KR101167033B1 - 태양전지 웨이퍼 스플리터의 분리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 웨이퍼다발을 낱장 웨이퍼로 분리하는 태양전지 웨이퍼 스플리터의 분리장치에 관한 것으로, 더 상세하게 설명하면 본원 출원인이 선출원한 특허등록 제0907448호의 "태양전지 웨이퍼 스플리터의 분리장치"를 개량하여, 웨이퍼다발로부터 낱장 웨이퍼로의 분리 및 배출이 완벽하게 한 장씩 이루어지도록 함과 동시에 그 분리 및 배출과정이 더욱 정밀하고, 정확하면서도, 안정적으로 이루어지도록 한 것을 목적으로 하는 태양전지 웨이퍼 스플리터의 분리장치에 관한 것이다.
이에 본 발명은 수조(A)와, 상기 수조(A) 일측에 상단일부가 절개된 배출구(A1)와, 상기 수조(A)의 배출구(A1)와 외부로 연결설치되는 다수의 배출롤러(A2)와, 상기 수조(A) 내 배출구(A1) 상측의 고정프레임(A3)과, 상기 고정프레임(A3)에 매달린 채 기계적인 장치에 의해 승강하는 캐리어(A4)와, 상기 캐리어(A4)는 수조(A) 내 수장된 채 배출구(A1) 측의 전면이 개방되고 그 개방면은 배출구(A1) 측의 수조(A) 벽면에 근접되며 좌우측면은 연통구멍이 형성되어 있는 것을 포함하며, 상기 캐리어(A4) 내에 웨이퍼다발(W)이 수평으로 안착되고, 상기 캐리어(A4)에 안착된 웨이퍼다발(W)의 좌우상측에 각각 캐리어(A4)와는 별도로 고정설치되어 펌핑장치에 의해 웨이퍼다발(W)의 좌우상면으로 유체를 분사케 하는 다수의 수압분출구(B)가 구성되되, 상측의 수압분출구(B)는 캐리어(A4) 내의 웨이퍼다발(W) 상측에서 배출구(A1) 방향으로 경사지게 유체가 분사되도록 하는 공지의 태양전지 웨이퍼 스플리터의 분리장치에 있어서, 상기 좌우상측의 수압분출구(B)를 삭제하고, 상기 캐리어(A4)의 밑판에 배출구(A1) 측으로 갈수록 높이가 높게 장착된 다수의 돌출봉(1)과; 상기 수조(A)의 배출구(A1)에 설치하고, 상면은 돌출봉(1)의 경사각도와 동일하게 형성하며, 웨이퍼다발(W)과 마주보는 전면은 최상단으로 근접되게 다수의 유체분사구멍(20)을 가진 수압분출블록(2)과; 상기 캐리어(A4)의 내부에 수압분출블록(2) 상면과 동일선상에서 웨이퍼(W1) 한 장의 두께만큼 높은 위치에 케리어(A4)와는 별도로 고정설치되는 스토퍼(3) 및 전동롤러(4)와; 상기 스토퍼(3)는, 캐리어(A4) 내부의 후방에 스펀지 판이 고정설치되어 웨이퍼(W1)의 부상높이를 제한케 하고, 상기 전동롤러(4)는, 캐리어(A4) 내부의 전방에 요철형태의 고무롤러가 축설되어 웨이퍼(W1)를 마찰회전시켜 배출구(A1) 측으로 배출케 하며, 상기 스토퍼(3) 및 전동롤러(4)는, 케리어(A4)와는 별도로 고정설치되도록 고정프레임(A3)에 매달린 채 고정설치되는 제1암(D)과, 상기 제1암(D)과 매달린 채 연결설치되는 제2암(D1)과, 상기 제2암(D1)에 매달린 채 연결설치되는 장착대(D2)와, 상기 장착대(D2)에 스토퍼(3)와 전동롤러(4)를 각각 장치하고, 상기 제1암(D)과 제2암(D1)의 연결은, 제1암(D)에서 제2암(D1)이 상하 유동가능케 체결결합한 상태에서 제1암(D)의 장착편(Da)을 제2암(D1)의 일측으로 돌출되게 하고, 상기 장착편(Da)의 상단에 제2암(D1)의 돌출턱(Db)이 위치되게 하며, 상기 장착편(Da)에 볼트(Dc)를 체결하여 이 볼트로 돌출턱(Db)을 받치도록 하여 상기 볼트(Dc)의 회전에 따라 제2암(D1)의 높이를 조정할 수 있도록 구성하며, 상기 장착대(D2)는 상판(D21)와 양측판(D22)으로 구성하고, 상기 양측판(D22)은 일측을 배출구(A1) 입구에 근접되도록 형성하여 그 양측판(D22) 사이에 전동롤러(4)를 설치하고, 상기 전동롤러(4)는 상판에 구동모터(M)를 설치하여서 전동롤러(4)와 구동모터(M) 간에 밸트(M1)를 연결시켜 전동롤러(4)를 구동케 하며, 스토퍼(3)는 장착대(D2)의 후측 하단에 설치시켜서 됨을 특징으로 하는 태양전지 웨이퍼 스플리터의 분리장치를 제공한다.

