KR101172966B1 - Diffusion tube for manufacturing solar cell - Google Patents

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Abstract

본 발명은 태양전지 제조용 확산튜브에 관한 것으로, 확산공정을 수행하기 위해 내부에 기판을 수용할 수 있는 내부 공간을 가지는 튜브부와 튜브부의 내부 공간으로 가스를 분사시키기 위해 마련되며, 다수개의 가스 분출구를 가지는 적어도 하나의 가스노즐부 및 튜브부의 내부 공간을 일정한 압력으로 유지시키기 위해 마련되는 가스압력조절부로 구성된 확산튜브에 관한 것이다.
본 발명에 의하면, 가스의 지속적인 분사로 인해 상승되는 확산튜브 내부의 압력을 일정하게 유지시켜주는 가스압력조절부가 확산튜브 밑면에 위치하고 있어서 본 발명을 통해 확산공정을 마친 기판들의 불량률이 현저히 줄어드는 효과가 있다.The present invention relates to a diffusion tube for manufacturing a solar cell, and is provided for injecting gas into the tube portion having an inner space capable of accommodating a substrate therein and the inner space of the tube portion for performing the diffusion process, a plurality of gas outlets It relates to a diffusion tube consisting of at least one gas nozzle portion having a gas pressure control portion provided to maintain the internal space of the tube portion at a constant pressure.
According to the present invention, since the gas pressure control part for maintaining a constant pressure inside the diffuser tube rising due to the continuous injection of gas is located on the bottom of the diffuser tube, the defect rate of the substrates that have completed the diffusion process through the present invention is remarkably reduced. have.

Description

태양전지 제조용 확산튜브{DIFFUSION TUBE FOR MANUFACTURING SOLAR CELL}Diffusion tube for solar cell manufacturing {DIFFUSION TUBE FOR MANUFACTURING SOLAR CELL}

본 발명은 태양전지 제조용 확산튜브에 관한 것이다.
The present invention relates to a diffusion tube for manufacturing a solar cell.

일반적으로 태양전지(SOLAR CELL)란 태양 에너지를 전기 에너지로 변환해주는 장치를 말하는 것으로, 이는 PN 접합면을 가지는 반도체 접합 영역에 금지대폭보다 큰 에너지의 빛이 조사되면 전자와 정공이 발생하여 접합영역에 형성된 내부전장이 전자는 N형 반도체로, 정공은 P형 반도체로 이동시켜 기전력이 발생하게 된다. 이에 따라, N형 반도체, P형 반도체 각각 부착된 전극이 부극과 정극이 되어 직류전류를 취하는 것이 가능하게 된다. In general, solar cell refers to a device that converts solar energy into electrical energy. When a semiconductor junction region having a PN junction surface is irradiated with light having a greater energy than the prohibition band, electrons and holes are generated. The internal electric field formed in the electrons moves to the N-type semiconductor, and the holes move to the P-type semiconductor to generate electromotive force. Thereby, the electrode attached to each of the N-type semiconductor and the P-type semiconductor becomes the negative electrode and the positive electrode, thereby making it possible to take a DC current.

이처럼, 전기 에너지를 생산할 수 있는 태양 전지 반도체는 실리콘 또는 갈륨비소, 카드뮴텔루르, 황화카드뮴, 인듐인 및 이 재료들 사이의 복합체를 사용하여 생산이 가능하지만, 일반적으로 실리콘을 사용하여 생산되어지고 있다.As such, solar cell semiconductors capable of producing electrical energy can be produced using silicon or gallium arsenide, cadmium tellurium, cadmium sulfide, indium phosphorus and composites between these materials, but are generally produced using silicon. .

따라서, 실리콘을 이용하여 태양전지를 생산하기 위해서는 실리콘을 성장시켜 하나의 실리콘 덩어리를 형성하는 잉곳(INGOT)을 대략 200㎛의 얇은 두께로 절단하여 기판을 제조한 후, 이 기판을 여러 가공 공정을 통해 처리함으로써 생산되게 된다.Therefore, in order to produce a solar cell using silicon, a substrate is manufactured by cutting an ingot (INGOT) that grows silicon to form a single silicon agglomerate to a thin thickness of approximately 200 μm, and then the substrate is subjected to various processing processes. By processing through.

