KR101141067B1 - Apparatus for Coating a Substrate - Google Patents

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Abstract

기판 코팅장치를 제공한다.
본 발명은 기판의 표면에 코팅액을 일정두께로 균일하게 코팅하는 코팅장치에 있어서, 상기 기판을 일방향으로 이동시키는 이동부를 구비하고, 상기 이동부가 배치되는 내부공간을 갖는 챔버를 구비하는 본체부; 상기 이동부를 따라 기판이 이동하는 동안 상기 기판의 표면상으로 무화된 코팅액을 분사하도록 코팅액이 분사되는 초음파노즐과 에어가 분사되는 에어노즐을 구비하는 노즐부 ; 상기 초음파노즐과 코팅액공급라인을 매개로 연결되어 코팅액을 공급하는 코팅액공급부 ; 상기 에어노즐과 에어공급라인을 매개로 연결되어 에어를 공급하는 에어공급부 ; 및 상기 기판과 노즐부사이에 상기 기판과 일정간격을 두고 이격되는 차단판을 갖추어 상기 노즐부로부터 무화되어 상기 기판의 진행방향으로 분사되는 분무입자 중 상기 기판의 진행반대방향으로 흐르는 분무입자가 기판의 표면에 낙하되지 않도록 차단하는 미스트 차단부를 포함한다.Provided is a substrate coating apparatus.
According to an aspect of the present invention, there is provided a coating apparatus for uniformly coating a coating liquid on a surface of a substrate, the coating apparatus comprising: a main body having a chamber having a moving part for moving the substrate in one direction and having an inner space in which the moving part is disposed; A nozzle unit including an ultrasonic nozzle to which the coating liquid is sprayed and an air nozzle to which air is sprayed to spray the atomized coating liquid onto the surface of the substrate while the substrate moves along the moving unit; A coating solution supply unit connected to the ultrasonic nozzle and a coating solution supply line to supply a coating solution; An air supply unit connected to the air nozzle and an air supply line to supply air; And a blocking plate spaced apart from the substrate at a predetermined interval between the substrate and the nozzle unit to spray atomized particles sprayed in the opposite direction of the substrate from among the spray particles atomized from the nozzle unit and sprayed in the traveling direction of the substrate. And a mist blocker to block the surface from falling.

Description

기판 코팅장치{Apparatus for Coating a Substrate}Substrate Coating Equipment {Apparatus for Coating a Substrate}

본 발명은 기판을 코팅액으로 코팅처리하는데 사용되는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세히는 대형기판의 표면에 코팅되는 코팅액을 후공정에서의 제품불량없이 균일한 두께로 코팅처리할 수 있으며, 무화된 분무입자를 기판상에 낙하시켜 코팅층을 형성하는 과정에서 불량위치로 비산되는 분무입자에 기인하는 코팅불량을 방지할 수 있는 기판코팅장치에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus used for coating a substrate with a coating liquid, and more particularly, the coating liquid coated on the surface of a large substrate can be coated with a uniform thickness without a product defect in a later process, atomized spray particles The present invention relates to a substrate coating apparatus capable of preventing coating defects due to spray particles scattered to a defective position in a process of forming a coating layer by dropping a substrate on a substrate.

일반적으로 반도체 웨이퍼나 디스플레이용 유리 기판상에 감광액, 식각액 ITO 코팅액 등과 같은 코팅액을 도포하는 공정은 스핀코팅방식을 이용하여 유리기판을 코팅 처리하였다. In general, a process of applying a coating liquid, such as a photoresist, an etching solution, an ITO coating liquid, or the like onto a semiconductor wafer or a glass substrate for a display is performed by coating a glass substrate using a spin coating method.

이러한 종래의 스핀코팅 방식은 기판이나 웨이퍼 그리고 이와 유사한 피도포재를 모터부재의 회전력에 의해서 회전하는 회전척 상에 배치한 상태에서 일정량의 코팅액을 기판상에 낙하시킴으로써 고속의 스핀회전에 의하여 기판 표면상에 코팅액을 도포하는 것이다. In the conventional spin coating method, the substrate surface is dropped by a high speed spin rotation by dropping a predetermined amount of coating liquid onto the substrate while the substrate, the wafer, and similar coated materials are disposed on the rotating chuck that is rotated by the rotational force of the motor member. It is to apply a coating liquid on the top.

그러나, 이러한 종래의 스핀코팅방식은 고속의 스핀회전시 코팅액의 비산이 발생하고 필요량 이상의 코팅액이 소요되어 환경적인 문제와 함께 재료의 손실이 발생하여 왔다. However, in the conventional spin coating method, scattering of the coating liquid occurs during high-speed spin rotation, and more than the required amount of the coating liquid is required, resulting in material loss along with environmental problems.

또한, 종래의 스핀코팅방식으로는 웨이퍼 상의 패턴이나 요철 부분에 공기가 미처 빠져나가지 못하고 그 위에 코팅액이 도포 됨으로써 이후의 다단계 공정에서의 제품에 결함이 발생할 수 있는 경우가 많이 있었다. In addition, in the conventional spin coating method, air does not escape to the pattern or the uneven portion on the wafer, and the coating liquid is applied thereon, so that defects may occur in the product in the subsequent multi-step process.

이와 더불어, 종래의 스핀코팅방식으로는 점차로 대형화되는 기판 상에 원하는 코팅액을 도포하는 경우에 대형기판의 고속회전이 어려워져 장치비용이 상승하는 단점이 있었다. In addition, the conventional spin coating method has a disadvantage in that a high speed rotation of the large substrate becomes difficult when the desired coating liquid is applied onto a substrate that is gradually enlarged, thereby increasing the device cost.

이에 따라, 대형화되는 기판상에 코팅액을 균일하게 도포하기 위해서, 슬릿 다이(Slit Die)를 통하여 공급된 코팅액을 대면적의 기판상에 분사하여 코팅하는 슬릿 다이 코팅방식이 알려져 있다.Accordingly, in order to uniformly apply the coating liquid on a large-sized substrate, a slit die coating method is known in which a coating liquid supplied through a slit die is sprayed onto a large-area substrate and coated.

그러나, 이러한 슬릿 다이 코팅방식으로 태양전지용 보호유리기판 등과 같이 패턴이 형성되어 있는 대형기판을 코팅하는 경우 패터닝된 부분에 때한 두께제어가 난해하여 제품수율이 낮기 때문에 코팅액을 미세 액적상태로 전환하여 대형기판상에 분무하여 코팅하는 스프레이 코팅방식으로 코팅처리하는 것이 유리하다. However, when coating large substrates with patterns such as protective glass substrates for solar cells with such slit die coating method, the thickness of the patterned part is difficult to control, and the yield is low. It is advantageous to coat by spray coating method which sprays and coats on a large substrate.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 대형기판의 표면에 코팅되는 코팅액을 후공정에서의 제품불량없이 균일한 두께로 코팅처리할 수 있으며, 무화된 분무입자를 기판상에 낙하시켜 코팅층을 형성하는 과정에서 불량위치로 비산되는 분무입자에 기인하는 코팅불량을 방지할 수 있는 기판코팅장치를 제공하고자 한다. Accordingly, the present invention is to solve the above problems, the object is to coat the coating liquid coated on the surface of the large substrate with a uniform thickness without product defects in the later process, the atomized spray particles substrate The present invention provides a substrate coating apparatus capable of preventing coating defects due to spray particles scattered to a defective position in the process of forming a coating layer by falling on the coating layer.