Description

태양전지 웨이퍼 스플리터의 분리장치{Separate apparatus of solar wafer spitter}
본 발명은 웨이퍼다발을 낱장 웨이퍼로 분리하는 태양전지 웨이퍼 스플리터의 분리장치에 관한 것으로, 더 상세하게 설명하면 본원 출원인이 선출원한 특허등록 제0907448호의 "태양전지 웨이퍼 스플리터의 분리장치"를 개량하여, 웨이퍼다발로부터 낱장 웨이퍼로의 분리 및 배출이 완벽하게 한 장씩 이루어지도록 한 태양전지 웨이퍼 스플리터의 분리장치에 관한 것이다.
웨이퍼는 반도체의 재료가 되는 얇은 원판으로 실리콘을 녹여 만든 잉곳형태의 덩어리를 소잉가공으로 얇게 절단하여 제조되며, 소잉가공을 거쳐 절단된 웨이퍼들은 여러 장의 웨이퍼가 서로 겹쳐진 상태로 양산된다.
이렇게 서로 겹쳐져 붙어 있는 여러 장의 얇은 웨이퍼들(이하, '웨이퍼다발'이라 함)을 태양전지 또는 반도체 기판 등으로 제조하기 위해서는 상기 웨이퍼다발로부터 낱장 웨이퍼로 한 장씩 분리시켜 후공정으로 이송시켜야 한다.
그런데 상기 웨이퍼는 두께가 160~200㎛로 매우 얇고 부서지기 쉬운 성질을 가지고, 각각의 웨이퍼들이 서로 달라붙는 점착력을 가지기 있어 파손, 흡집, 자국 등이 쉬워 낱장 분리가 어렵고 까다롭다.
이에 상기 웨이퍼다발로부터 웨이퍼를 낱장으로 분리하는 여러 방식이 도출되었는데, 본원 출원인이 선출원한 특허등록 제0907448호의 "태양전지 웨이퍼 스플리터의 분리장치"와 같은 경우, 첨부도면 도1과 같이 수조와, 상기 수조 일측에 상단일부가 절개된 배출구와, 상기 수조의 배출구와 외부로 연결설치되는 다수의 배출롤러와, 상기 수조 내 배출구 상측의 고정프레임과, 상기 고정프레임에 매달린 채 기계적장치에 의해 승강하는 캐리어와, 상기 캐리어는 수조 내 수장된 채 배출구 측의 전면이 개방되고 그 개방면은 배출구 측의 수조 벽면에 근접되며 좌우측면은 연통구멍이 형성된 것을 포함하며, 상기 캐리어 내에 웨이퍼다발이 수평으로 안착되고, 상기 캐리어에 안착된 웨이퍼다발의 좌우상측에 각각 캐리어와는 별도로 고정설치되어 펌핑장치에 의해 웨이퍼다발의 좌우상면으로 유체를 분사케 하는 다수의 수압분출구가 구성되되, 상측의 수압분출구는 고정프레임에 매달린 채 캐리어 내의 웨이퍼다발 상측에서 배출구 방향으로 경사지게 유체를 분사케 하도록 구성되어 있다.
상기의 구성은 결과적으로 웨이퍼다발이 승강하면서 좌우측의 수압분출구에 의해 웨이퍼다발의 상부를 미리 선분리하고, 이때 선분리된 최상단의 웨이퍼만 상측 수압분출구의 수압으로 한 장씩 분리배출되도록 한 것이다.
