KR101145267B1 - 임피던스 및 잡음 특성 동시 측정 시스템, 방법, 및 상기 방법을 실행시키기 위한 컴퓨터 판독 가능한 프로그램을 기록한 매체 - Google Patents

임피던스 및 잡음 특성 동시 측정 시스템, 방법, 및 상기 방법을 실행시키기 위한 컴퓨터 판독 가능한 프로그램을 기록한 매체 Download PDF

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Abstract

임피던스 및 잡음 특성 동시 측정 시스템, 방법, 및 상기 방법을 실행시키기 위한 컴퓨터 판독 가능한 프로그램을 기록한 매체가 개시된다. 임피던스 및 잡음 특성 동시 측정 시스템은 전기 신호 인가부, 응답 신호 측정부, 임피던스 특성 산출부, 및 잡음 특성 획득부를 포함한다. 전기 신호 인가부는 측정 대상에 직류 및 미리 설정된 복수 주파수의 교류 전기 신호를 동시에 인가하고, 응답 신호 측정부는 측정 대상으로부터 인가한 전기 신호에 대한 응답 신호를 측정하고, 임피던스 특성 산출부는 미리 설정된 주파수 범위에 대해 응답 신호의 전류, 전압의 크기와 위상 차이를 이용하여 등가 모델로 제시된 각각의 임피던스 값을 산출하며, 잡음 특성 획득부는 응답 신호의 전력 중 직류 전기 신호로 인해 발생하는 잡음 전력만을 획득한다. 이와 같이, 측정 대상에 직류 및 복수 주파수의 교류 전기 신호를 동시에 인가하여 임피던스 특성과 잡음 특성을 구함으로써, 1차원 나노선과 같은 민감한 물질에 대해서도 적은 비용으로 빠르고 정확하게 임피던스 특성과 잡음 특성을 측정할 수 있게 된다.

Description

임피던스 및 잡음 특성 동시 측정 시스템, 방법, 및 상기 방법을 실행시키기 위한 컴퓨터 판독 가능한 프로그램을 기록한 매체{System and method for measuring impedance and noise characteristic simultaneously, and a medium having computer readable program for executing the method}
본 발명은 측정 시스템, 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 물질의 임피던스 특성, 및 잡음 특성을 동시에 측정할 수 있는 시스템, 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 물질의 전기적 특성은 외부에서 인가한 전압이나 전류에 따라 측정 대상 물질의 전기적 상태가 어떻게 변하는지를 관찰함으로써 파악할 수 있다. 예를 들어, 3차원 벌크(bulk) 및 2차원 (film) 반도체에서는 옴의 법칙(Ohm`s Law)를 이용하여, 간단한 직류(DC) 측정으로 저항을 측정 할 수 있다.
하지만, 측정 대상의 크기가 1차원 나노선까지 작아지면서, 물질의 특성이 접촉 저항이나 외부 환경에 의해 크게 영향을 받아 직류 측정으로 정확한 물질의 전기적 특성을 정의 할 수 없게 된다. 왜냐 하면 직류 측정은 접촉 저항을 포함한 채널의 저항이기 때문에, 접촉 저항이 채널 저항보다 클 경우, 샘플의 전기적 성질은 접촉 저항에 의해 결정이 되기 때문이다.
하지만 교류(AC) 측정을 통해서 얻은 나이퀴스트 선도(Nyquist Plot)에서, 우리는 간단한 피팅(Fitting) 작업을 통하여, 접촉 저항과 채널 저항을 구분하여 이러한 문제점을 해결할 수 있게 되었다.
현재 교류를 이용한 임피던스 측정 방법으로는 일정 주파수의 주기적 여기 신호를 인가하고, 주파수 응답 분석기(FRA)와 같은 위상 감지 장치로 스펙트럼을 측정하는 방법이 많이 사용되고 있다.
그러나, 이와 같은 측정 방법은 신호 발생기 및 위상 감지기 등과 같은 고가의 장치를 사용해야 되고, 복수의 주파수에 대해 순차적으로 측정을 진행하므로 측정에 소요되는 시간이 길어지는 문제점을 가지고 있다. 이러한 문제점은 저주파 측정의 경우 더욱 심해진다.
