KR101176359B1 - 코팅장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 코팅장치에 관한 것으로서, 원반형 내부공간(10a)을 갖는 진공챔버(10); 상기 진공챔버(10) 내에서 제자리 축 회전되며 그 표면상에 피코팅물(p)을 취부하는 원판 형상의 지그(20); 및 상기 축 회전되는 지그(20)의 피코팅물(p)에 코팅을 수행하기 위해 상기 진공챔버(10) 상에 설치되는 코팅소스(30)를 포함하여 구성된다. 따라서, 진공챔버의 진공상태인 내부공간이 원반 형상이 되도록 하고 이 내부공간에 배치되는 지그도 원판 형상으로 구성하며 챔버의 원주방향을 따라 복수의 코팅소스를 배치하고 이에 대응되는 지그의 표면에 원주방향을 따라 복수의 피코팅물을 부착시켜 지그가 고속으로 제자리 축 회전되는 동안 피코팅물에 대해 반복 코팅이 이루어지도록 함으로써, 기본적으로, 코팅작업에 필요한 공간이 최소화되면서 장치 구성에 따른 비용절감은 물론 공간 확보가 유리하게 되며, 지그의 고속 회전을 통한 반복적인 코팅에 의해 초박막 다층코팅물을 용이하게 얻을 수 있게 되고, 또한, 코팅소스 사이에 온도유지모듈을 설치하여 코팅온도의 편차를 줄일 수 있도록 함으로써, 신뢰성 높은 균질의 코팅막을 형성할 수 있게 되는 등의 효과를 얻는다.

코팅장치, 초박막, 저온코팅, 코팅균일도, 온도유지모듈

Description

코팅장치{Coating apparatus}

본 발명은 코팅장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공챔버를 원반형 고정벽체와 가동벽체로 분리 구성하되 이들의 결합에 의해 형성된 내부공간이 원반 형상이 되도록 하고 이 내부공간에 배치되는 지그도 원판 형상으로 구성하며 챔버의 원주방향을 따라 복수의 코팅소스를 배치하고 이에 대응되는 지그의 표면에 원주방향을 따라 복수의 피코팅물을 부착시켜 지그가 고속으로 제자리 축 회전되는 동안 피코팅물에 대해 반복 코팅이 이루어지도록 하는 코팅장치에 관한 것이다.

일반적으로 스퍼터(Sputter)는 스퍼터링 방식으로 박막을 제조하는 장치를 말한다. 스퍼터에서의 박막 증착 과정은 다음과 같다. 반응실(이하, 챔버라 함)의 일측에 재료 물질인 타겟을 배치하고 그 반대측에는 피코팅물(기판)을 배치한 후 진공 상태에서 불활성 가스(아르곤 등)를 주입하면서 타겟과 기판 사이에 전압을 인가하면 챔버 내의 아르곤 입자가 이온화되고 전압에 의해 가속되어 타겟에 강하게 부딪히게 된다. 이와 같은 아르곤 이온의 타격에 의해 타겟의 표면이 박리되어 튀어 나오면서 반대편에 있는 피코팅물 표면에 증착되어 박막을 형성하게 되는 것이다.

종래 스퍼터를 이용한 박막형성 방법은 크게 인라인 스퍼터와 원통형 스퍼터로 대별할 수 있으며, 이들에 대해 대략적으로 살펴보면 다음과 같다.

일례로, 인라인 스퍼터는 로딩챔버와 게이트밸브를 통해 피코팅물 지그를 장입하고 진공을 만들어 피코팅물을 진공의 파기 없이 코팅쳄버로 이송시키고, 코팅쳄버에서 일정속도로 피코팅물을 수평 이송시키면서 이 피코팅물에 코팅을 수행하며, 언로딩쳄버와 게이트밸브를 통해 코팅된 피코팅물 지그를 코팅쳄버의 진공파기 없이 외부로 빼낼 수 있도록 하는 구조로 되어 있다.

