KR101164561B1

KR101164561B1 - Appratus for dropping liquid

Info

Publication number: KR101164561B1
Application number: KR1020100079873A
Authority: KR
Inventors: 이용; 백종화; 유창일
Original assignee: 에이피시스템 주식회사
Priority date: 2010-08-18
Filing date: 2010-08-18
Publication date: 2012-07-10
Also published as: KR20120017276A

Abstract

본 발명에 따른 적하 장치는 상하 방향으로 배치되며, 광을 방출하는 복수의 발광 수단을 구비하는 각기 구비하는 복수의 발광부, 복수의 발광부로부터 방출된 광을 각기 수신하는 복수의 수신부가 구비된 감지부를 포함하고, 상측에 위치하는 상기 발광부의 복수의 발광수단과 하측에 위치하는 상기 복수의 발광수단이 서로 엇갈리게 배치된다.
따라서, 본 발명의 실시예에 의하면 액정이 상측에 배치된 복수의 발광부로부터 방출된 광들이 상측 수신부로 이동하는 경로를 통과하지 않고 낙하되더라도, 하측에 배치된 복수의 발광부로부터 방출된 광들이 하측 수신부로 이동하는 경로를 통과하면서 낙하될 수 있다. 이에, 상측 감지부에서 액정의 적하 여부를 감지하지 못하더라도, 하측에 배치된 감지부를 통해 액정의 적하 여부를 감지할 수 있다. 따라서, 액정 적하의 불량 여부를 정확하게 판단할 수 있어, 액정이 적하되지 않고 공정이 진행되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 액정이 적하되지 않고 공정이 진행되는 시간을 단축함에 따라, 불필요하게 소요되는 시간을 감소할 수 있다. 그리고, 생산 수율을 향상시키는 효과가 있다.The dripping apparatus according to the present invention is disposed in the vertical direction and includes a plurality of light emitting units each having a plurality of light emitting means for emitting light, and a plurality of receiving units for receiving light emitted from the plurality of light emitting units, respectively. And a plurality of light emitting means positioned above and a plurality of light emitting means positioned below each other.
Therefore, according to the embodiment of the present invention, even if the light emitted from the plurality of light emitting parts disposed above the liquid crystal falls without passing through a path moving to the upper receiving part, the light emitted from the plurality of light emitting parts arranged below the It may fall while passing the path moving to the lower receiver. Thus, even if the upper sensing unit does not detect the drop of the liquid crystal, it is possible to detect whether the liquid crystal is dropped through the sensing unit disposed on the lower side. Therefore, it is possible to accurately determine whether the liquid crystal dropping is poor, and it is possible to prevent the process from proceeding without dropping the liquid crystal. In addition, as the liquid crystal does not drop and the time for which the process proceeds is shortened, unnecessary time can be reduced. And there is an effect of improving the production yield.

Description

Dropping device {Appratus for dropping liquid}

본 발명은 적하 장치에 관한 것으로, 원료물질의 적하 여부를 정확하게 감지할 수 있는 감지 유닛을 구비하는 적하 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a dropping device, and relates to a dropping device having a detection unit capable of accurately detecting whether a raw material is loaded.

평판 표시 패널의 경우, 한 쌍의 평판형 기판을 접합시켜 제작한다. 즉, 액정 표시 패널의 제작을 예로 들면, 먼저 복수의 박막 트랜지스터와 화소 전극이 형성된 하부 기판과, 컬러 필터와 공통 전극이 형성된 상부 기판을 제작한다. 이후에 하부 기판 상에 액정을 적하하고, 상부 기판과 하부 기판을 합착 밀봉하여 액정 표시 패널을 제작한다.In the case of a flat panel display panel, a pair of flat panel type board | substrate is bonded together and is produced. That is, taking the manufacture of a liquid crystal display panel as an example, first, a lower substrate on which a plurality of thin film transistors and pixel electrodes are formed, and an upper substrate on which a color filter and a common electrode are formed are manufactured. Thereafter, a liquid crystal is dropped on the lower substrate, and the upper substrate and the lower substrate are bonded and sealed to manufacture a liquid crystal display panel.

이때, 기판에 액정을 적하하기 위해 액정 적하 장치가 사용된다. 이러한 액정 적하 장치는 기판이 안착되는 스테이지, 스테이지 상측에 배치된 겐트리, 겐트리 상에 장착되어 액정을 적하시키는 노즐을 구비하는 토출유닛, 토출유닛의 하측에 배치되어, 상기 토출유닛으로부터 토출되는 액정의 낙하 여부를 감지하는 감지 유닛을 포함한다. 여기서, 감지 유닛은 광을 방출하는 발광수단이 구비된 발광부, 발광부와 이격 배치되어 발광부로부터 방출된 광을 수신하는 수신부로 이루어 진다. 그리고 발광부와 수신부 사이의 이격 공간 상측에 노즐이 배치된다. 이와 같은 감지 유닛을 이용하여 액정의 적하 여부를 판단하는 방법을 간략히 설명하면 하기와 같다. 예를 들어, 발광부로부터 방출된 광이 수신부로 그대로 입사되면 이를 액정이 적하되지 않은 것으로 판단한다. 반면 발광부로부터 방출된 광이 수신부로 입사되지 않으면 이를 액정이 적하된 것으로 판단한다. 이는 발광부로부터 방출된 광이 수신부가 배치된 방향으로 이동하던 중에, 낙하되는 액정에 의해 반사되어 수신부로 입사되지 못하기 때문이다. At this time, a liquid crystal dropping device is used to drop the liquid crystal onto the substrate. Such a liquid crystal dropping device is provided with a stage on which a substrate is seated, a gantry disposed on an upper side of the stage, a discharge unit having a nozzle mounted on the gantry to drop liquid crystal, a lower side of the discharge unit, and discharged from the discharge unit. It includes a detection unit for detecting whether the liquid crystal falls. Here, the sensing unit is composed of a light emitting unit having a light emitting means for emitting light, and a receiving unit receiving the light emitted from the light emitting unit is disposed apart from the light emitting unit. The nozzle is disposed above the spaced space between the light emitting unit and the receiving unit. A method of determining whether the liquid crystal is dripped using the sensing unit as described above will be described below. For example, when light emitted from the light emitter is incident on the receiver as it is, it is determined that the liquid crystal is not dropped. On the other hand, when the light emitted from the light emitter does not enter the receiver, it is determined that the liquid crystal is dropped. This is because the light emitted from the light emitting part is reflected by the falling liquid crystal and cannot enter the receiving part while moving in the direction in which the receiving part is disposed.

