KR101146393B1 - 대면적 블랭킷 제조장치 및 그를 이용한 대면적 블랭킷 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 대면적 블랭킷 제조장치 및 방법에 관한 것으로서, 블랭킷의 기재가 놓여지는 바닥면으로서 진공 플레이트(20), 상기 진공 플레이트(20) 및 외주를 따른 외벽면에 의해 형성된 웰(30), 상기 웰(30) 내부공간에 위치하여 블랭킷의 두께를 제어하는 블레이드(40) 및 상기 블레이드(40)의 높이를 조절하는 높이 조절수단(50)을 포함하는 블랭킷 제조장치 및 상기 장치를 이용하여 대면적 블랭킷을 제조하는 방법을 제공한다.
본 발명에 의하면 균일한 두께를 가진 대면적의 블랭킷을 용이하게 제조할 수 있다.
대면적 블랭킷, 웰, 블레이드, 두께 조절
Description
본 발명은 대면적 블랭킷의 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다.
미세 패터닝 공정에서 기존에는 포토리소그래피 공정이 많이 사용되었다. 그러나, 비용 절감, 생산속도 향상, 유연성 있는 기재상의 패턴닝에 있어 기존의 포토리소그래피 공정은 한계가 있다. 따라서, 포토리소그래피 공정을 대신하는 수단으로 대두된 것이 롤투롤 프로세스 또는 패터닝(roll-to-roll process, roll-to-roll patterning)이다. 롤투롤 프로세스에서는 롤에 들어가게 되는 필름 형태의 유연성 있는 기재로서 블랭킷을 사용한다.
상기 블랭킷은 대면적의 필름 형태이다. 대면적 블랭킷은 엘라스토머 수지와 같은 유연성 있는 재질로부터 형성된다. 이러한 대면적 블랭킷 제조에 있어서는 전면적에 걸쳐 균일한 두께의 블랭킷을 제조하기 위해 엘라스토머 수지를 균일하게 분포시킬 수 있어야 하고 아울러 블랭킷 표면을 매끈하게 하는 것이 중요하다. 또 한 블랭킷 내에 이물질이 포함되지 않아야 한다.
즉 롤투롤 패터닝 공정에 적용될 블랭킷을 만드는 데 있어서는 a) 블랭킷 두께 균일도, b) 블랭킷 내 이물질(먼지, 기포)의 존재여부 및 c) 블랭킷과 지지체 간의 점착성 등이 문제가 된다.
본 발명은 균일한 두께를 가진 대면적 블랭킷을 제조할 수 있는 대면적 블랭킷의 제조방법 및 제조장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 또한 대면적 블랭킷의 두께 조절을 용이하게 할 수 있다.
아울러, 본 발명은 블랭킷 내 이물질 제거가 용이하여 오염되지 않는 블랭킷을 제조할 수 있는 방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 대면적 평면 블랭킷을 제조하는 장치로서, 상기 블랭킷의 기재가 놓여지는 바닥면으로서 진공 플레이트(20), 상기 진공 플레이트(20) 및 외주를 따른 외벽면에 의해 형성된 웰(30), 상기 웰(30) 내부공간에 위치하여 블랭킷의 두께를 제어하는 블레이드(40) 및 상기 블레이드(40)의 높이를 조절하는 높이 조절수단(50)을 포함하는 것을 특징을 하는 대면적 블랭킷 제조장치를 제공한다.
상기 장치에서 진공 플레이트(20)의 표면에는 진공 상태가 유지되는 다수의 흡입구(21)가 배치되는 것을 특징으로 한다.
상기 웰(30)은 외벽면 일부가 개방될 수 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 블레이드(40)는 하단 일면이 비스듬하게 깎여 경사진 형태의 판상으로 블랭킷 전체를 걸쳐 이동하면서 밀어주는 수단임을 특징으로 한다.
상기 높이 조절수단(50)은 스프링 나사(51)와 마이크로미터(52)로 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 또한, 상기 장치를 사용하여 대면적 평면 블랭킷을 제조하는 방법으로서, a) 상기 장치의 진공 플레이트(20)에 점착층이 형성된 기재를 배치하고, b) 상기 웰(20) 내부의 상기 기재 상에 고점도의 엘라스토머 층을 도포시킨 후, c) 상기 높이 조절수단(50)으로 높이가 조절된 블레이드(40)를 이용하여 엘라스토머 층을 균일한 두께로 밀어주는 것을 포함하는 대면적 블랭킷 제조방법을 제공한다.
상기 b) 단계에서는 엘라스토머를 일정량 캐스팅한 후 이물질을 제거하는 것을 포함하는 것을 특징으로 한다.