이에 따라, 태양전지는 여러공정을 거쳐 생산되고 있는데, 이는 위와 같이 제조된 기판의 광 흡수율을 높이기 위한 텍스처링공정(표면조직화공정), P-N접합을 형성시키는 확산공정(도핑공정), 웨이퍼 표면의 불순물을 제거하는 산화막 제거공정, 광반사 손실을 줄이기 위한 반사 방지막 코팅공정, 전후면 전극 인쇄공정 및 P-N접합 분리를 위한 P-N접합 분리공정 등을 통해 생산되고 있다.Accordingly, solar cells are produced through various processes, which include a texturing process (surface organization process) to increase the light absorption rate of the substrate manufactured as described above, a diffusion process (doping process) to form a PN junction, and impurities on the wafer surface. It is produced through the oxide film removal process to remove the, antireflection coating process to reduce light reflection loss, front and back electrode printing process and PN junction separation process for PN junction separation.

따라서 이러한 다수의 공정 중 확산공정을 살펴보면 종래의 확산공정에서는 각각의 확산공정마다 확산튜브 내의 압력을 조절할 수 있는 부분이 없어서 확산공정을 마친 기판마다 많은 불량률이 발생하는 문제점이 존재하고 있다.
Therefore, in the diffusion process of the plurality of processes, there is a problem that a large defect rate is generated for each substrate after the diffusion process because there is no part that can control the pressure in the diffusion tube in each diffusion process.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 확산공정 중 확산튜브 내부를 일정한 압력으로 유지시켜 줄 수 있는 기술을 제공하는데 그 목적이 있다.
The present invention has been made in view of the above-described problems, and an object thereof is to provide a technology capable of maintaining the inside of a diffusion tube at a constant pressure during a diffusion process.

이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 태양으로 태양전지 제조용 확산튜브는 확산 공정을 수행하기 위해 내부에 기판을 수용할 수 있는 내부 공간을 가지는 튜브부; 상기 튜브부의 내부 공간으로 가스를 분사시키기 위해 마련되며, 다수개의 가스 분출구를 가지는 적어도 하나의 가스노즐부; 및 상기 튜브부의 내부 공간을 일정한 압력으로 유지시키기 위해 마련되는 가스압력조절부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.In one aspect of the present invention, a diffusion tube for manufacturing a solar cell includes: a tube portion having an inner space capable of accommodating a substrate therein for performing a diffusion process; At least one gas nozzle part provided to inject gas into the inner space of the tube part and having a plurality of gas ejection openings; And a gas pressure adjusting unit provided to maintain the inner space of the tube at a constant pressure. Characterized in that it comprises a.

그리고 상기 튜브부는 전후 방향(이하 'X방향'이라 함)으로 길쭉한 튜브 형상이고, 상기 가스노즐부는 X방향으로 길쭉한 막대 형상이며, 상기 가스노즐부가 복수 개 구비되는 경우, 복수개의 가스노즐부는 상기 튜브부의 내부 공간에 수용된 기판의 상측에 위치하고, 기판의 중심을 지나며 X방향에 수평한 수직면을 기준으로 하여 대칭적으로 배치되는 것을 특징으로 한다.The tube portion is elongated tube shape in the front and rear direction (hereinafter referred to as 'X direction'), the gas nozzle portion is an elongated rod shape in the X direction, when a plurality of the gas nozzle portion is provided, the plurality of gas nozzle portion is the tube It is located on the upper side of the substrate accommodated in the negative internal space, characterized in that disposed symmetrically with respect to the vertical plane horizontal to the X direction passing through the center of the substrate.

여기서 복수개의 가스노즐부는, 정면에서 볼 때, X방향에 평행하게 기판의 중심을 지나는 수평선을 향하여 가스를 분사시키는 것을 특징으로 한다.Here, the plurality of gas nozzles are characterized by injecting gas toward the horizontal line passing through the center of the substrate in parallel to the X direction.