하지만, 1열의 발광부와 수신부를 구비하는 감지 유닛의 경우, 액정의 적하 여부를 판단하는데 오류가 빈번히 발생된다. 예를 들어, 노즐을 새로 장착하거나, 토출 유닛을 이동시키면서 액정을 적하할 경우, 상기 노즐로부터 액정이 적하되는 방향 및 위치가 달라질 수 있다. 이에, 액정이 발광부로부터 방출된 광이 수신부로 이동하는 경로를 통과하지 않고 낙하된다. 또한, 소량의 액정이 토출되어 적하되는 경우, 발광부로부터 방출된 광이 이동하는 경로를 통과하지 못할 수도 있다. 이에, 발광부로부터 방출된 광이 그대로 수신부로 입사됨에 따라, 액정이 적하되지 않은 것으로 판단하게 된다. 따라서, 액정의 적하 여부 및 액정 적하의 불량을 정확히 판단할 수 없다. 이로 인해, 액정이 적하되지 못한 상태로 공정이 진행되는 경우가 빈번히 발생됨, 이로 인해 생산 수율이 감소하게 되는 문제가 있다.However, in the case of the sensing unit including one light emitting unit and the receiving unit, an error frequently occurs in determining whether the liquid crystal is dropped. For example, when the liquid crystal is dropped while the nozzle is newly installed or the discharge unit is moved, the direction and the position where the liquid crystal is dropped from the nozzle may be changed. As a result, the liquid crystal drops without passing through the path of the light emitted from the light emitting part to the receiving part. In addition, when a small amount of liquid crystal is discharged and dropped, the light emitted from the light emitting portion may not pass through the path of movement. Thus, as the light emitted from the light emitter is incident on the receiver as it is, it is determined that the liquid crystal is not dropped. Therefore, it is not possible to accurately determine whether the liquid crystal is dropped and whether the liquid crystal drop is poor. For this reason, the process often occurs when the liquid crystal is not dropped, thereby causing a problem in that the production yield is reduced.

본 발명의 일 기술적 과제는 원료물질의 적하 여부를 정확하게 감지할 수 있는 감지 유닛을 구비하는 적하 장치를 제공하는 데 있다.One technical problem of the present invention is to provide a dropping device having a sensing unit capable of accurately detecting whether a raw material is loaded.

또한, 본 발명의 다른 일 기술적 과제는 복수의 감지부가 상하 방향으로 배치되는 감지 유닛을 구비하는 적하 장치를 제공하는 데 있다.In addition, another technical problem of the present invention is to provide a dropping device having a sensing unit in which a plurality of sensing units are disposed in the vertical direction.

본 발명에 따른 적하 장치는 광을 방출하는 복수의 발광 수단을 구비하여, 상하 방향으로 배치되는 복수의 발광부, 상기 복수의 발광부로부터 방출된 광을 각기 수신하는 복수의 수신부가 구비된 감지부를 포함하고, 상측에 위치하는 상기 발광부의 복수의 발광수단과 하측에 위치하는 상기 복수의 발광수단이 서로 엇갈리게 배치된다.The dripping apparatus according to the present invention includes a plurality of light emitting units configured to emit light, and a sensing unit including a plurality of light emitting units arranged in an up and down direction, and a plurality of receivers respectively receiving light emitted from the plurality of light emitting units. And a plurality of light emitting means positioned above and the plurality of light emitting means positioned below are staggered from each other.

상기 발광부 내의 복수의 발광수단이 1열로 배치되거나, 상하 방향으로 이격된 복열로 배치된다.A plurality of light emitting means in the light emitting portion is arranged in one row or arranged in a double row spaced apart in the vertical direction.

상기 발광부 내의 복수의 발광수단이 복열로 배치되는 경우, 각 열의 복수의 발광수단이 서로 엇갈리도록 배치된다.When the plurality of light emitting means in the light emitting portion are arranged in a double row, the plurality of light emitting means in each row are arranged to be staggered with each other.

상기 복수의 발광부와 복수의 수신부가 서로 마주보도록 이격되어 배치되고, 상기 복수의 발광부와 복수의 수신부 사이의 이격 공간 상측에 원료물질을 적하시키는 노즐이 배치된다.The plurality of light emitting parts and the plurality of receiving parts are spaced apart from each other to face each other, and a nozzle for dropping raw materials is disposed above the spaced space between the plurality of light emitting parts and the plurality of receiving parts.

상기 복수의 발광부 각각은 상기 복수의 발광수단이 삽입 장착되는 케이스를 포함된다.Each of the plurality of light emitting parts includes a case into which the plurality of light emitting means are inserted.

상기 케이스는 상기 복수의 발광수단이 삽입 장착되는 복수의 홈을 포함하고, 상기 복수의 발광수단의 광 방출 영역 이외에 나머지 영역은 밀폐되도록 제작된다.The case includes a plurality of grooves into which the plurality of light emitting means are inserted and mounted, and the remaining areas other than the light emitting areas of the plurality of light emitting means are closed.

상기 케이스는 광이 투과되지 않는 불투명한 재료를 이용하여 제작된다.The case is made of an opaque material that does not transmit light.

