KR101147789B1 - 알루미늄합금 진공챔버 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 알루미늄합금 진공챔버 제조방법에 있어서, 목적하는 알루미늄합금 진공챔버의 상부 개방된 몸체모형틀을 제작하는 제1 단계와, 제작된 몸체모형틀의 전체 외표면에 이형제를 도포한 다음 다공질 세라믹분말과 함께 접착제와 경화제가 혼합된 반죽물을 몸체모형틀에 바르고 건조시켜서 다공질의 세라믹 주형을 제작하되 상측에 주물주입구가 형성되게 하고 상하 분리형인 세라믹 주형으로 제작하는 제2 단계와, 세라믹 주형에서 몸체모형틀을 제거한 후 상하 분리형 세라믹주형의 내표면에 급속냉각제를 도포하며, 다음으로 상하 분리형 세라믹주형을 진공주조설비내 주형실에 넣고 상기 주형실을 진공펌프로 진공 감압하는 제3 단계와, 진공펌프로 상기 주형실을 진공 감압상태로 계속 유지시키면서 주형실에 설치된 용탕기에서 용해된 알루미늄합금 주물액을 세라믹 주형의 주물주입구를 통해 세라믹주형 내로 주입하되 세라믹 주형이 갖는 미세 다공들을 통한 진공흡입으로 기주입된 알루미늄합금 주물액이 주형 모양에 맞게 치밀하게 주입되게 하여서 챔버 몸체를 일체로 주물성형되게 진공주조하는 제4 단계와, 세라믹 주형을 진공주조설비로부터 빼내어 주물액을 경화시키고 세라믹 주형을 제거한 후에 얻어진 챔버 몸체를 마무리 가공하는 제5 단계로 이루어진다.

Description

알루미늄합금 진공챔버 제조방법{METHOD FOR MANUFACTURING ALUMINUM VACUUM CHAMBER}

본 발명은 진공챔버 제조방법에 관한 것으로서, 특히 알루미늄합금으로 제작되는 진공챔버의 내구성, 기밀성, 진공도 유지가 좋게 해줌과 아울러 초기성능이 오랫동안 유지되도록 해주는 알루미늄 진공챔버 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로 반도체소자 또는 액정표시소자 등의 전자부품을 제조하기 위해서는 기판에 원료물질을 증착하는 박막증착공정, 감광성 물질을 도포하되 증착박막 중 선택된 영역을 노출이나 은폐시키며 도포하는 포토리소그라피 공정, 선택된 영역의 박막을 제거하여 목적하는 대로 패터닝하는 식각공정 등을 주로 거치게 되며, 이들 각 공정들은 외부로부터 불순물의 유입을 차단시키고 기포가 발생하지 않도록 하기 위하여 진공상태의 챔버 내에서 이루어진다.

진공환경 조성을 위해 진공챔버는 통상적으로 다수 알루미늄 기재를 용접하여 제조하거나 덩치 큰 알루미늄합금 블록 내부를 절삭 가공하는 방법으로 제조한다. 그런데 요즈음 진공증착제조의 베이스가 되는 기판의 크기가 점차 대형화됨에 따라 알루미늄합금 블록을 더 큰 덩치로 만들고 그 내부를 절삭가공하여야 하는데 이는 매우 힘들고 또 그렇게 제작 완성된 알루미늄합금 진공챔버를 운반하는 것도 쉽지가 않은 실정이다. 이러한 이유 때문에 현재는 여러 개의 알루미늄합금 기재를 각 부위에 맞게 성형제조한 후 각 부위를 용접하여 대형화된 진공챔버를 제작하는 것이 일반적인 추세이다.

