KR101193104B1 - Cell aging test system and test method - Google Patents

Cell aging test system and test method Download PDF

Info

Publication number
KR101193104B1
KR101193104B1 KR1020110006285A KR20110006285A KR101193104B1 KR 101193104 B1 KR101193104 B1 KR 101193104B1 KR 1020110006285 A KR1020110006285 A KR 1020110006285A KR 20110006285 A KR20110006285 A KR 20110006285A KR 101193104 B1 KR101193104 B1 KR 101193104B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cell
chamber
heating
test method
tab
Prior art date
Application number
KR1020110006285A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20120016984A (en
Inventor
오형근
Original Assignee
비피솔루션(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 비피솔루션(주) filed Critical 비피솔루션(주)
Publication of KR20120016984A publication Critical patent/KR20120016984A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101193104B1 publication Critical patent/KR101193104B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/06—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising selenium or tellurium in uncombined form other than as impurities in semiconductor bodies of other materials
    • H01L21/14—Treatment of the complete device, e.g. by electroforming to form a barrier
    • H01L21/145—Ageing
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
    • H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions

Abstract

본 발명은 셀 에이징 검사장치 및 검사방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 모듈(Module) 형태를 갖추기 전(前) 단계의 셀(Cell)을 챔버에 로딩(loading)하는 단계와, 상기 셀(Cell)을 챔버에서 고온 히팅하여 신뢰성 검사를 실시하는 단계와, 상기 챔버에서 셀을 언로딩하는 단계를 포함하는 셀 에이징 검사장치 및 검사방법에 관한 것이다.The present invention relates to a cell aging inspection apparatus and an inspection method, and more particularly, a step of loading a cell in a chamber before a module form, and the cell. And a method of inspecting a cell aging including a step of performing a reliability test by heating a high temperature in a chamber, and unloading a cell in the chamber.

Description

셀 에이징 검사장치 및 검사방법{CELL AGING TEST SYSTEM AND TEST METHOD}Cell Aging Inspection System and Inspection Method {CELL AGING TEST SYSTEM AND TEST METHOD}

본 발명은 FPD(TFT, OLED, PDP) 셀을 고온에서 에이징을 실시하여 신뢰성을 검사하는 셀 에이징 검사장치 및 검사방법에 관한 것이다.
The present invention relates to a cell aging inspection apparatus and inspection method for aging the FPD (TFT, OLED, PDP) cells at high temperature to check the reliability.

TFT LCD 제조공정은 기판 위에 박막 트랜지스터 배열을 제작하는 TFT 어레이 공정과, 알지비(R,G,B) 컬러 필터층을 제작하여 공동 전극용 ITO를 형성하는 C/F(Color Filter) 공정과, 상기 TFT 어레이 기판과 상기 C/F 공정 기판을 합착 한 후 액정을 주입하여 LCD 패널을 만드는 공정과, 신호처리를 위한 회로부를 제작하고 이를 실장기술을 통해 LCD 패널에 연결한 후 부속 기구물을 부착하여 제품을 만드는 모듈(Module)공정으로 이루어진다.The TFT LCD manufacturing process includes a TFT array process for manufacturing a thin film transistor array on a substrate, a C / F (Color Filter) process for forming an Algibi (R, G, B) color filter layer to form an ITO for a common electrode, and The process of making LCD panel by injecting liquid crystal after bonding TFT array substrate and C / F process board, making circuit part for signal processing, connecting it to LCD panel through mounting technology, and attaching accessories The module is made of a module process.

그러나, 종래에는 모듈(Module) 공정 이후에 에이징을 실시하여 신뢰성 검사를 하였다. However, in the related art, aging was performed after the module process to check reliability.

따라서, 불량이 발생하면 에이징을 실시하기 이전에 제작된 모든 자재(C/F, TCP, G/S PCB, TCON BD, BLU 등)를 폐기하거나 분리시켜 수리(repair)를 해야 하므로 생산원가가 증가하는 문제점이 있었다.Therefore, if a defect occurs, all the materials (C / F, TCP, G / S PCB, TCON BD, BLU, etc.) manufactured before the aging should be discarded or separated to repair and increase the production cost. There was a problem.

상기와 같은 문제점을 해소하기 위하여 에이징 공정을 에이징 챔버 내에 셀을 팔레트에 의하여 이송 거치시킨 상태에서 챔버 내에 할로겐 램프를 장착하여 전원을 인가하여 고온 히팅을 하는 오븐장치와 챔버의 내부 온도를 하강시키기 위해 대류 현상을 발생시키며 공기를 순환하게 하는 냉각 송풍장치를 이용하여 일정 시간 동안 셀을 작동시켜 셀의 구동이 제대로 이루어지는지 여부를 판단하게 하였다. In order to solve the problems described above, in order to lower the internal temperature of the oven apparatus and the chamber for high temperature heating by applying power by mounting a halogen lamp in the chamber while the aging process transfers the cells into the aging chamber by pallets. By operating the cell for a predetermined time by using a cooling blower that generates air convection and circulates air, it is determined whether the cell is properly driven.