상기 목적을 달성하기 위한 구체적인 수단으로서 본 발명은, 기판의 표면에 코팅액을 일정두께로 균일하게 코팅하는 장치에 있어서, 상기 기판을 일방향으로 이동시키는 이동부를 구비하고, 상기 이동부가 배치되는 내부공간을 갖는 챔버를 구비하는 본체부; 상기 이동부를 따라 기판이 이동하는 동안 상기 기판의 표면상으로 무화된 코팅액을 분사하도록 코팅액이 분사되는 초음파노즐과 에어가 분사되는 에어노즐을 구비하는 노즐부 ; 상기 초음파노즐과 코팅액공급라인을 매개로 연결되어 코팅액을 공급하는 코팅액공급부 ; 상기 에어노즐과 에어공급라인을 매개로 연결되어 에어를 공급하는 에어공급부 ; 및 상기 기판과 노즐부사이에 상기 기판과 일정간격을 두고 이격되는 차단판을 갖추어 상기 노즐부로부터 무화되어 상기 기판의 진행방향으로 분사되는 분무입자 중 상기 기판의 진행반대방향으로 흐르는 분무입자가 기판의 표면에 낙하되지 않도록 차단하는 미스트 차단부를 포함함을 특징으로 하는 기판 코팅장치를 제공한다. The present invention as a specific means for achieving the above object, in the apparatus for uniformly coating the coating liquid to a predetermined thickness on the surface of the substrate, comprising a moving portion for moving the substrate in one direction, the internal space in which the moving portion is disposed A main body having a chamber having; A nozzle unit including an ultrasonic nozzle to which the coating liquid is sprayed and an air nozzle to which air is sprayed to spray the atomized coating liquid onto the surface of the substrate while the substrate moves along the moving unit; A coating solution supply unit connected to the ultrasonic nozzle and a coating solution supply line to supply a coating solution; An air supply unit connected to the air nozzle and an air supply line to supply air; And a blocking plate spaced apart from the substrate at a predetermined interval between the substrate and the nozzle unit to spray atomized particles sprayed in the opposite direction of the substrate from among the spray particles atomized from the nozzle unit and sprayed in the traveling direction of the substrate. It provides a substrate coating apparatus comprising a mist blocker to block the surface from falling.

바람직하게, 상기 챔버는 상기 노즐부에 공급되는 코팅액을 저장하는 코팅액저장탱크가 배치되는 하부공간과, 상기 기판이 이동되는 이동부가 배치되는 상부공간을 양분하도록 격벽부재를 구비하며, 상기 노즐부와 대응하는 격벽부재에는 일정깊이로 함몰형성된 함몰부를 구비하며, 상기 함몰부는 상기 노즐부에서 분사되는 분무입자를 하향 배출유도하도록 배기라인을 매개로 배기펌프와 연결된다. Preferably, the chamber is provided with a partition member so as to divide the lower space in which the coating liquid storage tank for storing the coating liquid supplied to the nozzle portion and the upper space in which the moving portion to move the substrate is disposed, the nozzle portion and A corresponding partition member has a depression formed to a predetermined depth, and the depression is connected to an exhaust pump via an exhaust line so as to induce a downward discharge of spray particles injected from the nozzle portion.

바람직하게, 상기 초음파노즐과 에어노즐이 설치되는 노즐브라켓은 분무입자의 분산각도를 조절할 수 있도록 각도조절용 모터부재의 구동축에 연결되고, 상기 각도조절용 모터부재를 포함하는 노즐브라켓은 일측면에 래치를 형성한 이동대에 연결되고, 상기 래치는 상기 노즐부와 기판간의 상하간격을 조절할 수 있도록 높이조절용 모터부재에 의해서 회전구동되는 피니언기어와 기어물림된다. Preferably, the nozzle bracket in which the ultrasonic nozzle and the air nozzle are installed is connected to the drive shaft of the angle adjusting motor member to adjust the dispersion angle of the spray particles, and the nozzle bracket including the angle adjusting motor member has a latch on one side. The latch is connected to the formed movable table, and the latch is engaged with the pinion gear which is rotationally driven by the height adjusting motor member so as to adjust the vertical gap between the nozzle unit and the substrate.

바람직하게, 상기 코팅액공급라인은 길이중간에 상기 초음파노즐내로 공급되는 코팅액을 가열하는 코팅액가열부를 포함하고, 상기 코팅액가열부는 상기 코팅액공급라인이 통과하는 코팅액가열블록과, 전원인가시 열전도성 금속소재로 이루어진 코팅액가열블록을 가열하도록 상기 코팅액가열블록에 삽입배치되는 적어도 하나의 열전대와, 상기 열전대에 의해서 가열되는 코팅액가열블록의 온도를 측정하는 센서로부터 수신되는 온도값을 근거로 하여 상기 코팅액가열블록을 가열하는 온도를 제어하는 온도제어부를 포함한다. Preferably, the coating liquid supply line includes a coating liquid heating unit for heating the coating liquid supplied into the ultrasonic nozzle in the middle of the length, the coating liquid heating unit is a coating liquid heating block passing through the coating liquid supply line, and a thermally conductive metal material when power is applied. The coating liquid heating block based on at least one thermocouple inserted into the coating liquid heating block to heat the coating liquid heating block, and a temperature value received from a sensor measuring the temperature of the coating liquid heating block heated by the thermocouple. It includes a temperature control unit for controlling the temperature for heating.

더욱 바람직하게, 상기 코팅액가열부는 상기 코팅액에 포함된 기포를 제거하도록 코팅액공급라인에 설치되는 버블트랩의 입구측에 설치된다. More preferably, the coating liquid heating unit is installed at the inlet side of the bubble trap that is installed in the coating liquid supply line to remove bubbles contained in the coating liquid.

더욱 바람직하게, 상기 코팅액가열부는 상기 챔버의 내부분위기 온도 또는 상기 기판의 표면온도와 일치되는 온도를 갖도록 코팅액을 가열제어한다. More preferably, the coating liquid heating unit heat-controls the coating liquid to have a temperature that is consistent with the internal atmosphere temperature of the chamber or the surface temperature of the substrate.

바람직하게, 상기 에어공급라인은 길이중간에 상기 에어노즐내로 공급되는 에어를 가열하는 에어가열부를 포함하고, 상기 에어가열부는 상기 에어공급라인과 연결된 입구단을 통해 유입되는 에어가 채워지는 일정크기의 내부공간을 구비하고 가열된 에어가 배출되도록 에어공급라인과 연결되는 출구단을 갖는 에어가열블록과, 전원인가시 열전도성 금속소재로 이루어진 에어가열블록을 가열하도록 상기 에어가열블록에 삽입배치되는 적어도 하나의 열전대와, 상기 열전대에 의해서 가열되는 에어가열블록의 온도를 측정하는 센서로부터 수신되는 온도값을 근거로 하여 상기 에어가열블록을 가열하는 온도를 제어하는 온도제어부를 포함한다. Preferably, the air supply line includes an air heating unit for heating the air supplied into the air nozzle in the middle of the length, the air heating unit of a predetermined size to fill the air flowing through the inlet end connected to the air supply line An air heating block having an inner space and having an outlet end connected to an air supply line to discharge heated air, and inserted into the air heating block to heat the air heating block made of a thermally conductive metal material when the power is applied; One thermocouple and a temperature control unit for controlling the temperature for heating the air heating block on the basis of the temperature value received from the sensor for measuring the temperature of the air heating block heated by the thermocouple.