하지만 알루미늄합금 기재를 서로 일일이 용접가공하여 진공챔버를 제작하는데에는 많은 시간이 소요되며 특히 완성된 진공챔버를 장시간 사용하게 되면서 기재 간의 용접부위가 외부의 공기침투로 산화되어 점차 녹이 발생하고 진공펌핑에 따른 감압이 산화되거나 녹슨 부위에 미세한 균열을 야기시키게 된다. 이러한 균열은 진공챔버에 있어서 용접부위의 접합 강도를 떨어뜨리고 또 진공챔버가 충분한 제기능을 할 수 없도록 한다. 더구나 균열이 생긴 부위는 육안으로는 잘 보이지 않으므로 그 균열을 식별해내는 것이 힘들고 균열부위를 식별해내더라도 진공챔버를 원상태로 복구하는데에도 많은 어려움이 따른다. 그러므로 용접을 통해 진공챔버를 제조하게 되면 자주 수리 및 교체를 해주어야 하는 바 이는 경제적 손실로 작용한다.

또 각 알루미늄합금 기재들을 일반 주조방법으로서 성형하게되면 불순물이나 가스 등의 기포로 인하여 기계적 성질이 떨어지고 기재의 내압성 및 표면 조도 등에도 좋지 못한 영향을 미치게 되므로 진공챔버의 내구성이 약해지는 단점도 있다.

따라서 본 발명의 목적은 대형화된 진공챔버도 하나의 덩어리 형태로 알루미늄 주조를 할 수 있도록 해줌과 동시에 챔버 자체의 내압성 및 표면 조도를 향상시켜 내구성이 우수한 알루미늄 진공챔버를 제조하는 방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 대형화에 따른 진공챔버를 간편히 일체화로 주조케하면서 세라믹 금형을 이용한 진공 감압에서의 알루미늄 진공챔버를 제조함으로서 주조시에 발생하는 불순물의 유입과 기포억제를 미연에 제거함으로서 챔버 자체의 내압성 및 표면 조도를 향상시켜 내구성이 우수한 진공챔버를 얻도록 한 알루미늄합금 진공챔버 제조방법을 제공하는데 있다.

상기한 목적에 따라 본 발명은, 알루미늄합금 진공챔버 제조방법에 있어서, 목적하는 알루미늄합금 진공챔버의 상부 개방된 몸체모형틀을 제작하는 제1 단계와, 제작된 몸체모형틀의 전체 외표면에 이형제를 도포한 다음 다공질 세라믹분말과 함께 접착제와 경화제가 혼합된 반죽물을 몸체모형틀에 바르고 건조시켜서 다공질의 세라믹 주형을 제작하되 상측에 주물주입구가 형성되게 하고 상하 분리형인 세라믹 주형으로 제작하는 제2 단계와, 상기 세라믹 주형에서 몸체모형틀을 제거한 후 상하 분리형 세라믹주형의 내표면에 급속냉각제를 도포하며, 다음으로 상하 분리형 세라믹주형을 진공주조설비내 주형실에 넣고 상기 주형실을 진공펌프로 진공 감압하는 제3 단계와, 진공펌프로 상기 주형실을 진공 감압상태로 계속 유지시키면서 주형실에 설치된 용탕기에서 용해된 알루미늄합금 주물액을 세라믹 주형의 주물주입구를 통해 세라믹주형 내로 주입하되 세라믹 주형이 갖는 미세 다공들을 통한 진공흡입으로 기주입된 알루미늄합금 주물액이 주형 모양에 맞게 치밀하게 주입되게 하여서 챔버 몸체를 일체로 주물성형되게 진공주조하는 제4 단계와, 상기 세라믹 주형을 진공주조설비로부터 빼내어 주물액을 경화시키고 경화 완료하고 상기 세라믹 주형을 제거한 후에 얻어진 챔버 몸체를 마무리 가공하는 제5 단계로 이루어짐을 특징으로 한다.

