대(P) 사이를 동력 전달이 가능하게 연결하는 연결부재(W)로 구성될 수 있다.Referring back to FIG. 1, the vertical transfer part 4 guides the support P on which the substrate G is placed and the support P to be movable on the frame 2 in the up and down directions. Guide member (L) formed to be able to, and a drive source (M) for generating power for moving the support (P), and the power source for connecting the drive source (M) and the support (P) to enable transmission It may be composed of a connection member (W).

상기 지지대(P)는 기판(G) 저면과 접촉 면적을 줄이면서 평탄하게 지지한 상태로 옮길 수 있도록 형성된다.The support (P) is formed to be moved in a flat support state while reducing the contact area with the bottom surface of the substrate (G).

상기 지지대(P)는 예를 들어, 기판(G) 저면면을 복수 개의 지점으로 나눠서 지지할 수 있도록 형성된 통상의 피쉬본(fish bone) 타입의 구조로 이루어질 수 있다.For example, the support P may have a structure of a conventional fishbone type formed to support the bottom surface of the substrate G by dividing the bottom surface into a plurality of points.

상기 가이드부재(L)는 가이드레일(L1)과, 이 가이드레일(L1)을 따라 이동되는 가이드블럭(L2)으로 구성된 통상의 "LM 가이드"를 사용할 수 있으며, 도 1에서와 같이 상기 프레임(2) 상에서 상기 수평이송부(6) 일측 단부와 대응하는 지점에 세워진 상태로 배치될 수 있다.The guide member L may use a conventional "LM guide" composed of a guide rail L1 and a guide block L2 moved along the guide rail L1. 2) on the horizontal transfer portion 6 may be disposed in a standing position at a point corresponding to one end.

즉, 상기 지지대(P)는 상기 가이드부재(L)의 가이드블럭(L2) 측에 설치되어 상기 가이드레일(L1)을 따라 상기 프레임(2) 상에서 상,하 방향으로 움직일 수 있도록 셋팅된다.That is, the support (P) is installed on the guide block (L2) side of the guide member (L) is set to move in the vertical direction on the frame (2) along the guide rail (L1).

그리고, 상기 구동원(M)과, 연결부재(W)는 회전력으로 상기 지지대(P)를 위쪽이나 아래쪽을 향하여 잡아당기면서 상기 가이드부재(L)의 가이드 구간을 따라 상,하 방향으로 움직일 수 있도록 셋팅된다.The driving source M and the connection member W may move upward and downward along a guide section of the guide member L while pulling the support P upward or downward with a rotational force. Is set.

즉, 상기 구동원(M)은 정,역 회전이 가능한 서보모터를 사용할 수 있으며, 상기 프레임(2) 상에서 상기 가이드부재(L)의 하부와 대응하는 지점에 배치될 수 있다.That is, the driving source M may use a servo motor capable of forward and reverse rotation, and may be disposed at a point corresponding to the lower portion of the guide member L on the frame 2.

상기 연결부재(W)는, 벨트(예: 타이밍 벨트)를 사용할 수 있으며, 일단은 상기 지지대(P)의 상부와 연결되고, 타단은 하부와 연결된다.The connection member W may use a belt (eg, a timing belt), one end of which is connected to an upper portion of the support P, and the other end thereof to a lower portion thereof.

그리고, 상기 연결부재(W)는, 상기 지지대(P) 측에 연결된 상태에서 도 1에서와 같이 상기 가이드부재(L) 상부 및 하부 측에 설치된 로울러(W1) 측에 무한궤도 형태로 감겨지며, 상기 두 개의 로울러(W1) 중에서 어느 하나의 로울러(W1)는 상기 구동원(M) 즉, 서보모터 축과 연결되어 축선을 중심으로 회전되도록 셋팅된다.In addition, the connecting member (W) is wound in an orbit around the roller (W1) side installed in the upper and lower side of the guide member (L) as shown in Figure 1 in a state connected to the support (P) side, One of the two rollers W1 is connected to the driving source M, that is, the servo motor shaft, and is set to rotate about an axis.

이와 같은 구조에 의하면, 상기 구동원(M)에 의해 정,역 방향의 회전력이 발생할 때 상기 연결부재(W)가 일측 또는 타측 방향으로 이동되면서 상기 지지대(P)를 위쪽이나 아래쪽을 향하여 잡아당길 수 있다.According to such a structure, when the rotational force in the forward and reverse direction is generated by the drive source (M), the connecting member (W) can be moved toward one side or the other side while pulling the support (P) upward or downward have.

그러면, 상기 지지대(P)는 상기 가이드부재(L)의 가이드 구간을 따라 상기 프레임(2) 상에서 상,하 방향으로 움직일 수 있으므로 예를 들어, 도 2에서와 같이 상기 지지대(P)는 상기 프레임(2) 상측에서 별도의 장치(예: 로봇)로부터 기판(G)을 넘겨받은 다음, 아래쪽으로 이동되면서 상기 수평이송부(6) 일측에 기판(G)을 올려놓는 상태로 공급할 수 있다.Then, the support (P) can move up and down on the frame (2) along the guide section of the guide member (L), for example, as shown in Figure 2 the support (P) is the frame (2) After receiving the substrate G from a separate device (for example, a robot) from the upper side, the substrate G may be supplied while the substrate G is placed on one side of the horizontal transfer unit 6 while moving downward.