더욱 바람직하게, 상기 에어가열부는 에어에 포함된 이물질을 제거하도록 에어공급라인에 설치되는 에어필터의 입구측에 설치된다. More preferably, the air heating unit is installed at the inlet side of the air filter installed in the air supply line to remove foreign substances contained in the air.

더욱 바람직하게, 상기 에어가열부는 상기 초음파노즐내로 공급되는 코팅액의 온도와 동일한 온도를 갖도록 에어를 가열제어한다. More preferably, the air heating unit heat-controls the air to have the same temperature as the temperature of the coating liquid supplied into the ultrasonic nozzle.

바람직하게, 상기 차단판은 상기 초음파노즐의 토출단 하부에 배치되는 위치를 가변할 수 있도록 상기 이동부의 회전롤이 설치되는 컨베이어프레임에 활주이동가능하게 조립되는 이동브라켓에 탑재된다. Preferably, the blocking plate is mounted on a moving bracket which is slidably assembled to a conveyor frame in which a rotating roll of the moving part is installed so as to change a position disposed below the discharge end of the ultrasonic nozzle.

더욱 바람직하게, 상기 컨베이어프레임에는 상기 차단판의 이동위치를 확인할 수 있도록 눈금부를 구비한다. More preferably, the conveyor frame is provided with a scale so as to determine the moving position of the blocking plate.

본 발명에 의하면, 기판을 일방향으로 이동하는 동안 초음파노즐과 에어노즐에 의해서 미세한 입자크기를 갖도록 무화된 분무입자를 기판상에 낙하시켜 코팅층을 형성하고, 기판의 진행반대방향으로 흘러 불량위치로 분무입자가 낙하되는 것을 차단판에 의해서 차단함으로써 기판의 표면에 코팅되는 코팅액을 후공정에서의 제품불량없이 균일한 두께로 코팅처리하여 제품수율을 높일 수 있고, 기판불량율을 낮추어 제조원가를 절감할 수 있는 효과가 얻어진다. According to the present invention, while moving the substrate in one direction, the atomized spray particles are dropped onto the substrate to have a fine particle size by the ultrasonic nozzle and the air nozzle to form a coating layer, flow in the opposite direction of the substrate and sprayed to the defective position By blocking the dropping of particles with a blocking plate, the coating liquid coated on the surface of the substrate can be coated with a uniform thickness without product defects in the subsequent process to increase the product yield and reduce the manufacturing defect rate by lowering the substrate defect rate. Effect is obtained.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 코팅장치를 도시한 전체 구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 코팅장치에 채용되는 노즐부, 코팅액공급부 및 에어공급부를 도시한 개략 구성도이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 코팅장치에 채용되는 노즐부를 도시한 세부 구성도이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 코팅장치에 채용되는 코팅액공급부를 도시한 세부 구성도이다.
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 기판 코팅장치에 채용되는 에어공급부를 도시한 세부 구성도이다.
도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 기판 코팅장치에 채용되는 미스트차단부를 도시한 세부 구성도이다.
도 7(a)는 미스트차단부가 구비되지 않을 경우의 기판코팅 상태도이다.
도 7(b)는 미스트차단부가 구비하는 경우의 기판코팅 상태도이다.1 is an overall configuration diagram showing a substrate coating apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic configuration diagram illustrating a nozzle unit, a coating liquid supply unit, and an air supply unit used in the substrate coating apparatus according to the embodiment of the present invention.
3 is a detailed block diagram illustrating a nozzle unit employed in the substrate coating apparatus according to the embodiment of the present invention.
Figure 4 is a detailed configuration diagram showing a coating liquid supply unit employed in the substrate coating apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 is a detailed block diagram illustrating an air supply unit used in the substrate coating apparatus according to the embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a detailed block diagram illustrating a mist blocking unit employed in a substrate coating apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 7A is a diagram of a substrate coating state when the mist blocking unit is not provided. FIG.
FIG. 7B is a diagram illustrating a substrate coating state when the mist blocking unit is provided. FIG.

본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 첨부된 도면을 따라 더욱 상세히 설명한다. Preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 실시예에 따른 기판 코팅장치(100)는 도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 본체부(110), 노즐부(120), 코팅액공급부(130), 에어공급부(140) 및 미스트차단부(150)를 포함하여 일방향으로 진행하는 기판의 표면에 무화된 코팅액을 분사하여 기판의 표면상에 코팅불량없이 균일한 코팅층을 형성하는 것이다. Substrate coating apparatus 100 according to an embodiment of the present invention, as shown in Figures 1 to 3, the main body 110, the nozzle unit 120, the coating liquid supply unit 130, the air supply unit 140 and the mist Including the blocking unit 150 by spraying the coating liquid to the surface of the substrate proceeding in one direction to form a uniform coating layer without a coating defect on the surface of the substrate.

상기 본체부(110)는 코팅대상물인 사각판상의 유리기판 또는 웨이퍼 등과 같은 기판(1)을 일방향으로 이동시키는 이동부(110a)와, 상기 이동부(110a)가 배치되도록 일정크기의 내부공간을 갖는 챔버(110b)를 포함한다. The main body 110 may include a moving part 110a for moving the substrate 1 such as a glass plate or a wafer, which is a coating object, in one direction, and an internal space having a predetermined size so that the moving part 110a is disposed. Having a chamber 110b.

상기 이동부(110a)는 상기 챔버(110b)의 내부공간에 수평하게 설치되는 수평대(114)에 구비되는 구동모터(111)와, 상기 구동모터(111)의 구동축과 구동풀리(111a)를 매개로 연결되어 정방향 또는 역방향으로 회전구동되는 복수개의 회전롤(112)과, 상기 회전롤(112)의 좌우양단에 조립되어 상기 기판(1)의 양단이 올려지는 벨트부재(113)를 구비한다. The moving unit 110a may include a drive motor 111 provided on a horizontal stand 114 that is horizontally installed in the inner space of the chamber 110b, a drive shaft of the drive motor 111, and a drive pulley 111a. A plurality of rotary rolls 112 connected to each other and driven to rotate in a forward or reverse direction, and a belt member 113 assembled at left and right ends of the rotary roll 112 to raise both ends of the substrate 1. .

이에 따라, 상기 벨트부재(113)상에 올려진 기판(1)은 상기 구동모터(111)의 회전구동력에 의해서 정방향 또는 역방향으로 회전되는 회전롤(112)의 회전방향에 따라 일방향(도면상 우측방향) 또는 타방향(도면상 좌측방향)으로 수평이동되는 것이다. Accordingly, the substrate 1 mounted on the belt member 113 is in one direction (right side in the drawing) according to the rotation direction of the rotation roll 112 which is rotated in the forward or reverse direction by the rotation driving force of the drive motor 111. Direction) or in the other direction (left direction in the drawing).