그런데, 1차원 나노선은 주위 환경과 시간에 따라 변하는 매우 민감한 물질이어서, 시간과 장소에 따라 물질의 전기적 특성이 변할 수 있으며, 측정 중 소자의 전기적 충격으로 파괴 위험성도 가질 수 있기 때문에 종래의 임피던스 측정 방법을 그대로 사용하기 어려웠다.
또한, 물질의 다른 전기적 특성으로 잡음 특성을 들 수 있는데, 잡음 특성은 측정 대상 물질에 직류를 인가하고, 측정 대상으로부터 응답 신호를 측정하여 주파수에 대한 응답 신호의 전기적 잡음 전력 크기를 산출함으로써 얻을 수 있다.
그런데, 종래에는 임피던스 측정과 잡음 측정은 별도로 수행되었다. 이에 따라, 두가지 특성 모두를 측정하기 위해서는 각각의 측정 장비를 별도로 사용하여야 하였고, 이로 인해 많은 비용과 시간이 소요되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 전기적으로 민감한 물질에 대해서도 적은 비용으로 빠르고 정확하게 임피던스 특성과 잡음 특성을 측정할 수 있는 시스템, 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 임피던스 및 잡음 특성 동시 측정 시스템은 전기 신호 인가부, 응답 신호 측정부, 임피던스 특성 산출부, 및 잡음 특성 획득부를 포함한다.
전기 신호 인가부는 측정 대상에 직류 및 미리 설정된 복수 주파수의 교류 전기 신호를 동시에 인가하고, 응답 신호 측정부는 측정 대상으로부터 인가한 전기 신호에 대한 응답 신호를 측정하고, 임피던스 특성 산출부는 미리 설정된 임피던스 주파수 범위에 대한 인가된 전기 신호와 응답 신호의 크기와 위상으로부터 측정 대상의 임피던스 특성을 산출하며, 잡음 특성 획득부는 미리 설정된 잡음 주파수 범위에 대해 응답 신호의 전력을 산출하고 응답 신호의 전력 중 직류 전기 신호로 인해 발생하는 잡음 전력만을 획득한다.
이와 같이, 측정 대상에 직류 및 복수 주파수의 교류 전기 신호를 동시에 인가하여 임피던스 특성과 잡음 특성을 구함으로써, 1차원 나노선과 같은 민감한 물질에 대해서도 적은 비용으로 빠르고 정확하게 임피던스 특성과 잡음 특성을 측정할 수 있게 된다.
임피던스 특성 산출부는 응답 신호의 크기가 미리 설정된 범위에 해당하는 경우의 주파수를 선택하고, 선택된 주파수에 대한 응답 신호를 이용하여 측정 대상의 임피던스 특성을 산출하며, 이때, 임피던스 특성은 나이퀴스트 선도로 표현될 수 있다.
측정된 신호로부터 산출된 모든 주파수에 대해서가 아니라 미리 설정된 주파수 범위에 해당하는 주파수들에 대해서만 임피던스 특성을 산출하여 나이퀴스트 선도를 획득함으로써 잡음의 영향을 배제하고 보다 신속하게 임피던스 특성을 산출할 수 있게 된다.
아울러, 상기 시스템을 방법의 형태로 구현한 발명과 그 방법을 실행시키기 위한 컴퓨터 판독 가능한 프로그램을 기록한 매체가 개시된다.
본 발명에 의해, 전기적으로 민감한 물질에 대해서도 적은 비용으로 빠르고 정확하게 임피던스 특성과 잡음 특성을 측정할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 임피던스 및 잡음 특성 동시 측정 시스템의 일 실시예의 개략적인 블록도.
도 2는 도 1의 시스템의 실제 구현 예를 도시한 개략적인 블록도.
도 3은 단일벽 탄소 나노 튜브 네트워크 디바이스(single wall CNT network device)에 대한 전류 잡음 전력 스펙트럼의 비교 그래프.
도 4, 및 도 5는 각각 병렬 RC 회로, 및 병렬 RC 회로의 직렬 연결 회로에 대해 여러 가지 방법으로 구한 나이퀴스트 선도를 비교 도시한 도면.
도 6은 상용 N-type MOSFET(metal-oxide-semiconductor field-effect transistor)를 포함하는 두 RC회로에서의 임피던스 천이를 나타내는 나이퀴스트 선도를 도시한 도면.