그러므로, 상기 프레임(2) 외부에서 공급되는 기판(G)들을 상기 수직이송부(4) 및 수평이송부(6)를 이용하여 상기 프레임(2) 내에서 수직방향 및 수평방향으로 이송시키면서 기판(G)의 이송 중에 상기 기판처리부(8)로 일련의 작업(세정)을 간편하게 진행할 수 있다.Therefore, the substrates G, which are supplied from the outside of the frame 2, are transferred in the vertical and horizontal directions in the frame 2 using the vertical transfer part 4 and the horizontal transfer part 6. During the transfer of G), a series of operations (washing) can be easily performed to the substrate processing section 8.

상기 수평이송부(6) 중에서 상기 지지대(P)와 대응하는 지점은 도 2에서와 같이 수평이송구간 아래쪽으로 상기 지지대(P)가 이동할 때 이송용 로울러(R)들과 접촉하지 않도록 형성된다.The point corresponding to the support P in the horizontal transfer part 6 is formed so as not to contact the transport rollers R when the support P moves downward in the horizontal transfer section as shown in FIG. 2.

예를 들어, 도면에는 나타내지 않았지만 상기 이송용 로울러(R)들의 양측 단부 사이를 분할 형성하여 이들 사이로 상기 피쉬본 타입의 지지대(P)가 통과할 수 있도록 형성될 수 있다.
For example, although not shown in the drawings, the two ends of the transport rollers R may be formed to be divided so that the fishbone support P may pass therebetween.

상기한 연결부재(W)는 도면에는 나타내지 않았지만 예를 들어, 와이어를 사용할 수도 있고, 이외에도 상기와 같이 구동원(M)의 동력을 전달받아서 상기 지지대(P)를 상,하 방향으로 움직일 수 있는 상태로 연결할 수 있는 것이면 다양하게 실시할 수 있다.Although the connection member W is not shown in the drawings, for example, a wire may be used, and in addition, the support member P may be moved in the vertical direction by receiving the power of the driving source M as described above. If it can be connected to a variety of things can be done.

상기에서는 수직이송부(4)가 상기 수평이송부(6)의 이송구간 일측과 대응하도록 설치된 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만, 본 발명이 이러한 구조에 한정되는 것은 아니다.In the above description, it is shown in the description and drawings that the vertical transfer unit 4 is installed to correspond to one side of the transfer section of the horizontal transfer unit 6, but the present invention is not limited to this structure.

예를 들어, 도면에는 나타내지 않았지만 상기 수평이송부(6)의 이송구간 일측 및 타측 단부와 대응하는 지점에 각각 설치하여 한쪽에서는 기판(G)을 공급하고, 다른 한쪽에서는 기판(G)을 배출할 수 있도록 셋팅될 수도 있다.For example, although not shown in the drawings, the substrates G may be supplied at one side and the substrates G may be discharged at one side and discharged at the other side, respectively, at points corresponding to one side and the other end of the transfer section of the horizontal transfer unit 6. It may be set to be.

그리고, 상기에서는 하나의 수직이송부(4)의 지지대(P)로 기판(G) 저면을 지지하면서 상,하 방향으로 옮기는 것을 일예로 설명하고 있지만 이 또는 상기한 구조에 한정되는 것은 아니며, 이외에도 도면에는 나타내지 않았지만 예를 들어, 두 개의 수직이송부(4)의 지지대(P)로 기판(G) 저면을 두 군데로 나눠서 지지한 상태로 옮길 수도 있도록 구성될 수도 있다.In addition, while the above described as an example to move in the vertical direction while supporting the bottom surface of the substrate (G) by the support (P) of one vertical transfer portion 4, but is not limited to this or the above structure, Although not shown in the drawings, for example, the support (P) of the two vertical transfer unit 4 may be configured to be moved in a state in which the bottom of the substrate (G) divided into two supported.

한편, 본 발명의 일실시 예에 따른 기판처리장치는, 상기 수직이송부(4)와 대응하는 낙하방지수단(10)을 포함하여 이루어진다.On the other hand, the substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention, including the vertical transfer portion 4 and the drop preventing means 10 corresponding to.

상기 낙하방지수단(10)은 상기 지지대(P)와 연결부재(W)의 연결 상태가 해제되면서 상기 프레임(2) 상에서 상기 지지대(P)가 비정상으로 낙하하는 것을 방지하기 위한 것이다.The drop preventing means 10 is for preventing the support (P) from falling abnormally on the frame (2) while the connection state of the support (P) and the connection member (W) is released.

