KR101176490B1 - 자기조립형 이방성 주름패턴을 형성하는 방법 - Google Patents

자기조립형 이방성 주름패턴을 형성하는 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101176490B1
KR101176490B1 KR1020100119617A KR20100119617A KR101176490B1 KR 101176490 B1 KR101176490 B1 KR 101176490B1 KR 1020100119617 A KR1020100119617 A KR 1020100119617A KR 20100119617 A KR20100119617 A KR 20100119617A KR 101176490 B1 KR101176490 B1 KR 101176490B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
anisotropic
self
forming
assembled
alignment
Prior art date
Application number
KR1020100119617A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20120058019A (ko
Inventor
강석환
이우일
문성남
Original Assignee
서울대학교산학협력단
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 서울대학교산학협력단 filed Critical 서울대학교산학협력단
Priority to KR1020100119617A priority Critical patent/KR101176490B1/ko
Publication of KR20120058019A publication Critical patent/KR20120058019A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101176490B1 publication Critical patent/KR101176490B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • G02F1/13378—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation
    • G02F1/133788—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation by light irradiation, e.g. linearly polarised light photo-polymerisation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
    • B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
    • B81C1/00023—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems without movable or flexible elements
    • B81C1/00031—Regular or irregular arrays of nanoscale structures, e.g. etch mask layer
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • G02F1/133711—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by organic films, e.g. polymeric films

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)

Abstract

본 발명은 자기조립형 이방성 주름패턴을 형성하는 방법에 관한 것으로서, 분자정렬된 이방성 재료층의 표면을 플라즈마 또는 UV오존 처리하여 이방성 박막을 형성함으로써 상기 이방성 재료층의 분자배향 방향과 일치하는 방향의 주름을 발생시키는 것을 포함하는 본 발명의 자기조립형 이방성 주름패턴의 형성방법에 의하면, 다양한 재질의 기판 위에 목적하는 주름패턴을 복잡한 추가공정 없이 대면적으로 손쉽게 형성할 수 있다.