또한, 원통형 스퍼터는 원통 형상의 피코팅물 지그의 외주면을 따라 피코팅물을 설치하고 이 피코팅물의 직경 방향을 따라 일정거리 이격된 위치에 코팅소스를 설치한 후 지그회전축을 통해 피코팅물을 회전시키면서 코팅을 수행하도록 되어 있다.

그러나, 위와 같은 종래 기술의 인라인 스퍼터는 코팅과 냉각(또는 가열)을 반복하기 위해서는 그 만큼 긴 거리의 장치 구조물이 필요하기 때문에, 수차례의 코팅 단계를 반복 수행하기 위한 장치를 설치하기는 현실적으로 어려울 뿐만 아니라 그 하드웨어의 구성에 따른 비용도 상당히 많이 소요될 우려가 있고, 또한, 선형 레일을 따라 이송시키는 구조이기 때문에 고속 이송이 어렵게 되는 등의 문제점을 갖고 있었다.

그리고, 원통형 스퍼터는 지그가 원통형인데 비해 피코팅물은 보편적으로 일정 면적을 가지는 기판인 경우가 대부분이기 때문에, 구조적으로 피코팅물의 중심과 가장자리의 코팅 균일도를 맞출 수 없게 되어 코팅의 균일성이 떨어지게 되는 등의 문제점을 갖고 있었다.

본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 진공챔버를 원반형 고정벽체와 가동벽체로 분리 구성하되 이들의 결합에 의해 형성된 내부공간이 원반 형상이 되도록 하고 이 내부공간에 배치되는 지그도 원판 형상으로 구성하며 챔버의 원주방향을 따라 복수의 코팅소스를 배치하고 이에 대응되는 지그의 표면에 원주방향을 따라 복수의 피코팅물을 부착시켜 지그가 고속으로 제자리 축 회전되는 동안 피코팅물에 대해 반복 코팅이 이루어지도록 함으로써,

기본적으로, 코팅작업에 필요한 공간이 최소화되면서 장치 구성에 따른 비용절감은 물론 공간 확보가 유리하게 되며, 지그의 고속 회전을 통한 반복적인 코팅 에 의해 초박막 다층코팅물을 용이하게 얻을 수 있게 되는 코팅장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

또한, 코팅소스 사이에 온도유지모듈을 설치하여 코팅온도의 편차를 줄일 수 있도록 함으로써, 신뢰성 높은 균질의 코팅막을 형성할 수 있게 되는 코팅장치를 제공하는데 다른 목적이 있다.

이러한 목적을 달성하기 위해 안출된 본 발명의 코팅장치는 내부공간을 갖는 진공챔버; 상기 진공챔버 내에서 제자리 축 회전되며 그 표면상에 피코팅물을 취부하는 지그; 및 상기 진공챔버 상에 설치되며, 상기 축 회전되는 지그의 피코팅물에 코팅될 코팅 물질의 공급원이 되는 코팅소스를 포함하여 구성된다.

