KR101195344B1

KR101195344B1 - Film peeling device

Info

Publication number: KR101195344B1
Application number: KR1020060057101A
Authority: KR
Inventors: 아키라 이가라시
Original assignee: 가부시키가이샤 아도테크 엔지니어링
Priority date: 2005-11-11
Filing date: 2006-06-23
Publication date: 2012-10-29
Also published as: KR20070050756A; CN1963665A; TWI387857B; JP4445457B2; JP2007131424A; CN1963665B; TW200719096A

Abstract

본 발명은 대상물에 단차가 있을지라도 확실하고 더욱이 신속하게 필름의 박리를 행하는 필름 박리장치를 제공한다.The present invention provides a film peeling apparatus which reliably and even more quickly peels off a film even if there is a step in the object.

롤러 장치 A는 4개의 널링롤러(1)를 구비하고, 1대의 널링롤러(1)가 각각이 요동지지체(11)에 지지된다. 그래서, 2개의 요동지지체(11)가 하나의 요동기대(13)에 지지된다. 요동지지체(11)는 요동중심(12)에 의해 요동기대(13)에 대하여 회동하고 요동되도록 되고, 요동기대(13)는 지지대(3)에 요동중심(14)에 의해 회동가능하게 취부되어 요동을 하게 된다. 따라서, 널링롤러(1)에 요동중심(14)에 의해 크게 요동가능하게 되고 또한 요동중심(12)에 의해 미세하게 요동가능하게 되어, 4개의 각 널링롤러(1)는 각각이 상하방향으로 이동된다. 각 널링롤러(1)는 기판 W 길이방향으로 위치가 서로 겹치도록 배설되어 지고 길이 방향에 존재하는 기판 W의 단차에 대응한다.The roller device A is provided with four knurling rollers 1, and one knurling roller 1 is supported by the swing support body 11, respectively. Thus, two swing supports 11 are supported on one swing stand 13. The swing support 11 is pivoted about the rocking expectation 13 by the rocking center 12, and the rocking expectation 13 is pivotally attached to the support 3 by the rocking center 14 so that rocking is possible. Will be Accordingly, the knurled roller 1 is made to be able to swing largely by the swinging center 14 and to be able to swing finely by the swinging center 12, so that each of the four knurling rollers 1 moves in the vertical direction. do. Each knurling roller 1 is disposed so that the positions overlap with each other in the longitudinal direction of the substrate W and correspond to the step of the substrate W existing in the longitudinal direction.

필름, 박리, 기판, 롤러, 포토 레지스트. Film, peeling, substrate, roller, photoresist.

Description

Film peeling device

도 1은 본 발명의 하나의 실시형태를 나타내는 개략측면도이고,1 is a schematic side view showing one embodiment of the present invention,

도 2는 본 발명의 하나의 실시형태를 나타내는 개략부분정면도이고,2 is a schematic partial front view showing one embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명의 하나의 실시형태를 나타내는 개략부분평면도이고,3 is a schematic partial plan view showing one embodiment of the present invention;

도 4는 본 발명의 하나의 실시형태의 동작을 나타내는 개략부분측면도이고,4 is a schematic partial side view showing the operation of one embodiment of the present invention;

도 5는 본 발명의 하나의 실시형태의 동작을 나타내는 설명도이고,5 is an explanatory diagram showing the operation of one embodiment of the present invention;

도 6은 본 발명의 하나의 실시형태의 동작을 나타내는 설명도이고,6 is an explanatory diagram showing the operation of one embodiment of the present invention;

도 7은 본 발명의 다른 실시형태를 나타내는 개략부분정면도이고,7 is a schematic partial front view showing another embodiment of the present invention;

도 8은 본 발명의 다른 실시형태를 나타내는 개략부분평면도이고,8 is a schematic partial plan view showing another embodiment of the present invention;

도 9는 본 발명의 하나의 실시형태의 동작을 나타내는 개략측면도이고,9 is a schematic side view showing the operation of one embodiment of the present invention,