또한 본 발명은, 알루미늄합금 진공챔버 제조방법에 있어서, 목적하는 알루미늄합금 진공챔버의 상부 개방된 몸체모형틀을 제작하는 제1 단계와, 제작된 몸체모형틀의 전체 외표면에 이형제와 급속냉각제를 차례로 도포한 다음 다공질 세라믹분말과 함께 접착제와 경화제가 혼합된 반죽물을 몸체모형틀에 바르고 건조시켜서 다공질의 세라믹 주형을 제작하되 상측에 주물주입구가 형성되게 하고 상하 분리형인 세라믹 주형으로 제작하는 제2 단계와, 상기 세라믹 주형에서 몸체모형틀을 제거한 후 상하 분리형 세라믹주형을 진공주조설비내 주형실에 넣고 상기 주형실을 진공펌프로 진공 감압하는 제3 단계와, 진공펌프로 상기 주형실을 진공 감압상태로 계속 유지시키면서 주형실에 설치된 용탕기에서 용해된 알루미늄합금 주물액을 세라믹 주형의 주물주입구를 통해 세라믹주형 내로 주입하되 세라믹 주형이 갖는 미세 다공들을 통한 진공흡입으로 기주입된 알루미늄합금 주물액이 주형 모양에 맞게 치밀하게 주입되게 하여서 챔버 몸체를 일체로 주물성형되게 진공주조하는 제4 단계와, 상기 세라믹 주형을 진공주조설비로부터 빼내어 주물액을 경화시키고 상기 세라믹 주형을 제거한 후에 얻어진 챔버 몸체를 마무리 가공하는 제5 단계로 이루어짐을 특징으로 한다.

본 발명은 세라믹 주형과 진공성형을 통해서 대형 컨테이너보다 더 크게 대형화된 진공챔버까지도 하나의 덩어리 형태로 알루미늄합금 주조를 할 수 있으며, 알루미늄합금 진공챔버 주조시에 발생하는 불순물의 유입과 기포 발생이 억제되게 해줌으로써 챔버 자체의 내압성 및 표면 조도를 향상시켜 주며 내구성도 우수한 알루미늄 진공챔버가 제작되도록 해주는 이점이 있다.

도 1 내지 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 알루미늄합금 진공챔버를 제조하는 과정을 보여주는 절차도,
도 7은 본 발명에서 사용하는 진공주조설비의 개략 구성도,
도 8은 본 발명의 변형 실시 예를 설명하기 위한 도면.

이하 본 발명의 바람직한 실시 예들을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

본 발명에서는 세라믹 주형과 진공주조설비를 이용한 진공성형을 통해서 대형 컨테이너보다 더 크게 대형화된 진공챔버까지도 하나의 덩어리 형태로 알루미늄 주조를 할 수 있도록 구현한 것으로, 도 1 내지 도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 알루미늄 진공챔버를 제조하는 과정을 보여주는 절차도이고, 도 7은 본 발명에서 사용하는 진공주조설비의 개략 구성도이다.

본 발명의 실시 예에 따른 알루미늄합금 진공챔버를 제조하는 절차를 도 1 내지 도 7을 참조하여 설명하면 하기와 같다.

먼저 제작자는 목적하는 알루미늄합금 진공챔버의 상부 개방된 몸체모형틀(2)을 도 1과 같이 제작한다. 몸체모형틀(2)은 알루미늄합금재질의 용접 이음성이 없는 챔버몸체(도 6의 42)를 제작하기 위한 실물크기 모형으로서 목형틀로 제작하는 것이 바람직하며, 이 경우 몸체모형틀(2)에는 주물주입이 가능한 통로확보를 위해 상측 돌출부가 일체로 형성되게 한다.

몸체모형틀(2)을 제작한 다음 그 제작된 몸체모형틀(2)의 전체 외표면에 이형제(4)를 도 1과 같이 도포하고, 그 후에는 도 2에서와 같이 다공질 세라믹분말과 함께 접착제와 경화제가 혼합된 반죽물을 도 2에서와 같이 이형제(4) 도포된 몸체모형틀(2)에 바르고 건조시켜서 다공질의 세라믹 주형(6)을 제작하되 세라믹 주형(6)을 상하 분리형인 세라믹 주형으로 제작한다. 즉 세라믹 주형(6)을 세라믹 상부몰드(6a)와 세라믹 하부몰드(6b)로 맞춤 제작하여 상하 분리되도록 하며, 다공질의 세라믹 주형(6)의 세라믹 상부몰드(6a)에는 몸체모형틀(2)의 상측 돌출부가 외부로 드러나도록 함과 동시에 주물이 쉽게 주입되도록 하는 호퍼형의 주물주입구(8)가 형성되게 제작한다.