특히, 상기 낙하방지수단(10)은 상기 지지대(P)와 연결부재(W)의 연결 상태가 해제(끊김)되면 자동으로 링크절 운동이 이루어지면서 상기 지지대(P)의 낙하 운동을 제한할 수 있는 걸림 접촉력을 발생할 수 있는 구조로 구성된다.In particular, the fall prevention means 10 can limit the falling motion of the support (P) while the link is automatically made when the connection state of the support (P) and the connection member (W) is released (cut off). It is composed of a structure that can generate a locking contact force.

도 3을 참조하면, 상기 낙하방지수단(10)은, 예를 들어, 가이드홈부(H)를 구비하고 상기 수직이송부(4)의 가이드부재(L) 측에 설치되는 베이스(B)와, 이 베이스(B)의 가이드홈부(H) 내측에 배치되며 연결부재(W)의 일단과 연결되는 연결구(C)와, 이 연결구(C)를 탄성 반발력에 의해 일측을 향하여 밀 수 있도록 상기 베이스(B) 측에 설치되는 탄성부재(S)와, 상기 연결구(C)가 일측으로 이동될 때 링크절 운동이 이루어지면서 일단이 측방을 향하여 돌출될 수 있도록 형성된 걸림구(K)와, 이 걸림구(K)의 단부와 걸림 접촉이 가능하도록 상기 가이드부재(L)의 이송 구간 내에 설치되는 접촉부(F)를 포함하여 이루어질 수 있다.Referring to FIG. 3, the fall preventing means 10 includes, for example, a base B provided with a guide groove portion H and installed on the guide member L side of the vertical transfer portion 4. The base (B) is disposed inside the guide groove (H) of the base (B) and connected to one end of the connection member (W), and the base (C) to push toward one side by the elastic repulsive force ( B) the elastic member (S) is installed on the side, and the hook (K) formed so that one end can protrude toward the side while the linkage movement is made when the connector (C) is moved to one side, and the latch It may include a contact portion (F) which is installed in the transport section of the guide member (L) to enable the engaging contact with the end of (K).

상기 베이스(B)는, 상기 가이드부재(L)의 가이드블록(L2) 측에 고정 설치된 상태로 제공될 수 있으며, 이 베이스(B) 일면에 상기 지지대(P)가 설치될 수 있다.The base (B) may be provided in a state fixedly installed on the guide block (L2) side of the guide member (L), the support (P) may be installed on one surface of the base (B).

상기 베이스(B)는 상기 탄성부재(S)와 걸림구(K)가 내측에 수용될 수 있는 정도의 두께를 갖도록 형성된다.The base (B) is formed to have a thickness enough to accommodate the elastic member (S) and the locking mechanism (K) inside.

상기 가이드홈부(H)는, 도 3에서와 같이 제1 홈부(H1)와, 제2 홈부(H2)로 구성되며, 상기 제1 홈부(H1)는 상기 연결구(C)가 끼워져서 상,하 방향을 향하여 약간 이동될 수 있는 공간 크기를 갖도록 형성되며, 상기 제2 홈부(H2)는 상기 탄성부재(S)가 끼워질 수 있는 크기로 형성된다.As shown in FIG. 3, the guide groove portion H includes a first groove portion H1 and a second groove portion H2, and the first groove portion H1 is fitted with the connector C. It is formed to have a space size that can be moved slightly toward the direction, the second groove portion (H2) is formed to a size that can be fitted to the elastic member (S).

상기 연결구(C)는 상기 베이스(B)의 제1 홈부(H1) 내측에 배치된 상태에서 상부가 상기 연결부재(W) 일단과 연결된다.The connector C is connected to one end of the connecting member W in a state where the connector C is disposed inside the first groove portion H1 of the base B.

상기 연결구(C)는 상기 연결부재(W)의 양쪽 단부 중에서 상기 지지대(P)의 상부와 연결되는 쪽의 단부와 연결 고정되며, 이 연결부재(W)의 단부는 상기 베이스(B) 위쪽에서 상기 제2 홈부(H2)를 관통하는 방향으로 끼워져서 상기 연결구(C) 상부와 연결 고정된다.The connector (C) is connected and fixed to the end of the side of the connecting member (W) connected to the upper side of the support (P), the end of the connecting member (W) from the base (B) above It is inserted in the direction passing through the second groove portion (H2) and is fixedly connected to the upper portion of the connector (C).

그러면, 상기 연결구(C)는 상기 제1 홈부(H1)의 내부 윗면 측에 걸려지면서 상기 지지대(P)를 잡아줄 수 있다.Then, the connector C can be caught by the inner upper surface side of the first groove (H1) while holding the support (P).

상기 탄성부재(S)는 통상의 압축코일스프링을 사용할 수 있으며, 상기 베이스(B)의 제2 홈부(H2) 내측에서 도 3에서와 같이 상,하 방향으로 오므라지거나 벌어질 수 있는 상태로 배치된다.The elastic member S may use a conventional compression coil spring, and disposed in a state in which the elastic member S may be retracted or opened in the up and down directions as shown in FIG. 3 inside the second groove portion H2 of the base B. do.