Description

자기조립형 이방성 주름패턴을 형성하는 방법 {METHOD FOR FORMING SELF-ORGANIZED ANISOTROPIC WRINKLE STRUCTURES}
본 발명은 다양한 재질의 기판 위에 자기조립형 이방성 주름패턴을 대면적으로 손쉽게 형성하는 방법에 관한 것이다.
현대 기술사회가 발전할수록 정보저장, 디스플레이(광학), 마이크로전기기계적 시스템(MEMS, microelectromechanical system), 센서 등의 디바이스의 고기능화나 새로운 디바이스의 개발에 대한 수요가 크게 증가하고 있으며, 이에 따라 마이크로/나노 크기의 미세패턴을 만드는 새로운 방법에 대한 연구도 활발하게 이루어지고 있다.
마이크로/나노 크기의 구조물이나 패턴을 제작하는 기술로는 매크로 스케일의 재료를 기계적 또는 화학적인 방법으로 깎아서 식각 가공하는 방법을 통해 원하는 크기의 형상을 만드는 탑-다운(top-down) 방식이 일반적이지만, 패턴을 만들기 위한 재료의 낭비가 과도하고 고정밀도의 포토마스크 또는 요철구조의 임프린트용 몰드와 같은 부가적인 장치가 필요로 된다는 단점이 있다.
이에, 이러한 방법에 대한 대안으로, 분자간의 자기조립법(self-assembly)이나 자연계에 존재하는 주기적인 주름과 같은 현상을 이용하여 간편하게 저비용으로 미세구조를 형성할 수 있는 바텀-업(bottom-up) 접근법의 새로운 패터닝(patterning) 방법이 제안되고 있다.
박막 표면에 발생하는 주름 모양의 패턴은 표면의 얇은 상층막과 하부 기판의 계면에서 발생하는 물리적 성질의 차이에 의해 발생하는 것으로, 용매(solvent)에 의한 팽윤 유도 주름화(swelling induced wrinkling), 표면에 이종박막을 도포하는 이중막 유도 주름화(bi-layer induced wrinkling), 그리고 이종박막의 도포 없이 플라즈마에 의한 표면개질을 이용한 플라즈마 유도 주름화(plasma induced wrinkling) 등의 방법이 있다.
이때, 발생된 주름패턴의 크기와 형태는 주어진 물성에 따라 일정한 값을 가지며, 패턴의 방향은 박막의 응력 분포에 따라 결정된다. 주름패턴의 방향을 제어하는 방법으로는 연질의 하부기판을 미리 늘려서 응력 분포를 제어하는 예비-변형 조절(pre-strain control)법이 일반적이며, 이러한 예비-변형 조절법에 따라 미세패턴의 방향성을 제어하는 모식도를 도 1에 나타내었다. 그러나, 이러한 예비-변형 조절법은 하부기판이 반드시 폴리디메틸실록산(PDMS)과 같은 연질 재질이어야 하며, 대면적 기판 상에 균일한 응력 상태를 만들기가 어렵다는 단점이 있다. 또한, PDMS와 같은 연질 재질의 기판은 그 광학적, 기계적 특성이 만족할 만한 수준에 미치지 못하기 때문에 다양한 분야에 직접 적용하기에는 어려움이 따른다.
따라서, 본 발명의 목적은 기존의 예비-변형 조절법 대신에, 일반적인 유리기판 위에도 패턴을 형성할 수 있으며 복잡한 추가공정 없이 목적하는 주름패턴을 대면적으로 손쉽게 형성하는 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은
분자정렬된 이방성 재료층의 표면을 플라즈마 또는 UV오존 처리하여 이방성 박막을 형성함으로써 상기 이방성 재료층의 분자배향 방향과 일치하는 방향의 주름을 발생시키는 것을 포함하는, 자기조립형 이방성 주름패턴의 형성방법을 제공한다.
본 발명의 방법에 의하면, 유리기판, 플라스틱기판과 같은 다양한 재질의 기판 위에 목적하는 주름패턴을 대면적으로 손쉽게 형성할 수 있다. 또한, 본 발명의 방법은 자기조립형 패턴형성법이므로 고정밀도의 포토마스크 또는 요철구조의 임프린트용 몰드와 같은 부가적인 장치가 필요 없어 공정이 매우 간단하다는 장점을 갖는다. 따라서, 이러한 본 발명의 방법은 디스플레이 또는 태양광전지 등의 광학부품, 예를 들면, 디퓨저(diffuser), 프리즘(prism), 렌티큘러 필름(lenticular film), 광학 그레이팅(optical grating) 등의 제조, 마이크로유체(micro-fluidics)용 채널의 형성, 및 기타 라인-앤드-스페이스(line-and-space) 패턴이 사용될 수 있는 모든 디바이스의 제작에 유용하게 응용될 수 있다.
도 1은 통상적인 예비-변형 조절법에 따라 미세패턴의 방향성을 제어하는 것을 모식도로서 나타낸 것이고,
도 2는 이방성 재료층의 분자배향 정도와 주름패턴의 방향성 간의 상관관계를 나타낸 사진이고 ((a): 무배향의 경우, (b): 배향의 경우),
도 3은 본 발명의 방법의 하나의 실시양태에 따라 목적하는 자기조립형 이방성 주름패턴을 형성하는 일련의 공정을 모식도로서 나타낸 것이고,
도 4는 실시예 1에서 형성된 자기조립형 이방성 주름패턴의 2D/3D 원자간력현미경(AFM) 이미지와 필름 두께에 따른 단면도이다.
본 발명에 따른 자기조립형 이방성 주름패턴의 형성방법은 이방성 재료의 분자정렬도를 제어한 후 그 위에 이방성 주름을 만드는 데에 기초하고 있는 것으로서, 분자정렬된 이방성 재료층의 표면을 플라즈마 또는 UV오존 처리하여 이방성 박막을 형성함으로써 상기 이방성 재료층의 분자배향 방향과 일치하는 방향의 주름을 발생시키는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 사용되는 이방성 재료층의 이방성 재료로는 이방성 분자구조를 갖는 액정폴리머(liquid crystal polymer)가 적합하다. 본 발명에 사용가능한 액정폴리머의 예로는 중합가능한 말단기를 함유하는 반응성 액정단량체 (reactive mesogen, RM) 용액 (RMS)을 들 수 있으며, 구체적으로 LC242 (BASF) 및 RMS03-001 (Merck) 등의 다양한 제품이 시판되고 있다.