여기서, 상기 챔버(110b)의 내부공간에는 상기 노즐부(120)에 공급되는 코팅액을 저장하는 코팅액저장탱크(115)가 배치되는 하부공간과, 상기 기판(1)이 이동되는 이동부(110a)가 배치되는 상부공간을 양분하도록 판상의 격벽부재(116)를 구비하며, 상기 노즐부(120)와 대응하는 상기 격벽부재(116)에는 일정깊이로 함몰형성된 함몰부(116a)를 구비하고, 상기 함몰부(116a)에는 노즐부(120)에서 분사되는 분무입자를 하향 배출유도하도록 배기라인(117a)을 매개로 배기펌프(117)와 연결된다.
Here, the lower space in which the coating liquid storage tank 115 for storing the coating liquid supplied to the nozzle unit 120 is disposed in the internal space of the chamber 110b, and the moving part 110a to which the substrate 1 is moved. It is provided with a plate-shaped partition member 116 so as to divide the upper space is disposed, and the partition member 116 corresponding to the nozzle portion 120 is provided with a recessed portion 116a recessed to a predetermined depth, The depression 116a is connected to the exhaust pump 117 through the exhaust line 117a so as to induce the discharge of the spray particles sprayed from the nozzle unit 120 downward.

상기 노즐부(120)는 코팅액이 분사되는 초음파노즐(121)과 에어가 분사되는 에어노즐(122)을 포함하는바, 상기 초음파노즐(121)에서 분사되는 코팅액은 상기 에어노즐(122)에서 분사되는 에어에 의해서 입자가 작은 무화상태의 분무입자로 전환되고, 무화된 분무입자는 상기 이동부(110a)를 따라 일방향으로 이동되는 기판의 표면상으로 분사되어 낙하되면서 일정속도로 일방향(코팅액 분무방향)으로 진행하는 기판(1)상에 일정두께의 코팅층을 형성하게 되는 것이다. The nozzle unit 120 includes an ultrasonic nozzle 121 for spraying a coating liquid and an air nozzle 122 for spraying air, and the coating liquid sprayed from the ultrasonic nozzle 121 is sprayed from the air nozzle 122. Particles are converted to atomized atomized particles by the air to be small, atomized atomized particles are sprayed onto the surface of the substrate to be moved in one direction along the moving part (110a) while falling in one direction at a constant speed (coating liquid spraying direction It is to form a coating layer of a predetermined thickness on the substrate (1) to proceed to).

상기 초음파노즐(121)과 에어노즐(122)은 노즐브라켓(123)에 서로 인접하도록 설치되고, 상기 초음파노즐(121)의 토출단인 끝단까지 공급된 코팅액은 초음파 제너레이터에 의해서 발생하는 모세관파에 의해서 일정크기의 무화된 분무입자로 전환된 다음, 상기 에어노즐(122)의 노즐끝단에서 분사되는 유체흐름에 의해서 기판상으로 낙하되도록 분무되는 것이다. The ultrasonic nozzle 121 and the air nozzle 122 are installed adjacent to each other in the nozzle bracket 123, the coating liquid supplied to the end of the discharge nozzle of the ultrasonic nozzle 121 is applied to the capillary wave generated by the ultrasonic generator It is converted into atomized spray particles of a predetermined size, and then sprayed to fall onto the substrate by the fluid flow injected from the nozzle end of the air nozzle 122.

여기서, 상기 초음파노즐(121)과 에어노즐(122)이 설치되는 노즐브라켓(123)은 도 3에 도시한 바와 같이, 분무입자의 분산각도를 조절할 수 있도록 로타리모터와 같은 각도조절용 모터부재(124)의 구동축에 연결되고, 상기 각도조절용 모터부재(124)를 포함하는 노즐브라켓(123)은 일측면에 래치(125a)를 형성한 이동대(125)에 연결되고, 상기 래치(125a)는 상기 노즐부(120)와 기판(1)간의 상하간격을 조절할 수 있도록 리니어모터와 같은 높이조절용 모터부재(126)에 의해서 회전구동되는 피니언기어(126a)와 기어물림된다. Here, the nozzle bracket 123 in which the ultrasonic nozzle 121 and the air nozzle 122 are installed, as shown in Figure 3, to adjust the angle of dispersion of the spray particles, such as a rotary motor motor 124 for angle adjustment The nozzle bracket 123 is connected to the drive shaft of the), and includes the angle adjusting motor member 124 is connected to the movable table 125, the latch 125a is formed on one side, the latch 125a is It is meshed with a pinion gear 126a which is rotationally driven by a height adjusting motor member 126 such as a linear motor so as to adjust the vertical gap between the nozzle unit 120 and the substrate 1.

이에 따라, 상기 각도조절용 모터부재(124)와 높이조절용 모터부재(126)와 전기적으로 연결된 모터제어부(128)에서 제공되는 출력신호에 의해서 모터구동부(128a,128b)에 구동신호를 각각 인가함으로써 상기 각도조절용 모터부재(124)를 시계방향 또는 시계반대방향으로 일정각도 회전시킬 수 있기 때문에 수평한 기판에 대하여 노즐부(120)의 분사각도를 코팅특성에 맞추어 조절하고, 상기 높이조절용 모터부재(126)를 기판(1)에 대하여 일정높이 상승시키거나 하강시킬 수 있기 때문에 분무입자의 분사후 코팅층의 건조 초기반응이 일어나면서 나타날 수 있는 영향을 최소화할 수 있도록 상하높이를 조절한다. Accordingly, the driving signal is applied to the motor driving units 128a and 128b by an output signal provided from the motor control unit 128 electrically connected to the angle adjusting motor member 124 and the height adjusting motor member 126. Since the angle adjusting motor member 124 can be rotated at a predetermined angle in a clockwise or counterclockwise direction, the spray angle of the nozzle unit 120 is adjusted to a coating property with respect to a horizontal substrate, and the motor member 126 for adjusting the height is adjusted. ) Can be raised or lowered by a certain height relative to the substrate 1, and the vertical height is adjusted to minimize the effects that may occur during the initial reaction of the coating layer after spraying the spray particles.

여기서, 상기 노즐부(120)의 상하높이 조절은 모터구동방식으로 이루어지는 것으로 도시하고 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며 수동방식으로 높이조절될 수 있다.
Here, the height and height adjustment of the nozzle unit 120 is illustrated and described as being made of a motor driving method, but is not limited thereto, and the height may be adjusted manually.

상기 코팅액공급부(130)는 상기 노즐부(120)의 초음파노즐(121)과 코팅액공급라인(131)을 매개로 연결되어 일정온도로 가열된 코팅액을 상기 초음파노즐내로 균일하게 공급하는 것이다. The coating liquid supply unit 130 is uniformly supplied to the ultrasonic nozzle is connected to the ultrasonic nozzle 121 and the coating liquid supply line 131 of the nozzle unit 120 heated to a predetermined temperature.