상술한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 감지 유닛은 상하 방향으로 결합되는 복수의 감지부를 구비한다. 여기서, 복수의 감지부 각각은 광을 방출하는 발광부 및 발광부로부터 방출되는 광을 수신하는 수신부를 포함한다. 이에, 복수의 발광부가 상하 방향으로 배치되고, 복수의 수신부가 상하 방향으로 배치된다. 그리고 복수의 발광부 각각은 일 방향으로 나열되어 상호 이격 배치된 복수의 발광수단 및 복수의 발광수단을 수용하는 케이스를 포함한다. 이때, 상측에 배치된 복수의 발광수단과 하측에 배치된 복수의 발광수단이 서로 엇갈리도록 배치된다. 이에, 액정이 상측에 배치된 복수의 발광부로부터 방출된 광들이 상측 수신부로 이동하는 경로를 통과하지 않고 낙하되더라도, 하측에 배치된 복수의 발광부로부터 방출된 광들이 하측 수신부로 이동하는 경로를 통과하면서 낙하될 수 있다. 이에, 상측 감지부에서 액정의 적하 여부를 감지하지 못하더라도, 하측에 배치된 감지부를 통해 액정의 적하 여부를 감지할 수 있다. 따라서, 액정 적하의 불량 여부를 정확하게 판단할 수 있어, 액정이 적하되지 않고 공정이 진행되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 액정이 적하되지 않고 공정이 진행되는 시간을 단축함에 따라, 불필요하게 소요되는 시간을 감소할 수 있다. 그리고, 생산 수율을 향상시키는 효과가 있다.As described above, the sensing unit according to the exemplary embodiment of the present invention includes a plurality of sensing units coupled in the vertical direction. Here, each of the plurality of sensing units includes a light emitting unit emitting light and a receiving unit receiving light emitted from the light emitting unit. Thus, the plurality of light emitting parts are arranged in the vertical direction, and the plurality of receiving parts are arranged in the vertical direction. Each of the plurality of light emitting units includes a plurality of light emitting means and a plurality of light emitting means arranged in one direction and spaced apart from each other. At this time, the plurality of light emitting means arranged on the upper side and the plurality of light emitting means arranged on the lower side are arranged to cross each other. Thus, even if the liquid crystals fall without passing through the path of the light emitting units disposed above, the light emitted from the plurality of light emitting units moves to the lower receiving unit. Can fall while passing. Thus, even if the upper sensing unit does not detect the drop of the liquid crystal, it is possible to detect whether the liquid crystal is dropped through the sensing unit disposed on the lower side. Therefore, it is possible to accurately determine whether the liquid crystal dropping is poor, and it is possible to prevent the process from proceeding without dropping the liquid crystal. In addition, as the liquid crystal does not drop and the time for which the process proceeds is shortened, unnecessary time can be reduced. And there is an effect of improving the production yield.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타낸 도면
도 2는 도 1에 도시된 토출유닛을 확대 도시한 단면도
도 3은 본원 발명의 실시예에 따른 감지 유닛을 설명하기 위한 단면도
도 4는 실시예에 따른 감지 유닛의 일부를 도시한 도면
도 5는 실시예에 따른 감지 유닛의 복수의 발광부를 도시한 단면도
도 6a 내지 도 6c는 실시예에 따른 감지 유닛을 이용하여 액정의 낙하 여부를 감지하는 방법을 설명하기 위해 도시한 도면1 illustrates a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is an enlarged cross-sectional view of the discharge unit shown in FIG.
3 is a cross-sectional view illustrating a sensing unit according to an embodiment of the present invention.
4 shows a part of a sensing unit according to an embodiment;
5 is a cross-sectional view illustrating a plurality of light emitting units of a sensing unit according to an embodiment.
6A to 6C are diagrams for explaining a method of detecting whether a liquid crystal falls by using a sensing unit according to an exemplary embodiment.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various forms, and only the embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention and to those skilled in the art. It is provided for complete information.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타낸 도면이다. 도 2는 도 1에 도시된 토출유닛을 확대 도시한 단면도이다. 도 3은 본원 발명의 실시예에 따른 감지 유닛을 설명하기 위한 단면도이다. 도 4는 실시예에 따른 감지 유닛의 일부를 도시한 도면이다. 도 5는 실시예에 따른 감지 유닛의 복수의 제 1 및 제 2 발광수단의 배치를 설명하기 위해 도시한 단면도이다.1 is a view showing a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of the discharge unit shown in FIG. 1. 3 is a cross-sectional view illustrating a sensing unit according to an embodiment of the present invention. 4 is a diagram illustrating a part of a sensing unit according to an embodiment. 5 is a cross-sectional view for explaining the arrangement of the plurality of first and second light emitting means of the sensing unit according to the embodiment.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 장치는 기판(s)이 안착되는 스테이지(100), 스테이지(100) 상측에 배치된 겐트리(200), 겐트리(200) 상에 장착 고정되며, 일방향으로 나열되어 이격 배치된 복수의 토출유닛(400), 겐트리(200) 상에서 복수의 토출유닛(400)이 나열된 방향과 동일한 방향으로 설치되어 상기 복수의 토출유닛(400)을 수평이동시키는 토출유닛 이동수단(700)을 포함한다. 또한, 스테이지(100) 상에 설치되어 겐트리(200)를 수평방향으로 이동시키는 겐트리 이동수단(300)을 포함한다. 실시예에서는 기판(s) 상에 적하되는 원료물질로 액정(liquid crystal)을 사용하며, 실시예에 따른 기판 처리 장치는 액정 적하 장치일 수 있다. 물론 이에 한정되지 않고 다양한 액상물이 사용될 수 있다.1 and 2, a substrate processing apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention includes a stage 100 on which a substrate s is seated, a gantry 200 disposed on an upper side of the stage 100, and a gantry 200. Mounted and fixed on the plurality of discharge units 400 arranged in one direction and spaced apart, the plurality of discharge units 400 on the gantry 200 are installed in the same direction as the direction in which the plurality of discharge units ( And a discharge unit moving unit 700 for horizontally moving the 400. In addition, it is provided on the stage 100 includes a gantry moving means 300 for moving the gantry 200 in the horizontal direction. In an embodiment, a liquid crystal is used as a raw material dropped on the substrate s, and the substrate processing apparatus according to the embodiment may be a liquid crystal dropping device. Of course, without being limited to this, various liquids may be used.

스테이지(100)는 기판(s)을 안치하기 위해 기판(s)과 대응되는 형상으로 제작된다. 실시예에서는 기판(s)으로 사각형 형태의 유리를 사용하므로, 스테이지(100)도 사각형 형태의 스테이지(100)를 사용한다. 또한 도시되지는 않았지만, 스테이지(100)는 기판(s)을 안치 고정시키기 위한 별도의 고정부를 구비할 수 있다. 이때, 고정부로 정전척 또는 진공 고정 장치를 사용할 수 있다. 여기서, 진공 고정 장치를 사용하는 경우, 스테이지(100)의 상측에는 도시되지는 않았지만 진공 펌프에 연통된 복수의 홀이 마련될 수 있다. 이를 통해 스테이지(100) 상측에 안치되는 기판(s)을 고정시킬 수 있다.The stage 100 is manufactured in a shape corresponding to the substrate s so as to settle the substrate s. In the embodiment, since the glass s of the rectangular shape is used as the substrate s, the stage 100 also uses the stage 100 of the rectangular shape. In addition, although not shown, the stage 100 may include a separate fixing part for fixing the substrate s. In this case, an electrostatic chuck or a vacuum fixing device may be used as the fixing part. Here, in the case of using the vacuum fixing device, although not shown, a plurality of holes communicating with the vacuum pump may be provided on the upper side of the stage 100. Through this, the substrate s placed on the upper side of the stage 100 may be fixed.

겐트리 이동수단(300)은 복수의 토출유닛(400)이 수평이동하는 방향과 교차하는 방향으로 겐트리(200)를 이동시키도록 제작되는 것이 바람직하다. 이러한 겐트리 이동수단(300)은 스테이지(100) 상부에서 나란하게 이격되어 평행하게 설치되는 한 쌍의 가이드 레일(310), 한 쌍의 가이드 레일(310) 상부에 각각 설치되어 상기 한쌍의 가이드 레일(310)을 따라 활주하는 겐트리 구동부재(320)를 포함한다. 여기서, 한 쌍의 가이드 레일(310)은 복수의 토출유닛(400)이 수평이동하는 방향과 직교하도록 스테이지(100) 상에 설치된다. 그리고, 겐트리 구동부재(320)의 상부는 겐트리(200)의 하부와 결합되어 있다. 이에, 겐트리 구동부재(320)가 가이드 레일(310)을 따라 활주함에 따라, 상기 겐트리 구동부재(320)와 결합된 겐트리(200)가 수평이동하게 된다. 이때, 겐트리 구동부재(320)는 예를 들어, 직선 운동을 하는 리니어 모터 및 볼스크류와 볼스크류를 회전시키는 모터의 조합일 수 있다. 물론 이에 한정되지 않고 겐트리 구동부재(320)가 가이드 레일(310) 상에서 활주할 수 있는 어떠한 방식이 적용되어도 무방하다.The gantry moving unit 300 is preferably manufactured to move the gantry 200 in a direction crossing the direction in which the plurality of discharge units 400 horizontally move. The gantry moving means 300 is installed on the pair of guide rails 310, the pair of guide rails 310 which are installed in parallel and spaced apart in parallel on the stage 100, the pair of guide rails And a gantry driving member 320 sliding along 310. Here, the pair of guide rails 310 are installed on the stage 100 so as to be orthogonal to the direction in which the plurality of discharge units 400 move horizontally. The upper portion of the gantry driving member 320 is coupled to the lower portion of the gantry 200. Thus, as the gantry driving member 320 slides along the guide rail 310, the gantry 200 coupled to the gantry driving member 320 is horizontally moved. In this case, the gantry driving member 320 may be, for example, a combination of a linear motor for linear movement and a motor for rotating the ball screw and the ball screw. Of course, the present invention is not limited thereto, and any method in which the gantry driving member 320 may slide on the guide rail 310 may be applied.