그리고 상기 복수개의 가스노즐부 중 서로 대칭적으로 배치되는 제1 가스노즐부 및 제2 가스노즐부는, 정면에서 볼 때, X방향과 수직하게 기판의 중심을 지나는 수평선에 상기 제1 가스노즐부의 분사방향이 +30˚를 이루고 상기 제2 가스노즐부의 분사방향이 -30˚의 각을 이루도록 구비되는 것을 특징으로 한다.
The first gas nozzle part and the second gas nozzle part, which are arranged symmetrically with each other among the plurality of gas nozzle parts, are sprayed by the first gas nozzle part on a horizontal line passing through the center of the substrate perpendicularly to the X direction. Direction is 30 degrees and the injection direction of the second gas nozzle portion is characterized in that it is provided so as to form an angle of -30 degrees.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 가스의 지속적인 분사로 인해 상승되는 내부의 압력을 일정하게 유지시켜주는 가스압력조절부가 확산튜브 밑면에 위치하고 있어서 확산튜브 내부의 압력을 일정하게 유지시켜주는 것이 가능하여 본발명의 장치를 이용하여 확산공정을 마친 기판들의 불량률이 현저히 줄어드는 효과가 있다.
As described above, according to the present invention, it is possible to maintain a constant pressure inside the diffusion tube because the gas pressure control unit for maintaining a constant internal pressure rise due to the continuous injection of gas is located on the bottom of the diffusion tube Therefore, the defect rate of the substrates that have completed the diffusion process using the device of the present invention is remarkably reduced.

도1은 태양전지 제조용 확산장치를 도시한 것이다.
도2는 본 발명인 확산튜브를 도시한 것이다.1 shows a diffusion device for manufacturing a solar cell.
Figure 2 shows a diffusion tube of the present invention.

본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 더 구체적으로 설명하되, 이미 주지되어진 기술적 부분에 대해서는 설명의 간결함을 위해 생략하거나 압축하기로 한다.
The preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings, in which the technical parts already known will be omitted or compressed for simplicity of explanation.

본 발명인 태양전지 제조용 확산튜브(100)는 도1 내지 도2에 도시된 바와 같이 하부전장프레임(110), 메인프레임(120) 및 로더프레임(130) 등으로 구성된다.Diffusion tube 100 for manufacturing a solar cell of the present invention is composed of a lower electric frame 110, the main frame 120 and the loader frame 130, as shown in Figs.

하부전장프레임(110)은 전체 확산공정을 컨트롤하기 위한 것으로, 제어부(111) 및 전원공급부(112) 등으로 구성된다.The lower electric frame 110 is for controlling the entire diffusion process, and is composed of a control unit 111, a power supply unit 112, and the like.

제어부(111)는 전 공정에 필요한 모든 기능을 제어 하는 곳으로, 사용자에 의한 수동조작 및 장비 스스로 자동조작 될 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.The control unit 111 is a place for controlling all functions necessary for the entire process, and is preferably configured to be automatically operated by a manual operation by a user and the equipment itself.

전원공급부(112)는 전 공정에 필요한 전력을 공급해주도록 구성된다.The power supply unit 112 is configured to supply power required for the entire process.

메인프레임(120)은 하부전장프레임(110)의 상부에 장착되는 것으로, 메인프레임(120)의 내부에는 실리콘 웨이퍼(이하 '기판'이라 함)의 확산공정에 필요한 확산튜브(121)가 삽입되어 장착된다.The main frame 120 is mounted on an upper portion of the lower electric frame 110, and a diffusion tube 121 necessary for a diffusion process of a silicon wafer (hereinafter, referred to as a substrate) is inserted into the main frame 120. Is mounted.

확산튜브(121)는 중공의 형상을 가지고 확산공정에서 내부가 고온상태를 유지할 수 있도록 열에 강한 석영으로 제작되며, 이는 튜브부(121a), 가스노즐부(121b), 가스압력조절부(121c), 가스배출부(121d) 및 온도계(121e) 등으로 구성된다.The diffusion tube 121 has a hollow shape and is made of quartz that is heat resistant so that the inside thereof can be maintained at a high temperature in the diffusion process, which is a tube part 121a, a gas nozzle part 121b, and a gas pressure adjusting part 121c. And a gas discharge part 121d and a thermometer 121e.

