KR101153383B1

KR101153383B1 - 유리기판 검사장치

Info

Publication number: KR101153383B1
Application number: KR1020120019103A
Authority: KR
Inventors: 우상범
Original assignee: (주)에프에스티
Priority date: 2012-02-24
Filing date: 2012-02-24
Publication date: 2012-06-07

Abstract

본 발명은 절단 공정에 의해 특정 형상으로 잘린 유리기판의 테두리 부분에 파손이 발생하였는지 검사하는 유리기판 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유리기판에 편광판이나 TAB IC 등을 부착하기 전에 원본 유리기판의 이상 유무를 검사함으로써 생산성을 향상시키고, 유리기판의 각 측면을 동시에 검사할 수 있어서 검사시간을 단축시키며, 검사를 위해 필요한 여러 장치를 상하 방향에 적층하여 설치함으로써 장치 사이즈를 감소시킬 수 있는 유리기판 검사장치에 관한 것이다.

Description

유리기판 검사장치{Inspection apparatus for glass plate}

기존의 종이 매체를 이용한 게시물과 방송을 통한 단방향 광고물의 기능에 디스플레이와 IT 기능을 결합한 디지털 정보 디스플레이(DID: Digital Information Display)를 비롯한 다양한 디스플레이장치는 그 화면 형성을 위해 얇은 유리기판을 적합한 크기 및 형태로 성형하여 사용한다.

한편, 이상과 같은 유리기판을 적합한 크기 및 형태로 성형하기 위해 절단공정을 수행하면 절단시 가해지는 충격 등에 의해 스크래치(scratch), 크랙(crack), 치핑(chipping) 혹은 버(burr) 등 손상이 발생할 수 있고, 이러한 손상이 발생하면 디스플레이자체의 불량은 물론 후속 공정에 사용되는 장비 손상 등도 유발시킨다.

이에, 일 예로 한국등록특허 제418356호 '라인스캔 카메라를 이용한 엘시디(LCD) 패널의 에지면 검사방법'에서는 검사테이블(61)에 적재된 LCD 셀(10)의 에지면을 라인스캔카메라(40) 및 제1라인스캔카메라(50)로 촬영하고, 촬영시 조명을 제공하는 하면조명(20)과 제1하면조명(30)을 사용하고 있다.

또한, 검사테이블(61)에 적재된 LCD 셀(10)을 정렬시키기 위해 검사테이블(61)의 X축, Y축 및 회전축 방향으로 이동시키거나 회전시키는 PLC 제어부(60)를 구비하고, PLC 제어부(60)와 정보를 송수신하며 전반적인 제어를 담당하는 비젼제어부(70)는 PC(71), I/O부(72), 그래버(grabber)(73), 표시부(74) 및 키보드(75) 등으로 구성하였다.

그래버(73)는 라인스캔카메라(40, 50)에서 취득된 에지 이미지를 PC(71)로 전송하고, I/O부(72)는 입력출력을 담당하며, 키보드(75)는 비젼제어부(70)에 작업자가 정보나 초기 설정값을 입력하기 위해 사용되고, 표시부(74)는 에지 이미지의 취득 결과나 기타 결과를 작업자가 시각적으로 볼 수 있도록 하는 것이다.

그러나, 이상과 같은 종래의 검사방법에서는 일 예로서 투입된 유리기판을 세정장치에서 세정하고 편광판 및 TAB IC 등을 부착한 후에나 LCD 셀(10)의 에지면 검사를 수행함에 따라, 많은 공정들을 마친 다음에 유리기판의 손상이 뒤늦게 발견되면 LCD 셀(10) 전체를 버려야 하므로 시간 낭비, 재료 낭비 및 인력 낭비 등이 불가피하다는 문제점이 있었다.

또한, 2개의 라인스캔카메라(40, 50)로는 LCD 셀(10)의 4개의 측면 중 오직 2개의 측면만을 동시에 검사할 수 있기 때문에, PLC 제어부(60)에 의해 검사테이블(61)을 이동시키거나 회전시켜가며 LCD 셀(10) 유리기판의 모든 면을 검사해야 하므로, 검사 시간이 오래 걸림은 물론, 정렬을 위해 이동시 흔들림이 발생하면 정확한 위치에서 검사가 이루어지지 않는다는 문제점이 있었다.

또한, LCD 셀(10) 유리기판의 손상 유무를 판단시 유리기판을 수용하여 대기시키는 수용부, 검사에 적합하도록 유리기판을 정렬시키는 정렬부 및 정렬된 유리기판을 스캔하여 검사를 수행하는 라인스캔부(카메라 등) 등을 모두 구비시 설비 사이즈가 커진다는 문제점이 있었다.

본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 특정 형상으로 성형된 유리기판의 테두리 부분에 파손이 발생하였는지 검사함에 있어서, 유리기판에 편광판이나 TAB IC 등을 부착하기 전에 원본 유리기판의 이상 유무를 검사함으로써 생산성을 향상시킬 수 있는 유리기판 검사장치를 제공하고자 한다.

또한, 본 발명은 유리기판의 각 측면을 동시에 검사할 수 있어서 검사시간을 단축시키고, 여러 각도에서 촬상한 유리기판의 이미지를 비교하여 검사를 수행하므로 검사 신뢰성이 높으며, 검사를 위해 필요한 다양한 장치를 상하 방향에 적층을 하여 설치함으로써 장치 사이즈를 감소시킬 수 있는 유리기판 검사장치를 제공하고자 한다.