도 7은 본 발명에 따른 임피던스 및 잡음 특성 동시 측정 방법의 일 실시예를 수행하기 위한 개략적인 흐름도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 임피던스 및 잡음 특성 동시 측정 시스템의 일 실시예의 개략적인 블록도이다.
도 1에서 임피던스 및 잡음 특성 동시 측정 시스템(100)은 전기 신호 인가부(110), 응답 신호 측정부(120), 임피던스 특성 산출부(130), 및 잡음 특성 획득부(140)를 포함한다.
전기 신호 인가부(100)는 측정 대상에 직류 및 미리 설정된 복수 주파수의 교류 전기 신호를 동시에 인가하고, 응답 신호 측정부(120)는 측정 대상으로부터 인가한 전기 신호에 대한 응답 신호를 측정한다.
직류 및 복수 주파수의 교류 전기 신호는 미리 합쳐진 형태로 인가될 수 있고, 인가되는 주파수의 선택은 시스템(100)이나 사용자에 의해 미리 설정될 수 있다.
임피던스 특성 산출부(130)는 미리 설정된 임피던스 주파수들에 대해 응답 신호의 전류, 전압의 크기와 위상 차이를 이용하여 측정 대상의 임피던스를 산출한다. 다시 말해, 미리 설정된 주파수 범위에 대해 응답 신호의 전류, 전압의 크기와 위상 차이를 이용하여 등가 모델로 제시된 각각의 임피던스 값을 산출하는 것이다. 이때, 미리 설정된 임피던스 주파수 범위 역시 시스템이나 사용자에 의해 미리 설정될 수 있으며, 인가된 전기 신호 주파수를 포함하는 범위가 일반적일 것이다.
또한, 임피던스 특성 산출부(130)는 산출된 응답 신호의 크기가 미리 설정된 응답 신호 범위에 해당하는 경우의 주파수를 선택하고, 선택된 주파수에 대한 응답 신호를 이용하여 측정 대상의 임피던스 특성을 산출할 수 있으며, 이때, 임피던스 특성은 나이퀴스트 선도로 표현될 수 있다.
측정된 신호로부터 산출된 모든 주파수에 대해서가 아니라 미리 설정된 주파수 범위내의 측정된 신호값이 미리 설정된 값 이상이 되는 주파수에 대해서만 임피던스 특성을 산출하여 나이퀴스트 선도를 획득함으로써 잡음의 영향을 배제하고 보다 신속하게 임피던스 특성을 산출할 수 있게 된다.
또한, 선택된 주파수와 인가된 주파수를 비교함으로써, 산출된 임피던스 특성의 유효성을 검증할 수도 있게 된다.
잡음 특성 획득부(140)는 미리 설정된 잡음 주파수 범위에 대해 응답 신호의 전력을 산출하고, 응답 신호의 전력 중 직류 전기 신호로 인해 발생하는 잡음 전력만을 획득한다. 앞서 언급한 바와 같이, 잡음 특성은 측정 대상 물질에 직류를 인가하고, 측정 대상으로부터 응답 신호를 측정하여 주파수에 대한 응답 신호 잡음 전력의 크기를 산출함으로써 얻을 수 있다.
여기서, 미리 설정된 잡음 주파수 범위는 임피던스 주파수 범위와 다르게 설정될 수도 있으나, 동일하게 설정되는 것이 일반적일 것이다.
특히, 잡음 특성은 주파수에 대해 직류 응답이 가지는 전력 크기의 경향을 파악하는 것이 중요하다. 그런데, 본 발명에서는 직류와 여러 가지 주파수를 가지는 교류를 함께 측정 대상에 인가하기 때문에, 전체 주파수 영역에서의 응답 신호 전력 분포 중 인가된 교류로 인해 발생하는 주파수 영역에서의 전력 분포를 제외하면, 직류 전기 신호로 인해 발생하는 잡음 전력 크기의 경향을 파악할 수 있게 된다.
이와 같이, 측정 대상에 영(0) 주파수를 포함하는 복수 주파수의 정현파 전기 신호를 동시에 인가하여 임피던스 특성과 잡음 특성을 구함으로써, 1차원 나노선과 같은 민감한 물질에 대해서도 적은 비용으로 빠르고 정확하게 임피던스 특성과 잡음 특성을 측정할 수 있게 된다.