이러한 코팅액공급라인(131)은 일정량의 코팅액이 저장되는 코팅액저장탱크(115)로부터 코팅액을 강제흡입할 수 있도록 코팅액흡입펌프(132)와 연결되고, 상기 코팅액저장탱크(115)의 내부에 배치되는 흡입단에는 코팅액에 포함된 이물질을 1차 제거할 수 있도록 10㎛의 구멍크기를 갖는 다공성 1차 코팅액필터(131a)를 구비한다. The coating liquid supply line 131 is connected to the coating liquid suction pump 132 to forcibly suck the coating liquid from the coating liquid storage tank 115 in which a predetermined amount of the coating liquid is stored, and is disposed inside the coating liquid storage tank 115. The suction end is provided with a porous primary coating liquid filter 131a having a pore size of 10 μm so as to first remove foreign substances contained in the coating liquid.

또한, 상기 코팅액공급라인(131)에는 상기 코팅액흡입펌프(132)로부터 노출되는 코팅액에 포함딘 이물질을 2차 제거할 수 있도록 2㎛의 구멍크기를 갖는 다공성 2차 코팅액필터(131b)를 구비하고, 상기 코팅액공급라인(131)을 통하여 초음파노즐(121)내로 공급되기 전에 코팅액에 포함된 기포를 제거함으로 불균일한 분사를 방지할 수 있도록 버블트랩(134)을 구비한다. In addition, the coating liquid supply line 131 is provided with a porous secondary coating liquid filter (131b) having a pore size of 2 ㎛ to remove the foreign matter contained in the coating liquid exposed from the coating liquid suction pump 132 secondary In addition, a bubble trap 134 is provided to prevent non-uniform spraying by removing bubbles contained in the coating liquid before being supplied into the ultrasonic nozzle 121 through the coating liquid supply line 131.

이와 더불어, 상기 코팅액공급라인(131)의 길이중간에는 이를 통하여 상기 초음파노즐(121)내로 공급되는 코팅액을 가열하는 온도를 조절하여 코팅액온도를 가변시킴으로써 상기 초음파노즐로부터 분사되는 분무입자의 점도 및 표면장력을 변화시켜 코팅특성을 가변시킬 수 있도록 코팅액가열부(133)를 구비한다. In addition, the viscosity and the surface of the spray particles sprayed from the ultrasonic nozzle by varying the coating liquid temperature by controlling the temperature of heating the coating liquid supplied into the ultrasonic nozzle 121 through the middle of the length of the coating liquid supply line 131 It is provided with a coating liquid heating unit 133 to change the tension to change the coating properties.

이러한 코팅액가열부(133)는 도 4에 도시한 바와 같이, 상기 코팅액공급라인(131)이 통과하는 코팅액가열블록(133a)과, 전원인가시 열전도성 금속소재로 이루어진 코팅액가열블록(133a)을 가열하도록 상기 코팅액가열블록(133a)에 삽입배치되는 적어도 하나의 열전대(133b)와, 상기 열전대에 의해서 가열되는 코팅액가열블록의 온도를 측정하는 센서(133c)로부터 수신되는 온도값을 근거로 하여 상기 코팅액가열블록(133a)을 가열하는 온도를 제어하는 온도제어부(133d)를 포함한다. The coating liquid heating unit 133 is a coating liquid heating block 133a through which the coating liquid supply line 131 passes, and a coating liquid heating block 133a made of a thermally conductive metal material when power is applied. On the basis of the temperature value received from the sensor 133c for measuring the temperature of the at least one thermocouple 133b inserted into the coating liquid heating block 133a to be heated and the coating liquid heating block heated by the thermocouple. It includes a temperature control unit 133d for controlling the temperature for heating the coating liquid heating block (133a).

이에 따라, 상기 코팅액가열블록(133a)에 관통배치된 코팅액공급라인(131)을 통과하는 코팅액은 상기 열전대(133b)에 의해서 일정온도로 가열된 코팅액가열블록(133a)으로부터 전도되는 열원에 의해 가열된 다음 상기 초음파노즐(121)의 내부로 공급되어 토출되는 것이다. Accordingly, the coating liquid passing through the coating liquid supply line 131 disposed through the coating liquid heating block 133a is heated by a heat source conducted from the coating liquid heating block 133a heated to a predetermined temperature by the thermocouple 133b. Then, it is supplied to the inside of the ultrasonic nozzle 121 and is discharged.

여기서, 상기 코팅액가열부(133)는 상기 초음파노즐내로 공급되는 동안 가열된 코팅액의 온도가 저하되는 열손실을 최소화하도록 상기 초음파노즐과 최대한 근접하게 설치되는 것이 바람직하며, 상기 코팅액의 가열시 발생하는 기포를 제거할 수 있도록 상기 버블트랩(134)의 입구단에 설치되는 것이 바람직하다. Here, the coating liquid heating unit 133 is preferably installed as close as possible to the ultrasonic nozzle so as to minimize the heat loss that the temperature of the heated coating liquid is lowered while being supplied into the ultrasonic nozzle, It is preferable to be installed at the inlet end of the bubble trap 134 to remove bubbles.

또한,상기 코팅액가열부(133)에 의해서 가열되는 코팅액은 상기 챔버의 내부공간으로 분무입자로 분사된 후 내부분위기 온도와의 온도차이에 의한 대류현상을 방지하고, 코팅대상물인 기판의 표면온도차이에 의한 박리현상을 방지할 수 있도록 상기 챔버의 내부분위기 또는 기판의 표면온도가 대략 유사한 온도로 가열되는 것이 바람직하다.
In addition, the coating liquid heated by the coating liquid heating unit 133 is sprayed into the spray particles into the interior space of the chamber to prevent convection caused by the temperature difference with the internal atmosphere temperature, the surface temperature difference of the substrate to be coated It is preferable that the surface temperature of the inner atmosphere of the chamber or the surface of the substrate is heated to a substantially similar temperature so as to prevent the peeling phenomenon by the.

상기 에어공급부(140)는 상기 에어노즐(122)과 에어공급라인(141)을 매개로 하여 연결되어 일정온도로 가열된 에어를 에어노즐(122)내로 균일하게 공급하는 것이다. The air supply unit 140 is connected through the air nozzle 122 and the air supply line 141 to uniformly supply the air heated at a predetermined temperature into the air nozzle 122.

이러한 에어공급부(140)는 외부로부터 에어를 공급하는 에어공급장치(142)와 연결되어 상기 에어노즐(122)측으로 공급되는 에어공급량을 균일하게 제어하도록 레귤레이터(143)를 구비하고, 에어공급량을 측정하는 유량계(144)를 구비하는 한편, 상기 에어에 포함된 이물질을 제거할 수 있도록 0.01㎛의 구멍크기를 갖는 다공성 에어필터(145)를 구비한다. The air supply unit 140 is connected to the air supply device 142 for supplying air from the outside, provided with a regulator 143 to uniformly control the air supply amount supplied to the air nozzle 122 side, and measures the air supply amount While having a flow meter 144, it is provided with a porous air filter 145 having a pore size of 0.01㎛ to remove the foreign matter contained in the air.

또한, 상기 에어공급라인(141)의 길이중간에는 이를 통하여 상기 에어노즐(122)내로 공급되는 에어를 가열처리된 코팅액의 온도와 대략 같아지도록 가열함으로써 분무초기시 분무입자의 건조반응을 최소화하도록 에어가열부(146)를 구비한다. In addition, by heating the air supplied into the air nozzle 122 through the middle of the length of the air supply line 141 to be approximately equal to the temperature of the heat-treated coating liquid to minimize the drying reaction of the spray particles during the initial spraying The heating part 146 is provided.