도 10은 본 발명의 하나의 실시형태의 동작을 나타내는 개략측면도이고,10 is a schematic side view showing the operation of one embodiment of the present invention,

도 11은 본 발명의 하나의 실시형태의 동작을 나타내는 개략측면도이고,11 is a schematic side view showing the operation of one embodiment of the present invention,

도 12는 본 발명의 하나의 실시형태의 동작을 나타내는 개략측면도이다.12 is a schematic side view showing the operation of one embodiment of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명DESCRIPTION OF THE REFERENCE NUMERALS

1 : 널링롤러 2 : 승강에어실린더1: Knurled roller 2: Lifting air cylinder

3 : 지지대 4 : 횡이동에어실린더3: support base 4: lateral moving air cylinder

5 : 가이드레일 6 : 스토퍼5: guide rail 6: stopper

7 : 스토퍼에어실린더 8 : 기판클램프7: stopper air cylinder 8: substrate clamp

9 : 기판확인센서 10 : 기대9: substrate confirmation sensor 10: expectation

11 : 요동지지체 12 : 요동중심11: rocking support 12: rocking center

13 : 요동기대 14 : 요동중심13: rocking expectation 14: rocking center

20 : 점착롤러 30 : 반송롤러20: adhesive roller 30: conveying roller

50 : 박리개시부50: peeling start part

특허문헌 1 : 일본국 특허공개번호 제2002-211836호Patent Document 1: Japanese Patent Publication No. 2002-211836

본 발명은 드라이 필름 포토 레지스트(dry film photo resist)의 표면에 장착되어지는 폴리에스테르 커버 필름 등의 필름을 박리하기 위한 필름박리장치에 관한 것이다.The present invention relates to a film peeling apparatus for peeling a film such as a polyester cover film which is mounted on a surface of a dry film photo resist.

기판에 배선회로를 프린트 형성할 때에, IC 제조기술에 이용되는 포토리소그라피법(photolithographic method)이 근년에 들어 이용되고 있다. 이때에, 기판 상에 도포되어지는 포토 레지스트로서 드라이 필름 포토 레지스트가 사용되어 진다. 그런데, 이러한 포토 레지스트 위에는 폴리에스테르제의 보호용 커버 필름이 점착되어지는 것이 보통이다.In printing a wiring circuit on a board | substrate, the photolithographic method used for IC manufacturing technology is used in recent years. At this time, a dry film photoresist is used as the photoresist applied on the substrate. By the way, it is common for the protective cover film made from polyester to stick on such a photoresist.

이 필름은 포토 레지스트 상에 회로 패턴을 인화시켜 프린트하는 노광공정에서 박리 제거할 필요가 있다. 종래로부터 이와 같은 종류의 필름을 자동적이고 효율적으로 박리하는 장치의 개발이 시도되어 왔다.It is necessary to peel off and remove this film in the exposure process which prints and prints a circuit pattern on a photoresist. The development of the apparatus which peels this kind of film automatically and efficiently conventionally has been tried.

이들 중의 하나는 본 출원인에 의하여 제안된 일본국 특허공개번호 제2002-211836호에 개시되어진 것이 알려져 있다. 상기 발명에서는 표면에 요철이 형성되어진 널링롤러(knurling roller)에 의해 필름 단부에 박리부를 형성하고 이로부터 점착롤러에 의해 박리를 수행하는 구성으로 된다.One of these is known to be disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2002-211836 proposed by the present applicant. In the above invention, the peeling part is formed at the end of the film by a knurling roller having irregularities formed on the surface thereof, and the peeling part is formed by the adhesive roller therefrom.

그러나, 빌드업 방법(build up method) 등에 의해 제조된 기판의 경우, 그 제조방법에 있어서, 드라이 필름 포토 레지스트의 단부에 단차가 발생하게 되며, 상기한 종래의 장치로서는 단차에 대응할 수 없고, 박리 미스가 발생하는 문제가 있었다.However, in the case of a substrate manufactured by a build up method or the like, in the manufacturing method, a step is generated at the end of the dry film photoresist, and the above-described conventional apparatus cannot cope with the step, and peels off. There was a problem of miss.