튜브부(121a)는 확산공정을 수행하기 위해 내부에 기판을 수용할 수 있는 내부 공간이 존재하는 튜브를 말하며, 이는 전후 방향(이하 'X방향'이라 함)으로 길쭉한 튜브형상으로 구성된다.The tube part 121a refers to a tube having an inner space capable of accommodating a substrate therein for performing a diffusion process, which is formed in an elongated tube shape in a front-rear direction (hereinafter, referred to as an 'X direction').

가스노즐부(121b)는 튜브부(121a)의 내부 공간으로 가스를 분사시키기 위해 다수개의 가스 분출구가 형성되어 있는 것으로, 이는 X방향으로 길쭉한 막대 형상이며, 복수개로 구비될 수 있지만 본 발명에서는 도2(b)에 도시된 바와 같이 두개의 가스노즐부(121b)로 구성된다. The gas nozzle part 121b is formed with a plurality of gas ejection openings for injecting gas into the inner space of the tube part 121a. The gas nozzle part 121b has an elongated rod shape in the X direction and may be provided in plurality. As shown in 2 (b), it consists of two gas nozzle parts 121b.

따라서, 본 발명에서는 두개의 가스노즐부(121b)가 튜브부(121a)의 내부공간에 수용된 기판의 상측에 위치하며, 도2(a)에 도시된 바와 같이 기판의 중심을 지나 X방향에 수평한 수직면을 기준으로 하여 대칭적으로 배치 되도록 구성된다. 이에 두개의 가스노즐부(121b)가 대칭적으로 배치된 튜브부(121a)를 정면에서 보게 되면, X방향과 수직하게 기판의 중심을 지나는 수평선에 제1 가스노즐부(121b)의 분사방향이 +30˚를 이루고 있으며, 제2 가스노즐부(121b)의 분사방향이 -30˚의 각을 이루도록 구비됨으로써, 두개의 가스노즐부(121b)가 튜브부(121a) 내부공간에 수용된 기판을 향해 가스를 분사하도록 구성된다.Therefore, in the present invention, two gas nozzle portions 121b are positioned on the upper side of the substrate accommodated in the inner space of the tube portion 121a, and are horizontal in the X direction after passing through the center of the substrate as shown in FIG. And arranged symmetrically with respect to one vertical plane. When the two gas nozzle parts 121b are symmetrically arranged and viewed from the front, the injection direction of the first gas nozzle part 121b is located on the horizontal line passing through the center of the substrate perpendicular to the X direction. + 30 ° and the injection direction of the second gas nozzle part 121b forms an angle of -30 °, so that the two gas nozzle parts 121b face the substrate accommodated in the inner space of the tube part 121a. And to inject gas.

여기서 분사되는 가스는 POCL3 GAS를 말한다.The gas injected here refers to POCL3 GAS.

가스압력조절부(121c)는 튜브부(121a)의 내부 공간을 일정한 압력으로 유지시켜주기 위해 마련된 곳으로, 여기에는 밸브가 장착되어 있어서 밸브의 조절을 통해 압력을 유지시키는 것이 가능하다.The gas pressure adjusting unit 121c is provided to maintain the internal space of the tube portion 121a at a constant pressure. The gas pressure adjusting unit 121c is provided with a valve, so that the pressure can be maintained by adjusting the valve.

가스배출부(121d)는 확산공정이 마무리 되면 튜브부(121a) 내부에 존재하는 가스를 외부로 배출해주기 위한 곳으로, 이는 튜브부(121a)의 후측면에 위치하여 내부의 가스를 강제적으로 배기시킨다.The gas discharge part 121d is a place for discharging the gas existing in the tube part 121a to the outside when the diffusion process is completed, which is located on the rear side of the tube part 121a to forcibly exhaust the gas inside. Let's do it.