이러한 에어가열부(146)는 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 에어공급라인(141)과 연결된 입구단(146b)을 통해 유입되는 에어가 채워지는 일정크기의 내부공간을 구비하고 가열된 에어가 배출되도록 에어공급라인(141)과 연결되는 출구단(146c)을 갖는 에어가열블록(146a)과, 전원인가시 열전도성 금속소재로 이루어진 에어가열블록(146a)을 가열하도록 상기 에어가열블록(146a)에 삽입배치되는 적어도 하나의 열전대(146d)와, 상기 열전대(146d)에 의해서 가열되는 에어가열블록(146d)의 온도를 측정하는 센서(146e)로부터 수신되는 온도값을 근거로 하여 상기 에어가열블록(146a)을 가열하는 온도를 제어하는 온도제어부(146f)를 포함한다. As shown in FIG. 5, the air heating unit 146 has a predetermined size of inner space in which air flowing through the inlet end 146b connected to the air supply line 141 is filled and heated air is The air heating block 146a having an outlet end 146c connected to the air supply line 141 to be discharged, and the air heating block 146a to heat the air heating block 146a made of a thermally conductive metal material when the power is applied. The air heating based on the temperature value received from the sensor 146e for measuring the temperature of the at least one thermocouple 146d inserted and disposed by the thermocouple 146d and the air heating block 146d heated by the thermocouple 146d. A temperature controller 146f for controlling the temperature of heating the block 146a.

이에 따라, 상기 에어가열블록(146a)의 내부공간으로 공급된 에어는 상기 열전대(146a)에 의해서 일정온도로 가열된 에어가열블록(146a)으로 부터 전되는 열원에 의해 가열된 다음 상기 에어노즐(122)의 내부로 공급되는 것이다. Accordingly, the air supplied to the internal space of the air heating block 146a is heated by a heat source transmitted from the air heating block 146a heated to a predetermined temperature by the thermocouple 146a and then the air nozzle ( 122 is supplied to the inside of.

여기서, 상기 에어가열부(146)는 상기 에어노즐내로 공급되는 동안 가열된 에어의 온도가 저하되는 것을 방지하도록 상기 에어노즐과 최대한 근접하게 설치되는 것이 바람직하며, 에어에 포함된 이물질을 제거하는 에어필터의 입구단에 설치되는 것이 바람직하다. Here, the air heating unit 146 is preferably installed as close as possible to the air nozzle to prevent the temperature of the heated air is lowered while being supplied into the air nozzle, the air to remove foreign matter contained in the air It is preferably installed at the inlet end of the filter.

또한, 상기 에어가열부(146)에 의해서 가열되는 에어는 상기 챔버의 내부공간으로 분사되는 분무입자가 에어와 접촉하면서 발생하는 건조반응을 최소화하기 위해서 상기 초음파노즐(122)내로 공급되는 코팅액의 온도와 동일한 온도를 갖도록 가열제어되는 것이 바람직하다.
In addition, the air heated by the air heating unit 146 is the temperature of the coating liquid supplied into the ultrasonic nozzle 122 in order to minimize the drying reaction generated when the spray particles are injected into the interior space of the chamber in contact with the air It is preferable that the heating control to have the same temperature as.

상기 미스트차단부(150)는 상기 기판(1)과 노즐부(120)사이에 상기 기판(1)과 일정간격을 두고 이격되는 차단판(151)을 갖추어 상기 노즐부(120)로부터 무화되어 상기 기판의 진행방향으로 분사되는 분무입자(M) 중 상기 기판(1)의 진행반대방향으로 흐르는 분무입자(M1)가 기판의 표면에 낙하되지 않도록 차단하는 것이다.The mist blocking unit 150 is provided with a blocking plate 151 spaced apart from the substrate 1 at a predetermined interval between the substrate 1 and the nozzle unit 120 to be atomized from the nozzle unit 120 Among the spray particles M sprayed in the advancing direction of the substrate, the spray particles M1 flowing in the opposite direction of the advancing direction of the substrate 1 are blocked from falling onto the surface of the substrate.

이러한 차단판(151)은 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 초음파노즐(121)의 토출단 직하부에 배치되는 위치를 가변할 수 있도록 상기 이동부(110a)의 회전롤(112)이 설치되는 컨베이어프레임(119)에 활주이동가능하게 조립되는 이동브라켓(152)에 탑재된다. As shown in FIG. 6, the blocking plate 151 is provided with a rotary roll 112 of the moving part 110a so as to vary a position disposed under the discharge end of the ultrasonic nozzle 121. The conveyor frame 119 is mounted on the movable bracket 152 to be slidably movable.

상기 이동브라켓(152)은 모터부재, 실린더부재와 같은 구동원 또는 수동에 의해서 상기 컨베이어프레임을 따라 왕복이동되면서 상기 기판의 진행반대방향으로 낙하되는 분무입자(M1)를 차단하는 차단영역을 가변할 수 있는 것이다. The moving bracket 152 may vary a blocking area for blocking the spray particles M1 falling in the opposite direction of the substrate while reciprocating along the conveyor frame by a driving source such as a motor member, a cylinder member, or manually. It is.

또한, 상기 이동브라켓(152)이 설치되는 컨베이어프레임(119)에는 상기 노즐부(120)가 설치되는 고정포스트(129)를 기준으로 하여 상기 고정포스트(129)와 차단판(151)간의 거리(L)를 표시함으로써 작업자가 상기 차단판(151)의 이동위치를 간편하고 정확하게 확인할 수 있도록 눈금부(154)를 구비하는 것이 바람직하다. In addition, a distance between the fixed post 129 and the blocking plate 151 on the conveyor frame 119 in which the moving bracket 152 is installed, based on the fixed post 129 in which the nozzle unit 120 is installed. By displaying L), it is preferable to provide a scale 154 so that an operator can easily and accurately check the movement position of the blocking plate 151.

이에 따라, 상기 노즐부(120)에서 무화되어 분무되는 분무입자의 분사방향으로 기판(1)이 일정속도로 일방향 이동하는 동안 상기 기판의 표면상으로 낙하되는 분무입자(M)에 의해서 코팅층(1a)을 형성하는 코팅공정이 이루어진다. Accordingly, the coating layer (1a) by the spray particles (M) falling on the surface of the substrate while the substrate 1 is moved in one direction at a constant speed in the spraying direction of the spray particles atomized and sprayed in the nozzle unit 120 Coating process is performed.

즉, 상기 노즐부(120)의 하부에 차단판(151)을 구비하지 않는 경우, 도 7(a)에 도시한 바와 같이, 상기 노즐부(120)로부터 기판의 진행방향으로 분사되는 대부분의 분무입자(M)는 기판(1)의 표면에 낙하되어 코팅층(1a)을 형성하지만 상기 기판의 진행반대방향으로 흘러 국부적으로 낙하하는 분무입자(M1)는 기판표면에 건조되면서 이후 분사되어 낙하되는 분무입자(M)에 의해서 형성되는 코팅층(1a)과 경계면을 형성하게 되어 기판의 코팅불량을 초래하였다. That is, when the blocking plate 151 is not provided below the nozzle unit 120, as shown in FIG. 7A, most of the sprays are sprayed from the nozzle unit 120 in the advancing direction of the substrate. Particles M fall on the surface of the substrate 1 to form a coating layer 1a, but spray particles M1 that flow locally in the opposite direction of the substrate and drop locally are sprayed onto the substrate surface and then sprayed and dropped Forming an interface with the coating layer (1a) formed by the particles (M) has caused a coating failure of the substrate.