즉, 상기 탄성부재(S)의 상부는 상기 제2 홈부(H2) 내부면과 접촉되고, 하부는 상기 연결구(C)의 윗면과 접촉되어 이 연결구(C)가 위쪽으로 이동된 상태일 때 오므라지면서 탄성 반발력을 발생할 수 있도록 셋팅된다.That is, the upper portion of the elastic member (S) is in contact with the inner surface of the second groove portion (H2), and the lower portion is in contact with the upper surface of the connector (C) when the connector (C) is moved upward It is set to generate elastic repulsive force.

상기 탄성부재(S)는 압축코일스프링 이외에도 예를 들어, 판스프링, 비틀림스프링 등을 사용하여 상기와 같은 작용이 가능하도록 셋팅할 수도 있다.In addition to the compression coil spring, the elastic member S may be set to enable the above operation using, for example, a leaf spring, a torsion spring, or the like.

이와 같은 구조에 의하면, 상기 연결구(C)와 탄성부재(S)는 상기 연결부재(W)의 연결 상태에 따라 다음과 같이 작동될 수 있다.According to this structure, the connector (C) and the elastic member (S) can be operated as follows according to the connection state of the connection member (W).

예를 들어, 상기 연결부재(W) 상측 단부와 상기 연결구(C)가 연결된 상태일 때 이 연결구(C)는 상기 제1 홈부(H1) 내측에서 위쪽으로 이동되어 걸려진 상태가 되고, 상기 탄성부재(S)는 상기 연결구(C) 윗면에 의해 눌려지면서 탄성반발력을 발생하도록 오므라진 상태가 된다.For example, when the upper end of the connecting member (W) and the connector (C) is in a connected state, the connector (C) is moved upward from the inside of the first groove (H1) to be caught, and the elastic The member S is pressed by the upper surface of the connector C and is in a closed state to generate an elastic repulsive force.

그리고, 예를 들어, 상기 연결부재(W)가 끊어져서 상기 지지대(P)와 연결 상태가 해제되면 상기 탄성부재(S)는 탄성반발력에 의해 벌어지고, 상기 연결구(C)는 상기 탄성부재(S)의 탄성반발력에 의해 아래쪽으로 이동된 상태가 될 수 있다.And, for example, when the connection member (W) is broken and the connection state with the support (P) is released, the elastic member (S) is opened by the elastic repulsive force, the connector (C) is the elastic member (S) May be moved downward by the elastic repulsive force.

상기 걸림구(K)는 상기 연결구(C)의 위치(높낮이)에 따라 링크절 운동이 이루어지면서 일단이 측방을 향하여 돌출될 수 있도록 구성된다.The locking mechanism (K) is configured so that one end may protrude toward the side while the link section movement is made according to the position (height) of the connector (C).

상기 걸림구(K)는 예를 들어, 도 3에서와 같이 대략 "ㄱ"자 모양으로 형성될 수 있고, 두 개가 한 조로 구성되어 상기 연결구(C)의 양측에 일단이 각각 힌지 결합으로 연결되고, 양쪽 단부 사이의 일측은 상기 베이스(B) 측에 힌지 결합으로 연결될 수 있다.For example, the latch K may be formed in a substantially “a” shape as shown in FIG. 3, and the two hooks may be formed in a pair so that one end is connected to each side of the connector C by hinge coupling. , One side between both ends may be connected to the base (B) side by a hinge coupling.

그러면, 상기 걸림구(K)는 예를 들어, 상기 연결구(C)가 상기 제1 홈부(H1) 내측에서 상,하 방향으로 움직일 때 링크절 운동이 이루어지면서 일측 단부(자유단)가 측방을 향하여 돌출된 상태가 될 수 있다.Then, the engaging port (K), for example, the linkage movement is made when the connector (C) moves in the up, down direction from the inside of the first groove (H1), one end (free end) is to the side Can be protruded toward.

상기 접촉부(F)는 상기 지지대(P)가 상,하 방향으로 움직이는 이송 구간 내에서 상기 걸림구(K)의 일측 단부와 걸림 접촉이 가능하게 구성된다.The contact part (F) is configured to be capable of engaging contact with one end of the locking hole (K) in the transport section in which the support (P) moves in the vertical direction.

상기 접촉부(F)는 상기 걸림구(K)의 단부가 측방을 향하여 돌출될 때 이 단부가 직접 걸려지거나 접촉되면서 걸림 접촉력을 발생할 수 있도록 형성될 수 있다.The contact portion (F) may be formed so that when the end portion of the locking hole (K) protrudes toward the side, the end portion is caught or contacted directly to generate a locking contact force.