그러나, 상기의 선등록특허는 웨이퍼가 배출될 때 반드시 한 장씩 분리가 되면서 배출되어야 하나, 겹쳐진 상태로 배출되는 문제점이 있었다.
그리고, 웨이퍼의 배출간격이나 범위가 일정하지 못하고 제각각이어서 선후 배출되는 웨이퍼끼리 서로 부딪치면서 파손되는 문제점도 있었다.
이는 첫째 웨이퍼다발이 수평으로 놓여져 수압 또는 유수의 흐름으로 인해 자연적인 미끄러짐으로 미처 분리되지 않은 채 여러 장이 한꺼번에 동시배출되는 현상과, 둘째 좌우측에서 유체를 분사하여 웨이퍼다발로 부터 미리 선분리될 때, 겹쳐진 상태로 선분리가 이루어지면서 따로 분리되지 못하고 그대로 배출되는 현상과, 셋째 좌우측에서 유체의 분사에 의해 여러 장의 웨이퍼가 한꺼번에 부상될 때, 배출구의 턱을 넘는 부분에 따른 별다른 높이제한이 없어, 배출구의 턱을 넘는 웨이퍼들이 한꺼번에 동시배출되는 현상과, 넷째 수압분출구의 토출압으로 배출함으로써 그 토출압이 최상단의 웨이퍼뿐 아니라 차기 웨이퍼까지 전해지게 되고, 또한 유수의 흐름이 전체적을 배출구 측으로 향하기 때문에, 여러 장이 한꺼번에 그리고 연속적으로 동시배출되기 현상, 그리고 토출압이 웨이퍼 상면에 전달되는 힘이 일정하지 않아 웨이퍼의 배출간격이나 범위가 일정치 않음은 물론 전후 배출되는 웨이퍼끼리 서로 부딪히는 현상, 등으로 인하여 상술한 바와 같은 문제점을 유발하고 있었다.
이에 본 발명은 특허등록 제0907448호에서 나타나는 문제점을 해소하기 위해 개발된 것이다.
그리하여 본 발명은 첫째 웨이퍼다발을 배출구 측이 높도록 경사지게 놓여 지도록 하고, 둘째 유체에 의한 분리를 도모하되 배출구 방향과는 역방향으로 유체를 분사하면서 최상단의 웨이퍼만 따로 떼어내어 순차적으로 분리되도록 하며, 셋째 유체의 분사에 의해 부상되는 웨이퍼가 캐리어 내에서 배출구의 턱으로부터 한 장 이상을 넘지 못하도록 부상높이를 제한하고, 넷째 유체의 토출압으로 웨이퍼를 배출하지 않는 대신 기계적인 접촉에 의한 마찰력으로 최상단의 웨이퍼만 순차적으로 배출되도록 개량함에 그 기술적 과제를 둔다.
따라서, 본 발명은 상기의 기술적 과제를 해결함으로써, 종래처럼 웨이퍼가 겹쳐진 상태로 배출되지 않고, 완벽하게 한 장씩 낱장 웨이퍼로의 분리 및 배출이 이루어지면서도, 그 분리 및 배출과정이 종래보다 더욱 정밀하고, 정확하면서도, 안정적으로 이루어지도록 함에 본 발명의 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 캐리어의 밑판에 배출구 측으로 갈수록 높이가 높게 장착된 다수의 돌출봉과;
수조의 배출구에 설치하고, 상면은 돌출봉의 경사각도와 동일하게 형성하며, 웨이퍼다발과 마주보는 전면은 최상단으로 근접되게 다수의 유체분사구멍을 가진 수압분출블록과;
캐리어 내부에 수압분출블록 상면과 동일선상에서 웨이퍼 한 장의 두께만큼 높은 위치에 고정설치되는 스토퍼 및 전동롤러;를 각각 구성함을 특징으로 한다.