이하, 도 1의 시스템이 실제로 구현된 예를 이용하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.
도 2는 도 1의 시스템의 실제 구현 예를 도시한 개략적인 블록도이다.
도 2에는 신호 처리를 할 수 있는 중앙 처리 장치를 포함한 전자 기기인 컴퓨터(Computer), DAQ(Data Acquisition), 전류를 전압으로 변환시키는 회로를 이용하여, 임피던스 측정과 전기적 잡음 측정을 실시간으로 동시에 측정할 수 있는 시스템이 도시되어 있다.
도 2에서, 도 1의 전기 신호 인가부(110), 및 응답 신호 측정부(120)는 DAQ로, 도 1의 임피던스 특성 산출부(130), 및 잡음 특성 획득부(140)는 컴퓨터(Computer)로 각각 구현되어 있다.
DAQ(Data Acquisition 장치)는 2개 이상의 입력 단자와 전압 출력 단자를 이용하여 직류(DC) 전압과 여러 가지 주파수를 가지는 교류(AC) 전압의 조합 전압을 동시에 측정하고자 하는 샘플에 인가한다.
샘플(DUT)을 통과한 전류는 전류-전압 프리 앰프(Current-to-Voltage Preamplifier)를 통과하여 전압 신호로 바뀌어 DAQ의 입력 단자로 입력된다. 본 실시예에서는 전류가 전압으로 바뀌어 DAQ로 입력되지만, 다른 실시예에서는 단순히 전류 증폭 장치를 통하여 증폭된 전류로 DAQ의 입력 단자로 입력이 되도록 구현될 수도 있다.
입력 단자에서는 인가한 조합 입력 전압과 샘플을 통과한 전압 두 신호의 전압의 크기, 위상 차이, 주파수 등을 측정할 수 있다. 전압으로 입력된 경우, 전류가 전압으로 증폭된 만큼 나눠주면 전류의 크기를 구할 수 있다.
주파수 응답 특성이 원하는 주파수 대역에서 일정한 전류-전압 프리 앰프를 이용하여, 전류의 크기를 정확히 구할 수 있다. 인가한 전압 신호를 샘플을 통과한 전류 신호로 나누어 주면 샘플의 임피던스를 구할 수 있다.
예를 들어, 저항(R)과 콘덴서(C)가 병렬로 연결되어 있는 샘플의 경우 아래의 식을 이용하여, 측정된 결과로부터 샘플의 임피던스 값과 나이퀴스트 선도를 얻을 수 있다.(식(1) 참조)
Figure 112010025456737-pat00001

이때, 인가한 조합 전압 신호와 측정된 조합 전압 신호를 퓨리에(Fourier) 변환을 통해 정확히 각각의 주파수 성분을 구할 수 있고, 입력 신호에 직류 신호를 동시에 인가해 줌으로써, 샘플 채널에 생성된 전기적 잡음 신호를 측정 할 수 있고, 인가한 교류(AC) 주파수 신호들을 선택적으로 계산하여 나이퀴스트 선도(Nyquist Plot)를 그릴 수 있다.
도 3은 단일벽 탄소 나노 튜브 네트워크 디바이스(single wall CNT network device)에 대한 전류 잡음 전력 스펙트럼의 비교 그래프이다.
도 3의 그래프에는 직류(DC)와 교류(AC) 신호를 동시에 인가하여 측정된 노이즈와 직류(DC) 신호만을 이용하여 측정된 잡음 전력의 비교와, 직류(DC)와 교류(AC) 신호를 동시에 측정한 임피던스와 교류(AC) 신호만을 이용하여 측정된 임피던스의 비교가 도시되어 있다.
또한, 도 3에서 그래프 상단의 사각형은 나이퀴스트 선도를 얻기 위해 선택될 주파수를 위해 설정된 측정된 신호의 전압 크기 범위를, 그래프 하단 우측의 점들은 선택된 주파수들에 의해 얻어진 나이퀴스트 선도의 부분을 각각 도시하고 있다.
도 4, 및 도 5는 각각 1개의 병렬 RC 회로, 및 2개의 병렬 RC 회로의 직렬 연결 회로에 대해 여러 가지 방법으로 구한 나이퀴스트 선도를 비교 도시한 도면이다.