또한, 본 발명에 따른 코팅장치에 있어서, 상기 진공챔버는 제자리에 고정되어 있는 고정벽체와, 이 고정벽체와 결합되어 내부공간을 형성하는 가동벽체로 이루어지고, 상기 가동벽체는 상기 고정벽체에 대해 상대 이동이 가능하도록 된 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따른 코팅장치에 있어서, 상기 각 벽체는, 베이스 상에서 직립되고 상기 코팅소스가 장착되어 이 코팅소스의 일측면이 내측의 지그를 향해 노출되도록 하는 장착공이 형성된 원판 형상의 본체; 상기 본체의 테두리 전체에 대해 서로 마주보는 방향으로 직각 돌출되는 진공벽체; 및 상기 진공벽체의 하단부를 떠받쳐 본체를 직립 지지하는 지지대를 포함하여 구성된 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따른 코팅장치에 있어서, 상기 가동벽체의 지지대 저면에 슬라이더가 마련되고, 이에 대응되는 베이스 상에 상기 슬라이더가 슬라이딩 안내되도록 하는 슬라이딩레일이 마련된 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따른 코팅장치에 있어서, 상기 각 벽체의 본체 상에 내부를 확인할 수 있도록 하는 투시창이 더 구비된 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따른 코팅장치에 있어서, 상기 각 벽체의 본체 외측면에 이 본체를 보강하기 위한 보강부재가 더 구비된 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따른 코팅장치에 있어서, 상기 보강부재는 본체의 테두리에서 중심으로 갈수록 상향 경사지고 외측으로 직립 돌출된 리브 형상으로 된 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따른 코팅장치에 있어서, 상기 보강부재는 본체의 원주 방향을 따라 복수개가 형성된 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따른 코팅장치에 있어서, 상기 보강부재는 일정 개수씩 묶음 형상으로 되어 이들 일단부가 서로 연결되고 각 타단부가 외측으로 벌어지는 부채살 구조로 된 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따른 코팅장치에 있어서, 상기 코팅소스는 본체의 원주방향을 따라 등 간격을 이루고 복수개가 설치되는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따른 코팅장치에 있어서, 상기 복수개의 코팅소스 사이인 본체의 내측면에 코팅 중인 피코팅물의 온도를 일정하게 유지시키기 위한 온도유지모듈이 더 구비된 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따른 코팅장치에 있어서, 상기 온도유지모듈은, 상기 본체 의 내측면에 부착 설치되는 모듈본체; 상기 모듈본체에 일단부가 연결되고 그 타단부가 본체의 외부로 노출되는 매체순환라인; 및 상기 외부로 노출된 매체순환라인과 연결되고 이 매체순환라인을 통해 모듈본체로 온도유지매체를 순환시키는 매체수환수단을 포함하여 구성된 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따른 코팅장치에 있어서, 상기 매체순환라인이 본체를 관통하여 외부로 노출되도록 하기 위해 본체의 일측부에 이 본체의 내, 외측으로 관통되는 관통공이 형성된 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따른 코팅장치에 있어서, 상기 코팅소스는 양 챔버의 본체에 각각 설치되고, 이에 대응되는 지그의 양측 표면에 각각 피코팅물이 부착되어 코팅이 이루어지는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따른 코팅장치에 있어서, 상기 코팅소스가 위치해 있는 본체의 내측 벽면에 부채꼴 형상의 관통공이 형성된 마스크가 부착된 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따른 코팅장치에 있어서, 상기 코팅소스는 스퍼터링 캐소드나 아크증발 캐소드를 사용하거나 또는 스퍼터링 캐소드와 아크증발 캐소드를 혼용하여 사용하는 것이 바람직하다.

이상에서와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅장치는 진공챔버를 원반형 고정벽체와 가동벽체로 분리 구성하되 이들의 결합에 의해 형성된 내부공간이 원반 형상이 되도록 하고 이 내부공간에 배치되는 지그도 원판 형상으로 구성하며 챔버의 원주방향을 따라 복수의 코팅소스를 배치하고 이에 대응되는 지그의 표면에 원주방향을 따라 복수의 피코팅물을 부착시켜 지그가 고속으로 제자리 축 회전되는 동안 피코팅물에 대해 반복 코팅이 이루어지도록 함으로써, 기본적으로, 코팅작업에 필요한 공간이 최소화되면서 장치 구성에 따른 비용절감은 물론 공간 확보가 유리하게 되며, 지그의 고속 회전을 통한 반복적인 코팅에 의해 초박막 다층코팅물을 용이하게 얻을 수 있게 되는 효과를 얻는다.

또한, 코팅소스 사이에 온도유지모듈을 설치하여 코팅온도의 편차를 줄일 수 있도록 함으로써, 신뢰성 높은 균질의 코팅막을 형성할 수 있게 되는 등의 효과를 얻는다.

상기와 같은 구성을 가지는 본 발명을 다음의 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 한다.

도 1 내지 도 6에서 나타낸 것과 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅장치는 내부공간(10a)을 갖는 진공챔버(10)와, 이 진공챔버(10) 내에서 제자리 축 회전되며 그 표면상에 피코팅물(p)을 취부하는 지그(20) 및 상기 진공챔버(10) 상에 설치되며 상기 축 회전되는 지그(20)의 피코팅물(p)에 코팅될 코팅 물질의 공급원이 되는 코팅소스(30)를 포함하는 구성으로 되어 있다.