복수의 토출유닛(400) 각각은 겐트리(200) 상에 장착된 토출유닛 이동수단(700)과 결합되어, 상기 토출유닛 이동수단(700)에 의해 수평이동하는 결합부재(410), 결합부재(410)의 상측에 장착되며 액정을 저장하는 원료물질 저장부(420), 원료물질 저장부(420)로부터 액정을 공급받고 이를 배출하는 시린지(430), 시린지(430)로부터 액정을 공급받아 기판(s) 상에 액정을 토출하는 토출부(450), 토출부(450)의 하측에 배치되어 상기 액정의 적하 여부를 감지하는 감지 유닛(500)을 포함한다. 또한, 일단이 원료물질 저장부(420)에 연결되고 타단이 시린지(430)에 연결된 제 1 공급관(480), 일단이 시린지(430)에 연결되고 타단이 토출부(450)의 노즐(452)에 연결된 제 2 공급관(490), 제 1 공급관(460)에 설치되어 시린지(430)와 원료물질 저장부(420) 사이의 연통을 제어하는 제 1 밸브(460), 제 2 공급관(490)에 설치되어 시린지(430)와 토출부(450) 사이의 연통을 제어하는 제 2 밸브(470), 각각이 결합부재(410) 상에 장착되어 원료물질 저장부(420)를 지지하는 원료물질 저장부 지지 수단(420-1) 및 시린지(430)를 지지하는 시린지 지지 수단(430-1)을 포함한다. 여기서, 제 1 및 제 2 공급관(480, 490)은 내부공간을 가지는 튜브 형상으로 제작된다. 또한, 원료물질 저장부 지지 수단(420-1)은 원료물질 저장부(420)의 하측에 배치되도록 결합부재(410) 상에 장착되어, 상기 원료물질 저장부(420)를 지지한다. 그리고 시린지 지지 수단(430-1)은 제 2 밸브(470)와 인접한 시린지(430)의 하부 영역과 결합된 상태로 결합부재(410) 상에 장착된다. 물론 이에 한정되지 않고 원료물질 저장부 지지 수단(420-1) 및 시린지 지지 수단(430-1)은 원료물질 저장부(420) 및 시린지(430) 각각을 지지할 수 있는 다양한 위치에 배치되어도 무방하다. 또한, 이러한 복수의 토출유닛(400)의 결합부재(410) 각각의 후면은 전술한 바와 같이 겐트리(200) 상에 장착된 토출유닛 이동수단(700)과 결합되어 있다. 여기서 실시예에 따른 결합부재(410)는 판 형상으로 제작되어 전면에 원료물질 저장부(420), 시린지(430) 및 토출부(450)가 장착되고, 후면에 토출유닛 이동수단(700)이 연결된다. 이에, 복수의 토출유닛(400)은 토출유닛 이동수단(700)을 통해 수평 방향으로 이동하면서, 기판(s) 상에 액정을 적하시킬 수 있다.Each of the plurality of discharge units 400 is coupled to the discharge unit moving means 700 mounted on the gantry 200, and the coupling member 410 and the coupling member which are horizontally moved by the discharge unit moving means 700. The substrate is mounted on the upper side of the 410 and receives the liquid crystal from the raw material storage unit 420 for storing the liquid crystal, the liquid crystal from the raw material storage unit 420 and the syringe 430 and the syringe 430 for discharging the liquid crystal substrate. (S) and the discharge unit 450 for discharging the liquid crystal, the sensing unit 500 is disposed below the discharge unit 450 to detect whether the liquid crystal dropping. In addition, the first supply pipe 480, one end is connected to the raw material storage unit 420, the other end is connected to the syringe 430, one end is connected to the syringe 430, and the other end is the nozzle 452 of the discharge unit 450 A second supply pipe 490 connected to the first supply pipe 460 and connected to the first valve 460 and the second supply pipe 490 to control communication between the syringe 430 and the raw material storage 420. A second valve 470 installed to control communication between the syringe 430 and the discharge part 450, each of which is mounted on the coupling member 410 to support the raw material storage part 420. And a syringe support means 430-1 for supporting the support means 420-1 and the syringe 430. Here, the first and second supply pipes 480 and 490 are manufactured in a tube shape having an inner space. In addition, the raw material storage unit support means 420-1 is mounted on the coupling member 410 to be disposed below the raw material storage unit 420 to support the raw material storage unit 420. The syringe support means 430-1 is mounted on the coupling member 410 in a state of being coupled with the lower region of the syringe 430 adjacent to the second valve 470. Of course, the present invention is not limited thereto, and the raw material storage part supporting means 420-1 and the syringe supporting means 430-1 may be disposed at various positions capable of supporting each of the raw material storage part 420 and the syringe 430. Do. In addition, the rear surface of each of the coupling members 410 of the plurality of discharge units 400 is coupled to the discharge unit moving means 700 mounted on the gantry 200 as described above. Here, the coupling member 410 according to the embodiment is manufactured in a plate shape, and the raw material storage part 420, the syringe 430, and the discharge part 450 are mounted on the front side, and the discharge unit moving unit 700 is provided on the rear side. Connected. Accordingly, the plurality of discharge units 400 may move the liquid crystal onto the substrate s while moving in the horizontal direction through the discharge unit moving means 700.

원료물질 저장부(420)는 시린지(430)에 공급될 액정을 저장하는 것으로, 실시예에서는 원통형의 형상으로 제작되었다. 하지만 이에 한정되지 않고 다양한 형상으로 제작될 수 있다. 그리고 원료물질 저장부(420)에는 도시되지는 않았지만, 내부에 진공 수단을 구비하여 원료물질 저장부(420) 내의 공기를 대기로 배출하는 탈포 장치(미도시)가 설치될 수도 있다.The raw material storage unit 420 stores the liquid crystal to be supplied to the syringe 430, and in this embodiment, the raw material storage unit 420 is manufactured in a cylindrical shape. However, the present invention is not limited thereto and may be manufactured in various shapes. And although not shown in the raw material storage unit 420, a degassing device (not shown) may be provided with a vacuum means therein to discharge the air in the raw material storage unit 420 to the atmosphere.

시린지(430)는 원료물질 저장부(420)로부터 액정을 공급받아, 일정량을 토출부(450)로 제공하는 역할을 한다. 이러한 시린지(430)는 도시되지는 않았지만, 액정을 저장하는 내부공간이 마련된 몸체부, 몸체부의 측부에 연결되어 상기 몸체부 내부로 액정을 주입하는 주입구, 몸체부의 하부에 연결되어 상기 몸체부 내부의 액정을 배출하는 배출구을 포함한다. 몸체부는 내부공간을 갖는 통 형상으로 제작되고, 금속, 플라스틱 또는 유리와 같은 다양한 소재로 제작될 수 있다. 그리고 주입구의 일단에는 제 1 공급관(480)과 주입구 사이의 연통을 제어하는 제 1 밸브(460)가 연결된다. 또한, 배출구의 일단에는 상기 배출구와 제 2 공급관(490) 사이의 연통을 제어하는 제 2 밸브(470)가 연결된다.The syringe 430 receives liquid crystal from the raw material storage unit 420 and serves to provide a predetermined amount to the discharge unit 450. Although not shown, the syringe 430 is connected to a body part provided with an inner space for storing liquid crystal, an injection hole for injecting liquid crystal into the body part, and connected to a lower part of the body part inside the body part. And an outlet for discharging the liquid crystal. The body portion may be manufactured in a cylindrical shape having an inner space, and may be made of various materials such as metal, plastic, or glass. One end of the inlet is connected with a first valve 460 that controls communication between the first supply pipe 480 and the inlet. In addition, a second valve 470 that controls communication between the outlet and the second supply pipe 490 is connected to one end of the outlet.