상기와 같이 구성된 본 발명은, 첫째 캐리어의 밑판에 다수의 돌출봉으로 배출구 측으로 갈수록 높이를 높게 함으로써,
종래처럼 수평으로 놓여졌을 때 수압 또는 유수의 흐름으로 인해 자연적인 미끄러짐으로 미처 분리되지 않은 채 여러 장이 한꺼번에 동시배출되는 현상을 대부분 막을 수 있음과 동시에,
인위적인 배출력이 없을 때에는 제자리를 가만히 있기 때문에 분리되지 않은 웨이퍼의 배출이 제한되어 배출의 정확성이 향상된다.
둘째 배출구에서 웨이퍼다발과 마주보는 전면에만 유체가 분사되도록 하되, 그 유체의 분사위치가 최상단에 근접되도록 함으로써,
종래처럼 좌우측에서 유체를 분사하여 선분리될 때 겹쳐진 상태로 분리되는 현상이 일단 일어나지 않도록 선분리하는 과정을 없애고, 그 대신 웨이퍼다발을 경사지게 한 상태로 최상단의 웨이퍼 한 장만 유체의 분사로 따로 떼어낼 수 있으므로 분리의 정확성이 향상된다.
그리고, 유수의 흐름이 배출구와는 역방향으로 향하기 때문에 인위적인 배출력이 없이는 웨이퍼가 자연적으로 배출되지 않아 배출오류도 막을 수 있다.
셋째 캐리어 내부에 수압분출블록 상면과 동일선상에서 웨이퍼 한 장의 두께만큼 높은 위치에 캐리어와는 별도로 고정설치되는 스토퍼를 구성함으로써,
종래처럼 분사압에 의해 여러 장의 웨이퍼가 한꺼번에 부상될 때 배출구의 턱을 넘는 부분에 대한 별다른 높이 제한이 없어 여러 장이 동시배출되는 현상을 방지함과 동시에,
높이제한에 따라 최상단의 웨이퍼 한 장만 통과시켜기 때문에 분리와 배출의 정밀성과 정확성이 더욱 향상된다.
넷째 스토퍼와 같은 형태로 캐리어와는 별도로 고정설치되는 전동롤러를 구성함으로써,
종래처럼 수압분출구의 토출압으로 웨이퍼를 배출함에 따라 최상단의 웨이퍼뿐 아니라 전체적인 유수의 흐름이 배출구 측으로 향하기 때문에 여러 장이 한꺼번에 그리고 연속적으로 동시배출되기 현상, 그리고 토출압이 웨이퍼 상면에 전달되는 힘이 일정하지 않아 배출간격이나 범위가 일정하지 않음은 물론 전후 배출되는 웨이퍼끼리 서로 부딪히면서 파손되는 등의 문제점을 한꺼번에 방지할 수 있음과 동시에,
접촉에 의한 인위적인 마찰회전으로 최상단 웨이퍼만 단독으로 배출하고, 그 인워적인 배출력이 차기 웨이퍼에는 미치지 않으며, 최상단이 완전 배출된 다음 차기 웨이퍼를 배출할 수 있어 배출간격과 배출범위가 일정하면서도 전후 웨이퍼 간에 부딪힐 염려가 없어 배출의 안정성이 향상된다.
따라서, 본 발명은 본원 출원인이 선출원한 특허등록 제0907448호를 개량하여 웨이퍼다발로부터 보다 완벽한 웨이퍼의 낱장 분리 및 배출을 도모하면서도, 전체적으로 웨이퍼의 분리 및 배출이 더욱 정밀,정확,안정적으로 이루어지는 효과를 낳는다.
도 1은 종래의 예시도
도 2는 본 발명의 예시도
도 3은 본 발명의 요부 사시도
도 4는 본 발명의 수압분출블록 상세도이다.
이하 첨부도 도면에 의거하여 본 발명을 실현하기 위한 바람직한 예를 설명하면 다음과 같다.