아울러, 본 발명은 대면적 평면 블랭킷을 제조하는 방법으로서, a) 상기 장치의 진공 플레이트(20)에 점착층이 형성된 기재를 배치하고, b) 상기 웰(20) 내부의 상기 기재 상에 고점도의 엘라스토머 층을 도포시킨 후, c) 상기 높이 조절수단(50)으로 높이가 조절된 블레이드(40)를 이용하여 엘라스토머 층을 균일한 두께로 밀어주는 동안 웰(30) 외벽면 일부가 개방되어 잉여분의 엘라스토머를 배출하는 것을 포함하는 대면적 블랭킷 제조방법을 제공한다.
본 발명에 의하면 대면적 블랭킷 전체 면적에 걸쳐 균일한 두께를 가지는 대면적 블랭킷을 용이하게 제조할 수 있다. 또한 두께 조절이 용이하다는 장점이 있다.
더불어 본 발명의 제조방법 및 제조장치에 의하면 블랭킷 제조과정에서 오염 물질의 제거가 용이하여 클린 프로덕트(clean product)를 생산할 수 있게 된다.
이하 본 발명을 상세히 설명한다.
대면적 블랭킷(10)은 도1에 도시된 바와 같이 기재(11) 상에 점착층(12) 및 고점도의 엘라스토머 층(13)이 도포되어 있는 형태이다.
상기 기재(11)는 대면적 블랭킷의 지지체 역할을 하는 것으로 재료로서 PET, 얇은 서스 필름 등의 유연한 필름이 사용될 수 있다.
상기 기재(11)와 상기 엘라스토머 층(13) 사이에는 기재 상에 엘라스토머의 점착성을 증가시키기 위해 점착층(12)이 위치한다. 상기 점착층은 점착제를 코팅법으로 기재상에 도포하거나 점착필름은 라미네이팅시키는 것으로 형성한다.
도2a 및 2b는 본 발명의 대면적 블랭킷 제조장치를 도시한 것이다. 상기 도면을 참고하면 본 발명의 대면적 블랭킷 제조장치는 진공 플레이트(20), 웰(30), 블레이드(40) 및 상기 블레이드(40)의 높이를 조절하는 높이 조절수단(50)으로 구성된다. 상기 웰(30)은 진공 플레이트(20)를 바닥면으로 하고 그 외주면을 따라 형성된 외벽면으로 이루어지는 공간을 의미한다. 웰(30) 내부에 대면적 블랭킷의 재료가 되는 엘라스토머 수지가 캐스팅된다. 웰(30)이 존재함으로써 엘라스토머 수지가 옆으로 퍼지지않고, 두께를 유지하는 역할을 한다. 엘라스토머 캐스팅 후 일정시간 방치 후 블레이드(40)로 두께를 조절하는 공정 즉, 블레이딩을 거치는데, 이때 잉여분의 엘라스토머를 배출하기 위해 웰(30)의 외벽면 일부는 개방될 수 있는 형태이다. 즉, 웰(30) 일부가 개방될 수 있으므로, 블레이딩 시 엘라스토머를 깍아 내려 오면서 쌓이는 여분의 엘라스토머의 제거가 용이하다.
상기 블레이드(40)는 판상으로 하단 일면이 비스듬하게 깎여 경사진 형태를 이루어 엘라스토머 층 전체 면적에 걸쳐 이동하면서 엘라스토머 층을 밀어냄으로써 엘라스토머 층 두께를 균일하게 조절하는 수단이다. 상기 높이 조절수단(50)으로는 바람직하게 스프링 나사(51)와 마이크로미터(52)를 사용한다. 상기 높이 조절수단(50)은 대면적의 엘라스토머 층에 대해 블레이드(40)의 높이를 안정하며 일정하게 조절 및 고정시키는 수단이다. 본 발명에서는 스프링 나사(51)와 마이크로미터(52)를 바람직한 예로 제시하지만 미세 높이 조절을 위한 통상의 수단이 사용될 수 있음은 물론이다.
도3은 본 발명의 블랭킷 제조공정을 나타낸 것으로 기재(11) 상에 점착층(12)을 형성하고, 상기 점착층(12) 상에 고점도의 엘라스토머 층(13)을 도포시킨 후 블레이드(40)로 원하는 두께로 제어하는 것으로 대면적 블랭킷을 제조한다.
본 발명의 대면적 블랭킷 제조방법에서는 웰 내부에서 엘라스토머의 캐스팅을 실시하여 일정한 두께의 엘라스토머 층을 형성시키고 이후 상기 엘라스토머 층에 발생하는 기포 등 이물질을 제거한 뒤, 블레이드로 엘라스토머 층의 두께를 조절하는 순차적인 공정을 거치는 것을 특징으로 한다. 기포 등의 이물질 제거를 위해 엘라스토머 캐스팅 후 일정시간 방치하며, 아울러 진공 장치등으로 여분의 기포를 제거할 수 있다.