온도계(121e)는 튜브부(121a)의 내부 온도를 실시간으로 측정하도록 구성된다.The thermometer 121e is configured to measure the internal temperature of the tube portion 121a in real time.

로더프레임(130)은 하부전장프레임(110)의 일면, 즉 확산튜브(121)에 기판이 삽입될 수 있도록 메인프레임(120)과 수평방향으로 설치되며, 이는 보트(131), 개폐판(132), 지지대유닛(133) 및 슬라이딩판(134) 등으로 구성된다.The loader frame 130 is installed in a horizontal direction with the main frame 120 so that the substrate can be inserted into one surface of the lower electric frame 110, that is, the diffusion tube 121, which is a boat 131, opening and closing plate 132 ), The support unit 133 and the sliding plate 134 and the like.

보트(131)는 다수개의 기판이 장착될 수 있도록 구성된 것으로, 이는 확산튜브(121) 내로 삽입되기 때문에 고온에서 견딜 수 있도록 석영재질로 구성된다.The boat 131 is configured to be equipped with a plurality of substrates, which is inserted into the diffusion tube 121 is composed of a quartz material to withstand high temperatures.

개폐판(132)은 확산공정을 위해 확산튜브(121)측으로 슬라이딩 되었을 때 메인프레임(120)을 닫아주는 제1개폐판(132a)과 확산튜브(121)를 닫아주는 제2개폐판(132b)으로 구성되어, 메인프레임(120)을 닫아주는 제1개폐판(132a)은 금속재질로 구성되며, 확산튜브(121)를 닫아 주는 제2개폐판(132b)은 고온에서 견딜 수 있도록 석영재질로 구성된다.The opening and closing plate 132 is the first opening and closing plate 132a for closing the main frame 120 and the second opening and closing plate 132b for closing the diffusion tube 121 when the opening and closing plate 132 is slid toward the diffusion tube 121 for the diffusion process. The first opening and closing plate 132a closing the main frame 120 is made of a metal material, and the second opening and closing plate 132b closing the diffusion tube 121 is made of quartz to withstand high temperatures. It is composed.

지지대유닛(133)은 도1에 도시된 바와 같이 두개의 로더(133a)와 거치대(133b) 등으로 구성된 것으로, 제1로더(133a-1)는 제1 및 제2 개폐판(132a, 132b)과 결합하고 제2로더(133a-2)는 제1 및 제2 개폐판(132a, 132b)의 하단을 통과하여 기판이 장착된 보트(131)와 결합된다. 그리고 제1 및 제2 지지대유닛(133)(133a-1, 133a-2)는 그 뒷부분이 거치대(133b)와 결합됨으로써 지지대 유닛은 개폐판(132)과 보트(131)를 지지해주도록 구성된다. As shown in FIG. 1, the support unit 133 is composed of two loaders 133a and a holder 133b, and the first loader 133a-1 includes first and second opening and closing plates 132a and 132b. The second loader 133a-2 is coupled to the boat 131 on which the substrate is mounted by passing through the lower ends of the first and second opening and closing plates 132a and 132b. And the first and second support unit 133 (133a-1, 133a-2) is the rear portion is coupled to the cradle 133b, the support unit is configured to support the opening and closing plate 132 and the boat 131. .

슬라이딩판(134)은 전후방향으로 슬라이딩 되는 것으로 도1에 도시된 바와 같이 길쭉한 바 형상으로 구성되며, 외부로 나와 있는 끝부분이 거치대(133b)와 결합됨으로써 확산공정시 슬라이딩판(134)이 메인프레임(120)쪽으로 슬라이딩 되면 기판을 장착한 보트(131)는 확산튜브(121) 내부로 삽입되는 것이 가능하다.Sliding plate 134 is formed in an elongated bar shape as shown in Figure 1 to be slid in the front and rear direction, the outer end is coupled to the cradle 133b, the sliding plate 134 is the main during the diffusion process When sliding toward the frame 120, the boat 131 mounted with the substrate may be inserted into the diffusion tube 121.