도1과 같이 본 발명은, 수조(A)와, 상기 수조(A) 일측에 상단일부가 절개된 배출구(A1)와, 상기 수조(A)의 배출구(A1)와 외부로 연결설치되는 다수의 배출롤러(A2)와, 상기 수조(A) 내 배출구(A1) 상측의 고정프레임(A3)과, 상기 고정프레임(A3)에 매달린 채 기계적인 장치에 의해 승강하는 캐리어(A4)와, 상기 캐리어(A4)는 수조(A) 내 수장된 채 배출구(A1) 측의 전면이 개방되고 그 개방면은 배출구(A1) 측의 수조(A) 벽면에 근접되며 좌우측면은 연통구멍이 형성되어 있는 것을 포함하며, 상기 캐리어(A4) 내에 웨이퍼다발(W)이 수평으로 안착되고, 상기 캐리어(A4)에 안착된 웨이퍼다발(W)의 좌우상측에 각각 캐리어(A4)와는 별도로 고정설치되어 펌핑장치에 의해 웨이퍼다발(W)의 좌우상면으로 유체를 분사케 하는 다수의 수압분출구(B)가 구성되되, 상측의 수압분출구(B)는 캐리어(A4) 내의 웨이퍼다발(W) 상측에서 배출구(A1) 방향으로 경사지게 유체를 분사케 하도록 구성되어 있는 것을 기초로 한다.
상기에서 캐리어(A4)를 승강케 하는 기계적인 장치는, 상기 고정프레임(A3)에 수직상 설치되는 고정바디(C)와, 상기 고정바디(C)의 상부의 설치되는 구동모터(M)와, 상기 구동모터(M)에 연결설치되어 고정바디(C) 내에서 회전하는 스크루(C1)와, 상기 고정바디(C) 내에 슬라이딩되도록 삽설됨과 동시에 스크루(C1)와 축봉결합되는 작동체(C2)와, 상기 작동체(C2)의 일측에 체결고정되는 캐리어(A4)로 구성되어 있다.
하지만, 이렇게 캐리어(A4)을 승강되도록 하는 기계적인 장치는 상기의 구성이 아니더라도 당업자라면 실린더나 체인, 기어 등을 적용하면 얼마든지 동일한 작용을 가지도록 도출할 수 있는 것임으로 기초기술에서 그 구체적인 구성을 삭제하였다
상기에서 펌핑장치 역시 수조(A) 내의 유체와 통하도록 펌프를 설치하고 이 펌프의 출수관(22c)을 수압분출구(B)와 연결하면 되는 것으로, 이는 주지 관용한 통상적인 기술에 불과하기 때문에 상세한 설명이나 작용 그리고 구체적인 구성을 삭제하였다. 이는 하기에 설명될 수압분출블록(2)에도 마찬가지로 적용한다.
도2와 같이, 본 발명은 상기 기초기술을 바탕으로 하되, 기초기술에서 좌우상측의 수압분출구(B)에 대한 구성은 본 발명에서는 불필요한 것임으로 우선 삭제하고,
상기 캐리어(A4)의 밑판에 배출구(A1) 측으로 갈수록 높이가 높게 장착된 다수의 돌출봉(1)과; 상기 수조(A)의 배출구(A1)에 설치하고, 상면은 돌출봉(1)의 경사각도와 동일하게 형성하며, 웨이퍼다발(W)과 마주보는 전면은 최상단으로 근접되게 다수의 유체분사구멍(20)을 가진 수압분출블록(2)과; 상기 캐리어(A4) 내부에 수압분출블록(2) 상면과 동일선상에서 웨이퍼(W1) 한 장의 두께만큼 높은 위치에 고정설치되는 스토퍼(3)와; 전동롤러(4)가; 각각 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 구성에 대한 바람직한 예를 설명하면 다음과 같다. 단, 당업자의 통상적인 관점에서 볼 때, 당연히 예측가능한 기술이나, 구성, 그에 따른 작용효과 등은 요지를 흐릴 수 있어 생략한다.
첫째, 돌출봉(1)은, 캐리어(A4)에 적재되는 웨이퍼다발(W)이 배출구(A1) 측이 높게 경사지게 놓여 지도록 한 것으로,
도3과 같이 캐리어(A4) 밑판에 장착되며 이때 웨이퍼다발(W)이 기울어지는 경사각도는 수평을 기준으로 약 3°정도가 되도록 함이 바람직하다.
