KR101139892B1 - 인시츄 가스분석기 교정시스템 - Google Patents
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Abstract
본 발명은, 일단에는 미리 설정된 농도의 표준 가스가 주입되는 주입구가 형성되며, 타단에는 표준 가스가 배출되는 배출구가 형성되고, 일단과 타단 사이의 표준 가스가 통과하는 내부 공간의 길이가 가변되는 제1 교정 셀과; 제1 교정 셀의 양단에 각각 형성되고, 제1 교정 셀의 가변되는 길이에 상응하여 내부 공간의 길이가 가변되는 제2 교정 셀과; 제1 교정 셀로 일정 파장의 광을 조사하는 광원, 및 광원에 의해 조사되어 제1 교정 셀을 통과한 광을 수광하여 제1 교정 셀의 표준 가스의 실제 농도를 측정하는 분광 유닛을 포함하는 인시츄 가스 분석기로 이루어지되, 제1 교정 셀의 가변 길이에 따라 가변되는 제1 교정 셀의 내부 공간의 표준 가스의 실제 농도와, 분광 유닛에 의해 측정되는 제1 교정 셀의 내부 공간의 표준 가스의 측정 농도를 비교하여, 분광 유닛의 분광 성능의 선형성을 교정하는 인시츄 가스분석기 교정시스템을 개시힌다. 본 발명에 의하면, 길이가 가변되는 셀을 통해서 실제 농도를 연속적으로 변경하여 인시츄 가스분석기에 의해서 측정되는 측정 농도와 비교하여 인시츄 가스분석기의 분광 성능의 선형성을 정밀하게 교정할 수 있다.
Description
본 발명은 인시츄 가스분석기의 분광 성능의 선형성을 교정하는 기술에 관한 것으로, 보다 상세하게는 교정 셀을 통과하는 표준 가스의 이론적인 실제 농도를 연속적으로 변경한 후 실험적으로 측정된 표준 가스의 측정 농도와 비교 분석하여 인시츄 가스분석기의 분광 성능의 선형성을 정밀하게 교정할 수 있는 인시츄 가스분석기 교정시스템에 관한 것이다.
주지하는 바와 같이, 인시츄 가스 분석기는 산업용 스택(stack) 덕트(duct) 내부를 통과하여 외부로 배출되는 다양한 배출 가스의 성분 특성을 광학적으로 측정하고 분석하는 장치이다.
인시츄 가스분석기에서, 장기간 사용시에도 지속적으로 정교하게 배출 가스의 성분 특성을 분석하기 위해서는 인시츄 가스분석기의 분광 유닛의 분광 성능의 선형성을 주기적으로 교정하여야 한다. 이러한 분광 유닛의 교정을 위해서, 교정 셀에 1/2, 1/4, 3/4, ......, 4/4의 농도로 표준 가스를 동일한 압력 하에 단계별로 주입하여 사용하고 있으나, 표준 가스의 실제 농도가 불연속적으로 변경되므로 교정 셀로 주입되는 표준 가스의 실험적인 농도가 불연속적으로 측정되고 분석된다. 이에 따라, 추후, 인시츄 가스분석기의 분광 유닛의 선형성에 기초한 스택 덕트 내부를 통과하는 배출 가스의 정밀한 측정 및 분석이 불가능하여 진다.
따라서, 교정 셀을 통과하는 표준 가스의 이론적인 실제 농도를 연속적으로 변경하여 실제 농도와 측정 농도 사이의 선형성을 용이하게 분석하고 정밀하게 교정할 수 있는 인시츄 가스분석기의 교정시스템의 연구 및 개발이 필요한 실정이다.
따라서, 본 발명은 상기한 종래의 제반 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 교정 셀을 통과하는 표준 가스의 이론적인 실제 농도를 연속적으로 변경한 후 실험적으로 측정된 표준 가스의 측정 농도와 비교 분석하여 인시츄 가스분석기의 분광 성능의 선형성을 신속하고 정밀하게 교정할 수 있는 인시츄 가스분석기 교정시스템을 제공함을 목적으로 한다.
