KR101162119B1 - 태양전지의 선택적 에미터 형성 방법 및 그 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 태양전지의 선택적 에미터 형성 방법 및 그 장치에 관한 것이다. 본 발명은 먼저 실리콘 웨이퍼(110)의 전면에 'H'- 그리드 형태의 스크린 마스크(100)를 이용하여 고농도 불순물 페이스트(120)를 인쇄하고 이를 건조한다. 그런 다음 상기 고농도 불순물 페이스트(120)가 인쇄 및 건조된 실리콘 웨이퍼(110)를 상기 실리콘 웨이퍼(110)의 도전형에 따라 인산(또는 붕산)과 물이 혼합된 안개층(mist)에 통과시킨다. 그러면 상기 인산(또는 붕산)이 희석된 용액이 상기 실리콘 웨이퍼(110)의 전체 면적에 부착되게 한다. 이후 상기 실리콘 웨이퍼(110)에 대해 급속 열처리 공정을 수행한다. 상기 열처리 공정 조건은 800 내지 1,100℃에서 5 내지 12 분간 수행하도록 한다. 그렇게 하면, 상기 고농도 불순물 페이스트(120)가 인쇄된 영역은 고농도 불순물 영역(140)이 형성되고, 상기 인산(또는 붕산)이 희석된 용액(130)이 부착된 영역은 저농도 불순물 영역(150)이 형성되어 선택적 에미터를 형성하게 된다. 그와 같은 본 발명에 따르면, 현재 상용화된 장비들을 이용하여 간단하게 선택적 에미터를 형성할 수 있는 이점이 있다.
태양전지, 선택적 에미터, 스크린 마스크, 미스트(mist), 인산, 붕산
Description
본 발명은 태양전지의 선택적 에미터에 관한 것으로, 특히 스크린 프린팅, 불순물이 포함된 산성용액 도포 및 열처리 공정에 의하여 반도체 기판 표면에 고농도 불순물 영역과 저농도 불순물 영역을 간단하게 형성할 수 있도록 하는 태양전지의 선택적 에미터 형성방법 및 그 장치에 관한 것이다.
태양전지의 대표적인 예가 실리콘 태양전지이다.
상기 실리콘 태양전지는 Si 기재의 전면에 n형 반도체 층과 후면에 p형 반도체 층을 각각 형성하여 제조된다. 전면의 n형 반도체 층은 에미터로 작용하며, 조사되는 빛의 반사를 최소화시키기 위하여 실리콘 질화막 또는 산화막의 반사방지층을 도포한 후 전극을 배선한다.
상기 전면전극의 배선은 일반적으로 금속 페이스트를 스크린 프린팅함으로써 달성되는데, 이 경우 실리콘 표면과 전면전극과의 접촉 저항이 높다는 문제점을 가지고 있다.
따라서 실리콘 웨이퍼의 표면과 전면전극의 접촉저항을 낮추기 위하여 Si 기 재의 전면에 고농도의 에미터를 형성한 후 전면전극을 배선하는 방법이 채택되고 있다.
그러나 상기 고농도의 에미터가 전면전극이 위치하지 않는 부위까지 형성되는 경우, 표면에 존재하는 고농도의 불순물들이 실리콘내에 과잉으로 존재함으로써 응집물이 형성되고, 이로 인해 전하의 수명이 감소되어 태양전지의 작동효율이 저하되는 문제점이 야기된다.
이에 태양전지에서 전면전극이 배선되는 부위를 상대적으로 고농도의 에미터로 형성하는 방법이 제안되었다. 이 방법은 고농도의 에미터를 일부만 형성하는 것으로 주로 선택적 에미터(selective emitter)로 칭하고 있다.
상기와 같은 선택적 에미터 형성방법을 도 1을 참조하여 설명한다. 도 1은 종래기술에 따른 태양전지의 선택적 에미터 제조방법을 보인 공정 단면도이다.
도1의 (a)에서는 실리콘 웨이퍼(1)의 전면부에 쉐도우 마스크(3)를 위치시킨 상태에서 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition), 스퍼터 증착(Sputter Deposition) 또는 전자빔 증착(Electron Beam Evaporation) 공정을 수행하여 패턴화된 실리콘 산화막(2)을 형성한다.
그런 다음 (b)에서는 쉐도우 마스크(3)를 제거하면 패턴화된 실리콘 산화막(2)이 형성되는 실리콘 웨이퍼(1)가 얻어지며, 여기에 n형 불순물을 열확산법에 의해 주입한다. 그렇게 되면 상기 실리콘 산화막(2)이 형성된 부분은 불순물이 상기 실리콘 산화막(2)을 부분적으로 통과하여 저농도의 불순물 영역이 형성되고, 반면 상기 실리콘 산화막(2)이 미 형성된 부분은 상대적으로 고농도의 불순물 영역이 형성된다. 상기 고농도 불순물 영역은 상기 쉐도우 마스크(3)의 형상과 거의 일치한다.
도1의 (c)에서는, 상기 불순물 주입 완료 후, 실리콘 산화막(2)을 에칭하여 제거하면, 고농도 불순물 영역(4)과 저농도 불순물 영역(5)이 형성되는 실리콘 웨이퍼(1)의 전면부가 노출된 것을 나타내고 있다. 그리고 금속 페이스트를 스크린 프린팅한 후 열처리하면 그에 대응하는 패턴화된 전면전극이 형성된다.
이에 따라 도 1의 종래기술은 다수의 공정과 많은 재료를 사용하는 포토리쏘그래피(photolithography) 공정을 사용하지 않고도 실리콘 웨이퍼의 전면부에 패턴화된 실리콘 산화막을 손쉽게 형성하여, 상기 패턴화된 실리콘 산화막을 통해 고농도와 저농도 불순물 영역을 단 1회의 불순물 주입 과정을 통해 형성하고 있다.
하지만, 상기한 선택적 에미터 형성 방법에 의해 태양전지를 제조하는 경우, 다음과 같은 문제점이 있다.
먼저, 선택적 에미터를 형성하기 위해 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition), 스퍼터 증착(Sputter Deposition) 또는 전자빔 증착(Electron Beam Evaporation) 공정을 수행하게 되는데, 이때 화학기상증착, 스퍼터 증착, 전자빔 증착을 위한 장비가 사용되고 있다. 그런데 상기 장비들은 상대적으로 고가의 장비이기 때문에, 태양전지의 제조단가를 상승시키는 요인이 된다.
또 상기 장비들은 진공 장비들로서 태양전지를 대량으로 생산하는데에도 한계가 있다.
또 실리콘 웨이퍼(1)의 전면부에 쉐도우 마스크(3)를 위치시킨 상태에서 실 리콘 산화막(2)를 형성시키고 있어, 실리콘 산화막의 형성 공정시에 쉐도우 마스크(3)가 상기 실리콘 웨이퍼(1)의 표면에 직접 접촉하기 때문에, 쉐도우 마스크에 의한 실리콘 웨이퍼(1)가 오염되는 문제가 발생할 수 있다.
따라서 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 보다 간단한 공정에 의하여 태양전지의 전면 표면에 선택적 에미터를 형성하기 위한 것이다.
본 발명의 다른 목적은 태양전지의 제조 단가를 낮추면서도 효율이 크게 향상된 태양전지를 제공하기 위한 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 반도체 기판의 전면에 스크린 마스크를 이용하여 고농도 불순물 페이스트를 인쇄/ 건조하는 단계; 상기 고농도 불순물 페이스트가 인쇄/건조된 반도체 기판을 불순물이 포함된 안개층(mist) 에 통과시켜 상기 불순물이 상기 반도체 기판의 전면에 부착되게 하는 단계; 상기 불순물이 부착된 상기 반도체 기판에 대해 열처리 공정을 수행하는 단계; 그리고 상기 열처리 공정에 의해 상기 고농도 불순물 페이스트가 인쇄된 영역은 고농도 불순물 영역이 형성되고, 상기 불순물이 부착된 영역은 저농도 불순물 영역이 형성되는 에미터 형성단계를 포함하여 구성된다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 소정 도전형을 가진 반도체 기판을 불순물이 포함된 안개층(mist) 에 통과시켜 상기 불순물이 상기 반도체 기판의 전면에 부착되게 하는 제 1 단계; 상기 반도체 기판의 전면에 스크린 마스크를 이용하여 고농도 불순물 페이스트를 인쇄/ 건조하는 제 2 단계; 상기 제 2 단계 이후, 상기 반도체 기판에 대해 열처리 공정을 수행하는 단계; 그리고 상기 열처리 공정에 의해 상 기 고농도 불순물 페이스트가 인쇄된 영역은 고농도 불순물 영역이 형성되고, 상기 불순물이 부착된 영역은 저농도 불순물 영역이 형성되는 에미터 형성단계를 포함하여 구성된다.
여기서, 상기 불순물 페이스트는 상기 반도체 기판이 p형 실리콘 웨이퍼이면 n 형 불순물 성분을 포함한 불순물 페이스트가 사용되고, n 형 실리콘 웨이퍼이면 p형 불순물 성분을 포함한 불순물 페이스트가 사용되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 스크린 마스크는 상기 반도체 기판의 전면에 형성되는 전면 전극 패턴과 동일한 형상으로 형성된다.
또한, 상기 안개층은 상기 반도체 기판이 p형 실리콘 웨이퍼이면 n 형 불순물 성분과 물을 혼합하여 초음파 장치를 이용하여 형성되고, 상기 반도체 기판이 n 형 실리콘 웨이퍼이면 p형 불순물 성분과 물을 혼합하여 초음파 장치를 이용하여 형성된다.
또한, 상기 고농도 불순물 영역은 대략 20 ~ 50Ω/□의 면저항을 가지고, 상기 저농도 불순물 영역은 대략 70 ~ 200Ω/□의 면저항을 가진다.
또한 상기 열처리 공정 조건은 800 내지 1,100℃에서 5 내지 12 분간 수행하는 것이 좋다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 반도체 기판의 전면에 스크린 마스크를 이용하여 고농도 불순물 페이스트를 인쇄하기 위한 스크린 프린팅 장비; 상기 고농도 불순물 페이스트를 건조하는 건조 장비; 상기 고농도 불순물 페이스트가 인쇄된 반도체 기판이 통과되어 상기 반도체 기판의 전면에 불순물 포함된 용액이 묻어나 도록 상기 불순물이 포함된 안개층(mist)을 제공하는 안개층 제공장비; 그리고 열처리 공정을 통해 상기 고농도 불순물 페이스트가 인쇄된 영역은 고농도 불순물 영역이 형성되고, 상기 불순물이 부착된 영역은 저농도 불순물 영역이 형성되도록 하는 열처리 장비를 포함하여 구성된다.
상기 스크린 마스크는 버스바(busbar) 및 핑거(finger)로 구성된 'H' - 그리드 형상으로 구성된다.
본 발명에서는 스크린 프린팅, 불순물이 포함된 산성용액 도포 및 열처리 공정을 각각 1회씩 수행하는 것만으로 반도체 기판의 전면 표면에 선택적 에미터를 형성하여 태양전지를 제조하고 있다. 이에 따라 종래 사용되었던 고가의 증착 장비의 사용 배제로 인하여 태양전지의 제조단가를 줄일 수 있게 된다.
상기 장비들은 양산성이 검증된 장비이기 때문에 공정의 수율 안전성이 확보되는 효과가 있다.
또 종래기술에서와 같이 쉐도우 마스크에 의한 실리콘 웨이퍼가 오염되는 문제를 예방할 수 있다.
이하 본 발명에 의한 태양전지의 선택적 에미터 형성 방법 및 그 장치를 첨부된 도면에 도시된 바람직한 실시 예를 참조하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 태양전지의 선택적 에미터 형성방법을 보인 흐름도이다.
먼저, 실리콘 웨이퍼의 전면에 스크린 마스크를 이용하여 고농도 불순물 페이스트를 인쇄 및 건조한다(s100). 상기 인쇄 및 건조를 위해 현재 사용되고 있는 스크린 프린팅 기기및 건조기기가 제공된다. 이때 사용되는 스크린 마스크는 그 패턴이 전면 전극 패턴의 형태를 가진다. 상기 불순물 페이스트는 상기 실리콘 웨이퍼의 도전형에 따라 다르다. 즉 p형 실리콘 웨이퍼인 경우, n 형 불순물인 인(phosphorus) 성분을 포함한 불순물 페이스트가 사용되고, n 형 실리콘 웨이퍼인 경우, p형 불순물인 붕소(boron) 성분을 포함한 불순물 페이스트가 사용된다. 한편, 상기 실리콘 웨이퍼의 전면에 인쇄/건조된 불순물 페이스트는 아래의 열처리 공정에 의해 p-n 접합층으로 형성되게 된다.
일단 상기 실리콘 웨이퍼의 전면에 고농도 불순물 페이스트가 인쇄/건조된 영역이 형성된 다음에는 상기 고농도 불순물 페이스트가 형성된 실리콘 웨이퍼를 인산 또는 붕산으로 형성된 인산(또는 붕산) 안개층(mist)에 통과시킨다(s110). 여기서 상기 인산(또는 붕산) 안개층은 인산(또는 붕산)과 물을 혼합하여 초음파 장치를 이용하여 형성하고 있다. 상기 n형 또는 p형 불순물 성분은 물과 혼합되기 때문에, 불순물 농도 조절이 용이한 이점이 있으며, 또한 일반적인 열처리 공정 온도에서 불순물 농도 조절만으로도 실리콘 기판에 저농도 불순물 영역을 쉽게 형성시킬 수 있다.
그에 의해 형성된 인산(또는 붕산) 안개층에 상기 실리콘 웨이퍼를 통과시키면, 상기 실리콘 웨이퍼의 전면에는 인산(또는 붕산)이 희석된 용액이 묻게 된다. 이때 상기 인산(또는 붕산)이 희석된 용액이 상기 실리콘 웨이퍼의 전면뿐만 아니 라 후면에도 부분적으로 묻게 되는데, 실리콘 태양전지의 일반적인 후 공정인 p-n 접합 분리, Back Surface Field(BSF) 형성으로 인해 전혀 문제가 되지 않는다.
이 상태에서, 급속 열처리 공정을 수행한다(s120). 상기 열처리 공정이 수행되면 상기 실리콘 웨이퍼에서 상기 고농도 불순물 페이스트가 인쇄/건조된 영역은 고농도 불순물 영역으로 형성되고, 반면 인산(또는 붕산)이 희석된 용액이 묻은 영역은 저농도 불순물 영역으로 형성된다. 상기 급속 열처리 공정은 급속 열처리 기기(RTP : Rapid Thermal Processing) , 적외선(IR) 인가방식의 'In-Iine Belt Furnace'이나 'In-line Roller Furnace', 저항 가열(Resistance Heating) 방식의 'In-Iine Belt Furnace'이나 'In-line Roller Furnace' 기기를 이용하여 수행한다. 그리고 온도 및 시간 조건은 800 내지 1,100℃에서 5 내지 12 분간 수행한다.
상기 공정을 도 3 및 도 4를 참조하여 다시 설명한다. 도 3은 본 발명의 선택적 에미터를 형성하기 위해 제공되는 스크린 마스크의 구성도이고, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따라 태양전지의 선택적 에미터를 형성하는 것을 보인 종단면도이다.
우선, 도 3은 실리콘 웨이퍼(110, 도 4a참조)의 전면 일부에 고농도 불순물 페이스트를 인쇄하기 위한 스크린 마스크(100)를 보이고 있다. 상기 스크린 마스크(100)는 앞서 설명한 바와 같이 전면 전극 패턴과 유사한 것으로, 버스바(busbar)(101)와 핑거(finger)(103)로 구성된 'H' - 그리드 형상이다. 상기 버스바의 폭은 1mm ~ 3mm 이고, 핑거의 폭은 60 ~1,200 ㎛로 형성된다.
상기와 같은 형상의 스크린 마스크(100)를 이용하여 스크린 프린팅 기기에 의해 상기 실리콘 웨이퍼(110)의 전면에 고농도 불순물 페이스트(120)를 인쇄하고, 건조기기를 이용하여 상기 인쇄된 고농도 불순물 페이스트(120)를 건조한다. 상기 고농도 불순물 페이스트(120)가 인쇄/건조된 상태는 도 4a에 도시되고 있다.
그 상태에서, 상기 실리콘 웨이퍼(100)를 인산(또는 붕산) 안개층(미도시)에 통과시켜, 도 4b와 같이 인산(또는 붕산)이 희석된 용액(130)이 상기 실리콘 웨이퍼(110)의 전면적에 묻게 한다.
이후, 도 4c와 같이 열처리 공정을 수행한다.
그러면 도 4d와 같이 상기 실리콘 웨이퍼(110)에서 상기 고농도 불순물 페이스트(120)가 인쇄/건조된 영역은 고농도 불순물 영역(140)이 형성되고, 반면 인산(또는 붕산)이 희석된 용액이 묻은 영역(130)은 저농도 불순물 영역(150)이 형성된다. 상기 고농도 불순물 영역은 대략 20 ~ 50Ω/□의 면 저항을 가지고, 상기 저농도 불순물 영역은 대략 70 ~ 200Ω/□의 면 저항을 가진다.
이후, 도면에는 도시하고 있지 않지만 상기 실리콘 웨이퍼(110)의 전면에 방사 방지막을 형성하고, 전면에는 전면전극을 형성하며 후면에는 후면전극을 형성하는 공정을 수행하여 태양전지를 제조한다. 상기 반사 방지막, 전면전극, 후면전극 형성 공정을 일반적인 공정에 따르기 때문에 이에 대해서는 설명은 생략한다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 실시 예는 1회의 스크린 프린팅 공정, 1회의 불순물이 포함된 산성용액 형성공정, 1회의 급속 열처리 공정만으로 선택적 에미터를 형성하고 태양전지를 제조하고 있다. 그에 따라 고농도 불순물 에미터 영역에서는 스크린 프린팅에 의한 전면 전극과의 접촉 저항을 줄여 태양전지의 전기적 손실 을 줄일 수 있고, 저농도 불순물 영역에서는 빛의 단파장 영역에서의 전기 변환효율을 향상시킬 수 있다. 그리고 전면 전극의 폭을 줄여 수광 면적을 증가시키기 위함이다.
이상과 같이 본 발명의 도시된 실시 예를 참고하여 설명하고 있으나, 이는 예시적인 것들에 불과하며, 본 발명의 속하는 기술분야의 통상 지식을 가진 자라면 본 발명의 요지 및 범위에 벗어나지 않으면서도 다양한 변형, 변경 및 균등한 타 실시 예들이 가능하다는 것을 명백하게 알 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위의 기술적인 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
즉 본 실시 예에서는 고농도 불순물 페이스트를 인쇄 및 건조한 다음에 인산(또는 붕산)으로 형성된 안개층(mist)을 통과시켜 상기 실리콘 웨이퍼의 전체 면적에 인산(또는 붕산)이 희석된 용액(130)이 묻게 하고 있지만, 반대의 순서대로 진행할 수도 있다. 즉, 먼저 인산(또는 붕산)으로 형성된 안개층(mist)을 통과시켜 상기 실리콘 웨이퍼의 전체 면적에 인산(또는 붕산)이 희석된 용액(130)이 묻게 한 다음 실리콘 웨이퍼의 전면에 스크린 마스크를 이용하여 고농도 불순물 페이스트를 인쇄 및 건조하는 실시 예도 본 발명에 적용할 수 있다.
도 1은 종래기술에 따른 태양전지의 선택적 에미터 제조방법을 보인 공정 단면도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 태양전지의 선택적 에미터 형성방법을 보인 흐름도이다.