이를 위해, 본 발명에 따른 유리기판 검사장치는, 절단 공정을 통해 특정 형상으로 절단된 원본 유리기판의 테두리 부분 이상 유무를 검사하는 유리기판 검사장치에 있어서, 공급된 유리기판을 이송시키는 이송부와; 상기 이송부의 출력단에 배치되어 상기 이송부로부터 유리기판을 공급받아 수용하는 수용부와; 상기 수용부의 하부에 설치되고, 상기 수용부를 통과하여 상측으로 돌출되며 상기 유리기판의 각 측면을 바라보는 방향에 각각 배치된 기판 정렬구를 구비하며, 상기 기판 정렬구가 상기 수용부에 놓인 유리기판의 양측면을 동시에 밀도록 수평이동시켜 상기 유리기판을 정렬하는 정렬부와; 상기 정렬부의 하부에 설치되고, 상기 유리기판의 하부에 배치된 복수개의 기판 지지구를 구비하며, 유리기판 검사시 상기 기판 지지구를 정렬부와 수용부를 차례로 통과하여 상승시켜 상기 정렬된 유리기판을 상측으로 들어올리는 리프팅부; 및 상기 유리기판의 측면 외측에 각각 배치되고, 각각 상기 유리기판의 측면을 따라 Y-축 로봇을 직선왕복운동시키는 X-축 로봇과, 상기 X-축 로봇에 설치되어 함께 이동하되 상기 유리기판의 외측에서 유리기판을 향하는 방향으로 카메라를 직선왕복운동시키는 상기 Y-축 로봇 및 상기 Y-축 로봇의 단부에 설치되어 함께 이동하되 상기 Y-축 로봇에 의해 상기 유리기판의 테두리부분 위로 이동하여 상기 유리기판을 촬상하는 상기 카메라를 구비한 라인스캔부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이때, 상기 이송부에 유리기판을 공급하는 공급부는 서로 이격 설치된 복수개의 공급용 회전축과, 상기 공급용 회전축에 각각 설치된 공급용 로울러 및 상기 공급용 회전축들을 회전시키는 공급용 모터를 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 이송부는 상기 공급부로부터 유리기판을 넘겨받는 X축 이송부와 상기 X축 이송부와 수직한 방향으로 유리기판을 이동시킴으로써 상기 넘겨받은 유리기판을 상기 라인스캔부 측으로 이송시키는 Y축 이송부를 포함하되, 상기 X축 이송기부 서로 이격 설치된 복수개의 이송용 X 회전축과, 상기 이송용 X 회전축에 각각 복수개 설치되며 서로 이격된 이송용 X 로울러와, 상기 이송용 X 회전축들을 회전시키는 이송용 X 모터 및 상기 X축 이송기를 승하강 시키는 이송용 승하강장치를 포함하고, 상기 Y축 이송부는 상기 이송용 X 회전축 위쪽에 배치되되 서로 이격된 복수개의 이송용 Y 회전축과, 상기 이송용 Y 회전축에 각각 복수개 설치되며 서로 이격된 이송용 Y 로울러 및 상기 이송용 Y 회전축들을 회전시키는 이송용 Y 모터를 포함하되, 상기 유리기판의 하면에 접촉하는 상기 이송용 Y 로울러의 상단부는 상기 공급부의 공급용 로울러의 상단부보다 낮은 위치에 배치되고, 상기 이송용 X 로울러는 상기 공급부로부터 유리기판을 넘겨받을 때는 상기 이송용 승하강장치에 의해 상승되어 상기 이송용 X 로울러의 상단부가 상기 공급용 로울러의 상단부와 동일 평면상에 배치되어 상기 이송용 X 로울러 위에 유리기판이 놓이고, 상기 넘겨받은 유리기판을 상기 라인스캔부 측으로 공급할 때는 상기 이송용 X 로울러가 상기 이송용 승하강장치에 의해 하강되어 유리기판이 상기 이송용 Y 로울러 위에 놓이는 것이 바람직하다.

상기 수용부는 이격 설치된 복수개의 제1 수용 회전축과, 상기 제1 수용 회전축들과 각각 동일축 선상에 배치되되 이동 공간부를 형성하도록 상기 제1 수용 회전축으로부터 이격되어 있는 복수개의 제2 수용 회전축과, 상기 제1 수용 회전축에 각각 복수개 설치되며 서로 이격된 제1 수용 로울러와, 상기 제2 수용 회전축에 각각 복수개 설치되며 서로 이격된 제2 수용 로울러와, 상기 제1 수용 회전축들을 회전시키는 제1 수용 모터 및 상기 제2 수용 회전축들을 회전시키는 제2 수용 모터를 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 정렬부는 X축 방향에 나란한 유리기판의 제1 양측면을 동시에 밀어 정렬시키는 X축 정렬기와, Y축 방향에 나란한 유리기판의 제2 양측면을 동시에 밀어 정렬시키는 Y축 정렬기를 포함하되, 상기 X축 정렬기는 상기 수용부의 이동 공간부를 통해 상기 수용부의 상측으로 돌출되며, 상기 유리기판의 제1 양측면으로부터 각각 외측에 배치된 X축 기판 정렬구와, 상기 X축 기판 정렬구가 상기 이동 공간부를 따라서 동시에 유리기판 측으로 이동하거나 멀어지도록 Y축 방향으로 직선왕복운동시키는 X축 이송기 및 상기 유리기판이 공급중에는 상기 X축 기판 정렬구를 하강시키고 정렬시에는 상기 X축 기판 정렬구를 상승시키는 정렬용 승하강장치를 포함하고, 상기 Y축 정렬기는 상기 수용부의 수용 회전축들의 사이를 통해 상기 수용부의 상측으로 돌출되며 상기 유리기판의 제2 양측면으로부터 각각 외측에 배치된 Y측 기판 정렬구 및 상기 Y축 기판 정렬구가 상기 수용 회전축들의 사이를 따라서 동시에 유리기판 측으로 이동하거나 멀어지도록 X축 방향으로 직선왕복운동시키는 Y축 이송기를 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 리프팅부는 상기 유리기판의 직하부 방향에 설치되되 각각 상기 정렬부와 수용부의 빈 공간을 통해 상승할 수 있도록 배치된 복수개의 기판 지지구와, 상기 기판 지지구를 지지하는 서포트 프로파일과, 상기 서포트 프로파일을 지지하는 지지 플레이트와, 상기 지지 플레이트를 상승 또는 하강시키는 검사용 승하강장치 및 상기 검사용 승하강장치의 양측부에 각각 설치되어 상기 승하강장치의 작동을 보조하는 파워 베이스(power base)를 포함하는 것이 바람직하다.

상기 라인스캔부의 카메라는 상기 Y-축 로봇에 연결된 'ㄷ'자 형상의 검사 브라켓의 상단에 설치되고, 상기 'ㄷ'자 형상의 검사 브라켓의 하단에는 상기 카메라가 촬상하는 유리기판 부분을 조명하는 조명장치가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 유리기판 검사장치.

이상과 같은 본 발명에 따른 유리기판 검사장치에 의하면, 유리기판에 편광판이나 TAB IC 등을 부착하기 전에 원본 유리기판의 이상 유무를 검사함으로써 손상이 발생된 유리기판은 후속의 공정을 진행하기 전에 제거할 수 있으므로 생산성을 향상시킬 수 있게 한다.

또한, 본 발명은 유리기판의 각 측면을 동시에 검사할 수 있어서 검사시간을 단축시킴은 물론, 검사를 위해 필요한 수용부, 정렬부, 리프팅부 및 라인스캔부 등의 다양한 장치를 상하 방향에 적층을 하여 설치함으로써 장치 사이즈를 감소시킬 수 있게 한다.