토출부(450)는 시린지(430)의 하측에 배치되도록 결합부재(410)에 장착되어, 스테이지(100)에 안치된 기판(s) 상에 액정을 적하하는 역할을 한다. 이러한 토출부(450)는 기판(s) 상에 액정을 적하하는 노즐(452), 노즐(452)이 장착 고정되는 노즐 지지 수단(451)을 포함한다. 이때, 노즐 지지 수단(451)이 결합부재(410) 상에 장착되고, 상기 노즐 지지 수단(451)에 노즐(452)이 장착 고정된다. 여기서, 노즐(452)은 제 2 공급관(490)의 타단과 연결되어 제 2 공급관(490)을 통해 시린지(430) 내의 액정을 공급받아 이를 기판(s) 상에 적하한다.The discharge part 450 is mounted to the coupling member 410 to be disposed under the syringe 430, and serves to drop the liquid crystal onto the substrate s placed on the stage 100. The discharge part 450 includes a nozzle 452 for dropping liquid crystal onto the substrate s, and nozzle support means 451 to which the nozzle 452 is mounted and fixed. In this case, the nozzle support means 451 is mounted on the coupling member 410, and the nozzle 452 is fixed to the nozzle support means 451. Here, the nozzle 452 is connected to the other end of the second supply pipe 490 receives the liquid crystal in the syringe 430 through the second supply pipe 490 and drop it onto the substrate (s).

감지 유닛(500)은 액정의 적하 여부를 감지하는 역할을 한다. 이러한 감지 유닛(500)은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 노즐(452)로부터 액정이 토출되어 적하되는 방향에 배치된 제 1 감지부(510), 제 1 감지부(510) 하부에 연결된 제 2 감지부(520), 제 2 감지부(520)의 하부에 연결되어 액정이 튀는 것을 방지하는 튐 방지 부재(530)를 포함한다. 즉, 실시예에 따른 감지 유닛(500)은 복수의 제 1 및 제 2 감지부(510, 520)를 구비하고, 상기 제 1 및 제 2 감지부(510, 520)가 상하 방향으로 배치된다. 이는, 제 1 감지부(510)에서 감지하지 못한 액정을 상기 제 1 감지부(510)의 하측에 배치된 제 2 감지부(520)에서 감지할 수 있도록 하기 위함이다.The sensing unit 500 serves to detect whether the liquid crystal is dropped. As illustrated in FIGS. 3 and 4, the sensing unit 500 is disposed under the first sensing unit 510 and the first sensing unit 510 disposed in a direction in which liquid crystal is discharged and dropped from the nozzle 452. The second sensing unit 520 is connected to the lower portion of the second sensing unit 520 and prevents the liquid crystal splashing member 530 is included. That is, the sensing unit 500 according to the embodiment includes a plurality of first and second sensing units 510 and 520, and the first and second sensing units 510 and 520 are disposed in the vertical direction. This is to allow the second detection unit 520 disposed below the first detection unit 510 to detect the liquid crystals not detected by the first detection unit 510.

제 1 감지부(510)는 노즐(452)의 하측에 배치되어 광을 방출하는 제 1 발광부(510a), 제 1 발광부(510a)와 마주보도록 이격 배치되어 광을 수신하는 제 1 수신부(510b)를 포함한다. 여기서 제 1 발광부(510a) 및 제 1 수신부(510b)의 상부는 상호 이격 되도록 노즐 지지 수단(451) 하부에 결합된다. 또한, 제 2 감지부(520)는 제 1 발광부(510a)의 하측에 배치된 제 2 발광부(520a), 제 2 발광부(520a)와 마주보도록 이격 배치된 제 2 수신부(520b)를 포함한다. 여기서 제 2 발광부(520a)의 상부가 제 1 발광부(510a)의 하부와 결합되고, 제 2 수신부(520b)의 상부가 제 1 수신부(510b)의 하부와 결합된다. 그리고 상하 방향으로 결합된 제 1 및 제 2 발광부(510a, 520a)와 제 1 및 제 2 수신부(510b, 520b) 사이의 이격 공간의 상측에 노즐(452)이 배치된다. 따라서, 노즐(452)로부터 토출된 액정은 제 1 및 제 2 발광부(510a, 520a)와 제 1 및 제 2 수신부(510b, 520b) 사이의 이격 공간을 통과하여 기판(s) 상에 적하된다.The first detector 510 is disposed below the nozzle 452 to emit light, and the first receiver 510a is spaced apart from each other to face the first light emitter 510a and receives the light ( 510b). Here, the upper portions of the first light emitting portion 510a and the first receiving portion 510b are coupled to the lower portion of the nozzle support means 451 to be spaced apart from each other. In addition, the second detector 520 may include a second light emitter 520a disposed below the first light emitter 510a and a second receiver 520b spaced apart from each other to face the second light emitter 520a. Include. Here, an upper portion of the second light emitting unit 520a is coupled with a lower portion of the first light emitting unit 510a, and an upper portion of the second receiver 520b is coupled with a lower portion of the first receiver 510b. The nozzle 452 is disposed above the separation space between the first and second light emitting parts 510a and 520a and the first and second receivers 510b and 520b coupled in the vertical direction. Therefore, the liquid crystal discharged from the nozzle 452 is dropped on the substrate s through a space between the first and second light emitting parts 510a and 520a and the first and second receiving parts 510b and 520b. .

상기에서는 제 1 발광부(510a)의 하부에 제 2 발광부(520a)가 결합되고, 제 1 수신부(510b)의 하부에 제 2 수신부(520b)가 결합되는 것을 설명하였다. 하지만 이에 한정되지 않고 제 1 발광부(510a)와 제 2 발광부(520a)가 서로 결합되지 않고, 상하 방향으로 이격되어 배치될 수 있다. 또한, 제 1 수신부(510b)와 제 2 수신부(520b)가 서로 결합되지 않고 상하 방향으로 이격되어 배치될 수 있다.In the above, the second light emitter 520a is coupled to the lower portion of the first light emitter 510a, and the second receiver 520b is coupled to the lower portion of the first receiver 510b. However, the present invention is not limited thereto, and the first light emitting part 510a and the second light emitting part 520a may not be coupled to each other but may be spaced apart in the vertical direction. In addition, the first receiver 510b and the second receiver 520b may be spaced apart from each other in the vertical direction without being coupled to each other.