본 발명에 따르면, 이방성 재료의 분자정렬은 이방성 재료를 분자배향 방향을 갖도록 표면처리된 배향막(alignment layer) 위에 코팅함으로써 달성될 수 있다. 즉, 준비된 배향막 위에 이방성 재료를 코팅하면 배향막의 배향방향에 따라 이방성 재료의 분자들이 정렬하게 되어 분자정렬된 이방성 재료층을 얻을 수 있다.
상기 분자배향 방향을 갖도록 표면처리된 배향막은 적절한 기판 위에 배향막 형성용 재료를 코팅하고 건조한 후 배향공정을 수행함으로써 얻어지는데, 상기 기판으로는 유리기판, 플라스틱기판을 비롯한 다양한 재질의 기판을 원하는 바에 따라 선택하여 사용할 수 있고, 배향막 형성용 재료의 구체적인 예로는 폴리이미드(PI), 폴리아미드산 및 이들의 혼합물을 들 수 있다.
상기 배향공정으로는 액정소자(LCD) 분야에서 통상적으로 사용되는 광배향법, 러빙(rubbing)법, 또는 임프린트(imprint) 기법을 적용한 미세패턴 배향법 등을 사용할 수 있다. 이들 중 러빙법은, 극세사가 코팅된 롤러를 고속회전시키면서 배향막 형성용 재료 표면을 브러싱함으로써 추후 액정 배향을 위한 미세 그루브(groove)를 형성하고 배향막 형성용 재료의 표면특성을 변화시킨다.
이렇게 만들어진 분자정렬된 이방성 재료층의 표면을 플라즈마 또는 UV오존으로 처리하게 되면 이방성 재료층 표면에 얇은 이방성 막이 형성되어 주름이 발생하고, 이때 주름의 방향은 이방성 재료층의 분자배향 방향과 일치하게 된다. 필요에 따라, 형성된 미세한 주름패턴은 UV 광선을 이용하여 경화시킬 수 있다. 이때, 플라즈마 또는 UV오존으로의 표면처리시간이 길어질수록 형성되는 이방성 주름패턴의 굴곡 높이가 높아지므로, 원하는 주름패턴에 맞게 표면처리시간을 조절할 수 있다.
이방성 재료층의 분자배향 정도(분자정렬도)와 주름패턴의 방향성 간의 상관관계를 하기 도 2에 나타내었다. 도 2에서 볼 수 있는바와 같이, (a)는 배향되지 않은(무배향된) 액정폴리머 상에 랜덤한 형태의 주름패턴이 형성된 경우이고, (b)는 배향된 액정폴리머 상에, 배향방향과 일치하는 방향의 1차원 라인패턴이 형성된 경우이다.
이와 같은 본 발명 방법의 하나의 실시양태에 따라 목적하는 자기조립형 이방성 주름패턴을 형성하는 일련의 공정을 모식도로서 도 3에 나타내었다.
이와 같이, 본 발명의 방법에 의하면, 유리기판, 플라스틱기판과 같은 다양한 재질의 기판 위에 목적하는 주름패턴을 대면적으로 손쉽게 형성할 수 있다. 또한, 본 발명의 방법은 자기조립형 패턴형성법이므로 고정밀도의 포토마스크 또는 요철구조의 임프린트용 몰드와 같은 부가적인 장치가 필요 없어 공정이 매우 간단하다는 장점을 갖는다. 따라서, 이러한 본 발명의 방법은 디스플레이 또는 태양광전지 등의 광학부품, 예를 들면, 디퓨저(diffuser), 프리즘(prism), 렌티큘러 필름(lenticular film), 광학 그레이팅(optical grating) 등의 제조, 마이크로유체(micro-fluidics)용 채널의 형성, 및 기타 라인-앤드-스페이스(line-and-space) 패턴이 사용될 수 있는 모든 디바이스의 제작에 유용하게 응용될 수 있다.
이하 실시예에 의하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다. 단, 하기의 실시예는 본 발명의 예시일 뿐 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
실시예 1
1) 먼저, 20m(가로)× 25m(세로) 크기의 유리기판 위에 폴리이미드(PI)를 코팅한 후 건조시켜 폴리이미드 박막을 형성하였다.
2) 극세사가 코팅된 롤러를 고속회전시키면서 폴리이미드 박막의 표면을 브러싱하여(러빙공정), 추후 액정 배향을 위해 미세 그루브(groove)가 형성되고 표면특성이 변화된 폴리이미드 배향막을 얻었다.
3) 준비된 배향막 위에 액정폴리머 RMS03-001C (Merck)를 2500rpm/20sec의 조건으로 스핀코팅하여, 배향막의 배향방향에 따라 분자정렬된 액정폴리머층을 얻었다.
4) 이렇게 만들어진 분자정렬된 액정폴리머층의 표면을 플라즈마로 100초 동안 처리하여 액정폴리머층의 분자배향 방향과 일치하는 방향의 자기조립형 이방성 주름패턴을 형성하였다.
5) 형성된 주름패턴을 UV 광선을 이용하여 경화시켰다.
상기 실시예 1에서 형성된 자기조립형 이방성 주름패턴의 2D/3D 원자간력현미경(atomic force microscope) 이미지와 필름 두께에 따른 단면도를 도 4에 나타내었다.
도 4로부터 알 수 있듯이, 만들어진 이방성 주름패턴의 형태는 러빙 방향과 일치하는 1차원 형태의 라인-앤드-스페이스 패턴을 나타내었으며, 그 단면의 형상은 코팅된 필름의 두께에 따라 사인(sine)파 또는 반사인(half-sine)파 형태의 렌티큘러 형상을 나타내었다. 따라서, 이러한 제어가능한 단면의 형상을 활용하여 광학부품, 예를 들면, 디퓨저, 프리즘, 렌티큘러 필름, 광학 그레이팅 등을 제조하고, 마이크로유체용 채널을 형성하고, 기타 라인-앤드-스페이스 패턴이 사용될 수 있는 모든 디바이스를 제작할 수 있음을 예상할 수 있다.