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하는 것을 목적으로 한다.The present invention aims to solve the above problems of the prior art.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 대상물에 점착되어지는 필름을 박리하는 필름 박리장치는 상기 대상물의 필름 단부에 접하여 대상물의 폭방향으로 요철을 형성하고, 상기 필름의 단부에 폭 방향으로 박리개시부를 형성하여, 대상물의 길이 방향으로 위치가 서로 겹치도록 배열한 복수의 널링롤러와, 상기 복수의 널링롤러를 각각 상하 이동가능하게 지지하는 지지장치와, 상기 널링롤러에 의해 형성된 필름 단부의 박리 개시부로부터 필름을 박리하는 박리 수단을 구비함을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the film peeling apparatus for peeling the film adhered to the object of the present invention is in contact with the film end of the object to form irregularities in the width direction of the object, start peeling in the width direction at the end of the film A plurality of knurled rollers arranged to overlap each other in the longitudinal direction of the object, a support device for supporting the plurality of knurled rollers so as to be movable up and down, and the peeling start of the film end formed by the knurled rollers It is characterized by including a peeling means for peeling the film from the portion.

널링롤러는 표면에 요철이 있는 롤러로서, 이 롤러에 의해 필름에 요철을 형성하게 된다. 이 요철의 형성에 의해 부분적으로 필름이 박리되고 이 요철부분을 박리개시부로 하여 박리 수단에 의해 필름의 박리가 이루어진다. 상기 구성에 있어서, 널링롤러는 대상물의 길이 방향으로 위치가 서로 겹치도록 배열되어 지고, 각각이 상하 이동가능하게 지지장치에 지지되어 있으므로, 단차를 갖는 대상물인 경우에도, 이 단차에 추종되어, 해당 단차를 효과적으로 흡수하여 요철을 형성하고, 박리개시부를 형성하는 것이 가능하다. 따라서, 박리 미스를 방지할 수 있게 된다.The knurling roller is a roller having irregularities on its surface, and the rollers form irregularities on the film. The film is partially peeled off by the formation of the unevenness, and the film is peeled off by the peeling means using the uneven part as the peeling start portion. In the above configuration, since the knurling rollers are arranged so that their positions overlap each other in the longitudinal direction of the object, and each of them is supported by the supporting device so as to be movable upward and downward, even if the object has a step, it follows the step, It is possible to effectively absorb the step to form the unevenness and to form the peeling start portion. Therefore, peeling miss can be prevented.

대상물의 표리(表裏)에 필름이 점착되어지는 경우에는 상기 널링롤러를 대상물의 표리에 각각 대향하도록 설치하고, 각 널링롤러는 대상물의 표리의 필름 단부에 박리개시부를 형성하도록 구성하는 것이 효율적이다. When the film adheres to the front and back of the object, the knurling rollers are provided so as to face the front and back of the object, and each knurling roller is configured to form a peeling start portion at the film end of the front and back of the object.

상기 널링롤러는 대상물의 폭방향으로 회전 주행하도록 요철을 형성하는 것이 바람직하다.It is preferable that the knurling roller forms irregularities so as to travel in the width direction of the object.