다음으로 엘라스토머 층 두께의 조절은 블레이드(40)로 밀어주는 것으로 이루어진다. 즉, 상기 블레이드(40)가 엘라스토머 층 전체에 걸쳐 이동하면서 점성이 있는 엘라스토머 층 표면을 매끈하게 조절하고, 아울러 여분의 엘라스토머 재료를 제거함으로써 엘라스토머 층 전체에 걸쳐 균일한 두께를 가진 엘라스토머 층을 형성한다. 상기 여분의 엘라스토머 재료의 제거를 위해서 도4에 도시된 바와 같이 본 발명의 대면적 블랭킷 제조장치에 있어 웰의 외벽면이 일시 개방될 수 있다. 웰이 개방되어 블레이딩 시 발생되는 잔여물을 쉽게 제거할 수 있고, 제거 후엔 다시 폐쇄가 됨으로써 안정적으로 두께를 유지할 수 있다.
상기 도2a 내지 도2b 및 도3을 참조하여 본 발명의 대면적 블랭킷 제조방법을 설명하면, 우선 도2a 내지 도2b에서 웰(20) 내부 진공 플레이트 상에 블랭킷의 지지체가 되는 기재(11)가 배치되면 진공 플레이트(20) 표면에 배치된 진공의 흡입구(21)에 의해 기재를 매끈하게 펴준다. 상기 기재는 PET과 같은 유연한 필름 상에 점착제가 도포된 형태이거나 점착필름이 라미네이팅된 것이다.
다음으로 웰(30) 내부에 엘라스토머를 캐스팅하는 과정으로서 기재 상에 엘라스토머를 부어준다. 그런 후 1 내지 2시간 방치시키면서 생성되는 기포를 제거한다. 그런 다음 블레이드(40)를 이용하여 기포가 제거된 엘라스토머 층을 원하는 두께로 밀어준다. 여분의 엘라스토머 재료는 웰(30) 외벽면을 일시 개방하여 배출되도록 한다. 마지막으로 웰(20) 내부를 90 내지 95oC로 히팅하면서, 10~20분 정도 열경화시키는 과정을 거침으로써 블랭킷 제조를 완성한다.
이하 대면적 블랭킷을 제조하는 구체적인 실시예를 통하여 본 발명을 상세하게 설명한다.
실시예 1
두께 350 mm의 PET 필름에 점착제로서 1200 RTV Prime coat/clear(Dow Corning)을 이용하여 Mayer bar(RDS社) 4 번으로 바-코팅(bar-coating)하였다. 상온(24 oC)에서 1시간 동안 경화시켰다.
상기 PET 기재를 웰 내부 공간에 방치 한 후, 진공 플레이트(vacuum plate)를 이용하여 PET 기재를 펴주었다.
고점도의 엘라스토머로서 폴리디메틸실록산(PolyDiMethylSiloxane, Sylgard 184® Dow Corning)을 웰 내부 공간에 부어줬다. 상온에서 1시간 정도 대기하면서 엘라스토머 부어줄 때 생긴 기포들을 제거하였다.
블레이드를 이용해서 상기 엘라스토머 층을 원하는 두께로 밀어주었다.
웰을 90 oC로 히팅하면서, 20분 정도 열경화시켰다.
실시예 2
두께 350 mm의 PET 필름에 점착 필름(#75CS tape, 3M)을 라미네이팅하였다.
상기 PET 기재를 웰 내부 공간에 방치 한 후, 진공 플레이트(vacuum plate)를 이용하여 PET 기재를 펴주었다.
고점도의 엘라스토머로서 폴리디메틸실록산(PolyDiMethylSiloxane, Sylgard 184® Dow Corning)을 웰 내부 공간에 부어줬다. 상온에서 1시간 정도 대기하면서 엘라스토머 부어줄 때 생긴 기포들을 제거하였다.
블레이드를 이용해서 원하는 두께로 밀어주었다.
웰을 90 oC로 히팅하면서, 20분 정도 열경화시켰다.
실시예 3
두께 350 mm의 PET 필름에 점착 필름(LG Chem.)을 라미네이팅하였다.
상기 PET 기재를 웰 내부 공간에 방치 한 후, 진공 플레이트(vacuum plate)를 이용하여 PET 기재를 펴주었다.
고점도의 엘라스토머로서 폴리디메틸실록산(PolyDiMethylSiloxane, Sylgard 184® Dow Corning)을 웰 내부 공간에 부어줬다. 상온에서 1시간 정도 대기하면서 엘라스토머 부어줄 때 생긴 기포들을 제거하였다.
