KR101136931B1 - Table module of x-ray analysis apparatus - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A table module for an analysis apparatus using X-ray is provided to grasp the structure of samples having various characters and shapes by the rotational movement, vertical movement, and tilting of a table. CONSTITUTION: A table module for an analysis apparatus using X-ray comprises an X-ray generator(100), a detector(200), and a base frame(400). The X-ray generator emits X-rays to the sample. The detector detects X-rays scattered from the sample. The base frame comprises a back frame and an under frame. The back frame supports the X-ray generator and the detector.

Description

Ｘ선을 이용한 분석 기구의 테이블 모듈{TABLE MODULE OF X-RAY ANALYSIS APPARATUS}TABLE MODULE OF X-RAY ANALYSIS APPARATUS}

본 발명은 X선을 이용한 분석 기구의 테이블 모듈에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 다양한 특성을 가진 샘플의 구조에 대응하여 분석이 가능하도록 샘플의 위치를 다양하게 가변할 수 있는 구조를 가진 X선을 이용한 분석 기구의 테이블 모듈에 관한 것이다.
The present invention relates to a table module of an analysis instrument using X-rays, and more particularly to an X-ray having a structure that can vary the position of the sample so that the analysis can be made corresponding to the structure of the sample having various characteristics. The table module of the analysis instrument used.

X선을 이용한 물질 분석 방법은 X선 반사 분석법(XRR), 소각 X선 산란법(SAXS) 및 X선 회절 분석법(XRD) 등으로 구분된다.The material analysis method using X-rays is classified into X-ray reflection analysis (XRR), small angle X-ray scattering method (SAXS), X-ray diffraction analysis (XRD) and the like.

X선 반사 분석법(XRR)과 소각 X선 산란법(SAXS)은 주로 기판에 증착된 박막 층의 두께, 밀도 및 표면 특성을 분석하기 위한 기술로 사용된다.X-ray reflection analysis (XRR) and small angle X-ray scattering (SAXS) are mainly used as techniques for analyzing the thickness, density and surface properties of thin film layers deposited on substrates.

X선 회절 분석법(XRD)은 시료의 결정 구조를 연구하기 위한 기술로서, 시료는 단색의 X선으로 조사되고, 회절 피크의 위차와 광도가 검출기에 의해 측정된다. 특징적인 산란각과 산란광의 광도는 연구 대상 시료의 격자면과 이러한 격자면을 차지하는 원자수에 좌우되는데, 소정이 파장(λ) 및 격자면의 간격(d)에 대하여, X선이 브래그 조건(nλ=sdsinθ, n:산란차수)을 만족하는 각(θ)으로 격자면에 입사한다. 응력, 고용체 또는 기타 조건에 의한 격자면의 변형에 의해 관창 가능한 XRD스펙트럼의 변화가 일어나므로 시료의 구조를 파악할 수 있는 것이다.X-ray diffraction analysis (XRD) is a technique for studying the crystal structure of the sample, the sample is irradiated with a monochromatic X-ray, the difference and lightness of the diffraction peak is measured by the detector. The characteristic scattering angle and the intensity of the scattered light depend on the lattice plane of the sample to be studied and the number of atoms occupying the lattice plane. For a predetermined wavelength (λ) and the spacing (d) of the lattice plane, the X-ray is Bragg condition (nλ). = sdsin θ, n: scattering order) is incident on the lattice plane at an angle θ. The deformation of the lattice plane due to stress, solid solution, or other conditions causes a change in the XRD spectrum that can be viewed.

참고적으로, 본 발명의 내용 중에 '산란'이라는 용어는 X선을 시료에 조사하여 시료로부터 방출되는 임의의 모든 과정을 나타내는 데 사용되며, X선 반사 분석법(XRR), 소각 X선 산란법(SAXS) 및 X선 회절 분석법(XRD)은 물론 종래의 X선 형광분석에서의 산란을 포함하는 것으로 이해될 수 있다.For reference, in the context of the present invention, the term 'scattering' is used to refer to any process emitted from the sample by irradiating the sample with X-rays, X-ray reflection analysis (XRR), incineration X-ray scattering ( SAXS) and X-ray diffraction analysis (XRD) as well as scattering in conventional X-ray fluorescence.

도 1은 종래기술의 X선 분석장치의 구성을 간략하게 도시한 개념도이다.1 is a conceptual diagram briefly showing the configuration of an X-ray analyzer of the prior art.

시료(S)는 소정의 시료 테이블상에 배치되고, X선 발생장치(11)는 상기 시료(S)의 표면을 향하여 X선의 컨버징 빔(14)을 지향시킨다. The sample S is disposed on a predetermined sample table, and the X-ray generator 11 directs the X-ray converging beam 14 toward the surface of the sample S.

검출기(16)는 상기 시료로부터 산란된 X선(15)을 감지하도록 배치되고, 이와 같은 구성은 X선 회절 분석 장비나 X선 반사 분석 장비의 개념에 공통된다.The detector 16 is arranged to detect the X-rays 15 scattered from the sample, and this configuration is common to the concept of X-ray diffraction analysis equipment or X-ray reflection analysis equipment.

종래의 X선을 이용한 물질 분석기구는 X선관과 같은 X선 발생장치와 검출기를 시료 테이블의 중심축에 대해 소정 각도로 고정하여 배치하는 것이 일반적이다.In conventional X-ray material analysis apparatuses, an X-ray generator such as an X-ray tube and a detector are generally fixed and disposed at a predetermined angle with respect to the central axis of the sample table.