또한 상기 지지장치는 요동(搖動)중심에 요동가능하게 장착된 요동지지체를 구비하고, 이 요동지지체는 상기 대상물의 길이 방향으로 위치가 서로 겹치도록 하 여 배치한 적어도 2개의 널링롤러를 구비하여, 이 요동에 의해 상기 널링롤러를 상하 이동가능하게 지지되도록 구성하는 것이 바람직하다. 특히, 요동중심에 요동가능하게 장착된 요동기대를 설치하여, 상기 요동지지체를 이 요동기대에 요동중심으로 요동가능하게 장착하여, 2중의 요동구조를 갖게 하면, 요동기대와 요동지지체 양방의 요동에 의해 상기 널링롤러의 상하 이동의 추적성을 향상시킬 수 있게 된다. 한편, 상기 대상물로서는 전형적으로 프린트 배선 기판(printed circuit board)과 이 기판 위에 설치된 포토 레지스트로서, 이러한 포토 레지스트 위에 상기 필름이 점착되어 있는 구성을 들 수 있다. In addition, the support device includes a rocking support pivotally mounted at the swing center, the rocking support having at least two knurled rollers arranged so that their positions overlap each other in the longitudinal direction of the object, It is preferable to comprise so that the said knurling roller can be supported to be moved up and down by this shaking. In particular, by installing a rocking base that is swingably mounted at the rocking center, and allowing the rocking support to be rockably swingable at the rocking center, and having a double rocking structure, the rocking platform and the rocking support are both swinging. As a result, the traceability of the vertical movement of the knurling roller can be improved. On the other hand, examples of the object include a printed circuit board and a photoresist provided on the substrate, in which the film is adhered on the photoresist.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 기준으로 하여 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described in detail based on drawing.

도 1이 있어서, 반송 롤러(30)에 의해 반송되어진 프린트 배선 기판 W는 롤러 장치 A에 의해 그 필름 F의 선단부에서부터 폭방향(프린트 배선 기판 W 반송방향과 직교하는 방향)으로 박리개시부(50)을 형성하도록 되어 있다.In FIG. 1, the printed wiring board W conveyed by the conveyance roller 30 is peeled starting part 50 by the roller apparatus A from the front-end | tip part of the film F to the width direction (direction orthogonal to a printed wiring board W conveyance direction). Are formed.

기판 W는 표면과 이면에 포토 레지스트와 필름 F이 장착되어 있고, 여기에 표면과 이면의 필름 F가 동시에 박리되도록 되어 있다.As for the board | substrate W, the photoresist and the film F are attached to the front surface and the back surface, and the film F of the front surface and the back surface is peeled simultaneously.

롤러 장치 A는 도 2에 나타난 바와 같이 프린트 배선 기판 W의 표리에 각각 폭 방향으로 2기, 합계 4기가 배설되어 있고, 프린트 배선 기판 W의 중앙으로부터 폭방향 단부를 향하는 널링롤러(1)를 프린트 배선 기판 W의 필름 F 상으로 회전접촉시켜서, 도 5에 도시된 바와 같이 프린트 배선 기판 W의 필름 F의 선단부에 박리개시부(50)를 형성하도록 되어 있다.As shown in FIG. 2, the roller apparatus A arrange | positions two or four in total in the width direction in the front and back of the printed wiring board W, respectively, and prints the knurling roller 1 which faces the width direction edge part from the center of the printed wiring board W. As shown in FIG. It is made to contact rotationally on the film F of the wiring board W, and the peeling start part 50 is formed in the front-end | tip of the film F of the printed wiring board W as shown in FIG.

도 1에 도시된 바와 같이 롤러 장치 A는 지지대(3)에 승강에어실린더(2)를 거쳐서 상하방향으로 승강 가능하게 장착되고, 프린트 배선 기판 W에 대하여 소정의 압력으로 압접하도록 구성되어있다. As shown in Fig. 1, the roller device A is mounted on the support 3 so as to be lifted up and down via the lifting air cylinder 2, and is configured to be press-contacted to the printed wiring board W at a predetermined pressure.

이 지지대(3)는 다시 가이드 레일(5)을 매개로 기대(10)에 폭방향으로 이동가능하게 지지되어 횡이동에어실린더(4)의 구동에 의해 폭방향으로 이동하게 된다. 이 지지대(3)의 이동에 의해 널링롤러(1)는 필름 F 위를 회전하면서 이동하도록 구성되어 있다. This support 3 is again supported to be movable in the width direction on the base 10 via the guide rail 5, and is moved in the width direction by the drive of the lateral movement air cylinder 4. The knurled roller 1 is comprised so that it may move, rotating on the film F by the movement of this support stand 3.