둘째, 수압분출블록(2)은, 유체에 의한 분리를 도모하되 배출구(A1) 방향과는 역방향으로 유체를 분사하면서 웨이퍼다발(W)에서 최상단의 웨이퍼(W1)만 따로 떼어내어 순차적으로 분리되도록 한 것으로,
도4와 같이 상기 수압분출블록(2)은, 전면의 선단블록(21)과 그 후측의 본체블록(22)으로 분할하여 체결결합하고, 상기 선단블록(21)은 후면에서 내부로 일정깊이로 가공하여 다수의 유체분사구멍(20)을 내부에서 한꺼번에 수용할 수 있는 확장홀(21a)을 형성하고, 상기 본체블록(22)은 전면에 확장홀(21a)과 동일한 연통홀(22a)을 일정깊이로 가공하되, 저면으로부터 상기 연통홀(22a)과 연결되어 유체를 공급하는 공급구멍(22b)을 가공한 다음 상기 공급구멍(22b)의 입구에 펌프와 연결된 출수관(22c)을 결합한다.
따라서, 수압분출블록(2)의 유체분사구멍(20)은 펌프의 출수관(22c)에 의해 공급구멍(22b), 연통홀(22a), 확장홀(21a), 유체분사구멍(20) 순으로 유체공급경로를 통해 유체가 분사되는데, 이러한 정도는 유체분사구멍(20)이라는 명칭만으로 당연히 유체가 분사된다는 것을 알 수 있으므로 과제의 해결수단에서는 상기의 과정이나 그 구체적인 구성을 생략하였다.
상기와 같이 수압분출블록(2)을 분할하면 유체분사구멍(20)을 최상단으로 근접 및 소직경으로 가공하기 용이하고, 내부 유체공급경로의 가공 등 제작의 편의성을 가질 뿐 아니라, 다수의 유체분사구멍(20)에 골고루 수압이 전해진다.
그리고, 상기에서 선단블록(21)은 도3과 같이 웨이퍼(W1)의 전폭보다 좁은 크기로 형성함이 바람직한데, 그 이유는 중간에만 집중적으로 유체를 분사하여 상하 웨이퍼(W1)간의 틈새를 일단 확보하면 나머지는 자연적으로 벌어지기 때문에 전체보다 효율적으로 분리할 수 있다.
그리고, 상기에서 본체블록(22)의 상면을 민짜로(평평하게) 형성하여도 무방하나, 더 바람직하게는 도4와 같이 배출방향으로 다수의 홈(23)을 형성하면 미끄러짐이 향상되므로 전달이 원활해진다.
셋째 스토퍼(3)는, 유체의 분사에 의해 부상되는 웨이퍼(W1)가 캐리어(A4) 내에서 배출구(A1)의 턱으로부터 한 장 이상을 넘지 못하도록 부상높이를 제한케 한 것으로,
도3과 같이, 판 형태로 함이 바람직하고, 웨이퍼(W1)와 접촉되는 부분은 스폰지와 같이 쿠션소재를 사용함이 바람직하다. 그리고, 스토퍼(3)의 위치는 캐리어(A4) 내부 중간을 기준으로 배출구(A1) 측은 반대편 즉, 후측에 위치함이 바람직하다.
넷째 전동롤러(4)는, 유체의 토출압으로 웨이퍼(W1)를 배출하지 않고, 기계적인 접촉에 의한 마찰력으로 최상단의 웨이퍼(W1)만 순차적으로 배출되도록 한 것으로,
도3과 같이 요철형태로 함이 바람직하고, 마찰력이 좋은 고무재질을 사용함이 바람직하다. 그리고, 전동롤러(4)의 위치는 캐리어(A4) 내부 중간을 기준으로 배출구(A1) 측으로 근접되게 함이 바람직하다.
한편, 상기의 스토퍼(3)와 전동롤러(4)는, 캐리어(A4)와 함께 움직이면 안 되기 때문에 캐리어(A4)와는 별도로 고정설치하기 위하여 고정프레임(A3)에 매달린 채 설치하고, 이때 스토퍼(3)와 전동롤러(4)의 위치를 정확하게 맞춰서 고정하기 어렵기 때문에 중간에 높이조정수단을 구성함이 바람직하며, 전동롤러(4)를 구동하기 위한 틀을 구축함이 바람직하다.
이에 도2와 같이 스토퍼(3)와 전동롤러(4)는 고정프레임(A3)에 매달린 채 고정설치되는 제1암(D)과, 상기 제1암(D)과 매달린 채 연결설치되는 제2암(D1)과, 상기 제2암(D1)에 매달린 채 연결설치되는 장착대(D2)를 구성하여서 상기 장착대(D2)에 스토퍼(3)와 전동롤러(4)를 각각 장치함이 바람직하다.