제 1 발광부(510a)는 일 방향 예를 들어 수평 방향으로 일정거리 이격되어 배치된 복수의 제 1 발광수단(510a-2), 복수의 제 1 발광수단(510a-2)이 삽입 장착되는 제 1 케이스(510a-1)를 포함한다. 이때, 복수의 제 1 발광수단(510a-2)의 중심부 사이의 이격 거리는 0.1mm 내지 1.0mm 바람직하게는 0.3mm 내지 0.7mm이다. 예를 들어, 복수의 제 1 발광수단(510a-2)의 중심부 사이의 이격 거리가 0.1mm 미만 또는 1.0mm를 초과하는 경우, 상기 복수의 제 1 발광수단(510a-2)으로부터 방출되는 광의 간섭이 일어나거나 낙하되는 액정을 용이하게 감지하지 못할 수 있다. 실시예에서는 복수의 제 1 발광수단(510a-2)으로 광을 공급받아 발산하는 다수 가닥의 광 섬유를 사용한다. 물론 이에 한정되지 않고 광을 발산할 수 있는 수단이라면 어떠한 수단이 사용되어도 무방하다. 그리고 이러한 복수의 제 1 발광수단(510a-2)은 전술한 바와 같이 상호 일정거리 이격되도록 제 1 케이스(510a-1) 내에 삽입 장착된다. 그리고 복수의 제 1 발광수단(510a-2)에서 광이 방출되는 영역은 제 1 케이스(510a-1)로부터 노출되도록 장착된다. 여기서 제 1 케이스(510a-1)는 복수의 제 1 발광수단(510a-2)이 삽입 장착될 수 있도록 복수의 홈이 마련되도록 제작한다. 그리고 이러한 제 1 케이스(510a-1)는 광을 투과시키지 않는 불투명한 재료를 이용하여 제작된다. 또한, 복수의 제 1 발광수단(510a-2)이 삽입되는 홈 이외에 나머지 영역은 밀폐되도록 제작하는 것이 바람직하다. 그리고 제 1 수신부(510b)는 제 1 발광부(510a)로부터 발광된 광의 수광 여부에 따라 액정의 적하 여부를 감지하는 역할을 한다. 즉, 제 1 발광부(510a)의 복수의 제 1 발광수단(510a-2)으로부터 방출된 광이 그대로 제 1 수신부(510b)에 입사되면, 액정이 적하되는 것으로 판단한다. 반면, 복수의 제 1 발광수단(510a-2)으로부터 방출된 광이 액정 방울에 의해 반사되어 제 1 수신부(510b)에 입사되지 않으면, 액정이 적하되지 않은 것으로 판단한다.The first light emitting unit 510a may include a plurality of first light emitting means 510a-2 and a plurality of first light emitting means 510a-2, which are arranged to be spaced apart by a predetermined distance in one direction, for example, in a horizontal direction. One case 510a-1 is included. At this time, the separation distance between the central portions of the plurality of first light emitting means 510a-2 is 0.1 mm to 1.0 mm, preferably 0.3 mm to 0.7 mm. For example, when the separation distance between the centers of the plurality of first light emitting means 510a-2 is less than 0.1 mm or more than 1.0 mm, interference of light emitted from the plurality of first light emitting means 510a-2 may occur. This may not easily detect the rising or falling liquid crystal. In the embodiment, a plurality of strands of optical fibers are used to emit and receive light through the plurality of first light emitting means 510a-2. Of course, the present invention is not limited thereto, and any means may be used as long as it can emit light. As described above, the plurality of first light emitting means 510a-2 is inserted into and mounted in the first case 510a-1 to be spaced apart from each other by a predetermined distance. The light emitting areas of the plurality of first light emitting means 510a-2 are mounted to be exposed from the first case 510a-1. Here, the first case 510a-1 is manufactured so that a plurality of grooves are provided so that the plurality of first light emitting means 510a-2 can be inserted into the first case 510a-1. The first case 510a-1 is manufactured using an opaque material that does not transmit light. In addition, it is preferable that the remaining area other than the groove into which the plurality of first light emitting means 510a-2 is inserted is sealed. In addition, the first receiver 510b detects the drop of the liquid crystal according to whether the light emitted from the first light emitter 510a is received. That is, when light emitted from the plurality of first light emitting means 510a-2 of the first light emitting part 510a is incident on the first receiving part 510b, it is determined that the liquid crystal is dropped. On the other hand, if the light emitted from the plurality of first light emitting means 510a-2 is reflected by the liquid crystal droplets and is not incident on the first receiver 510b, it is determined that the liquid crystal is not dropped.

제 2 발광부(520a)는 상기에서 전술한 제 1 발광부(510a)와 구성이 동일하다. 즉, 제 2 발광부(520a)는 수평 방향으로 일정거리 이격되어 배치된 복수의 제 2 발광수단(520a-2), 복수의 제 2 발광수단(520a-2)이 삽입 장착되는 제 2 케이스(520a-1)를 포함한다. 이때, 복수의 제 2 발광수단(520a-2) 중심부 사이의 이격 거리는 0.1mm 내지 1.0mm 바람직하게는 0.3mm 내지 0.7mm이다. 예를 들어, 복수의 제 2 발광수단(520a-2) 중심부 사이의 이격 거리가 0.1mm 미만 또는 1.0mm를 초과하는 경우, 상기 복수의 제 2 발광수단(520a-2)으로부터 방출되는 광의 간섭이 일어나거나 낙하되는 액정을 용이하게 감지하지 못할 수 있다. 실시예에서는 복수의 제 2 발광수단(520a-2)으로 제 1 발광수단(510a-2)과 동일한 광 섬유를 사용한다. 그리고 이러한 복수의 제 1 발광수단(510a-2)은 전술한 바와 같이 상호 일정거리 이격되도록 제 2 케이스(520a-1) 내에 삽입 장착된다. 이때, 실시예에 따른 복수의 제 2 발광수단(520a-2)은 복수의 제 1 발광수단(510a-2)과 엇갈리도록 배치된다. 즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 상호 이격되도록 배치된 복수의 제 1 발광수단(510a-2) 사이 영역 하측에 각각의 제 2 발광수단(520a-2)이 배치되도록 한다. 이는 제 1 감지부(510)에서 감지하지 못한 액정을 제 2 감지부(520)에서 감지할 수 있도록 하기 위함이다. 이에 대한 상세한 설명은 하기에서 하기로 한다. 그리고 제 2 케이스(520a-1)는 복수의 제 2 발광수단(520a-2)이 삽입 장착될 수 있도록 일 방향으로 나열된 복수의 홈이 마련되도록 제작한다. 이때 제 2 케이스(520a-1)에 마련된 복수의 홈은 제 1 케이스(510a-1)에 마련된 홈과 엇갈리게 배치되도록 마련된다. 또한, 제 2 케이스(520a-1)는 광을 투과시키지 않는 불투명한 재료를 이용하여 제작되는 것이 바람직하며, 복수의 제 2 발광수단(520a-2)이 삽입되는 홈 이외에 나머지 영역은 밀폐되도록 제작하는 것이 바람직하다.The second light emitting unit 520a has the same configuration as the first light emitting unit 510a described above. That is, the second light emitting part 520a may include a second case in which the plurality of second light emitting means 520a-2 and the plurality of second light emitting means 520a-2 are inserted into and spaced apart from each other in a horizontal direction. 520a-1). At this time, the separation distance between the centers of the plurality of second light emitting means 520a-2 is 0.1 mm to 1.0 mm, preferably 0.3 mm to 0.7 mm. For example, when the separation distance between the centers of the plurality of second light emitting means 520a-2 is less than 0.1 mm or more than 1.0 mm, interference of the light emitted from the plurality of second light emitting means 520a-2 may occur. It may not be easy to detect the liquid crystal rising or falling. In the embodiment, the same optical fiber as the first light emitting means 510a-2 is used as the plurality of second light emitting means 520a-2. As described above, the plurality of first light emitting means 510a-2 is inserted into and mounted in the second case 520a-1 to be spaced apart from each other by a predetermined distance. In this case, the plurality of second light emitting means 520a-2 according to the exemplary embodiment is disposed to cross the plurality of first light emitting means 510a-2. That is, as shown in FIG. 5, each second light emitting means 520a-2 is disposed under a region between the plurality of first light emitting means 510a-2 arranged to be spaced apart from each other. This is to allow the second detection unit 520 to detect the liquid crystals not detected by the first detection unit 510. Detailed description thereof will be given below. In addition, the second case 520a-1 is manufactured so that a plurality of grooves arranged in one direction are provided so that the plurality of second light emitting means 520a-2 may be inserted into the second case 520a-1. In this case, the plurality of grooves provided in the second case 520a-1 are provided to be alternately arranged with the grooves provided in the first case 510a-1. In addition, the second case 520a-1 is preferably manufactured using an opaque material that does not transmit light, and the remaining area other than the groove into which the plurality of second light emitting means 520a-2 is inserted is sealed. It is desirable to.