그러나, 상기 오븐장치는 챔버 내를 고온으로 히팅하기 때문에 셀뿐만 아니라 셀을 잡아주는 기구적인 구성 및 전기적 신호를 인가하는 장치가 열 팽창으로 인해 기구적 결함의 문제가 있었다.
However, since the oven apparatus heats the inside of the chamber at a high temperature, not only the cell but also the mechanical configuration for holding the cell and a device for applying an electrical signal have problems of mechanical failure due to thermal expansion.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 챔버 내부에 전체적으로 열을 가하는 것이 아니라 셀에만 열을 가한 후 에이징을 실시하여 신뢰성 검사하는 것이다. The technical problem to be solved by the present invention is not to apply heat to the inside of the chamber as a whole, but to apply the heat only to the cell to perform aging test for reliability.

또한, 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 모듈공정 이전의 어느 단계에서든지 에이징 검사를 실시하는 것이다.
In addition, the technical problem to be solved by the present invention is to perform the aging test at any stage before the module process.

본 발명의 한 특징에 따른 셀 에이징 검사 장치는, 평판 디스플레이(FPD) 제조 일괄생산라인(FAB)의 셀(Cell) 제조 내지 완제품 모듈(Module) 제조 공정에서 별도의 완제품 모듈을 최종 단계에서 신뢰성 검사하기 전 단계에 셀(Cell) 패널의 표면 활성화와 상기 셀(Cell) 패널 내부의 배향 안정화를 도모할 수 있도록 이송로봇과 챔버를 구성하여 예비 방전을 시키는 셀 에이징 장치에 있어서,
상기 챔버에 상기 셀 패널을 유입 및 유출할 수 있는 패널 수납구를 일측면에 형성하며, 상기 이송로봇으로 상기 각 챔버 내에 상기 셀(Cell) 패널을 다수개 수납하거나 빼내는 작업을 하되,
상기 챔버 내에서 셀을 안착하는 셀 안착대를 구비한 팔레트와;
상기 셀 안착대에 안착된 셀에 열을 가하도록 히팅하는 히팅 플레이트; 및
쇼팅 바(Shorting bar)에 알지비(R,G,B)의 전기적 신호를 인가하기 위한 프로브 블록;를 포함하고,
상기 히팅 플레이트는 셀 안착대에 열선을 구비하고, 세라믹 판 또는 기판(Glass) 표면에 상처를 주지 않는 재질로 코팅된 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, a cell aging test apparatus includes a reliability test at a final stage of a separate finished module in a cell manufacturing to a module manufacturing process of a flat panel display (FPD) manufacturing batch production line (FAB). In the cell aging apparatus for preliminary discharge by configuring the transfer robot and the chamber to promote the surface activation of the cell panel and stabilization of the orientation of the inside of the cell panel in the previous step,
A panel storage port is formed on one side of the chamber panel to allow the cell panel to flow in and out of the chamber, and a plurality of cell panels are stored or removed in the chamber by the transfer robot.
A pallet with a cell seat for seating the cell in the chamber;
A heating plate for heating the cell seated on the cell seat; And
And a probe block for applying an electrical signal of an algibi (R, G, B) to a shorting bar.
The heating plate is provided with a heating wire on the cell seating plate, and is coated with a material that does not damage the surface of the ceramic plate or the substrate (Glass).

삭제delete

삭제delete

삭제delete

삭제delete

상기 특징에 따른 셀 에이징 검사 장치에서, 상기 히팅 플레이트는 온/오프로 작동할 수 있으며, 온으로 동작 시 가변부를 통해 온도를 조절하는 것을 특징으로 한다. In the cell aging inspection apparatus according to the above features, the heating plate may be operated on / off, characterized in that the temperature is controlled through a variable portion when operating on.