도 4, 및 5에는, FRA, DAQ, 계산에 의해 구한 나이퀴스트 선도가 각각 도시되어 있다. 도 4, 및 5에서 각 나이퀴스트 선도를 비교하여 보면, 저주파 부분에서만 약간 차이가 있는 것을 확인할 수 있는데, 이는 저주파에서 프리 앰프의 주파수 제한과 시스템에 기생하는 기생 저항, 및 기생 콘덴서에 기인한 것이다.
도 6은 상용 N-type MOSFET(metal-oxide-semiconductor field-effect transistor)를 포함하는 두 RC회로에서의 임피던스 천이를 나타내는 나이퀴스트 선도를 도시한 도면이다.
도 6은 두번째 RC 회로의 전체 저항의 변화를 도시하고 있는데, 이는 트랜지스터의 게이트 전압이 변화함에 따라 두번째 RC 회로의 전체 저항이 변화하기 때문에 발생한다.
도 7은 본 발명에 따른 임피던스 및 잡음 특성 동시 측정 방법의 일 실시예를 수행하기 위한 개략적인 흐름도이다.
도 7에서, 먼저 임피던스 및 잡음 특성 동시 측정 시스템이 측정 대상에 주파수 영(0)을 포함하는 미리 설정된 복수 주파수의 정현파 전기 신호를 동시에 인가한다(S110).
이어서, 측정 대상으로부터 인가한 전기 신호에 대한 응답 신호를 측정하고(S120), 미리 설정된 주파수 범위에 대해 응답 신호의 크기를 산출한다(S130). 이때, 응답 신호의 크기는 전압이나 전력의 형태로 산출될 수 있다. 이후, 응답 신호 중 인가되지 않은 주파수에 대한 응답 신호의 잡음 전력을 획득한다(S140).
마지막으로, 상기 산출된 전력의 크기가 미리 설정된 범위에 해당하는 경우의 주파수를 선택하고, 선택된 주파수에 대한 응답 신호를 이용하여 측정 대상의 임피던스 특성을 산출한다(S150). 이때, 임피던스 특성은 나이퀴스트 선도로 표현될 수 있다.
앞서 언급한 바와 같이, 1차원 나노선은 주위 환경과 시간에 따라 변하는 매우 민감한 물질이어서, 시간과 장소에 따라 물질의 전기적 특성이 변할 수 있다. 또한 측정 중 소자의 전기적 충격으로 파괴 위험성도 가질 수 있다.
또한, 종래에는 여러 주파수 신호를 입력하여 임피던스를 측정하는 기술과 전기적 잡음을 측정을 기술은 별개로 존재 하여 왔다. 이에 따라, 임피던스 측정과 노이즈 측정을 위한 장비는 개별적으로 존재하며, 시스템 구축을 위해 많은 시간과 연구비가 소요된다.
이를 해결하기 위해, 동시에 여러 주파수가 합쳐진 신호를 인가해서 퓨리에(Fourier) 변환을 하면, 동시에 여러 주파수의 정보를 얻을 수 있게 된다. 이경우 측정 중에 발생될 수 있는 소자의 상태 변화로 인한 오차를 최소화 할 수 있으며, 실시간 측정을 통해 보다 정확한 정보를 제공할 수 있다. 또한 전기적 잡음을 측정하는데 있어서, 측정 패스트 퓨리에(Fast Fourier) 변환을 이용하여 빠른 전기적 잡음을 측정 할 수 있게 되었다.
본 명세서에서는 DAQ(Data acquisition)와 전류-전압 preamlifier(증폭기)를 이용하여, 실시간으로 임피던스와 전기적 잡음을 동시에 측정 할 수 있는 시스템을 개시하였다.
DAQ와 전류-전압 증폭기 또는 전류 증폭기를 이용하면, 간단하고 가벼우면서도 이동 가능하고, 값싼 임피던스 측정과 전기적 잡음 측정을 1초 간격으로 수행할 수 있는 시스템을 개발이 가능하다.
이러한 시스템을 이용하여, 시간과 장소, 주위 환경에 따라 변하는 민감한 1차원 나노선의 전기적 특성을 짧은 시간동안에 실시간으로 임피던스와 전기적 잡음을 측정 할 수 있게 된다.