도 1은 종래 기술에 따른 라인스캔 카메라를 이용한 엘시디 패널의 에지면 라인스캔부를 나타낸 구성도이다.
도 2는 본 발명에 따른 유리기판 검사장치를 나타낸 평면도이다.
도 2a는 본 발명에 따른 유리기판 검사장치를 나타낸 제1방향 측면도이다.
도 2b는 본 발명에 따른 유리기판 검사장치를 나타낸 제2방향 측면도이다.
도 2c는 본 발명에 따른 유리기판 검사장치를 나타낸 제3방향 측면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 유리기판 검사장치의 정렬부를 나타낸 평면도이다.
도 3a은 본 발명에 따른 유리기판 검사장치의 정렬부를 나타낸 제1방향 측면도이다.
도 3b는 본 발명에 따른 유리기판 검사장치의 정렬부를 나타낸 제2방향 측면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 유리기판 검사장치의 리프팅부를 나타낸 평면도이다.
도 4a는 본 발명에 따른 유리기판 검사장치의 리프팅부를 나타낸 제1방향 측면도이다.
도 4b는 본 발명에 따른 유리기판 검사장치의 리프팅부를 나타낸 제2방향 측면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 유리기판 검사장치의 라인스캔부를 나타낸 평면도이다.
도 5a는 본 발명에 따른 유리기판 검사장치의 라인스캔부를 나타낸 제1방향 측면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 유리기판 검사장치에 대해 상세히 설명한다.

단, 이하에서 본 발명이 적용되는 '원본 유리기판'이라 함은 특정 형태로 절단된 것으로, 절단 후 세정 공정이나 편광판 및 TAB IC 부착 공정 등을 거치지 않은 것으로 정의한다.

먼저, 도 2 및 도 2c에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 유리기판 검사장치는 절단 공정을 통해 특정 형상으로 절단된 원본 유리기판(이하, '유리기판'이라 함)의 테두리 부분을 검사하는 것으로, 공급부(100)로부터 유리를 공급받아 이송시키는 이송부(200)와, 유리기판을 공급받아 일시 수용하는 수용부(300a, 300b)와, 일시 수용된 유리기판을 정렬시키는 정렬부(400)와, 정렬된 유리기판을 검사위치인 상측으로 들어올리는 리프팅부(500) 및 유리기판의 테두리 부분을 촬상하는 라인스캔부(600)를 포함한다.

따라서, 본 발명은 유리기판에 편광판이나 TAB IC 등을 부착하기 전에 원본 유리기판의 이상 유무를 검사함으로써 손상이 발생된 유리기판은 후속의 공정을 진행하기 전에 제거할 수 있으므로 생산성을 향상시킬 수 있게 한다.

또한, 본 발명은 라인스캔부(600)가 유리기판의 4개 측면에 각각 설치되어 유리기판의 모든 측면의 테두리 부분을 동시에 검사함으로써 검사시간을 단축함은 물론, 종래처럼 유리기판의 각 측면 검사를 위해 유리기판을 이동시켜 재배치할 필요가 없으므로 유리기판의 흐트러짐을 방지하고 검사 신뢰성을 향상시킨다.

또한, 본 발명은 상기 수용부(300a, 300b)와, 정렬부(400)와, 리프팅부(500) 및 라인스캔부(600)가 상하 방향으로 적층된 구조를 가지면서도 이들 고유의 기능을 수행할 수 있으므로 장치 사이즈가 커지는 것을 방지하고, 각 장치 간 이송이 불필요하여 검사시간을 단축시키며, 이동시마다 재정렬을 할 필요도 없게 한다.

좀더 구체적으로, 이송부(200)는 공급부(100)의 출력측에 나란히 배치(X축 방향으로 일렬 배치)되어 있어서 공급부(100)에서 공급된 유리기판을 넘겨받고, 수용부(300a, 300b)는 이송부(200)의 출력측에 나란히 배치(Y축 방향으로 일렬 배치)되어 있어서 이송부(200)로부터 유리기판을 넘겨받아 검사를 위해 일시 대기시킨다.

또한, 상기 수용부(300a, 300b)의 하측에는 정렬부(400)가 배치되어 있는데, 정렬부(400)는 수용부(300a, 300b)를 통과하여 상측으로 돌출되며 유리기판의 각 측면을 바라보는 방향에 각각 배치된 기판 정렬구(421, 431)를 구비하고 있다. 따라서, 수용부(300a, 300b)에 놓인 유리기판의 X축 방향 양측면과 Y축 방향 양측면을 각각 동시에 밀도록 기판 정렬구(421, 431)를 수평이동시키면 유리기판이 검사에 적합하게 정렬된다.

또한, 상기 정렬부(400)의 하측에는 리프팅부(500)가 배치되어 있는데, 리프팅부(500)는 유리기판의 직하부에 배치된 복수개의 기판 지지구(511, 512)를 구비하고 있어서, 검사시 정렬부(400)와 수용부(300a, 300b)를 차례로 통과하도록 기판 지지구(511, 512)를 상승시키면 정렬된 유리기판이 라인스캔부(600)가 있는 상측까지 들어올려진다.

또한, 상기 수용부(300a, 300b)의 상측에는 라인스캔부(600)가 배치되어 있는데, 라인스캔부(600)는 유리기판의 각 측면마다 각각 Y-축 로봇(613)을 직선왕복운동시키는 X-축 로봇(611)과, 상기 X-축 로봇(611)에 설치되어 함께 이동하되 유리기판의 외측에서 유리기판을 향하는 방향으로 직선왕복운동시키는 Y-축 로봇(613)을 포함한다.

또한, Y-축 로봇(613)의 단부에는 유리기판을 촬상하는 카메라(614a) 및 유리기판을 조명하는 조명장치(614b)가 설치되어 있어서, 카메라(614a) 및 조명장치(614b)가 Y-축 로봇(613)에 의해 유리기판의 테두리부분으로 이동하여 유리기판의 이미지를 획득하고 이를 판별기로 제공하여 손상 여부를 판단할 수 있게 한다.

이를 위해, 상기 이송부(200)에 유리기판을 공급하는 공급부(100)는 서로 이격 설치된 복수개의 공급용 회전축(110)과, 상기 공급용 회전축(110)에 각각 설치된 공급용 로울러(120) 및 상기 공급용 회전축(110)들을 회전시키는 공급용 모터(130)를 포함한다.

도시된 바와 같이 유리기판이 직선 방향으로 공급되는 경우에는 복수개의 공급용 회전축(110) 역시 유리기판의 공급 방향을 따라 직선 방향으로 배치된다. 그러나, 만약 유리기판이 곡선 방향으로 이송되면서 공급되는 경우에는 공급용 회전축(110)도 그에 맞추어 곡선 방향으로 배치될 것이다.

공급용 로울러(120)는 공급용 회전축(110) 마다 각각 복수개 설치되는데, 하나의 공급용 회전축(110)에 설치된 복수개의 공급용 로울러(120)는 서로 일정 간격으로 이격되어 있고, 디스크 형상의 로울러는 유리기판을 이송시 접촉 면적을 줄여 유리기판의 오염을 방지한다.

공급용 모터(130)는 공급용 회전축(110)을 회전시킴으로써 공급용 회전축(110)과 함께 회전하는 공급용 로울러(120)에 의해 유리기판이 이송부(200)로 공급되게 하는데, 이러한 공급용 모터(130)는 동력전달부(140)를 통해 공급용 회전축(110)과 연결되어 있어서 복수개의 공급용 회전축(110)들을 동시에 회전시킨다.