상하 분리형 세라믹 주형(6)의 제작은 운반의 편의성과 진공챔버의 신속 제조를 위해서 받침틀이 마련된 대차(10)상에서 수행하는 것이 바람직하다. 상기 반죽물을 대차(10)의 외곽지지프레임(10a)을 갖는 받침틀에 넣어 어느정도 바닥부를 형성하고 그 위에 몸체모형틀(2)을 올려 놓으며, 그 다음에는 반죽물을 몸체 모형틀(2)의 벽부를 빙두르며 붙혀서 세라믹 하부몰드(6b)를 제작할 수 있다. 이렇게 반죽물로 하부몰드(6b)를 성형한 다음에는 틀의 외곽지지프레임(10a)에 받침되는 상하분리판을 올려서 지지한 다음 그 상하분리판 위의 몸체모형틀(2) 벽부를 빙두르며 반죽물을 붙혀서 쌓아올리며 또 몸체모형틀(2)의 내부 넓고 깊숙한 홈부에 반죽물을 채워넣어서 세라믹 상부몰드(6a)를 성형한다.

이렇게 상하 분리형 세라믹주형(6)을 성형한 후 건조하여서 굳게 한다. 이때 굳게 하는 방법으로는 균열이 방지되도록 상온의 음지에서 자연 건조되게 하는 것이 바람직하다.

상하 분리형인 세라믹 주형(6)을 제작하고 건조를 완료한 다음에는, 도 3에 도시된 바와 같이, 세라믹 주형(6)의 상하부 몰드(6a)(6b)를 분리하여서 세라믹 주형(6) 내부에 있는 몸체모형틀(2)을 제거하고, 후 몸체모형틀(2)이 빠져 나간 상하 분리형 세라믹주형(6)의 빈 공간부 내표면 즉 세라믹 상하부몰드(6a)(6b)의 빈 공간부 내표면에 급속냉각제를 수밀리 두께로 도포하여 급속냉각제층(12)이 형성되게 한다. 상기 급속냉각제층(12)은 막을 형성하는 것이라기보다는 세라믹주형(6)의 내표면 속을 약간 스며들면서 형성되는 것임을 이해하여야 한다. 이렇게 세라믹주형(6)의 내표면층에 스며 들은 급속냉각제층(12)은 용해된 알루미늄합금 주물액(도 4의 40)을 주입시 상온보다 상대적으로 빠르게 표면냉각을 시키면서 알루미늄합금의 조직구조가 치밀하게 되도록 해준다.

이렇게 급속냉각제층(12)을 세라믹주형(6)의 내표면에 도포형성한 다음에는 대차(10)를 도 7와 같은 일 예의 진공주조설비(20)가 설치된 위치로 이동시킨다.

도 7을 참조하면, 진공주조설비(20)는 1층 출입대기실(22)과 2층 주형실(24)로 구성되며, 1층의 출입대기실(22)과 2층의 주형실(24) 사이에는 진공밀폐도어(26)가 장치되고, 1층의 출입대기실(22)에는 진공차폐 가능한 출입문(미도시됨)이 장치된다. 또한 1층의 대기실(22)에는 2층까지 승강할 수 있는 승강기(28)가 설치되고, 2층의 주형실(24)에는 알루미늄합금 잉곳(ingot)(30)을 용탕하고 용탕주입할 수 있는 용탕기(32)가 구비되며, 또 외부의 진공펌프(34)와 연결된 진공흡입관(36)의 흡인구(38)도 주형실(24)에 위치한다. 상기 진공흡입관(36)의 타단에 연결된 진공펌프(34)는 제어부의 제어 하에 진공펌핑으로 주형실(24) 단독이나 주형실(24)과 출입대기실(22) 전체에 예컨대 진공도 1~3Pa에 이르는 감압 진공상태를 형성시킨다.