Claims (7)

  1. 이방성 재료를 분자배향 방향을 갖도록 표면처리된 배향막 위에 코팅하여 얻은, 분자정렬된 이방성 재료층의 표면을 플라즈마 또는 UV오존 처리하여 이방성 박막을 형성함으로써 상기 이방성 재료층의 분자배향 방향과 일치하는 방향의 주름을 발생시키는 것을 포함하는, 자기조립형 이방성 주름패턴의 형성방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 이방성 재료층의 이방성 재료가 액정폴리머(liquid crystal polymer)인 것을 특징으로 하는, 자기조립형 이방성 주름패턴의 형성방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 액정폴리머가 반응성 액정단량체(reactive mesogen, RM) 용액인 것을 특징으로 하는, 자기조립형 이방성 주름패턴의 형성방법.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 분자배향 방향을 갖도록 표면처리된 배향막이, 기판 위에 배향막 형성용 재료를 코팅하고 건조한 후 배향공정을 수행하여 얻어진 것임을 특징으로 하는, 자기조립형 이방성 주름패턴의 형성방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 배향막 형성용 재료가 폴리이미드(PI), 폴리아미드산(PA), 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는, 자기조립형 이방성 주름패턴의 형성방법.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 배향공정이, 광배향법, 러빙(rubbing)법 또는 임프린트(imprint)법에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는, 자기조립형 이방성 주름패턴의 형성방법.
KR1020100119617A 2010-11-29 2010-11-29 자기조립형 이방성 주름패턴을 형성하는 방법 KR101176490B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100119617A KR101176490B1 (ko) 2010-11-29 2010-11-29 자기조립형 이방성 주름패턴을 형성하는 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100119617A KR101176490B1 (ko) 2010-11-29 2010-11-29 자기조립형 이방성 주름패턴을 형성하는 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120058019A KR20120058019A (ko) 2012-06-07
KR101176490B1 true KR101176490B1 (ko) 2012-08-23

Family

ID=46609715

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100119617A KR101176490B1 (ko) 2010-11-29 2010-11-29 자기조립형 이방성 주름패턴을 형성하는 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101176490B1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101631968B1 (ko) 2015-04-28 2016-06-20 부산대학교 산학협력단 마이크로 표면 주름을 갖는 구조체의 제조 장치 및 방법
KR101682556B1 (ko) 2016-02-03 2016-12-05 부산대학교 산학협력단 금속체의 마이크로 표면 주름 제조 방법
KR102280152B1 (ko) 2020-03-17 2021-07-20 충남대학교산학협력단 다방향 표면 미세구조물 제작 방법 및 장치