도 1 및 도 3을 참조하면, 상기 접촉부(F)는, 예를 들어, 복수 개의 걸림홈(F1)들로 구성되고, 이 걸림홈(F1)들은 도면에서와 같이 상기 지지대(P)가 설치되는 가이드부재(L)를 사이에 두고 상,하 방향으로 간격을 띄우고 배치될 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 3, the contact portion F may include, for example, a plurality of locking grooves F1, and the locking grooves F1 may be installed with the support P as shown in the drawing. Spaced in the vertical direction, it may be disposed with the guide member (L) to be interposed therebetween.

이러한 걸림구(K)와, 접촉부(F)는 상기 연결부재(W)의 연결 상태에 따라 다음과 같이 작동될 수 있다.The locking mechanism K and the contact portion F may be operated as follows according to the connection state of the connection member (W).

예를 들어, 상기 연결구(C)가 도 3에서와 같이 상기 베이스(B)의 제1 홈부(H1) 위쪽으로 들어 올려진 상태에서는 도면에서와 같은 방향으로 상기 걸림구(K)가 링크절 운동되므로, 이 걸림구(K)와 상기 접촉부(F)는 비접촉 상태가 된다.For example, in the state in which the connector C is lifted above the first groove H1 of the base B as shown in FIG. 3, the hook K moves in the same direction as in the drawing. Therefore, this latch K and the contact portion F are in a non-contact state.

그리고, 예를 들어, 상기 연결구(C)가 제1 홈부(H1) 내측에서 아래쪽에 위치된 상태에서는 상기 걸림구(K)가 도 4에서와 같은 방향으로 링크절 운동되므로 이 걸림구(K)의 단부가 상기 접촉부(F)의 일측 걸림홈(F1) 측에 끼워져서 걸려질 수 있다.And, for example, in the state in which the connector (C) is located in the lower side from the inside of the first groove (H1), the locking mechanism (K) because the linkage movement in the same direction as in FIG. The end of the contact portion (F) can be caught by being fitted to one side locking groove (F1) side.

즉, 상기 연결구(C)는 상기 연결부재(W)와 연결 상태가 해제(끊김)된 상태에서만 상기 탄성부재(S)에 의해 상기 제1 홈부(H1)의 아래쪽으로 이동되도록 작동하므로, 상기 걸림구(K)와, 접촉부(F)는 상기 연결부재(W)가 끊여진 상태에서만 링크절 운동에 의해 걸림 접촉력을 발생하면서 상기 지지대(P)가 낙하 방향으로 이동되는 것을 제한할 수 있다.That is, the connector (C) is operated so as to move below the first groove (H1) by the elastic member (S) only in a state in which the connection state and the connection member (W) is released (cut off), the locking The sphere K and the contact portion F may limit the movement of the support P in the falling direction while generating the engaging contact force by the link cutting motion only when the connection member W is disconnected.

상기에서는 접촉부(F)가 걸림홈(F1)들로 구성되는 것을 일예로 설명 및 도면에 나타내고 있지만 이에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 도면에는 나타내지 않았지만 상기 걸림구(K) 단부와 접촉시 마찰력으로 미끄러짐을 억제할 수 있는 부재로 구성될 수도 있다.In the above description, the contact portion F is composed of the locking grooves F1 as an example and is shown in the description and the drawings, but is not limited thereto. For example, although not shown in the drawings, it may be composed of a member capable of suppressing slippage due to frictional force when contacted with the end of the locking mechanism (K).

상기한 낙하방지수단(10)의 구조에 의하면, 상기 지지대(P)를 상,하 방향으로 움직이면서 기판(G)을 옮길 때 상기 연결부재(W, 벨트 또는 와이어)가 끊어져서 연결 상태가 해제되더라도 상기 지지대(P)가 아래쪽으로 이동하는 것을 신속하게 제한할 수 있으므로 상기 지지대(P)가 낙하(추락)하는 것을 방지할 수 있다. 특히, 상기 두 개의 걸림구(K)는 도 3에서와 같이 하나의 연결구(C) 양측에 각각 힌지 결합으로 연결되어 작동(회동)이 제어되는 구조이므로 상기 탄성부재(S)에 의해 상기 연결구(C)가 상기 제1 홈부(H1)의 하부를 향하여 이동될 때 상기 가이드부재(L)의 이송 구간과 대응하는 양쪽 측방에서 상기 접촉부(F)의 걸림홈(F1) 측에 상기 두 개의 걸림구(K) 단부가 각각 걸려지면서 2점 걸림 접촉 방식으로 제동이 이루어질 수 있다. 이러한 2점 걸림 접촉에 의한 낙하 방지 구조는, 한층 향상된 제동력을 확보할 수 있을 뿐만 아니라, 도면에는 나타내지 않았지만 예를 들어, 이송 구간 양쪽 측방 중에서 어느 한쪽에서만 걸림 접촉이 이루어지는 불균일한 제동 환경에서 발생할 수 있는 작동 불량을 방지할 수 있다.According to the structure of the fall prevention means 10, even when the connection member (W, belt or wire) is broken when the substrate (G) is moved while moving the support (P) in the up and down direction, the connection state is released Since the support P can be quickly restricted from moving downward, the support P can be prevented from falling (falling). In particular, the two locking holes (K) is connected to the hinge coupling to each side of one connector (C) as shown in Figure 3, so that the operation (rotation) is controlled structure by the elastic member (S) When the C) is moved toward the lower portion of the first groove (H1) the two locking holes on the locking groove (F1) side of the contact portion (F) on both sides corresponding to the transfer section of the guide member (L) (K) Braking may be achieved in a two-point locking contact manner as each end is engaged. The fall prevention structure due to the two-point locking contact can not only secure an improved braking force, but can also occur in a non-uniform braking environment where the locking contact is made only on either side of both sides of the transfer section, although not shown in the drawing. To prevent malfunction.