그러나, 상기 노즐부의 하부에 차단판(151)을 구비하는 경우, 도 7(b)에 도시한 바와 같이, 상기 기판의 진행반대방향으로 흘러 낙하하는 분무입자(M1)는 기판상에 국부적으로 낙하되지 않고 차단되도록 차단판(151)상으로 낙하됨으로써 상기 차단판(151)을 통과하는 기판의 표면상에 코팅층(1a)을 일정두께로 균일하게 형성할 수 있는 것이다. However, when the blocking plate 151 is provided below the nozzle unit, as shown in FIG. 7 (b), the spray particles M1 flowing and falling in the opposite direction of travel of the substrate locally drop on the substrate. The coating layer 1a may be uniformly formed on the surface of the substrate passing through the blocking plate 151 at a predetermined thickness by falling onto the blocking plate 151 so as not to be blocked.

본 발명은 특정한 실시예에 관련하여 도시하고 설명하였지만, 이하의 특허청구범위에 의해 마련되는 본 발명의 정신이나 분야를 벗어나지 않는 한도 내에서 본 발명이 다양하게 개조 및 변화될 수 있다는 것을 당업계에서 통상의 지식을 가진 자는 용이하게 알 수 있음을 밝혀두고자 한다.While the invention has been shown and described with respect to particular embodiments, it will be understood that various changes and modifications can be made in the art without departing from the spirit or scope of the invention as set forth in the claims below. It will be appreciated that those skilled in the art can easily know.

110 : 본체부 110a : 이동부
110b : 챔버 112 : 회전롤
120 : 노즐부 121 : 초음파노즐
122 : 에어노즐 123 : 노즐브라켓
124 : 각도조절용 모터부재 126 : 높이조절용 모터부재
130 : 코팅액공급부 131 : 코팅액공급라인
132 : 흡입펌프 133 : 코팅액가열부
140 : 에어공급부 141 : 에어공급라인
146 : 에어가열부 150 : 미스트차단부
151 : 차단판 152 : 이동브라켓110: main body 110a: moving part
110b: chamber 112: rotary roll
120 nozzle part 121 ultrasonic nozzle
122: air nozzle 123: nozzle bracket
124: motor member for angle adjustment 126: motor member for height adjustment
130: coating liquid supply unit 131: coating liquid supply line
132: suction pump 133: coating liquid heating portion
140: air supply unit 141: air supply line
146: air heating unit 150: mist blocking unit
151: blocking plate 152: moving bracket

Claims (11)