2층 주형실(24)의 용탕기(32)는 감압 진공상태에서 알루미늄합금 주물액(40)이 만들어지며, 1층 출입대기실(22)과 2층 주형실(24) 간의 진공밀폐도어(26)가 닫힌상태에서 1층의 출입대기실(22)의 출입문을 열어 상하 분리형 세라믹주형(6)을 실은 대차(10)를 출입대기실(22)내의 승강기(28)에 싣는다. 그후에는 1층의 출입문을 닫고 진공밀폐도어(26)를 열어 진공펌프(34)에 의한 공기흡입으로 2층의 주형실(24)뿐만 아니라 출입대기실(22)도 감압 진공상태를 유지되게 하고, 그와 아울러 승강기(28)를 상승시켜서 2층 주형실(24)의 용탕기(32)에서 용해된 알루미늄합금 주물액(40)이 대차(10)에 실린 세라믹 주형(6)의 주물주입구(8)에 정확하게 부어질 수 있는 위치로 오게 한다.

이렇게 세라믹 주형(6)을 실은 대차(10)를 2층 주형실(24)로 이동시킨 후에, 도 4에 도시된 바와 같이 상하 분리형 세라믹주형(6)의 주물주입구(8)를 통해서 용탕기(32)에서 용해된 알루미늄합금 주물액(40)을 세라믹주형(6)내 빈 공간부에 주입되게 한다. 세라믹주형(6)은 자체적으로 미세 다공들이 형성되어 있고 주형실(24)이 진공상태를 유지하고 있으므로 세라믹주형(6)의 미세다공들을 통한 진공흡입이 이루어지게 된다. 그에 따라 세라믹주형(6)내의 빈 공간부에 기주입된 알루미늄합금 주물액(40)이 주형 모양에 맞게 치밀하게 주입되며, 특히 좁은 통로를 갖는 부분이나 병목부에 의해서 속 깊숙이 완전 주입이 잘되지 않는 부분에까지도 주입이 용이하게 이루지게 함으로써 목적하는 챔버 몸체를 일체로 주물성형하되 진공주조로 주물성형한다. 또한 다공질의 세라믹 주형(6)을 통한 진공흡입으로 주물용해후 주입할 때에 나올 수 있는 가스에 의해서 용해된 주물액 표면에 다소의 산화물이나 질화물에 뜰 수 있는데 주물액 표면에 부유된 산화물이나 질화물 등의 이물질이 세라믹주형(6)에 형성된 미세다공들로 흡수되게 하는 작용도 한다.

이러한 진공주조설비(20)를 이용한 진공 주조는 수소,산소, 질소 등 유해가수 성분을 제거할 수 있고, 유해한 불순원소를 제거할 수 있으며, 진공처리에 의해 정속반응이 촉진되고, 챔버몸체의 기계적 성질(경도, 대변형, 대열, 대마찰, 대피로, 강도 등)이 향상되는 장점이 있으며, 더욱이 상기와 같이 다공질의 세라믹주형(6)을 사용함으로써 챔버몸체(42)의 금속분자배열 구조가 훨씬 치밀해지게 된다.

상기와 같은 일예의 방법으로 진공주조한 후 진공주조설비(20)에 세라믹 주형(6)을 투입했던 순서의 역순으로 진공주조된 세라믹 주형(6)이 진공주조설비(20)로부터 빠져 나오고, 상온에서 자연 경화되게 해서 알루미늄합금 주물액(40)이 고체상태로 변하게 되고, 이는 도 5에 도시된 바와 같이 챔버 몸체(42)가 되는 것이다.

본 발명에서는 상하 분리형 세라믹주형(6)의 주형공간부 내표면에는 급속냉각제 도포에 의한 급속냉각제층(12)이 침투 형성되어 있는 관계로, 그 급속냉각제층(12)이 도 4에서와 같이 기주입된 알루미늄합금 주물액(40)을 상온보다 빠르게 표면냉각을 시키는 작용을 하며, 이는 알루미늄합금재질의 챔버 몸체(42)의 표면조직구조가 치밀하게 되게 해준다.