각 롤러 장치 A는 그 실시형태로는 4개의 널링롤러(1)를 구비하고 있으며, 2개 1조의 널링롤러(1, 1)가 각각 요동지지체(11, 11)에 지지되어 있다. 그리하여, 2개의 요동지지체(11, 11)는 하나의 요동기대(13)에 지지되어 있다. 요동지지체(11)는 요동중심(12)에 의해 요동기대(13)에 대하여 회동하고, 요동할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 요동기대(13)는 지지대(3)에 요동중심(14)에 의해 회동가능하게 취부되어 요동을 하게 된다.Each roller device A is provided with four knurling rollers 1 in the embodiment, and two sets of knurling rollers 1 and 1 are supported by the rocking support bodies 11 and 11, respectively. Thus, the two swing supports 11 and 11 are supported by one swing stand 13. The swing support 11 is configured to pivot with respect to the swing expectation 13 by the swing center 12. In addition, the rocking base 13 is pivotally mounted to the support 3 by the rocking center 14 to oscillate.

이상과 같은 구성에 의해 널링롤러(1)는 요동중심(14)에 의해 크게 요동가능하게 되고 또한 요동중심(12)에 의해 미세하게 요동가능하게 되어, 4개의 각 널링롤러(1)는 프린트 배선 기판 W에 압접하게 되고, 또 각각이 상하방향으로 이동가능하여 단차를 흡수하게 된다.By the above configuration, the knurling roller 1 is made to be able to swing largely by the swinging center 14 and to be able to swing finely by the swinging center 12, so that each of the four knurling rollers 1 is printed on the wiring. The substrate W is pressed against the substrate W, and each of them is movable in the vertical direction to absorb the step difference.

또, 각 널링롤러(1)는 도 3에 도시된 바와 같이 기판 W의 길이 방향(도면에 화살표 방향)으로 위치가 서로 겹치도록 배설되고 길이 방향으로 존재하는 기판 W의 단차에 대응할 수 있도록 구성되어 있다.Moreover, each knurling roller 1 is arrange | positioned so that the position may overlap each other in the longitudinal direction (the arrow direction in drawing) of the board | substrate W, as shown in FIG. 3, and is comprised so that it may correspond to the step | step difference of the board | substrate W which exists in a longitudinal direction. have.

도 4에는 기판 W에 단차가 존재할 때의 널링롤러(1)의 상하 이동에 따른 동작을 설명한다. 기판 W의 표면 측 길이 방향(화살표 방향) 선단측은 드라이 필름 포토 레지스트 R이 얇아지고 단차가 발생되어 있다. 이 부분의 널링롤러(1a)는 단차에 대응하여 하강하고 필름 F에 접촉되어 요철을 형성하게 된다.In FIG. 4, operation | movement according to the vertical movement of the knurling roller 1 when a step | step exists in the board | substrate W is demonstrated. The dry film photoresist R becomes thin at the front end side of the surface side in the longitudinal direction (arrow direction) of the substrate W, and a step is generated. The knurling roller 1a of this part descend | falls corresponding to a level | step difference, and comes into contact with the film F, and forms unevenness | corrugation.

또한 기판 W의 이면에는 널링롤러(1b)가 이동하여서, 필름 F에 압접, 밀착하여 요철을 형성하게 된다. Moreover, the knurling roller 1b moves to the back surface of the board | substrate W, and press-contacts and adhere | attaches the film F to form an unevenness | corrugation.

상기 구성에 의하여, 기판 W에 단차가 있더라도, 각 널링롤러(1)는 이 단차에 대응하여 상하 방향으로 이동하게 되므로 널링롤러(1)는 효과적으로 필름 F에 압접하여 요철을 형성하고 박리개시부(50)를 생성하는 것이 가능하게 된다.By the above configuration, even if there is a step in the substrate W, each knurling roller 1 is moved in the up and down direction corresponding to the step, so that the knurling roller 1 is effectively pressed against the film F to form irregularities and the peeling start portion ( 50) becomes possible.