또한, 1차원 나노선 내부의 전자와 이온들의 이동 현상을 실시간으로 확인 할 수 있으며, 동시에 전기적 잡음 측정을 할 수 있게 된다. 이를 통하여 보다 정확하고 구체적인 채널 내부의 현상을 규명 할 수 있고, 연구비와 시간을 줄 일 수 있게 된다.
본 발명이 비록 일부 바람직한 실시예에 의해 설명되었지만 본 발명의 범위는 이에 의해 제한되어서는 아니 되고, 특허청구범위에 의해 뒷받침되는 상기 실시예의 변형이나 개량에도 미쳐야 할 것이다.
100: 실시간 임피던스 특성 및 잡음 특성 동시 측정 시스템
110: 전기 신호 인가부
120; 응답 신호 측정부
130:임피던스 특성 산출부
140: 잡음 특성 획득부

Claims (7)

  1. 측정 대상에 직류 및 미리 설정된 복수 주파수의 교류 신호가 합성된 전기 신호를 인가하는 전기 신호 인가부;
    상기 측정 대상으로부터 상기 인가한 전기 신호에 대한 응답 신호를 측정하는 응답 신호 측정부;
    상기 응답 신호의 미리 설정된 임피던스 주파수 범위에 대한 상기 인가된 전기 신호와 상기 응답 신호의 크기와 위상으로부터 상기 측정 대상의 임피던스 특성을 산출하는 임피던스 특성 산출부; 및
    상기 응답 신호의 미리 설정된 잡음 주파수 범위에 대해 상기 응답 신호의 전력을 산출하고, 상기 응답 신호의 전력 중 직류 전기 신호로 인해 발생하는 잡음 전력만을 획득하는 잡음 특성 획득부를 포함하는 것을 특징으로 하는 임피던스 및 잡음 특성 동시 측정 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 임피던스 산출부는 상기 응답 신호의 크기가 미리 설정된 범위에 해당하는 경우의 주파수를 선택하고, 상기 선택된 주파수에 대한 상기 응답 신호를 이용하여 상기 측정 대상의 주파수 특성을 산출하는 것을 특징으로 하는 임피던스 및 잡음 특성 동시 측정 시스템.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 임피던스 특성은 나이퀴스트 선도로 표현되는 것을 특징으로 하는 임피던스 및 잡음 특성 동시 측정 시스템.
  4. 임피던스 및 잡음 특성 동시 측정 시스템이 측정 대상에 주파수 영(0)을 포함하는 미리 설정된 복수 주파수의 정현파 신호가 합성된 전기 신호를 인가하는 단계;
    상기 측정 대상으로부터 상기 인가한 전기 신호에 대한 응답 신호를 측정하는 단계;
    상기 응답 신호의 미리 설정된 임피던스 주파수 범위에 대한 상기 인가된 전기 신호와 상기 응답 신호의 크기와 위상으로부터 상기 측정 대상의 임피던스 특성을 산출하는 단계;
    상기 응답 신호의 미리 설정된 잡음 주파수 범위에 대해 상기 응답 신호의 전력을 산출하고, 상기 응답 신호의 전력 중 직류 전기 신호로 인해 발생하는 잡음 전력만을 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 임피던스 및 잡음 특성 동시 측정 방법.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 응답 신호의 크기가 미리 설정된 범위에 해당하는 경우의 주파수를 선택하는 단계;
    상기 선택된 주파수에 대한 상기 응답 신호를 이용하여 상기 측정 대상의 임피던스 특성을 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 임피던스 및 잡음 특성 동시 측정 방법.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 임피던스 특성은 나이퀴스트 선도로 표현되는 것을 특징으로 하는 임피던스 및 잡음 특성 동시 측정 방법.
  7. 제 4 내지 6항 중 어느 한 항의 방법을 실행시키기 위한 컴퓨터 판독 가능한 프로그램을 기록한 매체.
KR1020100036784A 2010-04-21 2010-04-21 임피던스 및 잡음 특성 동시 측정 시스템, 방법, 및 상기 방법을 실행시키기 위한 컴퓨터 판독 가능한 프로그램을 기록한 매체 KR101145267B1 (ko)

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