블레이드를 이용해서 원하는 두께로 밀어주었다.
웰을 90 oC로 히팅하면서, 20분 정도 열경화시켰다.
비교예 1 내지 3
웰을 포함하지 않는 장치 즉, 진공 플레이트 외주를 따라 형성된 외벽면을 포함하지 않는 장치를 사용하여 실시예 1 내지 3과 동일한 방법으로 대면적 블랭킷을 제조하였다.
도5a 및 5b는 실시예 1 내지 3 및 비교예 1 내지 3에서 형성된 블랭킷의 두께를 측정한 것이다. 블랭킷을 도5c와 같이 30 cm X 30 cm로 잘라서 검은 점이 찍 혀있는 지점의 두께를 잰 것이다. 예를 들어 도 5a 표의 가로 7, 세로 2의 값인 608은 blanket을 30X30cm로 잘랐을 때, 가로로 7cm, 세로로 2cm 인 지점인 제일 윗 라인의 점에서 왼쪽에서 2번째 부분의 두께를 측정했을 때의 두께 값이 608um라는 의미이다.
상기 결과를 비교해보면, 웰이 존재할 때 블랭킷의 두께 균일도가 향상된 것을 확인할 수 있다. 각 도면의 그래프는 30cmX30cm의 면적의 블랭킷에서 두께를 등고선으로 나타낸 것으로 두께 균일도를 시각화 한 것이다. 웰이 있는 경우 없는 경우에 비해 블랭킷의 두께 편차가 적게 나타났다.
도1은 대면적 블랭킷 단면도이다.
도2a 및 도2b는 본 발명의 대면적 블랭킷 제조장치 가로방향 및 세로방향 단면도이다.
도3은 본 발명의 대면적 블랭킷 제조방법을 도시한 것이다.
도4는 개방되는 웰의 역할을 도시한 것이다.
도5a는 웰이 없는 경우 블랭킷의 두께를 측정한 것이고, 5b는 웰이 존재하는 경우에 두께를 측정한 것이다.
도5c는 도5a 및 5b의 블랭킷에서 두께 측정 지점을 나타낸 것이다.
Claims (8)
- 대면적 평면 블랭킷을 제조하는 장치로서,상기 블랭킷의 기재가 놓여지는 바닥면으로서 진공 플레이트(20),상기 진공 플레이트(20)를 바닥면으로 하고 그 외주면을 따라 형성된 외벽면으로 이루어진 웰(30),상기 웰(30) 내부공간에 위치하여 블랭킷의 두께를 제어하는 블레이드(40) 및상기 블레이드(40)의 높이를 조절하는 높이 조절수단(50)을 포함하며,상기 진공 플레이트(20)의 표면에는 진공의 흡입구(21)가 배치되는 것을 특징으로 하는 대면적 블랭킷 제조장치.
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,상기 웰(30)은 외벽면 일부가 개방될 수 있는 것을 특징으로 하는 대면적 블랭킷 제조장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 블레이드(40)는 하단 일면이 비스듬하게 깎여 경사진 형태의 판상으로 블랭킷 전체를 걸쳐 이동하면서 밀어주는 수단임을 특징으로 하는 대면적 블랭킷 제조장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 높이 조절수단(50)은 스프링 나사(51)와 마이크로미터(52)로 구성되는 것을 특징으로 하는 대면적 블랭킷 제조장치.
- 제1항 및 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항의 장치를 사용하여 대면적 평면 블랭킷을 제조하는 방법으로서,a) 상기 진공 플레이트(20)에 점착층이 형성된 기재를 배치하고,b) 상기 웰(20) 내부의 상기 기재 상에 고점도의 엘라스토머 층을 도포시킨 후,c) 상기 높이 조절수단(50)으로 높이가 조절된 블레이드(40)를 이용하여 엘라스토머 층을 균일한 두께로 밀어주는 것을 포함하는 대면적 블랭킷 제조방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 b) 단계에서는 엘라스토머를 일정량 캐스팅한 후 이물질을 제거하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 대면적 블랭킷 제조방법.
- 제 3 항의 장치를 사용하여 대면적 평면 블랭킷을 제조하는 방법으로서,a) 상기 진공 플레이트(20)에 점착층이 형성된 기재를 배치하고,b) 상기 웰(20) 내부의 상기 기재 상에 고점도의 엘라스토머 층을 도포시킨 후,c) 상기 높이 조절수단(50)으로 높이가 조절된 블레이드(40)를 이용하여 엘라스토머 층을 균일한 두께로 밀어주는 동안 웰(30) 외벽면 일부가 개방되어 잉여분의 엘라스토머를 배출하는 것을 포함하는 대면적 블랭킷 제조방법.
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