특히, X선 회절 분석 장비와 같은 경우 X선의 입사각과 산란각에 의한 X선 발생장치, 검출기 및 시료 테이블 배치의 한계로 인해 시료나 미세한 입자와 같은 비교적 균질한 샘플의 구조를 파악하는 데 한정적으로 사용되었다.In particular, in the case of X-ray diffraction analysis equipment, due to limitations in the arrangement of the X-ray generator, detector, and sample table due to the angle of incidence and scattering angle of the X-ray, it is limited to identifying the structure of a relatively homogeneous sample such as a sample or fine particles. Was used.

이러한 문제점을 극복하기 위해, X선 발생장치나 검출기를 복수로 배치되는 방법도 제안되는데, 이러한 경우 마찬가지로 측정의 한계가 존재하며 장비의 생산 공정의 비효율성과 생산비용의 증가의 문제를 일으키기도 하였다.In order to overcome this problem, a method of arranging a plurality of X-ray generators or detectors is also proposed. In this case, there are limitations of measurement, which also causes problems of inefficiency of the production process of the equipment and increase of production cost.

또한, 테이블의 위치가 고정된 관계로 인해 사람이 직접 샘플의 위치를 변경하는 데 한계가 있고, 정밀도도 떨어지는 문제가 있었다. 이를 해결하기 위해 테이블을 제한적으로 이동하는 방법들이 제안되는데, 정밀성과 효율성이 떨어지는 문제가 있었다.
In addition, due to the fixed position of the table, there is a limit in changing the position of the sample directly and there is a problem of inferior precision. In order to solve this problem, methods for moving the table on a limited basis have been proposed.

이에 본 발명은 상기한 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 주어진 샘플에 상이한 X선 산란 측정을 실행할 수 있도록 하여 다양한 특성을 가진 샘플의 구조를 파악할 수 있으며, 단순한 구조를 가진 X선을 이용한 분석 기구의 테이블 모듈을 제공하는 데 목적이 있다.
Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, it is possible to determine the structure of a sample having a variety of characteristics by performing different X-ray scattering measurement on a given sample, an analysis instrument using a simple X-ray structure The purpose is to provide a table module.

본 발명에 따른 X선을 이용한 분석 기구의 테이블 모듈의 개념에서는 샘플을 안착하는 테이블(330)이 다양하게 움직임으로써 미세하게 X선이 조사되는 부위 및 X선 각도를 조정하여 샘플의 구조를 원활하게 파악할 수 있는 구조를 제공한다.
따라서, 본 발명에 따른 X선을 이용한 분석 기구의 테이블 모듈은 테이블(330)이 좌우방향으로 회전하고, 상하방향으로 이송되며 전후방으로 틸팅될 수 있는 구조를 동시에 제공한다.
In the concept of the table module of the analysis instrument using the X-ray according to the present invention, the structure of the sample is smoothly adjusted by adjusting the X-ray angle and the area where X-rays are minutely irradiated by various movements of the table 330 for seating the sample. Provide an understandable structure.
Therefore, the table module of the analysis instrument using the X-ray according to the present invention simultaneously provides a structure in which the table 330 can be rotated in the left and right directions, transferred in the vertical direction and tilted forward and backward.

전술한 내용과 같이 구성된 본 발명에 따른 X선을 이용한 분석 기구의 테이블 모듈은, 테이블이 회전이동, 상하이동 및 틸팅될 수 있으므로, 다양한 형질과 형상을 가진 샘플의 구조를 파악할 수 있는 이점이 있다. 따라서, 다양한 물질 및 물체의 구조 파악에 대응할 수 있는 것으로 단순한 구조로서 정확한 측정이 가능하므로 생산성이 향상되고, 다양한 작업 현장에서 유연하게 대응할 수 있는 효과를 가진다.
The table module of the analysis instrument using the X-ray according to the present invention configured as described above, since the table can be rotated, moved and tilted, there is an advantage to understand the structure of the sample having a variety of traits and shapes . Therefore, it is possible to cope with the structure of a variety of materials and objects, it is possible to measure accurately as a simple structure, the productivity is improved, it has the effect that can be flexibly responded to various work sites.

도 1은 종래기술의 X선을 이용한 분석 기구의 개념도.
도 2는 본 발명에 따른 X선을 이용한 분석 기구를 전방측에서 바라본 사시도.
도 3은 본 발명에 따른 X선을 이용한 분석 기구의 테이블 모듈을 나타내는 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 X선을 이용한 분석 기구의 테이블 모듈를 정면에서 바라본 사시도.1 is a conceptual diagram of an analysis instrument using prior art X-rays.
Figure 2 is a perspective view of the analysis instrument using the X-rays from the front side in accordance with the present invention.
3 is a perspective view showing a table module of the analysis instrument using the X-ray according to the present invention.
Figure 4 is a perspective view of the table module of the analysis instrument using the X-ray according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 X선을 이용한 분석 기구의 테이블 모듈을 상세히 설명한다.
Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a table module of the analysis instrument using X-rays in accordance with a preferred embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 X선을 이용한 분석 기구의 테이블 모듈를 전방측에서 바라본 사시도이다.Figure 1 is a perspective view of the table module of the analysis instrument using the X-ray from the front side.

종래기술과 마찬가지로, 본 발명에 따른 X선을 이용한 분석 기구의 테이블 모듈는 시료 또는 샘플을 고정하여 안착하는 테이블(330), X선을 조사하는 X선 발생부(100) 및 상기 샘플로부터 산란되는 X선을 검출하는 검출부(200)를 포함한다.As in the prior art, the table module of the analysis instrument using the X-ray according to the present invention is a table 330 for fixing a sample or a sample seated, the X-ray generating unit 100 for irradiating X-rays and X scattered from the sample It includes a detection unit 200 for detecting a line.

상기 X선 발생부(100)는 X선을 방출하는 다양한 형태의 장비가 사용되고, 내부에 전자총과 타겟을 구비한 X선관이 사용되며, 바람직하게는 내부가 대략 진공상태이며 고출력인 클로즈드 타입(closed type)의 X선 발생기가 사용될 수 있다.The X-ray generator 100 is used for various types of equipment for emitting X-rays, X-ray tube having an electron gun and a target therein is used, preferably a closed type (closed type) having a substantially vacuum state and high power inside type) can be used.

상기 전자총으로부터 발생된 전자가 타겟에 충돌하면, X선이 출력되어 테이블(330)에 안착된 샘플에 조사될 수 있다.When electrons generated from the electron gun collide with the target, X-rays may be output and irradiated onto the sample seated on the table 330.

상기 검출부(200)는 산란된 X선을 검출할 수 있는 디텍터(detector)를 포함하고, 상기 디텍터는 검출된 X선을 전기신호화하여 제어부(미도시)로 전송함으로써 물질의 구조를 분석할 수 있는 데이터를 제공한다.The detector 200 may include a detector capable of detecting scattered X-rays, and the detector may analyze the structure of a material by transmitting the detected X-rays to an electric signal and transmitting the signal to a controller (not shown). Provide data.

베이스 프레임(400)은 상기 X선 발생부(100)와 검출부(200)를 각각 지지하는 입식 판상의 백프레임과 전방 하측에서 테이블 모듈(300)을 지지하는 언더프레임 및 X선 발생부(100)와 검출부(200)를 구동할 수 있는 부재들을 지지하는 후방프레임으로 이루어진다.The base frame 400 is an upright plate-shaped back frame supporting the X-ray generator 100 and the detector 200, and an underframe and X-ray generator 100 supporting the table module 300 at the front lower side. And a rear frame supporting members capable of driving the detection unit 200.

본 발명의 개념에서는 샘플을 안착하는 테이블(330)이 다양하게 움직임으로써 미세하게 X선이 조사되는 부위 및 X선 각도를 조정하여 샘플의 구조를 원활하게 파악할 수 있는 구조를 제공한다.The concept of the present invention provides a structure that can smoothly grasp the structure of the sample by adjusting the X-ray angle and the portion to which the X-ray is finely moved by the various movement of the table 330 seating the sample.

따라서, 본 발명에 따른 X선을 이용한 분석 기구의 테이블 모듈은 테이블(330)이 좌우방향으로 회전하고, 상하방향으로 이송되며 전후방으로 틸팅될 수 있는 구조를 동시에 제공한다.Therefore, the table module of the analysis instrument using the X-ray according to the present invention simultaneously provides a structure in which the table 330 can be rotated in the left and right directions, transferred in the vertical direction and tilted forward and backward.

더욱 구체적인 구조와 관련하여는 도 3 및 도 4와 관련하여 후술하기로 한다.More specific structure will be described later with reference to FIGS. 3 and 4.

한편, 상기 X선 발생부(100)와 검출부(200)는 베이스 프레임(400)의 백프레임에 고정되어 배치될 수 있지만, 다양한 샘플에 대응하기 위하여 위치를 가변할 수 있는 구조를 가지는 것이 바람직하다.The X-ray generator 100 and the detector 200 may be fixed to the back frame of the base frame 400, but preferably have a structure in which the position thereof may be changed to correspond to various samples. .

따라서, X선 발생부(100)와 검출부(200)가 각각 샘플이 안착된 테이블(330)에 대해 이동하는 개념이 제공된다.Accordingly, the concept of moving the X-ray generator 100 and the detector 200 relative to the table 330 on which the sample is mounted is provided.

상기 X선 발생부(100)는 제1암(110)에 결합하고, 검출부(200)는 제2암(210)에 결합한다.The X-ray generator 100 is coupled to the first arm 110, and the detector 200 is coupled to the second arm 210.

상기 제1암(110)과 제2암(210)은 각각 테이블(330)에 대해 회동할 수 있는 구성을 가지는데, 보다 정확하게는 상기 테이블(330)이 배치된 부위에 인접한 베이스 프레임(400)의 백프레임에 회동축이 고정되어 각각 회동할 수 있도록 배치된다.Each of the first arm 110 and the second arm 210 has a configuration that can be rotated with respect to the table 330, and more precisely, the base frame 400 adjacent to the portion where the table 330 is disposed. Rotating shafts are fixed to the back frame of and arranged to rotate each.

따라서, 상기 제1암(110)은 일단부측에 X선 발생부(100)를 지지하고 타단부측에서는 백프레임에 지지되어 회동된다. 또한, 제2암(210)은 일단부측에 검출부(200)를 지지하고 타단부측에서 백프레임에 지지되어 회동된다.Therefore, the first arm 110 supports the X-ray generator 100 at one end side and is rotated while being supported by the back frame at the other end side. In addition, the second arm 210 supports the detection unit 200 at one end side and rotates while being supported by the back frame at the other end side.

상기 제1암(110)과 제2암(210)의 회동축은 각각 독립적으로 배치될 수도 있지만, 바람직하게는 상기 제1암(110)의 회동축과 제2암(210)의 회동축은 동축으로 이루어지고, 더욱 바람직하게는 동축으로 이루어진 상기 회동축들은 중심이 테이블(330)에 안착된 샘플의 위치에 대응되도록 배치된다.The pivot shafts of the first arm 110 and the second arm 210 may be arranged independently, but preferably, the pivot shafts of the first arm 110 and the pivot shafts of the second arm 210 are The rotating shafts, which are coaxial and more preferably coaxial, are arranged such that their center corresponds to the position of the sample seated on the table 330.

도 2에서 상기 제1암(110)과 제2암(210)은 판상의 부재로 이루어지는데, 후면이 백프레임에 밀착되어 회동을 정확하게 가이드하도록 배치될 수 있다. 더욱 정확하게는, 제1암(110)은 백프레임에 밀착하되, 제2암(210)은 제1암(110)의 전면에 밀착된다.In FIG. 2, the first arm 110 and the second arm 210 are formed of a plate-shaped member, and the rear surface of the first arm 110 and the second arm 210 may be disposed to closely contact the back frame to accurately guide the rotation. More precisely, the first arm 110 is in close contact with the back frame, but the second arm 210 is in close contact with the front surface of the first arm 110.

또한, 제1암(110)과 제2암(210)의 타단부측은 회동축을 중심으로 타측으로 더욱 연장되도록 이루어질 수 있는데, 도면에서와 같이 회동축에 대해 각각 검출부(200)와 X선 발생부(100)에 대향하는 부위에서 소정 면적을 차지할 수 있도록 형성될 수 있다.In addition, the other end side of the first arm 110 and the second arm 210 may be formed to extend further to the other side around the rotation axis, as shown in the detection unit 200 and the X-ray generation for the rotation axis, respectively It may be formed so as to occupy a predetermined area at a portion facing the portion 100.

상기한 바와 같이 제1암(110)과 제2암(210)의 타단부측에 소정 면적을 가지는 경우, 각각 타단부측에 X선 발생부(100)와 검출부(200)에 대응하는 소정의 질량을 형성하게 되어 검출부(200)와 X선 발생부(100)의 회동시 균형을 이루기 때문에 무게중심이 회동축에 인접하여 형성되도록 하여 정확한 회동이 가능하도록 하는 이점이 있다.As described above, when the other end of the first arm 110 and the second arm 210 has a predetermined area, the other end corresponding to the X-ray generating unit 100 and the detection unit 200 is respectively predetermined. Since the mass is formed to balance the rotation of the detector 200 and the X-ray generator 100, there is an advantage that the center of gravity is formed adjacent to the rotational axis so that accurate rotation is possible.

상기 제1암(110)과 제2암(210)은 도 2에 제시된 바람직한 실시예에서는 판상의 부재로 이루어지지만, 선택에 따라 긴 막대 형상으로 이루어질 수도 있음은 물론이다.Although the first arm 110 and the second arm 210 are formed of a plate-shaped member in the preferred embodiment shown in FIG. 2, the first arm 110 and the second arm 210 may be formed in a long rod shape according to a selection.

또 다른 실시예로서, 상기 백프레임은 X선 발생부(100)와 검출부(200)가 테이블(330)에 대해 회동할 수 있도록 슬라이딩 홈을 구비할 수 있으며, 상기 슬라이딩 홈은 동심의 원의 일부를 구성하게 된다. 이 경우, 상기 제1암(110)과 제2암(210)은 생략되고, 상기 X선 발생부(100)와 검출부(200)는 슬라이딩 홈의 후방으로 연장되어 구동장치에 의해 슬라이딩 가이드되면서 테이블(330)에 대해 회동 동작할 수 있다.In another embodiment, the back frame may include a sliding groove so that the X-ray generator 100 and the detection unit 200 can rotate with respect to the table 330, and the sliding groove is a part of a concentric circle. Will be configured. In this case, the first arm 110 and the second arm 210 are omitted, and the X-ray generation unit 100 and the detection unit 200 extends to the rear of the sliding groove and is guided by the driving device while sliding the table. The rotation may be performed with respect to 330.

상기한 바와 같이 X선 발생부(100)와 검출부(200)가 테이블(330)에 대해 각각 회동할 수 있도록 구성되는 경우, 시료나 분말 형상은 물론 입체적인 형상을 가진 샘플에도 유연하게 대응하여 구조를 파악할 수 있는 이점이 있다.As described above, when the X-ray generation unit 100 and the detection unit 200 are configured to rotate with respect to the table 330, the structure can be flexibly responded to the sample having the three-dimensional shape as well as the sample or powder shape. There is an advantage to grasp.

즉, X선 발생부(100)와 검출부(200)가 X선의 다양한 입사각과 산란각을 결정할 수 있도록 하기 때문에 간단한 구조로서 다양한 샘플의 구조를 파악할 수 있게 되는 것이다.That is, since the X-ray generator 100 and the detector 200 may determine various incident angles and scattering angles of the X-ray, the structures of the various samples may be grasped as a simple structure.

또한, 상기 X선 발생부(100)와 검출부(200)가 회동할 수 있는 각도는 대략 샘플의 수평축에서 수직축에 이르는 90도 정도의 각도까지 이루어지는 것이 바람직한데, 검출부(200)가 샘플이 배치된 법선방향에 위치하는 경우에는 SAXS 측정 능력까지 겸할 수 있는 이점이 있다.In addition, the angle that the X-ray generator 100 and the detection unit 200 can rotate is preferably made up to an angle of about 90 degrees from the horizontal axis to the vertical axis of the sample, the detection unit 200 is If it is located in the normal direction, there is an advantage that can also serve as SAXS measurement capability.

도 2에서는 테이블(330)에 대해 X선 발생부(100)와 검출부(200)가 각각 일정한 반경을 가지고 회동하는 구성만이 도시되었지만, 상기 X선 발생부(100)와 검출부(200)는 각각 제1암(110)과 제2암(210)에 대해 길이방향으로 슬라이딩 이동될 수 있는 개념이 추가적으로 제시된다.In FIG. 2, only the configuration in which the X-ray generation unit 100 and the detection unit 200 rotate with a constant radius with respect to the table 330 is illustrated, but the X-ray generation unit 100 and the detection unit 200 are respectively A concept that can be slidably moved in the longitudinal direction with respect to the first arm 110 and the second arm 210 is further presented.

상기 슬라이딩 이동할 수 있는 구성으로 벨트이동 방식이나 스테핑 모터를 사용하는 방법이 적용될 수 있지만, 각각의 암에 대해 길이방향으로 이동할 수 있는 구성이라면 종래의 다양한 구동방식들이 사용될 수 있음은 물론이다.A belt moving method or a method using a stepping motor may be applied as the sliding movable configuration, but various driving methods in the related art may be used as long as the movable configuration is movable in the longitudinal direction for each arm.

상기와 같이 X선 발생부(100)와 검출부(200)가 각각 제1암(110)와 제2암(210)의 길이방향, 더욱 정확하게는 샘플에 대한 거리가 가변될 수 있다면 X선광의 초점 조정 및 산란각의 검출이 보다 용이해지는 이점이 있으며 더욱 다양한 형질이나 형상의 샘플에 대응할 수 있는 이점이 있다.As described above, if the X-ray generator 100 and the detector 200 can vary the length of the first arm 110 and the second arm 210, more precisely, the distance to the sample, the focus of the X-ray light may vary. There is an advantage that the adjustment and detection of the scattering angle is easier, and there is an advantage that can correspond to a sample of more various traits or shapes.

따라서, 본 발명의 개념에서는 X선 발생부(100)와 검출부(200)가 각각 샘플의 법선방향 평면 즉, 백프레임의 전방의 평행한 평면에 대해 전방향으로 위치가 가변될 수 있는 개념이 제공된다.Accordingly, in the concept of the present invention, the X-ray generator 100 and the detector 200 are provided with the concept that the positions of the X-ray generator 100 and the detector 200 may be changed in all directions with respect to the normal plane of the sample, that is, the parallel plane in front of the back frame. do.

상기한 바와 같이 제1암(110)과 제2암(210)이 동축으로 형성되기 때문에 각각 동력을 입력받을 수 있는 구조를 가지는 것이 바람직하다.As described above, since the first arm 110 and the second arm 210 are formed coaxially, it is preferable to have a structure capable of receiving power.

따라서, 예를 들면, 제1암(110)의 회전축은 중공의 원기둥 형상으로 외륜을 이루고, 제2암(210)의 회전축은 상기 외륜의 내부를 관통하는 형상으로 배치될 수 있다.Thus, for example, the rotation axis of the first arm 110 may form an outer ring in a hollow cylindrical shape, and the rotation axis of the second arm 210 may be disposed in a shape penetrating the inside of the outer ring.

이와 같은 배치를 가지는 경우, 동축을 이루면서도 개별적으로 동력을 전달받을 수 있는 이점이 있다. 상기 회전축들의 구동부들은 상기 백프레임의 후방에 각각 배치되는 것이 바람직하며, 이에 따라 상기 회전축은 백프레임의 소정 개구를 관통하여 전후방을 연결하는 역할을 한다.
In the case of having such an arrangement, there is an advantage in that the power can be individually transmitted while coaxial. Preferably, the driving units of the rotating shafts are disposed at the rear of the back frame, so that the rotating shaft penetrates a predetermined opening of the back frame to connect front and rear.

테이블 모듈(300)은 베이스 프레임(400)에 상하이동 가능하게 배치되는 테이블 베이스(310), 상기 테이블 베이스(310)에 대해 전후방으로 회동 즉 틸팅동작이 가능하도록 배치되는 틸트부(320), 상기 틸트부(320)의 상측에 배치되어 샘플을 안착하는 테이블(330) 및 동력을 전달하는 구동부(350, 360)을 포함한다.The table module 300 may include a table base 310 disposed on the base frame 400 so as to be movable, and a tilting unit 320 arranged to rotate, ie, tilt, back and forth with respect to the table base 310. It is disposed above the tilt portion 320 includes a table 330 for seating the sample and the driving unit 350, 360 for transmitting power.

도 3은 본 발명에 따른 X선을 이용한 분석 기구의 테이블 모듈을 더욱 구체적으로 나타내는 사시도이다.
Figure 3 is a perspective view showing in more detail the table module of the analysis instrument using the X-ray according to the present invention.

상기 테이블(330)은 테이블 모듈(300)에 상측에 배치되는데, 테이블 모듈(300)은 베이스 프레임(400)의 언더프레임에 대해 상하 구동부(360)에 의해 상하이동 가능하도록 배치된다. The table 330 is disposed above the table module 300, and the table module 300 is disposed to be movable by the vertical driving unit 360 with respect to the underframe of the base frame 400.

또한, 상기 테이블 모듈(300)은 상하이동하면서 테이블(330)을 지지하는 테이블 베이스(310)와 상기 테이블 베이스(310)에 대해 전후방으로 틸팅이 가능하도록 배치되는 틸트부(320)로 이루어진다. In addition, the table module 300 includes a table base 310 supporting the table 330 and a tilt part 320 disposed to be tilted forward and backward with respect to the table base 310 while moving up and down.

상기 테이블 베이스(310)는 소정의 브라켓을 구비하고, 상기 틸트부(320)는 회동축이 상기 브라켓에 지지되어 테이블 베이스(310)에 대해 전후방으로 이동 가능하다. The table base 310 is provided with a predetermined bracket, and the tilting part 320 is movable in the front and rear with respect to the table base 310 because the pivot shaft is supported by the bracket.

또한, 테이블(330)은 상기 틸트부(320)에 의해 지지되되, 좌우회전이 가능하도록 배치된다.In addition, the table 330 is supported by the tilt part 320, and is disposed to allow left and right rotation.

틸트 구동부(350)는 상기 틸트부(320)를 전후방으로 틸팅 가능하도록 구동력을 제공하며, 스테핑 모터나 피에조 장치와 같은 다양한 장치를 사용하도록 이루어질 수 있다.The tilt driver 350 may provide a driving force to tilt the tilt unit 320 forward and backward, and may be configured to use various devices such as a stepping motor or a piezo device.

바람직하게는 상기 틸트 구동부(350)는 테이블(330)의 회전 동작과 틸트 동작에 대해 구동력을 동시에 제공할 수 있도록 이루어진다.Preferably, the tilt driver 350 is configured to simultaneously provide a driving force for the rotational motion and the tilting motion of the table 330.

이에 대한 바람직한 실시예는 도 2에 도시된 바와 같이 상기 테이블(330)의 하측으로 회전축이 연장되어 하단부에 기어가 배치되고, 상기 틸트 구동부(350)에서는 회전축에 상기 테이블(330)의 회전축에 대해 법선방향으로 배치되어 기어가 치합되는 동시에, 상기 틸트 구동부(350)의 회전축이 동시에 전후방으로 이동 가능하도록 배치될 수 있다.In this preferred embodiment, as shown in FIG. 2, a shaft is disposed below the table 330 so that a gear is disposed at a lower end thereof, and the tilt driver 350 has a rotation shaft with respect to the axis of rotation of the table 330. At the same time, the gears are engaged with each other in the normal direction, and the rotation axis of the tilt driver 350 may be moved forward and backward at the same time.

본 발명의 바람직한 실시예에서는 상기 틸트 구동부(350)가 테이블 베이스(310)의 전방에 배치되는 예가 도시되었지만, 상기 틸트 구동부(350)는 후방에 배치될 수 있으며, 경우에 따라 측방 또는 하방에 배치될 수도 있음은 물론이다.
In the preferred embodiment of the present invention, the tilt driver 350 is shown in front of the table base 310, but the tilt driver 350 may be disposed in the rear, and may be disposed in the side or downward in some cases Of course it can be.

도 3은 본 발명에 따른 X선을 이용한 분석 기구의 테이블 모듈를 후방측에서 바라본 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 X선을 이용한 분석 기구의 테이블 모듈의 평면도이다.3 is a perspective view of the table module of the analysis instrument using X-rays from the rear side, and FIG. 4 is a plan view of the table module of the analysis instrument using X-rays according to the present invention.

상기한 바와 같이 제1암(110)과 제2암(210)의 회전축은 동축으로 배치되는 것이 바람직한데, 이에 따라 베이스 프레임(400)의 백프레임을 관통하여 샤프트(530, 540)가 동축으로 배치된다.As described above, the rotation axis of the first arm 110 and the second arm 210 is preferably coaxially disposed. Accordingly, the shafts 530 and 540 coaxially penetrate through the back frame of the base frame 400. Is placed.

본 발명의 바람직한 실시예에서는 회전축이 동축으로 배치되기 위하여 상기 제1암(110)과 연결되는 제1샤프트(530)는 중공의 원기둥 형상으로 이루어지고, 제1샤프트(530)의 내부를 관통하여 제2암(210)과 연결되는 제2샤프트(540)가 배치된다.In a preferred embodiment of the present invention, the first shaft 530 connected to the first arm 110 is formed in a hollow cylindrical shape so that the rotating shaft is coaxially disposed therethrough, and penetrates inside the first shaft 530. A second shaft 540 connected to the second arm 210 is disposed.

이와 같은 실시예에 따를 경우, 제1암(110)은 제2암(210)에 대해 후방측으로 배치된다. 즉, 외륜을 이루는 제1샤프트(530)의 경우 백프레임을 관통하여 바로 전방에 있는 제1암(110)에 결합하고, 내륜을 이루는 제2샤프트(540)는 제1샤프트(530)를 관통하여 제1암(110) 체결부위를 지나 전방에 배치된 제2암(210)에 연결되는 것이다.According to this embodiment, the first arm 110 is disposed rearward with respect to the second arm 210. That is, in the case of the first shaft 530 forming the outer ring, the first shaft 530 penetrates the back frame and is coupled to the first arm 110 directly in front, and the second shaft 540 forming the inner ring penetrates the first shaft 530. It is connected to the second arm 210 disposed in front of the first arm 110 through the fastening portion.

다만, 상기와 같은 구조는 상호간에 변경 가능하다. 즉, X선 발생부(100)가 내륜을 이루는 제2샤프트(540)에 연결되고, 검출부(200)가 외륜을 이루는 제1샤프트(530)에 연결될 수 있으며, 이와 같은 위치 변경은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것이 당업자에게 자명하다.However, the above structure can be changed mutually. That is, the X-ray generator 100 may be connected to the second shaft 540 forming the inner ring, and the detection unit 200 may be connected to the first shaft 530 forming the outer ring. It is obvious to those skilled in the art to be included in the scope of rights.

상기 샤프트(530, 540)들은 베이스 프레임(400)을 이루는 후방프레임에 고정된 샤프트 지지부(550)에 의해 지지된다.The shafts 530 and 540 are supported by the shaft support 550 fixed to the rear frame of the base frame 400.

도 3에서 상기 샤프트 지지부(550)는 상하판과 제1샤프트(530)를 고정하는 수직부재 및 제2샤프트(540)를 고정하는 또 다른 수직부재로 이루어진다.In FIG. 3, the shaft support part 550 includes a vertical member fixing the upper and lower plates and the first shaft 530, and another vertical member fixing the second shaft 540.

상기 수직부재들은 내부에 베어링(미도시)가 결합되고, 상기 샤프트(530, 540)들은 상기한 베어링들의 내주측에 회전 가능하도록 지지된다.The vertical members are coupled to a bearing (not shown) therein, and the shafts 530 and 540 are rotatably supported on the inner circumferential sides of the bearings.

상기한 각각의 샤프트들의 후방측이 상기 수직부재들에 의해 지지된다면, 전방측은 베이스 프레임(400)의 백프레임의 중공부위에 지지되어 회전동작이 정확하게 지지될 수 있다.If the rear side of each of the shafts is supported by the vertical members, the front side is supported at the hollow portion of the back frame of the base frame 400 can be accurately supported the rotation operation.

한편, 상기 샤프트(530, 540)들은 동축으로 배치되지만, 각각 개별적인 제어를 위하여 구동부는 개별로 이루어지는 것이 바람직하다.On the other hand, the shafts 530 and 540 are arranged coaxially, but for each individual control it is preferable that the drive is made separately.

따라서, 베이스 프레임(400)은 제1구동부(410)와 제2구동부(420)를 구비한다. 상기 제1구동부(410)는 제1샤프트(530)에 동력을 전달하여 제1암(110)을 회동시킴으로써 X선 발생부(100)의 변위를 발생하도록 하고, 제2구동부(420)는 제2샤프트(540)에 동력을 전달하여 제2암(210)을 회동시킴으로써 검출부(200)의 변위를 발생시키도록 한다. 상기 배치관계는 용이하게 변경될 수 있음은 상술한 바와 같다.Accordingly, the base frame 400 includes a first driver 410 and a second driver 420. The first driving unit 410 transmits power to the first shaft 530 to rotate the first arm 110 to generate a displacement of the X-ray generating unit 100, and the second driving unit 420 may include a first driving unit 420. Power is transmitted to the second shaft 540 to rotate the second arm 210 to generate displacement of the detection unit 200. The arrangement can be easily changed as described above.

본 발명의 바람직한 실시예에서는 제1구동부(410)와 제2구동부(420)가 제1샤프트(530)와 제2샤프트(540)에 각각 벨트 또는 체인으로 연결되어 회전동력을 전달하는 방식이 예시된다.In the preferred embodiment of the present invention, the first driving unit 410 and the second driving unit 420 are connected to the first shaft 530 and the second shaft 540 by a belt or a chain, respectively, to transfer the rotating power. do.

따라서, 제1구동부(410)의 회전축의 외주에는 제1드라이브 풀리(411)가 배치되고, 제1샤프트(530)의 외주에는 외주방향으로 돌출된 링 형상의 제1드리븐 풀리(510)가 배치된다. 상기 제1드라이브 풀리(411)와 제1드리븐 풀리(510)는 벨트 또는 체인의 장력에 의해 상호 동력을 전달할 수 있다.Therefore, the first drive pulley 411 is disposed on the outer circumference of the rotation shaft of the first driving unit 410, and the ring-shaped first driven pulley 510 protruding in the circumferential direction is disposed on the outer circumference of the first shaft 530. do. The first drive pulley 411 and the first driven pulley 510 may transmit power to each other by tension of a belt or a chain.

마찬가지로, 제2구동부(420)의 회전축의 외주에는 제2드라이브 풀리(421)가 배치되고, 제2샤프트(540)의 외주에는 외주방향으로 돌출된 링 형상의 제2드리븐 풀리(520)가 배치되어 상호 동력을 전달할 수 있다.Similarly, a second drive pulley 421 is disposed on the outer circumference of the rotation shaft of the second driving part 420, and a ring-shaped second driven pulley 520 protruding in the circumferential direction is disposed on the outer circumference of the second shaft 540. Can transmit power to each other.

상기와 같은 개념에 따라, 제2샤프트(540)는 제1샤프트(530)에 대해 후방측으로 더욱 돌출되어 형성되고, 이에 따라 제1드라이브 풀리(411)는 제2드라이브 풀리(421)보다 더욱 전방측에 배치되게 된다.According to the above concept, the second shaft 540 is further protruded to the rear side with respect to the first shaft 530, so that the first drive pulley 411 is further forward than the second drive pulley 421. Will be placed on the side.

이러한 구조를 가짐에 따라, 부재나 장치들 간의 간섭 가능성이 최소화되고 공간적인 활용 능력이 향상되는 이점이 있음에 유의하여야 한다.It should be noted that having such a structure has the advantage of minimizing the possibility of interference between members or devices and improving spatial utilization.

상기한 바와 같은 상하 구동부(360), 틸트 구동부(350), 제1구동부(410) 및 제2구동부(420)는 제어부(미도시)에 연결되어 각각 제어신호가 인가되면 입력된 만큼의 X선 발생부(100), 테이블(330) 및 검출부(200)의 변위를 발생시킨다.The vertical driving unit 360, the tilt driving unit 350, the first driving unit 410, and the second driving unit 420 as described above are connected to a control unit (not shown), and the X-rays are input as much as the control signal is applied. The displacement of the generator 100, the table 330, and the detector 200 is generated.

다만, 본 발명의 실시예에서는 상기 제1샤프트(530)와 제1구동부(410) 및 제2샤프트(540)와 제2구동부(420)의 연결관계가 벨트 또는 체인 등의 장력 요소에 의해 구동되는 개념이 도시되었지만, 기어가 치합되는 방식으로 구동할 수 있음은 물론, 커플러 또는 감속기 등의 장치가 추가적으로 결합될 수 있음은 물론이다.
However, in the embodiment of the present invention, the connection relationship between the first shaft 530 and the first driving unit 410 and the second shaft 540 and the second driving unit 420 is driven by a tension element such as a belt or a chain. Although the concept is shown, the gears can be driven in the manner of meshing, as well as devices such as couplers or reducers can be further combined.

상기와 같은 구조를 가지는 X선을 이용한 분석 기구의 테이블 모듈는 X선 발생부(100)와 검출부(200)가 동일 평면 상에서 전방향으로 변위를 가질 수 있음은 물론, 테이블(330)이 회전, 상하이동 및 틸팅될 수 있으므로, 다양한 형질과 형상을 가진 샘플의 구조를 파악할 수 있는 이점이 있다.In the table module of the analysis apparatus using the X-ray having the above structure, the X-ray generator 100 and the detector 200 may have a displacement in all directions on the same plane, and the table 330 rotates and moves up and down. Since it can be moved and tilted, there is an advantage in that it is possible to grasp the structure of a sample having various traits and shapes.

이러한 구조를 가지는 X선을 이용한 분석 기구의 테이블 모듈는 종래의 다양한 분석 기구의 장점을 취합하여 다양한 물질 및 물체의 구조 파악에 대응할 수 있는 것으로 단순한 구조로서 정확한 측정이 가능한 이점을 가진다.The table module of the analysis instrument using the X-ray having such a structure can cope with the grasp of the structure of various materials and objects by combining the advantages of various conventional analysis instruments.

이상에서, 본 발명은 실시예 및 첨부도면에 기초하여 상세히 설명되었다. 그러나, 이상의 실시예들 및 도면에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않으며, 본 발명의 범위는 후술한 특허청구범위에 기재된 내용에 의해서만 제한될 것이다.
In the above, the present invention has been described in detail based on the embodiment and the accompanying drawings. However, the scope of the present invention is not limited by the above embodiments and drawings, and the scope of the present invention will be limited only by the contents described in the claims below.

100...X선 발생부 110...제1암
200...검출부 210...제2암
300...테이블 모듈 310...테이블 베이스
311...틸트 지지부 320...틸트부
321...틸트축 322...상측 베어링 플레이트
323...지지바 325...하측 베어링
330...테이블 331...회전 샤프트
332...종동 기어 350...틸트 구동부
351...구동 샤프트 352...구동 기어
360...상하 구동부 361...상하 구동축
362...구동 풀리 363...종동 풀리
400...베이스 프레임100 ... X-ray generator 110 ... First arm
200 ... detector 210 ... second arm
300 ... Table Module 310 ... Table Base
311 Tilt support 320 Tilt
321 Tilt shaft 322 Upper bearing plate
323 Support bar 325 Lower bearing
330 ... table 331 ... rotary shaft
332 ... driven gear 350 ... tilt drive
351 ... drive shaft 352 ... drive gear
360 ... vertical drive 361 ... vertical drive shaft
362 ... driven pulley 363 ... driven pulley
400 ... base frame

Claims (10)

샘플을 향해 X선을 방출하는 X선 발생부(100), 상기 샘플로부터 산란되는 X선을 검출하는 검출부(200) 및 상기 X선 발생부와 검출부를 지지하는 백프레임과 전방 하측에 형성된 언더프레임을 구비하는 베이스프레임(400)을 포함하는 X선을 이용한 분석 기구의 테이블 모듈로서,
상기 언더프레임에 대해 상하이동 가능하게 배치되는 테이블 베이스(310);
상기 테이블 베이스에 구비되는 브라켓의 상측에 회동축이 지지되는 틸트부(320);
상기 틸트부의 상측에 배치되어 샘플을 안착하는 테이블(330);
상기 테이블의 하측으로 연장되어 배치되는 종동기어(332); 및
상기 테이블 베이스의 전방에 배치되고 상기 테이블의 회전축에 대해 법선방향으로 배치되어 상기 종동기어에 치합되는 구동기어(352)를 포함하는 틸트 구동부(350);를 포함하고,
상기 테이블은 틸트부에 대해 상기 회전축을 중심으로 좌우회전 가능하도록 지지되고, 상기 틸트부는 상기 베이스 프레임에 대해 상하 이동 가능하도록 배치되는 테이블 베이스의 브라켓에 상측이 지지되며, 상기 틸트부는 상기 테이블 베이스의 상측을 중심으로 전후방으로 틸팅되는 X선을 이용한 분석 기구의 테이블 모듈.
An X-ray generator 100 emitting X-rays toward the sample, a detector 200 for detecting X-rays scattered from the sample, a back frame supporting the X-ray generator and the detector, and an underframe formed at the front lower side As a table module of the analysis instrument using an X-ray comprising a base frame 400 having a,
A table base 310 arranged to be movable relative to the underframe;
A tilt part 320 in which a rotation shaft is supported on an upper side of the bracket provided in the table base;
A table 330 disposed above the tilt part to seat a sample;
A driven gear 332 extending downwardly from the table; And
And a tilt driving unit 350 disposed in front of the table base and including a driving gear 352 disposed in a normal direction with respect to a rotation axis of the table and engaged with the driven gear.
The table is supported to be able to rotate left and right about the tilting axis with respect to the tilt part, the tilt part is supported on an upper side of a bracket of the table base which is arranged to be movable up and down with respect to the base frame, and the tilt part of the table base is Table module of an analysis instrument using X-rays tilted back and forth around the upper side.
제1항에 있어서,
상기 틸트 구동부는, 상기 틸트부를 상기 테이블 베이스의 상측을 중심으로 전후방으로 틸팅 가능하도록 구동력을 제공하는 동시에, 구동기어와 종동기어의 치합 및 회전에 의해 상기 테이블이 회전축을 중심으로 회전할 수 있도록 하는 X선을 이용한 분석 기구의 테이블 모듈.
The method of claim 1,
The tilt drive unit provides a driving force to tilt the tilt unit forward and backward about the upper side of the table base, and allows the table to rotate about a rotation axis by engagement and rotation of a drive gear and a driven gear. Table module of an analysis instrument using X-rays.
제2항에 있어서,
상기 테이블 베이스의 상기 언더프레임에 대한 상하 이동을 구동하는 상하 구동부;를 더 포함하는 X선을 이용한 분석 기구의 테이블 모듈.
The method of claim 2,
And a vertical drive unit for driving vertical movement of the table base with respect to the underframe.
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