기판의 표면에 코팅액을 일정두께로 균일하게 코팅하는 코팅장치에 있어서,
상기 기판을 일방향으로 이동시키는 이동부를 구비하고, 상기 이동부가 배치되는 내부공간을 갖는 챔버를 구비하는 본체부;
상기 이동부를 따라 기판이 이동하는 동안 상기 기판의 표면상으로 무화된 코팅액을 분사하도록 코팅액이 분사되는 초음파노즐과 에어가 분사되는 에어노즐을 구비하는 노즐부 ;
상기 초음파노즐과 코팅액공급라인을 매개로 연결되어 코팅액을 공급하는 코팅액공급부 ;
상기 에어노즐과 에어공급라인을 매개로 연결되어 에어를 공급하는 에어공급부 ; 및
상기 기판과 노즐부사이에 상기 기판과 일정간격을 두고 이격되는 차단판을 갖추어 상기 노즐부로부터 무화되어 상기 기판의 진행방향으로 분사되는 분무입자 중 상기 기판의 진행반대방향으로 흐르는 분무입자가 기판의 표면에 낙하되지 않도록 차단하는 미스트 차단부를 포함하고,
상기 코팅액공급라인은 길이중간에 상기 초음파노즐내로 공급되는 코팅액을 가열하는 코팅액가열부를 포함하고,
상기 코팅액가열부는 상기 코팅액공급라인이 통과하는 코팅액가열블록과, 전원인가시 열전도성 금속소재로 이루어진 코팅액가열블록을 가열하도록 상기 코팅액가열블록에 삽입배치되는 적어도 하나의 열전대와, 상기 열전대에 의해서 가열되는 코팅액가열블록의 온도를 측정하는 센서로부터 수신되는 온도값을 근거로 하여 상기 코팅액가열블록을 가열하는 온도를 제어하는 온도제어부를 포함함을 특징으로 하는 기판 코팅장치. In the coating device for uniformly coating the coating liquid to a predetermined thickness on the surface of the substrate,
A main body having a chamber having a moving part for moving the substrate in one direction and having an inner space in which the moving part is disposed;
A nozzle unit including an ultrasonic nozzle to which the coating liquid is sprayed and an air nozzle to which air is sprayed to spray the atomized coating liquid onto the surface of the substrate while the substrate moves along the moving unit;
A coating solution supply unit connected to the ultrasonic nozzle and a coating solution supply line to supply a coating solution;
An air supply unit connected to the air nozzle and an air supply line to supply air; And
Between the substrate and the nozzle unit is provided with a blocking plate spaced apart from the substrate at a predetermined interval, the spray particles flowing in the opposite direction of the substrate of the spray particles atomized from the nozzle unit and sprayed in the traveling direction of the substrate surface of the substrate It includes a mist blocker to block the fall on,
The coating liquid supply line includes a coating liquid heating unit for heating the coating liquid supplied into the ultrasonic nozzle in the middle of the length,
The coating liquid heating unit is a coating liquid heating block passing through the coating liquid supply line, at least one thermocouple inserted into the coating liquid heating block to heat the coating liquid heating block made of a thermally conductive metal material when the power is applied, and heated by the thermocouple And a temperature control unit controlling a temperature for heating the coating liquid heating block based on a temperature value received from a sensor measuring the temperature of the coating liquid heating block. 제1항에 있어서,
상기 챔버는 상기 노즐부에 공급되는 코팅액을 저장하는 코팅액저장탱크가 배치되는 하부공간과, 상기 기판이 이동되는 이동부가 배치되는 상부공간을 양분하도록 격벽부재를 구비하며, 상기 노즐부와 대응하는 격벽부재에는 일정깊이로 함몰형성된 함몰부를 구비하며, 상기 함몰부는 상기 노즐부에서 분사되는 분무입자를 하향 배출유도하도록 배기라인을 매개로 배기펌프와 연결됨을 특징으로 하는 기판 코팅장치. The method of claim 1,
The chamber includes a partition member for dividing a lower space in which a coating liquid storage tank for storing the coating liquid supplied to the nozzle part and an upper space in which a moving part to which the substrate is moved is disposed, and a partition wall corresponding to the nozzle part. The member is provided with a depression formed in a predetermined depth, the depression coating substrate, characterized in that connected to the exhaust pump via an exhaust line to induce the discharge of the spray particles injected from the nozzle portion downward. 제1항에 있어서,
상기 초음파노즐과 에어노즐이 설치되는 노즐브라켓은 분무입자의 분산각도를 조절할 수 있도록 각도조절용 모터부재의 구동축에 연결되고, 상기 각도조절용 모터부재를 포함하는 노즐브라켓은 일측면에 래치를 형성한 이동대에 연결되고, 상기 래치는 상기 노즐부와 기판간의 상하간격을 조절할 수 있도록 높이조절용 모터부재에 의해서 회전구동되는 피니언기어와 기어물림됨을 특징으로 하는 기판 코팅장치. The method of claim 1,
The nozzle bracket in which the ultrasonic nozzle and the air nozzle are installed is connected to the drive shaft of the angle adjusting motor member so as to adjust the dispersion angle of spray particles, and the nozzle bracket including the angle adjusting motor member has a latch formed on one side thereof. The latch is connected to the base, the substrate coating apparatus, characterized in that the gear is engaged with the pinion gear rotated by the height adjusting motor member to adjust the vertical gap between the nozzle portion and the substrate. 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 코팅액가열부는 상기 코팅액에 포함된 기포를 제거하도록 코팅액공급라인에 설치되는 버블트랩의 입구측에 설치됨을 특징으로 하는 기판 코팅장치. The method of claim 1,
The coating liquid heating unit substrate coating apparatus, characterized in that installed on the inlet side of the bubble trap installed in the coating liquid supply line to remove the bubbles contained in the coating liquid. 제1항에 있어서,
상기 코팅액가열부는 상기 챔버의 내부분위기 온도 또는 상기 기판의 표면온도와 일치되는 온도를 갖도록 코팅액을 가열제어함을 특징으로 하는 기판 코팅장치. The method of claim 1,
The coating liquid heating unit substrate coating apparatus, characterized in that the heating control the coating liquid to have a temperature that matches the temperature of the inner atmosphere of the chamber or the surface temperature of the substrate. 제1항에 있어서,
상기 에어공급라인은 길이중간에 상기 에어노즐내로 공급되는 에어를 가열하는 에어가열부를 포함하고,
상기 에어가열부는 상기 에어공급라인과 연결된 입구단을 통해 유입되는 에어가 채워지는 일정크기의 내부공간을 구비하고 가열된 에어가 배출되도록 에어공급라인과 연결되는 출구단을 갖는 에어가열블록과, 전원인가시 열전도성 금속소재로 이루어진 에어가열블록을 가열하도록 상기 에어가열블록에 삽입배치되는 적어도 하나의 열전대와, 상기 열전대에 의해서 가열되는 에어가열블록의 온도를 측정하는 센서로부터 수신되는 온도값을 근거로 하여 상기 에어가열블록을 가열하는 온도를 제어하는 온도제어부를 포함함을 특징으로 하는 기판 코팅장치. The method of claim 1,
The air supply line includes an air heating unit for heating the air supplied into the air nozzle in the middle of the length,
The air heating unit has an internal space of a predetermined size to fill the air flowing through the inlet end connected to the air supply line and the air heating block having an outlet end connected to the air supply line so that the heated air is discharged; At least one thermocouple inserted into the air heating block to heat the air heating block made of a thermally conductive metal material upon application, and a temperature value received from a sensor measuring the temperature of the air heating block heated by the thermocouple. Substrate coating apparatus characterized in that it comprises a temperature control unit for controlling the temperature for heating the air heating block. 제7항에 있어서,
상기 에어가열부는 에어에 포함된 이물질을 제거하도록 에어공급라인에 설치되는 에어필터의 입구측에 설치됨을 특징으로 하는 기판 코팅장치. The method of claim 7, wherein
The air heating unit substrate coating apparatus, characterized in that installed on the inlet side of the air filter is installed in the air supply line to remove the foreign matter contained in the air. 제7항에 있어서,
상기 에어가열부는 상기 초음파노즐내로 공급되는 코팅액의 온도와 동일한 온도를 갖도록 에어를 가열제어함을 특징으로 하는 기판 코팅장치. The method of claim 7, wherein
The air heating unit substrate coating apparatus, characterized in that for heating the air to have the same temperature as the temperature of the coating liquid supplied into the ultrasonic nozzle. 제1항에 있어서,
상기 차단판은 상기 초음파노즐의 토출단 하부에 배치되는 위치를 가변할 수 있도록 상기 이동부의 회전롤이 설치되는 컨베이어프레임에 활주이동가능하게 조립되는 이동브라켓에 탑재됨을 특징으로 하는 기판 코팅장치. The method of claim 1,
The blocking plate is a substrate coating apparatus, characterized in that mounted on the moving bracket is slidably assembled on the conveyor frame is installed in the rotary roll of the moving unit to vary the position disposed below the discharge end of the ultrasonic nozzle. 제10항에 있어서,
상기 컨베이어프레임에는 상기 차단판의 이동위치를 확인할 수 있도록 눈금부를 구비함을 특징으로 하는 기판 코팅장치. The method of claim 10,
The conveyor frame is a substrate coating apparatus, characterized in that provided with a scale so as to determine the moving position of the blocking plate.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150099728A (en) * 2012-12-27 2015-09-01 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하 Spray nozzle device and coating method
WO2023101864A1 (en) * 2021-11-30 2023-06-08 Corning Incorporated Spray coating apparatuses with turn nozzle assemblies and methods of coating glass objects

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101440309B1 (en) * 2013-05-06 2014-09-17 주식회사 노아닉스 Stents coating system capable of selecting nozzles
KR102054367B1 (en) 2013-05-06 2019-12-11 삼성디스플레이 주식회사 Apparatus for dispensing fluid
KR101522180B1 (en) * 2013-12-13 2015-05-21 주식회사 포스코 2 roll type coater roll coating device and coating method using the same
CN108672140A (en) * 2018-07-05 2018-10-19 林子涵 A kind of school's table tennis table table top spray-painting plant
KR102200487B1 (en) * 2019-12-04 2021-01-08 주식회사 에코셋 Filter press
CN115970992A (en) * 2022-12-09 2023-04-18 江阴纳力新材料科技有限公司 Coating module and coating machine
CN116748062A (en) * 2023-08-14 2023-09-15 广州南洋电缆集团有限公司 Non-contact corrosion inhibition passivating agent ultrasonic atomization coating device

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010062439A (en) * 1999-12-17 2001-07-07 히가시 데쓰로 Coating film and forming apparatus
KR20080046085A (en) * 2006-11-21 2008-05-26 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 Substrate processing apparatus and substrate processing method

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010062439A (en) * 1999-12-17 2001-07-07 히가시 데쓰로 Coating film and forming apparatus
KR20080046085A (en) * 2006-11-21 2008-05-26 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 Substrate processing apparatus and substrate processing method

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150099728A (en) * 2012-12-27 2015-09-01 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하 Spray nozzle device and coating method
KR102225076B1 (en) * 2012-12-27 2021-03-09 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하 Spray nozzle device and coating method
WO2023101864A1 (en) * 2021-11-30 2023-06-08 Corning Incorporated Spray coating apparatuses with turn nozzle assemblies and methods of coating glass objects

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