도 6에는 4개의 널링롤러(1)에 의해 형성된 요철 모양의 하나의 예를 나타내고 있다.6 shows an example of the concave-convex shape formed by the four knurling rollers 1.

롤러 장치 A의 프린트 배선 기판 W 반송방향 하류 측에는 스토퍼(6)가 설치되어 지고, 스토퍼에어실린더(7)에 의해 승강할 수 있게 되어 있다. 상기 스토퍼(6)에 의해 프린트 배선 기판 W을 소정의 위치에 정지시켜서, 롤러 장치 A에 의해 프린트 배선 기판 W의 필름 F 선단부의 위치에 정확하게 박리개시부(50)를 형성할 수 있도록 구성되어 있다.The stopper 6 is provided in the downstream of the printed wiring board W conveyance direction of the roller apparatus A, and it can go up and down by the stopper air cylinder 7. As shown in FIG. The stopper 6 stops the printed wiring board W at a predetermined position, and the roller device A is configured to accurately form the peeling start section 50 at the position of the film F tip of the printed wiring board W. .

기판확인 센서(9)는 프린트 배선 기판 W의 도래를 검출하는 것으로서, 이 기판확인 센서(9)의 신호에 의해 일련의 동작을 실행하게 된다.The board | substrate confirmation sensor 9 detects the arrival of the printed wiring board W, and performs a series of operation | movement by the signal of this board | substrate confirmation sensor 9.

롤러 장치 A의 프린트 배선 기판 W 반송방향 상류 측에는 기판 클램프(8)가 설치되어, 프린트 배선 기판 W를 기대(10)와의 사이에 클램프되어 널링롤러(1)의 필름 F 상의 주행 시에 프린트 배선 기판 W를 고정시킬 수 있도록 구성되어 있다.A substrate clamp 8 is provided on the upstream side of the printed wiring board W in the conveying direction of the roller device A, and the printed wiring board W is clamped between the base 10 and the printed wiring board at the time of traveling on the film F of the knurling roller 1. It is configured to fix W.

승강에어실린더(2)의 하류 측에는 점착 롤러(20, 20)가 설치되어 있고, 필름 F에 밀착하여 박리개시부(50)가 형성된 단부로부터 필름 F를 박리하도록 구성되어 있다.The adhesive rollers 20 and 20 are provided in the downstream of the lifting air cylinder 2, and it is comprised so that the film F may be peeled from the edge part which contact | adhered to the film F and the peeling start part 50 was formed.

점착 롤러(20)에 대신하여 다른 어떤 형태의 박리수단도 채택가능하다.Instead of the adhesive roller 20, any other form of peeling means may be adopted.

상기에서와 같이 롤러 장치 A의 널링롤러(1)는 프린트 배선 기판 W의 폭방향 중앙부에서 단부방향으로 주행하도록 한다. 이에 의해 필름 F의 폭방향 단부에는 찢어진 눈금이 발생하지 않도록 한다.As described above, the knurling roller 1 of the roller device A is allowed to travel in the end direction from the widthwise center portion of the printed wiring board W. As shown in FIG. Thereby, a tearing scale does not arise in the width direction edge part of the film F.

널링롤러(1)의 주행은 1회 만으로 한정되어 지는 것은 아니고, 필요에 따라 여러 번 행하는 것도 가능하다. 다만, 프린트 배선 기판 W의 폭방향 중앙부 방향으로 향하여 주행하는 경우에는 단부를 출발점으로 하지 않고, 프린트 배선 기판 W의 폭방향 도중에서 주행을 하게 된다. 이에 의해 필름 F의 찢어짐 등이 방지되는 것이 가능하다.The running of the knurling roller 1 is not limited to only one time, but can also be performed several times as necessary. However, when traveling toward the width direction center part direction of the printed wiring board W, it does not set an end as a starting point, but runs in the width direction of the printed wiring board W. By this, the tearing of the film F, etc. can be prevented.

한편, 도 2에 도시된 롤러 장치 A는 4개의 널링롤러(1)에 의해 구성되어 있으나, 여기에 한정되는 것이 아니며, 예를 들어, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이 2개의 널링롤러(1, 1)를 요동지지체(11)에 취부하여, 요동지지체(11)를 요동중심(12)에 의해 요동가능하게 하는 구성이라도 좋다. 또, 널링롤러(1)를 각각 상하 이동시키는 구성인 경우에는 다른 구성도 채택 가능하다.On the other hand, although the roller device A shown in FIG. 2 is comprised by four knurling rollers 1, it is not limited to this, For example, as shown in FIG. 7 and FIG. 8, two knurling rollers ( 1 and 1 may be attached to the rocking support 11 so that the rocking support 11 may be rocked by the rocking center 12. Moreover, in the case of the structure which moves the knurling roller 1 up and down, respectively, another structure is also employable.

도 9 내지 도 12에 의해 동작을 설명한다.9 to 12, the operation will be described.

프린트 배선 기판 W가 반송 롤러(30)에 의해 기대(10)로 반송되고(도 9), 스 토퍼(6)에 당접하여 정지하면, 기판 클램프(8)가 하강하여 기대(10)와의 사이에서 프린트 배선 기판 W를 클램핑 한다(도 10). 그래서, 널링롤러(1)에 의해 프린트 배선 기판 W를 표면과 이면에서 조여주어(도 11), 횡이동 에어실린더(4)에 의해 널링롤러(1)를 폭방향으로 횡이동시킨다. 널링롤러(1)는 당초에는 프린트 배선 기판 W의 중앙측에 있으나, 프린트 배선 기판 W의 중앙에서 단부 방향으로 이동하게 된다.When the printed wiring board W is conveyed to the base 10 by the conveying roller 30 (FIG. 9), and the contacting and stopping with the stopper 6 stops, the board | substrate clamp 8 will lower | fall and between the base 10 The printed wiring board W is clamped (FIG. 10). Thus, the knurled roller 1 is fastened to the printed wiring board W from the front and back surfaces (Fig. 11), and the knurled roller 1 is laterally moved in the width direction by the lateral movable air cylinder 4. The knurling roller 1 is initially located at the center side of the printed wiring board W, but is moved in the end direction from the center of the printed wiring board W. FIG.

이때에, 프린트 배선 기판 W에 단차가 있더라도, 도 4에 도시되어 진 바와 같이 널링롤러(1)의 상하 이동에 의해 흡수되고, 널링롤러(1)는 확실하게 프린트 배선 기판 W에 압접한다.At this time, even if there is a step in the printed wiring board W, it is absorbed by the vertical movement of the knurling roller 1 as shown in FIG. 4, and the knurling roller 1 reliably press-contacts the printed wiring board W. As shown in FIG.

이 주행에 의해 널링롤러(1)는 도 2에 나타난 바와 같이 회전하면서 프린트 배선 기판 W의 필름 F에 접촉하여, 필름 F 상에 도 6과 같은 요철을 형성하게 된다. 이 요철은 도 5에 도시된 박리개시부(50)가 된다. 이 박리개시부(50)는 프린트 배선 기판 W의 중앙부를 경계로 필름 F의 선단부에 좌우로 1쌍씩 형성된다.By this running, the knurling roller 1 contacts with the film F of the printed wiring board W while rotating as shown in FIG. 2, and forms the unevenness | corrugation shown in FIG. 6 on the film F. As shown in FIG. This unevenness becomes the peeling start part 50 shown in FIG. This peeling start part 50 is formed in the pair of right and left at the front-end | tip part of the film F with the center part of the printed wiring board W as a boundary.