본 발명의 또 다른 특징의 제1 실시 예에 따른 셀 에이징 검사방법은,
셀(Cell)을 챔버에 로딩(Loading)하는 단계와;
상기 셀(Cell) 패널의 쇼팅 바(Shorting bar)에 프로브 블록 또는 풀(Pull) 프로브 블럭을 컨텍(Contact)한 후 전기적 신호를 인가하는 단계와;
상기 셀이 로딩된 팔레트의 히팅 플레이트를 히팅하여 신뢰성 검사를 실시하는 단계; 및
상기 챔버에서 셀(Cell)을 언로딩(Unloading)하는 단계;를 포함하되,
상기 셀(Cell)은 상하판 기판(Glass)이 부착되어 있는 상태이고,
상기 상하판 기판(Glass) 위에 편광판(Polarizer)이 부착되어 있는 상태인 것을 특징으로 한다.Cell aging test method according to a first embodiment of another feature of the present invention,
Loading a cell into the chamber;
Applying an electrical signal after contacting a probe block or a pull probe block to a shorting bar of the cell panel;
Performing a reliability test by heating a heating plate of a pallet loaded with the cells; And
And unloading a cell in the chamber.
The cell is in a state that the upper and lower substrate glass is attached,
Characterized in that the polarizer (Polarizer) is attached on the upper and lower substrate (Glass).

삭제delete

삭제delete

삭제delete

삭제delete

삭제delete

본 발명의 또 다른 특징의 제2 실시 예에 따른 셀 에이징 검사방법은,
상하판 기판(Glass) 위에 편광판 및 탭(TAB) 아이씨(IC)가 부착되어 있는 상태의 셀(Cell)을 챔버에 로딩(Loading)하는 단계와;
상기 탭 아이씨(TAB IC)를 검사용 PCB 회로와 컨텍(Contact)하여 전기적 신호를 인가하는 단계와;
상기 셀이 로딩된 팔레트의 히팅 플레이트를 히팅하여 신뢰성 검사를 실시하는 단계; 및
상기 챔버에서 셀(Cell)을 언로딩(Unloading)하는 단계;를 포함하되,
상기 히팅은 55℃~65℃ 온도범위에서 실시하는 것을 특징으로 한다.Cell aging test method according to a second embodiment of another aspect of the present invention,
Loading a cell in a state where a polarizing plate and a tab TAB IC are attached to the upper and lower substrate glass in a chamber;
Contacting the tab IC with a test PCB circuit to apply an electrical signal;
Performing a reliability test by heating a heating plate of a pallet loaded with the cells; And
And unloading a cell in the chamber.
The heating is characterized in that carried out in a temperature range of 55 ℃ ~ 65 ℃.

삭제delete

삭제delete

삭제delete

삭제delete

본 발명의 또 다른 특징의 제3 실시 예에 따른 셀 에이징 검사방법은,
셀(Cell) 에이징 검사방법에 있어서,
상하판 기판(Glass) 위에 편광판, 탭(TAB) 아이씨(IC) 및 PCB 회로가 부착되어 있는 상태의 셀(Cell)을 챔버에 로딩(loading)하는 단계와;
상기 PCB 회로에 신호 케이블(Cable)을 수동 또는 자동으로 연결한 후 전기적 신호를 인가하는 단계와;
상기 셀이 로딩된 팔레트의 히팅 플레이트를 히팅하여 신뢰성 검사를 실시하는 단계; 및
상기 챔버에서 셀(Cell)을 언로딩(Unloading)하는 단계;를 포함하되,
상기 히팅은 55℃~65℃ 온도범위에서 실시하는 것을 특징으로 한다.Cell aging test method according to a third embodiment of another feature of the present invention,
In the cell aging test method,
Loading a cell in a state in which a polarizer, a tab TAB IC, and a PCB circuit are attached to the upper and lower substrate glass;
Manually or automatically connecting a signal cable to the PCB circuit and then applying an electrical signal;
Performing a reliability test by heating a heating plate of a pallet loaded with the cells; And
And unloading a cell in the chamber.
The heating is characterized in that carried out in a temperature range of 55 ℃ ~ 65 ℃.

삭제delete

삭제delete

삭제delete

삭제delete

삭제delete

상기 제1 실시 예 내지 제3 실시 예 중 어느 하나에서, 상기 상하판 기판(Glass)은 평판 디스플레이(FPD) 기판과 칼라필터 기판 사이에 액정을 봉입한 상태인 것을 특징으로 한다.
In any one of the first to third embodiments, the upper and lower substrates may have a liquid crystal encapsulated between the flat panel display (FPD) substrate and the color filter substrate.

이러한 본 발명의 특징에 따르면, According to this aspect of the present invention,

본 발명은 챔버 내의 다른 구성에 열을 가하지 않아 고장을 줄이는 효과가 있다. The present invention has the effect of reducing failure by not applying heat to other components in the chamber.

또한, 본 발명은 챔버 내에서 모듈공정 이전의 어느 단계에서든지 에이징 검사를 실시하여 불량률을 줄이는 효과가 있다. In addition, the present invention has the effect of reducing the defective rate by performing the aging test at any stage before the module process in the chamber.