여기서, 상기 진공챔버(10)는 제자리에 고정되어 있는 고정벽체(11)와, 이 고정벽체(11)와 결합되어 내부공간(10a)을 형성하는 가동벽체(12)로 이루어지고, 상기 가동벽체(12)는 상기 고정벽체(11)에 대해 상대 이동이 가능하도록 되어 있 다.

이를 보다 상세히 설명하면, 상기 각 벽체(11,12)는 베이스(5) 상에서 직립되고 상기 코팅소스(30)가 장착되어 이 코팅소스(30)의 일측면이 내측의 지그(20)를 향해 노출되도록 하는 장착공(11a1,12a1)이 형성된 원판 형상의 본체(11a,12a)와, 이 본체(11a,12a)의 테두리 전체에 대해 서로 마주보는 방향으로 일정길이 직각 돌출되는 원형띠 형상의 진공벽체(11b,12b) 및 이 진공벽체(11b,12b)의 하단부를 떠받쳐 본체(11a,12a)를 직립 지지하는 지지대(11c,12c)를 포함하여 구성된다.

여기서, 상기 진공챔버(10)의 내부공간(10a)은 양측의 진공벽체(11b,12b)가 서로 맞닿아 밀착되면서 그 사이에 형성되는 공간이므로, 진공챔버(10)의 내부공간(10a)의 크기를 변경할 필요가 있는 경우에는 상기 진공벽체(11b,12b)의 폭 길이를 변경시키면 된다.

그리고, 상기 지지대(11c,12c)는 원판 형상의 본체(11a,12a)를 각각 안정적으로 떠받칠 수 있도록 지지대(11c,12c)의 하단부는 베이스(5) 상면에 밀착되는 평면 구조로 되고, 그 상단부는 원판 형상의 본체(11a,12a) 저면을 감쌀 수 있도록 하는 원호 구조로 됨이 바람직할 것이다.

그리고, 상기 가동벽체(12)의 지지대(12c) 저면에는 슬라이더(41)가 마련되고, 이에 대응되는 베이스(5) 상에는 상기 슬라이더(41)가 슬라이딩 안내되도록 하는 슬라이딩레일(42)이 마련되어 있다.

여기서, 상기 슬라이딩레일(42)은 길다란 사각막대 형상으로 하고, 이에 대응되는 슬라이더(41)는 상기 슬라이딩레일(42) 상부를 감싸 안정적으로 슬라이딩되 도록 하는 디귿자 형상으로 형성하는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 각 벽체(11,12)의 본체(11a,12a) 상에는 작업자가 내부공간(10a)을 육안으로 확인할 수 있도록 하는 복수의 투시창(11d,12d)이 마련되어 있다.

그리고, 상기 각 벽체(11,12)의 본체(11a,12a) 외측면에는 이 본체(11a,12a)를 보강하기 위한 보강부재(11e,12e)가 구비되어 있으며, 이 보강부재(11e,12e)는 본체(11a,12a)의 테두리에서 중심으로 갈수록 상향 경사지고 외측으로 직립 돌출된 리브 형상으로 되어 있다.

특히, 상기 보강부재(11e,12e)는 본체(11a,12a)의 원주 방향을 따라 복수개가 형성되되, 이 보강부재(11e,12e)들은 일정 개수씩 묶음 형상으로 되어 본체(11a,12a)의 중심축을 향하는 이들의 일단부가 서로 연결되고 각각의 타단부는 외측으로 벌어지는 부채살 구조로 형성되어 있다.

이러한 본 발명의 진공챔버(10)의 내부공간(10a) 폭 넓이는 대략 10mm ~ 300mm로 구성함이 바람직할 것이다.

상기 지그(20)는 진공챔버(10)의 내부공간(10a) 내부에 배치되고 그 외표면에 피코팅물(p)이 설치되는 원판 형상으로, 그 중심에는 지그회전축(21)이 마련되어 본체(12a)의 외부로 노출된 상태에서 회전모터(25)와 연결되어 있다.