동력전달부로(140)로는 일 예로 공급용 모터(130)의 축 단부에 구비된 주동기어와, 공급용 회전축(110)의 단부에 구비되며 상기 주동기어와 맞물리는 종동기어와, 상기 종동기어를 갖는 공급용 회전축(110)과 다른 공급용 회전축(110)들을 서로 연결시키는 구동풀리 및 타이밍 벨트 등으로 이루어질 수 있다.

이송부(200)는 상기 공급부(100)를 통해 투입된 유리기판을 라인스캔부(600) 측으로 이송시키는 것으로, 일 예로 이송부(200)와 공급기는 X축 방향으로 나란히 배치되어 있고, 이송부(200)와 검사장치는 Y축 방향으로 나란히 배치되어 있기 때문에, 공급된 유리기판의 방향을 이송부(200)에서 전환한 후 이송할 필요가 있다.

이를 위해 이송부(200)는 공급부(100)로부터 유리기판을 넘겨받는 X축 이송부(210)와 상기 X축 이송부(210)와 수직한 방향으로 유리기판을 이동시킴으로써 넘겨받은 유리기판을 라인스캔부(600) 측으로 이송시키는 Y축 이송부(230)를 포함한다.

X축 이송부(210)는 공급부(100)에 의한 유리기판의 이송을 계속 유지하면서 넘겨받도록, 서로 이격 설치된 복수개의 이송용 X 회전축(211)과, 상기 이송용 X 회전축(211)에 각각 복수개 설치되며 서로 이격된 이송용 X 로울러(212)와, 상기 이송용 X 회전축(211)들을 회전시키는 이송용 X 모터(213)를 포함한다. 이송용 X 모터(213)는 공급부(100)에서 설명한 바와 마찬가지로 동력전달부를 통해 이송용 X 회전축(211)과 연결되어 이들을 동시에 회전시킨다.

또한, X축 이송부(210)에는 이송용 승하강장치(220)가 설치되어 있어서 이송용 승하강장치(220)의 구동에 따라 승하강되는데, 유리기판을 공급부(100)로부터 넘겨받을 때는 X축 이송부(210)가 상승하여 X축 이송부(210)만 작용하게 하고, 넘겨받은 유리기판을 라인스캔부(600) 측으로 공급할 때는 X축 이송부(210)가 하강하여 Y축 이송부(230)만 작용하게 한다.

Y축 이송부(230)는 이송용 X 회전축(211)의 위쪽에 배치되되 서로 이격된 복수개의 이송용 Y 회전축(231)과, 상기 이송용 Y 회전축(231)에 각각 복수개 설치되며 서로 이격된 이송용 Y 로울러(232) 및 상기 이송용 Y 회전축(231)들을 회전시키는 이송용 Y 모터(233)를 포함한다. 이송용 Y 모터(233)는 동력전달장치(234)를 통해 이송용 Y 회전축(231)들과 연결되어 있다.

또한, 도 2a(도 2의 'A' 방향)를 통해 좀더 명확히 알 수 있는 바와 같이 유리기판의 하면에 접촉하는 이송용 Y 로울러(232)의 상단부는 공급부(100)의 공급용 로울러(120)의 상단부보다 낮은 위치에 배치되어 있다.

따라서, 공급부(100)로부터 유리기판을 넘겨받을 때는 이송용 승하강장치(220)에 의해 이송용 X 로울러(212)의 상단부가 공급용 로울러(120)의 상단부와 동일 평면상에 배치되도록 상승되어, 공급부(100)에서 공급 중인 유리기판이 회전하는 이송용 X 로울러(212) 위에 놓여 계속 이송되며 넘겨지게 된다.

이송용 X 로울러(212)는 소정 직경을 갖는 것이기 때문에 이송용 X 로울러(212)만 이송용 Y 로울러(232)보다 약간 위쪽으로 상승하고, 이송용 X 회전축(211)은 이송용 Y 회전축(231)과 접촉하거나 부딪히지 않도록 상승 높이를 조절하여 이상과 같이 작동되게 한다.

반면, 이송용 X 로울러(212)에 의해 유리기판이 공급부(100)로부터 이송부(200) 위로 완전히 넘겨지면, 상기 넘겨받은 유리기판을 라인스캔부(600) 측으로 공급하기 시작한다. 이때, 이송용 X 로울러(212)는 이송용 승하강장치(220)에 의해 하강되므로 이송용 X 로울러(212) 위에 놓여있던 유리기판은 이송용 Y 로울러(232) 위에 놓이게 된다. 따라서, 이송용 이송용 Y 모터(233)에 의해 이송용 Y 로울러(232)가 회전하면 유리기판이 라인스캔부(600) 측으로 공급된다.

수용부(300a, 300b)는 이송부(200)의 출력단 측에 나란히 배치되어 있어서 공급받은 유리기판을 검사 전 일시 수용하는 것으로 유리기판이 검사에 적합한 위치에 대기하도록 한다.

이러한 수용부(300a, 300b)는 제1 수용부(300a)와 제2 수용부(300b)가 각각 좌우 양측에 배치된 한 쌍으로 이루어져 있고, 이들 사이를 통해 정렬부(400)의 X축 기판 정렬구(431)가 수평 이동할 수 있는 이동 공간부(G)를 형성하도록 제1 수용부(300a)와 제2 수용부(300b)는 서로 이격되어 있다.

제1 수용부(300a)는 복수개의 제1 수용 회전축(310a)과, 상기 제1 수용 회전축(310a)에 각각 복수개 설치되며 서로 이격된 제1 수용 로울러(320a) 및 상기 제1 수용 회전축(310a)들을 회전시키는 제1 수용 모터(330a)를 포함하며, 제1 수용 모터(330a)는 동력전달장치를 통해 제1 수용 회전축(310a)들과 연결되어 있다.

제2 수용부(300b)는 제1 수용 회전축(310a)들과 각각 동일축 선상에 배치되며 이동 공간부(G)를 형성하도록 제1 수용 회전축(310a)으로부터 이격된 복수개의 제2 수용 회전축(310b)과, 상기 제2 수용 회전축(310b)에 각각 복수개 설치되며 서로 이격된 제2 수용 로울러(320b) 및 상기 제2 수용 회전축(310b)들을 회전시키는 제2 수용 모터(330b)를 포함한다. 제2 수용 모터(330b) 역시 동력전달장치를 통해 제2 수용 회전축(310b)들과 연결된다.

따라서, 제1 수용부(300a)와 제2 수용부(300b)가 동시에 작동을 하면, 이송부(200)로부터 이송 중인 유리기판이 제1 수용 로울러(320a)와 제2 수용 로울러(320b)에 의해 수용부(300a, 300b)로 완전히 넘겨진 후에는 정지상태의 제1 수용 로울러(320a)와 제2 수용 로울러(320b) 위에 놓여 대기하게 된다.