이때 높이조정장치는 도2의 상세도와 같이, 제1암(D)과 제2암(D1)의 연결을 제1암(D)에서 제2암(D1)이 상하 유동가능케 체결결합한 상태에서 제1암(D)의 장착편(Da)을 제2암(D1)의 일측으로 돌출되게 하고, 상기 장착편(Da)의 상단에 제2암(D1)의 돌출턱(Db)이 위치되게 하며, 상기 장착편(Da)에 볼트(Dc)를 체결하여 이 볼트로 돌출턱(Db)을 받치도록 하면, 상기 볼트(Dc)의 회전에 따라 제2암(D1)의 높이를 조정할 수 있다.
한편, 상기 장착대(D2)는 도3과 같이, 상판(D21)와 양측판(D22)으로 구성하고, 상기 양측판(D22)은 일측을 배출구(A1) 입구에 근접되도록 형성하여 그 양측판(D22) 사이에 전동롤러(4)를 설치하고, 상기 전동롤러(4)는 상판에 구동모터(M)를 설치하여서 전동롤러(4)와 구동모터(M) 간에 밸트(M1)를 연결하면, 전동롤러(4)를 회전시킬 수 있다. 그리고, 상기 스토퍼(3)는 장착대(D2)의 후측하단에 설치하면 된다.
이하 본 발명의 작동을 살펴보면, 결과적으로 캐리어(A4) 밑판의 돌출봉(1)에 의해 웨이퍼다발(W)이 경사지게 놓여 진 채 승강하면, 전면의 수압분출블록(2)에서 웨이퍼다발(W)의 최상단에만 유체를 분사하면 최상단의 웨이퍼(W1)만 따로 분리되고, 이때 분리된 웨이퍼(W1)는 유체의 분출에 의해 부상되되, 스토퍼(3)에 의해 캐리어(A4) 내에서 그 부상높이가 제한되고, 이때 전방의 전동롤러(4)와 웨이퍼(W1)가 접촉되면서 전돌롤러(4)의 마찰회전에 의해 배출구(A1) 측으로 배출되는 것이다.
따라서, 본 발명은 상기의 구성 즉, 돌출봉(1), 수압분출블록(2), 스토퍼(3), 전동롤러(4)에 의해 종래의 방식보다 더 완벽하게 한 장씩 낱장 분리 및 배출이 달성되면서도, 웨이퍼(W)의 분리 및 배출이 더욱 정밀하고, 정확하면서도 안정되게 이루어지는 효과가 발생한다.
본 발명은 상기와 같이 본 발명을 실현하기 위한 바람직한 예를 서술하였으나, 통상적 기술에 대한 구체적 수단이나 설명은 생략 또는 간단한 명칭 등으로 대체하였고, 본 발명에서 제시한 도면은 예시 도로써 특징을 부각시키고자 도법에는 맞지 않을 수 있고 요지를 흐릴 수 있는 부분은 편의상 일부 삭제하였다. 이에 따라 본 발명과 관련된 해당기술분야의 당업자라면 상기에서 설명한 내용을 뒷받침하여 충분히 실시가능할 것으로 보이고, 본 발명의 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 수정 및 변경시켜 용이하게 사용가능할 것이다.