용접같은 이음매 없이 일체로 주조형성된 챔버 몸체(42)는 외부를 둘러싸고 있는 세라믹상부몰드(6a)와 세라믹하부몰드(6b)로 된 상하 분리형의 세라믹 주형(6)을 제거하면 얻어질 수 있으며, 이렇게 얻어진 알루미늄합금 챔버 몸체(42)에서 상측 주물주입구(8)로 인해 불필요하게 주물성형된 돌출부 등을 제거하는 것과 같은 마무리 가공을 함으로써 도 6과 같이 챔버몸체(42)가 최종 제품으로 완성된다.

이렇게 완성된 제품은 사이즈가 대체로 큼에도 불구하고 표면의 조도가 좋으며 수축력이 적어서 치수 정밀도도 우수하여 제작자가 원했던 실물에 아주 가깝고, 재질의 기계적 성질도 우수한 장점이 있다.

한편 도 8은 본 발명의 변형 실시 예를 설명하기 위한 도면이다.

본 발명의 변형 실시 예로서, 급속냉각제층(12)을 형성하기 위한 급속냉각제를 몸체모형틀(2)이 빠져 나온 빈 공간부를 갖는 세라믹주형(6)의 내표면에 바르는 대신에, 도 8에서와 같이 몸체모형틀(2)의 전체 외표면에 이형제(4)를 도포한 바로 다음에 급속냉각제를 바르는 것이다.

그러므로 본 발명의 변형 실시 예에 따른 알루미늄 진공챔버 제조방법은,

목적하는 알루미늄 진공챔버의 상부 개방된 몸체모형틀(2)을 제작하는 제1 단계와,

제작된 몸체모형틀(2)의 전체 외표면에 도 8에서와 같이 이형제(4)와 급속냉각제를 차례로 도포한 다음 다공질 세라믹분말과 함께 접착제와 경화제가 혼합된 반죽물을 몸체모형틀(2)에 바르고 건조시켜서 다공질의 세라믹 주형(6)을 제작하되 상측에 주물주입구(8)가 형성되게 하고 상하 분리형인 세라믹 주형으로 제작하는 제2 단계와,

이러한 세라믹 주형(6)에서 몸체모형틀(2)을 제거한 후 상하 분리형 세라믹주형(6)을 진공주조설비(20)내 주형실(24)에 넣고 상기 주형실(24)을 진공펌프(34)로 진공 감압하는 제3 단계와,

진공펌프(34)로 상기 주형실(24)을 진공 감압상태로 계속 유지시키면서 주형실(24)에 설치된 용탕기(32)에서 용해된 알루미늄합금 주물액(40)을 세라믹 주형(6)의 주물주입구(8)를 통해 세라믹주형(6) 내로 주입하되 세라믹 주형(6)이 갖는 미세 다공들을 통한 진공흡입으로 기주입된 알루미늄합금 주물액(40)이 주형 모양에 맞게 치밀하게 주입되게 하여서 챔버 몸체(42)를 일체로 주물성형되게 진공주조하는 제4 단계와,

상기 세라믹 주형(6)을 진공주조설비(20)로부터 빼내어 주물액을 경화시키고 상기 세라믹 주형(6)을 제거한 후에 얻어진 챔버 몸체(42)를 마무리 가공하는 제5 단계로 이루어지게 하는 것이다.

이러한 본 발명은 세라믹 주형과 진공성형을 통해서 대형 컨테이너보다 더 크게 대형화된 진공챔버까지도 하나의 덩어리 형태로 알루미늄합금 주조를 할 수 있으며, 알루미늄합금 진공챔버 주조시에 발생하는 불순물의 유입과 기포 발생이 억제되게 해줌으로써 챔버 자체의 내압성 및 표면 조도를 향상시켜 주며 내구성도 우수한 알루미늄합금 진공챔버의 제작을 가능케 한다.

본 발명은 반도체소자 또는 액정표시소자 등을 제조시 사용되는 진공챔버로서 이용될 수 있다.