상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 인시츄 가스 분석기의 선형성을 교정하는 교정 시스템에 있어서, 일단에는 미리 설정된 농도의 표준 가스가 주입되는 주입구가 형성되며, 타단에는 상기 표준 가스가 배출되는 배출구가 형성되고, 상기 일단과 상기 타단 사이의 상기 표준 가스가 통과하는 내부 공간의 길이가 가변되는 제1 교정 셀과; 상기 제1 교정 셀의 양단에 각각 형성되고, 상기 제1 교정 셀의 가변되는 길이에 상응하여 내부 공간의 길이가 가변되는 제2 교정 셀과; 상기 제1 교정 셀로 일정 파장의 광을 조사하는 광원, 및 상기 광원에 의해 조사되어 상기 제1 교정 셀을 통과한 광을 수광하여 상기 제1 교정 셀의 표준 가스의 실제 농도를 측정하는 분광 유닛을 포함하는 인시츄 가스 분석기로 이루어지되, 상기 표준 가스로는 이산화황, 이산화질소, 일산화질소 또는 암모니아가 상기 제1 교정 셀에 선택적으로 주입되고, 상기 제1 교정 셀의 가변 길이에 따라 가변되는 상기 제1 교정 셀의 내부 공간의 상기 표준 가스의 실제 농도와, 상기 분광 유닛에 의해 측정되는 상기 제1 교정 셀의 내부 공간의 상기 표준 가스의 측정 농도를 비교하여, 상기 분광 유닛의 분광 성능의 선형성을 교정하는 인시츄 가스분석기 교정시스템을 제공한다.
본 발명에 따른 인시츄 가스분석기 교정시스템에 있어서, 상기 분광 유닛은 상기 광원에 의해 조사되어 상기 제1 교정 셀을 투과한 투과광으로부터 상기 표준 가스의 측정 농도를 측정할 수 있다.
본 발명에 따른 인시츄 가스분석기 교정시스템에 있어서, 상기 제2 교정 셀의 종단에 형성되어 상기 광원에 의해 조사되어 상기 제1 교정 셀을 통과한 광을 상기 분광 유닛으로 반사하는 반사 유닛을 더 포함하고, 상기 분광 유닛은 상기 반사 유닛에 의해 반사된 반사광으로부터 상기 표준 가스의 실제 농도를 측정할 수 있다.
본 발명에 따른 인시츄 가스분석기 교정시스템에 있어서, 상기 제1 및 제2 교정 셀은 주름관 형상으로 각각 형성되며, 상기 제1 교정 셀의 양단 측부에는 가변 길이 방향으로 두 쌍의 가이드가 길게 형성되고, 상기 제1 교정 셀의 양단 상부에는 길이 조절구가 각각 형성되고, 상기 제1 및 제2 교정 셀의 길이 방향으로의 가변을 가이드하도록 내부에는 상기 가이드에 상응하는 가이드홈이 형성되고, 상부에는 상기 길이 조절구 사이의 이격 거리를 제시하는 눈금이 형성된 한 쌍의 가이드 프레임을 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 인시츄 가스분석기 교정시스템에 있어서, 상기 제1 교정 셀의 양단에는 평행하게 5˚로 경사진 윈도우가 형성되어 있고, 상기 윈도우에는 무반사코팅 처리되어 있을 수 있다.
본 발명에 따른 인시츄 가스분석기 교정시스템에 있어서, 상기 제1 교정 셀의 내부 공간의 온도를 일정하게 유지하는 항온 장치를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 의하면, 길이가 가변되는 교정 셀에 의해서, 교정 셀을 통과하는 표준 가스의 이론적인 실제 농도를 연속적으로 변경한 후 실험적으로 측정된 표준 가스의 측정 농도와 비교 분석하여 인시츄 가스분석기의 분광 성능의 선형성을 정밀하게 교정할 수 있는 효과가 있다.
또한, 표준 가스를 농도 단계별로 준비하여 주입하지 않고서도, 교정 셀을 통과하는 표준 가스의 실제 농도를 연속적으로 변경할 수 있으므로, 경제적으로 인시츄 가스분석기의 분광 성능의 선형성을 신속하게 교정할 수 있는 효과가 있다.
더 나아가, 인시츄 가스분석기의 배출 가스의 성분 특성의 장시간 측정 및 분석시, 분광 성능의 선형성이 저하되는 문제점을 신속하게 해결할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 의한 인시츄 가스분석기 교정시스템의 개략적인 개념도이다.
도 2는 도 1의 인시츄 가스분석기 교정시스템을 구현한 개략적인 구성도이다.
도 3은 도 2의 인시츄 가스분석기 교정시스템에 의해 표준 가스의 농도를 측정하는 실시예들을 예시하기 위한 것이다.
도 2는 도 1의 인시츄 가스분석기 교정시스템을 구현한 개략적인 구성도이다.
도 3은 도 2의 인시츄 가스분석기 교정시스템에 의해 표준 가스의 농도를 측정하는 실시예들을 예시하기 위한 것이다.
이하, 상기한 목적 달성을 위한 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 의한 인시츄 가스분석기 교정시스템의 개략적인 개념도이고, 도 2는 도 1의 인시츄 가스분석기 교정시스템을 구현한 개략적인 구성도이다. 여기서, 도 1의 (a)는 투과광에 의해 가스를 분석하는 인시츄 가스분석기 교정시스템이고, 도 1의 (b)는 반사광에 의해 가스를 분석하는 인시츄 가스분석기 교정시스템이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 의한 인시츄 가스분석기 교정시스템(100)은, 제1 교정 셀(110)과, 제2 교정 셀(120A,120B)과, 인시츄 가스분석기(130)로 이루어진다.
우선, 제1 교정 셀(calibrating cell)(110)은 미리 설정된 일정 농도의 표준 가스가 통과하는 내부 공간을 제공하고, 후술하는 인시츄 가스분석기(130)의 광원(131)으로부터의 광이 제1 교정 셀(110)로 주입된 표준 가스를 투과한다. 예컨대, 제1 교정 셀(110)의 일단에는 일정한 압력하에 미리 설정된 농도의 표준 가스가 주입되는 주입구(111)가 형성되며, 제1 교정 셀(110)의 타단에는 표준 가스가 배출되는 배출구(112)가 형성되고, 제1 교정 셀(110)의 일단과 타단 사이의 표준 가스가 통과하는 내부 공간의 길이는 가변될 수 있다. 여기서, 제1 교정 셀(110)의 길이가 가변되면, 주입구(111)로 주입되는 표준 가스의 이론적인 농도가 가변되는데, 제1 교정 셀(110)의 길이가 상대적으로 길어지면, 주입구(111)로 주입되는 표준 가스의 농도가 증가하고, 제1 교정 셀(110)의 길이가 상대적으로 짧아지면, 주입구(111)로 주입되는 표준 가스의 농도가 감소한다. 한편, 제1 교정 셀(110)로 공급되는 표준 가스로는 이산화황(SO2), 이산화질소(NO2), 일산화질소(NO) 또는 암모니아(NH3)가 선택적으로 사용될 수 있다.
한편, 제1 교정 셀(110)의 주입구(111)로 동일한 농도 및 동일한 압력의 표준 가스가 주입되어 배출구(112)로 배출되면, 제1 교정 셀(110)의 가변 길이에 따른 표준 가스의 실제 농도는 다음의 수학식 1에 의해 이론적으로 결정될 수 있다.
여기서, C는 제1 교정 셀(110)의 주입구(111)로 주입되는 표준 가스의 농도이며, L은 제1 및 제2 교정 셀(110,120A,120B)의 고정된 길이이며, L'는 제1 교정 셀(110)의 가변된 길이고, C'는 제1 교정 셀(110)의 가변된 길이에 따라 가변된 표준 가스의 이론적인 실제 농도이다. 여기서, 동일한 온도 및 동일한 압력이 전제된다(도 3 참조).
제2 교정 셀(120A,120B)은 제1 교정 셀(110)의 양단에 각각 인접하여 결합 형성되고, 내부 공간에는 질소 기체 또는 공기 펌프(air pump)에 의해 대기(atmosphere)가 주입되어 충진될 수 있다. 여기서, 질소 기체 또는 대기는 제2 교정 셀(120A,120B)의 내부 공간으로 연통되도록 외측면에 형성되는 유입구(in-let)(121) 및 배출구(out-let)(122)를 통해서 주입되어 충진되거나 외부로 배출될 수 있다.
또한, 제2 교정 셀(120A,120B)은 제1 교정 셀(110)의 가변되는 길이에 상응하여 내부 공간의 길이가 가변된다. 예컨대, 제1 교정 셀(110)의 길이가 상대적으로 길어지면 제2 교정 셀(120A,120B)의 길이는 상대적으로 짧아지고, 제1 교정 셀(110)의 길이가 상대적으로 짧아지면 제2 교정 셀(120A,120B)의 길이는 상대적으로 길어진다. 즉, 제1 및 제2 교정 셀(120A,120B)의 전체 길이(L)는 일정하도록, 제1 및 제2 교정 셀(120A,120B)의 길이가 각각 상대적으로 변하게 된다.
인시츄 가스분석기(In-Situ Stack Gas Analyzer)(130)는 제1 교정 셀(110)로 일정 파장의 광을 조사하는 광원(131), 및 광원(131)에 의해 조사되어 제1 교정 셀(110)을 통과한 광을 수광하여 제1 교정 셀(110)의 표준 가스의 실험적인 농도를 측정하는 분광 유닛(132)을 포함한다. 즉, 인시츄 가스분석기(130)는 광원이 통과하는 표준 가스의 성분을 분석하여 표준 가스의 농도를 실험적으로 측정한다. 여기서, 광원(131)으로부터 조사되는 광은 자외선, 가시광선 또는 적외선일 수 있다. 또한, 분광 유닛(132)은 표준 가스를 통과하여 입사되는 광으로부터 파장 대비 광 세기의 변화를 감지하여 광이 통과하는 표준 가스의 성분 농도를 정교하게 측정하고 분석한다.
한편, 주지하는 바와 같이, 특정 파장의 광, 본 실시예에서는 자외선, 가시광선 또는 적외선이 표준 가스의 기체 분자를 통과하면, 표준 가스의 기체 분자는 광의 에너지를 흡수하여 여기되고(excited) 이에 따라 표준 가스의 기체 분자를 통과한 광은 광 세기의 변화를 일으키게 된다. 따라서, Beer-Lambert 법칙에 의해서, 분광 유닛(132)은 표준 가스의 성분 농도에 따른 광 세기의 변화를 통해서 제1 교정 셀(110)을 통과하는 표준 가스의 성분 특성을 정교하게 분석할 수 있다.
따라서, 전술한 바와 같은 구성에 의한 인시츄 가스분석기 교정시스템(100)은 제1 교정 셀(110)의 가변 길이에 따라 가변되는 제1 교정 셀(110)의 내부 공간의 표준 가스의 이론적인 실제 농도와, 분광 유닛(132)에 의해 측정되는 제1 교정 셀(110)의 내부 공간의 표준 가스의 실험적인 측정 농도를 비교하여, 분광 유닛(132)의 분광 성능의 선형성(linearity)을 정밀하게 교정한다. 예컨대, 제1 교정 셀(110)의 길이를 연속적으로 가변시켜 표준 가스의 실제 농도를 이론적으로 가변시키고, 실제 농도가 가변된 표준 가스의 농도를 분광 유닛(132)에 의해 실험적으로 측정한 후, 표준 가스의 실제 농도와 측정 농도를 비교 분석하여 이를 기초로 하여 인시츄 가스분석기(130)의 분광 성능의 선형성을 정밀하게 교정할 수 있다.
한편, 인시츄 가스분석기 교정시스템(100)은 제1 교정 셀(110)의 내부 공간의 온도를 일정하게 유지하는 항온 장치(미도시)를 더 포함할 수 있다. 여기서, 표준 가스가 통과하는 제1 교정 셀(110)의 내부 공간의 온도를 일정하게 유지하여야 인시츄 가스분석기(130)의 분광 성능의 선형성을 신뢰도를 가지고 정밀하게 교정할 수 있으므로, 인시츄 가스분석기 교정시스템(100)은 항온 장치를 필요로 한다.
한편, 도 2를 참조하면, 제1 및 제2 교정 셀(110,120)은 길이가 가변될 수 있는 원통 형상의 주름관 형상으로 각각 형성되며, 제1 교정 셀(110)의 양단 측부에는 가변 길이 방향으로 두 쌍의 가이드(113)가 길게 형성되고, 제1 교정 셀(110)의 양단 상부에는 길이 조절구(114)가 각각 형성된다. 한편, 인시츄 가스분석기 교정시스템(100)은, 제1 및 제2 교정 셀(110,120)의 길이 방향으로의 가변을 가이드하도록 내부에는 제1 교정 셀(110)의 가이드(113)에 상응하는 가이드홈(141)이 형성되고, 상부에는 제1 교정 셀(110)의 길이 조절구(114) 사이의 이격 거리를 제시하는 눈금(142)이 형성된 한 쌍의 가이드 프레임(140)을 더 포함할 수 있다. 예컨대, 길이 조절구(114)에 의해 제1 교정 셀(110)의 길이가 눈금(142)을 통해서 정확하고 정밀하게 가변되어 표준 가스의 실제 농도가 정밀하고 연속적으로 가변될 수 있다. 즉, 제1 교정 셀(110)은 가이드 프레임(140)에 의해 가이드되어 제1 교정 셀(110)의 길이가 연속적이고 정밀하게 가변될 수 있고, 제1 교정 셀(110)을 통과하는 표준 가스의 실제 농도가 연속적이고 정밀하게 가변되어 조절될 수 있다.
한편, 제1 교정 셀(110)의 양단에는 윈도우(115)가 형성되어 있을 수 있고, 윈도우(115)에는 무반사코팅 처리되어 있을 수 있다. 여기서, 후술하는 반사 유닛(115)을 포함하는 인시츄 가스분석기 교정시스템에서, 윈도우(115)는 투과광 또는 반사광의 진행 방향에 대하여 5˚로 경사져 형성되어서 반사 유닛(115)에 의해 반사된 반사광이 분광 유닛(132)으로 직접 입사되는 것을 차단할 수 있고, 반사 유닛(115)을 포함하지 않는 인시츄 가스분석기 교정시스템에서는 윈도우(115)의 5˚ 경사는 선택적일 수 있다.
도 3은 도 2의 인시츄 가스분석기 교정시스템에 의해 표준 가스의 농도를 측정하는 실시예들을 예시하기 위한 것이다.
우선, 도 1의 (a)에 도시된 바와 같이, 제1 실시예에 의한 인시츄 가스분석기 교정시스템(100)에서, 인시츄 가스분석기(130)의 광원(131)과 분광 유닛(132)은 제1 교정 셀(110)의 양단에 인접하여 대향하는 제2 교정 셀(120A,120B)의 종단에 분리 형성되어서, 인시츄 가스분석기(130)의 분광 유닛(132)은 광원(131)에 의해 조사되어 제1 교정 셀(110)을 투과한 투과광으로부터 표준 가스의 측정 농도를 측정할 수 있다. 즉, 제2 교정 셀(120A)과 제2 교정 셀(120B)은 제1 교정 셀(110)에 대향하여 형성된다. 한편, 제1 교정 셀(110)의 양단에 형성되는 윈도우(115)는 투과광의 진행 방향에 대하여 선택적으로 5˚경사져 형성될 수 있다.
다음, 도 1의 (b)에 도시된 바와 같이, 제2 실시예에 의한 인시츄 가스분석기 교정시스템(100)에서, 인시츄 가스분석기(130)의 광원(131)과 분광 유닛(132)은 동일한 제2 교정 셀(120A 또는 120B)의 종단에 형성되고, 예컨대, 제2 교정 셀(120A 또는 120B)의 종단에는 광원(131)에 의해 조사되어 제1 교정 셀(110)을 통과한 광을 제1 교정 셀(110)을 재통과하여 분광 유닛(132)으로 반사하는 반사 유닛(115)이 형성될 수 있다. 분광 유닛(132)은 반사 유닛(115)에 의해 반사된 반사광으로부터 표준 가스의 실제 농도를 측정할 수 있다. 한편, 제1 교정 셀(110)의 양단에 형성되는 윈도우(115)는 반사광의 진행 방향에 대하여 5˚경사져 형성되어서, 반사 유닛(115)에 의해 반사된 반사광이 분광 유닛(132)으로 직접 입사되는 것을 차단한다.
따라서, 전술한 제1 및 제2 실시예에 의한 인시츄 가스분석기 교정시스템(100)에 의해서, 길이가 가변되는 제1 교정 셀(110)을 통해서 표준 가스의 실제 농도를 연속적으로 변경하고, 변경된 표준 가스의 실제 농도를 인시츄 가스분석기(130)에 의해 측정함으로써, 실제 농도와 측정 농도와 비교하여 인시츄 가스분석기(130)의 분광 성능의 선형성을 신속하고 정밀하게 교정할 수 있다. 또한, 인시츄 가스분석기(130)의 배출 가스의 성분 특성의 장시간 측정 및 분석시, 분광 성능의 선형성이 저하되는 문제점을 신속하게 해결할 수 있다.
전술한 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 설정된 용어들로서 이는 생산자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있으므로, 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. 또한, 본 발명의 실시예를 설명함에 있어 첨부된 도면을 참조하여 특정 형상과 구조를 갖는 인시츄 가스분석기 교정시스템에 대해 설명하였으나, 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 보호범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다.
100 : 인시츄 가스분석기 교정 시스템 110 : 제1 교정 셀
111 : 주입구 112 : 배출구
113 : 가이드 114 : 길이 조절구
115 : 윈도우 120A,120B : 제2 교정 셀
121 : 유입구 122 : 배출구
130 : 인시츄 가스분석기 131 : 광원
132 : 분광 유닛 140 : 가이드 프레임
141 : 가이드홈 142 : 눈금
111 : 주입구 112 : 배출구
113 : 가이드 114 : 길이 조절구
115 : 윈도우 120A,120B : 제2 교정 셀
121 : 유입구 122 : 배출구
130 : 인시츄 가스분석기 131 : 광원
132 : 분광 유닛 140 : 가이드 프레임
141 : 가이드홈 142 : 눈금
Claims (6)
- 인시츄 가스 분석기의 선형성을 교정하는 교정 시스템에 있어서,
일단에는 미리 설정된 농도의 표준 가스가 주입되는 주입구가 형성되며, 타단에는 상기 표준 가스가 배출되는 배출구가 형성되고, 상기 일단과 상기 타단 사이의 상기 표준 가스가 통과하는 내부 공간의 길이가 가변되는 제1 교정 셀과;
상기 제1 교정 셀의 양단에 각각 형성되고, 상기 제1 교정 셀의 가변되는 길이에 상응하여 내부 공간의 길이가 가변되는 제2 교정 셀과;
상기 제1 교정 셀로 일정 파장의 광을 조사하는 광원, 및 상기 광원에 의해 조사되어 상기 제1 교정 셀을 통과한 광을 수광하여 상기 제1 교정 셀의 표준 가스의 실제 농도를 측정하는 분광 유닛을 포함하는 인시츄 가스 분석기로 이루어지되,
상기 표준 가스로는 이산화황, 이산화질소, 일산화질소 또는 암모니아가 상기 제1 교정 셀에 선택적으로 주입되고,
상기 제1 교정 셀의 가변 길이에 따라 가변되는 상기 제1 교정 셀의 내부 공간의 상기 표준 가스의 실제 농도와, 상기 분광 유닛에 의해 측정되는 상기 제1 교정 셀의 내부 공간의 상기 표준 가스의 측정 농도를 비교하여, 상기 분광 유닛의 분광 성능의 선형성을 교정하는 인시츄 가스분석기 교정시스템. - 청구항 1에 있어서,
상기 분광 유닛은 상기 광원에 의해 조사되어 상기 제1 교정 셀을 투과한 투과광으로부터 상기 표준 가스의 측정 농도를 측정하는 인시츄 가스분석기 교정시스템. - 청구항 1에 있어서,
상기 제2 교정 셀의 종단에 형성되어 상기 광원에 의해 조사되어 상기 제1 교정 셀을 통과한 광을 상기 분광 유닛으로 반사하는 반사 유닛을 더 포함하고,
상기 분광 유닛은 상기 반사 유닛에 의해 반사된 반사광으로부터 상기 표준 가스의 실제 농도를 측정하는 것을 특징으로 하는 인시츄 가스분석기 교정시스템. - 청구항 1에 있어서,
상기 제1 및 제2 교정 셀은 주름관 형상으로 각각 형성되며, 상기 제1 교정 셀의 양단 측부에는 가변 길이 방향으로 두 쌍의 가이드가 길게 형성되고, 상기 제1 교정 셀의 양단 상부에는 길이 조절구가 각각 형성되고,
상기 제1 및 제2 교정 셀의 길이 방향으로의 가변을 가이드하도록 내부에는 상기 가이드에 상응하는 가이드홈이 형성되고, 상부에는 상기 길이 조절구 사이의 이격 거리를 제시하는 눈금이 형성된 한 쌍의 가이드 프레임을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인시츄 가스분석기 교정시스템. - 청구항 4에 있어서,
상기 제1 교정 셀의 양단에는 평행하게 5˚로 경사진 윈도우가 형성되어 있고, 상기 윈도우에는 무반사코팅 처리되어 있는 것을 특징으로 하는 인시츄 가스분석기 교정시스템. - 청구항 1에 있어서,
상기 제1 교정 셀의 내부 공간의 온도를 일정하게 유지하는 항온 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인시츄 가스분석기 교정시스템.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020100045440A KR101139892B1 (ko) | 2010-05-14 | 2010-05-14 | 인시츄 가스분석기 교정시스템 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020100045440A KR101139892B1 (ko) | 2010-05-14 | 2010-05-14 | 인시츄 가스분석기 교정시스템 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20110125843A KR20110125843A (ko) | 2011-11-22 |
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Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020100045440A KR101139892B1 (ko) | 2010-05-14 | 2010-05-14 | 인시츄 가스분석기 교정시스템 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR101139892B1 (ko) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101487226B1 (ko) * | 2013-04-18 | 2015-02-02 | 한국표준과학연구원 | 대기중 오존 측정을 위한 표준 교정 방법 및 표준 교정 장치 |
| KR101879614B1 (ko) * | 2018-04-26 | 2018-07-18 | 동우옵트론 주식회사 | 광학식 가스 측정기의 기준값 설정 및 측정값 보정장치 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003532888A (ja) | 2000-05-12 | 2003-11-05 | エージーリサーチ リミテッド | 分光光度計からのデータを処理する方法 |
| JP2006329913A (ja) | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Yokogawa Electric Corp | 赤外線ガス分析計 |
| KR20070089197A (ko) * | 2004-11-22 | 2007-08-30 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 배치 처리 챔버를 사용한 기판 처리 기기 |
| JP2011043494A (ja) | 2009-07-08 | 2011-03-03 | Varian Spa | ガス採取装置、およびそれを使用したガス分析器 |
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2010
- 2010-05-14 KR KR1020100045440A patent/KR101139892B1/ko active IP Right Grant
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2011043494A (ja) | 2009-07-08 | 2011-03-03 | Varian Spa | ガス採取装置、およびそれを使用したガス分析器 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20110125843A (ko) | 2011-11-22 |
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