즉, 본 발명은 태양전지 제조용 확산튜브(100)에 관한 것으로 하부전장프레임(110)의 제어부(111)에 의해 확산장치가 작동하게 되면 슬라이딩판(134)이 메인프레임(120)측으로 이동하면 지지대유닛(133)이 슬라이딩하게 되면서 각각의 개폐판(132a,132b)이 메인프레임(120)과 확산튜브(121)를 닫게 되고 기판이 장착된 보트(131)는 확산튜브(121) 안쪽으로 삽입된다. 이렇게 기판이 확산튜브(121)에 삽입되면 확산튜브(121) 내부에 장착된 가스노즐부(121b)에는 POCL3 GAS가 외부로부터 공급되어 가스노즐부(121b)에 형성되어 있는 가스분출구를 통해 POCL3 GAS가 확산튜브(121) 내부에 분사된다.That is, the present invention relates to a diffusion tube 100 for manufacturing a solar cell, and when the diffusion device is operated by the control unit 111 of the lower electric frame 110, the sliding plate 134 moves to the main frame 120 side. As the unit 133 slides, each of the opening and closing plates 132a and 132b closes the main frame 120 and the diffusion tube 121, and the boat 131 on which the substrate is mounted is inserted into the diffusion tube 121. . When the substrate is inserted into the diffusion tube 121, the POCL3 GAS is supplied from the outside to the gas nozzle part 121b mounted in the diffusion tube 121 through the gas outlet formed in the gas nozzle part 121b. Is injected into the diffusion tube 121.

이때 분사되는 POCL3 GAS는 확산튜브(121) 내부를 채우게 되는데, 이렇게 채워진 POCL3 GAS는 내부에 삽입된 기판에 침투 및 접착되면서 고온의 열에 의해 기판 표면이 코팅되도록 구성된다.In this case, the injected POCL3 GAS fills the inside of the diffusion tube 121. The filled POCL3 GAS penetrates and adheres to the substrate inserted therein and is configured to coat the substrate surface by high temperature heat.

한편, POCL3 GAS가 기판 확산공정 내내 확산튜브(121) 내부에 계속해서 분출되면, 확산튜브(121) 내부의 압력이 상승하여 기판의 불량을 야기시키게 되는데, 이 경우 내부의 압력을 일정하게 유지시켜주기 위하여 확산튜브(121) 밑면에 위치한 가스압력조절부(121c)에서 밸브를 조절하여 줌으로써 확산튜브(121) 내부의 압력을 일정하게 유지시키는것이 가능하다.On the other hand, if the POCL3 GAS is continuously ejected into the diffusion tube 121 throughout the substrate diffusion process, the pressure inside the diffusion tube 121 rises and causes a defect of the substrate. In this case, the internal pressure is kept constant. It is possible to maintain a constant pressure inside the diffusion tube 121 by adjusting the valve in the gas pressure control unit 121c located on the bottom of the diffusion tube 121 to give.

따라서 이러한 공정을 통해 확산 공정을 마친 기판들은 일정한 압력을 통한 확산공정이 이루어졌기 때문에 종래의 확산 공정을 마친 기판에 비해 불량률이 현저히 줄어드는 장점을 가지고 있다.Therefore, the substrates that have completed the diffusion process through this process have the advantage that the defect rate is significantly reduced compared to the substrate that has completed the conventional diffusion process because the diffusion process is performed through a constant pressure.

또한, 기판의 확산공정이 마무리되면 내부의 POCL3 GAS를 외부로 배출해줘야 하는데, 이는 확산튜브(121)의 후측면에 위치한 가스배출부(121d)에서 POCL3 GAS를 강제로 외부로 배출시키도록 구성됨으로써 모든 공정이 완료된다.
In addition, when the substrate diffusion process is finished, the internal POCL3 GAS should be discharged to the outside, which is configured to force the POCL3 GAS to be discharged to the outside from the gas discharge part 121d located at the rear side of the diffusion tube 121. All processes are complete.

위에서 설명한 바와 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. And the scope of the present invention should be understood as the following claims and their equivalents.