A: 수조 A1: 배출구
A2: 배출롤러 A3: 고정프레임
A4: 캐리어 B: 수압분출구
C: 고정바디 C1: 스크루
C2: 작동체 D: 제1암
D1: 제2암 D2: 장착대
Da: 장착편 Db: 돌출턱
Dc: 볼트 D21: 상판
D22: 양측판 M: 구동모터
M1: 밸트 W: 웨이퍼다발
W1: 웨이퍼
1: 돌출봉 2: 수압분출블록
20: 유체분사구멍 21: 선단블록
21a: 확장홀 22: 본체블록
22a: 연통홀 22b: 공급구멍
22c: 출수관 23: 홈
3: 스토퍼 4: 전동롤러

Claims (1)

  1. 수조(A)와, 상기 수조(A) 일측에 상단일부가 절개된 배출구(A1)와, 상기 수조(A)의 배출구(A1)와 외부로 연결설치되는 다수의 배출롤러(A2)와, 상기 수조(A) 내 배출구(A1) 상측의 고정프레임(A3)과, 상기 고정프레임(A3)에 매달린 채 기계적인 장치에 의해 승강하는 캐리어(A4)와, 상기 캐리어(A4)는 수조(A) 내 수장된 채 배출구(A1) 측의 전면이 개방되고 그 개방면은 배출구(A1) 측의 수조(A) 벽면에 근접되며 좌우측면은 연통구멍이 형성되어 있는 것을 포함하며, 상기 캐리어(A4) 내에 웨이퍼다발(W)이 수평으로 안착되고, 상기 캐리어(A4)에 안착된 웨이퍼다발(W)의 좌우상측에 각각 캐리어(A4)와는 별도로 고정설치되어 펌핑장치에 의해 웨이퍼다발(W)의 좌우상면으로 유체를 분사케 하는 다수의 수압분출구(B)가 구성되되, 상측의 수압분출구(B)는 캐리어(A4) 내의 웨이퍼다발(W) 상측에서 배출구(A1) 방향으로 경사지게 유체가 분사되도록 하는 공지의 태양전지 웨이퍼 스플리터의 분리장치에 있어서,
    상기 좌우상측의 수압분출구(B)를 삭제하고,
    상기 캐리어(A4)의 밑판에 배출구(A1) 측으로 갈수록 높이가 높게 장착된 다수의 돌출봉(1)과;
    상기 수조(A)의 배출구(A1)에 설치하고, 상면은 돌출봉(1)의 경사각도와 동일하게 형성하며, 웨이퍼다발(W)과 마주보는 전면은 최상단으로 근접되게 다수의 유체분사구멍(20)을 가진 수압분출블록(2)과;
    상기 캐리어(A4)의 내부에 수압분출블록(2) 상면과 동일선상에서 웨이퍼(W1) 한 장의 두께만큼 높은 위치에 케리어(A4)와는 별도로 고정설치되는 스토퍼(3) 및 전동롤러(4)와;
    상기 스토퍼(3)는, 캐리어(A4) 내부의 후방에 스펀지 판이 고정설치되어 웨이퍼(W1)의 부상높이를 제한케 하고,
    상기 전동롤러(4)는, 캐리어(A4) 내부의 전방에 요철형태의 고무롤러가 축설되어 웨이퍼(W1)를 마찰회전시켜 배출구(A1) 측으로 배출케 하며,
    상기 스토퍼(3) 및 전동롤러(4)는, 케리어(A4)와는 별도로 고정설치되도록 고정프레임(A3)에 매달린 채 고정설치되는 제1암(D)과, 상기 제1암(D)과 매달린 채 연결설치되는 제2암(D1)과, 상기 제2암(D1)에 매달린 채 연결설치되는 장착대(D2)와, 상기 장착대(D2)에 스토퍼(3)와 전동롤러(4)를 각각 장치하고,
    상기 제1암(D)과 제2암(D1)의 연결은, 제1암(D)에서 제2암(D1)이 상하 유동가능케 체결결합한 상태에서 제1암(D)의 장착편(Da)을 제2암(D1)의 일측으로 돌출되게 하고, 상기 장착편(Da)의 상단에 제2암(D1)의 돌출턱(Db)이 위치되게 하며, 상기 장착편(Da)에 볼트(Dc)를 체결하여 이 볼트로 돌출턱(Db)을 받치도록 하여 상기 볼트(Dc)의 회전에 따라 제2암(D1)의 높이를 조정할 수 있도록 구성하며,
    상기 장착대(D2)는 상판(D21)와 양측판(D22)으로 구성하고, 상기 양측판(D22)은 일측을 배출구(A1) 입구에 근접되도록 형성하여 그 양측판(D22) 사이에 전동롤러(4)를 설치하고, 상기 전동롤러(4)는 상판에 구동모터(M)를 설치하여서 전동롤러(4)와 구동모터(M) 간에 밸트(M1)를 연결시켜 전동롤러(4)를 구동케 하며, 스토퍼(3)는 장착대(D2)의 후측 하단에 설치시켜서 됨을 특징으로 하는 태양전지 웨이퍼 스플리터의 분리장치.
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