그리고 전술한 바와 같이 복수의 제 1 발광수단(510a-2)을 구비하는 제 1 발광부와 복수의 제 1 발광수단(510a-2)을 구비하는 제 2 발광부가 상하 방향으로 된다. 이에, 수평 방향으로 나열 배치된 복수의 제 1 발광수단(510a-2)과 수평 방향으로 제 2 발광수단(520a-2)이 상하 방향으로 이격 배치되는데, 이때, 상측에 배치된 제 1 발광수단(510a-2)의 중심과 하측에 배치된 제 2 발광수단(520a-2) 중심 사이의 이격 거리가 0.1mm 내지 0.5mmm 바람직하게는 0.2mm 내지 0.3mm이다. 예를 들어, 제 1 발광수단(510a-2)의 중심과 제 2 발광수단(520a-2) 중심 사이의 이격 거리가 0.1mm 미만이거나 0.5mm를 초과하는 경우, 낙하하는 액정을 용이하게 감지하지 못할 수 있다. 또한, 전술한 바와 같이 상측에 배치된 복수의 제 1 발광수단(510a-2)과 하측에 배치된 제 2 발광수단(520a-2)이 서로 엇갈리도록 배치되는데, 이때 제 1 발광수단(510a-2)의 중심과 제 2 발광수단(520a-2) 중심의 수평 방향의 이격 거리는 0.1mm 내지 0.5mmm 바람직하게는 0.2mm 내지 0.3mm이다. 예를 들어, 제 1 발광수단(510a-2)의 중심과 제 2 발광수단(520a-2) 중심 사이의 이격 거리가 0.1mm 미만이거나 0.5mm를 초과하는 경우, 낙하하는 액정을 용이하게 감지하지 못할 수 있다.As described above, the first light emitting part including the plurality of first light emitting means 510a-2 and the second light emitting part including the plurality of first light emitting means 510a-2 become vertical directions. Accordingly, the plurality of first light emitting means 510a-2 arranged in the horizontal direction and the second light emitting means 520a-2 are spaced apart in the vertical direction in the horizontal direction. In this case, the first light emitting means disposed on the upper side is disposed. The separation distance between the center of 510a-2 and the center of second light emitting means 520a-2 disposed below is 0.1 mm to 0.5 mm, and preferably 0.2 mm to 0.3 mm. For example, when the separation distance between the center of the first light emitting means 510a-2 and the center of the second light emitting means 520a-2 is less than 0.1 mm or more than 0.5 mm, the falling liquid crystal may not be easily detected. You may not be able to. In addition, as described above, the plurality of first light emitting means 510a-2 disposed above and the second light emitting means 520a-2 disposed below are arranged to cross each other, wherein the first light emitting means 510a- The distance between the center of 2) and the center of the second light emitting means 520a-2 in the horizontal direction is 0.1 mm to 0.5 mm, preferably 0.2 mm to 0.3 mm. For example, when the separation distance between the center of the first light emitting means 510a-2 and the center of the second light emitting means 520a-2 is less than 0.1 mm or more than 0.5 mm, the falling liquid crystal may not be easily detected. You may not be able to.

실시예에서는 상하 방향으로 배치된 2개의 감지부(510, 520)를 마련하였으나 이에 한정되지 않고, 2개 이상의 감지부를 마련할 수 있다. 이때, 각각의 감지부의 복수의 발광수단은 서로 엇갈리도록 배치되는 것이 바람직하다. 또한, 실시예에에서는 제 1 및 제 2 발광부(510a, 520a) 각각에 복수의 제 1 및 제 2 발광수단(510a-2, 520a-2)이 1열로 배열되는 것을 설명하였다. 하지만 이에 한정되지 않고, 제 1 발광부(510a)의 복수의 제 1 발광수단(510a-2)이 2열 이상으로 배치될 수 있다. 그리고 이때, 상측에 배치된 복수의 제 1 발광수단(510a-2)과 하측에 배치된 복수의 제 1 발광수단(510a-2)이 서로 엇갈리도록 배치하는 것이 바람직하다. 또한, 제 2 발광부(520a)의 복수의 제 2 발광수단(520a-2)이 2열 이상으로 배치될 수 있다. 그리고 이때, 상측에 배치된 복수의 제 2 발광수단(520a-2)과 하측에 배치된 복수의 제 2 발광수단(520a-2)이 서로 엇갈리도록 배치하는 것이 바람직하다.In the exemplary embodiment, two sensing units 510 and 520 disposed in the vertical direction are provided, but the present disclosure is not limited thereto, and two or more sensing units may be provided. In this case, it is preferable that the plurality of light emitting means of each sensing unit are arranged to be staggered with each other. In addition, in the exemplary embodiment, the first and second light emitting units 510a-2 and 520a-2 are arranged in one row in each of the first and second light emitting units 510a and 520a. However, the present invention is not limited thereto, and the plurality of first light emitting means 510a-2 of the first light emitting part 510a may be arranged in two or more rows. At this time, it is preferable that the plurality of first light emitting means 510a-2 disposed above and the plurality of first light emitting means 510a-2 disposed below are alternately disposed. In addition, the plurality of second light emitting means 520a-2 of the second light emitting part 520a may be arranged in two or more rows. At this time, it is preferable that the plurality of second light emitting means 520a-2 disposed above and the plurality of second light emitting means 520a-2 disposed below are alternately arranged.

튐 방지 부재(530)는 노즐(452)로부터 토출되어 기판(s)으로 적하된 액정이 기판(s)에 부딪혀 상측으로 다시 튀어, 튄 액정이 제 1 및 제 2 발광부(510a, 520a)와 제 1 및 제 2 수신부(510b, 520b) 사이의 이격 공간으로 유입되는 것을 방지하는 역할을 한다. 이러한 튐 방지 부재(530)는 제 2 감지부(520)의 제 2 발광부(520a) 및 제 2 수신부(520b)의 하부에 연결된다. 그리고 튐 방지 부재(530)는 노즐(452)의 하측에 대응하는 위치에 개구부가 마련된 플레이트 형상으로 제작된다.The anti-reflection member 530 is discharged from the nozzle 452 and the liquid crystal dropped onto the substrate s hits the substrate s and bounces upwards, so that the splashed liquid crystal is separated from the first and second light emitting portions 510a and 520a. It serves to prevent the flow into the spaced space between the first and second receiver 510b, 520b. The splash preventing member 530 is connected to the lower part of the second light emitting part 520a and the second receiving part 520b of the second sensing part 520. And the splash prevention member 530 is produced in the plate shape in which the opening part was provided in the position corresponding to the lower side of the nozzle 452.