(2)-- 몸체 모형틀 (4)-- 이형제
(6)-- 세라믹 주형 (6a)-- 세라믹 상부몰드
(6b)-- 세라믹 하부몰드 (8)-- 주물주입구
(10)-- 대차 (10a)-- 외곽지지프레임
(12)-- 급속냉각제층 (20)-- 진공주조설비
(22)-- 출입대기실 (24)-- 주형실
(26)-- 진공밀폐도어 (28)-- 승강기
(30)-- 알루미늄합금 잉곳 (32)-- 용탕기
(34)-- 진공펌프 (36)-- 진공흡입관
(38)-- 흡인구 (40)-- 알루미늄합금 주물액
(42)-- 챔버 몸체

Claims (2)

1. 알루미늄합금 진공챔버 제조방법에 있어서,
   목적하는 알루미늄합금 진공챔버의 상부 개방된 몸체모형틀을 제작하는 제1 단계와,
   제작된 몸체모형틀의 전체 외표면에 이형제를 도포한 다음 다공질 세라믹분말과 함께 접착제와 경화제가 혼합된 반죽물을 몸체모형틀에 바르고 건조시켜서 다공질의 세라믹 주형을 제작하되 상측에 주물주입구가 형성되게 하고 상하 분리형인 세라믹 주형으로 제작하는 제2 단계와,
   상기 세라믹 주형에서 몸체모형틀을 제거한 후 상하 분리형 세라믹주형의 내표면에 급속냉각제를 도포하며, 다음으로 상하 분리형 세라믹주형을 진공주조설비내 주형실에 넣고 상기 주형실을 진공펌프로 진공 감압하는 제3 단계와,
   진공펌프로 상기 주형실을 진공 감압상태로 계속 유지시키면서 주형실에 설치된 용탕기에서 용해된 알루미늄합금 주물액을 세라믹 주형의 주물주입구를 통해 세라믹주형 내로 주입하되 세라믹 주형이 갖는 미세 다공들을 통한 진공흡입으로 기주입된 알루미늄합금 주물액이 주형 모양에 맞게 치밀하게 주입되게 하여서 챔버 몸체를 일체로 주물성형되게 진공주조하는 제4 단계와,
   상기 세라믹 주형을 진공주조설비로부터 빼내어 주물액을 경화시키고 상기 세라믹 주형을 제거한 후에 얻어진 챔버 몸체를 마무리 가공하는 제5 단계로 이루어짐을 특징으로 하는 알루미늄합금 진공챔버 제조방법.
   
2. 알루미늄합금 진공챔버 제조방법에 있어서,
   목적하는 알루미늄 진공챔버의 상부 개방된 몸체모형틀을 제작하는 제1 단계와,
   제작된 몸체모형틀의 전체 외표면에 이형제와 급속냉각제를 차례로 도포한 다음 다공질 세라믹분말과 함께 접착제와 경화제가 혼합된 반죽물을 몸체모형틀에 바르고 건조시켜서 다공질의 세라믹 주형을 제작하되 상측에 주물주입구가 형성되게 하고 상하 분리형인 세라믹 주형으로 제작하는 제2 단계와,
   상기 세라믹 주형에서 몸체모형틀을 제거한 후 상하 분리형 세라믹주형을 진공주조설비내 주형실에 넣고 상기 주형실을 진공펌프로 진공 감압하는 제3 단계와,
   진공펌프로 상기 주형실을 진공 감압상태로 계속 유지시키면서 주형실에 설치된 용탕기에서 용해된 알루미늄합금 주물액을 세라믹 주형의 주물주입구를 통해 세라믹주형 내로 주입하되 세라믹 주형이 갖는 미세 다공들을 통한 진공흡입으로 기주입된 알루미늄합금 주물액이 주형 모양에 맞게 치밀하게 주입되게 하여서 챔버 몸체를 일체로 주물성형되게 진공주조하는 제4 단계와,
   상기 세라믹 주형을 진공주조설비로부터 빼내어 주물액을 경화시키고 상기 세라믹 주형을 제거한 후에 얻어진 챔버 몸체를 마무리 가공하는 제5 단계로 이루어짐을 특징으로 하는 알루미늄합금 진공챔버 제조방법.

Images