100 : 태양전지 제조용 확산튜브
110 : 하부전장프레임
111: 제어부 112: 전원공급부
120 : 메인프레임
121 : 확산튜브
121a : 튜브부 121b : 가스노즐부
121c : 가스압력조절부 121d : 가스배출부
121e : 온도계
130 : 로더프레임
131 : 보트
132 : 개폐판
132a : 제1개폐판 132b : 제2개폐판
133 : 지지대유닛
133a-1 : 제1로더 133a-2 : 제2로더
133b : 거치대
134 : 슬라이딩판100: Diffusion tube for solar cell manufacturing
110: lower overall length frame
111: control unit 112: power supply unit
120: mainframe
121: diffusion tube
121a: tube portion 121b: gas nozzle portion
121c: gas pressure control unit 121d: gas discharge unit
121e: Thermometer
130: loader frame
131: Boat
132: opening and closing board
132a: first opening and closing board 132b: second opening and closing board
133: support unit
133a-1: First loader 133a-2: Second loader
133b: holder
134: sliding plate

Claims (4)

확산공정을 수행하기 위해 내부에 기판을 수용할 수 있는 내부 공간을 가지는 튜브부;
상기 튜브부의 내부 공간으로 가스를 분사시키기 위해 마련되며, 다수개의 가스 분출구를 가지는 적어도 하나의 가스노즐부; 및
상기 튜브부의 내부 공간을 일정한 압력으로 유지시키기 위해 상기 튜브부의 밑면에 마련되는 가스압력조절부; 를 포함하고,
상기 튜브부는 전후 방향(이하 'X방향'이라 함)으로 길쭉한 튜브 형상이고,
상기 가스노즐부는 X방향으로 길쭉한 막대 형상이며,
상기 가스노즐부가 복수 개 구비되는 경우, 복수개의 가스노즐부는 상기 튜브부의 내부 공간에 수용된 기판의 상측에 위치하고, 기판의 중심을 기준으로 하여 대칭적으로 배치되는 것을 특징으로 하는
태양전지 제조용 확산튜브.A tube portion having an inner space capable of accommodating a substrate therein for performing a diffusion process;
At least one gas nozzle part provided to inject gas into the inner space of the tube part and having a plurality of gas ejection openings; And
A gas pressure adjusting unit provided on a bottom surface of the tube unit to maintain the inner space of the tube unit at a constant pressure; Including,
The tube portion is an elongated tube shape in the front and rear direction (hereinafter referred to as 'X direction'),
The gas nozzle portion is a rod-shaped elongated in the X direction,
When the gas nozzle unit is provided in plural, the plurality of gas nozzle units are positioned above the substrate accommodated in the inner space of the tube unit and are arranged symmetrically with respect to the center of the substrate.
Diffusion tube for solar cell manufacturing. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 복수개의 가스노즐부는, 정면에서 볼 때, X방향에 평행하게 기판의 중심을 지나는 수평선을 향하여 가스를 분사시키는 것을 특징으로 하는
태양전지 제조용 확산튜브.The method of claim 1,
The plurality of gas nozzles, when viewed from the front, injects gas toward the horizontal line passing through the center of the substrate in parallel to the X direction
Diffusion tube for solar cell manufacturing. 제3항에 있어서,
상기 복수개의 가스노즐부 중 서로 대칭적으로 배치되는 제1 가스노즐부 및 제2 가스노즐부는, 정면에서 볼 때, X방향과 수직하게 기판의 중심을 지나는 수평선에 상기 제1 가스노즐부의 분사방향이 +30˚를 이루고 상기 제2 가스노즐부의 분사방향이 -30˚의 각을 이루도록 구비되는 것을 특징으로 하는
태양전지 제조용 확산튜브.
The method of claim 3,
The first gas nozzle part and the second gas nozzle part of the plurality of gas nozzle parts which are arranged symmetrically to each other, the spraying direction of the first gas nozzle part on a horizontal line passing through the center of the substrate perpendicular to the X direction when viewed from the front The +30 degrees and the injection direction of the second gas nozzle portion is provided so as to form an angle of -30 degrees
Diffusion tube for solar cell manufacturing.
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