널링롤러(1)을 소정횟수 횡으로 이동시키면, 널링롤러(1)와 기판 클램프(8)는 프린트 배선 기판 W에서 떨어져 자유롭게 되고, 반송 롤러(30)에 의해 점착 롤러(20) 쪽으로 반송된다(도 12).When the knurling roller 1 is moved laterally a predetermined number of times, the knurling roller 1 and the substrate clamp 8 are freed from the printed wiring board W, and are conveyed toward the adhesive roller 20 by the conveying roller 30 ( 12).

그래서, 점착 롤러(20)에 의해 박리개시부(50)로부터 필름 F가 박리된다.Therefore, the film F is peeled from the peeling start part 50 by the adhesive roller 20. FIG.

이상에서 설명한 실시형태에서는 각 널링롤러(1)는 상하방향으로 이동가능하고 기판 W의 단차에 대응하게 되어, 효과적으로 박리개시부(50)를 형성한다. 또한, 박리개시부(50)는 필름 F 선단의 폭방향 거의 전체에 형성되어 지므로, 점착 롤 러(20)에 의한 박리 작업이 극히 원활하게 이루어지고, 부분적인 박리불량에 기인하는 필름 F의 찢어짐 등이 발생하지 않는다. 특히, 박리개시부(50)는 프린트 배선 기판 W의 폭방향 중앙부로부터 선단으로 향하여 형성되어짐으로, 널링롤러(1)와 필름 F 단부와의 충돌에 의한 균열 등이 발생하지 않고, 박리 중에 필름 F가 찢어지는 등의 문제가 없게 된다.In the embodiment described above, each knurling roller 1 is movable in the vertical direction and corresponds to the step of the substrate W, effectively forming the peeling start part 50. In addition, since the peeling start part 50 is formed in the substantially whole width direction of the film F front-end | tip, the peeling operation | work by the adhesive roller 20 is made extremely smooth, and the film F torn due to partial peeling defect is performed. Etc. does not occur. Especially, since the peeling start part 50 is formed toward the front-end | tip from the width direction center part of the printed wiring board W, the crack by a collision between the knurling roller 1 and the film F end does not generate | occur | produce, and film F during peeling There is no problem such as tearing.

본 발명의 박리 장치에 따르면, 단차를 갖는 대상물의 경우에도 정확한 필름의 박리작업이 행하여지는 효과가 있다. According to the peeling apparatus of this invention, also in the case of the object which has a level | step difference, there exists an effect that an accurate peeling operation of a film is performed.

Claims

In the film peeling device for peeling the film adhered to the object,

A plurality of knurling rollers in contact with an end of the film to form concavities and convexities in the width direction of the object, a peeling start portion formed in the width direction of the end of the film, and arranged so that their positions overlap each other in the longitudinal direction of the film;

A support device for supporting the plurality of knurling rollers so as to be movable up and down, respectively;

And a peeling means for peeling the film from the peeling start portion of the film end formed by the knurling roller.

The method of claim 1,

The film adheres to the front and back of the object,

The knurling roller is installed to face the front and back of the object,

Each knurling roller forms a peeling start part in the film edge of the front and back of an object.

The method according to claim 1 or 2,

The knurling roller is rotated in the width direction of the object at the film end of the object to form the unevenness in the width direction of the object.

The method according to claim 1 or 2,

The support device includes a swing support that is swingably mounted at the swing center,

The rocking support is provided with at least two knurling rollers arranged so that their positions overlap each other in the longitudinal direction of the object, and the film peeling apparatus supports the knurled rollers to be movable up and down by this rocking motion.

5. The method of claim 4,

The support device further includes a rocking base that is rockably mounted at a rocking center,

The swing support is pivotably mounted to the swing expectation center with the swing center.

And a film peeling device supported by the knurling roller to be movable up and down by oscillation of both the rocking base and the rocking support.

The method according to claim 1 or 2,

And the object is a printed circuit board and a photoresist provided on the substrate, wherein the film is adhered to the photoresist.