도 6a 내지 도 6c는 실시예에 따른 감지 유닛을 이용하여 액정의 낙하 여부를 감지하는 방법을 설명하기 위해 도시한 도면이다. 하기에서는 도 6a 내지 도 6c를 참조하여, 실시예에 따른 감지 유닛을 이용하여 액정의 낙하 여부를 감지하는 방법을 설명한다.6A to 6C are diagrams for describing a method of detecting whether a liquid crystal falls by using a sensing unit according to an exemplary embodiment. Hereinafter, a method of detecting whether the liquid crystal falls by using the sensing unit according to the embodiment will be described with reference to FIGS. 6A to 6C.

도 6a에 도시된 바와 같이, 예를 들어, 노즐(452)로부터 액정이 적하되지 않을 경우, 복수의 제 1 및 제 2 발광수단(510a-1, 520a-2)으로부터 방출되는 복수의 광들은 그대로 제 1 및 제 2 수신부(510b, 520b)로 입사된다. 이에 노즐(452)로부터 액정이 적하되지 않은 것으로 판단한다.As shown in FIG. 6A, for example, when the liquid crystal is not dropped from the nozzle 452, the plurality of lights emitted from the plurality of first and second light emitting means 510a-1 and 520a-2 remain as they are. Incident to the first and second receivers 510b and 520b. Thus, it is determined that the liquid crystal is not dropped from the nozzle 452.

그리고 도6b에 도시된 바와 같이, 예를 들어 액정이 제 1 발광부(510a)의 복수의 제 1 발광수단(510a-2) 중 어느 하나로부터 방출되는 광이 제 1 수신부(510b)로 이동하는 경로를 통과하도록 낙하될 수 있다. 이에, 복수의 제 1 발광수단(510a-2)으로부터 방출된 복수의 광들 중 어느 하나는 액정에 의해 반사된다. 따라서, 액정에 의해 반사된 광은 제 1 수신부(510b)로 입사되지 않는다. 이와 같이 복수의 제 1 및 제 2 발광수단(510a-1, 520a-2)으로부터 방출된 복수의 광들 중 어느 하나라도 수신되지 않을 경우, 액정이 적하된 것으로 판단한다.As shown in FIG. 6B, for example, when the liquid crystal is emitted from any one of the plurality of first light emitting means 510a-2 of the first light emitting part 510a, the light is moved to the first receiving part 510b. Can fall to pass the path. Thus, any one of the plurality of light emitted from the plurality of first light emitting means 510a-2 is reflected by the liquid crystal. Therefore, the light reflected by the liquid crystal does not enter the first receiver 510b. As described above, when any one of the plurality of light emitted from the plurality of first and second light emitting means 510a-1 and 520a-2 is not received, it is determined that the liquid crystal is dropped.

또한, 도 6c에 도시된 바와 같이, 예를 들어, 액정이 상측에 배치된 복수의 제 1 발광수단(510a-2)으로부터 방출되는 어느 하나의 광이 이동하는 경로를 통과하지 않고, 하측에 배치된 복수의 제 2 발광수단(520a-2)으로부터 방출된 어느 하나의 광이 이동하는 경로를 통과하도록 낙하될 수 있다. 이때, 복수의 제 1 발광수단(510a-2)으로부터 방출된 복수의 광들은 그대로 제 1 수신부(510b)로 입사된다. 하지만, 복수의 제 2 발광수단(520a-2)으로부터 방출된 복수의 광들 중 어느 하나는 액정으로부터 반사되어, 제 2 수신부(520b)로 입사되지 않는다. 이에, 복수의 제 1 및 제 2 발광수단(510a-1, 520a-2)의 수만큼 광이 수신되지 않고, 어느 하나가 수신되지 않았으므로 액정이 적하된 것으로 판단한다.In addition, as shown in FIG. 6C, for example, the liquid crystal is disposed below without passing through a path through which any light emitted from the plurality of first light emitting means 510a-2 is disposed. Any one of the light emitted from the plurality of second light emitting means 520a-2 may fall to pass through the moving path. In this case, the plurality of lights emitted from the plurality of first light emitting means 510a-2 are incident to the first receiver 510b. However, any one of the plurality of lights emitted from the plurality of second light emitting means 520a-2 is reflected from the liquid crystal and is not incident to the second receiver 520b. Accordingly, light is not received as many as the first and second light emitting means 510a-1 and 520a-2, and either is not received. Therefore, it is determined that the liquid crystal is dropped.

이와 같이 실시예에서는 액정의 적하 여부를 제 1 감지부(510)에서 감지하지 못하더라도, 상기 제 1 감지부(510)의 하측에 배치된 제 2 감지부(520)에 의해 감지될 수 있다. 이는 상기에서 전술한 바와 같이, 제 1 감지부(510)와 제 2 감지부(520)가 상하 방향으로 배치되고, 상기 제 1 감지부(510)의 복수의 제 1 발광수단(510a-2)과 제 2 감지부(520)의 복수의 제 2 발광수단(520a-2)이 서로 엇갈리도록 배치되기 때문이다.As described above, even if the first detection unit 510 does not detect whether the liquid crystal is dropped, the second detection unit 520 disposed under the first detection unit 510 may be sensed. As described above, the first detector 510 and the second detector 520 are disposed in the vertical direction, and the plurality of first light emitting means 510a-2 of the first detector 510 are disposed. This is because the plurality of second light emitting means 520a-2 of the second sensing unit 520 are alternately disposed.

상기에서는 액정을 적하하는 적하 장치에 대해 서술하였으나, 이에 한정되지 않고 원료 물질을 적하하는 다양한 장치에 적용될 수 있다.In the above, the dropping apparatus for dropping the liquid crystal has been described, but the present invention is not limited thereto and may be applied to various devices for dropping the raw material.

500: 감지 유닛 510: 제 1 감지부
520: 제 2 감지부 510a: 제 1 발광부
510b: 제 1 수신부 520a: 제 2 발광부500: detection unit 510: first detection unit
520: second detector 510a: first light emitter
510b: first receiver 520a: second light emitter

Claims

In the dripping apparatus provided with the nozzle which dripping a raw material,
A plurality of light emitting parts disposed in an up and down direction, each having a plurality of light emitting means for emitting light and a case into which the plurality of light emitting means are inserted and mounted;
It includes a sensing unit having a plurality of receiving units for receiving the light emitted from the plurality of light emitting units, respectively,
And a plurality of light emitting means located above and the plurality of light emitting means located below are staggered from each other.

The method according to claim 1,
A plurality of light emitting means in the light emitting portion is arranged in one row, or dropping apparatus arranged in a double row spaced in the vertical direction.

The method according to claim 2,
And a plurality of light emitting means in the light emitting portion are arranged so that the plurality of light emitting means in each row are staggered from each other.

The method according to claim 1,
And a plurality of nozzles arranged to be spaced apart from each other so that the plurality of light emitting parts and the plurality of receiving parts face each other, and a nozzle for dropping a raw material on an upper spaced space between the plurality of light emitting parts and the plurality of receiving parts.

delete

The method according to claim 1,
The casing includes a plurality of grooves into which the plurality of light emitting means are inserted, and the dropping device is manufactured so that the remaining areas other than the light emitting areas of the plurality of light emitting means are sealed.

The method according to claim 1,
The case is a dropping device is manufactured using an opaque material that does not transmit light.