도 3은 본 발명의 선택적 에미터를 형성하기 위해 제공되는 스크린 마스크의 구성도
도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따라 태양전지의 선택적 에미터를 형성하는 것을 보인 종단면도
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
100 : 스크린 마스크 110 : 실리콘 웨이퍼
120 : 고농도 불순물 페이스트 130 : 인산(또는 붕산) 희석된 용액
140 : 고농도 불순물 영역 150 : 저농도 불순물 영역
Claims (9)
- 반도체 기판의 전면에 스크린 마스크를 이용하여 고농도 불순물 페이스트를 인쇄/ 건조하는 단계;상기 고농도 불순물 페이스트가 인쇄/건조된 반도체 기판을 불순물이 포함된 안개층(mist) 에 통과시켜 상기 불순물이 상기 반도체 기판의 전면에 부착되게 하는 단계;상기 불순물이 부착된 상기 반도체 기판에 대해 열처리 공정을 수행하는 단계; 그리고상기 열처리 공정에 의해 상기 고농도 불순물 페이스트가 인쇄된 영역은 고농도 불순물 영역이 형성되고, 상기 불순물이 부착된 영역은 저농도 불순물 영역이 형성되는 에미터 형성단계를 포함하여 구성되는 태양전지의 선택적 에미터 형성방법.
- 소정 도전형을 가진 반도체 기판을 불순물이 포함된 안개층(mist) 에 통과시켜 상기 불순물이 상기 반도체 기판의 전면에 부착되게 하는 제 1 단계;상기 반도체 기판의 전면에 스크린 마스크를 이용하여 고농도 불순물 페이스트를 인쇄/ 건조하는 제 2 단계;상기 제 2 단계 이후, 상기 반도체 기판에 대해 열처리 공정을 수행하는 단계; 그리고상기 열처리 공정에 의해 상기 고농도 불순물 페이스트가 인쇄된 영역은 고농도 불순물 영역이 형성되고, 상기 불순물이 부착된 영역은 저농도 불순물 영역이 형성되는 에미터 형성단계를 포함하여 구성되는 태양전지의 선택적 에미터 형성방법.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 불순물 페이스트는 상기 반도체 기판이 p형 실리콘 웨이퍼이면 n 형 불순물 성분을 포함한 불순물 페이스트가 사용되고, n 형 실리콘 웨이퍼이면 p형 불순물 성분을 포함한 불순물 페이스트가 사용되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 선택적 에미터 형성방법.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 스크린 마스크는 상기 반도체 기판의 전면에 형성되는 전면 전극 패턴과 동일한 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 선택적 에미터 형성방법.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 안개층은 상기 반도체 기판이 p형 실리콘 웨이퍼이면 n 형 불순물 성분과 물을 혼합하여 초음파 장치를 이용하여 형성되고, 상기 반도체 기판이 n 형 실리콘 웨이퍼이면 p형 불순물 성분과 물을 혼합하여 초음파 장치를 이용하여 형성되 는 것을 특징으로 하는 태양전지의 선택적 에미터 형성방법.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 고농도 불순물 영역은 20 ~ 50Ω/□의 면저항을 가지고,상기 저농도 불순물 영역은 70 ~ 200Ω/□의 면저항을 가지는 것을 특징으로 하는 태양전지의 선택적 에미터 형성방법.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 열처리 공정 조건은 800 내지 1,100℃에서 5 내지 12 분간 수행하는 것을 특징으로 하는 태양전지의 선택적 에미터 형성방법.
- 반도체 기판의 전면에 스크린 마스크를 이용하여 고농도 불순물 페이스트를 인쇄하기 위한 스크린 프린팅 장비;상기 고농도 불순물 페이스트를 건조하는 건조 장비;상기 고농도 불순물 페이스트가 인쇄된 반도체 기판이 통과되어 상기 반도체 기판의 전면에 불순물 포함된 용액이 묻어나도록 상기 불순물이 포함된 안개층(mist)을 제공하는 안개층 제공장비; 그리고열처리 공정을 통해 상기 고농도 불순물 페이스트가 인쇄된 영역은 고농도 불순물 영역이 형성되고, 상기 불순물이 부착된 영역은 저농도 불순물 영역이 형성되도록 하는 열처리 장비를 포함하여 구성되는 태양전지의 선택적 에미터 형성장치.
- 제 8항에 있어서,상기 스크린 마스크는 버스바(busbar) 및 핑거(finger)로 구성된 'H' - 그리드 형상으로 구성됨을 특징으로 하는 태양전지의 선택적 에미터 형성장치.
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