여기서, 상기 피코팅물(p)은 지그(20)의 표면에 별도의 접착재(미도시)를 통해 접착시키거나, 또는, 그밖에 다양한 고정수단을 통해 고정시킬 수 있을 것이다.

상기 코팅소스(30)는 본체(11a,12a)의 외측면에 배치된 상태에서 그 일측면 이 본체(11a,12a)의 장착공(11a1,12a1)을 관통하여 본체(11a,12a) 내측의 지그(20)를 향해 노출되는 구조로 되어 있다.

여기서, 상기 본체(11a,12a)와 코팅소스(30) 사이가 긴밀하게 실링되도록 하여 내부공간(10a)과 외부 간을 진공 차단하도록 함은 당연할 것이다.

상기 진공 차단 방법으로는 본체(11a,12a)의 장착공(11a1,12a1)에 코팅소스(30)를 장착하고 이 코팅소스(30)의 테두리를 실링하는 방법도 있고, 또는, 미리 본체(11a,12a)의 장착공(11a1,12a1)에 오링 등의 실링부재를 설치한 후 코팅소스(30)를 오링의 테두리로 가압 장착하여 그 테두리가 견고히 실링되도록 하는 방법 등 긴밀하게 실링이 이루어지도록 하는 범위 내에서 다양한 실링방법을 적용할 수 있을 것이다.

여기서, 상기 코팅소스(30)는 피코팅물에 코팅하고자 하는 물질을 발생시키는 장치를 말한다.

스퍼터나 진공아크증착처럼 고체 타겟을 사용하는 경우에는, 코팅소스(30)는 코팅물질의 재질을 포함하고 코팅대상물을 향해서 배치하는 타겟과, 이 타겟 상에 플라즈마를 형성시키기 위한 전극 구조물과, 이 전극 구조물을 절연하고 진공쳄버에 접지하여 부착시킬 수 있는 전극구조물 하우징과, 상기 전극 구조물에 전원을 인가하기 위한 구성 등을 포함한다.

이와 같이 타겟, 전극구조물, 전극구조물 절연 하우징 및 전원 인가 관련 구성 등을 포함하는 어셈블리를 코팅소스(30)라고 일반적으로 칭하고 있으며, 코팅 장치의 구조, 코팅 방식 등에 따라 다양한 코팅소스가 이용되고 있다.

코팅소스(30)는 스퍼터나 진공아크증발장치의 경우는 코팅물질의 공급을 동일 재질을 포함한 고체 타겟을 사용하지만, 플라즈마화학증착(PECVD)의 경우는 코팅소스에 타겟이 없고 대신 코팅물을 포함한 기체를 플라즈마화해서 코팅소스를 구성할 수 있다.

그리고, 상기 코팅소스(30)는 본체(11a,12a)의 원주방향을 따라 등 간격을 이루고 복수개(동일 종류 또는 다른 종류도 가능)가 설치되어 있다.

이러한 상기 코팅소스(30)는 양 챔버(11,12)의 본체(11a,12a)에 각각 설치되고, 이에 대응되는 지그(20)의 양측 표면에도 각각 피코팅물(p)이 부착되어 코팅이 이루어지도록 하며, 상기 코팅소스(30)로는 스퍼터링 캐소드나 아크증발 캐소드를 사용하거나 또는 스퍼터링 캐소드와 아크증발 캐소드를 혼용하여 사용하는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 복수개의 코팅소스(30) 사이인 본체(11a,12a)의 내측면에는 코팅 중인 피코팅물(p)의 온도를 조절 및 유지시키기 위한 온도유지모듈(50)이 설치될 수 있다.

여기서, 상기 온도유지모듈(50)이 설치되지 않을 경우에는 코팅소스(30) 사이의 공간을 경유하는 동안 피코팅물(p)은 자연 냉각에 의한 냉각효과를 얻을 수 있을 것이다.

이러한 상기 온도유지모듈(50)은 본체(11a,12a)의 내측면에 부착 설치되는 모듈본체(51)와, 이 모듈본체(51)에 일단부가 연결되고 그 타단부가 본체(11a,12a)의 외부로 노출되는 매체순환라인(52) 및 이 외부로 노출된 매체순환라인(52)과 연 결되고 이 매체순환라인(52)을 통해 모듈본체(51)로 온도유지매체를 순환시키는 매체수환수단(53)을 포함하여 구성된다.