또한, 본 발명은 챔버 내에 오븐장치와 냉각 송풍장치의 구성을 제거하고 이 역할을 하는 팔레트를 형성하여 구성을 간소화하는 효과가 있다.
In addition, the present invention has the effect of simplifying the configuration by removing the configuration of the oven apparatus and the cooling blower in the chamber and forming a pallet to play this role.

도 1은 본 발명에 따른 셀 에이징 검사 장치를 나타낸 도면이다.
도 2a는 본 발명에 따른 셀 에이징 검사 장치의 팔레트를 나타낸 단면도이다.
도 2b는 본 발명에 따른 셀 에이징 검사 장치의 팔레트를 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 셀 에이징 검사 방법을 나타낸 흐름도이다. 1 illustrates a cell aging inspection apparatus according to the present invention.
2A is a cross-sectional view showing a pallet of the cell aging inspection apparatus according to the present invention.
Figure 2b is a perspective view showing a pallet of the cell aging inspection apparatus according to the present invention.
3 is a flowchart illustrating a cell aging checking method according to the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 셀 에이징 검사 장치를 나타낸 도면이고, 도 2a는 본 발명에 따른 셀 에이징 검사 장치의 팔레트를 나타낸 단면도이고, 도 2b는 본 발명에 따른 셀 에이징 검사 장치의 팔레트를 나타낸 사시도이다. 1 is a view showing a cell aging inspection apparatus according to the present invention, Figure 2a is a cross-sectional view showing a pallet of the cell aging inspection apparatus according to the present invention, Figure 2b is a perspective view showing a pallet of the cell aging inspection apparatus according to the present invention to be.

도 1 내지 도 2b에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 셀 에이징 검사장치는 LCD 제조 일괄생산라인(FAB)의 셀(Cell) 제조 내지 완제품 모듈(Module) 제조 공정에서 별도의 완제품 모듈을 최종 단계에서 신뢰성 검사하기 전 단계에 셀(Cell) 패널의 표면 활성화와 상기 셀(Cell) 패널 내부의 배향 안정화를 도모할 수 있도록 이송로봇(10)과 챔버(100)를 구성한다. As shown in Fig. 1 to 2b, the cell aging inspection apparatus according to an embodiment of the present invention is a separate finished module in the cell manufacturing to finished module manufacturing process of the LCD manufacturing batch production line (FAB) The transfer robot 10 and the chamber 100 are configured to enable surface activation of the cell panel and stabilization of the orientation of the inside of the cell panel before the reliability test in the final step.

이때, 상기 이송로봇(10)으로 상기 챔버(100) 내에 형성된 팔레트(200)에 셀을 로딩하거나 언로딩하는 작업을 한다. At this time, the transfer robot 10 to load or unload the cell on the pallet 200 formed in the chamber 100.

상기 챔버(100)는 일측면이 팔레트(200)가 통과할 수 있도록 투시구가 형성되어 있으며, 상기 투시구의 형성 방향으로 하부에 팔레트(200)의 이동이 용이하기 위해 컨베이어(110)를 형성한다. The chamber 100 has a perspective sphere formed so that one side of the pallet 200 can pass, and the conveyor 110 is formed to facilitate the movement of the pallet 200 in the direction of formation of the perspective sphere. do.

또한, 상기 컨베이어(110) 상면에는 컨베이어(110) 길이방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 하는 지지받침대(120)를 구비하고, 상기 지지받침대(120) 상면으로는 팔레트(200)가 탑재된다. 그리고 탑재된 팔레트(200)와 소정 간격 이격되게 사방으로 밀폐된 환경을 조성한다. In addition, the upper surface of the conveyor 110 is provided with a support base 120 to move freely in the longitudinal direction of the conveyor 110, the pallet 200 is mounted on the upper surface of the support base 120. And it creates an environment sealed in all directions to be spaced apart from the pallet 200 mounted a predetermined interval.

상기 팔레트(200)는 프레임(210), 셀 안착대(220), 히팅 플레이트(230), 클램프 장치(240), 및 프로브 블록(250)으로 구성한다.  The pallet 200 includes a frame 210, a cell seating plate 220, a heating plate 230, a clamp device 240, and a probe block 250.

상기 프레임(210)은 전면부 중앙으로 중공부를 형성한다. The frame 210 forms a hollow portion at the center of the front portion.

상기 셀 안착대(220)는 프레임 내측으로 상기 프레임(210)돌출된 지지 프레임 형상으로 형성하여 로딩된 셀을 안착한다. The cell seating unit 220 is formed in a support frame shape protruding from the frame 210 into the frame to seat the loaded cell.