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101476642B1 (ko) * 2013-09-13 2014-12-26 주식회사 케이씨텍 액정 표시 장치의 배향막 표면 처리 방법 및 이를 이용한 장치
CN112985661A (zh) * 2019-12-13 2021-06-18 天津大学 一种基于人体表皮结构的电子皮肤及其制备方法和应用
CN113004554B (zh) * 2019-12-20 2022-09-23 中国科学院理化技术研究所 具有湿度响应特质及良好柔韧性的微纳米褶皱形貌薄膜及其制备方法和应用

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100730294B1 (ko) 2006-05-25 2007-06-19 김진열 자기조립 리소그래피 회로형성 방법, 상기 방법으로 제조된회로 및 상기 회로의 응용
US20080026329A1 (en) * 2006-07-26 2008-01-31 Ashkan Vaziri Surface modification of polymer surface using ion beam irradiation

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100730294B1 (ko) 2006-05-25 2007-06-19 김진열 자기조립 리소그래피 회로형성 방법, 상기 방법으로 제조된회로 및 상기 회로의 응용
US20080026329A1 (en) * 2006-07-26 2008-01-31 Ashkan Vaziri Surface modification of polymer surface using ion beam irradiation

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101631968B1 (ko) 2015-04-28 2016-06-20 부산대학교 산학협력단 마이크로 표면 주름을 갖는 구조체의 제조 장치 및 방법
KR101682556B1 (ko) 2016-02-03 2016-12-05 부산대학교 산학협력단 금속체의 마이크로 표면 주름 제조 방법
KR102280152B1 (ko) 2020-03-17 2021-07-20 충남대학교산학협력단 다방향 표면 미세구조물 제작 방법 및 장치

Also Published As

Publication number Publication date
KR20120058019A (ko) 2012-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101176490B1 (ko) 자기조립형 이방성 주름패턴을 형성하는 방법
Wu et al. Harnessing dynamic wrinkling surfaces for smart displays
CN102262255B (zh) 图案化相位延迟膜及其制造方法
JP2008529053A (ja) 伝導性層のパターニング方法、それを用いた偏光素子の製造方法、およびその方法によって製造された偏光素子
WO2007097454A1 (ja) 微細凹凸形状を有するフィルム、およびその製造方法
JP5245366B2 (ja) 偏光板およびその製造方法
WO2008086116A3 (en) Roll-to-roll method and system for micro-replication of a pattern of large relief three-dimensional microstructures
Hsueh et al. Macroscopic geometry-dominated orientation of symmetric microwrinkle patterns
CN102262256B (zh) 图案化相位延迟膜及其制造方法
de Haan et al. On‐Demand Wrinkling Patterns in Thin Metal Films Generated from Self‐Assembling Liquid Crystals
Kim et al. Effect of surface tension and coefficient of thermal expansion in 30 nm scale nanoimprinting with two flexible polymer molds
Kim et al. One-step fabrication of hierarchical multiscale surface relief gratings by holographic lithography of azobenzene polymer
Junisu et al. Surface wrinkling on polymer films
Zhao et al. Generation of various wrinkle shapes on single surface by controlling thickness of weakly polymerized layer
JP2011224916A (ja) ナノバックリング形状を有する表面微細凹凸体の製造方法、表面微細凹凸体、工程シート原版、及び光学素子の製造方法。
JP2011213053A (ja) 原版シートの製造方法および凹凸パターン転写シートの製造方法
CN102401924B (zh) 图案化相位延迟膜及其制造方法
Park et al. Effective formation of hierarchical wavy shapes using weak photopolymerization and gradual thermal curing process
Engel et al. Thermoplastic nanoimprint lithography of electroactive polymer poly (vinylidene fluoride-trifluoroethylene-chlorofluoroethylene) for micro/nanoscale sensors and actuators
Zhao et al. Effect of substrate reflecting conditions on the curing of UV curable resin layers on aluminum and the formation of surface wavy structures
de Haan et al. Contactless control of local surface buckling in photoaligned gold/liquid crystal polymer bilayers
US8580065B2 (en) Method for creating a diffractive optical effect on a target surface and a transfer foil of a diffractive optical element
Park et al. Multimodal Wrinkle Micro‐Nanoarchitectonics by Patterned Surface Material Properties for Transformative Structural Coloration
JP5317107B2 (ja) 書き換え可能な液晶配向表面と配向記憶の評価法
KR102280152B1 (ko) 다방향 표면 미세구조물 제작 방법 및 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150730

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160212

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170724

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190902

Year of fee payment: 8