그리고, 상기 매체순환라인(52)이 본체(11a,12a)를 관통하여 외부로 노출되도록 하기 위해 본체(11a,12a)의 일측부에는 이 본체(11a,12a)의 내, 외측으로 관통되는 관통공(11f,12f)이 형성되어 있다.

여기서, 상기 온도유지모듈(50)은 냉각모듈과 히터모듈을 적절하게 선택 적용할 수 있을 것이다.

미 설명부호 60은 진공챔버(10)의 내부공간(10a)을 진공상태로 만들기 위한 진공펌프를 나타낸 것이고, 62는 상기 내부공간(10a)의 진공도를 정확하게 유지시키기 위한 스로틀밸브를 나타낸 것이며, 70은 가동벽체(12)의 슬라이더(41)가 베이스(5)의 슬라이딩레일(42)을 따라 슬라이딩되도록 구동 안내하는 구동모터를 나타낸 것이다.

그리고, 상기 코팅소스(30)가 위치해 있는 본체(11a,12a)의 내측 벽면에는 상기 지그(20)가 축 회전되면서 코팅되는 방식에 의해 중심측은 코팅막이 두꺼워지고 외측으로 갈수록 코팅막이 얇아지는 것을 방지하기 위해 부채꼴 형상의 관통공(81)이 형성된 마스크(80)가 구비되어 있다.

이러한 구성에 따른 본 발명의 일 실시예인 코팅장치를 통한 코팅작업 과정을 살펴보면, 우선 구동모터(70)를 작동시켜 가동벽체(12)를 고정벽체(11)로부터 이격시킨 후 지그(2) 양 표면의 동심원상인 원주 방향을 따라 복수개의 피코팅물(p)을 부착시키고 나서 다시 가동벽체(12)를 원 상태로 복귀시켜 고정벽체(11)와 의 사이에서 진공상태를 유지하는 소정의 내부공간(10a)을 형성시킨다.

그런 다음, 내부공간(10a)의 피코팅물(p)과 코팅소스(30) 사이로 반응가스(아르곤 등)를 주입하는 동시에 이들 사이로 전압을 인가하여 반응가스가 이온화되도록 한 후, 지그회전축(21)을 통해 지그(20)를 회전시키면 이 지그(20) 표면상의 피코팅물(p)은 축 회전되는 동안 코팅소스(30)와 마주보는 위치에서는 코팅이 이루어지고, 이 코팅소스(30)를 벗어나는 위치에서는 냉각이 이루어지며, 다시 코팅소스(30) 위치에서 코팅이 이루어지는 과정을 반복하면서 다층의 초박막 코팅층을 얻을 수 있게 되는 것이다.

그리고, 코팅공정 중에 매 주기마다 코팅온도의 편차를 최소화하여 균질의 코팅막을 얻고자 할 경우에는 상기 코팅소스(30)들 사이의 본체(11a,12a) 내측 벽면에 별도의 온도유지모듈(50)을 설치하여 피코팅물(p)의 온도를 관리할 수 있을 것이다.

이렇게 코팅 작업을 수행하는 동안 투시창(11d,12d)을 통해서는 내부의 상황을 육안으로 파악할 수 있으며, 또한, 스로틀밸브(62)를 통해 내부공간(10a)의 진공도를 최적으로 유지하면서 원활한 코팅 작업을 수행할 수 있게 되는 것이다.