상기 히팅 플레이트(230)는 상기 셀 안착대(220)에 안착된 셀에 열을 가하도록 히팅하며, 셀 안착대(220)에 열선을 구비하고, 세라믹 판 또는 글래스(Glass) 표면에 상처를 주지 않는 재질로 코팅하여 형성한다. The heating plate 230 is heated to apply heat to the cell seated on the cell seating unit 220, and has a heating wire on the cell seating unit 220, and does not damage the surface of the ceramic plate or glass (glass) It is formed by coating with a material that does not.

이때, 본 발명의 실시 예에서는 히팅 플레이트(230)을 열선으로 나타냈으나 효과적으로 셀에 열을 전달할 수 있는 구성을 모두 포함한다. At this time, in the embodiment of the present invention, the heating plate 230 is shown as a hot wire, but includes all the components that can effectively transfer heat to the cell.

상기 클램프 장치(240)는 상기 셀 안착 및 고정을 위하여 프레임(210) 전방향 평면에 형성되며 좌우 방향 및 상 방향에 하나 이상씩 설치한다. The clamp device 240 is formed in the front plane of the frame 210 for seating and fixing the cell and is installed at least one in the left and right direction and the upper direction.

상기 프로브 블록(250)은 쇼팅바에 알지비(RGB)의 전기적 신호를 인가한다.The probe block 250 applies an electrical signal of an RGB to the shorting bar.

이때, 상기 프로브 블록(250)을 상기 셀의 가장자리와 연결된 쇼팅바에 인접시켜 전기적 신호를 인가하여 신뢰성 검사를 실시한다.
At this time, the probe block 250 is adjacent to the shorting bar connected to the edge of the cell to apply an electrical signal to perform a reliability test.

도 3은 본 발명에 따른 셀 에이징 검사 방법을 나타낸 흐름도이다. 3 is a flowchart illustrating a cell aging checking method according to the present invention.

먼저, 본 발명에서 평판 디스플레이(FPD) 셀(Cell)은, 상하판 기판(Glass)이 부착되어 있는 상태, 상하판 기판(Glass) 위에 편광판(Polarizer)이 부착되어 있는 상태, 상하판 기판 위에 편광판 및 탭(TAB) 아이씨(IC) 또는 이에 상응하는 구동 드라이브 아이씨(IC)가 부착되어 있는 상태, 상하판 기판 위에 편광판, 탭(TAB) 아이씨(IC) 및 이를 제어하기 위한 PCB 회로가 부착되어 있는 상태 중 어느 하나인 것으로 정의한다. First, in the present invention, a flat panel display cell (FPD) cell is a state in which a top and bottom substrate glass is attached, a state in which a polarizer is attached to a top and bottom substrate glass, and a polarizer on a top and bottom substrate. And a tab (TAB) IC (IC) or a corresponding drive drive IC (IC) attached thereto, a polarizing plate, a tab (TAB) IC (IC) attached to the upper and lower substrates, and a PCB circuit for controlling the same. It is defined as one of the states.

상기 평판 디스플레이는 초박막액정표시장치(TFT-LCD), PDP, 및 OLED를 포함한다. The flat panel display includes an ultra-thin liquid crystal display (TFT-LCD), a PDP, and an OLED.

여기서, 상기 상하판 기판(Glass)은 TFT 기판과 칼라필터 기판 사이에 액정을 봉입한 상태의 기판이다.Here, the upper and lower substrate substrates (Glass) is a substrate in a state where the liquid crystal is sealed between the TFT substrate and the color filter substrate.

도 3에 도시된 바와 같이, 먼저, 셀(Cell)을 챔버에 로딩(Loading) 시킨다(S310). As shown in FIG. 3, first, a cell is loaded into a chamber (S310).

여기서, 상기 셀(Cell)은 실시 예에 따라 상하판 기판(Glass)이 부착되어 있는 상태의 셀이거나, 상하판 기판(Glass) 위에 편광판(Polarizer)이 부착되어 있는 상태의 셀이다. Here, the cell is a cell in which a top and bottom substrate glass is attached, or a cell in which a polarizer is attached to a top and bottom substrate glass.

이어서, 상기 셀(Cell) 패널의 쇼팅 바(Shorting bar)에 프로브 블록 또는 풀(Pull) 프로브 블록을 컨텍(Contact)한 후 전기적 신호를 인가한다(S310). Subsequently, the probe block or the pull probe block is contacted to the shorting bar of the cell panel and an electrical signal is applied (S310).