그러므로, 상기와 같이 수직이송부(4)와 대응하는 낙하방지수단(10)을 구비하면, 기판(G)을 상,하 방향으로 이송할 때 한층 향상된 작동성와 구동 안전성을 확보할 수 있다.Therefore, when the fall prevention means 10 corresponding to the vertical transfer part 4 as described above, it is possible to ensure more improved operability and driving safety when the substrate (G) is transferred in the vertical direction.

특히, 연결부재(W)가 끊어지면 링크절 운동에 의해 상기 걸림구(K)와 접촉부(F)가 자동으로 걸림 접촉력을 발생하면서 낙하를 방지하는 기구적 구조 및 제어 방식은, 예를 들어, 고가이면서 구조가 복잡한 볼 스크류 타입의 구조 또는, 센서와 제동장치를 적절하게 셋팅하여 전기, 전자적으로 제어하는 방식과 비교할 때 구조가 간단하고, 유지보수가 용이하며, 제작에 소요되는 비용도 대폭 절감할 수 있다.In particular, when the connection member (W) is broken, the mechanical structure and control method for preventing the fall while the locking hole (K) and the contact portion (F) automatically generates a contact force by the link cut motion, for example, The structure is simpler, easier to maintain, and significantly lower in manufacturing cost compared to the expensive and complicated structure of the ball screw type or the electric and electronic control method by appropriately setting the sensor and braking device. can do.

따라서, 상기한 본 발명의 일실시 예에 따른 기판처리장치는, 상기 프레임(2) 내에서 상기 수직이송부(4)와, 수평이송부(6)로 기판(G)을 상,하 방향 및 좌,우 방향으로 이송시키면서 기판(G) 제조를 위한 일련의 공정(예; 세정)을 간편하게 진행할 수 있다.Therefore, the substrate processing apparatus according to the embodiment of the present invention, the vertical transfer portion 4 and the horizontal transfer portion 6 in the frame 2, the substrate G up and down, and While transferring to the left and right directions, a series of processes (eg, cleaning) for manufacturing the substrate G can be easily performed.

특히, 상기 본 발명은 상기 프레임(2) 내측에서 상기 수직이송부(4)와 대응하는 낙하방지수단(10)을 구비하고 있으므로 예를 들어, 상기 수직이송부(4)의 지지대(P)로 기판(G)을 옮길 때 상기 지지대(P)를 움직일 수 있도록 연결된 연결부재(W, 벨트 또는 와이어)가 끊어지더라도 상기 지지대(P)가 낙하(추락)하는 것을 방지할 수 있으므로 기판(G) 처리 작업시 작업 효율성과 수율을 한층 높일 수 있다.In particular, the present invention is provided with a drop preventing means 10 corresponding to the vertical conveying portion 4 in the frame 2, for example, as a support (P) of the vertical conveying portion (4) Even when the connecting member (W, belt or wire) connected to move the support (P) is broken when the substrate (G) is moved, the support (P) can be prevented from falling (falling). It can increase the work efficiency and yield in processing work.

2: 프레임 4: 수직이송부 6: 수평이송부
8: 기판처리부 10: 낙하방지수단 G: 기판2: frame 4: vertical feeder 6: horizontal feeder
8: Substrate treatment part 10: Drop prevention means G: Substrate

Claims (9)

프레임;
상기 프레임 일측에 배치되며 기판이 놓여지는 지지대와, 상기 지지대가 상,하 방향으로 이동될 수 있는 이송 구간을 제공하는 가이드부재 및 상기 가이드부재의 이송 구간을 따라 상기 지지대를 이동시키기 위한 회전력을 발생하는 구동원을 구비한 수직이송부;
상기 수직이송부의 구동원과 일단이 연결되고, 타단은 상기 지지대 측과 연결되어 상기 구동원의 회전력에 의해 일단이 감기거나 풀릴 때 상기 가이드부재의 이송 구간을 따라 상기 지지대를 이동시킬 수 있도록 연결 형성되는 연결부재;
상기 연결부재의 연결 상태 해제시 걸림 접촉력을 발생하면서 상기 가이드부재의 이송 구간 내에서 상기 지지대의 낙하를 방지할 수 있도록 형성된 낙하방지수단;
을 포함하며,
상기 낙하방지수단은,
상기 연결부재의 단부가 끼워지는 가이드홈부를 구비하고 상기 가이드부재의 이송 구간 상에서 상기 지지대를 이동 가능하게 잡아줄 수 있도록 형성된 베이스;
상기 베이스의 가이드홈부 내측에서 상기 연결부재의 단부와 연결되며 상기 가이드홈부의 상부 측과 걸림 접촉되면서 상기 베이스를 상기 연결부재의 단부 측에 매달린 상태로 잡아줄 수 있도록 형성된 연결구;
상기 연결구의 양측에 각각 힌지 결합으로 연결되며 상기 가이드홈부 내측에서 상기 연결구가 하부 측을 향하여 이동될 때 상기 가이드부재의 이송 구간과 대응하는 양쪽 측방 외측을 향하여 단부가 각각 돌출되는 상태로 회동되면서 상기 가이드부재의 이송 구간 상에서 2점 걸림 접촉이 이루어질 수 있도록 형성된 두 개의 걸림구;
상기 두 개의 걸림구와 대응하여 2점 걸림 접촉이 이루어질 수 있는 상태로 상기 가이드부재의 이송 구간 내에 형성되는 걸림홈들을 구비한 접촉부;
상기 베이스 측에 배치되며 상기 연결부재의 연결 상태 해제시 상기 두 개의 걸림구 단부가 상기 접촉부의 걸림홈 측에 각각 걸려지는 상태로 회동되도록 상기 가이드홈부의 하부를 향하여 상기 연결구를 탄력적으로 밀 수 있도록 형성된 탄성부재;
를 포함하는 기판처리장치.frame;
A guide member disposed on one side of the frame and having a support on which a substrate is placed, a guide member providing a transport section through which the support can be moved in an up and down direction, and generating a rotational force for moving the support along the transport section of the guide member; Vertical transfer unit having a drive source to be;
One end is connected to the drive source of the vertical transfer unit, and the other end is connected to the support side to be connected to move the support along the transfer section of the guide member when one end is wound or released by the rotational force of the drive source. Connecting member;
Drop prevention means formed to prevent the fall of the support in the transport section of the guide member while generating a locking contact force when the connection state of the connection member is released;
/ RTI >
The fall prevention means,
A base having a guide groove into which an end of the connection member is fitted and formed to movably hold the support on a transport section of the guide member;
A connector which is connected to an end of the connection member inside the guide groove of the base and formed to hold the base in a suspended state while being in contact with the upper side of the guide groove;
The hinges are connected to both sides of the connector, respectively, and are rotated in the state in which the end portions respectively protrude toward both side outer sides corresponding to the transfer section of the guide member when the connector is moved toward the lower side from the inside of the guide groove. Two catches formed so that two-point catching contact is made on the conveying section of the guide member;
A contact portion having catching grooves formed in a conveying section of the guide member in a state in which a two-point catching contact can be made corresponding to the two catching holes;
It is disposed on the base side and when the connection state of the connecting member is released so that the two ends of the locking mechanism can be elastically pushed toward the lower portion of the guide groove so as to be rotated in each of the engaging groove side of the contact portion Formed elastic member;
Substrate processing apparatus comprising a. 청구항 1에 있어서,
상기 연결부재는,
상기 구동원의 회전력에 의해 일단이 감기거나 풀리는 동작으로 상기 베이스를 움직이면서 상기 가이드부재의 이송 구간 상에서 상기 지지대를 상,하 방향으로 이동시킬 수 있도록 연결 형성되는 기판처리장치.The method according to claim 1,
The connecting member includes:
Substrate processing apparatus is formed so as to move the support in the up and down direction on the transfer section of the guide member while moving the base in the operation of winding or unwinding by the rotational force of the drive source. 청구항 1에 있어서,
상기 연결부재는,
벨트 또는, 와이어 중에서 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.The method according to claim 1,
The connecting member includes:
The substrate processing apparatus characterized by using either a belt or a wire. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 탄성부재는,
압축코일스프링, 판스프링 또는, 비틀림스프링 중에서 어느 하나를 사용하는 기판처리장치.The method according to claim 1,
The elastic member
A substrate processing apparatus using any one of a compression coil spring, a leaf spring, or a torsion spring. 삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 접촉부는,
상기 두 개의 걸림구 일단이 각각 측방 외측을 향하여 돌출될 때 상기 걸림홈 측에 끼워져서 걸려지거나, 접촉에 의한 마찰력에 의해 상기 베이스가 낙하 방향으로 이동되는 것을 제한할 수 있도록 상기 가이드부재의 이송 구간 상에 셋팅되는 기판처리장치.The method according to claim 1,