한편, 본 발명은 상기 지그(20)가 축 회전되면서 코팅되는 방식이기 때문에, 중심측은 코팅막이 두꺼워지고 외측으로 갈수록 코팅막이 얇아지게 될 가능성이 있는데, 코팅소스(30)가 위치해 있는 본체(11a,12a)의 내측 벽면에 외측으로 갈수록 넓어지는 부채꼴 형상의 관통공(81)이 형성된 박막 구조의 마스크(80)를 부착하면 상기와 같은 불균일성을 해소하여 코팅 균일도를 유지할 수 있게 된다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 들어 설명하였으나, 상기 실시예를 기존의 공지기술과 단순히 주합 적용한 실시예는 물론 본 발명의 특허청구범위와 상세한 설명에서 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명을 단순 변형하여 이용할 수 있는 정도의 기술은 본 발명의 기술범위에 당연히 포함된다고 보아야 할 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅장치를 나타낸 개략 측면도이다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅장치 중 내부공간이 개방된 상태를 나타낸 개략 측면도이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅장치 중 가동벽체를 나타낸 개략 배면도이다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅장치 중 지그에 피코팅물이 부착된 상태를 나타낸 내부 개략도이다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅장치의 챔버에 코팅소스와 온도유지모듈이 설치된 상태를 나타낸 개략도이다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 코팅장치의 챔버 내측면에 온도유지모듈이 설치된 상태를 나타낸 요부 개략도이다.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **

5 : 베이스 10 : 진공챔버

11 : 고정벽체 11a : 본체

11a1 : 장착공 11b : 진공벽체

11c : 지지대 11d : 투시창

11e : 보강부재 11f : 관통공

12 : 가동벽체 12a : 본체

12a1 : 장착공 12b : 진공벽체

12c : 지지대 12d : 투시창

12e : 보강부재 12f : 관통공

20 : 지그 21 : 지그회전축

25 : 회전모터 30 : 코팅소스

41 : 슬라이더 42 : 슬라이딩레일

50 : 온도유지모듈 51 : 모듈본체

52 : 매체순환라인 53 : 매체순환수단

60 : 진공펌프 62 : 스로틀밸브

70 : 구동모터 80 : 마스크

81 : 관통공 p : 피코팅물

Claims (16)

1. 제자리에 고정되어 있는 고정벽체(11)와, 상기 고정벽체(11)에 대해 상대 이동이 가능하도록 상기 고정벽체(11)와 결합되는 가동벽체(12)를 포함하고, 상기 고정벽체(11)와 상기 가동벽체(12) 사이에 내부공간(10a)을 형성하는 진공챔버(10);

   상기 진공챔버(10) 내에서 제자리 축 회전되며 그 표면상에 피코팅물(p)을 취부하는 지그(20);

   일측면이 내측의 상기 지그(20)를 향해 노출되도록 하는 장착공(11a1,12a1)이 형성된 원판 형상의 본체(11a,12a) 상에 장착되어, 상기 지그(20)의 피코팅물(p)에 코팅될 코팅 물질의 공급원이 되는 코팅소스(30); 및

   상기 코팅소스(30)는 상기 본체(11a,12a)의 원주방향을 따라 등 간격을 이루고 복수개가 설치되며, 설치된 복수개의 코팅소스 사이인 상기 본체(11a,12a)의 내측면에 코팅 중인 피코팅물(p)의 온도를 일정하게 유지시키기 위한 온도유지모듈(50)

   을 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅장치.
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12. 제1항에 있어서,

    상기 온도유지모듈(50)은,

    상기 본체(11a,12a)의 내측면에 부착 설치되는 모듈본체(51);

    상기 모듈본체(51)에 일단부가 연결되고 그 타단부가 본체(11a,12a)의 외부로 노출되는 매체순환라인(52); 및

    상기 외부로 노출된 매체순환라인(52)과 연결되고 이 매체순환라인(52)을 통해 모듈본체(51)로 온도유지매체를 순환시키는 매체수환수단(53)

    을 포함하는 것을 특징으로 하는 코팅장치.
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15. 제1항에 있어서,

    상기 코팅소스(30)가 위치해 있는 상기 본체(11a,12a)의 내측 벽면에 부채꼴 형상의 관통공(81)이 형성된 마스크(80)가 부착된 것을 특징으로 하는 코팅장치.
16. 제1항에 있어서,

    상기 코팅소스(30)는 스퍼터링 캐소드나 아크증발 캐소드를 사용하거나 또는 스퍼터링 캐소드와 아크증발 캐소드를 혼용하여 사용하는 것을 특징으로 하는 코팅장치.

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