이때, 상하판 기판 위에 편광판 및 탭 아이씨(TAB IC)가 부착되어 있는 상태의 셀은 실시 예에 따라서 탭(TAB) 아이씨(IC)를 검사용 PCB 회로와 컨텍(Contact)하여 전기적 신호를 인가하고, 상하판 기판 위에 편광판, 탭(TAB) 아이씨(IC) 및 PCB 회로가 부착되어 있는 상태의 셀은 PCB 회로에 신호 케이블(Cable)을 수동 또는 자동으로 연결한 후 전기적 신호를 인가한다. In this case, the cell in which the polarizing plate and the tab IC are attached on the upper and lower substrates may contact the tab PCB IC with the test PCB circuit to apply an electrical signal. The cell in which the polarizer, the tab (TAB), the IC (IC) and the PCB circuit are attached to the upper and lower substrates is connected with a signal cable (Cable) manually or automatically to the PCB circuit and then applied an electrical signal.

이어서, 상기 셀이 로딩된 팔레트의 히팅 플레이트를 히팅하여 신뢰성 검사를 실시한다(S330). Then, the heating plate of the pallet loaded with the cell is heated to perform a reliability test (S330).

여기서, 상기 신뢰성 검사는 정상 동작 여부, 액정 배향 상태, 셀(Cell) 불량(R,G,B), 셀(Cell) 결함(Defect), 이물질, 단락 등을 통해 양품 또는 불량품을 판별한다. In this case, the reliability test determines whether the product is defective or defective based on normal operation, liquid crystal alignment state, cell defects (R, G, and B), cell defects, foreign matter, and short circuit.

이때, 상기 히팅 플레이트의 히팅은 55℃~65℃ 범위에서 2시간 정도가 바람직하다.At this time, the heating of the heating plate is preferably about 2 hours in the range of 55 ℃ ~ 65 ℃.

여기서, 상기 히팅 플레이트는 팔레트에 셀이 안착되는 셀 안착대에 열선을 구비하고, 세라믹 판으로 코팅된 것으로써 온/오프로 작동할 수 있으며, 온도는 가변부에 통해 조절할 수 있다. Here, the heating plate is provided with a heating wire on the cell seating table on which the cell is seated on the pallet, can be operated on / off by coating with a ceramic plate, the temperature can be adjusted through the variable portion.

상기와 같이 히팅 플레이트가 오프 상태에서 열이 빠르게 식음으로써 별도의 송풍장치를 형성하지 않아도 된다. As described above, since the heat cools rapidly in the off state of the heating plate, it is not necessary to form a separate blower.

마지막으로, 상기 프로브 블록 또는 신호 케이블(Cable)을 쇼팅 바(Shorting bar)에서 이탈시키고 챔버에서 셀(cell)을 언로딩(Unloading)시킨다(S340).Finally, the probe block or the signal cable (Cable) is separated from the shorting bar (Shorting bar) and the cell (Unloading) cell (Unloading) in the chamber (S340).

본 발명에서 셀(cell)은 이송로봇을 사용하여 챔버에 로딩(loading) 및 언로딩(unloading)한다. In the present invention, a cell is loaded and unloaded into a chamber using a transfer robot.

이때, 상기 챔버는 제조 공정 및 목적에 따라 복수 개를 설치할 수도 있고 챔버간의 셀 이송은 이송로봇을 통해 이루어진다.At this time, the chamber may be installed in plurality according to the manufacturing process and the purpose, the cell transfer between the chamber is made through a transfer robot.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시 예에 관하여 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 따라서 본 발명의 권리 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 청구범위뿐만 아니라, 이와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, Of course, this is possible. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be defined by the equivalents as well as the claims that follow.

10 : 이송로봇 100 : 챔버
110 : 컨베이어 120 : 지지받침대
200 : 팔레트 210 : 프레임
220 : 셀 안착대 230 : 히팅 플레이트
240 : 클램프 장치 250 : 프로브 블록 10: transfer robot 100: chamber
110: conveyor 120: support base
200: Pallet 210: Frame
220: cell seating plate 230: heating plate
240: clamp device 250: probe block

Claims (9)