또한, 후속의 정렬 공정에서는 정렬부(400)의 X축 기판 정렬구(431)가 이동 공간부(G)를 통해 수용부(300a, 300b)의 상측까지 돌출된 다음 유리기판의 양측면을 동시에 밀도록 X축 기판 정렬구(431)가 이동 공간부(G)를 따라 수평 이동할 수 있게 한다. 이에 대한 좀더 상세한 설명은 아래의 정렬부(400)에서 한다.

정렬부(400)는 수용부(300a, 300b)의 하측에 구비되어 있으며, 도 3 내지 도 3b를 통해 좀더 명확히 알 수 있는 바와 같이, 수용부(300a, 300b)를 통과하여 상측으로 돌출되는 기판 정렬구(421, 431)들을 이용하여 유리기판의 X축 방향 양측면과 Y축 방향 양측면을 각각 동시에 밀어 줌으로써 유리기판을 정렬시킨다.

이를 위해, 정렬부(400)는 베이스 기판(410)의 상면에 설치되며 X축 방향에 나란한 유리기판의 제1 양측면을 동시에 밀어 정렬시키는 X축 정렬기(430)와, 상기 베이스 기판(410)의 하면에 설치되며 Y축 방향에 나란한 유리기판의 제2 양측면을 동시에 밀어 정렬시키는 Y축 정렬기(420)를 포함한다. 베이스 기판(410) 위에 고정된 설치블럭(411)은 당해 정렬부(400)를 수용부(300a, 300b)의 하측에 고정하는데 사용된다.

X축 정렬기(430)는 이동 공간부(G)를 통해 수용부(300a, 300b)의 상측으로 돌출되며 상기 유리기판의 제1 양측면으로부터 각각 외측에 배치된 X축 기판 정렬구(431) 및 한 쌍의 X축 기판 정렬구(431)가 이동 공간부(G)를 따라서 동시에 유리기판 측으로 이동하거나 멀어지도록 Y축 방향으로 직선왕복운동시키는 X축 이송기(432, 433)를 포함한다.

이때, X축 기판 정렬구(431)는 X축 이송기(432, 433)의 양단부에 각각 구비되어 있어서 X축 이송기(432, 433)에 의해 양단부로부터 유리기판 측으로 동시에 근접하거나 멀어지게 되어 있으며, X축 기판 정렬구(431)가 유리기판 측으로 동시에 이동하여 유리기판의 양측면을 동시에 밀면 그 힘으로 유리기판을 수평 정렬 시킨다.

X축 이송기(432, 433)로는 일 예로서 LM 액츄에이터(Linear Motion Actuator)가 사용될 수 있는데, 공지된 바와 같이 LM 액츄에이터는 그 내부에 베이스, 너트 브라켓 및 볼 스크류 등을 구비한 LM 레일(432)과, LM 레일(432)에 맞물려 조립되어 상기 LM 레일(432)을 따라 이동하는 이송블럭(433)을 포함한다.

또한, 이송블럭(433)은, 도 3b(도 3의 'B' 방향)를 통해 좀더 명확히 알 수 있는 바와 같이, 연결판(434)을 통해 상기 X축 기판 정렬구(431)를 지지하는 지지판(431a)과 연결되어 있으며, LM 레일(432) 내부에 구비된 상기 볼 스크류는 감속기(reducer) 등을 통해 X축 정렬 모터(432a)의 회전축과 연결되어 있다.

따라서, X축 정렬 모터(432a)가 정방향으로 회전하면 볼 스크류가 회전하면서 LM 레일(432)의 양단부에 각각 배치된 이송블럭(433)을 중심측으로(즉, 외측에서 유리기판을 향해) 동시에 이동시키고, 이송블럭(433) 이동됨에 따라 지지판(431a)의 상측으로 연장 설치된 X축 기판 정렬구(431)도 함께 이동되어 유리기판의 양측면을 밀며 정렬시킬 수 있게 한다.

또한, 지지판(431a)의 하부에는 정렬용 승하강장치(431b)가 설치되어 있는데, 정렬용 승하강장치(431b)는 유리기판이 이송부(200)에서 수용부(300a, 300b)로 이송중인 동안에는 유리기판이 X축 기판 정렬구(431)에 걸려 방해되지 않도록 지지판(431a)을 하강시킴으로써 X축 기판 정렬구(431)가 수용부(300a, 300b)의 상측으로 돌출되지 않게 한다. 반면, 유리기판이 지나가고 난 후에는 이동 공간부(G)를 통해 X축 기판 정렬구(431)를 상승시켜서 수용부(300a, 300b)의 상측으로 돌출된 X축 기판 정렬구(431)로 유리기판의 양측면을 동시에 밀어 정렬할 수 있게 한다.

또한, 연결판(434)의 일측면에는 검출단자(434a)가 설치되어 있고, LM 레일(432)의 측부에는 상기 LM 레일(432)과 평행하게 센서 브라켓(436a)이 설치되어 있으며, 센서 브라켓(436a)에는 일정 간격마다 검출센서(436b)가 설치되어 있어서, 연결판(434)의 이동시 검출단자(434a)가 특정 검출센서(436b)를 감지함으로써 X축 기판 정렬구(431)의 위치를 감지할 수 있게 한다. 이러한 센싱 장치는 도그 센서(혹은, 센서 도그)라고도 알려져 있다.

또한, 도 3a를 통해 좀더 용이하게 알 수 있는 바와 같이, 연결판(434)의 타측면에는 케이블 브라켓(435a)이 설치되어 있어서 각종 제어신호나 전원을 공급하며 이동가능한 케이블베이어(CV)(cableveyor: 컨베이어처럼 케이블을 이동시킨다고 하여 케이블베어라 함)가 연결되어 있고, 이 케이블베이어(CV)는 케이블 수납함(435)에 의해 지지된다.

한편, Y축 정렬기(420)는 베이스 기판(410)의 하면에 설치되는 것으로, 수용부(300a, 300b)의 제1 수용 회전축(310a)들 사이의 빈 공간 및 제2 수용 회전축(310b)들 사이의 빈 공간을 통해 수용부(300a, 300b)의 상측으로 돌출되며 유리기판의 제2 양측면으로부터 각각 외측에 배치된 Y측 기판 정렬구(421) 및 상기 Y축 기판 정렬구(421, 431)가 수용 회전축들의 사이를 따라서 동시에 유리기판 측으로 이동하거나 멀어지도록 X축 방향으로 직선왕복운동시키는 Y축 이송기(423a, 423b, 423c)를 포함한다.

또한, 도 3b(도 3의 'B'방향)를 통해 좀더 용이하게 알 수 있는 바와 같이, 베이스 기판(410)의 하면에는 길이가 긴 가이드 레일(422a)이 설치되어 있고, 가이드 레일(422a)에는 LM 블럭(422b)이 맞물려 있어서 LM 블럭(422b)이 가이드 레일(422a)을 따라 이동하며, LM 블럭(422b)의 하단부에는 가이드 레일(422a)에 수직한 방향으로 길이가 긴 설치 날개(422c)가 고정되어 있으며, 상기 설치 날개(422c)의 양단부에는 각각 상술한 Y측 기판 정렬구(421)가 상측으로 연장 설치되어 있다.

