KR101159696B1 - 다중 핀홀과 스팟 패턴 타겟을 이용한 굴절계 - Google Patents
다중 핀홀과 스팟 패턴 타겟을 이용한 굴절계 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101159696B1 KR101159696B1 KR1020100104168A KR20100104168A KR101159696B1 KR 101159696 B1 KR101159696 B1 KR 101159696B1 KR 1020100104168 A KR1020100104168 A KR 1020100104168A KR 20100104168 A KR20100104168 A KR 20100104168A KR 101159696 B1 KR101159696 B1 KR 101159696B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- target
- refractometer
- sample stage
- aperture
- refractive index
- Prior art date
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 39
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 27
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 22
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 claims description 5
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012925 reference material Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
Description
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 굴절계를 이용하여 촬상한 초점 이탈 영상에 대한 설명을 위해 도시한 도,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 굴절계를 설명하기 위해 도시한 도,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 굴절계에 사용되는 타겟에 대한 설명을 위해 도시한 도,
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 굴절계를 이용하여 물질의 굴절률을 측정한 결과를 도시한 그래프이다.
19: 이송장치 20: 대물 렌즈
30: 조리개 40: 이미지 평면
50: 광학 필터 60: 카메라
Claims (15)
- 물질의 굴절률을 측정하기 위한 굴절계에 있어서,
복수 개의 스팟을 구비한 타겟;
상기 타겟과 연결되어 상기 타겟을 상하 이동되도록 구비되는 이송장치;
상기 타겟의 하부에 구비되며 테스트 샘플이 포지셔닝되는 시료대;
광원에서 방사되어 상기 타겟 및 시료대를 통과한 광을 입사받는 대물 렌즈; 및
상기 굴절계의 이미지 평면상에 초점 이탈된 상이 형성되도록 상기 대물 렌즈에 입사된 광의 광경로를 분기시키는 조리개를 포함하는 것을 특징으로 하는 굴절계. - 제1항에 있어서, 상기 이송장치는
상기 타겟과 상기 시료대와의 거리가 가변되도록 상기 타겟을 상하 이동시키는 피에조(piezo) 구동장치인 것을 특징으로 하는 굴절계. - 제1항에 있어서, 상기 타겟은
불투명 재질로 형성되고 상기 복수 개의 스팟은 투명 재질로 형성되며, 상기 시료대는 유리로 형성되는 것임을 특징으로 하는 굴절계. - 제3항에 있어서, 상기 스팟은
등간격의 격자 형상을 이루도록 배열되는 것임을 특징으로 하는 굴절계. - 제3항에 있어서,
상기 불투명 재질은 크롬 스퍼터링에 의해 형성되는 것임을 특징으로 하는 굴절계. - 제1항에 있어서, 상기 시료대는
상기 광원에서 방사된 광이 투과될 수 있는 재질로 형성되는 것임을 특징으로 하는 굴절계. - 제1항에 있어서, 상기 조리개는
복수개의 핀홀을 구비하여 상기 핀홀의 개수만큼 상기 광의 광경로를 분기시키는 것임을 특징으로 하는 굴절계. - 제7항에 있어서, 상기 조리개는
3개의 핀홀을 구비하되 상기 핀홀 간의 간격은 등간격으로 형성되는 것임을 특징으로 하는 굴절계. - 물질의 굴절률을 측정하기 위한 굴절계에 있어서,
광원;
복수 개의 스팟을 구비한 타겟;
상기 타겟과 연결되어 상기 타겟을 상하 이동되도록 구비되는 이송장치;
상기 타겟의 하부에 구비되며 테스트 샘플이 포지셔닝되는 시료대;
상기 광원에서 방사되어 상기 타겟 및 시료대를 통과한 광을 입사받는 대물 렌즈;
상기 굴절계의 이미지 평면상에 초점 이탈된 상이 형성되도록 상기 대물 렌즈에 입사된 광의 광경로를 분기시키는 조리개; 및
상기 이미지 평면상에 형성된 초점 이탈된 상을 촬상하기 위해 구비되는 카메라를 포함하는 것을 특징으로 하는 굴절계. - 제9항에 있어서,
상기 굴절계는 상기 광원에서 방사되는 광의 파장을 필터링하기 위해 상기 조리개와 상기 카메라 사이 또는 상기 타겟과 상기 광원 사이에 광학필터를 구비하는 것을 특징으로 하는 굴절계. - 제9항에 있어서, 상기 이송장치는
상기 타겟과 상기 시료대와의 거리가 가변되도록 상기 타겟을 상하 이동시키는 피에조(piezo) 구동장치인 것을 특징으로 하는 굴절계. - 제9항에 있어서, 상기 타겟은
불투명 재질로 형성되고 상기 복수 개의 스팟은 투명 재질로 형성되며, 상기 스팟은 서로 등간격의 격자 형상을 이루도록 배열되는 것임을 특징으로 하는 굴절계. - 제12항에 있어서,
상기 불투명 재질은 크롬 스퍼터링에 의해 형성되는 것임을 특징으로 하는 굴절계. - 제9항에 있어서, 상기 조리개는
복수개의 핀홀을 구비하여 상기 핀홀의 개수만큼 상기 광의 광경로를 분기시키는 것임을 특징으로 하는 굴절계. - 제14항에 있어서, 상기 조리개는
3개의 핀홀을 구비하되 상기 핀홀 간의 간격은 등간격으로 형성되는 것임을 특징으로 하는 굴절계.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100104168A KR101159696B1 (ko) | 2010-10-25 | 2010-10-25 | 다중 핀홀과 스팟 패턴 타겟을 이용한 굴절계 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100104168A KR101159696B1 (ko) | 2010-10-25 | 2010-10-25 | 다중 핀홀과 스팟 패턴 타겟을 이용한 굴절계 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20120042466A KR20120042466A (ko) | 2012-05-03 |
KR101159696B1 true KR101159696B1 (ko) | 2012-06-25 |
Family
ID=46263220
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020100104168A KR101159696B1 (ko) | 2010-10-25 | 2010-10-25 | 다중 핀홀과 스팟 패턴 타겟을 이용한 굴절계 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101159696B1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11896305B2 (en) | 2019-12-30 | 2024-02-13 | Amo Development, Llc | Optical measurement systems and processes with fixation target having Bokeh compensation |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06281425A (ja) * | 1993-03-29 | 1994-10-07 | Toppan Printing Co Ltd | パターン穴検査方法及び装置 |
JP2672718B2 (ja) | 1991-03-29 | 1997-11-05 | ホーヤ株式会社 | 屈折率測定方法及び装置 |
KR20100075732A (ko) * | 2008-12-25 | 2010-07-05 | 캐논 가부시끼가이샤 | 굴절률 분포 계측방법 및 굴절률 분포 계측장치 |
KR101141099B1 (ko) | 2010-09-08 | 2012-05-02 | 광주과학기술원 | 초점 이탈 이미징을 이용한 미세 굴절계 |
-
2010
- 2010-10-25 KR KR1020100104168A patent/KR101159696B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2672718B2 (ja) | 1991-03-29 | 1997-11-05 | ホーヤ株式会社 | 屈折率測定方法及び装置 |
JPH06281425A (ja) * | 1993-03-29 | 1994-10-07 | Toppan Printing Co Ltd | パターン穴検査方法及び装置 |
KR20100075732A (ko) * | 2008-12-25 | 2010-07-05 | 캐논 가부시끼가이샤 | 굴절률 분포 계측방법 및 굴절률 분포 계측장치 |
KR101141099B1 (ko) | 2010-09-08 | 2012-05-02 | 광주과학기술원 | 초점 이탈 이미징을 이용한 미세 굴절계 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11896305B2 (en) | 2019-12-30 | 2024-02-13 | Amo Development, Llc | Optical measurement systems and processes with fixation target having Bokeh compensation |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20120042466A (ko) | 2012-05-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8629382B2 (en) | Auto focus apparatus for detecting a focal point with a setting section for shifting an irradiation position outside an observation field of an imaging section | |
EP2315065B1 (en) | Microscope | |
JP3919749B2 (ja) | 示差屈折率測定用光学装置の構成及び方法 | |
JP6505384B2 (ja) | 浸漬媒体を検出し浸漬媒体の供給を制御するための方法 | |
US11579428B2 (en) | Microscope, method of operating a microscope and method of imaging a sample | |
WO2016185581A1 (ja) | 標本形状測定方法及び標本形状測定装置 | |
JP2008152065A5 (ko) | ||
US10288860B2 (en) | Method and device for analysing an object, in particular a microscopic sample | |
WO2017145487A1 (ja) | 顕微鏡および観察方法 | |
KR101568980B1 (ko) | 자동초점 조절장치 및 자동초점 조절방법 | |
US10107620B2 (en) | Image pickup apparatus | |
KR20180012616A (ko) | 다초점 영상 획득 장치 및 샘플 표면 검사 시스템 | |
US10288861B2 (en) | Light sheet microscope and control method of light sheet microscope | |
KR101159696B1 (ko) | 다중 핀홀과 스팟 패턴 타겟을 이용한 굴절계 | |
US10983320B2 (en) | Optical arrangement for imaging a sample | |
CN106772983A (zh) | 一种自动对焦的显微镜 | |
TWI574072B (zh) | 自動對焦系統及其對焦方法 | |
KR101141099B1 (ko) | 초점 이탈 이미징을 이용한 미세 굴절계 | |
US20170090175A1 (en) | Microscope apparatus, automatic focusing device, and automatic focusing method | |
US11016279B2 (en) | Observation device | |
CN116047707A (zh) | 非垂直自动聚焦系统以及相应的光学仪器 | |
JP2010091468A (ja) | 収差測定装置 | |
JP2017510853A (ja) | オートフォーカス・システム | |
CN205374277U (zh) | 一种可变角度的光学元件表面吸收特性测量装置 | |
JP2011134687A (ja) | 照明装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20101025 |
|
PA0201 | Request for examination | ||
PG1501 | Laying open of application | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20120614 |
|
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20120619 Patent event code: PR07011E01D |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20120619 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
PG1601 | Publication of registration | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160610 Year of fee payment: 5 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20160610 Start annual number: 5 End annual number: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190401 Year of fee payment: 8 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20190401 Start annual number: 8 End annual number: 8 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20200402 Start annual number: 9 End annual number: 9 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20210629 Start annual number: 10 End annual number: 10 |
|
PC1903 | Unpaid annual fee |
Termination category: Default of registration fee Termination date: 20230331 |