평판 디스플레이(FPD) 제조 일괄생산라인(FAB)의 셀(Cell) 제조 내지 완제품 모듈(Module) 제조 공정에서 별도의 완제품 모듈을 최종 단계에서 신뢰성 검사하기 전 단계에 셀(Cell) 패널의 표면 활성화와 상기 셀(Cell) 패널 내부의 배향 안정화를 도모할 수 있도록 이송로봇과 챔버를 구성하여 예비 방전을 시키는 셀 에이징 장치에 있어서,
상기 챔버에 상기 셀 패널을 유입 및 유출할 수 있는 패널 수납구를 일측면에 형성하며, 상기 이송로봇으로 상기 각 챔버 내에 상기 셀(Cell) 패널을 다수개 수납하거나 빼내는 작업을 하되,
상기 챔버 내에서 셀을 안착하는 셀 안착대를 구비한 팔레트와;
상기 셀 안착대에 안착된 셀에 열을 가하도록 히팅하는 히팅 플레이트; 및
쇼팅 바(Shorting bar)에 알지비(R,G,B)의 전기적 신호를 인가하기 위한 프로브 블록;를 포함하고,
상기 히팅 플레이트는 셀 안착대에 열선을 구비하고, 세라믹 판 또는 기판(Glass) 표면에 상처를 주지 않는 재질로 코팅된 것을 특징으로 하는 셀 에이징 장치. In the process of cell manufacturing or finished module manufacturing of flat panel display (FPD) manufacturing batch (FAB), the surface activation of cell panels and In the cell aging device for preliminary discharge by configuring the transfer robot and the chamber to achieve the orientation stabilization inside the cell panel,
A panel storage port is formed on one side of the chamber panel to allow the cell panel to flow in and out of the chamber, and a plurality of cell panels are stored or removed in the chamber by the transfer robot.
A pallet with a cell seat for seating the cell in the chamber;
A heating plate for heating the cell seated on the cell seat; And
And a probe block for applying an electrical signal of an algibi (R, G, B) to a shorting bar.
The heating plate is provided with a heating wire on the cell seat, the cell aging apparatus, characterized in that the coating is made of a material that does not hurt the surface of the ceramic plate or the substrate (Glass). 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 히팅 플레이트는 온/오프로 작동할 수 있으며, 온으로 동작 시 가변부를 통해 온도를 조절하는 것을 특징으로 하는 셀 에이징 장치. The method of claim 1,
The heating plate may be operated on / off, the cell aging device, characterized in that for controlling the temperature through a variable portion when operating on. 셀(Cell) 에이징 검사방법에 있어서,
셀(Cell)을 챔버에 로딩(Loading)하는 단계와;
상기 셀(Cell) 패널의 쇼팅 바(Shorting bar)에 프로브 블록 또는 풀(Pull) 프로브 블럭을 컨텍(Contact)한 후 전기적 신호를 인가하는 단계와;
상기 셀이 로딩된 팔레트의 히팅 플레이트를 히팅하여 신뢰성 검사를 실시하는 단계; 및
상기 챔버에서 셀(Cell)을 언로딩(Unloading)하는 단계;를 포함하되,
상기 셀(Cell)은 상하판 기판(Glass)이 부착되어 있는 상태이고,
상기 상하판 기판(Glass) 위에 편광판(Polarizer)이 부착되어 있는 상태인 것을 특징으로 하는 셀 에이징 검사방법.In the cell aging test method,
Loading a cell into the chamber;
Applying an electrical signal after contacting a probe block or a pull probe block to a shorting bar of the cell panel;
Performing a reliability test by heating a heating plate of a pallet loaded with the cells; And
And unloading a cell in the chamber.
The cell is in a state that the upper and lower substrate glass is attached,
Cell aging test method characterized in that the polarizer (Polarizer) is attached on the upper and lower substrate (Glass). 삭제delete 셀(Cell) 에이징 검사방법에 있어서,
상하판 기판(Glass) 위에 편광판 및 탭(TAB) 아이씨(IC)가 부착되어 있는 상태의 셀(Cell)을 챔버에 로딩(Loading)하는 단계와;
상기 탭 아이씨(TAB IC)를 검사용 PCB 회로와 컨텍(Contact)하여 전기적 신호를 인가하는 단계와;
상기 셀이 로딩된 팔레트의 히팅 플레이트를 히팅하여 신뢰성 검사를 실시하는 단계; 및
상기 챔버에서 셀(Cell)을 언로딩(Unloading)하는 단계;를 포함하되,
상기 히팅은 55℃~65℃ 온도범위에서 실시하는 것을 특징으로 하는 셀 에이징 검사방법.In the cell aging test method,
Loading a cell in a state where a polarizing plate and a tab TAB IC are attached to the upper and lower substrate glass in a chamber;
Contacting the tab IC with a test PCB circuit to apply an electrical signal;
Performing a reliability test by heating a heating plate of a pallet loaded with the cells; And
And unloading a cell in the chamber.
The heating is a cell aging test method, characterized in that carried out in the temperature range 55 ℃ ~ 65 ℃. 셀(Cell) 에이징 검사방법에 있어서,
상하판 기판(Glass) 위에 편광판, 탭(TAB) 아이씨(IC) 및 PCB 회로가 부착되어 있는 상태의 셀(Cell)을 챔버에 로딩(loading)하는 단계와;
상기 PCB 회로에 신호 케이블(Cable)을 수동 또는 자동으로 연결한 후 전기적 신호를 인가하는 단계와;
상기 셀이 로딩된 팔레트의 히팅 플레이트를 히팅하여 신뢰성 검사를 실시하는 단계; 및
상기 챔버에서 셀(Cell)을 언로딩(Unloading)하는 단계;를 포함하되,
상기 히팅은 55℃~65℃ 온도범위에서 실시하는 것을 특징으로 하는 셀 에이징 검사방법.In the cell aging test method,
Loading a cell in a state in which a polarizer, a tab TAB IC, and a PCB circuit are attached to the upper and lower substrate glass;
Manually or automatically connecting a signal cable to the PCB circuit and then applying an electrical signal;
Performing a reliability test by heating a heating plate of a pallet loaded with the cells; And
And unloading a cell in the chamber.
The heating is a cell aging test method, characterized in that carried out in the temperature range 55 ℃ ~ 65 ℃. 삭제delete 제4항, 제6항 또는 제7항에 있어서,
상기 상하판 기판(Glass)은 평판 디스플레이(FPD) 기판과 칼라필터 기판 사이에 액정을 봉입한 상태인 것을 특징으로 하는 셀 에이징 검사방법. The method according to claim 4, 6 or 7,
The upper and lower substrates (Glass) is a cell aging test method characterized in that the liquid crystal is sealed between the flat panel display (FPD) substrate and the color filter substrate.
KR1020110006285A 2010-08-17 2011-01-21 Cell aging test system and test method KR101193104B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100079528 2010-08-17
KR20100079528 2010-08-17