이때, 상기 Y축 이송기(423a, 423b, 423c)로는 일 예로 볼 스크류(ball screw) 장치가 사용될 수 있는데, 볼 스크류 장치는 공지된 바와 같이 외주면에 나사산이 형성된 스크류(423a)와, 작은 금속 볼들을 사이에 두고 스크류(423a)에 맞물려 있어서 스크류(423a)의 회전 방향에 따라 직선왕복운동을 하는 너트 블럭(423b) 및 스크류(423a)를 회전시키는 Y축 정렬 모터(423c)를 포함한다.

스크류(423a)는 일 예로 도시한 바와 같이 일렬로 배치된 한 쌍으로 이루어지고, 한 쌍의 스크류(423a)는 커플러(CP)에 의해 서로 연결되어 있어서 동시에 회전되며, 너트 블럭(423b)의 하단부는 설치 날개(422c)에 고정되어 있어서 스크류(423a)에 의해 너트 블럭(423b)이 이동하는 힘으로 설치 날개(422c) 및 Y측 기판 정렬구(421)를 이동시킨다.

따라서, Y축 정렬 모터(423c)를 이용하여 스크류(423a)를 회전시키면, 상기 스크류(423a)의 양단에 각각 맞물려 있는 너트 블럭(423b)이 동시에 중심측(즉, 유리기판 측)으로 이동한다. 또한, 너트 블럭(423b)은 설치 날개(422c)의 중심부와 연결되고, 가이드 레일(422a)에 맞물린 LM 블럭(422b)은 설치 날개(422c)의 양측부와 연결되어 있어서, 설치 날개(422c)에 구비된 Y측 기판 정렬구(421)가 안정적으로 이동하며 유리기판의 양측면을 밀어 수직 정렬시킨다.

리프팅부(500)는 정렬부(400)의 하측에는 설치되어 있으며, 도 4 내지 도 4b를 통해 좀더 명확히 알 수 있는 바와 같이, 유리기판의 직하부에 배치된 복수개의 기판 지지구(511, 512)를 구비함으로써, 기판 지지구(511, 512)를 정렬부(400)와 수용부(300a, 300b) 중 특정 부분에 형성된 빈 공간(예: 회전축 사이나 이동 공간부(G) 등)을 통과하여 상승시켜 수용부(300a, 300b) 위에 놓인 유리기판을 라인스캔부(600)가 있는 상측까지 들어올린다.

도 4a(도 4의 'A'방향)를 통해 좀더 명확히 알 수 있는 바와 같이, 리프팅부(500)는 유리기판의 하면을 밀어 올리도록 배치된 복수개의 기판 지지구(511, 512)와, 상기 기판 지지구(511, 512)를 지지하는 서포트 프로파일(513a, 513b)과, 상기 서포트 프로파일(513a, 513b)을 지지하는 지지 플레이트(514)와, 상기 지지 플레이트(514)를 상승 또는 하강시키는 검사용 승하강장치(520) 및 상기 검사용 승하강장치(520)의 양측부에 각각 설치되어 상기 승하강장치의 작동을 보조하는 파워 베이스(power base)(540)를 포함한다.

기판 지지구(511, 512)는 단순히 유리기판의 하면을 지지하기만 하는 일반 지지구(511)와, 공기 흡입 관(미도시)에 연결된 흡입구 및 탄성 재질의 흡착판 등을 구비하고 있어서 유리기판의 하면을 지지함은 물론 흡입력으로 유리기판을 밀착하여 잡아주는 흡입 지지구(512)로 이루어지며, 이들은 필요에 따라 각각 복수개로 이루어진다.

서포트 프로파일(513a, 513b)은 기판 지지구(511, 512)들을 서로 연결시킴으로써 지지 플레이트(514)에 의해 동시에 상승되거나 하강되도록 기판 지지구(511, 512)의 갯수 및 배치 상태에 따라 다양한 방식으로 설치된다. 또한, 검사대상 유리기판의 크기에 따라 적절한 지지점을 선택할 수 있도록 기판 지지구(511, 512)의 갯수 및 배치를 결정하고, 서포트 프로파일(513a, 513b)에 장공(513b)을 형성하여 서포트 프로파일(513a, 513b)의 위치를 조절 후 장공(513b)에 볼트를 체결하여 고정한다.

검사용 승하강장치(520)는, 도 4a 및 도 4b와 같이 수직 방향으로 세워져 설치되되, 조인트(521)를 통해 지지 플레이트(514)의 하면에 회전 가능하게 연결된 볼 스크류(522)와, 베이스 플레이트(515)에 고정되며 상기 볼 스크류(522)가 관통 설치된 너트 블럭(523) 및 볼 스크류(522)의 움직임을 감시하여 기판 지지구(511, 512)의 승하강 높이를 측정하는 센싱부(524a, 524b, 524c)를 포함한다.

센싱부(524a, 524b, 524c)는 도 4b와 같이, 볼 스크류(522) 옆에 수직하게 세워져 나란히 배치된 센서 브라켓(524b)과, 상기 센서 브라켓(524b)의 높이 방향을 따라 일정 간격마다 설치된 위치 센서(524c) 및 볼 스크류(522)에 의해 상승 또는 하강하는 감지단자(524a)를 포함하여, 감지단자(524a)가 위치 센서(524c)를 센싱함으로써 지지 플레이트(514)의 승하강 높이를 측정한다. 이러한 센싱부(524a, 524b, 524c)는 도그 센서장치라고도 한다.

따라서, 베이스 플레이트(515)에 고정 설치된 서보모터(531)가 작동하면, 감속기(532)에 의해 감속된 속도로 회전축이 회전함에 따라, 풀리(P) 및 벨트(B)를 통해 너트 블럭(523)을 회전시키고, 너트 블럭(523)의 회전 방향에 따라 볼 스크류(522)가 승하강하여 지지 플레이트(514)는 물론, 그 위에 고정된 기판 지지구(511, 512)가 승하강되고, 이때 승하강 높이는 센싱부(524a, 524b, 524c)에 의해 확인된다.

파워 베이스(540)는 검사용 승하강장치(520)의 양측부에서 각각 베이스 플레이트(515)에 고정 설치되며 상단부는 지지 플레이트(514)의 하면에 연결되어 있어서 검사용 승하강장치(520)에 의해 움직이는 지지 플레이트(514)의 승하강을 보조한다. 즉, 승하강시 부드러운 작동과 조용한 운전이 가능하게 하고, 지지 플레이트(514)가 편하중을 받아도 원활하게 승하강되게 하며, 흔들림이나 충격을 방지한다.

이를 위해, 파워 베이스(540)는 공지된 바와 같이 베이스 플레이트(515)에 고정된 기어박스(541)와, 상기 기어박스(541)를 통해 지지 플레이트(514)의 하면에 연결된 샤프트(542) 및 지지 플레이트(514)의 하면과 기어박스(541) 사이에 삽입된 스프링(543) 등을 포함한다.

라인스캔부(600)는 상기 리프팅부(500)에 의해 들어 올려진 유리기판의 테두리 부분을 동시에 스캔하면서 검사를 진행하는 것으로, 도 5 및 도 5a에 도시된 바와 같이, 유리기판의 각 측면 부분을 각각 동시에 스캔하면서 유리기판에 스크래치(scratch), 크랙(crack), 치핑(chipping) 혹은 버(burr) 등과 같은 손상이 발생하였는지 검사할 수 있도록 유리기판의 측면 외측에 각각 배치된다.

즉, 라인스캔부(600)는 X축 방향에 나란한 유리기판의 측면을 각각 스캔하면 검사하기 위한 2개의 X축 라인스캔부(610)와, Y축 방향에 나란한 유리기판의 측면을 각각 스캔하며 검사하기 위한 2개의 Y축 라인스캔부(620)를 포함하여, 이들 4개의 라인스캔부(610, 620)를 이용하여 유리기판의 각 측면을 동시에 검사한다.

이때, X축 라인스캔부(610)와 Y축 라인스캔부(620)는 각각 유리기판의 측면을 따라 Y-축 로봇(613)을 직선왕복운동시키는 X-축 로봇(611)과, 상기 X-축 로봇(611)에 설치되어 함께 이동하되 유리기판의 외측에서 유리기판을 향하는 방향으로 카메라(614a)를 직선왕복운동시키는 Y-축 로봇(613) 및 상기 Y-축 로봇(613)의 단부에 설치되어 Y-축 로봇(613)에 의해 유리기판의 테두리부분 위로 이동하는 카메라(614a) 및 조명장치(614b)를 포함한다.

X-축 로봇(611)은 X축 서보모터(Mx)에 의해 동력을 전달받아 Y-축 로봇(613)을 유리기판의 측면을 따라 선형 이동시킴으로써 결국 Y-축 로봇(613)에 설치된 카메라(614a) 및 조명장치(614b)를 X축 방향으로 이동시킨다. X-축 로봇(611)에 전원 및 제어신호를 전송하는 케이블베이어(611a)는 X축 방향으로 길게 배치된 케이블 브라켓(611b) 위에 놓여져 X-축 로봇(611)과 함께 이동하게 된다.

Y-축 로봇(613)은 Y축 서보모터(My)에 의해 동력을 전달받아 그 중심측에 놓인 유리기판을 향하는 방향이나 유리기판으로부터 멀어지는 방향으로 연결 테이블(612)을 선형 이동시킴으로써 결국 연결 테이블(612)에 연결된 카메라(614a) 및 조명장치(614b)를 Y축 방향으로 이동시킨다. Y-축 로봇(613)에 전원 및 제어신호를 전송하는 케이블베이어(613a)는 Y축 방향으로 길게 배치된 케이블 브라켓(613b) 위에 놓여져 Y-축 로봇(613)과 함께 이동하게 된다.

카메라(614a) 및 조명장치(614b)는 상기 연결 테이블(612)에 설치되어 연결 테이블(612)과 함께 이동하는 검사 브라켓(BK)에 설치되며, 도 5b를 통해 좀더 명확히 알 수 있는 바와 같이, 검사 브라켓(BK)은 대략 'ㄷ'자 형상으로 이루어져 있다.

이때, 카메라(614a)는 'ㄷ'자 형상의 검사 브라켓(BK)의 상단에 설치되고, 조명장치(614b)는 상기 'ㄷ'자 형상의 검사 브라켓(BK)의 하단에 설치되며, 카메라(614a)와 조명장치(614b) 사이에 유리기판이 배치되도록 유리기판의 테두리 부분은 'ㄷ'자 형상의 검사 브라켓(BK)의 중간 지점에 들어가 있다.

따라서, X-축 로봇(611)에 의해서는 카메라(614a)와 조명장치(614b)가 유리기판의 측면을 따라 이동하면서 유리기판을 스캔(혹은, 촬상)하고, Y-축 로봇(613)에 의해서는 카메라(614a)와 조명장치(614b)가 검사에 적합한 위치에 해당하는 유리기판의 테두리 부분까지 이동한다.

또한, 카메라(614a)와 조명장치(614b)가 유리기판의 검사 위치로 이동하면, 카메라(614a)와 조명장치(614b)가 검사 브라켓(BK)에 의해 상하 방향에서 서로 마주보게 설치되어 있으므로, 조명장치(614b)는 유리기판의 하측에서 상측으로 조명을 하고, 유리기판의 상측에 배치된 카메라(614a)는 조명된 유리기판을 촬상함으로써, 그 이미지를 이용하여 유리기판의 손상 여부를 검사할 수 있게 한다.

이상, 본 발명의 특정 실시예에 대하여 설명하였다. 그러나, 본 발명의 사상 및 범위는 이러한 특정 실시예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위 내에서 다양하게 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이해할 것이다.

따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.

100: 공급부 200: 이송부
210: X축 이송부 220: 이송용 승하강장치
230: Y축 이송부 300a, 300b: 수용부
400: 정렬부 410: 베이스 기판
420: X축 정렬기 430: Y축 정렬기
500: 리프팅부 600: 라인스캔부
611: X-축 로봇 613: Y-축 로봇
614a: 카메라 614b: 조명장치
BK: 검사 브라켓

Claims

절단 공정을 통해 특정 형상으로 절단된 원본 유리기판의 테두리 부분 이상 유무를 검사하는 유리기판 검사장치에 있어서,
공급된 유리기판을 이송시키는 이송부(200)와;
상기 이송부(200)의 출력단에 배치되어 상기 이송부(200)로부터 유리기판을 공급받아 수용하는 수용부(300a, 300b)와;
상기 수용부(300a, 300b)의 하부에 설치되고, 상기 수용부(300a, 300b)를 통과하여 상측으로 돌출되며 상기 유리기판의 각 측면을 바라보는 방향에 각각 배치된 기판 정렬구(421, 431)를 구비하며, 상기 기판 정렬구(421, 431)가 상기 수용부(300a, 300b)에 놓인 유리기판의 양측면을 동시에 밀도록 수평이동시켜 상기 유리기판을 정렬하는 정렬부(400)와;
상기 정렬부(400)의 하부에 설치되고, 상기 유리기판의 하부에 배치된 복수개의 기판 지지구(511, 512)를 구비하며, 유리기판 검사시 상기 기판 지지구(511, 512)를 정렬부(400)와 수용부(300a, 300b)를 차례로 통과하여 상승시켜 상기 정렬된 유리기판을 상측으로 들어올리는 리프팅부(500); 및
상기 유리기판의 측면 외측에 각각 배치되고, 각각 상기 유리기판의 측면을 따라 Y-축 로봇(613)을 직선왕복운동시키는 X-축 로봇(611)과, 상기 X-축 로봇(611)에 설치되어 함께 이동하되 상기 유리기판의 외측에서 유리기판을 향하는 방향으로 카메라(614a)를 직선왕복운동시키는 Y-축 로봇(613) 및 상기 Y-축 로봇(613)의 단부에 설치되어 함께 이동하되 상기 Y-축 로봇(613)에 의해 유리기판의 테두리부분 위로 이동하여 유리기판을 촬상하는 카메라(614a)를 구비한 라인스캔부(600);를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 검사장치.
제1항에 있어서,
상기 이송부(200)에 유리기판을 공급하는 공급부(100)는,
서로 이격 설치된 복수개의 공급용 회전축(110)과, 상기 공급용 회전축(110)에 각각 설치된 공급용 로울러(120) 및 상기 공급용 회전축(110)들을 회전시키는 공급용 모터(130)를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 검사장치.
제2항에 있어서,
상기 이송부(200)는,
상기 공급부(100)로부터 유리기판을 넘겨받는 X축 이송부(210)와 상기 X축 이송부(210)와 수직한 방향으로 유리기판을 이동시킴으로써 상기 넘겨받은 유리기판을 상기 라인스캔부(600) 측으로 이송시키는 Y축 이송부(230)를 포함하되,
상기 X축 이송부(210)는,
서로 이격 설치된 복수개의 이송용 X 회전축(211)과, 상기 이송용 X 회전축(211)에 각각 복수개 설치되며 서로 이격된 이송용 X 로울러(212)와, 상기 이송용 X 회전축(211)들을 회전시키는 이송용 X 모터(213) 및 상기 X축 이송부(210)를 승하강 시키는 이송용 승하강장치(220)를 포함하고,
상기 Y축 이송부(230)는,
상기 이송용 X 회전축(211) 위쪽에 배치되되 서로 이격된 복수개의 이송용 Y 회전축(231)과, 상기 이송용 Y 회전축(231)에 각각 복수개 설치되며 서로 이격된 이송용 Y 로울러(232) 및 상기 이송용 Y 회전축(231)들을 회전시키는 이송용 Y 모터(233)를 포함하되,
상기 유리기판의 하면에 접촉하는 상기 이송용 Y 로울러(232)의 상단부는 상기 공급부(100)의 공급용 로울러(120)의 상단부보다 낮은 위치에 배치되고,
상기 이송용 X 로울러(212)는 상기 공급부(100)로부터 유리기판을 넘겨받을 때는 상기 이송용 승하강장치(220)에 의해 상승되어 상기 이송용 X 로울러(212)의 상단부가 상기 공급용 로울러(120)의 상단부와 동일 평면상에 배치되어 상기 이송용 X 로울러(212) 위에 유리기판이 놓이고,
상기 넘겨받은 유리기판을 상기 라인스캔부(600) 측으로 공급할 때는 상기 이송용 X 로울러(212)가 상기 이송용 승하강장치(220)에 의해 하강되어 유리기판이 상기 이송용 Y 로울러(232) 위에 놓이는 것을 특징으로 하는 유리기판 검사장치.
제1항에 있어서,
상기 수용부(300a, 300b)는,
이격 설치된 복수개의 제1 수용 회전축(310a)과, 상기 제1 수용 회전축(310a)들과 각각 동일축 선상에 배치되되 이동 공간부(G)를 형성하도록 상기 제1 수용 회전축(310a)으로부터 이격되어 있는 복수개의 제2 수용 회전축(310b)과, 상기 제1 수용 회전축(310a)에 각각 복수개 설치되며 서로 이격된 제1 수용 로울러(320a)와, 상기 제2 수용 회전축(310b)에 각각 복수개 설치되며 서로 이격된 제2 수용 로울러(320b)와, 상기 제1 수용 회전축(310a)들을 회전시키는 제1 수용 모터(330a) 및 상기 제2 수용 회전축(310b)들을 회전시키는 제2 수용 모터(330b)를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 검사장치.
제4항에 있어서,
상기 정렬부(400)는,
X축 방향에 나란한 유리기판의 제1 양측면을 동시에 밀어 정렬시키는 X축 정렬기(430)와, Y축 방향에 나란한 유리기판의 제2 양측면을 동시에 밀어 정렬시키는 Y축 정렬기(420)를 포함하되,
상기 X축 정렬기(430)는,
상기 수용부(300a, 300b)의 이동 공간부(G)를 통해 상기 수용부(300a, 300b)의 상측으로 돌출되며, 상기 유리기판의 제1 양측면으로부터 각각 외측에 배치된 X축 기판 정렬구(431)와, 상기 X축 기판 정렬구(431)가 상기 이동 공간부(G)를 따라서 동시에 유리기판 측으로 이동하거나 멀어지도록 Y축 방향으로 직선왕복운동시키는 X축 이송기(432, 433) 및 상기 유리기판이 공급중에는 상기 X축 기판 정렬구(431)를 하강시키고 정렬시에는 상기 X축 기판 정렬구(431)를 상승시키는 정렬용 승하강장치(431b)를 포함하고,
상기 Y축 정렬기(420)는,
상기 수용부(300a, 300b)의 수용 회전축들의 사이를 통해 상기 수용부(300a, 300b)의 상측으로 돌출되며 상기 유리기판의 제2 양측면으로부터 각각 외측에 배치된 Y측 기판 정렬구(421) 및 상기 Y축 기판 정렬구(421, 431)가 상기 수용 회전축들의 사이를 따라서 동시에 유리기판 측으로 이동하거나 멀어지도록 X축 방향으로 직선왕복운동시키는 Y축 이송기(423a, 423b, 423c)를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 검사장치.
제1항에 있어서,
상기 리프팅부(500)는,
상기 유리기판의 직하부 방향에 설치되되 각각 상기 정렬부(400)와 수용부(300a, 300b)의 빈 공간을 통해 상승할 수 있도록 배치된 복수개의 기판 지지구(511, 512)와, 상기 기판 지지구(511, 512)를 지지하는 서포트 프로파일(513a, 513b)과, 상기 서포트 프로파일(513a, 513b)을 지지하는 지지 플레이트(514)와, 상기 지지 플레이트(514)를 상승 또는 하강시키는 검사용 승하강장치(520) 및 상기 검사용 승하강장치(520)의 양측부에 각각 설치되어 상기 승하강장치의 작동을 보조하는 파워 베이스(power base)(540)를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 검사장치.
제1항에 있어서,
상기 라인스캔부(600)의 카메라(614a)는 상기 Y-축 로봇(613)에 연결된 'ㄷ'자 형상의 검사 브라켓(BK)의 상단에 설치되고, 상기 'ㄷ'자 형상의 검사 브라켓(BK)의 하단에는 상기 카메라(614a)가 촬상하는 유리기판 부분을 조명하는 조명장치(614b)가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 유리기판 검사장치.