The contact portion
Transfer sections of the guide member so as to limit the movement of the base in the fall direction by being caught by the engaging groove side when the two end of each of the latching mouth protrudes toward the side outside, or by the frictional force by the contact Substrate processing apparatus is set on. 프레임;
상기 프레임 일측에서 타측을 향하여 기판을 이송할 수 있도록 형성된 수평이송부;
상기 수평이송부의 이송 구간 내에 설치되는 기판처리부;
상기 수평이송부의 이송 구간 일측과 대응하도록 배치되며 기판이 놓여지는 지지대와, 상기 지지대가 상,하 방향으로 이동될 수 있는 이송 구간을 제공하는 가이드부재 및 상기 가이드부재의 이송 구간을 따라 상기 지지대를 이동시키기 위한 회전력을 발생하는 구동원을 구비한 수직이송부;
상기 수직이송부의 구동원과 일단이 연결되고, 타단은 상기 지지대 측과 연결되어 상기 구동원의 회전력에 의해 일단이 감기거나 풀릴 때 상기 가이드부재의 이송 구간을 따라 상기 지지대를 이동시킬 수 있도록 연결 형성되는 연결부재;
상기 연결부재의 연결 상태 해제시 걸림 접촉력을 발생하면서 상기 가이드부재의 이송 구간 내에서 상기 지지대의 낙하를 방지할 수 있도록 형성된 낙하방지수단;
을 포함하며,
상기 낙하방지수단은,
상기 연결부재의 단부가 끼워지는 가이드홈부를 구비하고 상기 가이드부재의 이송 구간 상에서 상기 지지대를 이동 가능하게 잡아줄 수 있도록 형성된 베이스;
상기 베이스의 가이드홈부 내측에서 상기 연결부재의 단부와 연결되며 상기 가이드홈부의 상부 측과 걸림 접촉되면서 상기 베이스를 상기 연결부재의 단부 측에 매달린 상태로 잡아줄 수 있도록 형성된 연결구;
상기 연결구의 양측에 각각 힌지 결합으로 연결되며 상기 가이드홈부 내측에서 상기 연결구가 하부 측을 향하여 이동될 때 상기 가이드부재의 이송 구간과 대응하는 양쪽 측방 외측을 향하여 단부가 각각 돌출되는 상태로 회동되면서 상기 가이드부재의 이송 구간 상에서 2점 걸림 접촉이 이루어질 수 있도록 형성된 두 개의 걸림구;
상기 두 개의 걸림구와 대응하여 2점 걸림 접촉이 이루어질 수 있는 상태로 상기 가이드부재의 이송 구간 내에 형성되는 걸림홈들을 구비한 접촉부;
상기 베이스 측에 배치되며 상기 연결부재의 연결 상태 해제시 상기 두 개의 걸림구 단부가 상기 접촉부의 걸림홈 측에 각각 걸려지는 상태로 회동되도록 상기 가이드홈부의 하부를 향하여 상기 연결구를 탄력적으로 밀 수 있도록 형성된 탄성부재;
를 포함하는 기판처리장치.frame;
A horizontal transfer part formed to transfer the substrate from one side of the frame toward the other side;
A substrate processing unit installed in a transfer section of the horizontal transfer unit;
The support member is disposed to correspond to one side of the transfer section of the horizontal transfer unit, the support member on which the substrate is placed, and the support member to provide a transfer section in which the support can be moved in the up and down directions, and the support member along the transfer section of the guide member. Vertical transfer unit having a drive source for generating a rotational force for moving the;
One end is connected to the drive source of the vertical transfer unit, and the other end is connected to the support side to be connected to move the support along the transfer section of the guide member when one end is wound or released by the rotational force of the drive source. Connecting member;
Drop prevention means formed to prevent the fall of the support in the transport section of the guide member while generating a locking contact force when the connection state of the connection member is released;
/ RTI >
The fall prevention means,
A base having a guide groove into which an end of the connection member is fitted and formed to movably hold the support on a transport section of the guide member;
A connector which is connected to an end of the connection member inside the guide groove of the base and formed to hold the base in a suspended state while being in contact with the upper side of the guide groove;
The hinges are connected to both sides of the connector, respectively, and are rotated in the state in which the end portions respectively protrude toward both side outer sides corresponding to the transfer section of the guide member when the connector is moved toward the lower side from the inside of the guide groove. Two catches formed so that two-point catching contact is made on the conveying section of the guide member;
A contact portion having catching grooves formed in a conveying section of the guide member in a state in which a two-point catching contact can be made corresponding to the two catching holes;
It is disposed on the base side and when the connection state of the connecting member is released so that the two ends of the locking mechanism can be elastically pushed toward the lower portion of the guide groove so as to be rotated in each of the engaging groove side of the contact portion Formed elastic member;
Substrate processing apparatus comprising a. 청구항 8에 있어서,
상기 기판처리부는,
상기 수평이송부 상에서 기판의 세정이 가능하게 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.The method according to claim 8,
The substrate processing unit,
Substrate processing apparatus, characterized in that formed to enable the cleaning of the substrate on the horizontal transfer portion.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS5080166U (en) 1973-11-28 1975-07-10
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