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120016984A KR20120016984A (en) 2012-02-27
KR101193104B1 true KR101193104B1 (en) 2012-10-19

Family

ID=45839096

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110006285A KR101193104B1 (en) 2010-08-17 2011-01-21 Cell aging test system and test method

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101193104B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101471752B1 (en) * 2013-04-25 2014-12-10 세메스 주식회사 Apparatus for inspecting display cells
CN103268030B (en) * 2013-05-28 2015-06-17 苏州优备精密电子有限公司 Liquid crystal panel aging trolley

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100252663B1 (en) * 1997-12-12 2000-04-15 윤종용 An aging device of lcd panel
KR100966284B1 (en) * 2008-12-26 2010-06-28 (주)에이원메카 Cell aging pallet system

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100252663B1 (en) * 1997-12-12 2000-04-15 윤종용 An aging device of lcd panel
KR100966284B1 (en) * 2008-12-26 2010-06-28 (주)에이원메카 Cell aging pallet system

Also Published As

Publication number Publication date
KR20120016984A (en) 2012-02-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101350662B1 (en) Apparatus for inspecting display cells
KR101115874B1 (en) Apparatus for testing array
KR101301517B1 (en) Substrate test apparatus for LCD and substrate test method using the same
KR102007718B1 (en) Turnover type display cell test equipment and controlling method for the same
US8491299B2 (en) Seal hardening furnace of liquid crystal display device having rack bar
KR101193104B1 (en) Cell aging test system and test method
KR20130093257A (en) Method of inspecting oled cells and apparatus for performing the same
US20030179341A1 (en) Cassette for liquid crystal panel inspection and method of inspecting liquid crystal panel
US11149991B2 (en) Heating and cooling apparatus having moisture removal function for testing electrical characteristic of semiconductor element using probe system
KR20130093258A (en) Apparatus for inspecting display cells
KR20090100674A (en) Apparatus and method for inspecting substrate surface using steam
JP3225656B2 (en) Inspection method and inspection device for liquid crystal panel
KR101682523B1 (en) Substrate supporting apparatus
KR100966284B1 (en) Cell aging pallet system
CN109916597B (en) Optical detection device and optical detection method
KR101097792B1 (en) Method of fabricating alignment layer of liquid crystal display device and testing thereof
KR101935074B1 (en) Method of inspecting display cells
KR20090102711A (en) Cell aging device and aging method thereof
JP2008042205A (en) V-shaped palette
KR101178453B1 (en) Device for testing defect and method for testing defect on the display panel
JPH08114810A (en) Apparatus for producing liquid crystal panel and press bonding device
KR101959414B1 (en) Visual Inspection Apparatus And Visual Inspecting Method Using The Same
KR102258508B1 (en) Substrate Transferring Device and Method for Treating Substrate using the Substrate Transferring Device
Chun Chang TFT‐LCD Module and Package Process
KR20120007328A (en) Apparatus for testing array

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
N231 Notification of change of applicant
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee