KR101151116B1

KR101151116B1 - 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법

Info

Publication number: KR101151116B1
Application number: KR1020107005717A
Authority: KR
Inventors: 세이지 이마나까; 신이찌로 이시노; 유이찌로 미야마에; 고요 사까모또; 요시나오 오오에
Original assignee: 파나소닉 주식회사
Priority date: 2008-08-20
Filing date: 2009-08-05
Publication date: 2012-06-01
Also published as: KR20100043277A; CN102057457A; US20100255748A1; JP5251355B2; WO2010021095A1; JP2010049852A

Abstract

유전체층(8) 상에 기초막(91)을 형성하는 동시에, 그 기초막에 금속 산화물을 포함하는 복수 개의 결정 입자(92a)를 전체 면에 걸쳐서 분포되도록 부착시켜 구성하여 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널의 보호층(9)의 제조 방법은, 결정 입자를 전체 면에 걸쳐서 도포하기 위한 도포 단계를 가지고, 도포 단계는, 복수의 전면판을 동시에 반송하는 반송 단계와, 복수의 전면판을 동시에 위치 결정하는 위치 결정 단계와, 위치 결정 후의 복수 매의 전면판을 고정하여 소정의 개소에 결정 입자의 막을 인쇄하기 위한 인쇄 단계를 갖는다.

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법{METHOD FOR MANUFACTURING PLASMA DISPLAY PANEL}

본 발명은, 표시 디바이스 등에 이용하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법에 관한 것이다.

플라즈마 디스플레이 패널(이하, PDP라고 함)은, 고정밀화, 대화면화의 실현이 가능하기 때문에 65인치 클래스의 텔레비전 등이 제품화되어 있다. 최근, PDP는 종래의 NTSC방식에 비해 주사선 수가 2배 이상인 하이?디피니션 텔레비전에 대한 적용이 진행되고 있다.

PDP는, 기본적으로는 전면판과 배면판으로 구성되어 있다. 전면판은, 글래스 기판과, 표시 전극과, 유전체층과, 보호층으로 구성되어 있다. 글래스 기판은, 플로트법에 의한 붕규산 나트륨계 글래스로 형성되어 있다. 표시 전극은, 글래스 기판의 한쪽의 주면 상에 형성된 스트라이프 형상의 투명전극과 버스 전극으로 구성되어 있다. 유전체층은, 표시 전극을 덮어 컨덴서로서의 작용을 한다. 보호층은, 유전체층 상에 형성된 산화 마그네슘(MgO)을 포함한다. 한편, 배면판은, 글래스 기판과, 어드레스 전극과, 기초 유전체층과, 격벽과, 형광체층으로 구성되어 있다. 어드레스 전극은, 글래스 기판의 한쪽의 주면 상에 형성되고 스트라이프 형상이며, 기초 유전체층은 어드레스 전극을 덮고 있다. 격벽은 기초 유전체층 상에 형성되어 있다. 형광체층은, 각 격벽 간에 형성되어 적색, 녹색 및 청색 각각으로 발광한다.

전면판과 배면판은 그 전극 형성면측을 대향시켜서 기밀하게 봉착되고, 격벽에 의해 구획된 방전 공간에 Ne-Xe의 방전 가스가 400Torr～600Torr의 압력으로 봉입되어 있다. PDP는, 표시 전극에 영상 신호 전압을 선택적으로 인가함으로써 방전하고, 그 방전에 의해 발생한 자외선이 각 색 형광체층을 여기하여 적색, 녹색, 청색으로 발광시켜 컬러 화상 표시를 실현하고 있다. 이러한 PDP는, 특허 문헌 1에 개시되어 있다.

이러한 PDP에 있어서, 전면판의 유전체층 상에 형성되는 보호층의 역할로는, 방전에 의한 이온 충격으로부터 유전체층을 보호하는 것, 어드레스 방전을 발생시키기 위한 초기 전자를 방출하는 것 등을 들 수 있다. 이온 충격으로부터 유전체층을 보호하는 것은, 방전 전압의 상승을 방지하는 중요한 역할이다. 또한, 어드레스 방전을 발생시키기 위한 초기 전자를 방출하는 것은, 화상의 깜박거림의 원인이 되는 어드레스 방전 미스를 방지하는 중요한 역할이다.

보호층으로부터의 초기 전자의 방출 수를 증가시켜 화상의 깜박거림을 저감하기 위해서는, 예를 들면 MgO에 Si나 Al을 첨가하는 등의 시도가 이루어지고 있다.

최근, 텔레비전은 고정밀화가 진행되고 있어, 시장에서는 저비용?저소비전력?고휘도의 풀HD(하이?디피니션)(1920×1080화소:프로그레시브 표시)PDP가 요구되고 있다. 보호층으로부터의 전자 방출 특성은 PDP의 화질을 결정하기 때문에, 전자 방출 특성을 제어하는 것은 매우 중요하다.

또한, PDP에 있어서, 보호층에 불순물을 혼재시킴으로써 전자 방출 특성을 개선하고자 하는 시도가 행해지고 있다. 그러나, 보호층에 불순물을 혼재시켜 전자 방출 특성을 개선한 경우, 이와 동시에 보호층 표면에 전하가 축적되어, 메모리 기능으로서 사용하고자 할 때의 전하가 시간과 함께 감소하는 감쇠율이 커져버린다. 따라서, 이를 억제하기 위한 인가 전압을 크게 하는 등의 대책이 필요하게 된다. 이렇게 보호층의 특성으로서, 높은 전자 방출 능력을 갖는 동시에, 메모리 기능으로서의 전하의 감쇠율을 작게 하는, 즉 높은 전하 유지 특성을 갖는다는, 상반되는 두 개의 특성을 함께 갖지 않으면 안되다는 과제가 있다.

일본특허공개2003-128430호공보

본 발명은 상술한 종래 방식에서의 과제에 감안하여, 고정밀이며 고휘도의 표시 성능을 구비하는 동시에 저소비전력인 PDP를 실현할 수 있는 제조 방법을 제공한다.

플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법은, 기판 상에 형성한 표시 전극을 피복하도록 유전체층을 형성하고, 유전체층 상에 보호층을 형성한 전면판과, 전면판에 방전 공간을 형성하도록 대향 배치되고 또한 표시 전극과 교차하는 방향에 어드레스 전극을 형성하고, 방전 공간을 구획하는 격벽을 설치한 배면판을 가지며, 보호층은 유전체층 상에 기초막을 형성하고, 기초막에 금속 산화물을 포함하는 복수 개의 결정 입자를 전체 면에 걸쳐서 분포하도록 부착시켜 이루어진 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법에 있어서, 결정 입자를 전체 면에 걸쳐서 도포하기 위한 도포 단계를 가지며, 도포 단계는, 복수의 전면판을 동시에 반송할 때에 상승하고 반송이 완료했을 때에 하강하는 반송 단계와, 복수의 전면판을 동시에 위치 결정할 때에 상승하여 위치 결정하는 위치 결정 단계와, 위치 결정 후의 복수 매의 전면판을 고정하여 원하는 개소에 결정 입자의 막을 인쇄하기 위한 인쇄 단계를 갖는다.

이상과 같이 본 발명은, 고정밀이며 고휘도의 표시 성능을 구비하는 동시에 저소비전력인 PDP의 제조 방법으로서 유용한 발명이다.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 있어서의 PDP의 구조를 도시하는 사시도.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 있어서의 PDP의 전면판의 구성을 도시하는 단면도.
도 3은 본 발명의 실시 형태에 있어서의 PDP의 보호층 부분 등을 확대하여 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 실시 형태에 있어서의 PDP의 보호층에 있어서, 응집 입자를 설명하기 위한 확대도.
도 5는 본 발명에 따른 PDP의 제조 방법에 있어서, 보호층 형성의 단계를 나타내는 도면.
도 6은 본 발명에 있어서의 인쇄 부분의 구성을 도시하는 평면도와 측면도.
도 7은 본 발명에 있어서의 전면판의 위치 결정 동작을 나타내는 평면도와 측면도.
도 8은 본 발명에 있어서의 전면판의 고정 동작을 나타내는 평면도와 측면도.
도 9는 본 발명에 있어서의 전면판의 인쇄 동작을 나타내는 측면도.
도 10a는 본 발명에 있어서의 전면판의 반출 동작을 나타내는 설명도이고, 도 10b는 본 발명에 있어서의 전면판의 반출 동작을 나타내는 설명도.

이하, 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 PDP에 대해서 도면을 이용하여 설명한다.　

도 1은 본 발명의 실시 형태에 있어서의 PDP의 구조를 나타내는 사시도이다. PDP의 기본 구조는, 일반적인 교류면 방전형 PDP와 마찬가지이다. 도 1에 도시한 바와 같이, PDP(1)는 전면 글래스 기판(3) 등을 포함하는 전면판(2)과, 배면 글래스 기판(11) 등을 포함하는 배면판(10)이 대향해서 배치되고, 그 외주부를 글래스 프릿 등을 포함하는 봉착재에 의해 기밀하게 봉착되어 있다. 봉착된 PDP(1) 내부의 방전 공간(16)에는, Ne 및 Xe 등의 방전 가스가 400Torr～600Torr의 압력으로 봉입되어 있다.

전면판(2)의 전면 글래스 기판(3) 상에는, 주사 전극(4) 및 유지 전극(5)을 포함하는 한 쌍의 띠 형상의 표시 전극(6)과 블랙 스트라이프(차광층)(7)가 서로 평행하게 각각 복수 열 배치되어 있다. 전면 글래스 기판(3) 상에는 표시 전극(6)과 차광층(7)을 피복하도록 컨덴서로서의 역할을 하는 유전체층(8)이 형성되고, 또한 그 표면에 산화 마그네슘(MgO) 등을 포함하는 보호층(9)이 형성되어 있다. 참고로, 전면 글래스 기판(3)을 기판이라고도 부른다.

또한, 배면판(10)의 배면 글래스 기판(11) 상에는, 전면판(2)의 주사 전극(4) 및 유지 전극(5)과 직교하는 방향에, 복수의 띠 형상의 어드레스 전극(12)이 서로 평행하게 배치되고, 이를 기초 유전체층(13)이 피복하고 있다. 또한, 어드레스 전극(12) 사이의 기초 유전체층(13) 상에는 방전 공간(16)을 구획하는 소정의 높이의 격벽(14)이 형성되어 있다. 격벽(14) 사이의 홈에 어드레스 전극(12)마다, 자외선에 의해 적색, 녹색 및 청색으로 각각 발광하는 형광체층(15)이 순차적으로 도포되어 형성되어 있다. 주사 전극(4) 및 유지 전극(5)과 어드레스 전극(12)이 교차하는 위치에 방전 셀이 형성되고, 표시 전극(6) 방향으로 배열된 적색, 녹색, 청색의 형광체층(15)을 갖는 방전 셀이 컬러 표시를 위한 화소가 된다.

도 2는, 본 발명의 일 실시 형태에 있어서의 PDP(1)의 전면판(2)의 구성을 나타내는 단면도로서, 도 2는 도 1과 상하 반전시켜서 나타내고 있다. 도 2에 도시한 바와 같이, 플로트법 등에 의해 제조된 전면 글래스 기판(3)에, 주사 전극(4)과 유지 전극(5)을 포함하는 표시 전극(6)과 차광층(7)이 패턴 형성되어 있다. 주사 전극(4)과 유지 전극(5)은 각각 인듐 주석 산화물(ITO)이나 산화 주석(SnO₂) 등을 포함하는 투명 전극(4a, 5a)과, 투명 전극(4a, 5a) 상에 형성된 금속 버스 전극(4b, 5b)에 의해 구성되어 있다. 금속 버스 전극(4b, 5b)은 투명 전극(4a, 5a)의 길이 방향에 도전성을 부여할 목적으로 이용되며, 은(Ag) 재료를 주성분으로 하는 도전성 재료에 의해 형성되어 있다.

유전체층(8)은, 전면 글래스 기판(3) 상에 형성된 이들 투명 전극(4a, 5a)과 금속 버스 전극(4b, 5b)과 차광층(7)을 덮어 형성한 제1유전체층(81)과, 제1유전체층(81) 상에 형성된 제2유전체층(82)의 적어도 2층 구성이다. 또한, 제2유전체층(82) 상에 보호층(9)이 형성되어 있다.

다음으로, PDP의 제조 방법에 대해서 설명한다. 우선, 전면 글래스 기판(3) 상에, 주사 전극(4) 및 유지 전극(5)과 차광층(7)이 형성된다. 이들 투명 전극(4a, 5a)과 금속 버스 전극(4b, 5b)은, 포토리소그래피법 등을 이용하여 패터닝해서 형성된다. 투명 전극(4a, 5a)은 박막 프로세스 등을 이용하여 형성되고, 금속 버스 전극(4b, 5b)은 은(Ag) 재료를 포함하는 페이스트를 소정의 온도에서 소성하여 고화되어 있다. 또한, 차광층(7)도 마찬가지로, 흑색 안료를 포함하는 페이스트를 스크린 인쇄한 후에 소성하거나, 흑색 안료를 글래스 기판의 전체 면에 형성한 후에 포토리소그래피법을 이용하여 패터닝한 후에 소성함으로써 형성된다.

다음으로, 주사 전극(4), 유지 전극(5) 및 차광층(7)을 피복하도록 전면 글래스 기판(3) 상에 유전체 페이스트를 다이 코트법 등에 의해 도포하여 유전체 페이스트층(유전체 재료층)이 형성된다. 유전체 페이스트를 도포한 후, 소정의 시간 방치함으로써 도포된 유전체 페이스트 표면이 레벨링되어서 평탄한 표면이 된다. 그 후, 유전체 페이스트층을 소성 고화함으로써, 주사 전극(4), 유지 전극(5) 및 차광층(7)을 덮는 유전체층(8)이 형성된다. 참고로, 유전체 페이스트는 글래스 분말 등의 유전체 재료, 바인더 및 용제를 포함하는 도료이다. 다음으로, 유전체층(8) 상에 산화 마그네슘(MgO)을 포함하는 보호층(9)이 진공 증착법에 의해 형성된다. 이상의 단계에 의해 전면 글래스 기판(3) 상에 소정의 구성물(주사 전극(4), 유지 전극(5), 차광층(7), 유전체층(8), 보호층(9))이 형성되어 전면판(2)이 완성된다.

한편, 배면판(10)은 다음과 같이 해서 형성된다. 우선, 배면 글래스 기판(11) 상에, 은(Ag) 재료를 포함하는 페이스트를 스크린 인쇄하는 방법이나, 금속막을 전체 면에 형성한 후에 포토리소그래피법을 이용하여 패터닝하는 방법 등에 의해 어드레스 전극(12)용의 구성물이 되는 재료층이 형성된다. 그렇게 해서, 형성된 재료층을 원하는 온도에서 소성함으로써 어드레스 전극(12)이 형성된다. 다음으로, 어드레스 전극(12)이 형성된 배면 글래스 기판(11) 상에 다이 코트법 등에 의해 어드레스 전극(12)을 피복하도록 유전체 페이스트를 도포하여 유전체 페이스트층이 형성된다. 그 후, 유전체 페이스트층을 소성함으로써 기초 유전체층(13)이 형성된다. 참고로, 유전체 페이스트는 글래스 분말 등의 유전체 재료와 바인더 및 용제를 포함한 도료이다.

다음으로, 기초 유전체층(13) 상에 격벽 재료를 포함하는 격벽 형성용 페이스트를 도포하여 소정의 형상으로 패터닝함으로써 격벽 재료층을 형성한 후, 소성함으로써 격벽(14)이 형성된다. 여기에서, 기초 유전체층(13) 상에 도포한 격벽용 페이스트를 패터닝하는 방법으로는, 포토리소그래피법이나 샌드 블러스트법을 이용할 수 있다. 다음으로, 인접하는 격벽(14) 사이의 기초 유전체층(13) 상 및 격벽(14)의 측면에 형광체 재료를 포함하는 형광체 페이스트를 도포하고, 소성함으로써 형광체층(15)이 형성된다. 이상의 단계에 의해, 배면 글래스 기판(11) 상에 소정의 구성 부재를 갖는 배면판(10)이 완성된다.

이렇게 하여 소정의 구성 부재를 구비한 전면판(2)과 배면판(10)을 주사 전극(4)과 어드레스 전극(12)이 직교하도록 대향 배치하고, 그 주위를 글래스 프릿으로 봉착하고, 방전 공간(16)에 Ne, Xe 등을 포함하는 방전 가스를 봉입함으로써 PDP(1)가 완성된다.

여기서, 본 발명에 따른 PDP의 특징인 보호층의 구성 및 제조 방법에 대해서 설명한다.

도 3은, 본 발명에 있어서의 PDP의 보호층 부분 등을 확대해서 나타내는 도면이다. 본 발명에 따른 PDP에서는, 도 3에 도시한 바와 같이, 보호층(9)은, 유전체층(8) 상에 기초막(91)을 형성하는 동시에, 그 기초막(91) 상에 응집 입자(92)를 이산적으로 산포시켜 전체 면에 걸쳐서 거의 균일하게 분포되도록 부착시킴으로써 구성되어 있다. 기초막(91)은, Al을 불순물로서 함유하는 MgO를 포함한다. 응집 입자(92)는, 금속 산화물인 MgO의 결정 입자(92a)가 몇 개 응집된 것이다.

다음으로, 도 4는 본 발명에 있어서의 PDP의 보호층(9)에 있어서의 응집 입자(92)를 설명하기 위한 확대도이다. 응집 입자(92)란, 도 4에 도시한 바와 같이, 소정의 １차 입경의 결정 입자(92a)가 응집 또는 네킹(necking)된 상태인 것이다. 복수의 １차 입자는 고체로서 큰 결합력을 가지고 결합하고 있는 것이 아니라, 정전기나 판데르발스 힘 등에 의해 집합체의 몸을 이루고 있는 것으로, 초음파 등의 외적 자극에 의해 그 일부 또는 전부가 １차 입자의 상태가 되는 정도로 결합하고 있는 것이다. 응집 입자(92)의 입경으로는 약 1μｍ 정도의 것으로, 결정 입자(92a)로는 14면체나 12면체 등의 7면 이상의 면을 갖는 다면체 형상을 갖는 것이 바람직하다.

또한, 이 MgO의 결정 입자(92a)의 １차 입자의 입경은, 결정 입자(92a)의 생성 조건에 의해 제어할 수 있다. 예를 들면, 탄산 마그네슘이나 수산화 마그네슘 등의 MgO 전구체를 소성하여 생성하는 경우, 소성 온도나 소성 분위기를 제어함으로써 입경을 제어할 수 있다. 일반적으로, 소성 온도는 700도 정도에서 1500도 정도의 범위에서 선택할 수 있는데, 소성 온도가 비교적 높은 1000도 이상으로 함으로써, １차 입경을 0.3～2μｍ정도로 제어 가능하다. 또한, 결정 입자(92a)를 MgO 전구체를 가열하여 얻음으로써, 생성 과정에 있어서, 복수 개의 １차 입자끼리 응집 또는 네킹이라 불리는 현상에 의해 결합한 응집 입자(92)를 얻을 수 있다.

이렇게 하여 얻어진 소정의 입경 분포를 갖는 응집 입자(92)는, 수지성분과 함께 용제에 혼합한 응집 입자 페이스트로서 보호층(9)의 기초막(91) 상에 인쇄된다.

다음으로, 본 발명에 따른 PDP에 있어서, 보호층을 형성하는 제조 단계에 대해서 도 5를 이용하여 설명한다.

도 5는 본 발명에 따른 PDP의 제조 방법에 있어서, 보호층 형성의 단계를 나타내는 도면이다. 도 5에 도시한 바와 같이, 제1유전체층(81)과 제2유전체층(82)의 적층 구조로 이루어진 유전체층(8)을 형성하는 유전체층 형성 단계 S11이 행해진다. 그 후, 다음의 기초막 증착 단계 S12에 있어서, Al을 포함하는 MgO의 소결체를 원재료로 한 MgO를 포함하는 기초막이 진공 증착법에 의해 유전체층(8)의 제2유전체층(82) 상에 형성된다.

그 후, 기초막 증착 단계 S12에서 형성한 미소성된 기초막 상에 복수 개의 응집 입자가 이산적으로 부착된다.

응집 입자를 부착시키는 단계에서는, 우선 응집 입자 페이스트막 형성 단계 S13이 행해진다. 이 응집 입자 페이스트막 형성 단게 S13에 대해서, 복수 매(이후의 설명에서는 2장)의 전면판에 동시에 형성하는 경우에 대해서 설명한다.

도 6은 본 발명에 있어서의 인쇄 부분의 구성을 나타내는 평면도와 측면도이다. 도 6에 있어서, 상측의 도면은 평면도이고, 하측의 도면은 측면도이다. 우선, 도 6에 도시한 바와 같이, 기초막이 형성 완료된 미소성 전면판(2a)은, 반송 컨베어(21)의 반송 롤러(22)에 의해 인쇄 스테이지(23)까지, 장변측이 평행해지도록 소정의 간격을 두고, 도면 중의 화살표 방향으로부터 장변 방향과 직각인 방향으로 2장이 동시에 반송된다.

인쇄 스테이지(23)에 있어서, 이 인쇄 스테이지(23)에 배설된 반송 롤러(22)는 상하 이동하는 기구를 가지고 있다. 미소성 전면판(2a)의 반송 시에는, 반송 롤러(22)는 인쇄 스테이지(23)로부터 상측으로 돌출되어 있어, 이로 인해 미소성 전면판(2a)은 인쇄 스테이지(23) 상을 이동할 수 있다. 위치 결정핀(24, 25)은 인쇄 스테이지(23)로 이동한 미소성 전면판(2a)을 위치 결정하기 위한 위치 결정핀이다. 진공 홈(26)은 인쇄 스테이지(23)에 설치되어 있다. 이 진공 홈(26)을 통해 흡인함으로써, 미소성 전면판(2a)이 인쇄 스테이지(23)에 흡착되게 된다.

도 7은 본 발명에 있어서의 전면판의 위치 결정 동작을 나타내는 평면도와 측면도이며, 도 8은 본 발명에 있어서의 전면판의 고정 동작을 나타내는 평면도와 측면도이다. 도 7 및 도 8에 있어서, 상측의 도면은 평면도이고 하측의 도면은 측면도이다. 인쇄 스테이지(23) 상으로 이동한 미소성 전면판(2a)은, 도 7에 도시한 바와 같이, 위치 결정핀(25)에 의해 좌우 방향의 위치 결정이 이루어지고, 좌우 방향의 위치 결정이 이루어진 상태에서 위치 결정핀(24)에 의해 전후방향의 위치 결정이 이루어진다. 이 상태를 유지한 채, 도 8에 도시한 바와 같이 위치 결정핀(24, 25)은 미소성 전면판(2a)으로부터 멀어져, 인쇄 스테이지(23)보다 아래쪽으로 하강한다. 그 후, 반송 롤러(22)가 인쇄 스테이지(23)보다 아래쪽으로 하강하고, 미소성 전면판(2a)은 인쇄 스테이지(23)에 재치된다. 그 후, 인쇄 스테이지(23)에 설치된 진공 홈(26)을 진공으로 함으로써, 미소성 전면판(2a)이 인쇄 스테이지(23)에 흡착 고정된다.

도 9는 본 발명에 있어서의 전면판의 인쇄 동작을 나타내는 측면도이다. 그 후, 도 9에 도시한 바와 같이, 진공 홈(26)에 의해 고정된 미소성 전면판(2a)에는 스크린 판(27)이 강하하고, 인쇄 유닛의 스키지(28)를 도면 중의 화살표 방향으로 이동시킴으로써, 응집 입자 페이스트(29)가 인쇄된다. 인쇄 중에는 항상 미소성 전면판(2a)에 스키지(28)가 맞닿아 있으므로, 원하는 에리어에 MgO의 결정 입자의 응집 입자 페이스트(29)를 균일하게 인쇄할 수 있다.

도 10a와 도 10b는 본 발명에 있어서의 전면판의 반출 동작을 나타내는 설명도이다. 그 후, 도 10a와 도 10b에 도시한 바와 같이, 응집 입자 페이스트(29)의 막이 형성된 미소성 전면판(2a)에 대하여 인쇄 유닛이 상승하고, 스크린 판(27)도 상승한다. 인쇄 유닛, 스크린 판(27)의 상승이 완료하면 인쇄 스테이지(23)의 진공은 해제되고, 인쇄 스테이지(23)의 흡착력이 없어진 상태에서 인쇄 스테이지(23)보다 아래 위치에 있던 반송 롤러(22)가 상승한다. 그렇게 해서, 응집 입자 페이스트(29)의 막이 형성된 미소성 전면판(2a)은 인쇄 스테이지(23)로부터 들어올려져, 반송 롤러(22)에 의해 도 10a의 화살표 방향으로 반송된다.

반송된 미소성 전면판(2a)은 다음의 단계인 건조 단계 S14에서 건조된다. 그 후, 기초막 증착 단계 S12에서 형성된 미소성의 기초막과, 응집 입자 페이스트 막 형성 단계 S13에서 형성되어 건조 단계 S14이 실시된 응집 입자 페이스트 막이, 몇백도의 온도에서 가열 소성하는 소성 단계 S15에서 동시에 소성된다. 이렇게 함으로써 응집 입자 페이스트 막에 남아 있는 용제나 수지성분을 제거함으로써, 기초막(91) 상에 복수 개의 응집 입자(92)를 부착시킨 보호층(9)을 형성할 수 있다.

이 방법에 따르면, 2장의 보호 기초막이 형성 완료된 미소성 전면판(2a)의 기초막(91)에 복수 개의 응집 입자(92)가 전체 면에 걸쳐서 거의 균일하게 분포되도록 부착시키는 것이 가능하다.

또한, 이상의 설명에서는 2장의 보호 기초막이 형성 완료된 미소성 전면판의 예를 설명했지만, 3장 이상을 평행하게 배열하여 장변측에 동시 인쇄해도 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.

또한, 이상의 설명에서는, 보호층으로서 MgO를 예로 들었지만, 기초막(91)에 요구되는 성능은 어디까지나 이온 충격으로부터 유전체를 지키기 위한 높은 내스퍼터 성능을 갖는 것으로, 높은 전하 유지 능력, 즉 그다지 전자 방출 성능이 높지 않아도 된다. 종래의 PDP에서는, 일정 이상의 전자 방출 성능과 내스퍼터 성능이라는 두 가지를 양립시키기 위해서, MgO를 주성분으로 한 보호층을 형성하는 경우가 매우 많다. 그러나, 전자 방출 성능이 금속 산화물 단결정 입자에 의해 지배적으로 제어되는 구성을 취하기 때문에, MgO일 필요는 전혀 없으며, Al₂O₃ 등의 내충격성이 우수한 다른 재료를 이용해도 전혀 상관없다.

또한, 본 발명의 실시예에서는, 단결정 입자로서 MgO 입자를 이용하여 설명했지만, 그 밖의 단결정 입자라도 좋다. 예를 들면, MgO와 마찬가지로 높은 전자 방출 성능을 갖는 Sr, Ca, Ba, Al 등의 금속 산화물에 의한 결정 입자를 이용해도 마찬가지의 효과를 얻을 수 있기 때문에, 결정 입자로는 MgO에 한정되나 것이 아니다.

이상의 설명에서 명확한 바와 같이, 본 발명은, 전자 방출 특성을 개선하는 동시에, 전하 유지 특성도 함께 가지며, 고화질과, 저비용, 저전압을 양립시킬 수 있는 PDP를 제공함으로써, 저소비전력이면서 고정밀의 고휘도의 표시 성능을 갖춘 PDP의 제조 방법을 제공한다.

1 : PDP　
2 : 전면판
2a : 미소성 전면판
3 : 전면 글래스 기판
4 : 주사 전극
4a, 5a : 투명 전극
4b, 5b : 금속 버스 전극
5 : 유지 전극
6 : 표시 전극
7 : 블랙 스트라이프(차광층)
8 : 유전체층
9 : 보호층
10 : 배면판
11 : 배면 글래스 기판
12 : 어드레스 전극
13 : 기초 유전체층
14 : 격벽
15 : 형광체층
16 : 방전 공간
21 : 반송 컨베어
22 : 반송 롤러
23 : 인쇄 스테이지
24, 25 : 위치 결정핀
26 : 진공 홈
27 : 스크린 판
28 : 스키지
29 : 응집 입자 페이스트
81 : 제1유전체층
82 : 제2유전체층
91 : 기초막
92 : 응집 입자
92a : 결정 입자

Claims

기판 상에 형성한 표시 전극을 피복하도록 유전체층을 형성하고, 상기 유전체층 상에 보호층을 형성한 전면판과, 상기 전면판에 방전 공간을 형성하도록 대향 배치되고, 또한 상기 표시 전극과 교차하는 방향에 어드레스 전극을 형성하고, 상기 방전 공간을 구획하는 격벽을 설치한 배면판을 가지고,
상기 보호층은, 상기 유전체층 상에 기초막을 형성하고, 상기 기초막에 금속 산화물을 포함하는 복수 개의 결정 입자가 응집된 응집 입자를 이산적으로 부착시켜 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법에 있어서,
상기 응집 입자를 이산적으로 도포하기 위한 도포 단계를 가지고,
상기 도포 단계는,
복수의 전면판을 동시에 반송할 때에 상승하고 반송이 완료했을 때에 하강하는 반송 단계와,
복수의 상기 전면판을 동시에 위치 결정할 때에 상승하여 위치 결정하는 위치 결정 단계와,
상기 위치 결정 후의 복수 매의 상기 전면판을 고정하여 소정의 개소에 응집 입자의 막을 인쇄하기 위한 인쇄 단계
를 갖는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 응집 입자를 상기 기초막에서 방전 공간에 접하는 영역에 배치하는, 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 응집 입자를 상기 격벽 내의 형광체층이 형성된 방전공간과 접하는 상기 기초막에 배치하는, 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 응집 입자를 상기 기초막의 전면에 걸쳐 배치하는, 플라즈마 디스플레이 패널의 제조 방법.
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